JP6705637B2 - 静電チャックの温度検出機構 - Google Patents
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Description
静電チャック10として、外径が300mmで厚さが34.3mmのものを用意した。基材11は、アルミニウムからなり、厚さは30mmであった。断熱層12は、断熱性シリコーン樹脂からなり、厚さは3mmであった。被計測層13は、厚さ0.25mmのポリイミドヒーターを裏面に接着した厚さ1.00mmのアルミナからなり、ポリイミドヒーターとアルミナの総厚は1.30mm(熱伝導性シリコーン接着層の厚さ0.05mmを含む)であった。
付勢部材26を使用し、付勢部材26によるシース熱電対21の先端部21aの被計測層13に対する接触圧力を0.98N/m2とした状態で、シース熱電対21を静電チャック10に固定したほかは、実施例1と同条件で計測層13の温度を計測した。
シース熱電対の先端に銅(Cu)からなるパッド23をロウ付により固定されたほかは、実施例2と同条件で被計測層13の温度を計測した。
穴11b及び穴12a内を真空にしたほかは、実施例3と同条件で被計測層13の温度を計測した。
固定部材22をステンレス鋼からなるものとしたほかは、実施例1と同条件で被計測層13の温度を計測した。
付勢部材26を使用し、付勢部材26によるシース熱電対21の先端部21aの被計測層13に対する接触圧力を0.98N/m2とした状態で、シース熱電対21を静電チャック10に固定し、シース熱電対の先端に銅(Cu)からなるパッド23をロウ付により固定されたほかは、比較例1と同条件で被計測層13の温度を計測した。
Claims (3)
- 基材と、前記基材の表面に形成された断熱層と、前記断熱層の表面に形成された被計測層とを備えた静電チャックにおいて、
先端部が前記被計測層の裏面と接触するシース熱電対と、
前記シース熱電対に設けられ、ステンレス鋼の熱伝導率より低い熱伝導率を有する樹脂からなり、前記基材に形成された被固定部に固定される固定部材と、
前記シース熱電対の前記先端部を付勢して前記被計測層の裏面に押し付ける付勢機構と、
前記被計測層の裏面と前記固定部材との間であって前記シース熱電対が存在する周囲の空間の気圧を減圧させる減圧機構とを備えたことを特徴とする静電チャックの温度検出機構。 - 請求項1に記載の静電チャックの温度検出機構であって、
前記シース熱電対の前記先端部に装着され、ステンレス鋼の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有し、前記先端部の先端面の表面積よりも表面積が大きな先端面を有するパッドを備えることを特徴とする静電チャックの温度検出機構。 - 請求項2に記載の静電チャックの温度検出機構であって、
前記パッドの先端面は、前記被計測層側に突出する曲面であることを特徴とする静電チャックの温度検出機構。
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