JP6650400B2 - Euv光学系の試験デバイス - Google Patents
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Description
EUV光学系用の波長可変スペクトルを発生させる発生ユニットであり、EUV光学系から出る試験スペクトルをセンサユニットによって感知可能である発生ユニット
を備えた試験デバイスによって達成される。
波長可変試験放射線をEUV光学系に照射するステップと、
EUV光学系の下流の試験放射線をセンサユニットによって感知するステップと、
感知した試験放射線を評価ユニットによって評価するステップと
を含む方法を提供する。
dS=λmax/2×cosφ
この関係は、狭帯域性と共に、EUV光学系をその設計の対象となった入射角φでしか作動させることができないという制限をもたらす。図1は、従来のEUVブラッグミラーの典型的な構造を右図に示す。この図は、例えば石英の形態の基板Sと、その上に配置されたシリコン又はモリブデンをそれぞれ施したいくつかのMoSi層とを示す。
λ 波長
x センサ上の空間座標
T 測定対象の試験体のスペクトル透過率(又は反射率)
a 0〜1の自由に選択可能なパラメータ
l1、l2 光源又は下流に光学試験設備がある光源のスペクトル
l1,Sensor、l2,Sensor 試験体後方のセンサにおけるスペクトル
であり、ベーススペクトルl1、l2が分かれば、式(1)を用いて測定可能な変数l1,Sensor、l2,Sensorから、スペクトルの線形結合を記述するパラメータaの種々の値に関する値lSensorを導き出すことができる。対応する式が、3つ以上のベーススペクトルに関して成り立つ。ベーススペクトルの差のみが分かっている場合、2つのスペクトル毎に差分測定に関して次式(2)を用いることが可能である。
(i)スペクトルの差は、適格性確認すべきEUV光学系200で可能性のある調整、コーティング、又は他の製造欠陥が特に有意な影響をもたらすような波長領域では、大きいものとする。
(ii)試験すべきEUV光学系200の設計対象である目標スペクトル、すなわちソース又は入力スペクトルは、ベーススペクトルの線形結合によってできる限り良好に近似可能であるものとする。
・2つのミラー31、32を製造及び調整するだけでよい。
・ミラーが平面ミラーであることが好ましく、これは比較的単純に製造できる。
・開口33、34が、「正確な」入射角φを有するビームのみの通過を確実にする。
・各ミラー31、32のコーティングが、単一のコーティングプロセスで作製されたものなので全ての反射点で実質的に同一に具現される(場合によっては、ミラー31、32の両方を同じプロセスでコーティングすることもできる)。
Claims (13)
- EUV光学系(200)用の試験デバイス(100)であって、
前記EUV光学系(200)用の波長可変試験放射線を発生させる発生ユニット(10)であり、前記EUV光学系(200)から出る試験スペクトルをセンサユニット(20)によって感知可能である発生ユニット(10)を備え、
前記発生ユニット(10)によって発生した前記波長可変試験放射線の目標スペクトル(Z)は、少なくとも2つの異なる重畳したベーススペクトル(B1、B2)を備え、
前記発生ユニット(10)はプラズマ源を含み、該プラズマ源は、前記EUV光学系(200)の作動波長領域で放出する少なくとも1つのガス(50、60)を含み、
前記ガスの混合比が可変である試験デバイス。 - 請求項1に記載の試験デバイスにおいて、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素、ネオン、及び酸素の群からの少なくとも1つをガス(50、60)として使用可能であることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項1または2に記載の試験デバイスにおいて、前記目標スペクトル(Z)は、前記EUV光学系(200)へ、前記ベーススペクトル(B1、B2)をそれぞれ有する異なる放射線をシーケンシャルに照射することによって決定されることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の試験デバイスにおいて、前記目標スペクトル(Z)は、3つのパラメータを用いた数学関数として表現可能であり、前記パラメータは、前記目標スペクトル(Z)の最大値、幅、及び中心波長を含むことを特徴とする試験デバイス。
- 請求項1または2に記載の試験デバイスにおいて、前記発生ユニット(10)は、2つの対向配置されたミラー(31、32)を有するフィルタユニット(30)を備え、該フィルタユニット(30)は、入射放射線用の入射開口(33)を備え、ビームが前記ミラー(31、32)間で多重反射され、出射放射線が少なくとも1つの出射開口(34)を通して前記フィルタユニット(30)から出ることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項5に記載の試験デバイスにおいて、試験スペクトルが、前記入射開口(33)と前記出射開口(34)との間の距離(L)の変動及び/又は前記ミラー(31、32)間のプレート間距離(d)の変動によって設定可能であることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項5または6に記載の試験デバイスにおいて、前記2つのミラー(31、20)の平行度が設定可能であることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項5〜7のいずれか1項に記載の試験デバイスにおいて、前記フィルタ(30)の上側及び下側で前記開口(33、34)が格子状に具現され、前記開口間の距離が前記開口の座標位置合わせに応じて同一又は可変であることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項5〜8のいずれか1項に記載の試験デバイスにおいて、前記フィルタユニット(30)は、前記発生ユニット(10)内に可動に配置されることを特徴とする試験デバイス。
- 請求項5〜9のいずれか1項に記載の試験デバイスにおいて、前記フィルタユニット(30)は、前記EUV光学系(200)の上流及び/又は下流に配置されることを特徴とする試験デバイス。
- EUV光学系(200)用の波長可変試験スペクトルを発生させる発生ユニット(10)であって、2つの対向配置されたミラー(31、32)を有するフィルタユニット(30)を備え、該フィルタユニット(30)は2つの前記ミラー(31、32)のうちの一方のミラーを貫通する入射放射線用の入射開口(33)を備え、ビームが前記ミラー(31、32)間で多重反射され、出射放射線が、他方のミラーを貫通する少なくとも1つの出射開口(34)を通してフィルタユニット(30)から出る発生ユニット。
- EUV光学系(200)を測定する方法であって、
波長可変試験放射線を発生ユニット(10)によって前記EUV光学系(200)に照射するステップと、
前記EUV光学系(200)の下流の試験放射線をセンサユニット(20)によって感知するステップと、
感知した試験放射線を評価ユニット(80)によって評価するステップと
を含み、
前記発生ユニット(10)によって発生した前記波長可変試験放射線の目標スペクトル(Z)は、少なくとも2つの異なる重畳したベーススペクトル(B1、B2)を備え、
前記発生ユニット(10)はプラズマ源を含み、該プラズマ源は、前記EUV光学系(200)の作動波長領域で放出する少なくとも1つのガス(50、60)を含み、
前記ガスの混合比が可変である方法。 - 請求項12に記載の方法を実施するプログラムコード手段を備えたコンピュータプログラム製品であって、電子制御ユニット(90)において実行されるか又はコンピュータ可読データキャリアに記憶されるコンピュータプログラム製品。
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