JP6700852B2 - 電子部品、めっき方法、及びめっき装置 - Google Patents
電子部品、めっき方法、及びめっき装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6700852B2 JP6700852B2 JP2016034133A JP2016034133A JP6700852B2 JP 6700852 B2 JP6700852 B2 JP 6700852B2 JP 2016034133 A JP2016034133 A JP 2016034133A JP 2016034133 A JP2016034133 A JP 2016034133A JP 6700852 B2 JP6700852 B2 JP 6700852B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plating layer
- alloy
- layer
- metal base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 541
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 115
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 115
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 110
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 80
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 claims description 73
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 claims description 40
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 25
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 154
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 50
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 50
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 50
- 229910017392 Au—Co Inorganic materials 0.000 description 40
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 24
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 17
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 12
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- NNNRGWOWXNCGCV-UHFFFAOYSA-N 4-(2-bromoethyl)benzonitrile Chemical compound BrCCC1=CC=C(C#N)C=C1 NNNRGWOWXNCGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021446 cobalt carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L cobalt dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Co+2] GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229940049699 cobalt gluconate Drugs 0.000 description 2
- 229940044175 cobalt sulfate Drugs 0.000 description 2
- 229910000361 cobalt sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+) sulfate Chemical compound [Co+2].[O-]S([O-])(=O)=O KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ZOTKGJBKKKVBJZ-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+);carbonate Chemical compound [Co+2].[O-]C([O-])=O ZOTKGJBKKKVBJZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WLQXLCXXAPYDIU-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+);disulfamate Chemical compound [Co+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O WLQXLCXXAPYDIU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- AAQNGTNRWPXMPB-UHFFFAOYSA-N dipotassium;dioxido(dioxo)tungsten Chemical compound [K+].[K+].[O-][W]([O-])(=O)=O AAQNGTNRWPXMPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229940099596 manganese sulfate Drugs 0.000 description 2
- 235000007079 manganese sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 239000011702 manganese sulphate Substances 0.000 description 2
- SQQMAOCOWKFBNP-UHFFFAOYSA-L manganese(II) sulfate Chemical compound [Mn+2].[O-]S([O-])(=O)=O SQQMAOCOWKFBNP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- CXIHYTLHIDQMGN-UHFFFAOYSA-L methanesulfonate;nickel(2+) Chemical compound [Ni+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O CXIHYTLHIDQMGN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UQPSGBZICXWIAG-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);dibromide;trihydrate Chemical compound O.O.O.Br[Ni]Br UQPSGBZICXWIAG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNYYBUOBTVHFDN-UHFFFAOYSA-N sodium bismuthate Chemical compound [Na+].[O-][Bi](=O)=O PNYYBUOBTVHFDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DANYXEHCMQHDNX-UHFFFAOYSA-K trichloroiridium Chemical compound Cl[Ir](Cl)Cl DANYXEHCMQHDNX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQXHAJSMTNDJGA-UHFFFAOYSA-O azanium;gold(1+);dicyanide Chemical compound [NH4+].[Au+].N#[C-].N#[C-] IQXHAJSMTNDJGA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- ISDDBQLTUUCGCZ-UHFFFAOYSA-N dipotassium dicyanide Chemical compound [K+].[K+].N#[C-].N#[C-] ISDDBQLTUUCGCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPQDSKZQRXHKHY-UHFFFAOYSA-N gold potassium Chemical compound [K].[Au] KPQDSKZQRXHKHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N nickel tungsten Chemical compound [Ni].[W] MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N potassium;gold(1+);dicyanide Chemical compound [K+].[Au+].N#[C-].N#[C-] XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229940098221 silver cyanide Drugs 0.000 description 1
- LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N silver cyanide Chemical compound [Ag+].N#[C-] LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態に係るメス端子10の斜視図である。また、図2は、図1に示すメス端子10のコンタクト部11を拡大して示す図である。
図3は、図2におけるIII部の断面図であって、メス端子10の表面部分のめっき構造について説明するための図である。
図4は、めっき処理が施される前の金属基材12が複数形成されたフープ材1の一部の斜視図である。
図5は、本発明の実施形態に係るめっき装置20を側方から視た模式図である。また、図6は、図5に示すめっき装置20を上方から視た模式図である。メス端子10は、図5及び図6に示すめっき装置20によって形成される。めっき装置20では、図示しない巻取りリールが、該めっき装置20における下流側に設けられている。そして、めっき装置20では、巻取りリールがフープ材1を巻き取ることにより、該フープ材1が上流側から下流側へ(具体的には、図5及び図6の矢印A方向側へ)順次搬送されながら、以下で詳しく説明するように、該フープ材1にめっき処理が施される。
図8は、フープ材1に第1から第3のめっき層を形成する際の工程を示すフローチャートである。図8を参照して、本実施形態に係るめっき方法について説明する。
次に、本実施形態に係るメス端子10と同じめっき構造を有する試験片A1〜A4について性能評価試験を行った結果について説明する。以下では、各性能評価試験で用いられる試験片の構成について説明する。そしてその後、性能評価試験結果について説明する。
本実施例に係る試験片A1〜A4は、図3を参照して、金属基材12としての銅合金、第1めっき層13としてのニッケルめっき層、第2めっき層14としてのNi−W合金めっき層、及び第3めっき層15としてのAu−Coめっき層、を備えている。なお、試験片A1〜3の金属基材12は、片状に形成されており、試験片A4の金属基材12は、以下で詳しく説明するピンプローブ状に形成されている。
図11は、硝酸ばっき試験後における試験片A1のAu−Coめっき層15の表面写真である。また、図12は、硝酸ばっき試験後における試験片B1のAu−Coめっき層15の表面写真である。硝酸ばっき試験は、試験片A1及び試験片B1の双方において、同条件で行った。図11及び図12では、Au−Coめっき層15における腐食した部分が、楕円枠E内における濃い色で示されている。
図13は、複合ガス中に放置した後の試験片A2のAu−Coめっき層15の表面写真である。また、図14は、複合ガス中に放置した後の試験片B2のAu−Coめっき層15の表面写真である。複合ガスとしては、3種の複合ガス(0.5±0.1ppmのH2S、2.0±0.2ppmのSO2、1.0±0.2ppmのNO2)を用いた。複合ガス試験では、各試験片A2,B2が、35℃、湿度75%の条件下で、上述した3種の複合ガス中に648時間放置された。
図15は、複合ガス中に放置した後の試験片A3と試験片A4との間の接触抵抗試験結果を示すグラフである。また、図16は、複合ガス中に放置した後の試験片B3と試験片B4との間の接触抵抗試験結果を示すグラフである。接触抵抗試験では、一対の試験片A3,A4、及び一対の試験片B3,B4がそれぞれ6つ、準備される。そして、接触抵抗試験では、試験片A3,B3の表面に、ピンプローブ状に形成された試験片A4,B4の接触部Ct(図10参照)が所定の荷重となるように押し当てられ、その状態で一対の試験片の間の接触抵抗が測定される。
以下では、本実施形態のめっき構造が耐腐食性及び接触抵抗の観点において、既知のめっき構造(具体的には、上述した試験片B1〜B4が有するめっき構造)よりも優れている理由について説明する。しかしその前に、本実施形態のめっき構造におけるニッケルめっき層及びNi−W合金めっき層に形成されるピンホールの数、及び、既知のめっき構造におけるニッケルめっき層に形成されるピンホールの数について説明する。
本実施形態に係るメス端子10では、最表層の部分がAu−Co合金めっき層で構成されている。金めっきの原材料として用いられる金は比較的高価であるため、低コスト化の観点において、金合金めっき層に用いられる金の使用量を低減することが求められている。
硝酸ばっき試験で用いられた実施例の試験片A1のAu−Co合金めっき層の厚さは0.063μmであり、比較例の試験片B1のAu−Co合金めっき層の厚さは0.988μmである。上述した通り、硝酸ばっき試験結果によれば、実施例の試験片A1の方が比較例の試験片B1よりも優れているため、硝酸ばっき試験結果の観点からすると、{(0.988−0.063)/0.988}×100=93.6%以上、金の使用量を低減することができる。
複合ガス試験で用いられた実施例の試験片A2のAu−Co合金めっき層の厚さは0.063μmであり、比較例の試験片B2のAu−Co合金めっき層の厚さは0.935μmである。上述した通り、複合ガス試験結果によれば、実施例の試験片A2の方が比較例の試験片B2よりも優れているため、複合ガス試験結果の観点からすると、{(0.935−0.063)/0.935}×100=93.2%以上、金の使用量を低減することができる。
複合ガス試験後、接触抵抗試験が行われた実施例の試験片A3,A4のAu−Co合金めっき層の厚さは0.060〜0.100μmの範囲内であり、比較例の試験片B3,B4のAu−Co合金めっき層の厚さは0.300〜0.400μmの範囲内である。上述した通り、接触抵抗試験結果によれば、実施例の試験片A3,A4の方が比較例の試験片B3,B4よりも優れている。本試験から省金化率を算出するにあたり、上述した場合と同様の式により省金化率を算出するために、試験片A3,A4のAu−Co合金めっき層の厚さを0.080μmとし、試験片B3,B4のAu−Co合金めっき層の厚さを0.350μmとする。そして、省金化率を算出すると、{(0.350−0.080)/0.350}×100=77.1%となる。すなわち、接触抵抗試験結果の観点からすると、77.1%以上、金の使用量を低減することができる。
以上のように、本実施形態に係るメス端子10では、金属基材の表面に、第1めっき層13としてのニッケルめっき層が形成される際、金属基材12に含まれる銅が第1めっき液W1中に溶出する場合がある。そうすると、銅が不純物として第1めっき層13に含まれてしまうため該第1めっき層13に相当数のピンホールが形成されてしまう場合がある。
(1)上述した実施形態では、本発明の適用例としてコネクタのメス端子10を例に挙げて説明したが、この限りでなく、その他の電子部品に適用することもできる。例えば、本発明は、コネクタのオス端子、或いはリレーに適用することもできる。
10 メス端子(電子部品)
12 金属基材
13 第1めっき層
14 第2めっき層
15 第3めっき層
20 めっき装置
26 第1めっき槽
31 第2めっき槽
Claims (4)
- 金属基材と、
前記金属基材の表面に形成された第1めっき層としてのニッケルめっき層又はNi−Co合金めっき層と、
前記第1めっき層の表面に形成された第2めっき層としてのNi−W合金めっき層と、
前記第2めっき層の表面に形成された第3めっき層としての金合金めっき層と、
を備えていることを特徴とする、電子部品。 - 請求項1に記載の電子部品において、
前記金属基材として銅合金が用いられていることを特徴とする、電子部品。 - 金属基材にめっき処理を施すためのめっき方法であって、
前記金属基材の表面に第1めっき層としてのニッケルめっき層又はNi−Co合金めっき層を形成する工程と、
前記第1めっき層を形成する工程で形成された前記第1めっき層の表面に第2めっき層としてのNi−W合金めっき層を形成する工程と、
前記第2めっき層を形成する工程で形成された前記第2めっき層の表面に第3めっき層としての金合金めっき層を形成する工程と、
を含んでいることを特徴とする、めっき方法。 - 複数の金属基材を有するフープ材を所定方向に搬送しながら各前記金属基材にめっき処理を施すめっき装置であって、
前記所定方向に搬送される前記フープ材が浸漬されるめっき液であって、前記金属基材の表面に第1めっき層としてのニッケルめっき層又はNi−Co合金めっき層を形成するための第1めっき液、が溜められる第1めっき槽と、
前記第1めっき層が形成された前記フープ材が浸漬されるめっき液であって、前記第1めっき層の表面に第2めっき層としてのNi−W合金めっき層を形成するための第2めっき液、が溜められ、前記第1めっき槽よりも前記所定方向における下流側に設けられた第2めっき槽と、
前記第2めっき層が形成された前記フープ材が浸漬されるめっき液であって、前記第2めっき層の表面に第3めっき層としての金合金めっき層を形成するための第3めっき液、が溜められ、前記第2めっき槽よりも前記所定方向における下流側に設けられた第3めっき槽と、
を備えていることを特徴とする、めっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016034133A JP6700852B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | 電子部品、めっき方法、及びめっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016034133A JP6700852B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | 電子部品、めっき方法、及びめっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017150039A JP2017150039A (ja) | 2017-08-31 |
JP6700852B2 true JP6700852B2 (ja) | 2020-05-27 |
Family
ID=59738790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016034133A Active JP6700852B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | 電子部品、めっき方法、及びめっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6700852B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110158125B (zh) * | 2018-03-27 | 2021-05-04 | 江西理工大学 | 一种铜箔表面固化处理用镍钨合金镀层固化液及其制作方法 |
KR102148295B1 (ko) * | 2018-07-26 | 2020-08-26 | 히로세코리아 주식회사 | 전기적 접촉 단자 |
CN113659369B (zh) * | 2021-08-19 | 2024-02-27 | 路鑫科技(东莞)有限公司 | 一种连接动力源和线路板的导通件 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3916586B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2007-05-16 | 株式会社三井ハイテック | リードフレームのめっき方法 |
JP4362599B2 (ja) * | 2004-03-05 | 2009-11-11 | Dowaメタルテック株式会社 | 金属部材およびそれを用いた電気接点 |
JP4846740B2 (ja) * | 2008-01-23 | 2011-12-28 | 旭鍍金株式会社 | めっき物の製造方法及び電気めっき方法 |
EP2103712B1 (en) * | 2008-03-20 | 2019-02-13 | ATOTECH Deutschland GmbH | Ni-P layer system and process for its preparation |
US8652649B2 (en) * | 2009-07-10 | 2014-02-18 | Xtalic Corporation | Coated articles and methods |
JP5621570B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-11-12 | 三菱マテリアル株式会社 | Snめっき付き導電材及びその製造方法 |
KR101818085B1 (ko) * | 2010-12-08 | 2018-01-12 | 스미토모덴키고교가부시키가이샤 | 고내식성을 갖는 금속 다공체 및 그의 제조 방법 |
JP2013129902A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Om Sangyo Kk | めっき品及びその製造方法 |
WO2017133758A1 (en) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Lead frame and method for producing a lead frame |
-
2016
- 2016-02-25 JP JP2016034133A patent/JP6700852B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017150039A (ja) | 2017-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6700852B2 (ja) | 電子部品、めっき方法、及びめっき装置 | |
CN108352639B (zh) | 镀锡铜端子材及端子以及电线末端部结构 | |
US10801115B2 (en) | Tinned copper terminal material, terminal, and electrical wire end part structure | |
US9388497B2 (en) | Method of electroless gold plating | |
EP3439114A1 (en) | Automotive terminal | |
TWI648436B (zh) | Sn鍍敷材及其製造方法 | |
EP2905357A1 (en) | Metal material for use in electronic component, and method for producing same | |
JP2009173992A (ja) | めっき物の製造方法及び電気めっき方法 | |
JP2004300524A (ja) | Sn被覆を施した銅または銅合金部材およびその製造方法 | |
TWI732097B (zh) | 連接器用端子材及端子以及電線終端構造 | |
CN110036142A (zh) | Sn镀覆材料及其制造方法 | |
WO2010005088A1 (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
CN104685101A (zh) | 电子零件用金属材料及其制造方法 | |
US10858750B2 (en) | Tin-plated copper terminal material, terminal and electric wire terminal-end structure | |
TWI784076B (zh) | 防蝕端子材及防蝕端子以及電線終端部構造 | |
TWI765040B (zh) | 鍍錫銅端子材、端子及電線終端部構造 | |
CN107851811B (zh) | 燃料电池用通电构件、燃料电池单元、燃料电池堆和燃料电池用通电构件的制造方法 | |
KR20190093520A (ko) | 번인 테스트 소켓용 표면 처리 금속재료, 그것을 이용한 번인 테스트 소켓용 커넥터 및 번인 테스트 소켓 | |
EP3150745A1 (en) | Electric contact material, electric contact material manufacturing method, and terminal | |
JP5234487B2 (ja) | フレキシブルフラットケーブルおよびその製造方法 | |
JP2010090400A (ja) | 導電材及びその製造方法 | |
JP4980266B2 (ja) | 高耐食性めっき鋼材およびその製造方法 | |
JP2014084476A (ja) | 表面処理めっき材およびその製造方法、並びに電子部品 | |
KR20200141943A (ko) | 통 형상 부재, 컨택트 프로브 및 반도체 검사용 소켓 | |
EP3009529A1 (en) | Palladium plate coated material and production method therefor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191004 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20191004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6700852 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |