JP6676835B1 - ウエハ載置台の製法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュの網目部分に充填し、前記ゲル化剤を化学反応させて前記セラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュを作製する工程と、
(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体と第2セラミック仮焼体との間に前記セラミック充填メッシュを挟み込むことにより積層体を作製する工程と、
(c)前記積層体をホットプレス焼成することによりウエハ載置台を作製する工程と、
を含むものである。
工程(a)では、セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを用いる。セラミックスラリーは、通常、セラミック粉末やゲル化剤のほかに溶媒や分散剤を含んでいる。
工程(b)では、円板状の第1セラミック仮焼体31と同じく円板状の第2セラミック仮焼体32との間にセラミック充填メッシュ20を挟み込むことにより積層体40を作製する(図1(b)参照)。第1及び第2セラミック仮焼体31,32は、例えば上述したセラミックスラリーを用いてモールドキャスト成形で作製した成形体を乾燥、脱脂、仮焼することにより作製する。これにより、セラミック充填メッシュ20の位置ずれを防止することができる。積層体40を作製する際には、必要に応じて、第1セラミック仮焼体31と第2セラミック仮焼体32とセラミック充填メッシュ20との位置合わせを行う。
工程(c)では、積層体40をホットプレス焼成することによりウエハ載置台10を作製する。ホットプレス焼成では、特に限定するものではないが、例えば最高温度(焼成温度)において、プレス圧力を30〜300kgf/cm2とすることが好ましく、50〜250kgf/cm2とすることがより好ましい。また、最高温度は、セラミック粉末の種類、粒径などにより適宜設定すればよいが、1000〜2000℃の範囲に設定することが好ましい。雰囲気は、大気雰囲気、不活性雰囲気(例えば窒素雰囲気)、真空雰囲気の中から、セラミック粉末の種類に応じて適宜選択すればよい。ホットプレス焼成により厚み方向に50%程度収縮する。
1.第1及び第2セラミック仮焼体の作製
まず、窒化アルミニウム粉末(純度99.7%)100質量部と、酸化イットリウム5質量部と、分散剤(ポリカルボン酸系共重合体)2質量部と、分散媒(多塩基酸エステル)30質量部とを、ボールミル(トロンメル)を用いて14時間混合することにより、セラミックラリー前駆体を得た。このセラミックラリー前駆体に対して、イソシアネート(4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート)4.5質量部、水0.1質量部、触媒(6−ジメチルアミノ−1−ヘキサノール)0.4質量部を加えて混合することにより、セラミックラリーを得た。このセラミックスラリーを円板形状の内部空間を有する成形型(第1及び第2セラミック仮焼体を作製するための成形型)に流し込み、イソシアネートと水との化学反応により有機バインダ(ウレタン樹脂)を生成させたあと、成形型から硬化した成形体を取り出す。その成形体を100℃で10時間乾燥し、脱脂及び仮焼を水素雰囲気下、最高温度1300℃で行い、第1及び第2セラミック仮焼体を得た。
セラミック充填メッシュを、上述した成形型60(図3及び図4参照)を用いて作製した。セラミックスラリーは上記1.と同じものを用いた。セラミックスラリーの成形型60への注入は真空中で行った。また、乾燥、脱脂、仮焼の条件は上記1.と同じ条件を用いた。
3.積層体の作製
第1セラミック仮焼体と第2セラミック仮焼体との間にセラミック充填メッシュを挟み込むことにより積層体を作製した。
4.ウエハ載置台の作製
積層体を、窒素ガス中、プレス圧力250kgf/cm2、1860℃で6時間、ホットプレス焼成することによりウエハ載置台を作製した。
5.評価
得られたウエハ載置台について、金属メッシュとセラミックプレートとの界面に剥離が発生しているか否かをチェックしたところ、剥離は見られなかった。また、金属メッシュの位置ずれも見られなかった。
セラミック充填メッシュを、上述した容器70(図5参照)を用いて作製した以外は、実施例1と同様にしてウエハ載置台を作製した。具体的には、容器70に金属メッシュをセットし、実施例1の1.で調製したセラミックスラリーを真空中で容器70内に注入し、スラリー粘度が7500cPになったところで真空を解除し、金属メッシュを引き上げて空気中で放置した。乾燥、脱脂、仮焼の条件は実施例1の1.と同じ条件を用いた。得られたウエハ載置台について、金属メッシュとセラミックプレートとの界面に剥離が発生しているか否かをチェックしたところ、剥離は見られなかった。また、金属メッシュの位置ずれも見られなかった。
図7(a)〜(c)に示した方法でウエハ載置台を作製した。第1及び第2セラミック仮焼体31,33は、実施例1の1.で調製したセラミックスラリーを用いて成形体を作製し、その成形体を実施例1の1.に示した条件で乾燥、脱脂、仮焼を行った。ホットプレス焼成は実施例1の4.と同じ条件で行った。得られたウエハ載置台について、金属メッシュとセラミックプレートとの界面に剥離が発生しているか否かをチェックしたところ、剥離は見られなかった。また、金属メッシュの位置ずれも見られなかった。
セラミック充填メッシュの代わりに金属メッシュをそのまま用いた以外は、実施例1と同様にしてウエハ載置台を作製した。得られたウエハ載置台について、金属メッシュとセラミックプレートとの界面に剥離が発生しているか否かをチェックしたところ、剥離が見られた。金属メッシュの位置ずれは見られなかった。
Claims (2)
- (a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュの網目部分に充填し、前記ゲル化剤を化学反応させて前記セラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュを作製する工程と、
(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体と第2セラミック仮焼体との間に前記セラミック充填メッシュを挟み込むことにより積層体を作製する工程と、
(c)前記積層体をホットプレス焼成することによりウエハ載置台を作製する工程と、
を含み、
前記工程(a)では、前記金属メッシュを成形型に入れて上型と下型とを前記金属メッシュに密着させた状態で前記成形型に前記セラミックスラリーを注入することにより、前記セラミックスラリーを前記金属メッシュの網目部分に充填し、
前記工程(a)で、前記成形型に前記セラミックスラリーを注入するにあたっては、前記成形型内を大気圧よりも低くなるようにしたあと前記セラミックスラリーを注入する、
ウエハ載置台の製法。 - (a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュの網目部分に充填し、前記ゲル化剤を化学反応させて前記セラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュを作製する工程と、
(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体と第2セラミック仮焼体との間に前記セラミック充填メッシュを挟み込むことにより積層体を作製する工程と、
(c)前記積層体をホットプレス焼成することによりウエハ載置台を作製する工程と、
を含み、
前記工程(a)では、前記セラミックスラリーの入った容器に前記金属メッシュをディッピングすることにより、前記セラミックスラリーを前記金属メッシュの網目部分に充填する、
ウエハ載置台の製法。
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