JP6721467B2 - マイクロホン - Google Patents

Description

本発明は、音響計測に用いるマイクロホンに関し、特に振動膜の振動に応じた電気信号を固定電極から出力する構造を有するマイクロホンに関するものである。

従来から、例えば、環境騒音を計測するために、音響計測用として騒音計などが知られている。騒音計は、マイクロホンと、マイクロホンからの電気信号をインピーダンス変換する前置増幅部（プリアンプ）と、プリアンプからの電気信号を演算処理して表示する本体部とにより構成される。特に、音響計測の信頼性はマイクロホンの感度に依拠するため、所定の手順に従ってマイクロホンの感度の校正を行うことが必要とされる。マイクロホンの校正手法としては、音響校正器をマイクロホンに装着して校正を行う外部校正法と、マイクロホンに内蔵した音源を用いて校正を行う内部校正法が知られている。しかし、屋外にマイクロホンを設置して音響計測を行う場合、音響校正器を携帯して持ち運ぶ必要がある外部校正法は取り扱いが煩雑であるため、音響校正器が不要な内部校正法が望ましい。内部校正法の例として、圧力型マイクロホンの背気室（後室）側に、プリアンプと電気的に接続した電気音響変換器（音源）を内蔵し、この音源が出力する校正音を用いてマイクロホンを校正可能な構造が提案されている（特許文献１参照）。

実用新案登録第２５０４６１８号公報

上記特許文献１の構造によれば、マイクロホンに内蔵された音源とプリアンプとの間が配線を介して直結されており、分離することができない。そのため、マイクロホンの校正は、マイクロホンにプリアンプが一体的に組み上がった状態で行う必要がある。一方、騒音計の規格（JIS C1516及びIEC61672）には、プリアンプ単体での校正が新たに定められることになった。しかし、マイクロホンとプリアンプが分離できない特許文献１の構造によれば、マイクロホン単体の校正及びプリアンプ単体の校正のいずれも困難である。よって、内部校正法を導入するために上記特許文献１の構造を採用したとしても、音響計測用のマイクロホンの前述の規格に準拠することができないという課題があった。

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、マイクロホンに音源を内蔵することなく内部校正法を実施可能とし、プリアンプ単体の校正を含む騒音計の規格に準拠したマイクロホンを提供するものである。

上記課題を解決するために、本発明のマイクロホン（１）は、外部空間の音に応じて振動する振動膜（１０）と、前記振動膜の内側に形成された内部空間である後室（２２）と、前記振動膜と空隙を介して対向する背極部（２１）を一端とし、他端から前記振動膜の振動に応じた電気信号を出力する固定電極（２０）とを備えて構成され、前記固定電極の前記他端には、貫通穴（３１）を有して前記固定電極と電気的に接続される接続部（３０）が設けられ、前記固定電極には、前記後室と前記貫通穴とを連通する連通部（２３）が形成され、前記接続部は、校正音を伝搬させる音導部（５１）が形成された第１の入力端子（５０）と、前記音導部が形成されない第２の入力端子（６０）とのそれぞれを着脱自在に係合可能であり、前記接続部に前記第１又は第２の入力端子を係合したときは、前記固定電極から前記接続部及び前記第１又は第２の入力端子を経由してプリアンプに至る前記電気信号の信号経路が構成され、さらに前記接続部に前記第１の入力端子を係合したときは、前記プリアンプ内の音源から前記音導部、前記貫通穴、前記連通部を経由して前記後室に至る前記校正音の伝搬路が構成される。

また、上記課題を解決するために、本発明のマイクロホンは、外部空間の音に応じて振動する振動膜と、前記振動膜の内側に形成された内部空間である後室と、前記振動膜と空隙を介して対向する背極部を一端とし、他端から前記振動膜の振動に応じた電気信号を出力する固定電極とを備えて構成され、前記固定電極の前記他端には、貫通穴を有して前記固定電極と電気的に接続される接続部が設けられるとともに、前記後室と前記貫通穴とを連通する連通部が形成され、前記貫通穴と前記連通部を経由して前記後室に至る音の伝搬経路が構成される。

本発明のマイクロホンによれば、マイクロホンの校正時に第１の入力端子を接続部に係合することにより、プリアンプ内の音源からの校正音は第１の入力端子の音導部から接続部の貫通穴及び固定電極の連通部を順次伝搬して後室に到達し、振動膜を振動させる。このとき、校正音に応じた電気信号が固定電極から接続部を介して第１の入力端子を伝搬し、プリアンプに入力される。一方、音導部が形成されない第２の入力端子を接続部に係合すると、第１の入力端子と同様の電気信号の伝搬経路が構成される。このように、接続部には第１及び第２の入力端子をそれぞれ着脱自在に係合できるので、マイクロホン自体に音源を内蔵することなく、第１の入力端子を用いて容易に内部校正法を実施することができ、マイクロホン単体及びプリアンプ単体の校正を含む規格に準拠することが可能となる。

前記接続部には、前記第１の入力端子と係合する第１の係合部と、前記第２の入力端子と係合する第２の係合部とを設けることができる。この場合の構造例として、前記第１の係合部は前記接続部の先端部分に形成された凹部を含み、前記第２の係合部は前記第１の係合部の内側に形成された凹部を含み、前記第１及び第２の係合部は２段構造の断面形状を有するような構造を挙げることができる。また、他の構造例として、前記接続部に、前記第１及び第２の入力端子の側に突出したリング状の突出部が形成され、前記第１の係合部が前記突出部の外周側を含み、前記第２の係合部が前記突出部の内周側を含む構造を挙げることができる。ただし、第１及び第２の係合部は、第１及び第２の入力端子のそれぞれを着脱自在であれば、基本的に構造は問わない。

前記第１及び第２の係合部を設ける場合には、弾性を有する遮音部材を配置してもよい。これにより、第１の入力端子と第１の係合部の係合部分及び第２の入力端子と第２の係合部の係合部分での音漏れが影響する場合には、ゴム等からなる遮音部材が介在することになり、固定電極の連通部及び接続部の貫通穴を音が伝搬する際の音漏れを有効に防止することができる。

本発明のマイクロホンの構成部材は、多様な形状で構成することができる。例えば、前記貫通穴、前記第１及び第２の入力端子、前記音導部を、中心軸を共通とする円筒状の形状で構成してもよい。これにより、取り扱いが容易なマイクロホンを実現することができる。

前記接続部は前記固定電極と分離可能とすることができる。接続部を固定電極から分離可能とすることで、接続部の構造及び配置の自由度が高くなる。一方、前記接続部は前記固定電極と一体化することができる。接続部を固定電極に一体化することで、全体的に構造が簡素になる。

本発明によれば、固定電極の他端に接続部を設け、後室と固定電極の連通部と接続部の貫通穴とを連通させる構造とし、音導部の有無に応じた２種類の入力端子をそれぞれ接続部と着脱自在に係合可能となる。よって、本発明のマイクロホンと音導部がない第２の入力端子を有する一般的なプリアンプとの使用時には、音響校正器を使用し校正した上で（外部校正法）、通常の音響計測を実施可能とする。また、本発明のマイクロホンと音導部がある第１の入力端子を有するプリアンプとの使用時には、プリアンプに内蔵した音源を使用し校正した上で（内部校正法）、通常の音響計測を実施可能とする。そして、本発明のマイクロホンは一般的なプリアンプ及び音源を内蔵したプリアンプのそれぞれと着脱自在であり、マイクロホン単体及びプリアンプ単体の校正を含む騒音計の規格に準拠することが容易となる。

本発明を適用した第１実施形態に係るマイクロホン１の概略の構造を示す断面図である。 図２（ａ）は、図１のマイクロホン１のうち、接続部３０の断面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）を矢印Ａ方向から見た平面図である。 図２（ａ）の接続部３０に対して入力端子５０（本発明の第１の入力端子）を取り付けた状態の断面図である。 図２（ａ）の接続部３０に対して入力端子６０（本発明の第２の入力端子）を取り付けた状態の断面図である。 本実施形態のマイクロホン１の変形例に関して、図５（ａ）は、図２（ａ）に対応する断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）を矢印Ａ方向から見た平面図である。 図５（ａ）の接続部３５に対して入力端子５０ａ（本発明の第１の入力端子）を取り付けた状態の断面図である。 図５（ａ）の接続部３５に対して入力端子６０（本発明の第２の入力端子）を取り付けた状態の断面図である。 本発明を適用した第２実施形態に係るマイクロホン１ａの概略の構造を示す断面図である。

以下、本発明を適用した実施形態について、図面を参照しながら説明する。ただし、以下に述べる実施形態は本発明の技術思想を適用した形態の例であって、本発明が本実施形態の内容により限定されることはない。

［第１実施形態］
図１は、本発明を適用した第１実施形態に係るマイクロホン１の概略の構造を示す断面図である。第１実施形態のマイクロホン１としては、例えば、バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンを用いることができる。図１に示すマイクロホン１は、主に、外部空間の音に応じて振動する振動膜１０と、エアギャップＧを挟んで振動膜１０と対向する背極部２１を一端とする固定電極２０と、固定電極２０と接続される分離可能な接続部３０と、これらの部材を全体的に収納するハウジング４０とを備えて構成される。

振動膜１０としては、例えば、チタンやニッケルなどの金属薄膜や、表面に金属を貼り付けた合成樹脂フィルムが用いられる。振動膜１０の周辺部は、ハウジング４０の内周側の振動膜固定部１１に固定されている。振動膜固定部１１は、振動膜１０に所定のテンションを加えた状態を保つとともに、振動膜１０とハウジング４０を電気的に導通している。

固定電極２０の一端に位置する背極部２１は、振動膜１０と対向する表面に高分子フィルムが貼り付けられた金属材料からなる。この高分子フィルムは帯電しており、エレクトレット層として機能する。これにより、外部の音が加えられ振動膜１０が変位したとき、振動膜１０と背極部２１（エレクトレット層）の間隔に応じて静電容量が変化するので、容量変化に応じた電気信号を固定電極２０から出力することができる。なお、振動膜１０からハウジング４０はアースとなる。

また、背極部２１は、図１の中央軸Ｃを中心とする円板形状に形成される。そして、背極部２１には、エアギャップＧと後述の後室２２を連通する複数の貫通穴２１ａが形成されている。背極部２１に形成される複数の貫通穴２１ａは、エアギャップＧ内の空気抵抗を減少させることで、音響機械系雑音を低減する役割があり、その個数や形状に応じてマイクロホン１の性能調整が可能となる。

固定電極２０は、背極部２１の背面側において中央軸Ｃに対称的な円筒形状で形成され、その周囲に空間となる後室２２が形成されている。固定電極２０には、校正音の伝搬経路の一部である連通部２３が形成されている。連通部２３は、図１に示すように断面Ｔ字型であり、後室２２と後述の接続部３０の貫通穴３１とが連通部２３を介して連通している。なお、校正音の伝搬経路について詳しくは後述する。また、後室２２とエアギャップＧは、前述の背極部２１の複数の貫通穴２１ａを通じて空間的に連結されるので、マイクロホン１の校正時には、後室２２に伝搬した校正音はエアギャップＧに伝搬して内側から振動膜１０を振動させる。

固定電極２０の他端には、後述の入力端子を着脱するための部材である接続部３０が設けられている。接続部３０は、固定電極２０と機械的及び電気的に接続することで固定電極２０の一部として機能するが、固定電極２０と分離可能な別体である。接続部３０を固定電極２０に取り付けるための構造は限定されないが、例えば、固定電極２０の先端の取付部２４に接続部３０をネジ止めにて取り付け可能な構造を有する。この接続部３０は、後述の２種類の入力端子を着脱自在に係合するための係合部３２を有するが、係合部３２を含む接続部３０及び２種類の入力端子の詳細については後述する（図２〜図４参照）。

ハウジング４０は、前述の振動膜１０、固定電極２０、接続部３０などの部材を収納する。ハウジング４０は、マイクロホン１の外形形状をなし、例えば、全体が円筒形状を有する。

ハウジング４０の前面側には、振動膜１０を保護するためのグリッド４１が設けられている。例えば、グリッド４１により、マイクロホン１を取り扱う作業者の指による接触を防止する。また、グリッド４１には、振動膜１０に外部の音を通過させるための複数の貫通穴が形成されており、その個数や形状に応じてマイクロホン１の性能調整が可能となる。

ハウジング４０及び固定電極２０に取り付けられた絶縁部材４２は、例えば、セラミック材料などの絶縁部材からなり、固定電極２０をハウジング４０から電気的に絶縁させる役割がある。図１に示すように、絶縁部材４２は、後室２２側で固定電極２０の周囲に突出した部分と接続部３０とに挟まれる位置関係で固定される。

次に、図２〜図４を参照して、接続部３０とそれに係合する２種類の入力端子について説明する。図２（ａ）は、図１のマイクロホン１のうち、接続部３０の断面図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）を矢印Ａ方向から見た平面図である。図２（ａ）に示すように、接続部３０には貫通穴３１（３１ａ、３１ｂ）が形成され、貫通穴３１ａは係合部３２に連通している。また、貫通穴３１ｂの取付部２４で固定電極２０とネジ止めする構造を有している。また、接続部３０のうち、固定電極２０と反対側の先端部分には、後述の２種類の入力端子と係合する２段構造の凹部である係合部３２が形成されている。この係合部３２は、中央部分が前述の貫通穴３１ａと連通するとともに、先端部分に形成された凹部３２ａ（第１の係合部）とその内側に形成された凹部３２ｂ（第２の係合部）とを含む。

ここで、図３は、図２（ａ）の接続部３０に対して入力端子５０（本発明の第１の入力端子）を取り付けた状態の断面図を示している。入力端子５０は内部校正法に適応したプリアンプに設けられており、そのプリアンプはマイクロホンからの電気信号を処理する電気回路７０や校正用の音源７１を内蔵している。図３の入力端子５０は、マイクロホン１の通常の音響計測時と内部校正時に用いられ、金属からなる円筒部材の中央部に校正音を伝搬させる音導部５１が形成されている。この入力端子５０は係合部３２の先端部分の凹部３２ａに係合され、係合した状態では入力端子５０の音導部５１が係合部３２の貫通穴３１に連通する構造となっている。また、図３の例では、係合部３２において、入力端子５０と凹部３２ａが係合する部分に、弾性を有するゴム等からなる遮音部材３３が設けられている。遮音部材３３は、入力端子５０と凹部３２ａとの係合に際して音漏れを防止する役割を有するが、音漏れの影響が無視できる場合は遮音部材３３を省略することもできる。

図３に示すように、入力端子５０は、プリアンプの主要部である電気回路７０と電気的に接続されている。また、入力端子５０に形成される音導部５１は、校正音を発生する音源７１の出力側に連通している。従って、マイクロホン１の校正時には、音源７１から発生した校正音が入力端子５０の音導部５１から接続部３０の係合部３２及び貫通穴３１を伝搬し、さらには固定電極２０の連通部２３を経由して後室２２に到達する。これにより、後室２２に面する振動膜１０が校正音に応じて変位し、静電容量が変化することで、容量変化に応じた電気信号が固定電極２０に出力される。この電気信号は、固定電極２０から接続部３０及び入力端子５０を介してプリアンプに送られ、電気回路７０により増幅される。

一方、図４は、図２（ａ）の接続部３０に対して入力端子６０（本発明の第２の入力端子）を取り付けた状態の断面図を示している。入力端子６０は外部校正法に適応したプリアンプに設けられており、そのプリアンプはマイクロホンからの電気信号を処理する電気回路７０を内蔵し、校正用の音源を内蔵していない。図４の入力端子６０は、マイクロホン１の通常の音響計測時に用いられ、前述の入力端子５０とは異なり、音導部が形成されていない。この入力端子６０は係合部３２の内側の凹部３２ｂに係合される。また、図４の例では、係合部３２において、入力端子６０と凹部３２ｂが係合する部分に遮音部材３４が設けられている。この遮音部材３４の役割は前述の遮音部材３３（図３）と同様であり、省略することもできる。

図４に示すように、入力端子６０は、図３と同様の電気回路７０と電気的に接続されている。マイクロホン１の通常の使用時には、外部空間からの音に応じて振動膜１０が変位し、静電容量が変化することで、容量変化に応じた電気信号が固定電極２０に出力される。この電気信号は、固定電極２０から接続部３０及び入力端子６０を介してプリアンプに送られ、電気回路７０により増幅される。

以上説明したように、本実施形態のマイクロホン１の構造を採用することにより、固定電極２０の端部に設けた接続部３０に、マイクロホン１の使用状況に応じて、音導部５１の有無が異なる２種類の入力端子５０、６０をそれぞれ着脱自在に係合することができる。例えば、音導部が形成されない入力端子６０を接続部３０に係合すれば、一般的なプリアンプを用いてマイクロホン１を動作させることができる。一方、音導部５１を有する入力端子５０を接続部３０に係合すれば、音源７１が出力する校正音を音導部５１からの伝搬経路を経て後室２２まで伝搬させ、内部校正法に基づいてマイクロホン１の校正を行うことができる。その結果、音響校正器を携帯することなく、簡単な手段でマイクロホン１単体やプリアンプ単体を含む騒音計の規格に準拠したマイクロホン１の校正を行うことができる。なお、入力端子５０、６０の構造は一例であり、同様の機能を有する限り、異なる構造に変更することができる。例えば、入力端子５０、６０の先端面形状として、円柱形状のような平坦な形状に加えて、半球面形状、半楕円球面形状などを採用することができる。

図１〜図４に基づき説明した接続部３０の構造は一例であって、多様な変形例を適用することができる。図５は、図１〜図４とは異なる構造を有する接続部３５を用いる変形例を示している。本変形例に関して、図５（ａ）は、図２（ａ）に対応する断面図を示すとともに、図５（ｂ）は、図５（ａ）を矢印Ａ方向から見た平面図を示している。

本変形例に係る接続部３５が図２の接続部３０と異なる点は、図２の２段構造の凹部３２ａ、３２ｂからなる係合部３２を突出部３６で置き換えた点である。具体的には、図５（ｂ）に示すように、接続部３５の突出部３６はリング状であり、接続部３５の先端部分の外径よりも小さい領域に形成され、この突出部３６が入力端子５０、６０の側（図５（ａ）において下側）に所定の長さだけ突出した構造を有する。ここでは、突出部３６の外周側が凹部３２ａの役割を成し、突出部３６の内周側が凹部３２ｂの役割を成す。なお、接続部３５のうち、貫通穴３１などの突出部３６以外の構造については、図２の接続部３０と共通である。

図６は、図５（ａ）の接続部３５に対して、図３の入力端子５０と同じ機能を持つ入力端子５０ａ（本発明の第１の入力端子）を取り付けた状態の断面図を示している。入力端子５０ａは、入力端子５０と同様に、内部校正法に適応したプリアンプに設けられており、そのプリアンプはマイクロホンからの電気信号を処理する電気回路７０や校正用の音源７１を内蔵している。入力端子５０ａは、突出部３６の外周側（第１の係合部）に係合され、中央部には図３の音導部５１と同様、音導部５１ａが形成されている。図６の入力端子５０ａは、図３の入力端子５０に比べて、先端部分の径が広がっており、部分的に接続部３５と同じ径に形成されている。入力端子５０ａと突出部３６が係合する部分には、図３の遮音部材３３と同様の役割を有する遮音部材３３ａが設けられている。なお、入力端子５０ａと電気的に接続される電気回路７０と音導部５１ａに向けて校正音を発生する音源７１については、図３と共通である。

一方、図７は、図５（ａ）の接続部３５に対して、図４と同様の入力端子６０（本発明の第２の入力端子）を取り付けた状態の断面図を示している。入力端子６０は、突出部３６の内周側（第２の係合部）に係合される。入力端子６０と突出部３６が係合する部分には、図４の遮音部材３４と同様の役割を有する遮音部材３４ａが設けられている。なお、入力端子６０と電気的に接続される電気回路７０については、図４と共通である。

［第２実施形態］
図８は、本発明を適用した第２実施形態に係るマイクロホン１ａの概略の構造を示す断面図である。既に説明したように、第１実施形態においては、固定電極２０とは別体の接続部３０を分離可能に構成されるが、第２実施形態では固定電極２０の一部として接続部３０ａを一体化した点で異なっている。すなわち、図８に示すように、固定電極２０の円筒形状の部分のうち先端側に相当する接続部３０ａに対し、図１と同様の２段構造の凹部である係合部３２を形成した構造を有する。

第１実施形態の構造では、別体である接続部３０と絶縁部材４２の位置関係に応じて固定電極２０が固定されるが。第２実施形態の構造では、固定電極２０に取り付けた固定電極固定部材４３と絶縁部材４２の位置関係に応じて固定電極２０が固定される。図８において、その他の構造に関しては、図１と共通であるため説明を省略する。

なお、第２実施形態において、第１実施形態で説明した図２〜図７に示す構造に関しては、接続部３０の部分を図８の接続部３０ａで置き換えれば、そのまま適用可能である。いずれの構造においても、第２実施形態で得られる作用効果は、基本的に第１実施形態の場合と共通である。

以上、上記各実施形態に基づき本発明の内容を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で多様な変更を施すことができる。例えば、上記各実施形態に示した具体的なマイクロホン１の構造については、図１〜図８の内容には限定されることなく、本発明の作用効果を得られる限り、適宜に変更することで多様な構造を採用することができる。

１…マイクロホン
１０…振動膜
１１…振動膜固定部
２０…固定電極
２１…背極部
２２…後室
２３…連通部
２４…取付部
３０、３０ａ、３５…接続部
３１…貫通穴
３２…係合部
３３、３３ａ、３４、３４ａ…遮音部材
３６…突出部
４０…ハウジング
４１…グリッド
４２…絶縁部材
４３…固定電極固定部材
５０、５０ａ…入力端子（第１の入力端子）
５１、５１ａ…音導部
６０…入力端子（第２の入力端子）
７０…電気回路
７１…音源

Claims (11)

1. 外部空間の音に応じて振動する振動膜と、
   前記振動膜の内側に形成された内部空間である後室と、
   前記振動膜と空隙を介して対向する背極部を一端とし、他端から前記振動膜の振動に応じた電気信号を出力する固定電極と、
   を備えたマイクロホンであって、
   前記固定電極の前記他端には、貫通穴を有して前記固定電極と電気的に接続される接続部が設けられ、
   前記固定電極には、前記後室と前記貫通穴とを連通する連通部が形成され、
   前記接続部は、校正音を伝搬させる音導部が形成された第１の入力端子と、前記音導部が形成されない第２の入力端子とのそれぞれを着脱自在に係合可能であり、
   前記接続部に前記第１又は第２の入力端子を係合したときは、前記固定電極から前記接続部及び前記第１又は第２の入力端子を経由してプリアンプに至る前記電気信号の信号経路が構成され、さらに前記接続部に前記第１の入力端子を係合したときは、前記プリアンプ内の音源から前記音導部、前記貫通穴、前記連通部を経由して前記後室に至る前記校正音の伝搬路が構成される、
   ことを特徴とするマイクロホン。
2. 前記接続部は、前記第１の入力端子と係合する第１の係合部と、前記第２の入力端子と係合する第２の係合部とを有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロホン。
3. 前記第１の係合部は、前記接続部の先端部分に形成された凹部を含み、前記第２の係合部は、前記第１の係合部の内側に形成された凹部を含み、前記第１及び第２の係合部は２段構造の断面形状を有することを特徴とする請求項２に記載のマイクロホン。
4. 前記接続部には、前記第１及び第２の入力端子の側に突出したリング状の突出部が形成され、前記第１の係合部が前記突出部の外周側を含み、前記第２の係合部が前記突出部の内周側を含むことを特徴とする請求項２に記載のマイクロホン。
5. 前記第１及び第２の係合部には、弾性を有する遮音部材が配置されることを特徴とする請求項２に記載のマイクロホン。
6. 前記貫通穴、前記第１及び第２の入力端子、前記音導部は、中心軸を共通とする円筒状の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロホン。
7. 前記接続部は、前記固定電極と分離可能であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロホン。
8. 前記接続部は、前記固定電極と一体化されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロホン。
9. 外部空間の音に応じて振動する振動膜と、
   前記振動膜の内側に形成された内部空間である後室と、
   前記振動膜と空隙を介して対向する背極部を一端とし、他端から前記振動膜の振動に応じた電気信号を出力する固定電極と、
   を備えたマイクロホンであって、
   前記固定電極の前記他端には、貫通穴を有して前記固定電極と電気的に接続される接続部が設けられるとともに、前記後室と前記貫通穴とを連通する連通部が形成され、
   前記貫通穴と前記連通部を経由して前記後室に至る音の伝搬経路が構成されることを特徴とするマイクロホン。
10. 前記接続部は、前記固定電極と分離可能であることを特徴とする請求項９に記載のマイクロホン。
11. 前記接続部は、前記固定電極と一体化されていることを特徴とする請求項９に記載のマイクロホン。
    

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