JP6648416B2 - Dust foreign material evaluation method and dust foreign material evaluation device - Google Patents

Dust foreign material evaluation method and dust foreign material evaluation device Download PDF

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Description

本発明は、降塵異物評価方法および降塵異物評価装置に関する。   The present invention relates to a method for evaluating dust particles and a device for evaluating dust particles.

半導体集積回路の高密度化にともなう微細な回路パターンの形成には、高度に清浄な環境が必要とされる。このような環境を実現するためのクリーンルームでは、たとえば天井に設けられたフィルタを通して清浄化された空気が室内に供給されるとともに、床板に形成された貫通穴から室内の空気が排出されることで、室内は常時清浄に保たれるように管理される。しかしながら、一方で、室内に設置されている製造装置からの塵埃粒子の発生は避けることができないのが現実であり、クリーンルーム内における塵埃粒子の検出および監視は常時行われる。   A highly clean environment is required for forming a fine circuit pattern accompanying the increase in the density of a semiconductor integrated circuit. In a clean room for realizing such an environment, for example, purified air is supplied into a room through a filter provided on a ceiling, and air in the room is discharged from a through hole formed in a floor panel. The room is managed so that it is always kept clean. However, on the other hand, it is a reality that the generation of dust particles from the manufacturing apparatus installed in the room cannot be avoided, and the detection and monitoring of the dust particles in the clean room are always performed.

特許文献１には、空気排出用の貫通穴が床板に形成されたクリーンルームにおいて、貫通穴の領域に対応するように吸気用の開口が形成されたサンプリングチューブを床板の下に設置し、床板の貫通穴から排出される室内の空気をサンプリングチューブの開口を通じて吸引し、吸引した空気中の塵埃粒子量をパーティクルカウンタにより計測する、という塵埃粒子監視方法が提案されている。   In Patent Literature 1, in a clean room in which a through hole for discharging air is formed in a floor plate, a sampling tube in which an opening for intake is formed so as to correspond to a region of the through hole is installed below the floor plate, A dust particle monitoring method has been proposed in which air in a room discharged from a through hole is sucked through an opening of a sampling tube, and the amount of dust particles in the sucked air is measured by a particle counter.

特開平７−２０９１４６号公報JP-A-7-209146

ところで、室内の空気中に含まれる塵埃粒子の濃度が変わらない場合であっても、床面には時間経過に従って塵埃粒子が堆積していることがある。この場合、作業者が室内を歩行すると、それに伴う空気の動きによって床面から塵埃粒子が舞い上げられてしまって、製品に付着する可能性がある。   By the way, even when the concentration of dust particles contained in indoor air does not change, dust particles may accumulate on the floor surface over time. In this case, when the worker walks in the room, there is a possibility that dust particles will be blown up from the floor surface by the movement of the air accompanying the walking and adhere to the product.

特許文献１の方法によれば、室内の空気中に含まれる塵埃粒子を定量化することは可能である。しかしながら、床面に存在する、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子を定量化できる方法は知られていない。   According to the method of Patent Document 1, it is possible to quantify dust particles contained in indoor air. However, there is no known method capable of quantifying dust particles present on the floor surface and having a high risk of rising.

本発明は、このような点を考慮してなされたものである。本発明の目的は、床面に存在する、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子を定量化できる降塵異物評価方法および降塵異物評価装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such points. An object of the present invention is to provide a dust particle evaluation method and a dust particle evaluation device that can quantify dust particles present on a floor surface and having a high risk of rising.

本発明による降塵異物評価方法は、
容器の開口が床面と対向する向きで、当該容器を床面上に設置する工程と、
前記容器の壁面に形成された第１貫通孔にパーティクルカウンタのプローブを挿入するとともに、前記容器の壁面に形成された第２貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程と、
前記容器の開口から露出する床面に向けて前記ポンプの前記吹出部から空気を吹き出させて前記床面上の降塵異物を舞い上がらせるとともに、前記パーティクルカウンタを用いて前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測する工程と、
を備える。 Dustfall foreign matter evaluation method according to the present invention,
A step of placing the container on the floor, with the opening of the container facing the floor,
Inserting a probe of a particle counter into a first through hole formed in a wall surface of the container, and inserting a blow-out portion of a pump into a second through hole formed in a wall surface of the container;
Air is blown out from the blow-out portion of the pump toward the floor surface exposed from the opening of the container, so that dust particles on the floor surface fly up, and floating particles in the internal space of the container using the particle counter. Measuring the quantity;
Is provided.

本発明による降塵異物評価方法において、
前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有してもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation method according to the present invention,
The container may have a shape that gradually widens as approaching the opening of the container.

本発明による降塵異物評価方法において、
前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有してもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation method according to the present invention,
The container may have a bucket or bowl shape.

本発明による降塵異物評価方法において、
前記第２貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程では、前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられていてもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation method according to the present invention,
In the step of inserting the blow-out part of the pump into the second through-hole, the blow-out part may be oriented so as to face the center of the opening of the container.

本発明による降塵異物評価装置は、
壁面に第１貫通孔および第２貫通孔が形成された容器と、
前記容器の前記第１貫通孔に挿入可能なプローブを有し、前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測するパーティクルカウンタと、
前記容器の前記第２貫通孔に挿入可能な吹出部を有し、前記容器の開口に向けて空気を吹き出すポンプと、
を備える。 The dustfall foreign matter evaluation device according to the present invention is:
A container having a first through hole and a second through hole formed in a wall surface,
A particle counter having a probe that can be inserted into the first through hole of the container, and measuring an amount of suspended foreign matter in an internal space of the container;
A pump having a blowout portion insertable into the second through hole of the container, and blowing air toward an opening of the container;
Is provided.

本発明による降塵異物評価装置において、
前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有してもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation device according to the present invention,
The container may have a shape that gradually widens as approaching the opening of the container.

本発明による降塵異物評価装置において、
前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有してもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation device according to the present invention,
The container may have a bucket or bowl shape.

本発明による降塵異物評価装置において、
前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられていてもよい。 In the dustfall foreign matter evaluation device according to the present invention,
The outlet may be oriented so as to face the center of the opening of the container.

本発明によれば、床面に存在する、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子を定量化できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dust particle which exists in a floor surface and has a high risk of rising can be quantified.

図１は、本発明の一実施の形態による降塵異物評価装置を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a dustfall foreign matter evaluation device according to an embodiment of the present invention. 図２は、図１の降塵異物評価装置においてポンプから吹き出された空気の流れおよび塵埃粒子の動きを示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing the flow of air blown from a pump and the movement of dust particles in the dustfall foreign matter evaluation device of FIG. 図３は、図１の降塵異物評価装置の一変形例を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a modified example of the dust-falling foreign substance evaluation device of FIG.

以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示の理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in the drawings attached to this specification, for the sake of easy understanding of the drawings, the scale and the dimensional ratio in the vertical and horizontal directions are appropriately changed from those of the actual ones and exaggerated.

図１は、本発明の第１の実施の形態による降塵異物評価装置を示す概略図である。   FIG. 1 is a schematic diagram showing a dustfall foreign matter evaluation device according to a first embodiment of the present invention.

本実施の形態による降塵異物評価装置１０は、たとえば、クリーンルーム内で製品を作っていない時間帯に、１日１回または２回の頻度で、クリーンルームの床面の汚染度合を評価して、床面の清浄頻度を決定する用途に用いることができる。なお、本明細書では、床面に存在する塵埃粒子を降塵異物と呼ぶことがあり、空気中に存在する塵埃粒子を浮遊異物と呼ぶことがある。たとえば粒径が数μｍ〜数１０μｍの降塵異物は、比重が小さいため、作業者の歩行などの影響により床面から舞い上がるリスクが高いと考えられる。   The dust particle evaluation device 10 according to the present embodiment evaluates the degree of contamination of the floor of a clean room once or twice a day, for example, during a time when products are not manufactured in the clean room, It can be used for determining the cleaning frequency of a surface. In this specification, dust particles existing on the floor surface may be referred to as dust particles, and dust particles existing in the air may be referred to as suspended particles. For example, dust particles having a particle diameter of several μm to several tens μm are considered to have a high risk of flying up from the floor due to the influence of a worker walking or the like since the specific gravity is small.

図１に示すように、本実施の形態による降塵異物評価装置１０は、容器１１と、パーティクルカウンタ１２と、ポンプ１３と、を有している。   As shown in FIG. 1, the dustfall foreign matter evaluation device 10 according to the present embodiment includes a container 11, a particle counter 12, and a pump 13.

このうち容器１１は、容器１１の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有している。図１に示す例では、容器１１は、円形状の底面と切頭円錐形状の側面とを含むバケツ状の形状を有しているが、これに限定されず、たとえば図３に示すように、底面と側面とが明確には区別されない椀状（略半球状）の形状を有していてもよい。   Among them, the container 11 has a shape that gradually spreads as approaching the opening of the container 11. In the example shown in FIG. 1, the container 11 has a bucket-like shape including a circular bottom surface and a frusto-conical side surface, but is not limited thereto. For example, as shown in FIG. The bottom surface and the side surface may have a bowl-like shape (substantially hemispherical shape), which is not clearly distinguished.

容器１１の寸法は、作業者が容易に持ち運びできる程度に小型かつ軽量であれば特に限定されないが、具体的には、たとえば、開口の直径が１０ｃｍ〜２０ｃｍであり、高さが１０ｃｍである。容器１１の材質としては、発塵しにくい材質であれば特に限定されず、たとえばプラスチックまたは金属が用いられる。   The size of the container 11 is not particularly limited as long as it is small and light enough to be easily carried by an operator. Specifically, for example, the opening has a diameter of 10 cm to 20 cm and a height of 10 cm. The material of the container 11 is not particularly limited as long as the material does not easily generate dust. For example, plastic or metal is used.

図１に示すように、容器１１の壁面１１ｃ（図示された例では、容器１１の底面）には、第１貫通孔１１ａおよび第２貫通孔１１ｂが形成されている。第１貫通孔１１ａには、後述するパーティクルカウンタ１２のプローブ１２ａの先端が挿入可能となっており、第２貫通孔１１ｂには、後述するポンプ１３の吹出部１３ａの先端が挿入可能となっている。   As shown in FIG. 1, a first through hole 11a and a second through hole 11b are formed on a wall surface 11c of the container 11 (the bottom surface of the container 11 in the illustrated example). The tip of a probe 12a of a particle counter 12 described later can be inserted into the first through hole 11a, and the tip of an outlet 13a of a pump 13 described later can be inserted into the second through hole 11b. I have.

本実施の形態では、容器１１の開口を規定する環状の縁部１１ｄは、同一平面内に位置している。これにより、容器１１の開口が床面１４と対向する向きで容器１１が床面１４上に設置される時、開口を規定する環状の縁部１１ｄは、床面１４と隙間無く密着されるようになっている。図示された例では、環状の縁部１１ｄは、径方向外向きに延びるフランジ形状を有しているが、床面１４と隙間無く密着可能である限りでは、縁部１１ｄの形状はフランジ形状に限定されない。   In the present embodiment, the annular edge 11d that defines the opening of the container 11 is located on the same plane. Accordingly, when the container 11 is installed on the floor surface 14 with the opening of the container 11 facing the floor surface 14, the annular edge portion 11 d defining the opening is in close contact with the floor surface 14 without any gap. It has become. In the illustrated example, the annular edge 11d has a flange shape extending radially outward, but the edge 11d has a flange shape as long as it can be in close contact with the floor surface 14 without a gap. Not limited.

図１に示すように、パーティクルカウンタ１２は、容器１１の第１貫通孔１１ａに挿入可能なプローブ１２ａと、プローブ１２ａの基端部に接続された本体１２ｂと、を有している。パーティクルカウンタ１２としては、市販のレーザパーティクルカウンタ（たとえば、リオン株式会社製 気中パーティクルカウンタ ＫＣ−５２）を用いることができる。   As shown in FIG. 1, the particle counter 12 has a probe 12a that can be inserted into the first through hole 11a of the container 11, and a main body 12b connected to a base end of the probe 12a. As the particle counter 12, a commercially available laser particle counter (for example, an airborne particle counter KC-52 manufactured by Rion Co., Ltd.) can be used.

本実施の形態では、パーティクルカウンタ１２は、プローブ１２ａの先端から容器１１内の空気を連続的にサンプリングするとともに、サンプリングされた空気に対して本体１２ｂからレーザビームを照射し、空気中に含まれる塵埃粒子１５により散乱された散乱レーザ光のパルス数を計数することで、容器１１内の浮遊異物量を計測するようになっている（図２参照）。   In the present embodiment, the particle counter 12 continuously samples the air in the container 11 from the tip of the probe 12a, irradiates the sampled air with a laser beam from the main body 12b, and is included in the air. By counting the number of pulses of the scattered laser light scattered by the dust particles 15, the amount of suspended foreign matter in the container 11 is measured (see FIG. 2).

図１に示すように、ポンプ１３は、容器１１の第２貫通孔１１ｂに挿入可能な吹出部１３ａと、吹出部１３ａの基端部に接続された本体１３ｂと、を有している。ポンプ１３としては、たとえば市販の手動ポンプを用いることができる。ポンプ１３の材質としては、発塵しにくい材質であれば特に限定されず、たとえばプラスチックまたは金属が用いられる。   As shown in FIG. 1, the pump 13 has a blowing part 13 a that can be inserted into the second through hole 11 b of the container 11, and a main body 13 b connected to a base end of the blowing part 13 a. As the pump 13, for example, a commercially available manual pump can be used. The material of the pump 13 is not particularly limited as long as the material does not easily generate dust. For example, plastic or metal is used.

本実施の形態では、ポンプ１３の本体１３ｂは、側面が蛇腹状に形成された略円筒状の形状を有しており、軸線方向に伸縮可能となっている。本体１３ｂが軸線方向に収縮される時、本体１３ｂの内部空間の空気が吹出部１３ａの先端から押し出されるようになっている。また、本体１３ｂが軸線方向に伸長される時、容器１１の内部空間の空気が吹出部１３ａの先端から引き入れられるようになっている。   In the present embodiment, the main body 13b of the pump 13 has a substantially cylindrical shape with a side surface formed in a bellows shape, and is capable of extending and contracting in the axial direction. When the main body 13b is contracted in the axial direction, the air in the internal space of the main body 13b is pushed out from the tip of the blowing portion 13a. Further, when the main body 13b is extended in the axial direction, the air in the internal space of the container 11 is drawn in from the tip of the blowing portion 13a.

ポンプ１３の吹出部１３ａは、容器１１の開口の中心を向くように方向付けられていることが好ましい。この場合、吹出部１３ａから吹き出される空気１６は、容器１１の開口の中心に向かって移動するため、容器１１の開口から露出する床面１４上の塵埃粒子１５を効率的に舞い上がらせることができる（図２参照）。   It is preferable that the outlet 13a of the pump 13 be oriented so as to face the center of the opening of the container 11. In this case, since the air 16 blown out from the blowout portion 13a moves toward the center of the opening of the container 11, the dust particles 15 on the floor surface 14 exposed from the opening of the container 11 can efficiently fly up. (See FIG. 2).

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.

まず、容器１１の開口が床面１４と対向する向きで、当該容器１１が床面１４上に設置される。このとき、容器１１の開口を規定する環状の縁部１１ｄは、床面１４と隙間無く密着される。床面１４の一部は、容器１１の開口から容器１１の内部空間に露出される。   First, the container 11 is placed on the floor surface 14 with the opening of the container 11 facing the floor surface 14. At this time, the annular edge portion 11 d that defines the opening of the container 11 is in close contact with the floor surface 14 without any gap. Part of the floor surface 14 is exposed to the internal space of the container 11 from the opening of the container 11.

次に、容器１１の壁面１１ｃに形成された第１貫通孔１１ａに、パーティクルカウンタ１２のプローブ１２ａの先端が挿入されるとともに、容器１１の壁面１１ｃに形成された第２貫通孔１１ｂに、ポンプ１３の吹出部１３ａの先端が挿入される。吹出部１３ａの先端は、容器１１の開口を向くように、より好ましくは容器１１の開口の中心を向くように、方向付けられる。   Next, the tip of the probe 12a of the particle counter 12 is inserted into the first through hole 11a formed in the wall surface 11c of the container 11, and the pump is inserted into the second through hole 11b formed in the wall surface 11c of the container 11. The tip of the thirteen outlet 13a is inserted. The tip of the blowout portion 13 a is oriented so as to face the opening of the container 11, and more preferably, to face the center of the opening of the container 11.

次に、ポンプ１３の本体１３ｂが収縮され、容器１１の開口から露出する床面１４に向けて、ポンプ１３の吹出部１３ａの先端から空気が吹き出される。吹き出された空気１６は、床面１４に存在する塵埃粒子１５に圧力を加えて、塵埃粒子１５を床面１４から舞い上がらせる。容器１１の開口を規定する環状の縁部１１ｄが床面１４と隙間無く密着されているため、床面１４から舞い上げられた塵埃粒子１５は、容器１１の外側に漏れ出すこと無く、容器１１内の空気中を浮遊する。その後、ポンプ１３の本体１３ｂが伸長され、ポンプ１３の吹出部１３ａの先端から容器１１内の空気が吸い込まれる。ポンプ１３の吹出部１３ａからの空気の吹き出し（および吸い込み）は、後述するパーティクルカウンタ１２の測定が終了するまで、連続して行われる。   Next, the main body 13b of the pump 13 is contracted, and air is blown from the tip of the blow-out portion 13a of the pump 13 toward the floor surface 14 exposed from the opening of the container 11. The blown air 16 applies pressure to the dust particles 15 existing on the floor surface 14 to cause the dust particles 15 to fly up from the floor surface 14. Since the annular edge portion 11 d defining the opening of the container 11 is in close contact with the floor surface 14 without any gap, the dust particles 15 soared from the floor surface 14 do not leak to the outside of the container 11, Floating in the air inside. Thereafter, the main body 13b of the pump 13 is extended, and the air in the container 11 is sucked in from the tip of the blowing portion 13a of the pump 13. The blow-out (and suction) of air from the blow-out portion 13a of the pump 13 is continuously performed until the measurement of the particle counter 12 described later is completed.

一方、パーティクルカウンタ１２のプローブ１２ａの先端から容器１１内の空気が連続的にサンプリングされ、サンプリングされた空気に対して本体１２ｂからレーザビームが照射されることで、容器１１内の空気中に含まれる浮遊異物量が計測される。   On the other hand, the air in the container 11 is continuously sampled from the tip of the probe 12a of the particle counter 12, and the sampled air is irradiated with the laser beam from the main body 12b, so that the air in the container 11 is included in the air. The amount of suspended foreign matter is measured.

ここで、プローブ１２ａの先端からサンプリングされる容器１１内の空気は、ポンプ１３の動作により床面１４から舞い上げられた塵埃粒子１５を含んでいるから、パーティクルカウンタ１２による計測結果は、床面１４に存在していた、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子１５の量と相関関係がある。したがって、パーティクルカウンタ１２による計測結果に基づいて、床面１４に存在していた、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子１５を定量化することができる。   Here, since the air in the container 11 sampled from the tip of the probe 12a includes the dust particles 15 soared from the floor surface 14 by the operation of the pump 13, the measurement result by the particle counter 12 is There is a correlation with the amount of the dust particles 15 present at 14 and having a high risk of rising. Therefore, based on the measurement result by the particle counter 12, the dust particles 15 existing on the floor surface 14 and having a high risk of rising can be quantified.

なお、本実施の形態による降塵異物評価装置１０は、装置構成が比較的単純であるため、持ち運びが可能であって、測定場所によらず床面１４の汚染度合を測定することができる。したがって、複数の測定個所でそれぞれ測定を行い、各測定場所での測定結果を比較することで、クリーンルーム内での汚染個所を特定することが可能である。   The dust particle evaluation device 10 according to the present embodiment has a relatively simple device configuration, so that it can be carried and can measure the degree of contamination of the floor surface 14 regardless of the measurement location. Therefore, it is possible to specify a contaminated location in a clean room by performing measurements at a plurality of measurement locations and comparing the measurement results at each measurement location.

以上のように、本実施の形態によれば、クリーンルームの床面１４に存在する、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子１５が、ポンプ１３の吹出部１３ａから吹き出された空気１６から圧力を受けて容器１１内において舞い上げられるとともに、パーティクルカウンタ１２を用いて容器１１内の浮遊異物量が計測されるため、床面１４に存在する、舞い上がりのリスクの高い塵埃粒子１５をパーティクルカウンタ１２の計測結果に基づいて定量化することができる。これにより、床面１４の汚染度合の定量化が可能となり、床面１４の清掃頻度の決定に有効である。   As described above, according to the present embodiment, the dust particles 15 present on the floor surface 14 of the clean room and having a high risk of rising are subjected to pressure from the air 16 blown out from the blowout portion 13a of the pump 13 to receive the dust. 11, the amount of suspended foreign matter in the container 11 is measured using the particle counter 12, so that the dust particles 15 existing on the floor surface 14 with a high risk of soaring are added to the measurement result of the particle counter 12. Can be quantified based on This makes it possible to quantify the degree of contamination of the floor 14 and is effective in determining the frequency of cleaning the floor 14.

また、本実施の形態によれば、ポンプ１３の吹出部１３ａから吹き出された空気の圧力により塵埃粒子１５が床面１４から舞い上げられるため、舞い上がりのリスクが高く製品に付着しやすい塵埃粒子１５を、床面１４のオイル汚れなど舞い上がりにくい異物の外乱を受けることなく、精度よく測定できる。   Further, according to the present embodiment, dust particles 15 are soared from floor surface 14 by the pressure of the air blown out from blow-out portion 13a of pump 13, so that dust particles 15 that are likely to fly up and are easily attached to the product are provided. Can be measured accurately without being affected by disturbance of foreign substances such as oil stains on the floor surface 14 which do not easily rise.

また、本実施の形態によれば、容器１１は、容器１１の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状、たとえばバケツ状または椀状の形状を有しているため、床面１４から舞い上げられる塵埃粒子１５は、容器１１の内面に一時的に付着しても重力により落下して床面１４に戻ることができる。このため、床面１４から舞い上げられる塵埃粒子１５が容器１１の内面に付着したまま床面１４に戻らず、時間経過に従って床面１４の汚染度合が低く測定されてしまうことを防止できる。また、容器１１の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状であることから、測定すべき床面１４の面積を一定に維持しながら、容器１１を小型・軽量化することができる。   Further, according to the present embodiment, since container 11 has a shape that gradually widens as it approaches the opening of container 11, for example, a bucket or bowl shape, dust particles soaring from floor surface 14 Even if it adheres temporarily to the inner surface of the container 11, it can fall by gravity and return to the floor surface 14. For this reason, it is possible to prevent the dust particles 15 soaring from the floor surface 14 from returning to the floor surface 14 while adhering to the inner surface of the container 11 and preventing the floor surface 14 from being measured with a low degree of contamination over time. Further, since the shape gradually widens as approaching the opening of the container 11, the size and weight of the container 11 can be reduced while the area of the floor surface 14 to be measured is kept constant.

また、本実施の形態によれば、ポンプ１３の吹出部１３ａは、容器１１の開口の中心を向くように方向付けられているため、開口から露出する床面１４上の降塵異物に、より効率的に空気を吹き付けて舞い上がらせることができる。   In addition, according to the present embodiment, since the blowout portion 13a of the pump 13 is oriented so as to face the center of the opening of the container 11, the blowing foreign matter on the floor surface 14 exposed from the opening is more efficiently removed. The air can be blown up and fly up.

なお、本実施の形態では、ポンプ１３として手動ポンプが用いられていたが、これに限定されず、自動送風装置が用いられてもよい。この場合、吹出部１３ａから吹き出される空気の送風量に個人差が生じることを防止できる。ただし、自動送風装置から供給される空気は、吹出部１３ａから吹き出される前にフィルタ等を介して清浄化される必要がある。   In the present embodiment, a manual pump is used as the pump 13, but the present invention is not limited to this, and an automatic air blower may be used. In this case, it is possible to prevent individual differences in the amount of air blown from the blowing unit 13a. However, the air supplied from the automatic air blower needs to be cleaned through a filter or the like before being blown out from the blowout portion 13a.

１０ 降塵異物評価装置
１１ 容器
１１ａ 第１貫通孔
１１ｂ 第２貫通孔
１１ｃ 壁面
１１ｄ 縁部
１２ パーティクルカウンタ
１２ａ プローブ
１２ｂ 本体
１３ ポンプ
１３ａ 吹出部
１３ｂ 本体
１４ 床面
１５ 塵埃粒子
１６ ポンプから吹き出された空気 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Dust-falling foreign substance evaluation device 11 Container 11a First through hole 11b Second through hole 11c Wall 11d Edge 12 Particle counter 12a Probe 12b Main body 13 Pump 13a Blow-out section 13b Main body 14 Floor surface 15 Dust particles 16 Air blown out from pump

Claims (5)

容器の開口が床面と対向する向きで、当該容器を床面上に設置する工程と、
前記容器の壁面に形成された第１貫通孔にパーティクルカウンタのプローブを挿入するとともに、前記容器の壁面に形成された第２貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程と、
前記容器の開口から露出する床面に向けて前記ポンプの前記吹出部から空気を吹き出させて前記床面上の降塵異物を舞い上がらせるとともに、前記パーティクルカウンタを用いて前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測する工程と、
を備え、
前記浮遊異物量を計測する工程は、クリーンルームの床面の複数箇所で実施され、各測定箇所の測定結果を比較することで、前記クリーンルーム内の汚染箇所を特定する、ことを特徴とする降塵異物評価方法。 A step of placing the container on the floor, with the opening of the container facing the floor,
Inserting a probe of a particle counter into a first through hole formed in a wall surface of the container, and inserting a blow-out portion of a pump into a second through hole formed in a wall surface of the container;
Air is blown out from the blow-out portion of the pump toward the floor surface exposed from the opening of the container, so that dust particles on the floor surface fly up. Measuring the quantity;
With
The step of measuring the amount of suspended foreign matter is performed at a plurality of places on the floor of a clean room, and by comparing the measurement results at each measurement place, the contaminated place in the clean room is specified. Evaluation method. 前記プローブの先端は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられることを特徴とする請求項１に記載の降塵異物評価方法。 The method of claim 1, wherein a tip of the probe is oriented so as to face a center of an opening of the container. 前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の降塵異物評価方法。 The container, Fuchiri foreign matter evaluation method according to claim 1 or 2, characterized in that it has a gradually expanding shape as it approaches the opening of the container. 前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の降塵異物評価方法。 The method of claim 3 , wherein the container has a bucket shape or a bowl shape. 前記第２貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程では、前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられる
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の降塵異物評価方法。 Wherein in the step of inserting the outlet portion of the pump in the second through-hole, the blowing unit, in any one of claims 1 to 4, characterized in that it is oriented toward the center of the opening of the container Dust foreign matter evaluation method described.
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