JP6539476B2 - Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing the compound - Google Patents

Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing the compound Download PDF

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Description

本発明は、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用な新規なオキシムエステル化合物、該化合物を含有する光重合開始剤、並びに該光重合開始剤にエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有させてなる感光性組成物に関する。   The present invention provides a novel oxime ester compound useful as a photopolymerization initiator to be used in a photosensitive composition, a photopolymerization initiator containing the compound, and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond in the photopolymerization initiator. The present invention relates to a photosensitive composition containing a compound.

感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線(光)を照射することによって重合硬化させることができるため、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。   The photosensitive composition is obtained by adding a photopolymerization initiator to a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and can be polymerized and cured by irradiation with energy rays (light), so a photocurable ink , Photosensitive printing plates, various photoresists, etc.

上記感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、下記特許文献1〜3には、オキシムエステル化合物を用いることが提案されている。
しかし、上記特許文献に記載のオキシムエステル化合物のうち、感度が満足できるオキシムエステル化合物は、可視光領域の透過率が低く、カラーフィルタで所望する色が得られないという問題(特に、保護膜のような透明な感光性組成物や、青色の顔料又は色素を用いたカラーフィルタ向けレジストでは380〜450nmに吸収を持つ化合物が混在すると明度、色純度が低下する)があり、また、可視光領域の透過率が高いオキシムエステル化合物は、感度が十分満足できるものではないという問題があり、両特性を兼ね備える光重合開始剤が求められていた。
The use of an oxime ester compound is proposed in the following Patent Documents 1 to 3 as a photopolymerization initiator used for the photosensitive composition.
However, among the oxime ester compounds described in the above-mentioned patent documents, the oxime ester compound which has satisfactory sensitivity has a low transmittance in the visible light region, and a desired color can not be obtained with a color filter (especially, the protective film Such light-sensitive compositions and resists for color filters using blue pigments or dyes have reduced lightness and color purity if compounds having absorption at 380 to 450 nm are mixed), and also visible light region The oxime ester compound having a high transmittance of 1 has a problem that the sensitivity is not sufficiently satisfactory, and a photopolymerization initiator having both properties has been required.

また、カラーフィルタ等の色材を含有する着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、高感度であり、有機溶媒への溶解性が高いことが求められ、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要が有る。しかし、高濃度の光重合開始剤は、現像性の悪化による残渣の発生や、昇華物によるフォトマスクや加熱炉の汚染等の原因となっていた。   In addition, colored alkaline developable photosensitive resin compositions containing coloring materials such as color filters are required to have high sensitivity and high solubility in organic solvents, and high concentration of photopolymerization initiators in resists. It is necessary to However, the high concentration photopolymerization initiator causes the generation of a residue due to the deterioration of the developability, the contamination of the photomask and the heating furnace with the sublimate, and the like.

特開2000−80068号明細書Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-80068 特表2006−516246号明細書Japanese Patent Publication No. 2006-516246 specification 国際公開2013/008652International Publication 2013/008652

解決しようとする問題点は、満足できる感度を有し、有機溶媒への溶解性が高くアウトガスの発生量が少なく且つ可視光領域の透過率が高い光重合開始剤がこれまでなかったということである。   The problem to be solved is that there has been no photopolymerization initiator which has satisfactory sensitivity, high solubility in organic solvents and low generation of outgassing and high transmittance in the visible light region. is there.

従って、本発明の目的は、安定性に優れ、アウトガスの発生量が少なく、低昇華性であり、現像性に優れ、可視光領域の透過率が高く、有機溶媒への溶解性が高く、365nm等の近紫外光を効率よく吸収し活性化される高感度の光重合開始剤として有用な新規な化合物及び該化合物を用いた光重合開始剤並びに感光性組成物を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is to provide excellent stability, low outgas generation, low sublimation, excellent developability, high transmittance in the visible light region, high solubility in organic solvents, 365 nm It is an object of the present invention to provide a novel compound useful as a highly sensitive photopolymerization initiator capable of efficiently absorbing and activating near-ultraviolet light, etc., and a photopolymerization initiator and a photosensitive composition using the compound.

本発明は、下記一般式(I)または(II)で表される新規なオキシムエステル化合物、及び該化合物を含有する光重合開始剤を提供することにより、上記目的を達成したものである。   The present invention achieves the above object by providing a novel oxime ester compound represented by the following general formula (I) or (II), and a photopolymerization initiator containing the compound.

Figure 0006539476
(式中、R1及びR2はそれぞれ独立に、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、R11、R12及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R11、R12及びR13で表わされる置換基の水素原子は、OR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換される場合もあり、
21、R22及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R21、R22及びR23で表される置換基の水素原子は、CN、ハロゲン原子、水酸基又はカルボキシル基で置換される場合もあり、
11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合もあり、R24は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合や環状アルキルである場合があり、また、R12とR13及びR22とR23はそれぞれ一緒になって環を形成する場合もあり、R3は、R11、OR11、SR11、COR14、CONR1516、NR12COR11、OCOR11、COOR14、SCOR11、OCSR11、COSR14、CSOR11、水酸基、ニトロ基、CN又はハロゲン原子を表し、
1、L2及びL3は水素原子、R11、OR11、SR11、COR14、CONR1516、NR12COR11、OCOR11、COOR14、SCOR11、OCSR11、COSR14、CSOR11、水酸基、ニトロ基、CN又はハロゲン原子を表し、L1とR3、R3とL2及びL2とL3はそれぞれ一緒になって環を形成する場合もあり、R14、R15及びR16は、水素原子又は炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R4は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、R4で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合や環状アルキルである場合があり、R4で表わされる基の水素原子は、更にR21、OR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、NR22COR21、OCOR21、COOR21、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、SCOR21、OCSR21、COSR21、CSOR21、水酸基、ニトロ基、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換される場合もあり、Xは、直接結合、COまたは下記一般式(I−A)で表される基を表す。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 and R 2 are each independently R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and R 11 , R 12 and R 13 are each independently hydrogen) R 11 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. The hydrogen atom of the substituent represented by 12 and R 13 is OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , -NR 22 -OR 23 , -NCOR 22 -OCOR 23 , -C ( NN-OR 21 ) -R 22 , -C (= N-OCOR 21 ) -R 22 , CN, a halogen atom, or COOR 21 may be substituted,
R 21 , R 22 and R 23 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a carbon atom And the hydrogen atom of the substituent represented by R 21 , R 22 and R 23 may be substituted with CN, a halogen atom, a hydroxyl group or a carboxyl group,
The alkylene moiety of the substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 is —O—, —S—, —COO—, —OCO—, —NR 24 —, — NR 24 COO -, - OCONR 24 -, - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by sometimes be interrupted 1 to 5 times, R 24 represents a hydrogen atom, carbon atom 20 R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , an alkyl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms, The alkyl moiety of the substituent represented by R 22 and R 23 may be branched side chain or cyclic alkyl, and R 12 and R 13 and R 22 and R 23 may be respectively taken together. R 3 may form a ring, and R 3 represents R 11 , OR 11 , SR 11 , COR 14 , CONR 15 R 16 , NR 12 COR 11 , OCOR 11 , COOR 14 , SCOR 11 , OCSR 11 , COSR 14 , CSOR 11 , a hydroxyl group, a nitro group, CN or a halogen atom,
L 1 , L 2 and L 3 are hydrogen atoms, R 11 , OR 11 , SR 11 , COR 14 , CONR 15 R 16 , NR 12 COR 11 , OCOR 11 , COOR 14 , SCOR 11 , OCSR 11 , COSR 14 , CSOR 11 represents a hydroxyl group, a nitro group, CN or a halogen atom, and L 1 and R 3 , R 3 and L 2 and L 2 and L 3 may together form a ring, R 14 and R 15 respectively. And R 16 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms R 4 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms the stands, alkyl moiety of the group represented by R 4 is May be the case or cyclic alkyl with branched side chains, hydrogen atom of the groups represented by R 4 may further R 21, OR 21, COR 21 , SR 21, NR 22 R 23, CONR 22 R 23, - NR 22 -OR 23, -NCOR 22 -OCOR 23, NR 22 COR 21, OCOR 21, COOR 21, -C (= N-OR 21) -R 22, -C (= N-OCOR 21) -R 22, SCOR 21, OCSR 21, COSR 21 , CSOR 21, a hydroxyl group, a nitro group, CN, might also be substituted by a halogen atom, or COOR 21, X is a direct bond, a CO or the following formula (I-A) Represents a group to be represented. )

Figure 0006539476
(式中、Z1及びZ2は、結合手であって、単結合、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
1及びZ2で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合もあり、Z2で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もある。
5は、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、R11、R12及びR13は、上記一般式(I)と同じである。)
Figure 0006539476
(Wherein, Z 1 and Z 2 each represents a bond, and are a single bond, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, and an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms Or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms,
The alkylene moiety of the bond represented by Z 1 and Z 2 is —O—, —S—, —COO—, —OCO—, —NR 24 —, —NR 24 COO—, —OCONR 24 —, —SCO -, -COS-, -OCS- or -CSO- may be interrupted 1 to 5 times, and the alkylene moiety of the bond represented by Z 2 may be branched side chain or cyclic alkylene. is there.
R 5 represents R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and R 11 , R 12 and R 13 are the same as in the above general formula (I). )

Figure 0006539476
(式中、R6、R7及びR8はそれぞれ独立に、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、R11、R12及びR13は、上記一般式(I)と同じであり、
9は、OH、COOH又は下記一般式(II−A)で表される基を表し、
Yは、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、CR3132、CO、NR33又はPR34を表し、αは1〜10の整数を表し、R31、R32、R33及びR34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基又は炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、
31、R32、R33及びR34で表される置換基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もあり、R31、R32、R33及びR34は、それぞれ独立に、隣接するどちらかのベンゼン環と一緒になって環を形成する場合もある。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 6 , R 7 and R 8 each independently represent R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and R 11 , R 12 and R 13 each represent the above general formula) Same as formula (I),
R 9 represents OH, COOH or a group represented by the following general formula (II-A),
Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a selenium atom, CR 31 R 32 , CO, NR 33 or PR 34 , α represents an integer of 1 to 10, R 31 , R 32 , R 33 and R 34 represent And each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms,
The alkyl moiety of the substituent represented by R 31 , R 32 , R 33 and R 34 may be a branched side chain or cyclic alkylene, and R 31 , R 32 , R 33 and R 34 may be Each of them may form a ring together with either of adjacent benzene rings. )

Figure 0006539476
(式中、Z3は、結合手であって、−O−、−S−、−NR22−、−NR22CO−、−SO2−、−CS−、−OCO−又は−COO−を表し、
4は、結合手であって、1〜3のR10で置換される炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、
4で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合もあり、Z4で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もあり、R10は、OR41、SR41、CONR4243、NR42COR43、OCOR41、COOR41、SCOR41、OCSR41、COSR41、CSOR41、CN又はハロゲン原子を表し、R41、R42及びR43は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基又は炭素原子数7〜30のアリールアルキル基を表し、R41、R42及びR43で表される置換基のアルキル部分は分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もあり、R42とR43は、一緒になって環を形成する場合もあり、aは1〜3の整数を表す。R22及びR24は、上記一般式(I)と同じである。)
Figure 0006539476
(Wherein, Z 3 represents a bond, and is —O—, —S—, —NR 22 —, —NR 22 CO—, —SO 2 —, —CS—, —OCO— or —COO— Represent
Z 4 is a bond and is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, which is substituted by 1 to 3 R 10 , an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms Or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms,
Alkylene moiety of bond represented by Z 4 is, -O -, - S -, - COO -, - OCO -, - NR 24 -, - NR 24 COO -, - OCONR 24 -, - SCO -, - In some cases, the alkylene moiety of the bond represented by Z 4 may be a branched side chain or may be a cyclic alkylene, which may be interrupted 1 to 5 times by COS-, -OCS- or -CSO-, R 10 represents OR 41 , SR 41 , CONR 42 R 43 , NR 42 COR 43 , OCOR 41 , COOR 41 , SCOR 41 , OCSR 41 , COSR 41 , CSOR 41 , CN or a halogen atom, R 41 , R 42 and R 43 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, and R 41 , R 42 and a substituent represented by R 43 Kill moiety sometimes is the case or cyclic alkylene there is branched side chain, R 42 and R 43 are sometimes taken together to form a ring, a is an integer of 1-3. R 22 and R 24 are the same as in the above general formula (I). )

また、本発明は、上記光重合開始剤に、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有させてなる感光性組成物を提供するものである。
また、本発明は、上記感光性組成物に、アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。
また、本発明は、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物に、更に色材を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。
The present invention also provides a photosensitive composition comprising the above-mentioned photopolymerization initiator and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.
The present invention also provides an alkali-developable photosensitive resin composition comprising the above-described photosensitive composition and a polymerizable compound having a group that imparts alkali developability.
The present invention also provides a colored alkali-developable photosensitive resin composition, which is obtained by adding a coloring material to the above-mentioned alkaline-developable photosensitive resin composition.

また、本発明は、上記感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物にエネルギー線を照射してなる硬化物を提供するものである。   Moreover, this invention provides the hardened | cured material formed by irradiating an energy ray to the said photosensitive composition, the alkali-developable photosensitive resin composition, or a colored alkali-developable photosensitive resin composition.

本発明のオキシムエステル化合物は、安定性に優れ、低昇華性であり、現像性に優れ、可視光領域の透過率が高く、有機溶媒への溶解性が高く、365nm(i線)等の輝線に対して効率よくラジカルを発生させ、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用なものである。   The oxime ester compound of the present invention is excellent in stability, low in sublimation, excellent in developability, high in visible light transmittance, high in organic solvent solubility, bright line such as 365 nm (i-line), etc. It is useful as a photopolymerization initiator to generate radicals efficiently and to be used for the photosensitive composition.

以下、本発明のオキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤について好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。   Hereinafter, the oxime ester compound of the present invention and the photopolymerization initiator containing the compound will be described in detail based on preferred embodiments.

本発明のオキシムエステル化合物は、上記一般式(I)または(II)で表わされる新規な化合物である。該オキシムエステル化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、これらを区別するものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式(I)または(II)で表わされる化合物、並びに後述する該化合物の好ましい形態である下記一般式(III)、一般式(IV)、一般式(V)及び一般式(VI)で表わされる化合物及びその例示化合物は、両方の混合物又はどちらか一方を表すものであり、異性体を示した構造に限定するものではない。
The oxime ester compound of the present invention is a novel compound represented by the above general formula (I) or (II). Although the geometric isomer by the double bond of oxime exists in this oxime ester compound, these are not distinguished.
That is, in the present specification, the compound represented by the above general formula (I) or (II), and the following general formula (III), general formula (IV), and general formula (V) which are preferred embodiments of the compound described later And the compounds represented by the general formula (VI) and the exemplified compounds thereof represent a mixture or both of both, and are not limited to the structures showing the isomers.

上記一般式(I)中の、R4、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R21、R22、R23、R24並びに上記一般式(II)中の、R11、R12、R13、R22、R24、R31、R32、R33、R34、R41、R42及びR43で表される炭素原子数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2−エチルヘキシル、t−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロペンチルメチル、シクロペンチルエチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル、シクロヘキシルエチル等が挙げられる。 R 4 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 21 , R 22 , R 23 , R 24 in the above general formula (I) and the above general formula (II) , R 11 , R 12 , R 13 , R 22 , R 24 , R 31 , R 32 , R 33 , R 34 , R 41 , R 42 and R 43 as an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms For example, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, amyl, isoamyl, tert-amyl, hexyl, heptyl, octyl, isooctyl, 2-ethylhexyl, tert-octyl, nonyl, Isononyl, decyl, isodecyl, undecyl, dodecyl, tetradecyl, hexadecyl, octadecyl, icosyl, cyclopentyl, cyclopentylmethyl, cyclopentylethyl, cyclohexyl, cyclohexylmethyl, cyclic Hexyl ethyl, and the like.

上記一般式(I)中の、R4、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R21、R22、R23、R24並びに上記一般式(II)中の、R11、R12、R13、R22、R24、R31、R32、R33、R34、R41、R42及びR43で表される炭素原子数6〜30のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で1つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。 R 4 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 21 , R 22 , R 23 , R 24 in the above general formula (I) and the above general formula (II) R 11 , R 12 , R 13 , R 22 , R 24 , R 31 , R 32 , R 33 , R 34 , R 41 , R 42 and R 43 as an aryl group having 6 to 30 carbon atoms For example, phenyl, tolyl, xylyl, ethylphenyl, naphthyl, anthryl, phenanthrenyl, phenyl substituted by one or more of the above alkyl groups, biphenylyl, naphthyl, anthryl and the like can be mentioned.

上記一般式(I)中の、R4、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R21、R22、R23、R24並びに上記一般式(II)中の、R11、R12、R13、R22、R24、R31、R32、R33、R34、R41、R42及びR43で表される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル等が挙げられる。 R 4 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 21 , R 22 , R 23 , R 24 in the above general formula (I) and the above general formula (II) , R 11 , R 12 , R 13 , R 22 , R 24 , R 31 , R 32 , R 33 , R 34 , R 41 , R 42 and R 43 are arylalkyl groups having 7 to 30 carbon atoms As such, for example, benzyl, α-methylbenzyl, α, α-dimethylbenzyl, phenylethyl and the like can be mentioned.

上記一般式(I)中の、R4、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R21、R22、R23、R24並びに上記一般式(II)中の、R11、R12、R13、R22、R24、で表される炭素原子数2〜20の複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テトラヒドロフリル、ジオキソラニル、ベンゾオキサゾール−2−イル、テトラヒドロピラニル、ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル、ピペラジル、モルホリニル等の5〜7員複素環が好ましく挙げられる。 R 4 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 21 , R 22 , R 23 , R 24 in the above general formula (I) and the above general formula (II) And the heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 22 and R 24 is, for example, pyridyl, pyrimidyl, furyl, thienyl, tetrahydrofuryl, dioxolanyl, benzoxazole 5- to 7-membered heterocyclic rings such as -2-yl, tetrahydropyranyl, pyrrolidinyl, imidazolidyl, pyrazolidyl, thiazolidyl, isothiazolidyl, oxazolidyl, isoxazolidyl, piperidyl, piperazil, morpholinyl and the like are preferably mentioned.

上記一般式(I)中の、R12とR13、R22とR23、及び上記一般式(II)中、R42とR43が一緒になって形成し得る環、並びにR31、R32、R33及びR34が隣接するベンゼン環と一緒になって形成し得る環としては、例えば、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラクトン環、ラクタム環等の5〜7員環が好ましく挙げられる。 Rings which R 12 and R 13 in the above general formula (I), R 22 and R 23 , and in the above general formula (II), R 42 and R 43 can form together, and R 31 and R 31 Examples of the ring which may be formed together with the adjacent benzene ring of 32 and R 33 and R 34 include, for example, cyclopentane ring, cyclohexane ring, cyclopentene ring, benzene ring, piperidine ring, morpholine ring, lactone ring, lactam ring 5 to 7 membered rings are preferably mentioned.

上記一般式(II)中の、Z4は、結合手であって、1〜3のR10で置換される炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表す。 Z 4 in the general formula (II) is a bond, and is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms substituted with 1 to 3 R 10 , an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, carbon It represents an arylalkyl group having 7 to 30 atoms or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms.

1〜3のR10で置換される炭素原子数1〜20のアルキル基としては、例えば、aが1の場合は、メチレン、エチレン、プロピレン、メチルエチレン、ブチレン、1−メチルプロピレン、2−メチルプロピレン、1,2−ジメチルプロピレン、1,3−ジメチルプロピレン、1−メチルブチレン、2−メチルブチレン、3−メチルブチレン、4−メチルブチレン、2,4−ジメチルブチレン、1,3−ジメチルブチレン、ペンチレン、へキシレン、ヘプチレン、オクチレン、ノニレン、デシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、エタン−1,1−ジイル、プロパン−2,2−ジ1イル等のアルキレン基が挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms which is substituted with R 10 1-3, for example, when a is 1, methylene, ethylene, propylene, methylethylene, butylene, 1-methylpropylene, 2-methyl Propylene, 1,2-dimethylpropylene, 1,3-dimethylpropylene, 1-methylbutylene, 2-methylbutylene, 3-methylbutylene, 4-methylbutylene, 2,4-dimethylbutylene, 1,3-dimethylbutylene, Examples thereof include alkylene groups such as pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonylene, decylene, dodecylene, tridecylene, tetradecylene, pentadecylene, ethane-1,1-diyl, propane-2,2-diylyl and the like.

1〜3のR10で置換される炭素原子数6〜30のアリール基としては、例えば、aが1の場合は、1,2−フェニレン、1,3−フェニレン、1,4−フェニレン、2,6−ナフチレン、1,4−ナフチレン、2,5−ジメチル−1,4−フェニレン、ジフェニルメタン−4,4’−ジイル、2,2−ジフェニルプロパン−4,4’−ジイル、ジフェニルスルフィド−4,4’−ジイル、ジフェニルスルフォン−4,4’−ジイル等のアリーレン基が挙げられる。 Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms substituted with 1 to 3 R 10 include, for example, 1,2-phenylene, 1,3-phenylene, 1,4-phenylene, and 2, when a is 1. , 6-naphthylene, 1,4-naphthylene, 2,5-dimethyl-1,4-phenylene, diphenylmethane-4,4'-diyl, 2,2-diphenylpropane-4,4'-diyl, diphenyl sulfide-4 And arylene groups such as 4, 4'-diyl, diphenylsulfone-4, 4'-diyl and the like.

また、1〜3のR10で置換される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、例えば、aが1の場合は、[化5]で表わされる連結基等のアリールアルキレン基が挙げられる。 The aryl alkyl group having 7 to 30 carbon atoms which is substituted with R 10 1-3, for example, when a is 1, an aryl alkylene group such as a linking group represented by Chemical Formula 5] Be

Figure 0006539476
(式中、*は結合手を表す。また「Cn1n2」との記載は、炭素原子数n1〜n2の直鎖状アルキレン基を表す)
Figure 0006539476
(In the formula, * represents a bond, and the description “C n1 to n2 ” represents a linear alkylene group having n1 to n2 carbon atoms)

また、1〜3のR10で置換される炭素原子数2〜20の複素環基としては、例えば、aが1の場合は、2,5−ピリジンジイル、2,6−ピリジンジイル、2,5−ピリミジンジイル、2,5−チオフェンジイル、3,4−テトラヒドロフランジイル、2,5−テトラヒドロフランジイル、2,5−フランジイル、3,4−チアゾールジイル、2,5−ベンゾフランジイル、2,5−ベンゾチオフェンジイル、N−メチルインドール−2,5−ジイル、2,5−ベンゾチアゾールジイル、2,5−ベンゾオキサゾールジイル等の2価の複素環基が挙げられる。 The heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms which is substituted with R 10 1-3, for example, when a is 1, 2,5-pyridinediyl, 2,6-pyridinediyl, 2, 5-Pyrimidinediyl, 2,5-thiophenediyl, 3,4-tetrahydrofurandiyl, 2,5-tetrahydrofurandiyl, 2,5-furandiyl, 3,4-thiazolediyl, 2,5-benzofuranyl, 2,5 And divalent heterocyclic groups such as -benzothiophenediyl, N-methylindole-2,5-diyl, 2,5-benzothiazolediyl, 2,5-benzoxazolediyl and the like.

1、Z2及びZ5で表される結合手である炭素原子数1〜20のアルキル基の例としては、Z4で表され、a個のR10で置換される炭素原子数1〜20のアルキル基のaが1の場合の例として上記で上げたものと同様の基が挙げられる。同様に、Z1、Z1及びZ5で表される炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基及び炭素原子数2〜20の複素環基の例としては、Z4で表されa個のR10で置換される炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基及び炭素原子数2〜20の複素環基それぞれのaが1の場合の例として上記で上げたものと同様の基が挙げられる。 Z 1, Z Examples of alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is a bond, represented by 2 and Z 5, represented by Z 4, carbon atoms 1 to be replaced by a number of R 10 Examples of the case where a in the alkyl group of 20 is 1 include the same groups as those mentioned above. Similarly, examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms, the arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, and the heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms represented by Z 1 , Z 1 and Z 5 include , an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which is substituted with a number of R 10 is represented by Z 4, a heterocyclic group each of a arylalkyl group and C2-20 having 7 to 30 carbon atoms Examples of the case 1 include the same groups as those mentioned above.

また、上記一般式(II)中の、R10で表されるハロゲン原子、並びに上記一般式(I)中のR3、L1、L2及びL3で表されるハロゲン原子、R4、R11、R12、R13、R21、R22及びR23を置換してもよいハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。 Also, a halogen atom represented by R 10 in the general formula (II), and a halogen atom represented by R 3 , L 1 , L 2 and L 3 in the general formula (I), R 4 , the R 11, R 12, R 13 , R 21, halogen atom be substituted R 22 and R 23, fluorine, chlorine, bromine, and iodine.

上記一般式(I)又は(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基、並びに上記一般式(I)又は(II)中の、Z1、Z2、Z4及びZ5で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24CO−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合もあり、この時中断する結合基は1種又は2種以上の基である場合もあり、連続して中断し得る基の場合は2つ以上連続して中断する場合もある。
また、上記一般式(I)又は(II)中の、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基、並びに上記一般式(I)又は(II)中の、R31、R32、R33及びR34で表される置換基、Z2、Z4、Z5で表される結合手、及びR41、R42及びR43で表される置換基のアルキル(アルキレン)部分は、分岐側鎖がある場合や環状アルキル(環状アルキレン)である場合もある。
Substituents represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 in the general formula (I) or (II), and in the general formula (I) or (II) And the alkylene moiety of the bond represented by Z 1 , Z 2 , Z 4 and Z 5 is —O—, —S—, —COO—, —OCO—, —NR 24 —, —NR 24 CO—, -NR 24 COO -, - OCONR 24 -, - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by sometimes be interrupted 1 to 5 times, this time interrupting linking groups one or two It may be the above groups, and in the case of groups which can be interrupted continuously, there may be cases where two or more are interrupted successively.
Also, in the above general formula (I) or (II), a substituent represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 , and the above general formula (I) or (II) Among them, the substituents represented by R 31 , R 32 , R 33 and R 34 , the bonds represented by Z 2 , Z 4 and Z 5 , and the substituents represented by R 41 , R 42 and R 43. The alkyl (alkylene) portion of the group may be branched side chain or cyclic alkyl (cyclic alkylene).

本発明のオキシムエステル化合物の中でも、下記一般式(III)、一般式(IV)、一般式(V)及び一般式(VI)のいずれかで表される化合物は、安定性に優れ、低昇華性であり、現像性に優れ、可視光領域の透過率が高く、有機溶媒への溶解性が高く、365nm(i線)等の輝線に対して効率よくラジカルを発生させる効果が高く、さらに製造が容易であるため好ましい。   Among the oxime ester compounds of the present invention, the compounds represented by the following general formula (III), general formula (IV), general formula (V) and general formula (VI) are excellent in stability and low in sublimation , Excellent in developability, high transmittance in the visible light region, high solubility in organic solvents, high effect of efficiently generating radicals for bright lines such as 365 nm (i line), and further manufacturing Is preferable because it is easy.

Figure 0006539476
(式中、Z5は、結合手であって、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、Z5で表される結合手のアルキレン部分は、−O−、−S−、−COO−、−OCO−、−NR24−、−NR24COO−、−OCONR24−、−SCO−、−COS−、−OCS−又は−CSO−により1〜5回中断される場合もあり、Z5で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もある。R1、R2、R21、R22、R24、L1、L2及びL3は、一般式(I)と同義である。)
Figure 0006539476
(Wherein, Z 5 represents a bond and is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or 2 to 2 carbon atoms And the alkylene moiety of the bond represented by Z 5 represents -O-, -S-, -COO-, -OCO-, -NR 24- , -NR 24 COO-, -OCONR 24 -, - SCO -, - COS -, - OCS- or -CSO- by sometimes be interrupted 1 to 5 times, or when the cyclic alkylene portion of the bond represented by Z 5 have a branched side chain It may be alkylene, and R 1 , R 2 , R 21 , R 22 , R 24 , L 1 , L 2 and L 3 are as defined in general formula (I).

Figure 0006539476
(式中、環Aは炭素原子数1〜20の五員環または六員環の炭化水素環を表し、環A中の水素原子は、更にR21、OR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換される場合もある。式中にR21が複数ある場合、R21は同じ場合もあり、異なる場合もある。R2、R3、R21、R22、R23、L1、L2、L3及びZ5は、一般式(III)と同義である。βは1〜10の整数を表す。)
Figure 0006539476
(Wherein, ring A represents a 5-membered or 6-membered hydrocarbon ring having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom in ring A further represents R 21 , OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23, CONR 22 R 23 , -NR 22 -OR 23, -NCOR 22 -OCOR 23, -C (= N-OR 21) -R 22, -C (= N-OCOR 21) -R 22, CN And R 2 may be substituted with a halogen atom or COOR 21. When there is a plurality of R 21 in the formula, R 21 may be the same or different, and R 2 , R 3 , R 21 , R 22 , R 23 , L 1 , L 2 , L 3 and Z 5 are as defined in the general formula (III), and β represents an integer of 1 to 10.)

Figure 0006539476
(式中、R1、R2、R4、R5、L1、L2及びL3は、一般式(I)と同義である。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , L 1 , L 2 and L 3 are as defined in the general formula (I))

Figure 0006539476
(式中、R6、R7、R8およびR9は、一般式(II)と同義である。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 6 , R 7 , R 8 and R 9 are as defined in the general formula (II))

一般式(IV)中の環Aで表される炭素原子数1〜20の五員環または六員環の炭化水素における五員環としては、シクロペンチル環、メチルシクロペンチル環、エチルシクロペンチル環が挙げられ、六員環としては、シクロヘキシル環、メチルシクロヘキシル環、エチルシクロヘキシル環、フェニル基、ベンジル基、トリル基が挙げられる。環A中の水素原子が、更にR21、OR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換されている場合、これら置換基における炭素原子数を含めて、環Aの炭素原子数が「1〜20」である。 Examples of the five-membered ring in the C1-C20 five-membered ring or six-membered hydrocarbon represented by ring A in the general formula (IV) include a cyclopentyl ring, a methylcyclopentyl ring and an ethylcyclopentyl ring. The six-membered ring includes a cyclohexyl ring, a methylcyclohexyl ring, an ethylcyclohexyl ring, a phenyl group, a benzyl group and a tolyl group. The hydrogen atom in ring A further includes R 21 , OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , -NR 22 -OR 23 , -NCOR 22 -OCOR 23 , -C (= N -OR 21 ) -R 22 , -C (= N-OCOR 21 ) -R 22 , CN, a halogen atom, or COOR 21 , when it is substituted for ring A, including the number of carbon atoms in these substituents The carbon atom number is "1 to 20".

本発明のオキシムエステル化合物の中でも、上記一般式(III)中のR1、R2、R21及びR22が炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜30のアリール基である場合は現像性が良好なことから好ましく、なかでもメチル基、エチル基またはフェニル基である場合は特に好ましい。また、上記一般式(III)中のZ5がメチレン、エチレンまたはフェニレンである場合は合成が容易であることから好ましい。 Among the oxime ester compounds of the present invention, R 1 , R 2 , R 21 and R 22 in the general formula (III) are each an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms The case is preferred because of its good developability, and particularly preferred is a methyl group, an ethyl group or a phenyl group. Further preferred because when Z 5 in the general formula (III) is a methylene, ethylene or phenylene is easy to synthesize.

本発明のオキシムエステル化合物の中でも、上記一般式(IV)中のR2が炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜30のアリール基である場合は現像性が良好なことから好ましく、なかでもメチル基、エチル基またはフェニル基である場合は特に好ましい。また、上記一般式(IV)中のZ5がメチレン、エチレンまたはフェニレンである場合は合成が容易であることから好ましい。 Among the oxime ester compounds of the present invention, when R 2 in the general formula (IV) is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, the developability is good. Among these, a methyl group, an ethyl group or a phenyl group is particularly preferable. Further preferred because when Z 5 in the above general formula (IV) is a methylene, ethylene or phenylene is easy to synthesize.

本発明のオキシムエステル化合物の中でも、上記一般式(V)中のR2が炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜30のアリール基である場合は現像性が良好なことから好ましく、なかでもメチル基、エチル基またはフェニル基である場合は特に好ましい。
また、上記一般式(V)中のZ5がメチレン、エチレンまたはフェニレンである場合は合成が容易であることから好ましい。
Among the oxime ester compounds of the present invention, when R 2 in the general formula (V) is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, developability is good. Among these, a methyl group, an ethyl group or a phenyl group is particularly preferable.
Further preferred because when Z 5 in the general formula (V) is a methylene, ethylene or phenylene is easy to synthesize.

本発明のオキシムエステル化合物の中でも、上記一般式(VI)中のR6、R7及びR8が炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜30のアリール基である場合は現像性が良好なことから好ましく、なかでもメチル基、エチル基またはフェニル基である場合は特に好ましい。 Among the oxime ester compounds of the present invention, when R 6 , R 7 and R 8 in the general formula (VI) are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, development is performed It is preferable from the viewpoint of good properties, and particularly preferred is a methyl group, an ethyl group or a phenyl group.

上記一般式(III)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.1〜No.10が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。尚、下記化学式中の「Me」はメチル基を表し、「Ph」はフェニル基を表す。   Preferred specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (III) include the following compound No. 1 to No. 10 can be mentioned. However, the present invention is not limited at all by the following compounds. In the following chemical formulas, "Me" represents a methyl group, and "Ph" represents a phenyl group.

Figure 0006539476
Figure 0006539476

Figure 0006539476
Figure 0006539476

上記一般式(IV)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.11〜No.30が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。尚、下記化学式中の「Me」はメチル基を表し、「Ph」はフェニル基を表す。   As preferable specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (IV), the following compound Nos. 11 to No. There are thirty. However, the present invention is not limited at all by the following compounds. In the following chemical formulas, "Me" represents a methyl group, and "Ph" represents a phenyl group.

Figure 0006539476
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Figure 0006539476
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上記一般式(V)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.31〜No.45が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。尚、下記化学式中の「Me」はメチル基を表し、「Ph」はフェニル基を表す。   As preferable specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (V), the following compound Nos. 31 to No. 45 can be mentioned. However, the present invention is not limited at all by the following compounds. In the following chemical formulas, "Me" represents a methyl group, and "Ph" represents a phenyl group.

Figure 0006539476
Figure 0006539476
Figure 0006539476
Figure 0006539476

上記一般式(VI)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.46〜No.57が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。尚、下記化学式中の「Me」はメチル基を表し、「Ph」はフェニル基を表す。   As preferable specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (VI), the following compound Nos. 46-No. 57 can be mentioned. However, the present invention is not limited at all by the following compounds. In the following chemical formulas, "Me" represents a methyl group, and "Ph" represents a phenyl group.

Figure 0006539476
Figure 0006539476
Figure 0006539476
Figure 0006539476

上記一般式(III)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造する方法は、 特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号公報及び特開2011―178776号公報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、下記〔化14〕の反応式に従って、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ケトン体1−1と亜硝酸エステルを塩酸存在下で反応させることにより、オキシム化合物1を得る。ジメチルスルホキシド溶媒中で、該オキシムエステル化合物1とケトン体1−2を炭酸カリウム存在下で反応させ、さらにヒドロキシルアミンを塩酸存在下で反応させ、さらに、酸無水物1−1又は酸クロリド1−1及び酸無水物1−2又は酸クロリド1−2を反応させることで、上記一般式(III)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造することができる。尚、下記はL1〜L3が水素原子である場合の例である。
Although the method for producing the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (III) is not particularly limited, for example, it is produced by the method described in JP-A-2000-80068 and JP-A-2011-178776. it can. As one of the methods, a method of producing by the following method can be mentioned according to the following reaction formula.
That is, the oxime compound 1 is obtained by reacting the ketone body 1-1 with a nitrite in the presence of hydrochloric acid. The oxime ester compound 1 and ketone body 1-2 are reacted in the presence of potassium carbonate in a dimethylsulfoxide solvent, and hydroxylamine is further reacted in the presence of hydrochloric acid, and further acid anhydride 1-1 or acid chloride 1- By reacting 1 and acid anhydride 1-2 or acid chloride 1-2, the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (III) can be produced. The following is an example in which L 1 to L 3 are hydrogen atoms.

Figure 0006539476
(式中、R1、R2、R21、R22及びZ5は一般式(III)と同じである。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 , R 21 , R 22 and Z 5 are the same as in the general formula (III))

上記一般式(IV)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造する方法は、 特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号公報及び特開2011―178776号公報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、下記〔化15〕の反応式に従って、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ケトン体2−1とヒドロキシルアミンを塩酸存在下で反応させることでオキシム化合物2を得る。該オキシム化合物2に、酸無水物2−1又は酸クロリド2−1を反応させることにより、オキシムエステル化合物2−1を得る。ジメチルスルホキシド溶媒中で、該オキシムエステル化合物2−1とケトン体2−2を炭酸カリウム存在下で反応させることにより、オキシムエステル化合物2−2を得る。該オキシムエステル化合物2−2とヒドロキシルアミンを塩酸存在下で反応させることでオキシムエステル化合物2−3を得る。該オキシムエステル化合物2−3に、酸無水物2−2又は酸クロリド2−2を反応させることにより、上記一般式(IV)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造することができる。
The method for producing the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (IV) is not particularly limited. For example, it is produced by the method described in JP-A-2000-80068 and JP-A-2011-178776. it can. As one of the methods, the method of manufacturing by the following method is mentioned according to the following reaction formula.
That is, the oxime compound 2 is obtained by reacting the ketone body 2-1 with hydroxylamine in the presence of hydrochloric acid. The oxime ester compound 2-1 is obtained by reacting the acid anhydride 2-1 or the acid chloride 2-1 with the oxime compound 2. The oxime ester compound 2-2 is obtained by reacting the oxime ester compound 2-1 and the ketone body 2-2 in the presence of potassium carbonate in a dimethyl sulfoxide solvent. The oxime ester compound 2-3 is obtained by reacting the oxime ester compound 2-2 with hydroxylamine in the presence of hydrochloric acid. By reacting the acid ester 2-2 or the acid chloride 2-2 with the oxime ester compound 2-3, the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (IV) can be produced.



Figure 0006539476
(式中、環A、R2、R3、R21、R22、Z5及びmは一般式(IV)と同じである。)

Figure 0006539476
(In the formula, the ring A, R 2 , R 3 , R 21 , R 22 , Z 5 and m are the same as in the general formula (IV).)

上記一般式(V)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造する方法は、 特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号公報及び特開2011―178776号公報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、下記〔化16〕の反応式に従って、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ジメチルスルホキシド溶媒中で、ケトン体3−1とハロゲン化物3を炭酸カリウム存在下で反応させることにより、ケトン体3−2を得る。該ケトン体3−2と亜硝酸エステルを塩酸存在下で反応させることにより、オキシム化合物3を得る。該オキシム化合物3に、酸無水物3−1又は酸クロリド3−1を反応させることにより、オキシムエステル化合物3−1を得る。該オキシムエステル化合物3−1とヒロドキシルアミンを塩酸存在下で反応させることでオキシムエステル化合物3−2を得る。該オキシムエステル化合物3−2に、酸無水物3−2又は酸クロリド3−2を反応させることにより、上記一般式(V)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造することができる。
The method for producing the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (V) is not particularly limited. For example, it is produced by the method described in JP-A-2000-80068 and JP-A-2011-178776. it can. One of the methods is a method of manufacturing by the following method according to the following reaction formula.
That is, ketone body 3-1 and halide 3 are reacted in the presence of potassium carbonate in a dimethylsulfoxide solvent to obtain ketone body 3-2. The oxime compound 3 is obtained by reacting the ketone body 3-2 with a nitrite in the presence of hydrochloric acid. The oxime ester compound 3-1 is obtained by reacting the acid anhydride 3-1 or the acid chloride 3-1 with the oxime compound 3. The oxime ester compound 3-2 is obtained by reacting the oxime ester compound 3-1 with hydroxylamine in the presence of hydrochloric acid. By reacting the acid ester 3-2 or the acid chloride 3-2 with the oxime ester compound 3-2, the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (V) can be produced.

Figure 0006539476
(式中、R1、R2、R4、R5は一般式(V)と同じである。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 , R 4 and R 5 are the same as in the general formula (V))

上記一般式(VI)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造する方法は、 特に限定されないが、例えば、特開2000−80068号公報、特開2011―178776号公報及び特表2010−538060号公報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、下記〔化17〕の反応式に従って、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ケトン体4と亜硝酸エステルを塩酸存在下で反応させることにより、オキシム化合物4を得る。該オキシム化合物4に、酸クロリド4−1及び酸クロリド4−2を反応させることにより、上記一般式(VI)で表される本発明のオキシムエステル化合物を製造することができる。
The method for producing the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (VI) is not particularly limited, but, for example, JP-A-2000-80068, JP-A-2011-178776 and JP-A-2010-538060 It can manufacture by the method as described in the gazette. As one of the methods, a method of producing by the following method according to the following reaction formula of [Chemical formula 17] can be mentioned.
That is, the oxime compound 4 is obtained by reacting the ketone 4 with a nitrite in the presence of hydrochloric acid. By reacting the acid chloride 4-1 and the acid chloride 4-2 with the oxime compound 4, the oxime ester compound of the present invention represented by the above general formula (VI) can be produced.

Figure 0006539476
(式中、R6、R7、R8及びR9は一般式(VI)と同じである。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 6 , R 7 , R 8 and R 9 are the same as in the general formula (VI))

以上説明した本発明の新規なオキシムエステル化合物は、光重合開始剤として有用である。   The novel oxime ester compounds of the present invention described above are useful as photopolymerization initiators.

本発明の光重合開始剤は、本発明のオキシムエステル化合物を少なくとも一種含有するものであり、特にエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の光重合開始剤として有用なものである。また本発明の光重合開始剤中における本発明のオキシムエステル化合物の含有量は、好ましくは30〜100質量%、より好ましくは50〜100質量%である。   The photopolymerization initiator of the present invention contains at least one oxime ester compound of the present invention, and is particularly useful as a photopolymerization initiator of a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. The content of the oxime ester compound of the present invention in the photopolymerization initiator of the present invention is preferably 30 to 100% by mass, more preferably 50 to 100% by mass.

本発明の感光性組成物は、必須成分として、本発明の光重合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含有し、任意成分として、アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物、無機化合物、色材、溶媒等の成分を組み合わせて含有するものである。   The photosensitive composition of the present invention contains, as essential components, the photopolymerization initiator of the present invention and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and as an optional component, a polymerizable compound having a group that provides alkali developability. And an inorganic compound, a coloring material, a solvent and the like in combination.

上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素;(メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、コハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、フタル酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等の不飽和多塩基酸;(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸グリシジル、下記化合物No.A1〜No.A4、(メタ)アクリル酸メチル、 (メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸−t−ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノメチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸アミノプロピル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アクリル酸ポリ(エトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸ブトキシエトキシエチル、(メタ)アクリル酸エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸フェノキシエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ビニル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)アクリレート、トリ[(メタ)アクリロイルエチル]イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル;(メタ)アクリル酸亜鉛、(メタ)アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩;マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物;(メタ)アクリルアミド、メチレンビス−(メタ)アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド;アクロレイン等の不飽和アルデヒド;(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル;スチレン、4−メチルスチレン、4−エチルスチレン、4−メトキシスチレン、4−ヒドロキシスチレン、4−クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、4−ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物;メチルビニルケトン等の不飽和ケトン;ビニルアミン、アリルアミン、N−ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物;アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル;マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;インデン、1−メチルインデン等のインデン類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物、下記化合物No.A1、No.A2、No.A3、No.A4等が挙げられる。
これらの中でも、両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、1個のカルボキシ基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルに、本発明のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤は好適である。
これらの重合性化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、また2種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。
The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is not particularly limited, and those conventionally used in photosensitive compositions can be used, for example, ethylene, propylene, butylene, isobutylene, vinyl chloride Unsaturated aliphatic hydrocarbons such as vinylidene chloride, vinylidene fluoride and tetrafluoroethylene; (meth) acrylic acid, α-chloroacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, citraconic acid, fumaric acid, hymic acid, crotonic acid, Isocrotonic acid, vinyl acetate, allyl acetate, cinnamic acid, sorbic acid, mesaconic acid, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] succinate, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] phthalate, ω- Having carboxy group and hydroxyl group at both ends of carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate etc. Lymer mono (meth) acrylate; hydroxyethyl (meth) acrylate malate, hydroxypropyl (meth) acrylate malate, dicyclopentadiene malate or having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups Unsaturated polybasic acids such as polyfunctional (meth) acrylates; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; 2-hydroxypropyl (meth) acrylate; glycidyl (meth) acrylate; A1-No. A4, methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate ( (Meth) acrylate isooctyl, (meth) acrylate isononyl, (meth) acrylate stearyl, (meth) acrylate lauryl, (meth) acrylate methoxyethyl, (meth) acrylate dimethylaminomethyl, (meth) acrylate dimethyl (meth) acrylate Aminoethyl, aminopropyl (meth) acrylate, dimethylaminopropyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, poly (ethoxy) ethyl (meth) acrylate, butoxyethoxyethyl (meth) acrylate, (meth ) Ethyl hexyl acrylate, (meth) acrylic acid Phenoxyethyl, tetrahydrofuryl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol Di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolethane triol (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, pentaerythritol Unsaturated monobasic acids such as tra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tricyclodecane dimethylol di (meth) acrylate, tri [(meth) acryloyl ethyl] isocyanurate, polyester (meth) acrylate oligomers and the like Polyhydric alcohol or ester of polyhydric phenol; Metal salt of unsaturated polybasic acid such as zinc (meth) acrylate and magnesium (meth) acrylate; maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyl Tetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrofuran Phthalic anhydride-anhydrous Acid anhydride of unsaturated polybasic acid such as leic acid adduct, dodecenyl succinic anhydride, methyl hymic acid anhydride; (meth) acrylamide, methylene bis (meth) acrylamide, diethylene triamine tris (meth) acrylamide, xylylene bis (meth) Unsaturated monobasic acids such as acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide and amides of polyhydric amines; unsaturated aldehydes such as acrolein; (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, cyanation Unsaturated nitriles such as vinylidene and allyl cyanide; styrene, 4-methylstyrene, 4-ethylstyrene, 4-methoxystyrene, 4-hydroxystyrene, 4-chlorostyrene, divinylbenzene, vinyltoluene, vinylbenzoic acid and biphenyl Unsaturated aromatic compounds such as 2-phenol, vinyl sulfonic acid, 4-vinyl benzene sulfonic acid, vinyl benzyl methyl ether, vinyl benzyl glycidyl ether; unsaturated ketones such as methyl vinyl ketone; vinyl amine, allylamine, N-vinyl pyrrolidone, vinyl Unsaturated amine compounds such as piperidine; vinyl alcohols such as allyl alcohol, crotyl alcohol; vinyl ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, n-butyl vinyl ether, isobutyl vinyl ether, allyl glycidyl ether; maleimide, N-phenyl maleimide, N -Unsaturated imides such as cyclohexyl maleimide; Indens such as indene and 1-methyl indene; Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene Macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate and polysiloxane; vinyl chloride, vinylidene chloride, divinyls Succinate, diallyl phthalate, triallyl phosphate, triallyl isocyanurate, vinyl thioether, vinyl imidazole, vinyl oxazoline, vinyl carbazole, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl urethane compound of hydroxyl group-containing vinyl monomer and polyisocyanate compound, hydroxyl group The vinyl epoxy compounds of the contained vinyl monomers and polyepoxy compounds; A1, No. A2, No. A3, No. A4 etc. are mentioned.
Among these, mono (meth) acrylate of polymer having carboxy group and hydroxyl group at both ends, polyfunctional (meth) acrylate having one carboxy group and two or more (meth) acryloyl groups, unsaturated one The photoinitiator which contains the oxime ester compound of this invention is suitable for the ester of a basic acid and polyhydric alcohol or polyhydric phenol.
These polymerizable compounds can be used alone or in combination of two or more, and when two or more are mixed and used, they are copolymerized in advance and used as a copolymer. May be

Figure 0006539476
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Figure 0006539476
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上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物としては、アルカリ水溶液に可溶であれば特に限定されないが、例えば、特開2004−264414号公報に記載の樹脂等が挙げられる。   The polymerizable compound having a group that gives the alkali developability is not particularly limited as long as it is soluble in an alkaline aqueous solution, and examples thereof include resins described in JP-A-2004-264414.

また、上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、下記一般式(VII)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。
これらの中でも、下記一般式(VII)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物は、不飽和基を0.2〜1.0当量含有していることが好ましい。
Further, as the polymerizable compound having a group giving the above alkali developability, a copolymer of acrylic acid ester, phenol and / or cresol novolac epoxy resin, polyphenylmethane type epoxy resin having a multifunctional epoxy group, epoxy acrylate A resin obtained by causing an unsaturated monobasic acid to act on an epoxy compound such as an epoxy compound represented by the following general formula (VII) and further causing a polybasic acid anhydride to act can be used.
Among these, resins obtained by causing an unsaturated monobasic acid to act on an epoxy compound such as an epoxy compound represented by the following general formula (VII) and further causing a polybasic acid anhydride to act on the epoxy compound are preferable.
Moreover, it is preferable that the polymeric compound which has group which gives the said alkali developability contains 0.2-1.0 equivalent of unsaturated groups.

Figure 0006539476
(式中、X1は直接結合、メチレン基、炭素原子数1〜4のアルキリデン基、炭素原子数3〜20の脂環式炭化水素基、O、S、SO2、SS、SO、CO、OCO又は下記(イ)、(ロ)若しくは(ハ)で表される置換基を表し、上記アルキリデン基はハロゲン原子で置換される場合もあり、R51、R52、R53及びR54は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜5のアルキル基、炭素原子数1〜8のアルコキシ基、炭素原子数2〜5のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換される場合もあり、mは0〜10の整数であり、mが0で無いときに存在する光学異性体は、どの異性体でもよい。)
Figure 0006539476
(Wherein, X 1 is a direct bond, a methylene group, an alkylidene group having 1 to 4 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms, O, S, SO 2 , SS, SO, CO, OCO or a substituent represented by the following (i), (ro) or (ha), the above alkylidene group may be substituted with a halogen atom, and R 51 , R 52 , R 53 and R 54 are Each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group of 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group of 2 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and the above alkyl group, alkoxy group and alkenyl group The group may be substituted by a halogen atom, m is an integer of 0 to 10, and the optical isomer present when m is not 0 may be any isomer).

Figure 0006539476
(式中、Z6は水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは炭素原子数1〜10のアルコキシ基により置換または無置換のフェニル基、又は炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは炭素原子数1〜10のアルコキシ基により置換または無置換の炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を示し、Y1は炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、炭素原子数2〜10のアルケニル基又はハロゲン原子を示し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換される場合もある。dは0〜5の整数である。)
Figure 0006539476
(Wherein, Z 6 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or a phenyl group substituted or unsubstituted with an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or carbon C1-C10 substituted or unsubstituted cycloalkyl group is represented by C1-C10 alkoxy group, Y 1 is C1-C10 alkyl group, C1-C10 alkoxy group, C2-10 alkenyl group or halogen atom is shown, and the above-mentioned alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may be substituted by a halogen atom, and d is an integer of 0 to 5.)

Figure 0006539476
Figure 0006539476

Figure 0006539476
(式中、Y2及びZ7は、それぞれ独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリール基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールオキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールチオ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアリールアルケニル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数7〜20のアリールアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数2〜20の複素環基、又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基及びアリールアルキル基中のアルキレン部分は、不飽和結合、−O−又は−S−で中断される場合もあり、Z7は、隣接するZ7同士で環を形成する場合もあり、pは0〜4の整数を表し、qは0〜8の整数を表し、rは0〜4の整数を表し、sは0〜4の整数を表し、rとsの数の合計は2〜4の整数である。)
Figure 0006539476
(Wherein, Y 2 and Z 7 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, or 6 to 20 carbon atoms optionally substituted with a halogen atom. The aryl group of 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, the arylthio group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, substituted with a halogen atom; A C 6-20 arylalkenyl group, a C 7-20 arylalkyl group which may be substituted by a halogen atom, a C 2-20 hetero ring optionally substituted by a halogen atom ring group, or a halogen atom, the alkylene moiety in the alkyl group and arylalkyl group, an unsaturated bond, may also be interrupted by -O- or -S-, Z 7 , May also form a ring with the adjacent Z 7 to each other, p represents an integer of 0 to 4, q represents an integer of 0 to 8, r represents an integer of 0 to 4, s is 0 to 4 And the sum of the numbers r and s is an integer of 2 to 4.)

上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。   As the above-mentioned unsaturated monobasic acid which acts on the above-mentioned epoxy compound, acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate malate, hydroxyethyl acrylate malate, hydroxypropyl methacrylate malate, hydroxypropyl Acrylate malate, dicyclopentadiene malate, etc. may be mentioned.

また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。   Moreover, as said polybasic acid anhydride made to act after making said unsaturated monobasic acid act, biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride, tetrahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, biphthalic anhydride, maleic anhydride, Trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, 2,2'-3,3'-benzophenonetetracarboxylic acid anhydride, ethylene glycol bisanhydrotrimellitate, glycerol trisanehydrotrimellitate, hexahydrophthalic anhydride Methyltetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene -1, 2-dicarboxylic acid anhydride, trialkyl tet Anhydride - maleic acid adduct, dodecenyl succinic anhydride, and anhydride and methyl high Mick acid.

上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。
即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行なうことができる。
It is preferable that the reaction molar ratio of the said epoxy compound, the said unsaturated monobasic acid, and the said polybasic acid anhydride be as follows.
That is, in an epoxy adduct having a structure in which 0.1 to 1.0 carboxyl group of the unsaturated monobasic acid is added to one epoxy group of the epoxy compound, the hydroxyl group 1 of the epoxy adduct Preferably, the ratio of the number of acid anhydride structures of the polybasic acid anhydride to the number of pieces thereof is 0.1 to 1.0.
The reaction of the above epoxy compound, the above unsaturated monobasic acid and the above polybasic acid anhydride can be carried out according to a conventional method.

本発明の感光性組成物の実施態様の一つである、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、必須成分として、本発明の光重合開始剤と、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物とを含有し、任意成分として、無機化合物、色材、溶媒等の成分を組み合わせて含有するものである。尚、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物のうち、色材を含有するものを、特に、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。
上記のエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、上記のアルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物とは同一の化合物である場合もあり、異なる場合もあり、また、単独であっても2種以上を併用することもできる。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, which is one of the embodiments of the photosensitive composition of the present invention, comprises, as an essential component, a photopolymerization initiator of the present invention and polymerization having an ethylenically unsaturated bond It contains an organic compound and a polymerizable compound having a group that gives alkali developability, and contains an optional component such as an inorganic compound, a coloring material, a solvent and the like in combination. Among the alkali-developable photosensitive resin compositions of the present invention, those containing a coloring material are particularly referred to as the colored alkaline-developable photosensitive resin compositions of the present invention.
The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond described above and the polymerizable compound having a group providing an alkali developability described above may or may not be the same compound, and may be independent. Two or more types can also be used in combination.

酸価調整して本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物の現像性を改良するため、上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物と共に、更に単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物は、固形分の酸価が5〜120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。   In order to adjust the acid value and improve the developability of the (colored) alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, a monofunctional or polyfunctional epoxy compound is further added together with a polymerizable compound having a group giving alkali developability. It can be used. It is preferable that the acid value of solid content is in the range of 5 to 120 mg KOH / g, and the used amount of the monofunctional or polyfunctional epoxy compound satisfies the above acid value. It is preferable to select as follows.

上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2−メチルクレジルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、下記化合物No.E1、No.E2等が挙げられる。   Examples of the monofunctional epoxy compound include glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether, heptyl Glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, Allyl glycidyl ether , Propargyl glycidyl ether, p-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxy glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methyl cresyl glycidyl ether, 4-nonylphenyl glycidyl ether, benzyl glycidyl Ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monoxide, 1,2-epoxy-4-vinyl Cyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methylstyrene oxide, cyclohexene oxide, propylene oxide, the following compound No. 1 E1, No. E2 etc. are mentioned.

Figure 0006539476
Figure 0006539476

Figure 0006539476
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上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を用いると、特性の一層良好な(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得ることができるので好ましい。
上記ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。
また上記グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン等を用いることができる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物;トリフェニルメタン型エポキシ化合物;ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
When one or more compounds selected from the group consisting of bisphenol type epoxy compounds and glycidyl ethers are used as the above-mentioned polyfunctional epoxy compounds, it is possible to obtain a (coloring) alkali developable photosensitive resin composition having better characteristics. Because it can be
As the above-mentioned bisphenol type epoxy compound, in addition to the epoxy compound represented by the above general formula (IV), for example, a bisphenol type epoxy compound such as a hydrogenated bisphenol type epoxy compound can also be used.
Further, as the above glycidyl ethers, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,8-octanediol diglycidyl ether, 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol diglycidyl Ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) propane, 1,1,1-to (Glycidyloxymethyl) ethane, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) methane, 1,1,1,1- tetra (glycidyloxymethyl) can be used such as methane.
In addition, novolac epoxy compounds such as phenol novolac epoxy compounds, biphenyl novolac epoxy compounds, cresol novolac epoxy compounds, bisphenol A novolac epoxy compounds, dicyclopentadiene novolac epoxy compounds, etc .; 3,4-epoxy-6-methyl; Alicyclic epoxy such as cyclohexylmethyl-3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane and the like Compounds; Glycidyl esters such as phthalic acid diglycidyl ester, tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, dimer acid glycidyl ester; tetraglycidyl diamino acid Glycidyl amines such as phenylmethane, triglycidyl P-aminophenol, N, N-diglycidyl aniline, etc .; Heterocyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5, 5-dimethylhydantoin, triglycidyl isocyanurate; Dioxide compounds such as pentadiene dioxide; naphthalene type epoxy compounds; triphenylmethane type epoxy compounds; dicyclopentadiene type epoxy compounds etc. can also be used.

本発明の感光性組成物において、本発明の光重合開始剤の含有量は特に限定されるものではないが、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは1〜70質量部、より好ましくは1〜50質量部、最も好ましくは5〜30質量部である。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the photopolymerization initiator of the present invention is not particularly limited, but preferably 1 relative to 100 parts by mass of the above-mentioned polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. The amount is 70 to 70 parts by mass, more preferably 1 to 50 parts by mass, and most preferably 5 to 30 parts by mass.

本発明の感光性組成物において、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の含有量は、該感光性組成物中、30〜99質量%であることが好ましく、60〜95質量%であることがより好ましい。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably 30 to 99% by mass, and more preferably 60 to 95% by mass, in the photosensitive composition. Is more preferred.

特に、本発明の感光性組成物を(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上記アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物の含有量は、本発明の(着色)アルカリ現像型感光性樹脂組成物中、1〜20質量%、特に3〜12質量%が好ましい。   In particular, when the photosensitive composition of the present invention is used as a (colored) alkali-developable photosensitive resin composition, the content of the polymerizable compound having a group giving alkali developability is the (colored) alkaline development of the present invention In the photosensitive resin composition, 1 to 20% by mass, particularly preferably 3 to 12% by mass is preferable.

本発明の感光性組成物には、更に溶媒を加えることができる。該溶媒としては、通常、必要に応じて上記の各成分(本発明の光重合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物等)を溶解又は分散しえる溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルエーテルアセテート、エトキシエチルエーテルプロピオネート等のエーテルエステル系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油社)、ソルベッソ#100(エクソン化学社)等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒;アニリン;トリエチルアミン;ピリジン;酢酸;アセトニトリル;二硫化炭素;N,N−ジメチルホルムアミド;N,N−ジメチルアセトアミド;N−メチルピロリドン;ジメチルスルホキシド;水等が挙げられ、これらの溶媒は1種又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
これらの中でも、ケトン類、エーテルエステル系溶媒等、特にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物において、レジストと光重合開始剤の相溶性がよいので好ましい。
A solvent can be further added to the photosensitive composition of the present invention. As the solvent, usually, a solvent capable of dissolving or dispersing the above-mentioned respective components (the photopolymerization initiator of the present invention and the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, etc.) as necessary, for example, methyl ethyl ketone, methyl amyl Ketones, diethyl ketone, acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ketones such as 2-heptanone; ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol Ether solvents such as dimethyl ether; methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, cyclohexyl acetate, ethyl acetate, ethyl lactate, dimethyl succinate, texanol ester solvents; ethylene glycol monomethyl ether Cellosolv solvents such as ethylene glycol monoethyl ether; alcohol solvents such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, and amyl alcohol; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, Ether ester solvents such as propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl ether acetate and ethoxyethyl ether propionate; BTX solvents such as benzene, toluene and xylene; hexane Aliphatic hydrocarbon solvents such as heptane, octane and cyclohexane; terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; Paraffinic solvents such as LeSpirit, Swazor # 310 (Cosmo Matsuyama Petroleum Co., Ltd.), Solvesso # 100 (Exxon Chemical Co., Ltd.); halogenated aliphatic carbonization such as carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, methylene chloride, 1,2-dichloroethane, etc. Hydrogen solvents; halogenated aromatic hydrocarbon solvents such as chlorobenzene; carbitol solvents; aniline; triethylamine; pyridine; pyridine; acetic acid; acetonitrile; carbon disulfide; N, N-dimethylformamide; N, N-dimethylacetamide; -Methyl pyrrolidone; dimethyl sulfoxide; water etc. may be mentioned, and these solvents can be used as one or more mixed solvents.
Among these, ketones, ether ester solvents and the like, particularly propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, cyclohexanone and the like are preferable in the photosensitive composition because the compatibility between the resist and the photopolymerization initiator is good.

また、本発明の感光性組成物(特にアルカリ現像性感光性樹脂組成物)には、更に色材を含有させて着色(アルカリ現像性)感光性組成物としてもよい。該色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。   Further, a coloring material may be further contained in the photosensitive composition of the present invention (in particular, the alkali-developable photosensitive resin composition) to obtain a colored (alkali-developable) photosensitive composition. Examples of the coloring material include pigments, dyes, natural dyes and the like. These coloring materials can be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物;ニトロ化合物;アゾ化合物;ジアゾ化合物;キサンテン化合物;キノリン化合物;アントラキノン化合物;クマリン化合物;フタロシアニン化合物;イソインドリノン化合物;イソインドリン化合物;キナクリドン化合物;アンタンスロン化合物;ペリノン化合物;ペリレン化合物;ジケトピロロピロール化合物;チオインジゴ化合物;ジオキサジン化合物;トリフェニルメタン化合物;キノフタロン化合物;ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック;上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶媒中で樹脂で分散処理し、20〜200mg/gの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が8nm以上でDBP吸油量が90ml/100g以下のもの、950℃における揮発分中のCO及びCO2から算出した全酸素量が、カーボンブラックの表面積100m2当たり9mg以上であるもの;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。 Examples of the pigment include nitroso compounds, nitro compounds, azo compounds, diazo compounds, xanthene compounds, quinoline compounds, anthraquinone compounds, coumarin compounds, phthalocyanine compounds, isoindolinone compounds, isoindoline compounds, quinacridone compounds, anthrone compounds, perinones Compounds, perylene compounds, diketopyrrolopyrrole compounds, thioindigo compounds, dioxazine compounds, triphenylmethane compounds, quinophthalone compounds, naphthalenetetracarboxylic acids, azo dyes, metal complex compounds of cyanine dyes, lake pigments, furnace method, channel method or thermal Black obtained by the above method, or carbon black such as acetylene black, ketjen black or lamp black; Prepared or coated with an epoxy resin, the carbon black previously dispersed in a solvent with a resin, and adsorbed with a resin of 20 to 200 mg / g, the carbon black subjected to an acid or alkaline surface treatment, an average With a particle size of 8 nm or more and a DBP oil absorption of 90 ml / 100 g or less, a total oxygen content calculated from CO and CO 2 in volatile components at 950 ° C. is 9 mg or more per 100 m 2 of carbon black surface area; Graphite Graphitized carbon black, activated carbon, carbon fiber, carbon nanotube, carbon micro coil, carbon nanohorn, carbon aerogel, fullerene; aniline black, pigment black 7, titanium black; chromium oxide green, miloli blue, cobalt green, cobalt blue, manganese system , Ferrocyanide Phosphate blue, bitumen, ultramarine, cerulian blue, pyridinium, emerald green, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red iron oxide (red iron oxide (III)), cadmium red, synthetic iron black, organic or inorganic such as amber Pigments can be used. These pigments may be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロー1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリ−ン7、10、36;ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。   Commercially available pigments can also be used as the pigment, and for example, pigment red 1, 2, 3, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 31, 38, 41, 48, 49, 88, 90, 97, 112, 119, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 179, 180, 184, 185, 192, 200, 202, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 254; pigment orange 13, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, Pigment yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 20, 24, 55, 60, 73, 81, 83, 86, 93, 95, 97 98, 100, 109, 110, 113, 114, 117, 120, 125, 126, 127, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 166, 168, 175, Pigment green 7, 10, 36; pigment blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 5, 15: 6, 22, 24, 56, 60, 61, 62, 64; pigment violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 50 and the like.

上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。   Examples of the dyes include azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes, stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes, indamine dyes, oxazine dyes, and phthalocyanine dyes And dyes such as cyanine dyes, and the like, and these may be used as a mixture of two or more.

本発明の感光性組成物において、上記色材の含有量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは50〜350質量部、より好ましくは100〜250質量部である。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the coloring material is preferably 50 to 350 parts by mass, more preferably 100 to 250 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. It is a department.

本発明の感光性組成物には、更に無機化合物を含有させることができる。該無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物;層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末(特にガラスフリット)、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられる。
これらの中でも、ガラスフリット、酸化チタン、シリカ、層状粘土鉱物、銀等が好ましい。本発明の感光性組成物において、上記無機化合物の含有量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜1000質量部、より好ましくは10〜800質量部である。尚、これらの無機化合物は1種又は2種以上を使用することができる。
The photosensitive composition of the present invention can further contain an inorganic compound. Examples of the inorganic compound include metal oxides such as nickel oxide, iron oxide, iridium oxide, titanium oxide, zinc oxide, magnesium oxide, calcium oxide, potassium oxide, silica, and alumina; layered clay minerals, miloli blue, calcium carbonate, Magnesium carbonate, cobalt, manganese, glass powder (especially glass frit), mica, talc, kaolin, ferrocyanide, various metal sulfates, sulfides, selenide, aluminum silicate, calcium silicate, aluminum hydroxide, platinum, Gold, silver, copper and the like can be mentioned.
Among these, glass frit, titanium oxide, silica, layered clay mineral, silver and the like are preferable. In the photosensitive composition of the present invention, the content of the inorganic compound is preferably 0.1 to 1000 parts by mass, more preferably 10 to 1000 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. It is 800 parts by mass. These inorganic compounds can be used alone or in combination of two or more.

これら無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電剤、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、撥インク剤等として用いられる。   These inorganic compounds are used, for example, as a filler, an antireflective agent, a conductive agent, a stabilizer, a flame retardant, a mechanical strength improver, a special wavelength absorber, an ink repellent agent, and the like.

本発明の感光性組成物には、色材及び/又は無機化合物を分散させる分散剤を加えることができる。該分散剤としては、色材又は無機化合物を分散、安定化できるものであれば制限されず、市販の分散剤、例えば、ビックケミー社製のBYKシリーズ等を用いることができる。特に、塩基性官能基を有するポリエステル、ポリエーテル、又はポリウレタンからなる高分子分散剤、塩基性官能基として窒素原子を有し、窒素原子を有する官能基がアミン、及び/又はその四級塩であり、アミン価が1〜100mgKOH/gのものが好適に用いられる。   The photosensitive composition of the present invention may contain a dispersant for dispersing the colorant and / or the inorganic compound. The dispersing agent is not particularly limited as long as it can disperse and stabilize the coloring material or the inorganic compound, and a commercially available dispersing agent, for example, BYK series manufactured by Big Chemie Co., Ltd. can be used. In particular, a polymer dispersant comprising a polyester, polyether or polyurethane having a basic functional group, a nitrogen atom as a basic functional group, and a functional group having a nitrogen atom is an amine and / or a quaternary salt thereof. And those having an amine value of 1 to 100 mg KOH / g are preferably used.

本発明の感光性組成物では、本発明のオキシムエステル化合物と共に他の光重合開始剤を併用することができる。併用できる他の光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンゾイン、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4'−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4'−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4'−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9'−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2'−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,2−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1−2’−ビイミダゾール、4、4−アゾビスイソブチロニトリル、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、N−1414、N−1717、N−1919、PZ−408(ADEKA社製)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(BASF社製)、過酸化ベンゾイル、下記一般式(VIII)〜(X)で表される化合物等が挙げられ、これらの他の光重合開始剤を使用する場合、その使用量は、好ましくは本発明のオキシムエステル化合物の使用量の1質量倍以下とする。尚、これらの光重合開始剤は、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   In the photosensitive composition of the present invention, other photopolymerization initiators can be used in combination with the oxime ester compound of the present invention. As other photopolymerization initiators that can be used in combination, conventionally known compounds can be used. For example, benzophenone, phenylbiphenyl ketone, 1-hydroxy-1-benzoylcyclohexane, benzoin, benzyldimethyl ketal, 1-benzyl- 1-Dimethylamino-1- (4'-morpholinobenzoyl) propane, 2-morpholine-2- (4'-methylmercapto) benzoylpropane, thioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, ethyl Anthraquinone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, benzoin butyl ether, 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2- (4'-isopropyl) benzoylpropane, 4-bu Ethyl benzoyl trichloromethane, 4-phenoxy benzoyl dichloromethane, methyl benzoyl formate, 1,7-bis (9'-acridinyl) heptane, 9-n-butyl-3,6-bis (2'-morpholinoisobutyryl) carbazole, 2-Methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2,2-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1'-2'-biimidazole, 4, 4-azobisisobutyronitrile, triphenylphosphine , Camphor quinone, N-1414, N-1717, N-1919, PZ-408 (manufactured by Adeka), IRGACUR 369, IRGACURE 907, IRGACURE OXE 01, IRGACURE OXE 02 (manufactured by BASF Corp.), benzoyl peroxide, compounds represented by the following general formulas (VIII) to (X), etc. When used, the amount used is preferably at most 1 mass times the amount used of the oxime ester compound of the present invention. In addition, these photoinitiators can be used combining 1 type or 2 types or more.

Figure 0006539476
(式中、R1、R2及びR4は、上記一般式(I)と同じであり、Y3は、ハロゲン原子又はアルキル基を表し、nは0〜5の整数である。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 and R 4 are the same as in the above general formula (I), Y 3 represents a halogen atom or an alkyl group, and n is an integer of 0 to 5).

Figure 0006539476
(式中、R1、R2及びR4は、上記一般式(I)と同じであり、Y3及びnは上記一般式(VIII)と同じであり、R’1及びR’2は、R1と同じであり、R’4はR4と同じであり、Y’3はY3と同じであり、Z8は酸素原子又は硫黄原子を表し、Z9はジオール残基又はジチオール残基を表す。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 and R 4 are the same as the above general formula (I), Y 3 and n are the same as the above general formula (VIII), and R ′ 1 and R ′ 2 are It is the same as R 1 , R ′ 4 is the same as R 4 , Y ′ 3 is the same as Y 3 , Z 8 is an oxygen atom or a sulfur atom, and Z 9 is a diol residue or a dithiol residue Represents

Figure 0006539476
(式中、R1、R2及びR4は、上記一般式(I)と同じであり、Y3及びnは、上記一般式(VIII)と同じであり、Z10は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、環Bは複素環基を表し、tは0〜5の整数であり、uは0又は1である。)
Figure 0006539476
(Wherein, R 1 , R 2 and R 4 are the same as the above general formula (I), Y 3 and n are the same as the above general formula (VIII), and Z 10 is an oxygen atom, a sulfur atom Or a selenium atom, ring B represents a heterocyclic group, t is an integer of 0 to 5, and u is 0 or 1.)

また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、p−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、t−ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;表面調整剤;酸化防止剤;紫外線吸収剤;分散助剤;凝集防止剤;触媒;効果促進剤;架橋剤;増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。   In the photosensitive composition of the present invention, if necessary, a thermal polymerization inhibitor such as p-anisole, hydroquinone, pyrocatechol, t-butylcatechol, phenothiazine, etc .; a plasticizer; an adhesion promoter; a filler; Foaming agents; leveling agents; surface conditioners; antioxidants; ultraviolet light absorbers; dispersing aids; flocculants; catalysts; effect accelerators; crosslinking agents; and conventional additives such as thickeners can be added.

本発明の感光性組成物において、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物及び本発明のオキシムエステル化合物以外の任意成分(但し、上記の他の光重合開始剤、アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物、無機化合物(充填剤)、色材及び溶媒は除く)の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して合計で50質量部以下とする。   In the photosensitive composition of the present invention, the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and an optional component other than the oxime ester compound of the present invention (however, the other photopolymerization initiator described above, a group giving alkali developability) The use amount of the polymerizable compound, the inorganic compound (filler), the coloring material and the solvent is appropriately selected according to the purpose of use and is not particularly limited, but preferably, the polymerization having the above-mentioned ethylenic unsaturated bond 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the organic compound.

また、本発明の感光性組成物には、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と共に、他の有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
他の有機重合体を使用する場合、その使用量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは10〜500質量部である。
Moreover, the characteristic of hardened | cured material can also be improved by using another organic polymer with the polymeric compound which has the said ethylenically unsaturated bond for the photosensitive composition of this invention. Examples of the organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly (meth) acrylic acid, styrene- (meth) acrylic acid copolymer, (meth) acrylic acid-methyl methacrylate Copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polyvinyl chloride resin, ABS resin, nylon 6, nylon 66, nylon 12, urethane resin, polycarbonate polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, saturated Polyester, phenol resin, phenoxy resin, polyamide imide resin, polyamic acid resin, epoxy resin, etc. may be mentioned. Among them, polystyrene, (meth) acrylic acid-methyl methacrylate copolymer, epoxy resin is preferable. Arbitrariness.
When other organic polymers are used, the amount thereof used is preferably 10 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.

本発明の感光性組成物には、更に、連鎖移動剤、増感剤、界面活性剤、シランカプリング剤、メラミン等を併用することができる。   The photosensitive composition of the present invention may further contain a chain transfer agent, a sensitizer, a surfactant, a silane coupling agent, melamine and the like in combination.

上記連鎖移動剤又は増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4−メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物No.C1、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズMT BD1、PE1、NR1等が挙げられる。   A sulfur atom-containing compound is generally used as the chain transfer agent or sensitizer. For example, thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N- (2-mercaptopropionyl) glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3- [N- ( 2-mercaptoethyl) carbamoyl] propionic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) amino] propionic acid, N- (3-mercaptopropionyl) alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3-mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio) phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto-2-butanol, mercaptophenol , 2-me Captoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3- 3- Mercapto compounds such as mercapto propionates, Disulfide compounds obtained by oxidizing the mercapto compounds, iodoacetic acids, iodoacetic acids, iodopropionic acids, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, iodos such as 3-iodopropanesulfonic acid Alkylated compounds, trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), hexanedithiol, decanedithiol, 1,4- Methyl mercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate Trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyltristhiopropionate, diethylthioxanthone, diisopropyl thioxanthone, the following compound No. 1 C1, Aliphatic polyfunctional thiol compounds such as trimercaptopropionic acid tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate; Kalens MT BD1, PE1, NR1 manufactured by Showa Denko K. K.

Figure 0006539476
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上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤;高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤;高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤;ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤;両性界面活性剤;シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。   Examples of the surfactant include fluorine surfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkyl carboxylates; anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkyl sulfonates and alkyl sulfates; higher amines Cationic surfactants such as halides and quaternary ammonium salts; Nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid monoglycerides; amphoteric surfactants; silicone surfactants Surfactants such as agents can be used, and these may be used in combination.

上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、KBE−9007、KBM−502、KBE−403等の、イソシアネート基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。   As the above-mentioned silane coupling agent, for example, a silane coupling agent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be used, and among them, it has an isocyanate group such as KBE-9007, KBM-502, KBE-403, etc., methacryloyl group or epoxy group A silane coupling agent is preferably used.

上記メラミン化合物としては、(ポリ)メチロールメラミン、(ポリ)メチロールグリコールウリル、(ポリ)メチロールベンゾグアナミン、(ポリ)メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基(CH2OH基)の全部又は一部(少なくとも2つ)がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。
これらの中でも、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。
Examples of the melamine compound, (poly) methylol melamine, (poly) methylol glycoluril, (poly) methylol benzoguanamine, all or part of the (poly) active methylol groups of the nitrogen compound such as methylol urea (CH 2 OH groups) The compound etc. by which (at least 2) was alkyl-etherified can be mentioned.
Here, examples of the alkyl group constituting the alkyl ether include a methyl group, an ethyl group or a butyl group, which may be identical to or different from each other. Moreover, the methylol group which is not alkyletherified may be self-condensing within one molecule, or may be condensed between two molecules to form an oligomer component as a result.
Specifically, hexamethoxymethylmelamine, hexabutoxymethylmelamine, tetramethoxymethylglycoluril, tetrabutoxymethylglycoluril and the like can be used.
Among these, alkyletherified melamines such as hexamethoxymethylmelamine and hexabutoxymethylmelamine are preferable.

本発明の感光性組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。   The photosensitive composition of the present invention can be a soda glass, quartz glass, semiconductor substrate, metal, paper, plastic by known means such as spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various printing, immersion and the like. Etc. can be applied on a supporting substrate. In addition, once applied on a supporting substrate such as a film, it can be transferred onto another supporting substrate, and the method of application is not limited.

また、本発明の感光性組成物を硬化させる際に用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、CRT光源等から得られる2000オングストロームから7000オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、X線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長300〜450nmの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が挙げられる。   Moreover, as a light source of energy rays used when curing the photosensitive composition of the present invention, an ultra high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a mercury vapor arc lamp, a xenon arc lamp, Carbon arc lamp, metal halide lamp, fluorescent lamp, tungsten lamp, excimer lamp, germicidal lamp, light emitting diode, CRT light source, etc. Although an energy ray can be used, preferably, an ultra-high pressure mercury lamp, a mercury vapor arc lamp, a carbon arc lamp, a xenon arc lamp and the like which emit light with a wavelength of 300 to 450 nm can be mentioned.

更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、340〜430nmの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びYAGレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いられる。これらのレーザーを使用する場合には、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。   Furthermore, by using a laser beam as an exposure light source, a laser direct writing method of directly forming an image from digital information of a computer or the like without using a mask improves not only productivity but also resolution and positional accuracy. It is useful because it can also be used, and light with a wavelength of 340 to 430 nm is preferably used as the laser light, but excimer laser, nitrogen laser, argon ion laser, helium cadmium laser, helium neon laser, krypton ion laser Also usable are those emitting light in the visible to infrared region such as various semiconductor lasers and YAG lasers. When using these lasers, sensitizing dyes that absorb the relevant region of visible to infrared are added.

本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料又はワニス;光硬化性接着剤;プリント基板;カラーテレビ、PCモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルター;CCDイメージセンサのカラーフィルター;プラズマ表示パネル用の電極材料;粉末コーティング;印刷インク;印刷版;接着剤;歯科用組成物;ゲルコート;電子工学用のフォトレジスト;電気メッキレジスト;エッチングレジスト;ドライフィルム;はんだレジスト;種々の表示用途用のカラーフィルターを製造するための或いはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、及びLCDの製造工程において構造を形成するためのレジスト;電気及び電子部品を封入するための組成物;ソルダーレジスト;磁気記録材料;微小機械部品;導波路;光スイッチ;めっき用マスク;エッチングマスク;カラー試験系;ガラス繊維ケーブルコーティング;スクリーン印刷用ステンシル;ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料;ホログラフィ記録用材料;画像記録材料;微細電子回路;脱色材料;画像記録材料のための脱色材料;マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料;印刷配線板用フォトレジスト材料;UV及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料;プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。   The photosensitive composition of the present invention is a photocurable coating or varnish; a photocurable adhesive; a print substrate; a color filter in a liquid crystal display element for color display such as a color television, a PC monitor, a portable information terminal, a digital camera; Color filter for image sensor, electrode material for plasma display panel, powder coating, printing ink, printing plate, adhesive, dental composition, gel coat, photoresist for electronics, electroplating resist, etching resist, dry film Solder resists; Resists for producing color filters for various display applications or for forming structures in plasma display panels, electroluminescent displays, and LCD manufacturing processes; compositions for encapsulating electrical and electronic components Solder resists; Magnetic recording materials; Micromachine parts Waveguide, optical switch, mask for plating, etching mask, color test system, glass fiber cable coating, stencil for screen printing, material for producing a three-dimensional object by stereolithography, material for holographic recording, image recording material, Microelectronic circuits; Decolorization materials; Decolorization materials for image recording materials; Decolorization materials for image recording materials using microcapsules; Photoresist materials for printed wiring boards; Photoresist materials for UV and visible laser direct imaging systems; It can be used in various applications such as a photoresist material or a protective film used for forming a dielectric layer in sequential lamination of printed circuit boards, and the application is not particularly limited.

本発明の感光性組成物は、液晶表示パネル用のスペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性組成物として有用である。   The photosensitive composition of the present invention can also be used for the purpose of forming a spacer for a liquid crystal display panel and for the purpose of forming a projection for a vertical alignment type liquid crystal display element. In particular, it is useful as a photosensitive composition for simultaneously forming protrusions and spacers for vertically aligned liquid crystal display devices.

上記の液晶表示パネル用スペーサーは、(1)本発明の感光性組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射する工程、(3)露光後のベーク工程、(4)露光後の該被膜を現像する工程、(5)現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。   The above-mentioned spacer for a liquid crystal display panel is (1) a step of forming a coating film of the photosensitive composition of the present invention on a substrate, (2) irradiating the coating film with radiation through a mask having a predetermined pattern shape. It is preferably formed by the following steps: (3) baking after exposure, (4) developing the film after exposure, and (5) heating the film after development.

撥インク剤を添加した本発明の(着色)感光性組成物は、インクジェット方式用隔壁形成樹脂組成物として有用であり、該組成物はカラーフィルター用として用いられ、特にプロファイル角が50°以上であるインクジェット方式カラーフィルター用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる組成物が好適に用いられる。   The (colored) photosensitive composition of the present invention to which an ink repellent agent is added is useful as a partition wall forming resin composition for ink jet system, and the composition is used for a color filter, and in particular, the profile angle is 50 ° or more It is preferably used for certain ink jet system color filter partitions. As the ink repellent agent, a composition comprising a fluorine-based surfactant and a fluorine-based surfactant is suitably used.

本発明の感光性組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されているのが好ましく、基板上に複数の着色領域からなる画素群と上記画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有し、上記の光学素子の製造方法により作製された光学素子が好ましく用いられる。   A partition formed of the photosensitive composition according to the present invention divides the surface of the transfer-receiving material, and the optical element is formed by applying droplets to the recessed portion on the divided transfer-receiving material by an inkjet method. Manufactured. At this time, it is preferable that the droplets contain a coloring agent and the image area be colored, and at least a pixel group consisting of a plurality of colored areas and a partition separating the colored areas of the pixel group on the substrate. Preferably, an optical element produced by the method for producing an optical element described above is used.

本発明の感光性組成物は、保護膜又は絶縁膜用組成物としても用いられ、紫外線吸収剤、アルキル化変性メラミン及び/又はアクリル変性メラミン、分子中にアルコール性水酸基を含有する1又は2官能の(メタ)アクリレートモノマー及び/又はシリカゾルを含有することができる。   The photosensitive composition of the present invention is also used as a composition for a protective film or an insulating film, and is a UV absorber, an alkylated modified melamine and / or an acrylic modified melamine, a monofunctional or bifunctional containing an alcoholic hydroxyl group in the molecule. The (meth) acrylate monomer and / or the silica sol can be contained.

上記保護膜、絶縁膜用の感光性組成物としては、
(A)ジオ−ル化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られ、重量平均分子量が2,000〜40,000、酸価が50〜200mgKOH/gであるカルボキシル基含有樹脂、
(B)光重合可能なエチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ以上含む不飽和化合物、
(C)エポキシ化合物、及び
(D)光重合開始剤、
を主成分とする樹脂組成物であって、
(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、(C)成分が10〜40重量部、(D)成分が0.01〜2.0重量部含有され、且つ、(D)成分の光重合開始剤として上記一般式(I)で表される化合物を含有するものが好ましい。
As the photosensitive composition for the said protective film and insulating film,
(A) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a diol compound and a polyvalent carboxylic acid, having a weight average molecular weight of 2,000 to 40,000 and an acid value of 50 to 200 mg KOH / g,
(B) unsaturated compounds containing at least one or more photopolymerizable ethylenic unsaturated bonds in one molecule,
(C) epoxy compound, and (D) photopolymerization initiator,
A resin composition containing
The component (C) is contained in an amount of 10 to 40 parts by weight and the component (D) is contained in an amount of 0.01 to 2.0 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the components (A) and (B) What contains the compound represented by the said General formula (I) as a photoinitiator of (component) is preferable.

上記絶縁膜は、剥離可能な支持基材上に絶縁樹脂層が設けられた積層体における該絶縁樹脂層に用いられ、該積層体は、アルカリ水溶液による現像が可能なものであり、絶縁樹脂層の膜厚が10〜100μmであることが好ましい。   The insulating film is used for the insulating resin layer in a laminate in which the insulating resin layer is provided on a peelable support base material, and the laminate is capable of developing with an alkaline aqueous solution, and the insulating resin layer Preferably, the film thickness is 10 to 100 μm.

本発明の感光性組成物は、無機材料(無機化合物)を含有させることで、感光性ペースト組成物として用いることができる。該感光性ペースト組成物は、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン及びブラックマトリックスパターン等の焼成物パターンを形成するために用いられる。   The photosensitive composition of the present invention can be used as a photosensitive paste composition by containing an inorganic material (inorganic compound). The photosensitive paste composition is used to form a fired product pattern such as a barrier rib pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern and a black matrix pattern of a plasma display panel.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples and the like.

[実施例1]化合物No.54の製造
<ステップ1>オキシム化
窒素気流下、1−ブタノン−2−エン,1−{4−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニルチオ]フェニル}3.14g(10.0mmol)を200mLエタノールに溶解し、塩酸存在下亜硝酸t−ブチル(50.0mmol)を精製水30mLに溶解したものを滴下した。1.5時間撹拌し、精製水に注いだ。析出物をろ過し、精製水を用いて洗浄し、オキシム体2.90gを得た。
<ステップ2>アセチル化
上記ステップ1で得られたオキシム体2.90g(8.0mmol)を塩化メチレン50mLに溶解し、トリエチルアミン4.05 g(40.0mmol)を滴下した。続いて冷却しながら塩化アセチル3.14g(40.0mmol)を滴下した。室温で2時間反応した後、精製水で3回洗浄した。有機層を、無水硫酸ナトリウムを用いて乾燥、脱溶媒した。カラムを用いて精製し、目的物である化合物No.54を2.20g得た。
Example 1 Compound No. 1 54 production
<Step 1> Dissolve 1.14 g (10.0 mmol) of 1-butanone-2-ene, 1- {4- [4- (2-hydroxyethoxy) phenylthio] phenyl} in 200 mL ethanol under a stream of oximation nitrogen; A solution of t-butyl nitrite (50.0 mmol) dissolved in 30 mL of purified water in the presence of hydrochloric acid was added dropwise. Stir for 1.5 hours and pour into purified water. The precipitate was filtered and washed with purified water to obtain 2.90 g of an oxime.
<Step 2> Acetylation 2.90 g (8.0 mmol) of the oxime obtained in Step 1 above was dissolved in 50 mL of methylene chloride, and 4.05 g (40.0 mmol) of triethylamine was added dropwise. Subsequently, 3.14 g (40.0 mmol) of acetyl chloride was added dropwise while cooling. After reacting for 2 hours at room temperature, it was washed 3 times with purified water. The organic layer was dried with anhydrous sodium sulfate and desolvated. It refine | purifies using a column, Compound No. which is a target object. Obtained 2.20 g of 54.

化合物No.54の分析
元素分析:(実測値C:59.5%、H:5.9%、N:5.7% 、S:6.7%、理論値C59.00%:、H5.78%:、N:5.73%、S:6.56%)
Mass:488
Compound No. 54 elemental analysis: (found C: 59.5%, H: 5.9%, N: 5.7%, S: 6.7%, theoretical value C 5 9.00% :, H 5.78%: , N: 5.73%, S: 6.56%)
Mass: 488

[実施例2]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1の製造
<ステップ1>アルカリ現像性樹脂の製造
反応容器に、一般式(VII)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(X1が(ロ)で表される基であるもの、エポキシ当量231)184g、アクリル酸58g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.26g、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロミド0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。反応液を室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート35g、ビフタル酸無水物59g及びテトラ−n−ブチルアンモニウムブロミド0.24gを加えて、120℃で4時間攪拌した。4時間攪拌後、更に、テトラヒドロ無水フタル酸20gを加え、120℃で4時間、100℃で3時間、80℃で4時間、60℃で6時間、40℃で11時間攪拌した後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート90gを加えて、目的物のプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液としてアルカリ現像性樹脂No.1を得た(Mw=5000、Mn=2100、酸価(固形分)92.7mgKOH/g)。
<ステップ2>アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1の調製
アルカリ現像性樹脂No.1 10.7g、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(アロニックスM−402;東亜合成社製)2.7g、界面活性剤FZ−2122(日本ユニカー社製)のシクロヘキサノン1%溶液1.2g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート2.7g及びシクロヘキサノン12.6gを混合し、化合物No.54の0.07gを添加してよく攪拌し、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1を得た。
[比較例1]比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1の製造
実施例1の化合物N o .54 をエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム) に替えた以外は実施例2 の< ステップ2 > と同様の手法で、比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1を得た。
[Example 2] Alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 Production of <Step 1> Production of Alkali-Developable Resin In a reaction vessel, a bisphenol fluorene type epoxy resin represented by the general formula (VII) ( one in which X 1 is represented by (ro), an epoxy equivalent of 231 184 g, acrylic acid 58 g, 0.26 g 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 0.11 g tetra-n-butylammonium bromide and 23 g propylene glycol-1-monomethylether-2-acetate, The mixture was stirred at 120 ° C. for 16 hours. The reaction solution was cooled to room temperature, 35 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, 59 g of biphthalic anhydride and 0.24 g of tetra-n-butylammonium bromide were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 4 hours. After stirring for 4 hours, 20 g of tetrahydrophthalic anhydride is further added, stirred at 120 ° C. for 4 hours, 100 ° C. for 3 hours, 80 ° C. for 4 hours, 60 ° C. for 6 hours, and 40 ° C. for 11 hours After adding 90 g of -1-monomethylether-2-acetate, a solution of alkali developable resin No. 1 was obtained as a target propylene glycol-1-monomethylether-2-acetate solution. 1 (Mw = 5000, Mn = 2100, acid value (solid content) 92.7 mg KOH / g).
<Step 2> Alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 Preparation of No. 1 Alkali developable resin No. 1 1 10.7 g, 2.7 g of dipentaerythritol penta and hexaacrylate (ALONIX M-402; made by Toagosei), 1.2 g of a 1% solution of cyclohexanone in surfactant FZ-2122 (made by Nippon Unicar), propylene glycol Compound No. 1 was mixed with 2.7 g of -1-monomethylether-2-acetate and 12.6 g of cyclohexanone. Into the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 of the present invention was added 0.07 g of No. 54, followed by thorough stirring. I got one.
Comparative Example 1 Production of Comparative Alkali-Developable Photosensitive Resin Composition 1 Compound No. 1 of Example 1 <Step 2 of Example 2> except that 54 was replaced by ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) Comparative alkali-developable photosensitive resin composition 1 was obtained in the same manner as in <1>.

<透過率の評価>
アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1及び比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1の透過率評価を以下のようにして行った。
即ち、ガラス基板上にアルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(500rpm、2秒間、800rpm、6秒間)し、ホットプレートを用いて、90℃で90秒間プリベークを行った。光源として高圧水銀ランプを用いて150mJ/cm2露光し、オーブンを用いて、230℃で30分間ポストベークを行った。吸光光度計を用いて380nmにおける透過率を測定した。結果を表1に示す。
<感度の評価>
アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1及び比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1の感度を、次の3段階で評価した。即ち、形成されたパターンの線幅が、マスク開口線幅を超えた時の露光量が60mJ/cm2 であった場合を○ 、80mJ/cm2 であった場合を△ 、100 mJ/cm2 であった場合を×とした。結果を表1に示す。
< アウトガス性>
アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1及び比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1のアウトガス性試験を以下のようにして行った。即ち、ガラス基板上に、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート( 500rpm 、7秒間) し、ホットプレートを用いて、90℃で、90秒間プリベークを行い、光源として高圧水銀ランプを用いて100mJ/cm2 露光した。この膜を約3 mg削り取り、TG−DTA( セイコーインスツル( 株) 製) により、230℃で、30分間保持した時の重量減少率からアウトガス性を評価した。結果を表1に示す。
<Evaluation of transmittance>
Alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 1 and Comparative alkali-developable photosensitive resin composition 1 were evaluated for transmittance as follows.
That is, an alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (500 rpm, 2 seconds, 800 rpm, 6 seconds) on a glass substrate, and prebaked at 90 ° C. for 90 seconds using a hot plate. It was exposed at 150 mJ / cm 2 using a high pressure mercury lamp as a light source, and post-baked at 230 ° C. for 30 minutes using an oven. The transmittance at 380 nm was measured using a spectrophotometer. The results are shown in Table 1.
<Evaluation of sensitivity>
Alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 1 and Comparative alkali-developable photosensitive resin composition 1 The sensitivity was evaluated in the following three steps. That is, the line width of the formed pattern, a case where the exposure amount when exceeding the mask opening line width was 60 mJ / cm 2 ○, the case was 80mJ / cm 2 △, 100 mJ / cm 2 The case where it was was made into x. The results are shown in Table 1.
<Outgassing>
Alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 Outgassing test of the alkali-developable photosensitive resin composition 1 was conducted as follows. That is, a colored alkali-developable photosensitive resin composition is spin-coated (500 rpm, 7 seconds) on a glass substrate, prebaked at 90 ° C. for 90 seconds using a hot plate, and a high pressure mercury lamp as a light source. The exposure was 100 mJ / cm 2 . About 3 mg of this film was scraped off, and the outgassing property was evaluated from the weight loss rate when it was kept at 230 ° C. for 30 minutes by TG-DTA (manufactured by Seiko Instruments Inc.). The results are shown in Table 1.

Figure 0006539476
Figure 0006539476

表1の結果より、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1は、比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物1よりも高い透過率を示し、さらに感度も良好であり、アウトガスが少ないという効果を奏する組成物であることがわかった。   From the results of Table 1, the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 of the present invention was obtained. It was found that the composition No. 1 exhibited a transmittance higher than that of the comparative alkali-developable photosensitive resin composition 1, had a good sensitivity, and exhibited the effect of reducing the amount of outgassing.

Claims (10)

下記一般式(II)で表されるオキシムエステル化合物。
Figure 0006539476
(式中、R、R及びRはそれぞれ独立に、R11を表し、R11 は、炭素原子数1〜20のアルキル基を表し
11で表わされる置換基の水素原子は、OR21、SR21、NR2223、CONR2223、CN、ハロゲン原子、又はCOOR21で置換される場合もあり、
21、R22及びR23は水素原子を表し、R 表される置換基のアルキル部分は、分岐側鎖がある場合や環状アルキルである場合があり、
は、下記一般式(II−A)で表される基を表し、
は、硫黄原子を表し、αは1〜10の整数を表。)
Figure 0006539476
(式中、Zは、結合手であって、−−を表し、
は、結合手であって、1〜3のR10で置換される炭素原子数1〜20のアルキルを表し、
で表される結合手のアルキレン部分は分岐側鎖がある場合や環状アルキレンである場合もあり、
10は、OR41を表し、
41は、水素原子を表し、
aは1〜3の整数を表す。)
The oxime ester compound represented by the following general formula (II).
Figure 0006539476
(Wherein, R 6, R 7 and R 8 each independently represent a R 11, R 11 represents an alkyl group having carbon atom number of 1 to 20,
The hydrogen atom of the substituent represented by R 11 may be substituted with OR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , CN, a halogen atom, or COOR 21 ,
R 21, R 22 and R 23 represent a hydrogen atom, an alkyl moiety of the substituents represented by R 1 1 is may be the case or cyclic alkyl with branched side chains,
R 9 represents a group represented by the following general formula (II-A),
Y represents a vulcanization Kihara child, alpha is to table an integer from 1 to 10. )
Figure 0006539476
(Wherein, Z 3 is a bond, - O - represents,
Z 4 is a bond and represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms substituted with 1 to 3 R 10 ,
The alkylene moiety of the bond represented by Z 4 may be a branched side chain or a cyclic alkylene,
R 10 represents OR 41 ,
R 41 represents a hydrogen atom,
a represents an integer of 1 to 3; )
前記αが1である、請求項1に記載のオキシムエステル化合物。  The oxime ester compound according to claim 1, wherein the α is 1. 前記R  Said R 1111 が、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2−エチルヘキシル又はt−オクチルである、請求項1又は2に記載のオキシムエステル化合物。The methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, amyl, isoamyl, tert-amyl, hexyl, heptyl, octyl, isooctyl, 2-ethylhexyl or tert-octyl The oxime ester compound as described in 1 or 2. 前記ZSaid Z 4 は、Is
aが1の場合、メチレン、エチレン、プロピレン、メチルエチレン、ブチレン、1−メチルプロピレン、2−メチルプロピレン、1,2−ジメチルプロピレン、1,3−ジメチルプロピレン、1−メチルブチレン、2−メチルブチレン、3−メチルブチレン、4−メチルブチレン、2,4−ジメチルブチレン、1,3−ジメチルブチレン、ペンチレン、へキシレン、ヘプチレン、オクチレン、ノニレン、デシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、エタン−1,1−ジイル又はプロパン−2,2−ジ1イルであり、When a is 1, methylene, ethylene, propylene, methylethylene, butylene, 1-methylpropylene, 2-methylpropylene, 1,2-dimethylpropylene, 1,3-dimethylpropylene, 1-methylbutylene, 2-methylbutylene , 3-methylbutylene, 4-methylbutylene, 2,4-dimethylbutylene, 1,3-dimethylbutylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonylene, nonylene, decylene, dodecylene, tridecylene, tetradecylene, pentadecylene, ethane-1, 1-diyl or propane-2,2-diyl;
aが2の場合、これらの何れかの基が1つのRWhen a is 2, any one of these groups is one R 1010 で置換された基であり、A group substituted by
aが3の場合、これらの何れかの基が2つのRWhen a is 3, any one of these groups is two R 1010 で置換された基である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のオキシムエステル化合物。The oxime ester compound according to any one of claims 1 to 3, which is a group substituted by
請求項1〜4のいずれか一項に記載のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤。 The photoinitiator containing the oxime ester compound as described in any one of Claims 1-4. 請求項に記載の光重合開始剤に、重合性化合物を含有させてなる感光性組成物。 A photosensitive composition comprising the photopolymerization initiator according to claim 5 and a polymerizable compound. 請求項に記載の重合性化合物が、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物である感光性組成物。 The photosensitive composition whose polymeric compound of Claim 6 is a polymeric compound which has an ethylenically unsaturated bond. 請求項6及び7のいずれか一項に記載の感光性組成物に、アルカリ現像性を与える基を有する重合性化合物を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 The alkali developable photosensitive resin composition which makes the photosensitive composition as described in any one of Claims 6 and 7 contain the polymeric compound which has group which gives alkali developability. 請求項に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、更に色材を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物。 A colored alkali-developable photosensitive resin composition, which further comprises a coloring material in the alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 8 . 請求項6及び7のいずれか一項に記載の感光性組成物、請求項に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物、又は請求項に記載の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物にエネルギー線を照射してなる硬化物。 The photosensitive composition according to any one of claims 6 and 7 , the alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 8 , or the colored alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 9 Cured product irradiated with energy rays.
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