JP6689673B2 - 基板収納容器の管理システム - Google Patents
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Description
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器の容器本体に取り付けられて光線を蓋体方向に投射する蓋体用投受光素子と、蓋体に取り付けられて蓋体用投受光素子からの光線を蓋体用投受光素子に反射可能な回帰反射部材とを含み、蓋体用投受光素子が回帰反射部材からの反射光を受光できなくなった時間を計測して蓋体の開閉回数を検出する光電センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの蓋体の開閉回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された蓋体の開閉回数と蓋体の開閉回数閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、蓋体の開閉回数が蓋体の開閉回数閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴としている。
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器に加熱された基板を収納してヒートショックが生じた場合に、ヒートショック時の温度を測定して基板収納容器のヒートショック回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からのヒートショック回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録されたヒートショック回数と基板収納容器のヒートショック閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器のヒートショック値閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴としている。
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器が洗浄して熱乾燥された場合に、基板収納容器の乾燥温度を測定して基板収納容器の洗浄回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の洗浄回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の洗浄回数と基板収納容器の洗浄回数閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の洗浄回数が基板収納容器の洗浄回数閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴としている。
データ記録部32は、メモリーのRAMに検出手段20の検出信号として、蓋体10の開閉回数、基板収納容器1の加速度値、基板収納容器1の搬送回数、基板収納容器1の搬送距離、基板収納容器1のトップフランジ9保持回数、基板収納容器1の衝撃回数、基板収納容器1の最大衝撃値、基板収納容器1の最大振動数、基板収納容器1のヒートショック回数、基板収納容器1の洗浄回数、基板収納容器1の水平値、基板収納容器1内の酸素濃度値、所定の工程における使用回数等が必要に応じて記録される。
加速度センサ25には、静電容量検出方式、ピエゾ抵抗方式、熱検知方式等があるが、特に限定されるものではない。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器1に作用した加速度から基板収納容器1の初期性能がどの程度劣化したかを把握し、基板収納容器1の交換時期を判断することができるのは明らかである。
無線通信手段30は、データ記録部32に、検出手段20からのヒートショック回数が記録され、演算処理部33がデータ記録部32に記録されたヒートショック回数と基板収納容器1のヒートショック閾値とを比較し、この演算処理部33で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器1のヒートショック閾値に近づいていない場合には、基板収納容器1が未だ使用限度ではないと判断する。
無線通信手段30は、データ記録部32に、検出手段20からの基板収納容器1の水平値が記録され、演算処理部33がデータ記録部32に記録された基板収納容器1の水平値と基板収納容器1の水平閾値とを比較し、この演算処理部33で比較した結果、基板収納容器1の水平値が基板収納容器1の水平閾値に近づいていない場合には、基板収納容器1が未だ使用限度ではないと判断する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器1の水平度から基板収納容器1の使用限度を判断し、基板収納容器1の搭載時の傾斜を防ぐことが可能となる。
2 容器本体
3 支持片
6 給気バルブ
7 位置決め具
8 位置決めピン
9 トップフランジ(フランジ)
10 蓋体
13 パージガスボンベ(パージガス源)
14 パージノズル
15 噴射孔
20 検出手段
21 基板用投受光素子
22 蓋体用投受光素子
23 回帰反射板(回帰反射部材)
24 光電センサ
25 加速度センサ
26 温度センサ
27 傾斜センサ
28 酸素濃度センサ
30 無線通信手段
31 外部入力部
32 データ記録部
33 演算処理部
34 無線通信部
35 アンテナ
36 サーバ(外部の通信装置、サービス提供手段)
37 バッテリ部
38 電源
40 報知手段
41 LED
42 液晶ディスプレイ
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられる無線通信手段と、この無線通信手段に接続される報知手段とを含み、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器の容器本体に取り付けられて光線を蓋体方向に投射する蓋体用投受光素子と、蓋体に取り付けられて蓋体用投受光素子からの光線を蓋体用投受光素子に反射可能な回帰反射部材とを含み、蓋体用投受光素子が回帰反射部材からの反射光を受光できなくなった時間を計測して蓋体の開閉回数を検出する光電センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの蓋体の開閉回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された蓋体の開閉回数と蓋体の開閉回数閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、蓋体の開閉回数が蓋体の開閉回数閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。 - 基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられる無線通信手段と、この無線通信手段に接続される報知手段とを含み、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器に加熱された基板を収納してヒートショックが生じた場合に、ヒートショック時の温度を測定して基板収納容器のヒートショック回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からのヒートショック回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録されたヒートショック回数と基板収納容器のヒートショック閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器のヒートショック値閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。 - 基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられる無線通信手段と、この無線通信手段に接続される報知手段とを含み、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の上部に、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられ、
検出手段は、基板収納容器が洗浄して熱乾燥された場合に、基板収納容器の乾燥温度を測定して基板収納容器の洗浄回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の洗浄回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の洗浄回数と基板収納容器の洗浄回数閾値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の洗浄回数が基板収納容器の洗浄回数閾値に近づいた場合には、基板収納容器の使用限度が近いと判断し、
報知手段は、無線通信手段が比較した結果、基板収納容器の使用限度が近いと判断された場合には、基板収納容器の点検あるいは交換の準備を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。 - 基板収納容器にパージガス源が設けられ、基板収納容器の容器本体に、容器本体の外部から内部にパージガスを供給可能な給気バルブと、容器本体の内部から外部にエアを排気可能な排気バルブとがそれぞれ設けられており、給気バルブには、基板収納容器のパージガス源に接続されるパージノズルが立て設けられるとともに、このパージノズルには、容器本体内にパージガスを噴射する複数の噴射孔が設けられる請求項1、2、又は3記載の基板収納容器の管理システム。
- 基板収納容器にパージガス源が装着され、基板収納容器の容器本体に、パージガス用の流通口が設けられるとともに、この流通口には、パージガスを制御するパージ弁が開閉可能に取り付けられており、このパージ弁とパージガス源とが配管により接続される請求項1、2、又は3記載の基板収納容器の管理システム。
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