JP6690158B2 - Inner surface inspection device and positioning method - Google Patents

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本発明は、内面検査装置および位置決め方法に関する。   The present invention relates to an inner surface inspection device and a positioning method.

自動車に搭載されるエンジンの製造工程では、シリンダの内周面に傷や亀裂などの欠陥が無いかどうかを検査する内面検査装置が用いられる。従来の内面検査装置については、例えば、特開2009−69374号公報に記載されている。当該公報の内面検査装置は、孔の内部に挿入される透明な円柱体と、円柱体に光を照射する照明照射手段と、撮像手段と、を有する。円柱体の先端には、円錐状にくり抜かれた円錐部が設けられている。撮像手段は、円錐部に映る像を撮影することにより、孔の内面を検査する。
特開2009−69374号公報
2. Description of the Related Art In a manufacturing process of an engine mounted on an automobile, an inner surface inspection device that inspects an inner peripheral surface of a cylinder for defects such as scratches and cracks is used. A conventional inner surface inspection apparatus is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2009-69374. The inner surface inspection apparatus of the publication has a transparent columnar body that is inserted inside the hole, an illumination irradiation unit that irradiates the columnar body with light, and an imaging unit. At the tip of the columnar body, a conical portion that is hollowed out in a conical shape is provided. The imaging means inspects the inner surface of the hole by taking an image of the cone.
JP, 2009-69374, A

この種の内面検査装置では、透明な円柱体(以下、「ロッドレンズ」と称する)の中心軸が、検査対象となる孔の中心軸と一致するように、ロッドレンズを位置決めする必要がある。ロッドレンズの中心軸が、孔の中心軸からずれた位置に配置されると、取得する画像に偏りが生じたり、本来見えなければならない部分の画像が不鮮明となったりする。これにより、検出すべき欠陥を見落とす虞がある。   In this type of inner surface inspection apparatus, it is necessary to position the rod lens so that the central axis of the transparent cylindrical body (hereinafter referred to as "rod lens") matches the central axis of the hole to be inspected. If the central axis of the rod lens is arranged at a position deviated from the central axis of the hole, the image to be acquired may be biased or the image of the portion that should be visible may become unclear. As a result, the defect to be detected may be overlooked.

従来では、検査工程を担当する作業者が、孔に対するロッドレンズの位置を目視で確認しつつ、内面検査装置をマニュアル操作することによって、ロッドレンズの位置を微調整していた。しかしながら、このようなマニュアル操作では、作業者によって位置決めの精度にばらつきが生じる。また、作業者の操作ミスによって、孔の内周面にロッドレンズが衝突し、ロッドレンズを破損してしまう虞もある。   Conventionally, an operator in charge of the inspection process finely adjusts the position of the rod lens by manually operating the inner surface inspection device while visually confirming the position of the rod lens with respect to the hole. However, in such a manual operation, the positioning accuracy varies depending on the operator. Further, there is a possibility that the rod lens may collide with the inner peripheral surface of the hole and the rod lens may be damaged due to an operation error of the operator.

本発明の目的は、ロッドレンズの中心軸と被検査面の中心軸とが一致するように、ロッドレンズを位置決めする作業を、自動的に行うことができる内面検査装置および位置決め方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide an inner surface inspection apparatus and a positioning method capable of automatically performing the work of positioning the rod lens so that the central axis of the rod lens and the central axis of the surface to be inspected coincide with each other. Is.

本願の例示的な第1発明は、円筒状の内周面である被検査面の状態を検査する内面検査装置であって、中心軸である光軸に沿って軸方向に延び、前記被検査面の内側に挿入される円柱状または円筒状のロッドレンズと、前記ロッドレンズを、前記軸方向および前記軸方向に対して直交する方向に移動させる移動機構と、前記ロッドレンズを介して画像を取得する撮像部と、前記移動機構を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入する第1移動指示部と、前記ロッドレンズを前記軸方向に対して直交する方向に移動させる第2移動指示部と、前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入された状態において、前記撮像部が取得した画像中の前記光軸周りの輝度分布に基づいて、前記光軸に対する前記被検査面の中心軸である目標軸の相対位置を推定する推定部と、前記相対位置に基づいて、前記ロッドレンズを前記目標軸側へ移動させる第3移動指示部と、を有する。 An exemplary first invention of the present application is an inner surface inspection apparatus for inspecting a state of a surface to be inspected, which is a cylindrical inner peripheral surface, and extends in the axial direction along an optical axis which is a central axis, A cylindrical or cylindrical rod lens inserted inside the surface, a moving mechanism for moving the rod lens in the axial direction and a direction orthogonal to the axial direction, and an image through the rod lens. An image pickup unit for acquiring and a control unit for controlling the moving mechanism, wherein the control unit inserts the rod lens inside the surface to be inspected, and the rod lens The brightness around the optical axis in the image acquired by the imaging unit in a state in which the rod lens is inserted inside the surface to be inspected and the second movement instruction unit that moves in a direction orthogonal to the axial direction. Based on the distribution, With the an estimation unit that estimates a relative position of the target axis is the center axis of the test surface that, on the basis of the relative position, and a third movement instruction unit for moving the rod lens into the target shaft side.

本願の例示的な第2発明は、中心軸である光軸に沿って軸方向に延びる円柱状または円筒状のロッドレンズを、円筒状の内周面である被検査面の内側において、位置決めする位置決め方法であって、a)前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入する工程と、b)前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入された状態において、前記ロッドレンズを、前記軸方向に対して直交する方向に移動させ、前記ロッドレンズを介して取得した画像中の前記光軸周りの輝度分布を測定する工程と、c)前記輝度分布に基づいて、前記光軸に対する前記被検査面の中心軸である目標軸の相対位置を推定する工程と、d)前記相対位置に基づいて、前記ロッドレンズを前記目標軸側へ移動させる工程と、を有する。 A second exemplary invention of the present application positions a cylindrical or cylindrical rod lens that extends in the axial direction along an optical axis that is a central axis, inside a surface to be inspected that is a cylindrical inner peripheral surface. A positioning method, comprising: a) inserting the rod lens inside the surface to be inspected; and b) inserting the rod lens inside the surface to be inspected. Moving in a direction orthogonal to the direction, and measuring the luminance distribution around the optical axis in the image acquired via the rod lens, and c) the luminance distribution around the optical axis based on the luminance distribution. The method includes the steps of estimating the relative position of a target axis that is the central axis of the inspection surface, and d) moving the rod lens to the target axis side based on the relative position.

本願の例示的な第1発明および第2発明によれば、ロッドレンズの中心軸と被検査面の中心軸とが一致するように、ロッドレンズを位置決めする作業を、自動的に行うことができる。   According to the exemplary first invention and second invention of the present application, the work of positioning the rod lens can be automatically performed so that the central axis of the rod lens and the central axis of the surface to be inspected coincide with each other. .

図1は、内面検査装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of the inner surface inspection apparatus. 図2は、内面検査装置の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the inner surface inspection apparatus. 図3は、ロッドレンズの位置決めに関係する制御部内の機能を、概念的に示した機能ブロック図である。FIG. 3 is a functional block diagram conceptually showing the functions in the control unit related to the positioning of the rod lens. 図4は、ロッドレンズの位置決め時の処理の流れを示したフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing the flow of processing when positioning the rod lens. 図5は、被検査面の内側におけるロッドレンズの位置の変化を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing changes in the position of the rod lens inside the surface to be inspected. 図6は、被検査面の内側におけるロッドレンズの位置の変化を示した図である。FIG. 6 is a diagram showing changes in the position of the rod lens inside the surface to be inspected. 図7は、被検査面の内側におけるロッドレンズの位置の変化を示した図である。FIG. 7 is a diagram showing changes in the position of the rod lens inside the surface to be inspected. 図8は、被検査面の内側におけるロッドレンズの位置の変化を示した図である。FIG. 8 is a diagram showing changes in the position of the rod lens inside the surface to be inspected. 図9は、位置決め前のロッドレンズを介して取得される画像の例を示した図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of an image acquired via the rod lens before positioning. 図10は、位置決め後のロッドレンズを介して取得される画像の例を示した図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of an image acquired through the rod lens after positioning. 図11は、輝度分布の例を示したグラフである。FIG. 11 is a graph showing an example of the luminance distribution. 図12は、被検査面の内側におけるロッドレンズの位置の変化を示した図である。FIG. 12 is a diagram showing changes in the position of the rod lens inside the surface to be inspected.

以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、本願では、ロッドレンズの中心軸と平行な方向を「軸方向」、ロッドレンズの中心軸に直交する方向を「径方向」、ロッドレンズの中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。また、本願では、軸方向に沿ってロッドレンズの先端側を「軸方向前方」、撮像部側を「軸方向後方」として、各部の形状や位置関係を説明する。   Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present application, a direction parallel to the central axis of the rod lens is “axial direction”, a direction orthogonal to the central axis of the rod lens is “radial direction”, and a direction along an arc centered on the central axis of the rod lens is “ Circumferential direction ". Further, in the present application, the shape and the positional relationship of each part will be described with the front end side of the rod lens along the axial direction as “axial front” and the imaging unit side as “axial rear”.

<1.内面検査装置の全体構成>
図1は、本発明の一実施形態に係る内面検査装置1の斜視図である。図2は、内面検査装置1の断面図である。この内面検査装置1は、貫通孔または凹部の内周面を撮影して、当該内周面の状態に異常が無いかどうかを検査する装置である。内面検査装置1は、例えば、自動車のエンジンに搭載されるシリンダの内周面を検査するために用いられる。ただし、本発明の内面検査装置は、シリンダ以外の被検査物を検査するものであってもよい。
<1. Overall configuration of internal inspection equipment>
FIG. 1 is a perspective view of an inner surface inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view of the inner surface inspection apparatus 1. The inner surface inspection apparatus 1 is an apparatus that images the inner peripheral surface of a through hole or a concave portion and inspects whether the state of the inner peripheral surface is abnormal. The inner surface inspection device 1 is used, for example, to inspect an inner peripheral surface of a cylinder mounted on an engine of an automobile. However, the inner surface inspection apparatus of the present invention may inspect an object to be inspected other than the cylinder.

図1および図2に示すように、本実施形態の内面検査装置1は、ロッドレンズ10、光源20、撮像部30、ケーシング40、移動機構50、および制御部60を有する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the inner surface inspection apparatus 1 of the present embodiment has a rod lens 10, a light source 20, an imaging unit 30, a casing 40, a moving mechanism 50, and a control unit 60.

ロッドレンズ10は、円筒状の内周面である被検査面100の内側に挿入される円柱状の透明部材である。ロッドレンズ10の材料には、例えば、ガラスやアクリルが用いられる。ロッドレンズ10は、中心軸である光軸91に沿って軸方向に延びる。ロッドレンズ10の軸方向後方側の端面である基端面11は、光軸91に対して垂直な平面状に切断されるとともに、その表面が研磨されている。一方、ロッドレンズ10の軸方向前方側の端面である先端面12は、光軸91に対して45°の円錐状にくり抜かれるとともに、その表面が研磨されている。また、ロッドレンズ10の当該先端面12には、ミラーコーティングが施されている。   The rod lens 10 is a cylindrical transparent member that is inserted inside the surface 100 to be inspected, which is a cylindrical inner peripheral surface. As a material of the rod lens 10, for example, glass or acrylic is used. The rod lens 10 extends in the axial direction along the optical axis 91 which is the central axis. A base end surface 11, which is an end surface on the axial rear side of the rod lens 10, is cut into a plane shape perpendicular to the optical axis 91, and the surface thereof is polished. On the other hand, the front end surface 12, which is the end surface on the front side in the axial direction of the rod lens 10, is hollowed out in a conical shape of 45 ° with respect to the optical axis 91, and the surface is polished. The tip surface 12 of the rod lens 10 is mirror-coated.

光源20は、ロッドレンズ10に対して光を照射する発光体である。光源20は、ロッドレンズ10の基端面11よりも軸方向後方に配置されている。本実施形態の光源20は、円環状に形成され、その中央に円孔21を有する。また、光源20は、ロッドレンズ10の光軸91と同軸に配置される。光源20から出射される光は、ロッドレンズ10の基端面11を介してロッドレンズ10内へ入射する。また、当該光は、ロッドレンズ10の円錐状の先端面12により径方向外側へ反射して、円筒状の被検査面100に照射される。   The light source 20 is a light emitting body that irradiates the rod lens 10 with light. The light source 20 is arranged axially rearward of the base end surface 11 of the rod lens 10. The light source 20 of the present embodiment is formed in an annular shape and has a circular hole 21 in the center thereof. The light source 20 is arranged coaxially with the optical axis 91 of the rod lens 10. The light emitted from the light source 20 enters the rod lens 10 via the base end surface 11 of the rod lens 10. Further, the light is reflected radially outward by the conical tip surface 12 of the rod lens 10 and is irradiated on the cylindrical surface 100 to be inspected.

撮像部30は、ロッドレンズ10を介して被検査面100の画像を取得するための手段である。撮像部30には、例えば、CCDやCMOS等の撮像素子を有するデジタルカメラが用いられる。撮像部30は、光源20よりも軸方向後方側に配置されている。光源20から出射して、被検査面100に照射された光は、再びロッドレンズ10内に入射し、円錐状の先端面12において反射して、軸方向後方へ向かう。そして、当該反射光は、ロッドレンズ10の基端面11および光源20の円孔21を通って、撮像部30へ入射する。これにより、撮像部30は、被検査面100の画像を取得することができる。   The imaging unit 30 is means for acquiring an image of the surface 100 to be inspected via the rod lens 10. As the image pickup unit 30, for example, a digital camera having an image pickup device such as CCD or CMOS is used. The imaging unit 30 is arranged on the axial rear side of the light source 20. The light emitted from the light source 20 and irradiated on the surface 100 to be inspected again enters the rod lens 10, is reflected by the conical tip surface 12, and travels axially rearward. Then, the reflected light passes through the base end surface 11 of the rod lens 10 and the circular hole 21 of the light source 20 and enters the imaging unit 30. Thereby, the imaging unit 30 can acquire an image of the surface 100 to be inspected.

ケーシング40は、ロッドレンズ10、光源20、および撮像部30を保持する筐体である。ロッドレンズ10の基端部は、ケーシング40の軸方向前方の面に設けられた貫通孔41に挿入されるとともに、ケーシング40に固定される。光源20は、ケーシング40の内部に配置される。また、撮像部30は、ケーシング40の軸方向後端部に固定される。ロッドレンズ10、光源20、および撮像部30の相互の相対的な位置関係は、ケーシング40により固定される。   The casing 40 is a housing that holds the rod lens 10, the light source 20, and the imaging unit 30. The base end portion of the rod lens 10 is inserted into a through hole 41 provided in the front surface of the casing 40 in the axial direction, and is fixed to the casing 40. The light source 20 is arranged inside the casing 40. The imaging unit 30 is fixed to the axially rear end of the casing 40. The relative positional relationship among the rod lens 10, the light source 20, and the imaging unit 30 is fixed by the casing 40.

移動機構50は、ロッドレンズ10、光源20、撮像部30、およびケーシング40を移動させる機構である。移動機構50は、ケーシング40を支持するステージ51を有する。移動機構50は、モータ等の駆動源から生じる駆動力を、ボールネジ等の動力伝達機構を介して、ステージ51に伝達する。これにより、ステージ51を、軸方向、軸方向に対して直交する水平方向、および軸方向に対して直交する鉛直方向の3方向に移動させることができる。ステージ51が移動すると、ステージ51とともに、ロッドレンズ10、光源20、撮像部30、およびケーシング40も一体として移動する。   The moving mechanism 50 is a mechanism that moves the rod lens 10, the light source 20, the imaging unit 30, and the casing 40. The moving mechanism 50 has a stage 51 that supports the casing 40. The moving mechanism 50 transmits a driving force generated from a driving source such as a motor to the stage 51 via a power transmission mechanism such as a ball screw. As a result, the stage 51 can be moved in the three directions of the axial direction, the horizontal direction orthogonal to the axial direction, and the vertical direction orthogonal to the axial direction. When the stage 51 moves, the rod lens 10, the light source 20, the imaging unit 30, and the casing 40 move together with the stage 51.

制御部60は、内面検査装置1内の各部を動作制御するための手段である。制御部60は、CPU等の演算処理部、RAM等のメモリ、およびハードディスクドライブ等の記憶部を有するパーソナルコンピュータにより構成される。また、図1中に矢印で示したように、制御部60は、上述した光源20、撮像部30、および移動機構50と、それぞれ電気的に接続されている。制御部60は、移動機構50を動作制御することにより、被検査面100の内側にロッドレンズ10を位置決めする。また、制御部60は、光源20を発光させつつ、撮像部30により撮影された被検査面100の画像を取得する。そして、得られた画像を解析することによって、被検査面100の状態に異常が無いかどうかを検査する。   The control unit 60 is a unit for controlling the operation of each unit in the inner surface inspection apparatus 1. The control unit 60 is composed of a personal computer having an arithmetic processing unit such as a CPU, a memory such as a RAM, and a storage unit such as a hard disk drive. Further, as indicated by an arrow in FIG. 1, the control unit 60 is electrically connected to each of the light source 20, the imaging unit 30, and the moving mechanism 50 described above. The control unit 60 positions the rod lens 10 inside the surface 100 to be inspected by controlling the operation of the moving mechanism 50. In addition, the control unit 60 acquires the image of the surface 100 to be inspected captured by the imaging unit 30 while causing the light source 20 to emit light. Then, by analyzing the obtained image, it is inspected whether there is any abnormality in the state of the surface 100 to be inspected.

また、図1に示すように、制御部60には、表示部601が接続されている。表示部601は、撮像部30が取得した画像や、検査に関わる種々の情報を画面上に表示する。表示部601には、例えば、液晶ディスプレイが用いられる。内面検査装置1のユーザは、表示部601に表示された画像や情報を、随時確認することができる。   Further, as shown in FIG. 1, a display unit 601 is connected to the control unit 60. The display unit 601 displays the image acquired by the imaging unit 30 and various information related to the inspection on the screen. For the display unit 601, for example, a liquid crystal display is used. The user of the inner surface inspection apparatus 1 can check the images and information displayed on the display unit 601 at any time.

<2.ロッドレンズの位置決めについて>
この内面検査装置1では、検査の開始時に、ロッドレンズ10を、被検査面100の内側に位置決めする。以下では、当該位置決め時の動作について、説明する。
<2. Positioning of rod lens>
In this inner surface inspection apparatus 1, the rod lens 10 is positioned inside the surface 100 to be inspected at the start of the inspection. The operation at the time of positioning will be described below.

図3は、ロッドレンズ10の位置決めに関係する制御部60内の機能を、概念的に示した機能ブロック図である。図3に示すように、本実施形態の制御部60は、画像入力部61、判定部62、推定部63、第1移動指示部64、第2移動指示部65、および第3移動指示部66を有する。推定部63は、輝度分布取得部631、仮想直線演算部632、および相対位置演算部633を含む。これらの各部の機能は、制御部60としてのコンピュータが、インストールされたコンピュータプログラムに従って動作することにより実現される。   FIG. 3 is a functional block diagram conceptually showing the functions in the control unit 60 related to the positioning of the rod lens 10. As illustrated in FIG. 3, the control unit 60 according to the present embodiment includes an image input unit 61, a determination unit 62, an estimation unit 63, a first movement instruction unit 64, a second movement instruction unit 65, and a third movement instruction unit 66. Have. The estimation unit 63 includes a brightness distribution acquisition unit 631, a virtual straight line calculation unit 632, and a relative position calculation unit 633. The functions of these units are realized by the computer as the control unit 60 operating according to the installed computer program.

図4は、ロッドレンズ10の位置決め時の処理の流れを示したフローチャートである。図5〜図8は、被検査面100の内側におけるロッドレンズ10の位置の変化を示した図である。図5〜図8には、光軸91に対して直交する断面が示されている。   FIG. 4 is a flowchart showing the flow of processing when positioning the rod lens 10. 5 to 8 are diagrams showing changes in the position of the rod lens 10 inside the surface 100 to be inspected. 5 to 8 show cross sections orthogonal to the optical axis 91.

ロッドレンズ10の位置決めを行うときには、まず、制御部60内の第1移動指示部64が、移動機構50に制御信号を送信する。これにより、移動機構50を動作させて、被検査面100の内側に、ロッドレンズ10を挿入する(ステップS1)。このとき、移動機構50は、予め入力された位置情報に基づき、被検査面100の中心軸(以下、「目標軸92」と称する)の位置を目指して、ロッドレンズ10を移動させる。ただし、このステップS1では、移動機構50の駆動誤差により、移動後のロッドレンズ10の光軸91は、目標軸92と厳密には一致しない。すなわち、図5のように、ロッドレンズ10の光軸91は、目標軸92からずれた位置に配置される。   When positioning the rod lens 10, first, the first movement instruction section 64 in the control section 60 transmits a control signal to the movement mechanism 50. Thus, the moving mechanism 50 is operated to insert the rod lens 10 inside the surface 100 to be inspected (step S1). At this time, the moving mechanism 50 moves the rod lens 10 toward the position of the central axis of the surface 100 to be inspected (hereinafter referred to as “target axis 92”) based on the position information input in advance. However, in this step S1, the optical axis 91 of the rod lens 10 after movement does not exactly coincide with the target axis 92 due to a drive error of the movement mechanism 50. That is, as shown in FIG. 5, the optical axis 91 of the rod lens 10 is arranged at a position displaced from the target axis 92.

被検査面100の内側にロッドレンズ10が挿入されると、制御部60は、光源20を発光させつつ、撮像部30による撮影を実行させる。撮影により取得された画像は、制御部60内の画像入力部61に入力される(ステップS2)。   When the rod lens 10 is inserted inside the surface 100 to be inspected, the control unit 60 causes the light source 20 to emit light and causes the imaging unit 30 to perform imaging. The image acquired by photographing is input to the image input unit 61 in the control unit 60 (step S2).

次に、制御部60内の輝度分布取得部631が、取得された画像中の光軸91周りの輝度分布を測定する(ステップS3)。図9は、被検査面100の内側にロッドレンズ10を挿入した後、最初に取得される画像の例を示した図である。光軸91と目標軸92とが一致していない場合には、図9のように、画像中の光軸91の周りに、輝度の変化が明瞭に生じる。具体的には、光軸91の周りに、輝度の高い部分と輝度の低い部分とが、周方向に約90°間隔で交互に生じる。特に、光軸91から目標軸92へ向かう方向の輝度は低くなる。   Next, the brightness distribution acquisition unit 631 in the control unit 60 measures the brightness distribution around the optical axis 91 in the acquired image (step S3). FIG. 9 is a diagram showing an example of an image first acquired after the rod lens 10 is inserted inside the surface 100 to be inspected. When the optical axis 91 and the target axis 92 do not coincide with each other, a change in brightness clearly occurs around the optical axis 91 in the image, as shown in FIG. Specifically, high-luminance portions and low-luminance portions alternate around the optical axis 91 at approximately 90 ° intervals in the circumferential direction. In particular, the brightness in the direction from the optical axis 91 to the target axis 92 becomes low.

ステップS3では、輝度分布取得部631が、光軸91を中心とする測定円93に沿って、画像中の輝度分布を測定する。測定円93の径は、輝度の変化を捉えやすい大きさに、設定すればよい。例えば、ロッドレンズ10の外周面よりもやや径方向内側の部分では、輝度の変化が生じやすい。このため、測定円93は、例えば、ロッドレンズ10の外周面よりも径方向内側で、かつ、光軸91よりもロッドレンズ10の外周面に近い円とすればよい。   In step S3, the brightness distribution acquisition unit 631 measures the brightness distribution in the image along the measurement circle 93 centered on the optical axis 91. The diameter of the measurement circle 93 may be set to a size that makes it easy to capture changes in brightness. For example, a change in luminance is likely to occur in a portion slightly inward of the outer peripheral surface of the rod lens 10 in the radial direction. Therefore, the measurement circle 93 may be, for example, a circle that is radially inward of the outer peripheral surface of the rod lens 10 and closer to the outer peripheral surface of the rod lens 10 than the optical axis 91.

図11は、ステップS3の測定により得られる輝度分布の例を示したグラフである。図11の横軸は、光軸91周りの角度位置を示している。図11の縦軸は、画像中の測定円93と重なる位置の輝度を示している。光軸91と目標軸92とが一致していない場合には、図11のように、光軸91を中心とする測定円93に沿った輝度が、約180°周期で変化する。   FIG. 11 is a graph showing an example of the luminance distribution obtained by the measurement in step S3. The horizontal axis of FIG. 11 indicates the angular position around the optical axis 91. The vertical axis of FIG. 11 represents the luminance at the position overlapping the measurement circle 93 in the image. When the optical axis 91 and the target axis 92 do not coincide with each other, as shown in FIG. 11, the brightness along the measurement circle 93 centered on the optical axis 91 changes in a cycle of about 180 °.

本実施形態では、位置決めの開始時には、制御部60内のカウント値が0に設定されているものとする。ステップS3の輝度分布の測定が完了すると、制御部60は、カウント値を1つインクリメントさせる(ステップS4)。例えば、被検査面100の内側にロッドレンズ10が挿入された後、最初の輝度分布の測定が終了したときには、制御部60内のカウント値を0から1にインクリメントさせる。その後、制御部60は、カウント値が予め設定された閾値Nよりも大きいか否かを判定する(ステップS5)。本実施形態では、閾値Nの値を1とするが、閾値Nの値は、2以上の整数としてもよい。閾値Nの値は、後述する仮想直線の必要数に応じて適宜に設定すればよい。   In this embodiment, the count value in the control unit 60 is set to 0 at the start of positioning. When the measurement of the luminance distribution in step S3 is completed, the control unit 60 increments the count value by 1 (step S4). For example, when the first measurement of the luminance distribution is completed after the rod lens 10 is inserted inside the surface 100 to be inspected, the count value in the control unit 60 is incremented from 0 to 1. Then, the control unit 60 determines whether the count value is larger than a preset threshold value N (step S5). In the present embodiment, the value of the threshold value N is 1, but the value of the threshold value N may be an integer of 2 or more. The value of the threshold N may be set appropriately according to the required number of virtual straight lines described later.

カウント値が閾値N以下の場合には、制御部60内の第2移動指示部65が、移動機構50に制御信号を送信する。これにより、図6のように、ロッドレンズ10を、軸方向に対して直交する方向に移動させる(ステップS6)。ロッドレンズ10を移動させた後、内面検査装置1は、移動後のロッドレンズ10の位置において、再び、画像の取得(ステップS2)、輝度分布の測定(ステップS3)、およびカウント値のインクリメント(ステップS4)を行う。そして、カウント値が、閾値Nよりも大きいか否かを判定する(ステップS5)。   When the count value is equal to or less than the threshold value N, the second movement instruction section 65 in the control section 60 transmits a control signal to the movement mechanism 50. Thereby, as shown in FIG. 6, the rod lens 10 is moved in the direction orthogonal to the axial direction (step S6). After moving the rod lens 10, the inner surface inspection apparatus 1 again acquires an image (step S2), measures the luminance distribution (step S3), and increments the count value (at the position of the rod lens 10 after the movement). Perform step S4). Then, it is determined whether the count value is larger than the threshold value N (step S5).

ステップS5において、カウント値が閾値Nよりも大きくなると、制御部60内の仮想直線演算部632は、ロッドレンズ10の移動の前後に取得された複数の画像のそれぞれにおいて、仮想直線を求める(ステップS7)。仮想直線は、ロッドレンズ10の光軸91を通り、かつ、光軸91周りの輝度が極小となる角度に延びる直線とする。例えば、図11のような輝度分布が得られた場合には、光軸91を通り、かつ、互いに180°離れた角度θ1,θ2を通る直線が仮想直線となる。上述の通り、光軸91から目標軸92へ向かう方向の輝度は低くなる。したがって、目標軸92は、仮想直線の近くに位置すると推定される。ステップS7では、このような仮想直線を、取得した複数の画像のそれぞれについて求める。これにより、例えば、図7のような2本の仮想直線L1,L2が求められる。   When the count value becomes larger than the threshold value N in step S5, the virtual straight line calculation unit 632 in the control unit 60 obtains a virtual straight line in each of the plurality of images obtained before and after the movement of the rod lens 10 (step S5). S7). The virtual straight line is a straight line that passes through the optical axis 91 of the rod lens 10 and extends at an angle around the optical axis 91 at which the brightness is minimized. For example, when the brightness distribution as shown in FIG. 11 is obtained, a straight line passing through the optical axis 91 and passing through the angles θ1 and θ2 that are 180 ° apart from each other is a virtual straight line. As described above, the brightness in the direction from the optical axis 91 to the target axis 92 becomes low. Therefore, the target axis 92 is estimated to be located near the virtual straight line. In step S7, such a virtual straight line is obtained for each of the acquired images. Thereby, for example, two virtual straight lines L1 and L2 as shown in FIG. 7 are obtained.

その後、制御部60内の相対位置演算部633は、2本の仮想直線L1,L2の交点の座標を演算する。そして、当該交点の座標を、目標軸92の位置と推定する(ステップS8)。目標軸92の位置が推定されると、その時点におけるロッドレンズ10の光軸91に対する目標軸92の相対位置も推定できる。制御部60の第3移動指示部66は、得られた相対位置の情報に基づいて、移動機構50に制御信号を送信する。これにより、図8のように、推定された目標軸92の位置へ、ロッドレンズ10を移動させる(ステップS9)。その結果、ロッドレンズ10の光軸91と目標軸92とが略一致する。   After that, the relative position calculation unit 633 in the control unit 60 calculates the coordinates of the intersection of the two virtual straight lines L1 and L2. Then, the coordinates of the intersection are estimated as the position of the target axis 92 (step S8). When the position of the target axis 92 is estimated, the relative position of the target axis 92 with respect to the optical axis 91 of the rod lens 10 at that time can also be estimated. The third movement instruction unit 66 of the control unit 60 transmits a control signal to the movement mechanism 50 based on the obtained information on the relative position. As a result, the rod lens 10 is moved to the estimated position of the target axis 92 as shown in FIG. 8 (step S9). As a result, the optical axis 91 of the rod lens 10 and the target axis 92 substantially coincide with each other.

その後、制御部60は、位置決め後のロッドレンズ10の位置において、再び光源20を発光させつつ、撮像部30による撮影を行う。撮影により取得された画像は、制御部60内の画像入力部61に入力される。制御部60は、取得された画像における光軸91周りの輝度分布を取得する。図10は、位置決め後のロッドレンズ10を介して取得される画像の例を示した図である。光軸91と目標軸92とが略一致した場合には、図10のように、画像中の光軸91の周りにおいて、輝度の変化が小さくなる。   After that, the control unit 60 causes the imaging unit 30 to perform imaging while causing the light source 20 to emit light again at the position of the rod lens 10 after positioning. The image acquired by shooting is input to the image input unit 61 in the control unit 60. The control unit 60 acquires the brightness distribution around the optical axis 91 in the acquired image. FIG. 10 is a diagram showing an example of an image acquired via the rod lens 10 after positioning. When the optical axis 91 and the target axis 92 are substantially coincident with each other, the change in brightness is small around the optical axis 91 in the image, as shown in FIG.

制御部60内の判定部62は、取得した輝度分布が、予め設定された許容条件に合致しているか否かを判定する(ステップS10)。例えば、取得した輝度の最大値と最小値との差が、予め設定された許容値よりも小さいかどうかを判定する。そして、輝度の差が許容値よりも小さければ、光軸91の位置と目標軸92の位置とが略一致したと判断して、ロッドレンズ10の位置決めを完了する。一方、輝度の差が許容値よりも大きい場合には、目標軸92に対して光軸91が、まだ十分に接近していないと判断する。その場合には、ステップS2に戻り、ステップS2〜S10の処理を再度実行する。   The determination unit 62 in the control unit 60 determines whether or not the acquired brightness distribution matches a preset allowable condition (step S10). For example, it is determined whether the difference between the maximum value and the minimum value of the acquired brightness is smaller than a preset allowable value. Then, if the difference in brightness is smaller than the allowable value, it is determined that the position of the optical axis 91 and the position of the target axis 92 substantially match, and the positioning of the rod lens 10 is completed. On the other hand, when the difference in brightness is larger than the allowable value, it is determined that the optical axis 91 is not yet sufficiently close to the target axis 92. In that case, the process returns to step S2 and the processes of steps S2 to S10 are executed again.

このように、この内面検査装置1では、ロッドレンズ10を介して得られる画像中の輝度分布を利用して、被検査面100の内側におけるロッドレンズ10の位置を、制御部60が自動的に微調整する。したがって、ロッドレンズ10を精密に位置決めする作業を、作業者が手動で行う必要がない。これにより、内面検査装置1のオペレーションにかかる作業者の負担を軽減できる。   As described above, in the inner surface inspection apparatus 1, the control unit 60 automatically determines the position of the rod lens 10 inside the surface 100 to be inspected by utilizing the luminance distribution in the image obtained through the rod lens 10. Fine tune. Therefore, it is not necessary for the operator to manually perform the work of precisely positioning the rod lens 10. As a result, the operator's burden on the operation of the inner surface inspection apparatus 1 can be reduced.

<3.変形例>
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
<3. Modification>
Although the exemplary embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments.

上記の実施形態では、ステップS5の閾値Nを1としていた。このため、ステップS6のロッドレンズ10の移動を1回だけ実行していた。制御部60は、1回の移動の前後において取得される2つの画像の各々について、輝度分布を測定して仮想直線L1,L2を求めていた。そして、2本の仮想直線L1,L2の交点を、目標軸92の位置として推定していた。しかしながら、ステップS5の閾値Nを2以上とすることによって、ステップS6のロッドレンズ10の移動を、2回以上行ってもよい。その場合、移動の前後において取得される3つ以上の画像の各々について、輝度分布を測定して仮想直線を求めればよい。   In the above embodiment, the threshold N in step S5 is set to 1. Therefore, the movement of the rod lens 10 in step S6 is executed only once. The control unit 60 has measured the luminance distribution for each of the two images acquired before and after one movement to obtain the virtual straight lines L1 and L2. Then, the intersection of the two virtual straight lines L1 and L2 is estimated as the position of the target axis 92. However, the movement of the rod lens 10 in step S6 may be performed twice or more by setting the threshold value N in step S5 to 2 or more. In that case, the luminance distribution may be measured for each of the three or more images acquired before and after the movement to obtain the virtual straight line.

例えば、図12のように、ロッドレンズ10を、まず、軸方向に対して直交する第1方向A1に移動させ、その後、軸方向に対して直交する第2方向A2に移動させてもよい。この場合、A1の移動の前、A1の移動とA2の移動との間、およびA2の移動の後、の3つの時点において撮影された画像の各々において、光軸周りの輝度分布を取得するとともに、輝度が極小となる角度に延びる3本の仮想直線L1〜L3を求める。そして、3本の仮想直線L1〜L3の交点を結ぶ三角形の内側に、目標軸92の位置を推定する。例えば、当該三角形の重心位置を、目標軸92の位置と推定すればよい。   For example, as shown in FIG. 12, the rod lens 10 may be first moved in the first direction A1 orthogonal to the axial direction and then moved in the second direction A2 orthogonal to the axial direction. In this case, the luminance distribution around the optical axis is acquired in each of the images captured at three time points before the movement of A1, between the movement of A1 and the movement of A2, and after the movement of A2. , Three virtual straight lines L1 to L3 extending at the angle at which the luminance is minimized are obtained. Then, the position of the target axis 92 is estimated inside the triangle connecting the intersections of the three virtual straight lines L1 to L3. For example, the position of the center of gravity of the triangle may be estimated as the position of the target axis 92.

このように、3本以上の仮想直線を求め、仮想直線の交点を結ぶ多角形の内側に目標軸92の位置を推定すれば、推定に用いる仮想直線が2本の場合よりも、目標軸92の位置をより正確に推定できる。   In this way, if three or more virtual straight lines are obtained and the position of the target axis 92 is estimated inside the polygon connecting the intersections of the virtual straight lines, the target axis 92 is estimated more than when the number of virtual straight lines used for estimation is two. The position of can be estimated more accurately.

また、図12の例では、第1方向A1にロッドレンズ10を移動させた後、第1方向A1とは異なる第2方向A2にロッドレンズ10を移動させている。このようにすれば、ロッドレンズ10を同方向に複数回移動させる場合よりも、複数の仮想直線の向きを変化させることができる。したがって、ロッドレンズ10の光軸91に対する目標軸92の相対位置を、より正確に推定できる。   Further, in the example of FIG. 12, after the rod lens 10 is moved in the first direction A1, the rod lens 10 is moved in the second direction A2 different from the first direction A1. With this configuration, the directions of the plurality of virtual straight lines can be changed as compared with the case where the rod lens 10 is moved in the same direction a plurality of times. Therefore, the relative position of the target axis 92 with respect to the optical axis 91 of the rod lens 10 can be estimated more accurately.

また、上記の実施形態では、円柱状のロッドレンズ10を用いていた。しかしながら、円柱状のロッドレンズに代えて、光軸に沿って延びる円筒状のロッドレンズを用いてもよい。また、上記の実施形態では、ロッドレンズ10の先端面12が、光軸91に対して45°の円錐状となっていた。しかしながら、ロッドレンズ10の先端面12の角度は、撮像する位置に応じた他の角度であってもよい。また、ロッドレンズ10の先端面12は、円錐状以外の形状であってもよい。   Further, in the above embodiment, the cylindrical rod lens 10 is used. However, instead of the cylindrical rod lens, a cylindrical rod lens extending along the optical axis may be used. Further, in the above embodiment, the tip end surface 12 of the rod lens 10 has a conical shape of 45 ° with respect to the optical axis 91. However, the angle of the tip surface 12 of the rod lens 10 may be another angle depending on the position where the image is captured. The tip surface 12 of the rod lens 10 may have a shape other than the conical shape.

また、上記の実施形態では、制御部60としてパーソナルコンピュータを用いていた。しかしながら、パーソナルコンピュータに代えて、CPUを有するマイコン等の演算処理部が搭載された電気回路装置を、制御部60として用いてもよい。   Moreover, in the above-described embodiment, the personal computer is used as the control unit 60. However, instead of the personal computer, an electric circuit device equipped with an arithmetic processing unit such as a microcomputer having a CPU may be used as the control unit 60.

なお、本発明における「輝度」は、撮像部に入射する光の量を反映したパラメータであればよい。したがって、本発明における「輝度」は、濃度、明度、照度、ピクセル値等と称される値であってもよい。   It should be noted that the “brightness” in the present invention may be a parameter that reflects the amount of light incident on the imaging unit. Therefore, the “luminance” in the present invention may be a value called density, brightness, illuminance, pixel value, or the like.

その他、内面検査装置の細部の形状や構造については、本願の各図と相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。   In addition, the detailed shape and structure of the inner surface inspection apparatus may be different from the drawings of the present application. Further, the respective elements appearing in the above-described embodiments and modified examples may be appropriately combined as long as no contradiction occurs.

本発明は、内面検査装置および位置決め方法に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for an inner surface inspection device and a positioning method.

1 内面検査装置
10 ロッドレンズ
11 基端面
12 先端面
20 光源
21 円孔
30 撮像部
40 ケーシング
41 貫通孔
50 移動機構
51 ステージ
60 制御部
61 画像入力部
62 判定部
63 推定部
64 第1移動指示部
65 第2移動指示部
66 第3移動指示部
91 光軸
92 目標軸
93 測定円
100 被検査面
601 表示部
631 輝度分布取得部
632 仮想直線演算部
633 相対位置演算部
L1,L2,L3 仮想直線
1 Inner Surface Inspection Device 10 Rod Lens 11 Base End Surface 12 Tip Surface 20 Light Source 21 Circular Hole 30 Imaging Section 40 Casing 41 Through Hole 50 Moving Mechanism 51 Stage 60 Control Section 61 Image Input Section 62 Judgment Section 63 Estimating Section 64 First Movement Instructing Section 65 Second movement instruction section 66 Third movement instruction section 91 Optical axis 92 Target axis 93 Measurement circle 100 Inspected surface 601 Display section 631 Brightness distribution acquisition section 632 Virtual straight line calculation section 633 Relative position calculation section L1, L2, L3 Virtual straight line

Claims (10)

円筒状の内周面である被検査面の状態を検査する内面検査装置であって、
中心軸である光軸に沿って軸方向に延び、前記被検査面の内側に挿入される円柱状または円筒状のロッドレンズと、
前記ロッドレンズを、前記軸方向および前記軸方向に対して直交する方向に移動させる移動機構と、
前記ロッドレンズを介して画像を取得する撮像部と、
前記移動機構を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入する第1移動指示部と、
前記ロッドレンズを前記軸方向に対して直交する方向に移動させる第2移動指示部と、
前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入された状態において、前記撮像部が取得した画像中の前記光軸周りの輝度分布に基づいて、前記光軸に対する前記被検査面の中心軸である目標軸の相対位置を推定する推定部と、
前記相対位置に基づいて、前記ロッドレンズを前記目標軸側へ移動させる第3移動指示部と、を有し、
前記推定部は、
前記第2移動指示部による前記ロッドレンズの移動の前後において取得された複数の前記画像のそれぞれにおいて、前記光軸周りの輝度分布を測定するとともに、輝度が極小となる角度に延びる仮想直線を求め、
複数の前記仮想直線の交点に基づいて、前記相対位置を推定する内面検査装置。
An inner surface inspection device for inspecting a state of a surface to be inspected, which is a cylindrical inner peripheral surface,
A cylindrical or cylindrical rod lens that extends in the axial direction along the optical axis that is the central axis and is inserted inside the surface to be inspected,
A moving mechanism that moves the rod lens in the axial direction and a direction orthogonal to the axial direction;
An imaging unit that acquires an image via the rod lens,
A control unit for controlling the moving mechanism,
The control unit is
A first movement instructing section for inserting the rod lens inside the surface to be inspected;
A second movement instructing section that moves the rod lens in a direction orthogonal to the axial direction;
In a state in which the rod lens is inserted inside the surface to be inspected, the center axis of the surface to be inspected with respect to the optical axis is based on the luminance distribution around the optical axis in the image acquired by the imaging unit. An estimation unit that estimates the relative position of the target axis,
Based on the relative position, the rod lens have a, and a third movement instruction unit that moves into the target shaft side,
The estimation unit is
In each of the plurality of images acquired before and after the movement of the rod lens by the second movement instruction unit, the luminance distribution around the optical axis is measured, and a virtual straight line extending at an angle at which the luminance is minimized is obtained. ,
An inner surface inspection apparatus that estimates the relative position based on an intersection of a plurality of the virtual straight lines.
請求項に記載の内面検査装置であって、
前記推定部は、
前記第2移動指示部による前記ロッドレンズの複数回の移動の前後において取得された3つ以上の前記画像のそれぞれにおいて、前記光軸周りの輝度分布を測定するとともに、輝度が極小となる角度に延びる仮想直線を求め、
3つ以上の前記仮想直線の交点を結ぶ多角形の内側に、前記目標軸の位置を推定する内面検査装置。
The inner surface inspection apparatus according to claim 1 , wherein
The estimation unit is
In each of the three or more images acquired before and after the plurality of movements of the rod lens by the second movement instruction unit, the luminance distribution around the optical axis is measured, and the angle at which the luminance is minimized is obtained. Find a virtual straight line that extends,
An inner surface inspection apparatus for estimating the position of the target axis inside a polygon connecting the intersections of three or more virtual straight lines.
請求項または請求項に記載の内面検査装置であって、
前記推定部は、前記画像において、前記ロッドレンズの外周面よりも径方向内側で、かつ、前記光軸よりも前記外周面に近い円に沿って輝度分布を測定する内面検査装置。
The inner surface inspection apparatus according to claim 1 or 2 , wherein
The inner surface inspection apparatus, wherein the estimation unit measures the luminance distribution in the image along a circle radially inward of the outer peripheral surface of the rod lens and closer to the outer peripheral surface than the optical axis.
請求項から請求項までのいずれか1項に記載の内面検査装置であって、
前記第2移動指示部は、
第1方向に前記ロッドレンズを移動させた後、前記第1方向とは異なる第2方向に前記ロッドレンズを移動させる内面検査装置。
The inner surface inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3 ,
The second movement instruction unit,
An inner surface inspection apparatus that moves the rod lens in a second direction different from the first direction after moving the rod lens in the first direction.
請求項1から請求項までのいずれか1項に記載の内面検査装置であって、
前記制御部は、
第3移動指示部により前記ロッドレンズを移動させた後に、前記光軸周りの輝度分布が、予め設定された許容条件に合致しているかどうかを判定する判定部をさらに有する内面検査装置。
The inner surface inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4 ,
The control unit is
The inner surface inspection apparatus further comprising a determination unit that determines whether or not the brightness distribution around the optical axis matches a preset allowable condition after the rod lens is moved by the third movement instruction unit.
中心軸である光軸に沿って軸方向に延びる円柱状または円筒状のロッドレンズを、円筒状の内周面である被検査面の内側において、位置決めする位置決め方法であって、
a)前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入する工程と、
b)前記ロッドレンズを前記被検査面の内側に挿入された状態において、前記ロッドレンズを、前記軸方向に対して直交する方向に移動させ、前記ロッドレンズを介して取得した画像中の前記光軸周りの輝度分布を測定する工程と、
c)前記輝度分布に基づいて、前記光軸に対する前記被検査面の中心軸である目標軸の相対位置を推定する工程と、
d)前記相対位置に基づいて、前記ロッドレンズを前記目標軸側へ移動させる工程と、を有
前記工程b)では、
前記ロッドレンズを前記軸方向に対して直交する方向に移動させ、移動の前後において取得された複数の前記画像のそれぞれにおいて、前記光軸周りの輝度分布を測定し、
前記工程c)では、
輝度が極小となる角度に延びる仮想直線を求め、複数の前記仮想直線の交点に基づいて、前記相対位置を推定する位置決め方法。
A cylindrical or cylindrical rod lens extending in the axial direction along the optical axis that is the central axis, inside the surface to be inspected that is a cylindrical inner peripheral surface, a positioning method for positioning.
a) inserting the rod lens inside the surface to be inspected,
b) In a state where the rod lens is inserted inside the surface to be inspected, the rod lens is moved in a direction orthogonal to the axial direction, and the light in the image obtained through the rod lens is obtained. Measuring the brightness distribution around the axis,
c) estimating the relative position of a target axis, which is the central axis of the surface to be inspected, with respect to the optical axis, based on the luminance distribution;
d) on the basis of the relative position, have a, a step of moving the rod lens into the target shaft side
In step b),
Moving the rod lens in a direction orthogonal to the axial direction, in each of the plurality of images acquired before and after the movement, to measure the luminance distribution around the optical axis,
In the step c),
A positioning method that obtains a virtual straight line extending at an angle at which the brightness becomes a minimum and estimates the relative position based on an intersection of the plurality of virtual straight lines.
請求項に記載の位置決め方法であって、
前記工程b)では、
前記ロッドレンズを前記軸方向に対して直交する方向に複数回移動させ、移動の前後において取得された3つ以上の前記画像のそれぞれにおいて、前記光軸周りの輝度分布を測定し、前記工程c)では、
輝度が極小となる角度に延びる仮想直線を求め、3つ以上の前記仮想直線の交点を結ぶ多角形の内側に、前記目標軸の位置を推定する位置決め方法。
The positioning method according to claim 6 , wherein
In step b),
The rod lens is moved a plurality of times in a direction orthogonal to the axial direction, and a luminance distribution around the optical axis is measured in each of the three or more images acquired before and after the movement, and the step c ) Then,
A positioning method in which a virtual straight line extending at an angle at which the brightness is minimized is obtained, and the position of the target axis is estimated inside a polygon connecting the intersections of three or more virtual straight lines.
請求項または請求項に記載の位置決め方法であって、
前記工程b)では、
前記画像において、前記ロッドレンズの外周面よりも径方向内側で、かつ、前記光軸よりも前記外周面に近い円に沿って輝度分布を測定する位置決め方法。
The positioning method according to claim 6 or 7 , wherein
In step b),
In the image, a positioning method of measuring a luminance distribution along a circle radially inward of an outer peripheral surface of the rod lens and along a circle closer to the outer peripheral surface than the optical axis.
請求項から請求項までのいずれか1項に記載の位置決め方法であって、
前記工程b)では、
第1方向に前記ロッドレンズを移動させた後、前記第1方向とは異なる第2方向に前記ロッドレンズを移動させる位置決め方法。
The positioning method according to any one of claims 6 to 8 , wherein:
In step b),
A positioning method of moving the rod lens in a first direction and then moving the rod lens in a second direction different from the first direction.
請求項から請求項までのいずれか1項に記載の位置決め方法であって、
e)前記工程d)の後に、前記光軸周りの輝度分布が、予め設定された許容条件に合致しているかどうかを判定する工程をさらに有する位置決め方法。
The positioning method according to any one of claims 6 to 9 ,
e) The positioning method further comprising the step of, after the step d), determining whether or not the brightness distribution around the optical axis matches a preset allowable condition.
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