JP6649626B2 - アパーチャ板の駆動機構 - Google Patents
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Description
図1に、顕微分析装置の一つである赤外顕微鏡の一構成例を示す。赤外顕微鏡では、試料ステージ上に載置された試料1に赤外光を照射し、被照射領域から発せられた光を赤外光検出器9で検出する。赤外顕微鏡における測定方法には、試料1の表面側から該試料に赤外光を照射して反射光を測定する方法と、試料1の裏面側から赤外光を照射して透過光を測定する方法の2通りがある。
a) 1対のアパーチャ板のそれぞれに固定された駆動ブロックと、
b) 2つの前記駆動ブロックの一つの軸方向の移動のみを許容し、それ以外の方向の移動を許容しない直動ガイドと、
c) 前記一つの軸方向と平行に延設され、互いに逆向きに進行する1対の螺旋状の溝が形成された1本の送りねじと、
d) 前記1対の螺旋状の溝のそれぞれに噛合するように設けられ、前記軸に沿って移動可能であるナット部材と、
e) 前記2つの駆動ブロックのそれぞれを前記一つの軸方向と平行な方向に付勢することにより、該駆動ブロックのそれぞれを前記1対のナット部材のそれぞれに押し付ける付勢部材と、
f) 前記2つの駆動ブロックの一方とそれに対応するナット部材との間に配置され、前記一つの軸方向と平行な方向における該駆動ブロックと該ナット部材の距離を調整する距離調整部材と
を有するアパーチャ板の開閉機構と、
g) 前記アパーチャ板の開閉機構を前記アパーチャ板に垂直な軸周りに回転させる回転機構と
を備えることを特徴とする。
前記アパーチャ板と駆動ブロックは一体の部材として形成されたものであってもよく、あるいは独立した部材をねじ止め等により締結したものであってもよい。
前記アパーチャ板の開閉機構は、複数対のアパーチャ板を備えたものであってもよい。
上記実施例ではx方向とy方向のそれぞれにアパーチャ板の開閉機構を備えた駆動機構について説明したが、スリット状の測定対象領域を測定する場合にはいずれか一方向にのみ開閉機構を備えていればよい。
また、上記実施例では、駆動ブロック308aとフロートナット305aの間にのみ調整ホルダ310等の距離調整部を設けたが、駆動ブロック308bとフロートナット305bの間にも同様の距離調整部を設けてもよい。
また、上記実施例ではナット部材に形成した貫通孔にピンを挿入することによって送りねじの回転に伴うナット部材の回転を規制したが、ナット部材の外側に配置した部材によって回転を規制することもできる。
1a…測定対象領域
2…光源部
3、3a…第1ミラー
4…第2ミラー
5…第3ミラー
6、16…カセグレン鏡
6a、16a…凹面ミラー
6b、16b…凸面ミラー
8…アパーチャ
9…赤外光検出器
14…第4ミラー
15…第5ミラー
21…可視光ミラー
22…カメラ
100、200、300…モータ
110…x-yステージ
120…回転軸材
130…ベルト
140…中空シャフト
301a、301b…アパーチャ板
303a、303b…挿入ピン
305a、305b…フロートナット
306…ガイドレール
307a、307b…ガイド部材
308a、308b…駆動ブロック
309…バネ
310…調整ホルダ
311…調整ねじ
312…固定ねじ
Claims (5)
- a) 1対のアパーチャ板のそれぞれに固定された駆動ブロックと、
b) 2つの前記駆動ブロックの一つの軸方向の移動のみを許容し、それ以外の方向の移動を許容しない直動ガイドと、
c) 前記一つの軸方向と平行に延設され、互いに逆向きに進行する1対の螺旋状の溝が形成された1本の送りねじと、
d) 前記1対の螺旋状の溝のそれぞれに噛合するように設けられ、前記軸に沿って移動可能であるナット部材と、
e) 前記2つの駆動ブロックのそれぞれを前記一つの軸方向と平行な方向に付勢することにより、該駆動ブロックのそれぞれを前記1対のナット部材のそれぞれに押し付ける付勢部材と、
f) 前記2つの駆動ブロックの一方とそれに対応するナット部材との間に配置され、前記一つの軸方向と平行な方向における該駆動ブロックと該ナット部材の距離を調整する距離調整部材と
を有するアパーチャ板の開閉機構と、
g) 前記アパーチャ板の開閉機構を前記アパーチャ板に垂直な軸周りに回転させる回転機構と
を備えることを特徴とするアパーチャ板の駆動機構。 - 前記開閉機構が非平行な2方向にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアパーチャ板の駆動機構。
- 前記一つの軸方向に関し、前記駆動ブロックの、前記ナット部材又は前記距離調整部材との当接部が凸面であり、他方の当接部が平面又は該凸面よりも曲率が小さい凹面である
ことを特徴とする請求項1に記載のアパーチャ板の駆動機構。 - 前記一つの軸方向に関し、前記ナット部材又は前記距離調整部材の、前記駆動ブロックとの当接部が凸面であり、該駆動ブロックの当接部が平面又は該凸面よりも曲率が小さい凹面である
ことを特徴とする請求項1に記載のアパーチャ板の駆動機構。 - 請求項1から4のいずれかに記載のアパーチャ板の駆動機構を備えた赤外顕微鏡。
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