JP6688087B2 - Compound, composition and photopolymerization initiator - Google Patents

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Description

本発明は、新規な化合物、該化合物を含有する組成物、該組成物を含有する光重合開始剤、及び該光重合開始剤にエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有させてなる感光性組成物に関する。   The present invention provides a novel compound, a composition containing the compound, a photopolymerization initiator containing the composition, and a photosensitizer containing the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond in the photopolymerization initiator. Sex composition.

感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線(光)を照射することによって重合硬化させることができるため、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。   The photosensitive composition is a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and a photopolymerization initiator added thereto, and can be polymerized and cured by irradiation with energy rays (light). It is used for photosensitive printing plates and various photoresists.

上記感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、特許文献1〜11には、オキシムエステル化合物を用いることが提案されている。カラーフィルタ等の色材を含有する着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、高感度であることが求められ、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要があるが、特許文献1〜11に記載のオキシムエステル化合物の溶媒に対する溶解性は十分なものではなかった。   As a photopolymerization initiator used in the photosensitive composition, Patent Documents 1 to 11 propose to use an oxime ester compound. A colored alkali-developable photosensitive resin composition containing a color material such as a color filter is required to have high sensitivity, and it is necessary to make the photopolymerization initiator in the resist have a high concentration. The oxime ester compound described in 11 was not sufficiently soluble in a solvent.

特開2000−80068号明細書Japanese Patent Laid-Open No. 2000-80068 特開2001−233842号明細書JP 2001-233842 A 特開2001−302871号明細書JP 2001-302871 A 特表2004−534797号明細書Specification No. 2004-534797 特開2005−25169号明細書JP 2005-25169 A 特開2005−128483号明細書JP-A-2005-128483 特開2005−242279号明細書JP-A-2005-242279 特開2005−242280号明細書JP-A-2005-242280 特開2006−16545号明細書JP 2006-16545 A 特開2008−3164号明細書JP 2008-3164 A 特許3754065号明細書Japanese Patent No. 3754065

カラーフィルタ等の色材を含有する着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、高感度であることが求められ、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要があるが、従来知られた光重合開始剤は溶媒に対する溶解性は十分なものではなく、レジスト中で高濃度にすることが難しかった。また、感光性樹脂組成物を重合硬化させた際の硬化物の断面形状は、硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状であることが好ましい。この断面形状である場合、硬化物の崩れが発生しにくいことや、硬化物が剥がれにくいということが知られている。これらの要求を満たす特性を兼ね備える感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物が求められていた。   A colored alkali-developable photosensitive resin composition containing a color material such as a color filter is required to have high sensitivity, and it is necessary to increase the concentration of the photopolymerization initiator in the resist. The photopolymerization initiator does not have sufficient solubility in a solvent, and it was difficult to increase the concentration in the resist. The cross-sectional shape of the cured product obtained by polymerizing and curing the photosensitive resin composition is preferably such that the width of the lower part of the cured product is larger than the width of the upper part of the cured product. It is known that when this cross-sectional shape is obtained, the cured product is less likely to collapse and the cured product is less likely to peel off. There has been a demand for a photosensitive composition, an alkali-developable photosensitive resin composition, and a colored alkali-developable photosensitive resin composition which have properties satisfying these requirements.

従って、本発明の目的は、溶媒に対する溶解性が高い光重合開始剤、並びに重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得るために用いられる新規な化合物を提供するものである。また、本発明は上記光重合開始剤、感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。   Therefore, an object of the present invention is to provide a photopolymerization initiator having high solubility in a solvent, and a photosensitive material in which the cross-sectional shape of a cured product when polymerized and cured is such that the width of the cured product lower part is larger than the width of the cured product upper part. The present invention provides a novel compound used for obtaining a photosensitive composition, an alkali-developable photosensitive resin composition and a colored alkali-developable photosensitive resin composition. The present invention also provides the above-mentioned photopolymerization initiator, photosensitive composition, alkali-developable photosensitive resin composition and colored alkali-developable photosensitive resin composition.

本発明は、下記一般式(I)で表される新規な化合物、該化合物を含有する光重合開始剤、該化合物及び下記一般式(II)で表される化合物を含有する組成物並びに該組成物を含有する光重合開始剤を提供することにより、上記目的を達成したものである。   The present invention includes a novel compound represented by the following general formula (I), a photopolymerization initiator containing the compound, a composition containing the compound and a compound represented by the following general formula (II), and the composition: The above object is achieved by providing a photopolymerization initiator containing a substance.

Figure 0006688087
(式中、R1及びR2は、それぞれ独立に、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、
11、R12及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数3〜20のシクロアルキル基、炭素原子数4〜20のシクロアルキルアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
11、R12及びR13で表わされる置換基の水素原子は、更にOR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換されている場合もあり、
21、R22及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
21、R22及びR23で表される置換基の水素原子は、更にCN、ハロゲン原子、水酸基又はカルボキシル基で置換されている場合もあり、
11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断されている場合もあり、
24は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合があり、また、R12とR13及びR22とR23はそれぞれ一緒になって環を形成する場合があり、
1は、結合手であって、単結合、−O−、−S−、−NR22−、−NR22CO−、−SO2−、−CS−、−OCO−又は−COO−を表し、
2は、結合手であって、単結合、炭素原子数1〜20のアルカンジイル基、炭素原子数6〜30のアリールジイル基、炭素原子数7〜30のアリールアルキルジイル基又は炭素原子数2〜20の2価の複素環基を表し、
2で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR22−、−NR22COO−、−OCONR22−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断されている場合があり、Z2で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合があり、環状アルキレンである場合があり、
Xは下記化学式(I−A)又は(I−B)で表される結合手を表す。)
Figure 0006688087
(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN;
R 11 , R 12 and R 13 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkylalkyl group having 4 to 20 carbon atoms, Represents an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms,
The hydrogen atom of the substituent represented by R 11 , R 12 and R 13 is further represented by OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , —NR 22 —OR 23 , —NCOR 22 —OCOR. 23, -C (= N-oR 21) -R 22, -C (= N-OCOR 21) -R 22, CN, there halogen atom, or may have been substituted by COOR 21,
R 21 , R 22 and R 23 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a carbon atom. Represents a heterocyclic group of the number 2 to 20,
The hydrogen atom of the substituent represented by R 21 , R 22 and R 23 may be further substituted with CN, a halogen atom, a hydroxyl group or a carboxyl group,
The alkylene portion of the substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 is —O—, —S—, —COO—, —OCO—, —NR 24 —, — NR 24 COO -, - OCONR 24 -, - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by may have been interrupted 1-5 times,
R 24 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. ,
The alkyl part of the substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 may have a branched side chain, may be cyclic alkyl, and R 12 and R 13 and R 22 and R 23 may combine together to form a ring,
Z 1 is a bond and represents a single bond, —O—, —S—, —NR 22 —, —NR 22 CO—, —SO 2 —, —CS—, —OCO— or —COO—. ,
Z 2 is a bond and is a single bond, an alkanediyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryldiyl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyldiyl group having 7 to 30 carbon atoms, or 2 carbon atoms. Represents a divalent heterocyclic group of 20
Alkylene moiety of bond represented by Z 2 is, -O -, - S -, - COO -, - OCO -, - NR 22 -, - NR 22 COO -, - OCONR 22 -, - SCO -, - It may be interrupted 1 to 5 times by COS-, -OCS- or -CSO-, the alkylene portion of the bond represented by Z 2 may have a branched side chain, and may be cyclic alkylene. Yes,
X represents a bond represented by the following chemical formula (IA) or (IB). )

Figure 0006688087
(式(I−A)及び(I−B)中、*は結合手を表す。)
Figure 0006688087
(In formulas (IA) and (IB), * represents a bond.)

Figure 0006688087
(式中、R1、R2、Z1及びZ2は一般式(I)中のR1、R2、Z1及びZ2と同義であり、ZaはOH又はCOOHを表す。)
Figure 0006688087
(Wherein, is R 1, R 2, Z 1 and Z 2 R 1 in the general formula (I), R 2, the same meaning as Z 1 and Z 2, Z a represents OH or COOH.)

また、本発明は、上記光重合開始剤に、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有させてなる感光性組成物を提供するものである。
また、本発明は、上記感光性組成物に、エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。
また、本発明は、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物に、更に色材を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。
また、本発明は、上記感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物にエネルギー線を照射してなる硬化物を提供するものである。
The present invention also provides a photosensitive composition comprising the above photopolymerization initiator containing a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.
The present invention also provides an alkali-developable photosensitive resin composition comprising the above-mentioned photosensitive composition containing a compound having an alkali-development property which may have an ethylenically unsaturated group.
The present invention also provides a colored alkali-developable photosensitive resin composition obtained by further adding a coloring material to the alkali-developable photosensitive resin composition.
The present invention also provides a cured product obtained by irradiating the above-mentioned photosensitive composition, alkali-developable photosensitive resin composition, or colored alkali-developable photosensitive resin composition with energy rays.

本発明の新規な化合物を上記一般式(II)で表される化合物と組み合わせて用いることによって、溶媒に対する溶解性が高い光重合開始剤、並びに重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得るために用いられる新規な組成物を得ることができる。本発明の組成物は、可視光領域の透過率が高く、昇華しにくく、現像性に優れ、365nm(i線)等の輝線に対して効率よくラジカルを発生させることができることから、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用なものである。   By using the novel compound of the present invention in combination with the compound represented by the above general formula (II), the photopolymerization initiator having high solubility in a solvent and the cross-sectional shape of the cured product when polymerized and cured are cured. A novel composition used for obtaining a photosensitive composition having a shape in which the width of the cured product lower portion is larger than the width of the cured product upper portion, an alkali-developable photosensitive resin composition and a colored alkali-developable photosensitive resin composition. Obtainable. INDUSTRIAL APPLICABILITY The composition of the present invention has a high transmittance in the visible light region, is hard to sublime, has excellent developability, and can efficiently generate radicals for a bright line such as 365 nm (i-line). It is useful as a photopolymerization initiator used for a product.

以下、本発明の化合物、該化合物を含有する組成物及び光重合開始剤について好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。   Hereinafter, the compound of the present invention, the composition containing the compound, and the photopolymerization initiator will be described in detail based on preferred embodiments.

本発明の化合物は、上記一般式(I)で表わされる新規な化合物である。該化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、これらを区別するものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式(I)で表わされる化合物、並びに後述する該化合物の好ましい形態である下記一般式(III)で表わされる化合物及びその例示化合物は、両方の混合物又はどちらか一方を表すものであり、異性体を示した構造に限定するものではない。
The compound of the present invention is a novel compound represented by the above general formula (I). The compound has geometrical isomers due to the double bond of oxime, but does not distinguish them.
That is, in the present specification, the compound represented by the general formula (I), and the compound represented by the following general formula (III), which is a preferred form of the compound described below, and the exemplified compound thereof are a mixture of both or either. It represents one of them and is not limited to the structure showing isomers.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22、R23及びR24、で表される炭素原子数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2−エチルヘキシル、t−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル等が挙げられる。 As the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 , R 23 and R 24 in the general formula (I) and the general formula (II). Is, for example, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, s-butyl, t-butyl, amyl, isoamyl, t-amyl, hexyl, heptyl, octyl, isooctyl, 2-ethylhexyl, t-octyl, nonyl, Examples include isononyl, decyl, isodecyl, undecyl, dodecyl, tetradecyl, hexadecyl, octadecyl, icosyl and the like.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12及びR13で表される炭素原子数3〜20のシクロアルキル基とは、3〜20の炭素原子を有する、飽和単環式又は飽和多環式アルキル基を意味する。例えば、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル、アダマンチル、デカハイドロナフチル、オクタヒドロペンタレン及びビシクロ[1.1.1]ペンタニル等が挙げられる。 The cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 and R 13 in the general formula (I) and the general formula (II) is a saturated alkyl group having 3 to 20 carbon atoms. It means a monocyclic or saturated polycyclic alkyl group. Examples thereof include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, cyclononyl, cyclodecyl, adamantyl, decahydronaphthyl, octahydropentalene and bicyclo [1.1.1] pentanyl.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12及びR13で表される炭素原子数4〜20のシクロアルキルアルキル基とは、アルキル基の水素原子のうち少なくとも一つが、シクロアルキル基で置換された4〜20の炭素原子を有する基を意味する。例えば、シクロプロピルメチル、シクロブチルエチル、シクロペンチルメチル、シクロペンチルエチル、シクロペンチルプロピル、シクロヘキシルメチル、シクロヘキシルエチル、シクロヘキシルブチル、シクロヘプチルメチル、シクロオクチルメチル、シクロノニルエチル、シクロデシルエチル、アダマンチルプロピル及びデカハイドロナフチルプロピル等が挙げられる The cycloalkylalkyl group having 4 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 and R 13 in the general formula (I) and the general formula (II) means at least one hydrogen atom in the alkyl group. Means a group having 4 to 20 carbon atoms substituted with a cycloalkyl group. For example, cyclopropylmethyl, cyclobutylethyl, cyclopentylmethyl, cyclopentylethyl, cyclopentylpropyl, cyclohexylmethyl, cyclohexylethyl, cyclohexylbutyl, cycloheptylmethyl, cyclooctylmethyl, cyclononylethyl, cyclodecylethyl, adamantylpropyl and decahydronaphthyl. Propyl etc.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22、R23及びR24、で表される炭素原子数6〜30のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で1つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。 As the aryl group having 6 to 30 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 , R 23 and R 24 in the above general formula (I) and general formula (II). Examples include phenyl, tolyl, xylyl, ethylphenyl, naphthyl, anthryl, phenanthrenyl, phenyl substituted with one or more of the above alkyl groups, biphenylyl, naphthyl, anthryl and the like.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22、R23及びR24、で表される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル等が挙げられる。 An arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 , R 23 and R 24 in the above general formula (I) and general formula (II). Examples thereof include benzyl, α-methylbenzyl, α, α-dimethylbenzyl, phenylethyl and the like.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22、R23及びR24、で表される炭素原子数2〜20の複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テトラヒドロフリル、ジオキソラニル、ベンゾオキサゾール−2−イル、テトラヒドロピラニル、ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル、ピペラジル、モルホリニル等の5〜7員複素環が好ましく挙げられる。 A heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 , R 23 and R 24 in the general formula (I) and the general formula (II). As, for example, pyridyl, pyrimidyl, furyl, thienyl, tetrahydrofuryl, dioxolanyl, benzoxazol-2-yl, tetrahydropyranyl, pyrrolidyl, imidazolidyl, pyrazolydyl, thiazolydyl, isothiazolidyl, oxazolidyl, isoxazolidyl, piperidyl, piperazyl, Preferred examples thereof include 5- to 7-membered heterocycles such as morpholinyl.

上記一般式(I)及び上記一般式(II)中の、R12とR13及びR22とR23が一緒になって形成し得る環としては、例えば、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラクトン環、ラクタム環等の5〜7員環が好ましく挙げられる。 Examples of the ring that can be formed by R 12 and R 13 and R 22 and R 23 in the general formula (I) and the general formula (II) together include, for example, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, and a cyclopentene ring. Preferred are 5- to 7-membered rings such as benzene ring, piperidine ring, morpholine ring, lactone ring and lactam ring.

上記一般式(I)及び上記一般式(II)中のZ2は、炭素原子数1〜20のアルカンジイル基、炭素原子数6〜30のアリールジイル基、炭素原子数7〜30のアリールアルキルジイル基又は炭素原子数2〜20の2価の複素環基を表す。 Z 2 in the general formula (I) and the general formula (II) represents an alkanediyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryldiyl group having 6 to 30 carbon atoms, and an arylalkyldiyl having 7 to 30 carbon atoms. Represents a group or a divalent heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms.

上記炭素原子数1〜20のアルカンジイル基としては、例えば、メチレン、エチレン、プロピレン、メチルエチレン、ブチレン、1−メチルプロピレン、2−メチルプロピレン、1,2−ジメチルプロピレン、1,3−ジメチルプロピレン、1−メチルブチレン、2−メチルブチレン、3−メチルブチレン、4−メチルブチレン、2,4−ジメチルブチレン、1,3−ジメチルブチレン、ペンチレン、へキシレン、ヘプチレン、オクチレン、ノニレン、デシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、エタン−1,1−ジイル、プロパン−2,2−ジイル等が挙げられる。   Examples of the alkanediyl group having 1 to 20 carbon atoms include methylene, ethylene, propylene, methylethylene, butylene, 1-methylpropylene, 2-methylpropylene, 1,2-dimethylpropylene, 1,3-dimethylpropylene. , 1-methylbutylene, 2-methylbutylene, 3-methylbutylene, 4-methylbutylene, 2,4-dimethylbutylene, 1,3-dimethylbutylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonylene, decylene, dodecylene, Examples thereof include tridecylene, tetradecylene, pentadecylene, ethane-1,1-diyl, propane-2,2-diyl and the like.

上記炭素原子数6〜30のアリールジイル基としては、例えば、1,2−フェニレン、1,3−フェニレン、1,4−フェニレン、2,6−ナフチレン、1,4−ナフチレン、2,5−ジメチル−1,4−フェニレン、ジフェニルメタン−4,4’−ジイル、2,2−ジフェニルプロパン−4,4’−ジイル、ジフェニルスルフィド−4,4’−ジイル、ジフェニルスルフォン−4,4’−ジイル等が挙げられる。   Examples of the aryldiyl group having 6 to 30 carbon atoms include 1,2-phenylene, 1,3-phenylene, 1,4-phenylene, 2,6-naphthylene, 1,4-naphthylene and 2,5-dimethyl. -1,4-phenylene, diphenylmethane-4,4'-diyl, 2,2-diphenylpropane-4,4'-diyl, diphenylsulfide-4,4'-diyl, diphenylsulfone-4,4'-diyl, etc. Is mentioned.

また、上記炭素原子数7〜30のアリールアルキルジイル基としては、例えば、[化4]で表わされる連結基等のアリールアルキレン基が挙げられる。   Examples of the arylalkyldiyl group having 7 to 30 carbon atoms include arylalkylene groups such as a linking group represented by [Chemical Formula 4].

Figure 0006688087
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また、上記炭素原子数2〜20の2価の複素環基としては、例えば、2,5−ピリジンジイル、2,6−ピリジンジイル、2,5−ピリミジンジイル、2,5−チオフェンジイル、3,4−テトラヒドロフランジイル、2,5−テトラヒドロフランジイル、2,5−フランジイル、3,4−チアゾールジイル、2,5−ベンゾフランジイル、2,5−ベンゾチオフェンジイル、N−メチルインドール−2,5−ジイル、2,5−ベンゾチアゾールジイル、2,5−ベンゾオキサゾールジイル等の2価の複素環基が挙げられる。   Examples of the divalent heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms include 2,5-pyridinediyl, 2,6-pyridinediyl, 2,5-pyrimidinediyl, 2,5-thiophenediyl and 3 , 4-tetrahydrofurandiyl, 2,5-tetrahydrofurandiyl, 2,5-furandiyl, 3,4-thiazoldiyl, 2,5-benzofurandiyl, 2,5-benzothiophenediyl, N-methylindole-2,5 Examples thereof include divalent heterocyclic groups such as -diyl, 2,5-benzothiazolediyl and 2,5-benzoxazolediyl.

また、上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表わされる置換基の水素原子を置換してもよいハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。 Further, a halogen atom which may substitute the hydrogen atom of the substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 in the above general formula (I) and general formula (II). Examples thereof include fluorine, chlorine, bromine and iodine.

上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分は−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合があり、この時中断する結合基は1種又は2種以上の基でもよく、連続して中断し得る基の場合は2つ以上連続して中断してもよい。上記一般式(I)及び一般式(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合もある。 In the general formula (I) and the general formula (II), the alkylene moiety of the substituents represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 is —O—, —S—, -COO -, - OCO -, - NR 24 -, - NR 24 COO -, - OCONR 24 -, - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by may be interrupted 1 to 5 times The binding group interrupted at this time may be one kind or two or more kinds of groups, and in the case of a group capable of being interrupted continuously, two or more may be interrupted continuously. The alkylene moiety of the substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 in the above general formulas (I) and (II) may have a branched side chain. Yes, and may be cyclic alkyl.

上記一般式(I)及び一般式(II)中のZ2で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR22−、−NR22COO−、−OCONR22−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合があり、この時中断する結合基は1種又は2種以上の基でもよく、連続して中断し得る基の場合は2つ以上連続して中断してもよい。上記一般式(I)及び一般式(II)中の、Z2で表される結合手のアルキレン部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合もある。 The alkylene moiety of the bond represented by Z 2 in the general formula (I) and the general formula (II) is —O—, —S—, —COO—, —OCO—, —NR 22 —, —NR. 22 COO -, - OCONR 22 - , - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by may be interrupted 1 to 5 times, this time interrupting linking groups one or more It may be a group, and in the case of a group which can be interrupted continuously, two or more may be interrupted continuously. The alkylene portion of the bond represented by Z 2 in the above general formulas (I) and (II) may have a branched side chain or may be cyclic alkyl.

上記一般式(I)中のXは上記化学式(I−A)又は(I−B)で表される結合手を表す。また、上記一般式(II)中のZaはOH又はCOOHを表す。 X in the general formula (I) represents a bond represented by the chemical formula (IA) or (IB). Further, Z a in the general formula (II) represents OH or COOH.

上記一般式(I)で表される化合物の中でも、R1及びR2がメチル基又はフェニル基であるもの又は下記一般式(III)で表される化合物であるものは上記一般式(II)で表される化合物と組み合わせて用いることによって、溶媒に対する溶解性が高く、重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物が得られる効果が高いことから特に好ましい。なお、一般式(I)中の2個のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。また、一般式(I)中の2個のR2は同一であってもよく、異なっていてもよい。2個のR1は好ましくは同一のものである。同様に、2個のR2は好ましくは同一のものである。 Among the compounds represented by the above general formula (I), those in which R 1 and R 2 are a methyl group or a phenyl group or those represented by the following general formula (III) are represented by the above general formula (II). When used in combination with the compound represented by, the photosensitivity is such that the cross-sectional shape of the cured product when polymerized and cured is higher than the width of the upper part of the cured product when it is polymerized and cured. It is particularly preferable because the effect of obtaining the composition is high. Two R 1 s in the general formula (I) may be the same or different. Further, two R 2 s in the general formula (I) may be the same or different. The two R 1 are preferably the same. Similarly, the two R 2 are preferably the same.

Figure 0006688087
(式中、R1、R2、Z1、Z2及びXは一般式(I)中のR1、R2、Z1及びZ2と同義である。)
Figure 0006688087
(In the formula, R 1 , R 2 , Z 1 , Z 2 and X have the same meanings as R 1 , R 2 , Z 1 and Z 2 in formula (I).)

従って、上記一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.1〜No.70が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。   Therefore, preferred specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (I) include the following compound No. 1-No. 70 is mentioned. However, the present invention is not limited to the following compounds.

Figure 0006688087
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上記一般式(I)で表される化合物は、水酸基又はカルボキシル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を2量化させることで製造することができる。上記の特定のオキシムエステム化合の製造方法は特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ケトン体1と亜硝酸エステルを塩酸存在下で反応させることにより、オキシム化合物2を得る。続いて、該オキシム化合物2に、酸無水物3又は酸クロリド3’を反応させることにより、上記一般式(I)で表される化合物の原料となる水酸基又はカルボキシル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を得ることができる。これを触媒と反応させることや脱水縮合させるなどのことで2量化させることによって、上記一般式(I)で表される化合物を製造することができる。
The compound represented by the general formula (I) can be produced by dimerizing an oxime ester compound having a specific structure having a hydroxyl group or a carboxyl group. The method for producing the above specific oxime estem compound is not particularly limited, but can be produced, for example, by the method described in JP-A-2000-80068. As one of the methods, there is a method of producing by the following method.
That is, the oxime compound 2 is obtained by reacting the ketone body 1 and the nitrite ester in the presence of hydrochloric acid. Subsequently, the oxime compound 2 is reacted with an acid anhydride 3 or an acid chloride 3 ′ to form an oxime having a specific structure having a hydroxyl group or a carboxyl group as a raw material for the compound represented by the general formula (I). An ester compound can be obtained. The compound represented by the above general formula (I) can be produced by dimerizing this with a catalyst or by dehydration condensation.

本発明の組成物は、(A)上記一般式(I)で表される化合物(以下、A成分と略す場合がある。)と;(B)上記一般式(II)で表される化合物(以下、B成分と略す場合がある。)とを含有する組成物である。本発明の組成物は、溶媒に対する溶解性が非常に高く、可視光領域の透過率が高く、低昇華性であり、現像性に優れ、365nm(i線)等の輝線に対して効率よくラジカルを発生させることから、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用なものである。   The composition of the present invention comprises (A) a compound represented by the above general formula (I) (hereinafter sometimes abbreviated as component A); and (B) a compound represented by the above general formula (II) ( Hereinafter, it may be abbreviated as component B). The composition of the present invention has a very high solubility in a solvent, a high transmittance in the visible light region, a low sublimation property, an excellent developability, and an efficient radical for a bright line such as 365 nm (i-line). Therefore, it is useful as a photopolymerization initiator used in the photosensitive composition.

本発明の組成物の(A)成分は、上記一般式(I)で表される化合物の中でも、R1及びR2がメチル基若しくはフェニル基であるもの、又は上記一般式(III)で表される化合物であるものが好ましい。この場合、溶媒に対する溶解性が高い組成物を得ることができ、重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物を得ることができる。 The component (A) of the composition of the present invention is a compound represented by the general formula (I) in which R 1 and R 2 are a methyl group or a phenyl group, or a compound represented by the general formula (III). Those which are compounds are preferred. In this case, it is possible to obtain a composition having a high solubility in a solvent, and a photosensitive composition in which the cross-sectional shape of the cured product when polymerized and cured is such that the width of the cured product lower part is larger than the width of the cured product upper part. Can be obtained.

本発明の組成物の(B)成分は、上記一般式(II)で表される化合物の中でも、R1及びR2がメチル基若しくはフェニル基であるもの、又は下記一般式(IV)で表される化合物であるものが好ましい。この場合、溶媒に対する溶解性が高い組成物を得ることができ、重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物を得ることができる。 The component (B) of the composition of the present invention is a compound represented by the general formula (II), wherein R 1 and R 2 are a methyl group or a phenyl group, or a compound represented by the following general formula (IV). Those which are compounds are preferred. In this case, it is possible to obtain a composition having a high solubility in a solvent, and a photosensitive composition in which the cross-sectional shape of the cured product when polymerized and cured is such that the width of the cured product lower part is larger than the width of the cured product upper part. Can be obtained.

Figure 0006688087
(式中、R1、R2、Z1、Z2及びZaは一般式(II)中のR1、R2、Z12及びZaと同義である。)
Figure 0006688087
(Wherein, R 1, R 2, Z 1, Z 2 and Z a have the same meanings as formula (R 1 in II), R 2, Z 1 Z 2 and Z a.)

本発明の組成物の中でも、(A)成分がR1及びR2がメチル基又はフェニル基であるもの又は上記一般式(III)で表される化合物であり、(B)成分がR1及びR2がメチル基又はフェニル基であるもの又は上記一般式(IV)で表される化合物である組成物は、溶媒に対する溶解性が特に高い組成物を得ることができ、重合硬化させた際の硬化物の断面形状が硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい形状である感光性組成物が得ることができることから特に好ましい。 Among the compositions of the present invention, the component (A) is a compound in which R 1 and R 2 are methyl groups or phenyl groups or a compound represented by the general formula (III), and the component (B) is R 1 and A composition in which R 2 is a methyl group or a phenyl group or a compound represented by the above general formula (IV) can give a composition having particularly high solubility in a solvent, and when it is polymerized and cured, It is particularly preferable because it is possible to obtain a photosensitive composition in which the cross-sectional shape of the cured product is such that the width of the cured product lower portion is larger than the width of the cured product upper portion.

本発明の組成物におけるA成分とB成分の配合比率は、特に限定されるものではないが、質量比で、A成分:B成分=0.001:99.999〜95:5の範囲である場合は溶媒に対する溶解性が高いことから好ましく、A成分:B成分=0.01:99.99〜90:10の範囲である場合は溶媒に対する溶解性が特に高いことから特に好ましい。   The blending ratio of the A component and the B component in the composition of the present invention is not particularly limited, but the mass ratio is in the range of A component: B component = 0.001: 99.999 to 95: 5. In this case, the solubility in a solvent is high, and in the case of A component: B component = 0.01: 99.99 to 90:10, the solubility in a solvent is particularly high.

上記一般式(II)で表される化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.71〜No.140が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。   Specific preferred examples of the compound represented by the general formula (II) include the following compound No. 71-No. 140 is mentioned. However, the present invention is not limited to the following compounds.

Figure 0006688087
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上記一般式(II)で表される化合物の製造方法は特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、以下の方法により製造する方法が挙げられる。 即ち、ケトン体1と亜硝酸エステルを塩酸存在下で反応させることにより、オキシム化合物2を得る。続いて、該オキシム化合物2に、酸無水物3又は酸クロリド3’を反応させることにより、上記一般式(II)で表されるオキシムエステル化合物を得ることができる。   The method for producing the compound represented by the general formula (II) is not particularly limited, but can be produced, for example, by the method described in JP-A-2000-80068. As one of the methods, there is a method of producing by the following method. That is, the oxime compound 2 is obtained by reacting the ketone body 1 and the nitrite ester in the presence of hydrochloric acid. Subsequently, the oxime compound 2 is reacted with the acid anhydride 3 or the acid chloride 3'to obtain the oxime ester compound represented by the general formula (II).

以上説明した本発明の組成物は、光重合開始剤として特に有用である。   The composition of the present invention described above is particularly useful as a photopolymerization initiator.

本発明の光重合開始剤は、本発明の化合物又は本発明の組成物を含有するものであり、特にエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の光重合開始剤として有用なものである。なかでも、本発明の組成物を含有するものは溶解性が高く、感度も高いことから特に好ましい。本発明の光重合開始剤中における本発明の化合物又は本発明の組成物の含有量は、好ましくは30〜100質量%、より好ましくは50〜100質量%である。   The photopolymerization initiator of the present invention contains the compound of the present invention or the composition of the present invention, and is particularly useful as a photopolymerization initiator of a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. Among them, those containing the composition of the present invention are particularly preferable because they have high solubility and high sensitivity. The content of the compound of the present invention or the composition of the present invention in the photopolymerization initiator of the present invention is preferably 30 to 100% by mass, more preferably 50 to 100% by mass.

本発明の感光性組成物は、必須成分として、本発明の光重合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有し、任意成分として、エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物、無機化合物、色材、溶媒等の成分を組み合わせて含有するものである。   The photosensitive composition of the present invention contains, as an essential component, the photopolymerization initiator of the present invention and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and as an optional component, an alkali which may have an ethylenically unsaturated group. It contains components such as a compound having developability, an inorganic compound, a coloring material and a solvent in combination.

上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素;(メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、コハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、フタル酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等の不飽和多塩基酸;(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸グリシジル、下記化合物No.A1〜No.A4、(メタ)アクリル酸メチル、 (メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸−t−ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノメチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸アミノプロピル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アクリル酸ポリ(エトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸ブトキシエトキシエチル、(メタ)アクリル酸エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸フェノキシエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ビニル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)アクリレート、トリ[(メタ)アクリロイルエチル]イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル;(メタ)アクリル酸亜鉛、(メタ)アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩;マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物;(メタ)アクリルアミド、メチレンビス−(メタ)アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド;アクロレイン等の不飽和アルデヒド;(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル;スチレン、4−メチルスチレン、4−エチルスチレン、4−メトキシスチレン、4−ヒドロキシスチレン、4−クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、4−ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物;メチルビニルケトン等の不飽和ケトン;ビニルアミン、アリルアミン、N−ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物;アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル;マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;インデン、1−メチルインデン等のインデン類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物が挙げられる。
これらの中でも、両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、1個のカルボキシ基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルに、本発明のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤は好適である。
これらの重合性化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、また2種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。
The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is not particularly limited, and those conventionally used in the photosensitive composition can be used, and examples thereof include ethylene, propylene, butylene, isobutylene, and vinyl chloride. Unsaturated vinyl hydrocarbons such as vinylidene chloride, vinylidene fluoride and tetrafluoroethylene; (meth) acrylic acid, α-chloroacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, citraconic acid, fumaric acid, hymic acid, crotonic acid, Isocrotonic acid, vinyl acetic acid, allyl acetic acid, cinnamic acid, sorbic acid, mesaconic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω- Carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate or the like having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends Limmer mono (meth) acrylate; having hydroxyethyl (meth) acrylate maleate, hydroxypropyl (meth) acrylate maleate, dicyclopentadiene maleate or one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups Unsaturated polybasic acids such as polyfunctional (meth) acrylate; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, the following compound No. A1 to No. A4, methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, -t-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, ( Isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, dimethylaminomethyl (meth) acrylate, dimethyl (meth) acrylate Aminoethyl, aminopropyl (meth) acrylate, dimethylaminopropyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, poly (ethoxy) ethyl (meth) acrylate, butoxyethoxyethyl (meth) acrylate, (meth ) Ethylhexyl acrylate, (meth) acrylic acid Phenoxyethyl, tetrahydrofuryl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol Di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolethanetri (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, pentaerythritol Unsaturated monobasic acids such as tra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tricyclodecane dimethylol di (meth) acrylate, tri [(meth) acryloylethyl] isocyanurate, polyester (meth) acrylate oligomer, and Esters of polyhydric alcohols or polyhydric phenols; Metal salts of unsaturated polybasic acids such as zinc (meth) acrylate and magnesium (meth) acrylate; maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyl Tetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydro Phthalic anhydride-anhydrous Acid anhydrides of unsaturated polybasic acids such as oleic acid adducts, dodecenyl succinic anhydride, and methylhymic acid anhydride; (meth) acrylamide, methylenebis- (meth) acrylamide, diethylenetriaminetris (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) Amides of unsaturated monobasic acids and polyamines such as acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide; unsaturated aldehydes such as acrolein; (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, cyanation Unsaturated nitriles such as vinylidene and allyl cyanide; styrene, 4-methylstyrene, 4-ethylstyrene, 4-methoxystyrene, 4-hydroxystyrene, 4-chlorostyrene, divinylbenzene, vinyltoluene, vinylbenzoic acid, vinyl Unsaturated aromatic compounds such as phenol, vinyl sulfonic acid, 4-vinylbenzene sulfonic acid, vinylbenzyl methyl ether, vinylbenzyl glycidyl ether; unsaturated ketones such as methyl vinyl ketone; vinylamine, allylamine, N-vinylpyrrolidone, vinyl Unsaturated amine compounds such as piperidine; vinyl alcohols such as allyl alcohol and crotyl alcohol; vinyl ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, n-butyl vinyl ether, isobutyl vinyl ether, allyl glycidyl ether; maleimide, N-phenyl maleimide, N -Unsaturated imides such as cyclohexylmaleimide; Indenes such as indene and 1-methylindene; Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene Macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the terminal of the polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, polysiloxane; vinyl chloride, vinylidene chloride, divinyls Vinylate compounds of vinyl chloride and vinylisocyanate compounds containing hydroxyl group, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, triallyl phosphate, triallyl phosphate, triallyl phosphate, triallyl isocyanurate, vinyl thioether, vinyl imidazole, vinyl oxazoline, vinyl carbazole Examples thereof include a vinyl epoxy compound containing vinyl monomer and polyepoxy compound.
Among these, a polymer mono (meth) acrylate having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, a polyfunctional (meth) acrylate having one carboxy group and two or more (meth) acryloyl groups, and an unsaturated mono- A photopolymerization initiator containing the oxime ester compound of the present invention in an ester of a basic acid and a polyhydric alcohol or a polyhydric phenol is suitable.
These polymerizable compounds may be used alone or in admixture of two or more, and when two or more are mixed and used, they are preliminarily copolymerized and used as a copolymer. May be.

Figure 0006688087
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上記エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物としては、アルカリ水溶液に可溶であれば特に限定されないが、例えば、特開2004−264414号公報に記載の樹脂等が挙げられる。   The compound having alkali developability that may have an ethylenically unsaturated group is not particularly limited as long as it is soluble in an aqueous alkali solution, and examples thereof include the resins described in JP-A 2004-264414. .

また、上記エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、下記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。
これらの中でも、下記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、不飽和基を0.2〜1.0当量含有していることが好ましい。
The compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated group is a copolymer of acrylic acid ester, phenol and / or cresol novolac epoxy resin, polyphenylmethane type having a polyfunctional epoxy group. A resin obtained by reacting an epoxy compound such as an epoxy resin, an epoxy acrylate resin, or an epoxy compound represented by the following general formula (IV) with an unsaturated monobasic acid and further with a polybasic acid anhydride is used. be able to.
Among these, a resin obtained by allowing an unsaturated monobasic acid to act on an epoxy compound such as an epoxy compound represented by the following general formula (IV) and further allowing a polybasic acid anhydride to act is preferable.
Further, the compound having an alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond preferably contains 0.2 to 1.0 equivalent of an unsaturated group.

Figure 0006688087
(式中、X1は直接結合、メチレン基、炭素原子数1〜4のアルキリデン基、炭素原子数3〜20の脂環式炭化水素基、O、S、SO2、SS、SO、CO、OCO又は下記〔化27〕、〔化28〕若しくは〔化29〕で表される置換基を表し、上記アルキリデン基はハロゲン原子で置換されていてもよく、R51、R52、R53及びR54は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜5のアルキル基、炭素原子数1〜8のアルコキシ基、炭素原子数2〜5のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、mは0〜10の整数であり、mが0で無いときに存在する光学異性体は、どの異性体でもよい。)
Figure 0006688087
(In the formula, X 1 is a direct bond, a methylene group, an alkylidene group having 1 to 4 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms, O, S, SO 2 , SS, SO, CO, OCO or a substituent represented by the following [Chemical formula 27], [Chemical formula 28] or [Chemical formula 29], wherein the above alkylidene group may be substituted with a halogen atom, R 51 , R 52 , R 53 and R 54 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms, or a halogen atom. The group and the alkenyl group may be substituted with a halogen atom, m is an integer of 0 to 10, and the optical isomer present when m is not 0 may be any isomer.)

Figure 0006688087
(式中、Z3は水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは炭素原子数1〜10
のアルコキシ基により置換されていてもよいフェニル基、又は炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは炭素原子数1〜10のアルコキシ基により置換されていてもよい炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を示し、Y1は炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原
子数1〜10のアルコキシ基、炭素原子数2〜10のアルケニル基又はハロゲン原子を示し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、dは0〜5の整数である。)
Figure 0006688087
(In the formula, Z 3 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or a carbon atom having 1 to 10 carbon atoms.
A phenyl group which may be substituted with an alkoxy group, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms which may be substituted with an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms Wherein Y 1 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms or a halogen atom, and the above alkyl group, alkoxy group and alkenyl group. May be substituted with a halogen atom, and d is an integer of 0-5. )

Figure 0006688087
Figure 0006688087

Figure 0006688087
(式中、Y2及びZ4は、それぞれ独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリール基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールオキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールチオ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールアルケニル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数7〜20のアリールアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数2〜20の複素環基、又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基及びアリールアルキル基中のアルキレン部分は、不飽和結合、−O−又は−S−で中断されていてもよく、Z4は、隣接するZ4同士で環を形成していてもよく、pは0〜4の整数を表し、qは0〜8の整数を表し、rは0〜4の整数を表し、sは0〜4の整数を表し、rとsの数の合計は2〜4の整数である。)
Figure 0006688087
(In the formula, Y 2 and Z 4 are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom. An aryl group, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, an arylthio group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and an aromatic group substituted with a halogen atom. An arylalkenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom. ring group, or a halogen atom, the alkylene moiety in the alkyl group and arylalkyl group, an unsaturated bond, may be interrupted by -O- or -S-, Z 4 , May form a ring with the adjacent Z 4 each other, p represents an integer of 0 to 4, q represents an integer of 0 to 8, r represents an integer of 0 to 4, s is 0 4 represents an integer of 4, and the sum of the numbers of r and s is an integer of 2 to 4.)

上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。   Examples of the unsaturated monobasic acid that acts on the epoxy compound include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate maleate, hydroxyethyl acrylate maleate, hydroxypropyl methacrylate maleate, hydroxypropyl. Examples thereof include acrylate / malate and dicyclopentadiene / malate.

また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。   Further, as the polybasic acid anhydride to act after acting the unsaturated monobasic acid, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, tetrahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, biphthalic anhydride, maleic anhydride, Trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, 2,2'-3,3'-benzophenone tetracarboxylic anhydride, ethylene glycol bisanhydrotrimellitate, glycerol trisanhydrotrimellitate, hexahydrophthalic anhydride , Methyltetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene -1,2-dicarboxylic acid anhydride, trialkyl tet Anhydride - maleic acid adduct, dodecenyl succinic anhydride, and anhydride and methyl high Mick acid.

上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。
即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行なうことができる。
The reaction molar ratio of the epoxy compound, the unsaturated monobasic acid and the polybasic acid anhydride is preferably as follows.
That is, in an epoxy adduct having a structure in which 0.1 to 1.0 carboxyl groups of the unsaturated monobasic acid are added to 1 epoxy group of the epoxy compound, the hydroxyl group 1 of the epoxy adduct is The ratio of the acid anhydride structure of the polybasic acid anhydride to the number of the acid anhydrides is preferably 0.1 to 1.0.
The reaction of the epoxy compound, the unsaturated monobasic acid and the polybasic acid anhydride can be carried out according to a conventional method.

本発明の感光性組成物の実施態様の一つである、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、必須成分として、本発明の光重合開始剤と、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物とを含有し、任意成分として、無機化合物、色材、溶媒等の成分を組み合わせて含有するものである。尚、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物のうち、色材を含有するものを、特に、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。
上記のエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、上記のエチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物とは同一の化合物であってもよく、異なっていても良く、また、単独であっても2種以上を併用してもよい。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, which is one of the embodiments of the photosensitive composition of the present invention, comprises a photopolymerization initiator of the present invention as an essential component and a polymerization having an ethylenically unsaturated bond. Functional compound and a compound having an alkali developability which may have an ethylenically unsaturated group, and as an optional component, a combination of components such as an inorganic compound, a coloring material and a solvent. Among the alkali-developable photosensitive resin compositions of the present invention, those containing a coloring material are also particularly referred to as the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention.
The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and the compound having an alkali developability which may have an ethylenically unsaturated group may be the same compound, or may be different, , And may be used in combination of two or more.

酸価調整して本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物の現像性を改良するため、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物と共に、更に単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、固形分の酸価が5〜120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。   In order to adjust the acid value and improve the developability of the (colored) alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond is further added together with the monomer. Functional or polyfunctional epoxy compounds can be used. The compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond preferably has an acid value of solid content in the range of 5 to 120 mgKOH / g, and the amount of monofunctional or polyfunctional epoxy compound used. Is preferably selected so as to satisfy the above acid value.

上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2−メチルクレジルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、下記化合物No.E1、No.E2等が挙げられる。   Examples of the monofunctional epoxy compound include glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether, heptyl. Glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, Allyl glycidyl ete , Propargyl glycidyl ether, p-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxy glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methyl cresyl glycidyl ether, 4-nonylphenyl glycidyl ether, benzyl glycidyl ether Ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monoxide, 1,2-epoxy-4-vinyl Cyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methylstyrene oxide, cyclohexene oxide, propylene oxide, the following compound No. E1, No. E2 etc. are mentioned.

Figure 0006688087
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Figure 0006688087
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上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を用いると、特性の一層良好な(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得ることができるので好ましい。
上記ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。
また上記グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン等を用いることができる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物;トリフェニルメタン型エポキシ化合物;ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
When one or more compounds selected from the group consisting of bisphenol type epoxy compounds and glycidyl ethers are used as the polyfunctional epoxy compound, a (colored) alkali developable photosensitive resin composition having better properties can be obtained. Is preferable because it can
As the bisphenol type epoxy compound, the epoxy compound represented by the general formula (IV) can be used, and, for example, a bisphenol type epoxy compound such as a hydrogenated bisphenol type epoxy compound can also be used.
Examples of the glycidyl ethers include ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,8-octanediol diglycidyl ether, 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol diglycidyl ether Ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) propane, 1,1,1-to (Glycidyloxymethyl) ethane, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) methane, 1,1,1,1- tetra (glycidyloxymethyl) can be used such as methane.
Other, novolac type epoxy compounds such as phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds, bisphenol A novolac type epoxy compounds, dicyclopentadiene novolac type epoxy compounds; 3,4-epoxy-6-methyl Alicyclic epoxies such as cyclohexylmethyl-3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane Compounds; glycidyl esters such as phthalic acid diglycidyl ester, tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, dimer acid glycidyl ester; tetraglycidyl diamino Glycidylamines such as phenylmethane, triglycidyl P-aminophenol, N, N-diglycidylaniline; etc .; Heterocyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5,5-dimethylhydantoin, triglycidyl isocyanurate; dicyclo Dioxide compounds such as pentadiene dioxide; naphthalene type epoxy compounds; triphenylmethane type epoxy compounds; dicyclopentadiene type epoxy compounds and the like can also be used.

本発明の感光性組成物において、本発明の光重合開始剤の含有量は特に限定されるものではないが、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは1〜70質量部、より好ましくは1〜50質量部、最も好ましくは5〜30質量部である。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the photopolymerization initiator of the present invention is not particularly limited, but is preferably 1 with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. To 70 parts by mass, more preferably 1 to 50 parts by mass, and most preferably 5 to 30 parts by mass.

特に、本発明の感光性組成物を(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上記エチレン性不飽和結合を有してもよいアルカリ現像性を有する化合物の含有量は、本発明の(着色)アルカリ現像型感光性樹脂組成物中、1〜20質量%、特に3〜12質量%が好ましい。   In particular, when the photosensitive composition of the present invention is a (colored) alkali developable photosensitive resin composition, the content of the compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond is In the (colored) alkali development type photosensitive resin composition of 1 to 20% by mass, particularly 3 to 12% by mass is preferable.

本発明の感光性組成物には、更に溶媒を加えることができる。該溶媒としては、通常、必要に応じて上記の各成分(本発明の光重合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物等)を溶解又は分散しえる溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルエーテルアセテート、エトキシエチルエーテルプロピオネート等のエーテルエステル系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油社)、ソルベッソ#100(エクソン化学社)等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒;アニリン;トリエチルアミン;ピリジン;酢酸;アセトニトリル;二硫化炭素;N,N−ジメチルホルムアミド;N,N−ジメチルアセトアミド;N−メチルピロリドン;ジメチルスルホキシド;水等が挙げられ、これらの溶媒は1種又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
これらの中でも、ケトン類、エーテルエステル系溶媒等、特にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物において、レジストと光重合開始剤の相溶性がよいので好ましい。
A solvent can be further added to the photosensitive composition of the present invention. The solvent is usually a solvent capable of dissolving or dispersing each of the above components (the photopolymerization initiator of the present invention and the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond), for example, methyl ethyl ketone, methyl amyl. Ketones, diethyl ketone, acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and other ketones; ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol. Ether-based solvents such as dimethyl ether; ester-based solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, cyclohexyl acetate, ethyl lactate, dimethyl succinate, and texanol; ethylene glycol monomethyl ether Cellosolve solvent such as ethylene glycol monoethyl ether; alcohol solvent such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, amyl alcohol; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, Propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl ether acetate, ethoxyethyl ether propionate and other ether ester solvents; benzene, toluene, xylene and other BTX solvents; hexane , Heptane, octane, cyclohexane and other aliphatic hydrocarbon solvents; terpine oil, D-limonene, pinene and other terpene hydrocarbon oils; mine Parasitic solvents such as Ruspirite, Swazol # 310 (Cosmo Matsuyama Oil Co., Ltd.) and Solvesso # 100 (Exxon Chemical Co.); halogenated aliphatic carbonization such as carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, methylene chloride and 1,2-dichloroethane. Hydrogen-based solvent; halogenated aromatic hydrocarbon solvent such as chlorobenzene; carbitol-based solvent; aniline; triethylamine; pyridine; acetic acid; acetonitrile; carbon disulfide; N, N-dimethylformamide; N, N-dimethylacetamide; N -Methylpyrrolidone; dimethylsulfoxide; water and the like, and these solvents can be used as one kind or as a mixed solvent of two or more kinds.
Among these, ketones, ether ester solvents and the like, particularly propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, cyclohexanone and the like are preferable since the resist and the photopolymerization initiator have good compatibility in the photosensitive composition.

また、本発明の感光性組成物(特にアルカリ現像性感光性樹脂組成物)に、更に色材を含有させて着色アルカリ現像性感光性組成物としてもよい。該色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。   Further, the photosensitive composition of the present invention (particularly the alkali-developable photosensitive resin composition) may further contain a coloring material to give a colored alkali-developable photosensitive composition. Examples of the coloring material include pigments, dyes and natural pigments. These coloring materials may be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物;ニトロ化合物;アゾ化合物;ジアゾ化合物;キサンテン化合物;キノリン化合物;アントラキノン化合物;クマリン化合物;フタロシアニン化合物;イソインドリノン化合物;イソインドリン化合物;キナクリドン化合物;アンタンスロン化合物;ペリノン化合物;ペリレン化合物;ジケトピロロピロール化合物;チオインジゴ化合物;ジオキサジン化合物;トリフェニルメタン化合物;キノフタロン化合物;ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック;上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶媒中で樹脂で分散処理し、20〜200mg/gの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が8nm以上でDBP吸油量が90ml/100g以下のもの、950℃における揮発分中のCO及びCO2から算出した全酸素量が、カーボンブラックの表面積100m2当たり9mg以上であるもの;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。 Examples of the pigment include nitroso compounds; nitro compounds; azo compounds; diazo compounds; xanthene compounds; quinoline compounds; anthraquinone compounds; coumarin compounds; phthalocyanine compounds; isoindolinone compounds; isoindoline compounds; quinacridone compounds; antanthrone compounds; perinone. Compounds; perylene compounds; diketopyrrolopyrrole compounds; thioindigo compounds; dioxazine compounds; triphenylmethane compounds; quinophthalone compounds; naphthalenetetracarboxylic acid; metal complex compounds of azo dyes and cyanine dyes; lake pigments; furnace method, channel method or thermal method Carbon black obtained by the method, or carbon black such as acetylene black, ketjen black or lamp black; the above carbon black Prepared by coating or coating with an epoxy resin, the carbon black previously dispersed in a solvent with a resin to adsorb 20 to 200 mg / g of resin, the carbon black treated with an acidic or alkaline surface, the average Those having a particle size of 8 nm or more and a DBP oil absorption of 90 ml / 100 g or less, and the total oxygen amount calculated from CO and CO 2 in volatile matter at 950 ° C. is 9 mg or more per 100 m 2 of surface area of carbon black; graphite , Graphitized carbon black, activated carbon, carbon fiber, carbon nanotube, carbon microcoil, carbon nanohorn, carbon aerogel, fullerene; aniline black, pigment black 7, titanium black; chromium oxide green, milori blue, cobalt green, cobalt blue, manganese-based , Ferrocyanide Phosphate ultramarine, navy blue, ultramarine, cerulean blue, pyridian, emerald green, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red iron oxide (red iron oxide (III)), cadmium red, synthetic iron black, amber and other organic or inorganic Pigments can be used. These pigments may be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロー1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリ−ン7、10、36;ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。   As the pigment, a commercially available pigment may be used, and for example, Pigment Red 1, 2, 3, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48, 49, 88, 90, 97, 112, 119, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 177, 179, 180, 184, 185, 192, 200, 202, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 254; Pigment Orange 13, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 65, 71; Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 20, 24, 55, 60, 73, 81, 83, 86, 93, 95, 97. 98, 100, 109, 110, 113, 114, 117, 120, 125, 126, 127, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 166, 168, 175, 180, 185; Pigment Green 7, 10, 36; Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 5, 15: 6, 22, 24, 56, 60, 61, 62, 64; Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 50 and the like.

上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。   Examples of the dyes include azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes, indamine dyes, oxazine dyes, phthalocyanine dyes. , Dyes such as cyanine dyes, and the like, and a plurality of these may be mixed and used.

本発明の着色アルカリ現像性感光性組成物において、上記色材の含有量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは50〜350質量部、より好ましくは100〜250質量部である。   In the colored alkaline developable photosensitive composition of the present invention, the content of the coloring material is preferably 50 to 350 parts by mass, more preferably 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. It is 100 to 250 parts by mass.

本発明の感光性組成物には、更に無機化合物を含有させることができる。該無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物;層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末(特にガラスフリット)、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられる。
これらの中でも、ガラスフリット、酸化チタン、シリカ、層状粘土鉱物、銀等が好ましい。本発明の感光性組成物において、上記無機化合物の含有量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜1000質量部、より好ましくは10〜800質量部である。尚、これらの無機化合物は1種又は2種以上を使用することができる。
The photosensitive composition of the present invention may further contain an inorganic compound. Examples of the inorganic compound include metal oxides such as nickel oxide, iron oxide, iridium oxide, titanium oxide, zinc oxide, magnesium oxide, calcium oxide, potassium oxide, silica, and alumina; layered clay minerals, milori blue, calcium carbonate, Magnesium carbonate, cobalt-based, manganese-based, glass powder (especially glass frit), mica, talc, kaolin, ferrocyanide, various metal sulfates, sulfides, selenides, aluminum silicates, calcium silicates, aluminum hydroxide, platinum, Gold, silver, copper, etc. are mentioned.
Among these, glass frit, titanium oxide, silica, layered clay mineral, silver and the like are preferable. In the photosensitive composition of the present invention, the content of the inorganic compound is preferably 0.1 to 1000 parts by mass, more preferably 10 to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. It is 800 parts by mass. In addition, these inorganic compounds can use 1 type (s) or 2 or more types.

これら無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電剤、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、撥インク剤等として用いられる。   These inorganic compounds are used, for example, as a filler, an antireflection agent, a conductive agent, a stabilizer, a flame retardant, a mechanical strength improver, a special wavelength absorber, an ink repellent agent, and the like.

本発明の感光性組成物には、色材及び/又は無機化合物を分散させる分散剤を加えることができる。該分散剤としては、色材又は無機化合物を分散、安定化できるものであれば制限されず、市販の分散剤、例えば、ビックケミー社製のBYKシリーズ等を用いることができる。特に、塩基性官能基を有するポリエステル、ポリエーテル、又はポリウレタンからなる高分子分散剤、塩基性官能基として窒素原子を有し、窒素原子を有する官能基がアミン、及び/又はその四級塩であり、アミン価が1〜100mgKOH/gのものが好適に用いられる。   A dispersant that disperses a colorant and / or an inorganic compound can be added to the photosensitive composition of the present invention. The dispersant is not limited as long as it can disperse and stabilize the coloring material or the inorganic compound, and a commercially available dispersant such as BYK series manufactured by BYK Chemie can be used. In particular, a polymer dispersant comprising a polyester, polyether or polyurethane having a basic functional group, a nitrogen atom as a basic functional group, and the functional group having a nitrogen atom is an amine and / or a quaternary salt thereof. And those having an amine value of 1 to 100 mgKOH / g are preferably used.

本発明の感光性組成物では、本発明の光重合開始剤と共に他の光重合開始剤を併用することができる。併用できる他の光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンゾイン、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4'−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4'−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4'−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9'−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2'−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,2−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1−2’−ビイミダゾール、4、4−アゾビスイソブチロニトリル、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、N−1414、N−1717、N−1919、PZ−408(ADEKA社製)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(BASF社製)、過酸化ベンゾイル、下記一般式(V)〜(VII)で表される化合物等が挙げられ、これらの他の光重合開始剤を使用する場合、その使用量は、好ましくは本発明のオキシムエステル化合物の使用量の1質量倍以下とする。尚、これらの光重合開始剤は、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   In the photosensitive composition of the present invention, another photopolymerization initiator can be used in combination with the photopolymerization initiator of the present invention. As the other photopolymerization initiator that can be used in combination, it is possible to use a conventionally known compound, for example, benzophenone, phenylbiphenyl ketone, 1-hydroxy-1-benzoylcyclohexane, benzoin, benzyldimethylketal, 1-benzyl-. 1-Dimethylamino-1- (4'-morpholinobenzoyl) propane, 2-morpholyl-2- (4'-methylmercapto) benzoylpropane, thioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, ethyl Anthraquinone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, benzoin butyl ether, 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2- (4'-isopropyl) benzoylpropane, 4-bu Tylbenzoyltrichloromethane, 4-phenoxybenzoyldichloromethane, methyl benzoylformate, 1,7-bis (9′-acridinyl) heptane, 9-n-butyl-3,6-bis (2′-morpholinoisobutyroyl) carbazole, 2-Methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2,2-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1-2'-biimidazole, 4,4-azobisisobutyronitrile, triphenylphosphine , Camphorquinone, N-1414, N-1717, N-1919, PZ-408 (made by ADEKA), IRGACUR 369, IRGACURE 907, IRGACURE OXE 01, IRGACURE OXE 02 (manufactured by BASF), benzoyl peroxide, compounds represented by the following general formulas (V) to (VII), and the like. When used, the amount used is preferably not more than 1 mass times the amount used of the oxime ester compound of the present invention. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

Figure 0006688087
(式中、R1及びR2は、上記一般式(I)中のR1及びR2と同じであり、R33は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、R33で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合があり、Y3は、ハロゲン原子又はアルキル基を表し、nは0〜5の整数である。)
Figure 0006688087
(Wherein, R 1 and R 2 are the same as R 1 and R 2 in the general formula (I), R 33 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, carbon atoms 6 To an aryl group having 30 to 30 carbon atoms or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, the alkyl part of the group represented by R 33 may have a branched side chain, may be cyclic alkyl, and may be Y 3 Represents a halogen atom or an alkyl group, and n is an integer of 0 to 5.)

Figure 0006688087
(式中、R1及びR2は、上記一般式(I)中のR1及びR2と同じであり、R33は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、R33で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合があり、Y3及びnは上記一般式(V)と同じであり、R’1及びR’2は、R1と同じであり、R’33はR33と同じであり、Y’3はY3と同じであり、R8はジオール残基又はジチオール残基を表し、Z5は酸素原子又は硫黄原子を表す。)
Figure 0006688087
(Wherein, R 1 and R 2 are the same as R 1 and R 2 in the general formula (I), R 33 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, carbon atoms 6 To an aryl group having 30 to 30 carbon atoms or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, the alkyl part of the group represented by R 33 may have a branched side chain, may be cyclic alkyl, and may be Y 3 And n are the same as those in the general formula (V), R ′ 1 and R ′ 2 are the same as R 1 , R ′ 33 is the same as R 33 , and Y ′ 3 is the same as Y 3 . And R 8 represents a diol residue or a dithiol residue, and Z 5 represents an oxygen atom or a sulfur atom.)

Figure 0006688087
(式中、R1及びR2は、上記一般式(I)中のR1及びR2と同じであり、R33は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、R33で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合があり、Y3及びnは、上記一般式(V)と同じであり、Z6は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、Aは複素環基を表し、tは0〜5の整数であり、uは0又は1である。)
Figure 0006688087
(Wherein, R 1 and R 2 are the same as R 1 and R 2 in the general formula (I), R 33 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, carbon atoms 6 To an aryl group having 30 to 30 carbon atoms or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, the alkyl part of the group represented by R 33 may have a branched side chain, may be cyclic alkyl, and may be Y 3 And n are the same as those in the general formula (V), Z 6 represents an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom, A represents a heterocyclic group, t is an integer of 0 to 5, and u is 0. Or 1.)

また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、p−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、t−ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;表面調整剤;酸化防止剤;紫外線吸収剤;分散助剤;凝集防止剤;触媒;効果促進剤;架橋剤;増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。   In the photosensitive composition of the present invention, if necessary, a thermal polymerization inhibitor such as p-anisole, hydroquinone, pyrocatechol, t-butylcatechol, phenothiazine; a plasticizer; an adhesion promoter; a filler; Conventional additives such as a foaming agent, a leveling agent, a surface modifier, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a dispersion aid, an anticoagulant, a catalyst, an effect accelerator, a crosslinking agent, a thickener, and the like can be added.

本発明の感光性組成物において、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物及び本発明のオキシムエステル化合物以外の任意成分(但し、上記の他の光重合開始剤、エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物、無機化合物(充填剤)、色材及び溶媒は除く)の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して合計で50質量部以下とする。   In the photosensitive composition of the present invention, any component other than the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and the oxime ester compound of the present invention (provided that the above-mentioned other photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated group are contained). The amount of the compound having an alkali developability, the inorganic compound (filler), the coloring material, and the solvent, which may be used, is appropriately selected depending on the purpose of use and is not particularly limited, but preferably the above-mentioned ethylenic The total amount is 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having a saturated bond.

また、本発明の感光性組成物には、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と共に、他の有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
他の有機重合体を使用する場合、その使用量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは10〜500質量部である。
Further, in the photosensitive composition of the present invention, the characteristics of the cured product can be improved by using another organic polymer together with the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. Examples of the organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly (meth) acrylic acid, styrene- (meth) acrylic acid copolymer, and (meth) acrylic acid-methyl methacrylate. Copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polyvinyl chloride resin, ABS resin, nylon 6, nylon 66, nylon 12, urethane resin, polycarbonate polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, saturated Examples thereof include polyester, phenol resin, phenoxy resin, polyamideimide resin, polyamic acid resin, and epoxy resin. Among these, polystyrene, (meth) acrylic acid-methyl methacrylate copolymer, and epoxy resin are preferable. Arbitrariness.
When another organic polymer is used, its amount is preferably 10 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.

本発明の感光性組成物には、更に、連鎖移動剤、増感剤、界面活性剤、シランカプリング剤、メラミン等を併用することができる。   The photosensitive composition of the present invention may further contain a chain transfer agent, a sensitizer, a surfactant, a silane coupling agent, melamine and the like.

上記連鎖移動剤又は増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4−メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物No.C1、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズMT BD1、PE1、NR1等が挙げられる。   A sulfur atom-containing compound is generally used as the chain transfer agent or the sensitizer. For example, thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N- (2-mercaptopropionyl) glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3- [N- ( 2-mercaptoethyl) carbamoyl] propionic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) amino] propionic acid, N- (3-mercaptopropionyl) alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3-mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio) phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto-2-butanol, mercaptophenol , 2-me Captoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3- Mercapto compounds such as mercaptopropionate), disulfide compounds obtained by oxidizing the mercapto compounds, iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid, etc. Alkyl compounds, trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), hexanedithiol, decanedithiol, 1,4- Methyl mercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate , Trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, diethylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, the following compound No. C1, aliphatic polyfunctional thiol compounds such as tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate trimercaptopropionate, Karenz MT BD1, PE1, NR1 manufactured by Showa Denko KK and the like can be mentioned.

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上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤;高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤;高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤;ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤;両性界面活性剤;シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。   Examples of the above-mentioned surfactants include fluorosurfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkylcarboxylates; anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkylsulfonates and alkylsulfates; higher amines. Cationic surfactants such as halogenates and quaternary ammonium salts; nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid monoglycerides; amphoteric surfactants; silicone surfactants Surfactants such as agents can be used, and these may be used in combination.

上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、KBE−9007、KBM−502、KBE−403等の、イソシアネート基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。   As the silane coupling agent, for example, a silane coupling agent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be used, and among them, it has an isocyanate group, a methacryloyl group or an epoxy group such as KBE-9007, KBM-502, KBE-403. A silane coupling agent is preferably used.

上記メラミン化合物としては、(ポリ)メチロールメラミン、(ポリ)メチロールグリコールウリル、(ポリ)メチロールベンゾグアナミン、(ポリ)メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基(CH2OH基)の全部又は一部(少なくとも2つ)がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。
これらの中でも、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。
Examples of the melamine compound include all or part of active methylol groups (CH 2 OH groups) in nitrogen compounds such as (poly) methylolmelamine, (poly) methylolglycoluril, (poly) methylolbenzoguanamine, and (poly) methylolurea. Examples thereof include compounds in which (at least two) are alkyl etherified.
Here, examples of the alkyl group forming the alkyl ether include a methyl group, an ethyl group, and a butyl group, and they may be the same as or different from each other. Further, the non-alkyl etherified methylol group may be self-condensed within one molecule, or may be condensed between two molecules to form an oligomer component as a result.
Specifically, hexamethoxymethylmelamine, hexabutoxymethylmelamine, tetramethoxymethylglycoluril, tetrabutoxymethylglycoluril and the like can be used.
Among these, alkyl etherified melamines such as hexamethoxymethylmelamine and hexabutoxymethylmelamine are preferable.

本発明の硬化物を形成する方法は、基体を準備する工程、本発明の感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を基体に塗布する工程及びエネルギー線を照射する工程を含む方法である。   The method for forming a cured product of the present invention comprises a step of preparing a substrate, a step of applying the photosensitive composition of the present invention, an alkali developable photosensitive resin composition, or a colored alkali developable photosensitive resin composition to a substrate. And a step of irradiating an energy ray.

上記基体の材質としては、例えばシリコン;窒化ケイ素、窒化チタン、窒化タンタル、酸化チタン、窒化チタン、酸化ルテニウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ランタン等のセラミックス;ソーダガラス、石英ガラス等のガラス;金属ルテニウム等の金属;ジアセチルセルロース、トリアセチルセルロース、プロピオニルセルロース、ブチリルセルロース、アセチルプロピオニルセルロース、ニトロセルロース等のセルロースエステル;ポリアミド;ポリカーボネート;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ−1,4−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート、ポリエチレン−1,2−ジフェノキシエタン−4,4'−ジカルボキシレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリスチレン;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン;ポリメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂;ポリカーボネート;ポリスルホン;ポリエーテルスルホン;ポリエーテルケトン;ポリエーテルイミド;ポリオキシエチレン、ノルボルネン樹脂等;が挙げられる。これらのなかでも、ポリエチレンテレフタレートを用いた場合は、硬化物と基体との密着性が良好なことから好ましい。基体の形状としては、板状、球状、繊維状、鱗片状が挙げられ、基体表面は、平面であってもよく、トレンチ構造等の三次元構造となっていてもよい。本発明の硬化物を形成する方法に用いられる基体の形状は板状が好ましく、その表面は平面であることが好ましい。   Examples of the material of the substrate include silicon; ceramics such as silicon nitride, titanium nitride, tantalum nitride, titanium oxide, titanium nitride, ruthenium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, and lanthanum oxide; glass such as soda glass and quartz glass; metal. Metals such as ruthenium; cellulose esters such as diacetyl cellulose, triacetyl cellulose, propionyl cellulose, butyryl cellulose, acetyl propionyl cellulose, nitrocellulose; polyamides; polycarbonates; polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, poly-1,4 -Cyclohexane dimethylene terephthalate, polyethylene-1,2-diphenoxyethane-4,4'-dicarboxylate, polybutylene terephthalate Polyester such as; polystyrene; polyolefin such as polyethylene, polypropylene, polymethylpentene; acrylic resin such as polymethylmethacrylate; polycarbonate; polysulfone; polyethersulfone; polyetherketone; polyetherimide; polyoxyethylene, norbornene resin, etc .; Is mentioned. Of these, the use of polyethylene terephthalate is preferable because it provides good adhesion between the cured product and the substrate. Examples of the shape of the base include a plate shape, a spherical shape, a fibrous shape, and a scaly shape. The base surface may be a flat surface or may have a three-dimensional structure such as a trench structure. The shape of the substrate used in the method for forming a cured product of the present invention is preferably plate-like, and the surface thereof is preferably flat.

上記塗布する工程に用いられる塗布方法としては、特に限定されるものではないが、例えばスピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段を用いることができる。また、本発明の硬化物を形成する方法を用いて第1の基体に硬化物を形成した後に、第2の基体に転写することもできる。 The coating method used in the coating step is not particularly limited, for example, spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various printing, using a known means such as dipping You can Alternatively, the method for forming a cured product of the present invention may be used to form the cured product on the first substrate and then transfer it to the second substrate.

上記エネルギー線を照射する工程に用いられるエネルギー線の光源としては、特に限定されるものではないが、例えば、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、CRT光源等から得られる2000オングストロームから7000オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、X線、放射線等の高エネルギー線を利用することができる。好ましくは、波長300〜450nmの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が挙げられる。   The energy ray light source used in the step of irradiating the energy ray is not particularly limited, but for example, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a mercury vapor arc lamp. , Xenon arc lamps, carbon arc lamps, metal halide lamps, fluorescent lamps, tungsten lamps, excimer lamps, germicidal lamps, light emitting diodes, CRT light sources, etc., with electromagnetic wave energy and electron beams and X-rays having wavelengths of 2000 angstroms to 7000 angstroms , High energy rays such as radiation can be used. Preferably, an ultra-high pressure mercury lamp, a mercury vapor arc lamp, a carbon arc lamp, a xenon arc lamp, etc., which emit light with a wavelength of 300 to 450 nm are used.

更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、340〜430nmの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びYAGレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いられる。これらのレーザーを使用する場合には、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。また、ハーフトーンマスクを使用して用いることもできる。   Furthermore, by using laser light as the exposure light source, the laser direct writing method that directly forms an image from digital information from a computer without using a mask improves not only productivity but also resolution and positional accuracy. It is also useful because the laser light having a wavelength of 340 to 430 nm is preferably used, and an excimer laser, a nitrogen laser, an argon ion laser, a helium cadmium laser, a helium neon laser, a krypton ion laser is preferably used. Various semiconductor lasers and YAG lasers that emit light in the visible to infrared region are also used. When using these lasers, sensitizing dyes that absorb in the visible to infrared region of interest are added. It can also be used by using a halftone mask.

本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料又はワニス;光硬化性接着剤;プリント基板;カラーテレビ、PCモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルター;CCDイメージセンサのカラーフィルター;プラズマ表示パネル用の電極材料;粉末コーティング;印刷インク;印刷版;接着剤;歯科用組成物;ゲルコート;電子工学用のフォトレジスト;電気メッキレジスト;エッチングレジスト;ドライフィルム;はんだレジスト;種々の表示用途用のカラーフィルターを製造するための或いはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、及びLCDの製造工程において構造を形成するためのレジスト;電気及び電子部品を封入するための組成物;ソルダーレジスト;磁気記録材料;微小機械部品;導波路;光スイッチ;めっき用マスク;エッチングマスク;カラー試験系;ガラス繊維ケーブルコーティング;スクリーン印刷用ステンシル;ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料;ホログラフィ記録用材料;画像記録材料;微細電子回路;脱色材料;画像記録材料のための脱色材料;マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料;印刷配線板用フォトレジスト材料;UV及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料;プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。   The photosensitive composition of the present invention comprises a photocurable paint or varnish; a photocurable adhesive; a printed circuit board; a color filter in a color display liquid crystal display device such as a color television, a PC monitor, a personal digital assistant, a digital camera; Image sensor color filter; Electrode material for plasma display panel; Powder coating; Printing ink; Printing plate; Adhesive; Dental composition; Gel coat; Photoresist for electronics; Electroplating resist; Etching resist; Dry film; Solder resist; resist for manufacturing color filters for various display applications or for forming structures in the manufacturing process of plasma display panels, electroluminescent displays, and LCDs; composition for encapsulating electrical and electronic components Thing; solder resist; magnetic recording material; micro mechanical parts Waveguides; Optical switches; Plating masks; Etching masks; Color test systems; Glass fiber cable coatings; Screen printing stencils; Materials for producing three-dimensional objects by stereolithography; Holographic recording materials; Image recording materials; Fine electronic circuit; Decolorization material; Decolorization material for image recording material; Decolorization material for image recording material using microcapsules; Photoresist material for printed wiring board; Photoresist material for UV and visible laser direct image system; It can be used for various applications such as a photoresist material or a protective film used for forming a dielectric layer in successive lamination of printed circuit boards, and the application is not particularly limited.

本発明の感光性組成物は、液晶表示パネル用のスペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性組成物として有用である。   The photosensitive composition of the present invention can also be used for the purpose of forming spacers for liquid crystal display panels and for forming protrusions for vertical alignment type liquid crystal display elements. In particular, it is useful as a photosensitive composition for simultaneously forming a protrusion and a spacer for a vertical alignment type liquid crystal display device.

上記の液晶表示パネル用スペーサーは、(1)本発明の感光性組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射する工程、(3)露光後のベーク工程、(4)露光後の該被膜を現像する工程、(5)現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。   The spacer for a liquid crystal display panel is (1) a step of forming a coating film of the photosensitive composition of the present invention on a substrate, (2) irradiating the coating film with radiation through a mask having a predetermined pattern shape. It is preferably formed by the following steps: (3) baking after exposure, (4) developing the coating after exposure, and (5) heating the coating after development.

撥インク剤を添加した本発明の(着色)感光性組成物は、インクジェット方式用隔壁形成樹脂組成物として有用であり、該組成物はカラーフィルター用として用いられ、特にプロファイル角が50°以上であるインクジェット方式カラーフィルター用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる組成物が好適に用いられる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The (colored) photosensitive composition of the present invention to which an ink repellent is added is useful as a partition wall forming resin composition for an inkjet system, and the composition is used for a color filter, and particularly when the profile angle is 50 ° or more. It is preferably used for a partition wall for an inkjet type color filter. As the ink repellent, a fluorine-containing surfactant and a composition containing a fluorine-containing surfactant are preferably used.

本発明の感光性組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されているのが好ましく、基板上に複数の着色領域からなる画素群と上記画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有し、上記の光学素子の製造方法により作製された光学素子が好ましく用いられる。   The optical element is formed by a method in which a partition formed from the photosensitive composition of the present invention divides the transferred material, and droplets are applied to the recessed portions on the transferred material by the inkjet method to form an image area. Manufactured. At this time, it is preferable that the droplets contain a colorant and the image area is colored, and at least a pixel group formed of a plurality of colored areas and a partition wall separating each colored area of the pixel group are formed on the substrate. An optical element which has the above-described optical element and is manufactured by the above-described optical element manufacturing method is preferably used.

本発明の感光性組成物は、保護膜又は絶縁膜用組成物としても用いられ、紫外線吸収剤、アルキル化変性メラミン及び/又はアクリル変性メラミン、分子中にアルコール性水酸基を含有する1又は2官能の(メタ)アクリレートモノマー及び/又はシリカゾルを含有することができる。   The photosensitive composition of the present invention is also used as a composition for a protective film or an insulating film, and contains a UV absorber, an alkylated modified melamine and / or an acrylic modified melamine, and a monofunctional or bifunctional compound having an alcoholic hydroxyl group in the molecule. (Meth) acrylate monomer and / or silica sol can be contained.

上記保護膜、絶縁膜用の感光性組成物としては、
(A)ジオ−ル化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られ、重量平均分子量が2,000〜40,000、酸価が50〜200mgKOH/gであるカルボキシル基含有樹脂、
(B)光重合可能なエチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ以上含む不飽和化合物、
(C)エポキシ化合物、及び
(D)本発明の光重合開始剤、
を主成分とする樹脂組成物である。
上記保護膜、絶縁膜用の感光性組成物においては、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、(C)成分が10〜40重量部、(D)成分が0.01〜2.0重量部含有され、且つ、(D)成分の光重合開始剤として上記一般式(I)で表される化合物を含有するものが好ましい。
The protective film, the photosensitive composition for the insulating film,
(A) a carboxyl group-containing resin obtained by reacting a diol compound with polyvalent carboxylic acids, having a weight average molecular weight of 2,000 to 40,000 and an acid value of 50 to 200 mgKOH / g,
(B) an unsaturated compound containing at least one photopolymerizable ethylenically unsaturated bond in one molecule,
(C) epoxy compound, and (D) photopolymerization initiator of the present invention,
Is a resin composition containing as a main component.
In the photosensitive composition for the protective film and insulating film, the component (C) is 10 to 40 parts by weight and the component (D) is 0 based on 100 parts by weight of the total of the components (A) and (B). Those containing 0.01 to 2.0 parts by weight and the compound represented by the above general formula (I) as the photopolymerization initiator of the component (D) are preferable.

上記絶縁膜は、剥離可能な支持基材上に絶縁樹脂層が設けられた積層体における該絶縁樹脂層に用いられ、該積層体は、アルカリ水溶液による現像が可能なものであり、絶縁樹脂層の膜厚が10〜100μmであることが好ましい。   The insulating film is used for the insulating resin layer in a laminated body in which an insulating resin layer is provided on a peelable support substrate, and the laminated body can be developed with an alkaline aqueous solution. The film thickness of 10 to 100 μm is preferable.

本発明の感光性組成物は、無機材料(無機化合物)を含有させることで、感光性ペースト組成物として用いることができる。該感光性ペースト組成物は、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン及びブラックマトリックスパターン等の焼成物パターンを形成するために用いられる。   The photosensitive composition of the present invention can be used as a photosensitive paste composition by containing an inorganic material (inorganic compound). The photosensitive paste composition is used to form a fired product pattern such as a partition pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern and a black matrix pattern of a plasma display panel.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and the like.

〔実施例1〕化合物No.35の製造 [Example 1] Compound No. 35 production

化合物No.107(3.74g、10.0mmol)をテトラヒドロフラン20mlに溶解させた溶液に室温で4−ジメチルアミノピリジン(0.61g、5.0mmol)及びカルボニルイミダゾール(0.81g、5.0mmol)を加え、室温のまま14時間撹拌した。撹拌後に飽和塩化アンモニウム水溶液を加え、トルエンで抽出し、さらに減圧することで溶媒を留去し、得られた残渣をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付し、酢酸エチルとn−ヘキサンの混合溶媒(体積比 酢酸エチル:n−ヘキサン=1:3) の流分より化合物No.35を得た。
(分析値)
(1)1H−NMR(溶媒:重ベンゼン)(ケミカルシフト:H数:多重度:分裂間隔)
(7.93,4H,d,8.5Hz)(7.46,4H,d,8.5Hz)(7.07,4H,d,8.5Hz)(6.96,4H,d,8.5Hz)(4.56,4H,t,4.6Hz)(4.26,4H,t,4.6Hz)(2.26,6H,s)(2.25,6H,s)
(2)IR(neat)・: 2959,2934,2892,1778,1750,
1662,1585,1493,1455,1404,1367,1268,1231,1175,1081,1037,995,940,882,831 cm-1
(3)ESI−MS m/z: 790.2(M+NH4 +
(4)TG/TDA: 220℃(分解開始温度)
(5)UV(PGMEA):λmax=328nm(ε=3.18x104
(6)Solubility(PGMEA): >30wt%
Compound No. To a solution of 107 (3.74 g, 10.0 mmol) dissolved in 20 ml of tetrahydrofuran was added 4-dimethylaminopyridine (0.61 g, 5.0 mmol) and carbonylimidazole (0.81 g, 5.0 mmol) at room temperature, The mixture was stirred at room temperature for 14 hours. After stirring, a saturated aqueous solution of ammonium chloride was added, the mixture was extracted with toluene, the solvent was distilled off by further reducing the pressure, and the obtained residue was subjected to silica gel column chromatography, and mixed solvent of ethyl acetate and n-hexane (volume ratio). Compound No. was obtained from the fraction of ethyl acetate: n-hexane = 1: 3). 35 was obtained.
(Analysis value)
(1) 1 H-NMR (solvent: heavy benzene) (chemical shift: H number: multiplicity: splitting interval)
(7.93, 4H, d, 8.5Hz) (7.46, 4H, d, 8.5Hz) (7.07, 4H, d, 8.5Hz) (6.96, 4H, d, 8. 5Hz) (4.56, 4H, t, 4.6Hz) (4.26, 4H, t, 4.6Hz) (2.26, 6H, s) (2.25, 6H, s)
(2) IR (neat): 2959, 2934, 2892, 1778, 1750,
1662, 1585, 1493, 1455, 1404, 1367, 1268, 1231, 1175, 1081, 1037, 995, 940, 882, 831 cm -1
(3) ESI-MS m / z: 790.2 (M + NH 4 + ).
(4) TG / TDA: 220 ° C (decomposition start temperature)
(5) UV (PGMEA): λmax = 328 nm (ε = 3.18 × 10 4 ).
(6) Solubility (PGMEA):> 30 wt%

〔実施例2〕化合物No.19の製造
化合物No.91(4.15g、10.0mmol)をテトラヒドロフラン25mlに溶解させた溶液に室温で4−ジメチルアミノピリジン(0.61g、5.0mmol)及びカルボニルイミダゾール(0.81g、5.0mmol)を加え、室温のまま16時間撹拌した。撹拌後に飽和塩化アンモニウム水溶液を加え、トルエンで抽出し、さらに減圧することで溶媒を留去し、得られた残渣をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付し、酢酸エチルとn−ヘキサンの混合溶媒(体積比 酢酸エチル:n−ヘキサン=2:3) の流分より化合物No.19を得た。

(分析値)
ESI−MS m/z: 874.2(M+NH4 +
Example 2 Compound No. Production of Compound No. 19 To a solution of 91 (4.15 g, 10.0 mmol) dissolved in 25 ml of tetrahydrofuran was added 4-dimethylaminopyridine (0.61 g, 5.0 mmol) and carbonylimidazole (0.81 g, 5.0 mmol) at room temperature, The mixture was stirred at room temperature for 16 hours. After stirring, a saturated aqueous solution of ammonium chloride was added, the mixture was extracted with toluene, the solvent was distilled off by further reducing the pressure, and the obtained residue was subjected to silica gel column chromatography, and mixed solvent of ethyl acetate and n-hexane (volume ratio). Compound No. was obtained from the fraction of ethyl acetate: n-hexane = 2: 3). I got 19.

(Analysis value)
ESI-MS m / z: 874.2 (M + NH 4 +)

〔実施例3〕化合物No.47の製造
化合物No.117(4.35g、10.0mmol)をテトラヒドロフラン25mlに溶解させた溶液に室温で4−ジメチルアミノピリジン(0.61g、5.0mmol)及びカルボニルイミダゾール(0.81g、5.0mmol)を加え、室温のまま16時間撹拌した。撹拌後に飽和塩化アンモニウム水溶液を加え、トルエンで抽出し、さらに減圧することで溶媒を留去し、得られた残渣をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付し、酢酸エチルとn−ヘキサンの混合溶媒(体積比 酢酸エチル:n−ヘキサン=2:3) の流分より化合物No.47を得た。

(分析値)
ESI−MS m/z: 914.2(M+NH4 +
Example 3 Compound No. Production of Compound No. 47 4-dimethylaminopyridine (0.61 g, 5.0 mmol) and carbonylimidazole (0.81 g, 5.0 mmol) were added to a solution prepared by dissolving 117 (4.35 g, 10.0 mmol) in 25 ml of tetrahydrofuran at room temperature, The mixture was stirred at room temperature for 16 hours. After stirring, a saturated aqueous solution of ammonium chloride was added, the mixture was extracted with toluene, the solvent was distilled off by further reducing the pressure, and the obtained residue was subjected to silica gel column chromatography, and mixed solvent of ethyl acetate and n-hexane (volume ratio). Compound No. was obtained from the fraction of ethyl acetate: n-hexane = 2: 3). Got 47.

(Analysis value)
ESI-MS m / z: 914.2 (M + NH 4 +)

〔実施例4〕組成物の製造
表1に示す配合で組成物を配合し、実施例組成物No.1〜10とした。
[Example 4] Production of composition A composition was compounded as shown in Table 1, and the composition of Example composition No. It was set to 1-10.

Figure 0006688087
Figure 0006688087

〔製造例1〕
表2に示す配合で組成物を配合し、比較組成物1及び2とした。
[Production Example 1]
Compositions were blended in the formulations shown in Table 2 to give Comparative Compositions 1 and 2.

Figure 0006688087
Figure 0006688087

〔評価例1〕溶解性試験
実施例組成物No.1〜10並びに比較組成物1及び2について、プロピレングリコールモノメチルエーテル アセテートへの溶解性を評価した。
組成物の20質量%超溶解した場合を++、20〜17質量%溶解した場合を+、17質量%未満しか溶解しなかった場合を−とした。結果を表3に示す。
[Evaluation Example 1] Solubility test Example composition No. 1 to 10 and Comparative Compositions 1 and 2 were evaluated for solubility in propylene glycol monomethyl ether acetate.
The case where more than 20 mass% of the composition was dissolved was designated as ++, the case where 20 to 17 mass% was dissolved was defined as +, and the case where less than 17 mass% was dissolved was defined as −. The results are shown in Table 3.

Figure 0006688087
Figure 0006688087

表1の結果より、評価例1−1〜1−10は比較例1及び2よりも高い溶解性を示すことがわかった。なかでも、評価例1−3、1−6、1−9及び1−10は特に高い溶解性を示すことがわかった。   From the results in Table 1, it was found that Evaluation Examples 1-1 to 1-10 exhibited higher solubility than Comparative Examples 1 and 2. Among them, it was found that Evaluation Examples 1-3, 1-6, 1-9 and 1-10 exhibited particularly high solubility.

〔実施例5〕アルカリ現像性感光性樹脂組成物の製造
SPC−1000(アクリル樹脂;昭和電工社製)55g、アロニックスM−450(多官能アクリレート;東亜合成社製)13g、KBE−403(シランカップリング剤;信越シリコーン社製)0.57g、FZ−2122(界面活性剤;日本ユニカー社製)のシクロヘキサノン1%溶液3.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート28gを混合し、混合液から15g量り取り、ここへ実施例組成物No.1〜10 0.20gを各々添加して撹拌することでアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜10を得た。
[Example 5] Production of alkali-developable photosensitive resin composition SPC-1000 (acrylic resin; Showa Denko KK) 55 g, Aronix M-450 (polyfunctional acrylate; Toa Gosei KK) 13 g, KBE-403 (silane 0.57 g of coupling agent; manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., 3.2 g of a 1% cyclohexanone solution of FZ-2122 (surfactant; manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) and 28 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate are mixed. , 15 g from the mixed solution, and the composition No. 1 to 10 0.20 g of each was added and stirred to obtain the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1-10 were obtained.

〔製造例2〕比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物の製造
SPC−1000(アクリル樹脂;昭和電工社製)55g、アロニックスM−450(多官能アクリレート;東亜合成社製)13g、KBE−403(シランカップリング剤;信越シリコーン社製)0.57g、FZ−2122(界面活性剤;日本ユニカー社製)のシクロヘキサノン1%溶液3.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート28gを混合し、混合液から15g量り取り、ここへ比較例組成物1又は2 0.20gを各々添加して撹拌することで比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1及び2を得た。
[Production Example 2] Production of comparative alkaline developable photosensitive resin composition SPC-1000 (acrylic resin; Showa Denko KK) 55 g, Aronix M-450 (multifunctional acrylate; Toa Gosei KK) 13 g, KBE-403 ( 0.57 g of silane coupling agent; manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., 3.2 g of a 1% cyclohexanone solution of FZ-2122 (surfactant; manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) and 28 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate. Then, 15 g of the mixture was weighed out, and 0.20 g of Comparative Example Composition 1 or 2 was added thereto, respectively, and stirred to obtain Comparative Alkali Developable Photosensitive Resin Compositions 1 and 2.

〔実施例6〕実施例硬化物の製造
アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜10を各々ガラス基板上にスピンコートし、ホットプレートを用いて、90℃で90秒間プリベークを行い、光源として高圧水銀ランプを用いてマスクを介して露光した。現像液として2.5質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像後、よく水洗し、オーブンを用いて、230℃で30分ポストベークを行い、パターンを定着させることで、実施例硬化物No.1〜10を得た。
[Example 6] Production of cured product of Example Alkali developable photosensitive resin composition No. Each of 1 to 10 was spin-coated on a glass substrate, prebaked at 90 ° C. for 90 seconds using a hot plate, and exposed through a mask using a high pressure mercury lamp as a light source. After development using a 2.5 mass% sodium carbonate aqueous solution as a developing solution, it was thoroughly washed with water, and post-baked at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to fix the pattern. 1-10 were obtained.

〔製造例3〕比較硬化物の製造
比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1及び2を各々ガラス基板上にスピンコートし、ホットプレートを用いて、90℃で90秒間プリベークを行い、光源として高圧水銀ランプを用いてマスクを介して露光した。現像液として2.5質量%炭酸ナトリウム水溶液を用い現像後、よく水洗し、オーブンを用いて、230℃で30分ポストベークを行い、パターンを定着させることで、比較硬化物1及び2を得た。
[Production Example 3] Production of Comparative Cured Product Comparative alkali-developable photosensitive resin compositions 1 and 2 were each spin-coated on a glass substrate, prebaked at 90 ° C. for 90 seconds using a hot plate, and subjected to high pressure as a light source. It was exposed through a mask using a mercury lamp. After development using a 2.5% by mass aqueous solution of sodium carbonate as a developing solution, it was thoroughly washed with water, and post-baked at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to fix the pattern, thereby obtaining comparative cured products 1 and 2. It was

〔評価例2〕放射線感度評価
硬化物No.1〜10並びに比較硬化物1及び2の断面形状をSEMで観察した。
硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい断面形状となっている場合を+、硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が同じもしくは小さい断面形状となっている場合を−とした。結果を表4に示す。
[Evaluation Example 2] Radiation sensitivity evaluation Cured product No. The cross-sectional shapes of 1 to 10 and comparative cured products 1 and 2 were observed by SEM.
When the width of the lower part of the cured product is larger than the width of the upper part of the cured product, the cross section is +, and when the width of the lower part of the cured product is the same or smaller than the width of the upper part of the cured product, −. did. The results are shown in Table 4.

Figure 0006688087
Figure 0006688087

表4の結果より、評価例2−1〜2−10は全てが硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい断面形状となっていることがわかった。一方、比較例3及び比較例4は、硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が同じもしくは小さい断面形状となってしまっていることがわかった。硬化物上部の幅よりも硬化物下部の幅が大きい断面形状となっている場合、硬化物の崩れやハガレが発生しにくいことが知られていることから、本発明は所望の形状の硬化物を形成することに適した組成物であることがわかった。   From the results of Table 4, it was found that all of Evaluation Examples 2-1 to 2-10 had a cross-sectional shape in which the width of the lower part of the cured product was larger than the width of the upper part of the cured product. On the other hand, in Comparative Example 3 and Comparative Example 4, it was found that the width of the lower part of the cured product was the same or smaller than the width of the upper part of the cured product. When the width of the lower part of the cured product is larger than the width of the upper part of the cured product, it is known that the collapse or peeling of the cured product is less likely to occur, so the present invention provides a cured product having a desired shape. It has been found that the composition is suitable for forming.

Claims (12)

下記一般式(I)で表される化合物。
Figure 0006688087
(式中、R は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又はCNを表し、
表わされる置換基の水素原子は更にO21、COR21、SR21 、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換されている場合もあり、
は水素原子又は炭素原子数1〜20のアルキル基を表し、
は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、又は炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、
で表わされる置換基の水素原子は更にハロゲン原子で置換されている場合もあり、
、R 及び 表される置換基のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−又は−NR24 −により1〜5回中断されている場合もあり、
24は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
、R 及び 表される置換基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合があり、環状アルキルである場合があり
は、結合手であって、単結合、−O−、−S−、−OCO−又は−COO−を表し、
は、結合手であって単結合又は炭素原子数1〜20のアルカンジイル基を表し、
で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合があり、環状アルキレンである場合があり、
Xは下記化学式(I−A)又は(I−B)で表される結合手を表す。)
Figure 0006688087
(式(I−A)及び(I−B)中、*は結合手を表す。)
A compound represented by the following general formula (I).
Figure 0006688087
(In the formula, R 1 represents independently an alkyl group having carbon atom number of 1 to 20, an aryl group of carbon atom number of 6 to 30, an arylalkyl group or CN having 7 to 30 carbon atoms,
Hydrogen atom of the substituents represented by R 1 in a further O R 21, COR 21, SR 21, may have been substituted with C androgenic atom, or COOR 21,
R 2 1 represents an alkyl group of water atom or 1 to 20 carbon atoms,
R 2's each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms,
The hydrogen atom of the substituent represented by R 2 may be further substituted with a halogen atom,
Alkylene moiety of the substituents represented by R 1, R 2 and R 2 1 is, -O -, - S -, - COO -, - OCO- or -NR 24 - in is interrupted more 1-5 times In some cases,
R 24 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. ,
Alkyl moiety of the substituents represented by R 1, R 2 and R 2 1 are there may be branched side chain, may be cyclic alkyl,
Z 1 is a bond and represents a single bond , —O— , —S— , —OCO— or —COO—,
Z 2 is a bond, represents alkanediyl group single bond or a carbon atom number of 1 to 20,
The alkylene portion of the bond represented by Z 2 may have a branched side chain, and may be cyclic alkylene.
X represents a bond represented by the following chemical formula (IA) or (IB). )
Figure 0006688087
(In formulas (IA) and (IB), * represents a bond.)
R 1 は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基を表し、Each independently represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms,
R Two は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜20のアルキル基を表し、Each independently represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms,
R Two で表されるアルキル基のアルキレン部分は、−O−により1〜5回中断されている場合もあり、The alkylene portion of the alkyl group represented by may be interrupted 1 to 5 times by -O-,
Z 1 は、単結合、−O−、−OCO−又は−COO−を表す、請求項1に記載の化合物。Is a single bond, -O-, -OCO-, or -COO-, The compound of Claim 1.
Xが上記化学式(I−A)で表される結合手である請求項1又は2に記載の化合物。The compound according to claim 1 or 2, wherein X is a bond represented by the chemical formula (IA). 請求項1〜3の何れか1項に記載の化合物を含有する光重合開始剤。 A photopolymerization initiator containing the compound according to claim 1. (A)請求項1〜3の何れか1項に記載の化合物と、
(B)下記一般式(II)で表される化合物と
を含有する組成物。
Figure 0006688087
(式中、R、R、Z及びZは一般式(I)中のR、R、Z及びZと同義であり、ZはOH又はCOOHを表す。)
(A) The compound according to any one of claims 1 to 3 ,
(B) A composition containing a compound represented by the following general formula (II).
Figure 0006688087
(Wherein, is R 1, R 2, Z 1 and Z 2 R 1 in the general formula (I), R 2, the same meaning as Z 1 and Z 2, Z a represents OH or COOH.)
請求項に記載の組成物を含有する光重合開始剤。 A photopolymerization initiator containing the composition according to claim 5 . 請求項又はに記載の光重合開始剤に、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有させてなる感光性組成物。 A photosensitive composition comprising the photopolymerization initiator according to claim 4 or 6 containing a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. 請求項に記載の感光性組成物に、エチレン性不飽和基を有する場合があるアルカリ現像性を有する化合物を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 An alkali-developable photosensitive resin composition comprising the photosensitive composition according to claim 7 and a compound having an alkali developability which may have an ethylenically unsaturated group. 更に、無機化合物を含有させてなる請求項に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 8 , further comprising an inorganic compound. 請求項又はに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、更に色材を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物。 A colored alkali-developable photosensitive resin composition comprising the alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 8 or 9 further containing a coloring material. 基体を準備する工程、請求項に記載の感光性組成物、請求項若しくはに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は請求項10に記載の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を基体に塗布する工程、及びエネルギー線を照射する工程を含むことを特徴とする硬化物を形成する方法。 A step of preparing a substrate, the photosensitive composition according to claim 7 , the alkali developable photosensitive resin composition according to claim 8 or 9 , or the colored alkali developable photosensitive resin composition according to claim 10 . A method for forming a cured product, which comprises the steps of applying to a substrate and irradiating with energy rays. 請求項に記載の感光性組成物、請求項若しくはに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は請求項10に記載の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物が硬化してなる硬化物。
Curing by curing the photosensitive composition according to claim 7 , the alkali developable photosensitive resin composition according to claim 8 or 9 , or the colored alkali developable photosensitive resin composition according to claim 10. object.
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