KR101180588B1 - Detecting apparatus for particle in the air - Google Patents
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Abstract
본 발명의 과제는 강하 먼지를 포함한 기체를 수집하는 수집부에 강하 먼지가 체류하는 일이 없는 장치를 제공하는 것이다.
기중을 강하하는 입자를 포함한 기체를 수집하는 수집부(3)와, 이 수집부(3)에 의해 수집된 기중의 입자를 계측하는 계측부(26)를 구비하고, 수집부(3)에 시스 에어를 발생시키는 시스 에어 발생 수단(11)을 갖게 하는 동시에, 수집부(3)와 계측부(26) 사이에 관성력에 의한 분립을 행하는 임팩터(21)를 배치한다.An object of the present invention is to provide an apparatus in which the dropping dust does not stay in the collecting portion for collecting the gas including the dropping dust.
The collection part 3 which collects the gas containing the particle | grains which descend | falls the air, and the measurement part 26 which measures the particle | grains of the air collected by this collection part 3 are provided, and the collection part 3 is sheath air The sheath air generating means 11 which generate | occur | produces, and the impactor 21 which performs separation by inertia force between the collection part 3 and the measurement part 26 is arrange | positioned.
Description
본 발명은 기중 입자 검출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an airborne particle detection apparatus.
부유 강하 먼지의 집진 범위를 넓히기 위해 계측부에 강하 먼지를 포함한 기체를 도입하는 깔때기를 설치하고 있는 것이 있다(특허 문헌 1 참조).In order to expand the dust collection range of floating descent dust, the funnel which introduce | transduces gas containing falling dust may be installed in a measurement part (refer patent document 1).
그러나, 깔때기의 경사부에 계측 대상의 입자(강하 먼지)가 부착되면, 그 부착된 입자는 계측부에 도달하지 않으므로, 계측부에서 기중의 입자를 정확하게 계측할 수 없다.However, when the particles (falling dust) to be measured are attached to the inclined portion of the funnel, the attached particles do not reach the measurement portion, and therefore the particles in the air cannot be accurately measured by the measurement portion.
따라서 본 발명은, 강하 먼지를 포함한 기체를 수집하는 수집부에 강하 먼지가 체류하는 일이 없는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, an object of the present invention is to provide an apparatus in which the falling dust does not stay in the collecting portion for collecting the gas including the falling dust.
본 발명은, 기중을 강하하는 입자를 포함한 기체를 수집하는 수집부와, 이 수집부에 의해 수집된 기중의 입자를 계측하는 계측부를 구비하고 있다. 상기 수집부에 시스 에어를 발생시키는 시스 에어 발생 수단을 갖게 하는 동시에, 상기 수집부와 계측부 사이에서 관성력에 의한 분립을 행하는 임팩터를 배치한다.This invention is equipped with the collection part which collects the gas containing the particle | grains which lower | hangs air, and the measurement part which measures the particle | grains of the air collected by this collection part. The sheath air generating means for generating the sheath air in the collecting section is provided, and an impactor for performing separation by inertial force is disposed between the collecting section and the measuring section.
본 발명에 따르면, 시스 에어에 의해, 계측 대상의 입자가 수집부에 부착되어 체류하는 경우가 없어진다. 또한, 시스 에어에 의한 여분의 기체를 임팩터로 배제함으로써, 계측 가능한 유량을 계측부에 유입할 수 있으므로, 계측 대상 입자의 계측 정밀도가 향상된다.According to the present invention, the sheath air eliminates the case where the particles to be measured adhere to and remain in the collection unit. Moreover, since the flow rate which can be measured can flow into a measurement part by removing the excess gas by sheath air with an impactor, the measurement precision of the measurement object particle | grains improves.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 기중 입자 검출 장치를 분해하여 도시하는 개략 사시도.
도 2는 깔때기의 개략 평면도.
도 3은 임팩터의 통상의 사용 방법과 임팩터의 본 실시 형태의 사용 방법의 차이를 설명하기 위한 개략도.
도 4는 본 실시 형태의 시스 에어 발생 수단 및 임팩터의 효과를 더불어 설명하기 위한 개략도.
도 5는 제2 실시 형태의 깔때기의 개략 사시도.
도 6은 제2 실시 형태의 시스 에어 발생 수단의 일부를 확대한 단면도.
도 7은 제3 실시 형태의 깔때기의 개략 사시도.
도 8은 도 7에 1점 쇄선으로 나타내는 단면에서 깔때기를 위에서 본 개략 평면도.
도 9는 조립자의 깔때기에서의 체류를 설명하기 위한 개략도.
도 10은 종래 장치에 의한 조립자의 계측 방법을 도시하는 개략도.
도 11은 종래 장치에 의한 조립자의 계측 방법을 도시하는 개략도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic perspective view which decomposes | disassembles and shows the airborne particle detection apparatus of 1st Embodiment of this invention.
2 is a schematic plan view of the funnel.
3 is a schematic view for explaining the difference between the normal use method of the impactor and the use method of the present embodiment of the impactor.
4 is a schematic view for explaining the effects of the sheath air generating means and the impactor according to the present embodiment.
5 is a schematic perspective view of a funnel of a second embodiment.
6 is an enlarged cross-sectional view of a part of the sheath air generating means of the second embodiment;
7 is a schematic perspective view of a funnel of a third embodiment.
8 is a schematic plan view from above of the funnel in a cross-sectional view shown by the dashed-dotted line in FIG. 7.
9 is a schematic diagram for explaining retention in a funnel of an assembler;
10 is a schematic diagram showing a method of measuring a assembler by a conventional apparatus.
11 is a schematic diagram showing a method of measuring a assembler by a conventional apparatus.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 기중 입자 검출 장치(1)의 개략 사시도, 도 2는 수집부로서의 깔때기(3)의 개략 평면도이다. 단, 도 1에서는 기중 입자 검출 장치(1)의 구성 요소를 분해하여 도시하고 있다. 기중 입자 검출 장치(1)는 깔때기(3), 시스 에어 발생 수단(11), 임팩터(21), 계측부(26)로 이루어져 있다.1 is a schematic perspective view of an airborne particle detection apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view of the
계측 대상은 공기 중을 강하하는 입자(이하, 「강하 먼지」라고도 함)이다. 이 강하 먼지를 포함한 공기를 흡입하게 하기 위해, 계측부(26) 내부에 블로어나 펌프를 구비하고 있다. 강하 먼지의 계측 시에는, 이 블로어나 펌프를 구동함으로써, 강하 먼지를 포함한 공기는 연직 상방으로부터 깔때기(3), 임팩터(21)를 거쳐서 계측부(26)로 흡입된다.The measurement object is a particle (hereinafter referred to as "falling dust") that drops in the air. In order to inhale air containing this falling dust, a blower or a pump is provided inside the
깔때기(3)는 강하 먼지를 포함한 공기를 수집하는 것이다. 연직 상방으로 개방되는 콘 형상 부재(4)와, 콘 형상 부재(4)의 오므라드는 하방에 접속되는 원통 부재(5)로 이루어져 있다. 본 실시 형태에서는, 강하 먼지를, 후술하는 바와 같이 상대적으로 작은 직경의 미립자(PS)(제1 입자)와 상대적으로 큰 직경의 조립자(PL)(제2 입자)로 구별하여 취급하게 된다. 이로 인해, 연직 상방을 향해 개방되어 있는 콘 형상 부재(4)에 이들 미립자(PS) 및 조립자(PL)의 2종류의 입자가 낙하해 온다. 이 상방으로부터 낙하해 오는 미립자(PS) 및 조립자(PL)는 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 충돌한 후, 내벽(4a)을 따라서 빠지는 하방의 원통 형상 부재(5)로 도입된다.The
깔때기(3)에 의해 수집되는 강하 먼지는 지체 없이 경로를 통과하여 계측부(26)까지 운반되는 것이 이상적이다. 이는, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 체류한 강하 먼지는 계측부(26)에서 계측되지 않게 되어, 정확하게 강하 먼지를 계측할 수 없게 되기 때문이다.The falling dust collected by the
강하 먼지의 깔때기(3)로의 체류의 원인으로서는 강하 먼지의 점착성이 있다. 강하 먼지에, 예를 들어 그리스가 부착되어 있으면, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 충돌한 후 그 위치에 강하 먼지가 체류하여, 하방으로 낙하해 가지 않는다. 또한, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 부착되지 않은 채 강하 먼지가 원통 형상 부재(5)까지 운반되었다고 해도, 원통 형상 부재(5)의 내벽에 부착되어, 그 위치에서 체류하는 경우도 생각된다. 이들의 경우에, 계측 대상의 강하 먼지의 결손이 발생한다.The cause of the retention of the falling dust in the
콘 형상 부재(4)나 원통 형상 부재(5)의 내벽에서의 강하 먼지의 체류를 방지하기 위해, 본 실시 형태에서는, 시스 에어 발생 수단(11)을 구비하고 있다. 시스 에어 발생 수단(11)은 깔때기(3)(수집부)의 개구 단부(4b)의 전체 둘레에 설치되어, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따르는 균일한 층이 형성되도록 청정 공기(클린 에어)를 토출하는 기구다. 당해 기구는 노즐(12), 공급 배관, 에어 펌프(13)로 주로 구성되어 있다.In this embodiment, the sheath air generating means 11 is provided in order to prevent the retention of falling dust on the inner wall of the cone-shaped
상세하게는, 콘 형상 부재(4)의 상방 개구 단부(4b)에 둘레 방향으로 등간격으로 복수의 수렴 노즐(12)이 그 선단(12a)을 하방을 향하게 하고 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따르도록 설치되어 있다. 에어 펌프(13)로 청정 공기를 가압하고, 그 가압 공기를 공급하는 메인 공기 공급관(14)에는 개구 단부(4b)를 둘러싸도록 설치되어 있는 환형상 관(15)이 접속되고, 이 환형상 관(15)으로부터 분기하는 지관(16)에 각 노즐(12)의 말단이 접속되어 있다. 이로 인해, 에어 펌프(13)로부터의 가압 공기는 메인 공기 공급관(14), 환형상 관(15), 지관(16)을 통해 각 노즐(12)에 공급되고, 각 노즐(12)의 선단(12a)으로부터 가압 공기가 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 분출된다.Specifically, the plurality of converging
도 1과 같이 노즐 선단(12a)으로부터, 노즐(12)의 축심(12b)을 중심으로 하여 소정의 분사각을 갖는 원추 형상의 공기(12c)가 분사되면, 도 2와 같이 각 원추 형상의 공기(12c)가 서로 겹쳐져 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 퍼져서, 원통 형상 부재(5)로 흐르는 균일한 층류를 형성한다. 도 2에서는 노즐 선단(12a)으로부터의 분사각을 비교적 좁게 그리고 있으므로, 개구 단부(4b) 부근에 공기에 의한 층류가 형성되어 있지 않아 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)이 노출되어 있는 부분이 있지만, 이 노출 부분은 노즐 선단(12a)으로부터의 분사각을 넓게 함으로써 혹은 노즐(12)의 수를 늘림으로써 줄일 수 있다. 이와 같이 하여, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a) 전체를 피복하는 층류를 형성할 수 있다.When
이와 같이 공기에 의한 층류를 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 균일한 두께로 형성함으로써, 연직 상방으로부터 콘 형상 부재(4)로 낙하해 오는 강하 먼지는, 이 공기에 의한 층류에 의해, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 부착되는 일 없이, 원통 형상 부재(5)로 흘러가게 된다.Thus, by forming the laminar flow by air to a uniform thickness along the
이 경우, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)뿐만 아니라, 수집부로서의 깔때기(3)로부터 계측부(26)의 공기 입구(26a)까지의 경로의 내벽면에 공기에 의한 층류가 형성되어, 강하 먼지의 계측 중 계속 층류가 유지되도록 한다. 층류를 유지시키기 위해서는, 깔때기(3)로부터 계측부(26)의 공기 입구(26a)까지의 경로[조리개(리듀서)를 포함함]에서 임계 레이노즐수(Re)를 초과하는 일이 없도록 하는 것이다. 특히, 원통 형상 부재(5)에서의 단면적의 감소에 의해 층류의 유속이 증가하거나 층류의 두께가 증가하면, 임계 레이노즐수(Re)가 증가한다. 그와 같이 되지 않도록, 원통 형상 부재(5)로부터 계측부(26)의 공기 입구(26a)까지의 경로의 내벽에도 층류가 형성ㆍ유지되도록 노즐(12)의 수, 노즐 선단(12a)의 형상, 노즐 선단(12a)으로부터 분출시키는 청정 공기의 유량 등을 설정한다.In this case, not only the
이와 같이, 깔때기(3)로부터 계측부(26)의 공기 입구(26a)까지의 경로의 내벽면에 층류를 형성ㆍ유지함으로써, 깔때기의 내벽(4a)에 강하 먼지가 부착되는 것을 방지한다. 이에 의해 강하 먼지가 점착성을 갖고 있어도, 계측 대상의 강하 먼지의 결손을 방지할 수 있다. 또한, 밀도차에 의한 보호층 효과를 부여하기 위해, 공기보다도 무거운 기체를 층류의 형성을 위해 사용하는 것이 바람직하다.Thus, by forming and maintaining the laminar flow on the inner wall surface of the path from the
종래부터, 환경에 존재하는 부유 먼지(「파티클」이라고도 함)를 계측하는 방법으로서 파티클 센서(파티클 카운터나 분진계라고도 함)가 일반적으로 사용되고 있다. 이들은 클린룸 등의 청정도를 측정하기 위해, 주로 1 내지 5㎛ 사이즈의 입자(이하, 「미립자」라고 함)에 계측 범위가 설정되어 있는 경우가 많다. 반도체의 제조 공정에서는 당해의 미립자가 직접 생산 수율에 영향을 미치기 때문에, 타당한 설정값이라고 할 수 있다. 그러나, 5 내지 100㎛ 사이즈의 입자(이하, 「조립자」라고 함)가 제품에 대해, 결함으로 되는 공정도 많이 존재한다. 예를 들어, 전자 회로의 땜납 흄이 고체화된 것이 제품에 낙하하여 오염물(콘터미네이션)화되는 것이나, 자동차 도장면에 부착된 조립자가 "오염물"의 원인이 되는 것, 또한 2차 전지 제조 공정에 있어서의 금속편의 혼입에 의한 불량 등이다. 본 발명에서는, 이와 같은 조립자는 일반적으로 공기 중을 낙하(강하)하기 때문에, 환경에 존재하는 부유 먼지와 구별하여, 「강하 먼지」라고 칭한다.Conventionally, a particle sensor (also called a particle counter or a dust meter) is generally used as a method of measuring suspended dust (also called "particle") existing in the environment. In order to measure cleanliness, such as a clean room, these often have the measurement range set to the particle | grains of 1-5 micrometer size mainly ("microparticles" hereafter). In the manufacturing process of a semiconductor, since the said fine particle directly affects a production yield, it can be called a reasonable setting value. However, there exist many processes in which the particle | grains of a 5-100 micrometer size (henceforth "assembly") become a defect with respect to a product. For example, the solidification of solder fume in electronic circuits may result in contaminants (contamination) by dropping into the product, or the coarse particles attached to the painted surface of automobiles to cause "contaminants", and also in the secondary battery manufacturing process. Defects due to mixing of the metal pieces in the sheet. In the present invention, such a coarse particle generally drops (falls) in the air, so that it is called "falling dust" different from floating dust existing in the environment.
파티클 센서로서는 지금까지 계측 대상으로 하여 행하지 않았던 조립자(강하 먼지)를 효과적으로 계측하는 방법으로서는, 기존의 파티클 센서의 계측 범위를 상대적으로 작은 직경의 미립자로부터 상대적으로 큰 직경의 조립자로 변경하여 사용하는 것이 효율적(기술적으로 용이하게 가능)이지만, 몇몇 문제가 있다. As a method for effectively measuring the granulator (falling dust) which has not been measured as a particle sensor until now, it is used to change the measurement range of the existing particle sensor from relatively small diameter particles to relatively large diameter granulators. Is efficient (technically readily possible), but there are some problems.
가령 제품상에서 조립자가 발생하였다고 하여, 그 발생ㆍ강하의 상태를 파티클 센서로 포집하려고 하면, 조립자(강하 먼지)는 기체 흐름의 영향을 받기 어려워지므로(특히, 수십㎛ 사이즈일 때), 주로 연직 낙하의 거동을 나타낸다. 그로 인해, 발생원의 하부에 파티클 센서의 계측부를 설정하게 된다. 그러나, 파티클 센서의 계측부는 일반적으로 수㎜ 내지 수십㎜이므로, 계측 대상인 조립자(강하 먼지)를 포함한 기체의 전체를 계측부에 도류하는 깔때기(프로브) 등을 설정할 필요가 있다. 이것을 종래 기술에 의해 해결하려고 하면, 깔때기에 조립자(강하 먼지)가 낙하ㆍ부착되어 그 자리에 체류하는 것이 일어난다. 이는 깔때기의 경사, 요철 또는 조립자(강하 먼지) 자신의 점착성[혹은 점착성의 것이 조립자(강하 먼지)에 부착되어 있음]에 의한 것이다. 이에 의해 계측부에 계측 대상인 조립자(강하 먼지) 모두를 통과시킬 수 없게 되어, 정확한 계측을 행할 수 없게 된다. 예를 들어, 도 9에 도시한 바와 같이 점착성이 있는 조립자(강하 먼지)는 깔때기에 체류하여 계측부까지 유도되는 경우가 없는 것이다. 이와 같이 조립자(강하 먼지)가 낙하하는 것에 의한, 깔때기 등의 수집부에 발생하는 조립자(강하 먼지)의 체류로 인해, 정확하게 계측할 수 없다고 하는 문제(제1 문제)가 있었다.For example, when a coarse particle is generated on a product and attempts to capture the state of occurrence and drop with a particle sensor, the coarse particle (falling dust) is less likely to be affected by the gas flow (especially when it is a few tens of micrometers in size). It shows the behavior of falling. Therefore, the measurement part of a particle sensor is set in the lower part of a generation source. However, since the measurement unit of the particle sensor is generally several mm to several tens of mm, it is necessary to set a funnel (probe) or the like that confines the entire body including the granulator (falling dust) to be measured to the measurement unit. If this is to be solved by the prior art, the granulator (falling dust) falls and adheres to the funnel and stays in place. This is due to the inclination of the funnel, the unevenness or the cohesiveness of the coarse grain (falling dust) itself (or the sticky thing attached to the coarse grain (falling dust)). This makes it impossible to pass all of the granulators (falling dust) to be measured to the measurement unit, so that accurate measurement cannot be performed. For example, as shown in Fig. 9, the coarse coarse particles (falling dust) do not stay in the funnel and are guided to the measurement unit. Thus, there existed a problem (1st problem) that it was not able to measure correctly because of the retention of the coarse particles (falling dust) which generate | occur | produces in collection | collection parts, such as funnels, when a coarse particle (falling dust) falls.
또한, 계측부는 그 입구에서 계측에 적합한 유속으로 되도록 깔때기 등에 의한 도류를 조정하였다고 해도, 계측부에 의해 유량이 제한된다. 계측부에서 유량이 제한되는 것은, 그 제한 유량으로 계측부가 설계되어 있기 때문이다. 이에 의해, 깔때기를 향해 진입해 오는 기체를 블로우 백하거나, 또는 과잉의 유량에 의한 교정 범위의 유속을 초과한 것에 의한 계측 정밀도의 저하를 유발하는 등의 것이 일어난다. 예를 들어, 도 10에 도시한 바와 같이 깔때기를 향하는 공기의 다운플로우가 1000L/min인 경우에, 계측부의 입구에서 20L/min으로 제한되는 경우를 생각하면, 도 11의 상단에 도시한 바와 같이 깔때기(수집부)로부터 공기가 오버플로우되어 버린다. 한편, 오버플로우시키지 않도록 모두 계측부에 흘리는 것으로 하면, 도 11의 하단에 도시한 바와 같이 계측부에서의 유속이 과도하게 커져, 이상 계측이 발생한다. 이와 같이 계측부의 유량에 제한이 있고, 수집부로부터의 조립자(강하 먼지)를 포함한 공기의 유량이 이 유량으로 제한되어 버리므로, 정확하게 계측할 수 없다고 하는 문제(제2 문제)도 있다.Moreover, even if the measurement part adjusts the conduction by funnel etc. so that it may become the flow velocity suitable for measurement at the inlet, the flow volume will be restrict | limited by the measurement part. The flow rate is limited in the measurement unit because the measurement unit is designed for the limited flow rate. Thereby, a blowback of the gas which enters into a funnel, or the fall of the measurement precision by causing exceeding the flow velocity of the calibration range by excess flow volume, etc., arises. For example, in the case where the downflow of air toward the funnel is 1000 L / min as shown in FIG. 10, the case where the flow is limited to 20 L / min at the inlet of the measuring unit is as shown at the top of FIG. 11. Air overflows from the funnel (collection). On the other hand, if all flows to a measurement part so that it may not overflow, as shown in the lower part of FIG. 11, the flow velocity in a measurement part will become large too much and abnormal measurement will generate | occur | produce. Thus, the flow rate of the measurement part is limited, and since the flow rate of air including the granulator (falling dust) from the collection part is limited to this flow rate, there is also a problem (second problem) that it cannot be measured accurately.
이에 대해 본 실시 형태에 따르면, 시스 에어 발생 수단(11)을 구비시키는 제1 고안에 의해, 상기 제1 문제를 해결할 수 있는 것으로 되었다.In contrast, according to the present embodiment, the first problem can be solved by the first design including the sheath air generating means 11.
그런데, 생물 분석 등에서 액체 내에 세포를 부유시키고 있는 샘플액을 계측기에 흘릴 때에, 샘플액이 직접 계측기에 접촉하지 않도록 유체 역학적인 특성(층류끼리는 혼합되지 않음)을 이용하여 샘플액을 감싸도록 액체를 흘리는 것이 행해지고 있다. 이 샘플액을 감싸는 액체를 시스액이라고 하여 샘플액과 구별하고 있다. 샘플액의 흐름은 샘플류(Sample flow), 시스액의 흐름은 시스류(Sheath flow)라고 불린다. 이상은 생물 분석 등에 있어서의 액체의 흐름에 대한 사고 방식을 서술한 것이다. 이하에서는 강하 먼지가 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 부착되지 않도록 내벽(4a)을 따라서 층형상으로 흘리는 청정 공기(기체)를 「시스 에어」, 이 청정 공기에 의해 형성되는 층류를 「시스류」라고 한다. 또한, 층형상의 시스 에어를 「시스 에어층」이라고 한다.By the way, when flowing the sample liquid suspended in the liquid in the liquid in the biological analysis or the like, the liquid is wrapped so as to surround the sample liquid using hydrodynamic characteristics (laminar flow does not mix) so that the sample liquid does not directly contact the measuring instrument. Shedding is done. The liquid surrounding this sample liquid is called a sheath liquid and is distinguished from the sample liquid. The flow of the sample liquid is called sample flow, and the flow of the sheath liquid is called sheath flow. The above describes the way of thinking about the flow of liquid in biological analysis and the like. In the following, clean air (gas) flowing through the
이것을 도 4를 사용하여 상세하게 서술하면, 도 4는 본 실시 형태의 시스 에어 발생 수단(11) 및 후술하는 임팩터(21)의 효과를 이미지로 설명한 개략도이다.This is explained in detail using FIG. 4, and FIG. 4 is a schematic diagram explaining the effect of the sheath air generating means 11 of this embodiment and the impactor 21 mentioned later with an image.
중앙을 계측 대상 에어가 하방으로 흡입되어, 그 계측 대상 에어를 둘러싸도록 하여 시스류가 흐르고, 시스 에어층이 형성되어 있다. 도 4에서는 이 시스 에어층에 그림자를 부여하고 있다. 계측 대상의 에어 중에 조립자(PL) 및 미립자(PS)가 존재하고 있다. 시스 에어층을 조립자(PL) 및 미립자(PS)가 흐름 방향과 다른 방향으로 이동하는 경우는 없다. 이에 의해, 깔때기(3)의 내벽[즉, 콘 형상 부재의 내벽(4a)]에 조립자(PL) 및 미립자(PS)가 부착되는 것을 방지하여 측정 대상의 입자의 결손을 방지할 수 있다. 여기서, 직접적인 계측 대상은 에어(공기) 중의 조립자이지만, 이 계측 대상인 조립자를 포함하는 에어를 「계측 대상 에어」라고 하고 있다.The measurement target air is sucked downward through the center, the sheath flows so as to surround the measurement target air, and the sheath air layer is formed. In FIG. 4, a shadow is given to this sheath air layer. Coarse particles PL and fine particles PS exist in the air to be measured. The sheath air layer does not move in a direction different from the flow direction of the granulators PL and the particles PS. As a result, the coarse particles PL and the fine particles PS are prevented from adhering to the inner wall of the funnel 3 (that is, the
다음에, 상기 제2 문제에 대한 고안(제2 고안)을 설명한다. 이는 임팩터의 사용법의 고안이다. 도 3의 상단은 임팩터(21)의 통상의 사용 방법을 설명하기 위한 개략도, 도 3의 하단은 임팩터(21)의 본 실시 형태의 사용 방법을 설명하기 위한 개략도이다.Next, a design (second design) for the second problem will be described. This is an idea of how to use the impactor. The upper part of FIG. 3 is a schematic diagram for demonstrating the normal use method of the impactor 21, and the lower part of FIG. 3 is a schematic diagram for demonstrating the use method of this embodiment of the impactor 21. As shown in FIG.
임팩터(21)는 깔때기(3)로부터의 시스 에어 및 계측 대상 에어를 유도하는 직관(23)과, 이 직관(23)의 전체 둘레에 균등하게 배치되는 흡인구(배기구)로 이루어져, 관성력에 의한 분립을 행하는 것이다. 또한, 직관(23)의 전체 둘레에 균등하게 배치되는 흡인구를 도시하는 것은 곤란하므로, 도 3에서는 이 흡인구를 직관(23)으로부터 분기하는 1개의 흡인관(24)으로, 또한 도 1, 도 4에서는 좌우 2개의 흡인관(24)으로 나타내는 것으로 한다.The impactor 21 is composed of a
관 내의 흐름은 실제로는 그 중심선을 회전축으로 한 회전체와 같이 균일하다. 이로 인해, 시스 에어 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기의 분리에 관하여, 흡인관(24)을 직관(23)에 대해 좌우의 2군데에 설치하거나 1군데에만 설치한 것에는, 시스 에어 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기를 흡인하고 있는 곳과, 시스 에어 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기를 흡인하고 있지 않은 곳에서 공기 흐름에 차이가 발생해 버린다. 즉, 시스 에어 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기의 흡인관은 직관(23)의 관 둘레에 균일해야만 한다. 관 둘레에 균일한 흡인관을 도시하는 것이 실제로는 곤란하므로, 도 1, 도 4에 도시한 바와 같이 좌우 2개의 흡인관(24)으로, 혹은 도 3의 하단에 도시한 바와 같이 1개의 흡인관(24)으로 대표시키고 있다.The flow in the tube is actually uniform, like a rotor with its center line as its axis of rotation. For this reason, with respect to the separation of the surplus air containing the sheath air and the fine particles (PS), the
먼저, 임팩터(21)의 통상의 사용 방법을 설명한다. 도 3의 상단에 있어서 시스 에어 및 계측 대상 에어를 도입하는 직관(23)은 하방이 개방되어 있는 상태에서 수납 상자(22) 내에 상하 방향으로 배치되어 있다. 직관(23)의 상단부는 원통 형상 부재(5)와 접속된다. 직관(23)으로부터 수평 방향으로 분기하는 흡인관(24)은 수납 상자(22)의 벽을 관통하여 외부에 노출되어 있다. 이 흡인관(24)은 공기 흡인 통로(25)를 통해 계측부(26)와 접속된다.First, the normal use method of the impactor 21 is demonstrated. In the upper end of FIG. 3, the
계측부(26) 내부의 블로어 또는 팬을 작동하여 흡인관(24)을 통해 계측 대상 에어를 계측부(26)로 흡인한다. 그러면, 조립자(PL) 및 미립자(PS)는 계측기의 상방으로부터 직관(23)으로 흡입된다. 조립자(PL)와 미립자(PS)에서는, 관성력이 상이하고, 조립자(PL)의 쪽이 미립자(PS)보다도 관성력이 크다. 이 관성력의 차이에 의해, 조립자(PL)는 직관(23) 내를 구부러지지 않고 바로 아래로 낙하하여 배제되고, 미립자(PS)만이 직관(23)으로부터 흡인관(24)으로 구부러져 들어가 계측부(26)로 흡인된다. 이와 같이 하여, 조립자(PL)를 관성력에 의해 배제하여 미립자(PS)만을 계측부(26)로 유도하여, 미립자(PS)(의 수)를 계측한다.The blower or the fan inside the
한편, 본 실시 형태에서는, 미립자(PS)가 아니라, 미립자(PS)보다 직경이 큰 조립자(PL)를 계측하는 것을 목적으로 하고 있다. 이로 인해, 도 3의 상단에 도시한 바와 같은 임팩터(21)의 통상의 사용 방법을 사용할 수는 없다. 따라서, 도 3의 하단과 같이 한다. 즉, 직관(23)의 하단부를 수납 상자(22)의 하벽을 관통하여 외부에 노출시키고, 공기 흡인 통로(25)를 통해 계측부(26)와 접속한다. 흡인관(24)은 수납 상자(22)의 횡벽을 관통하여 외부에 노출시켜, 공기 흡인 통로(27)를 통해 블로어(28)(또는 팬)와 접속한다. 블로어(28)는 시스 에어의 대부분 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기를 흡인하기 위한 것이다.In addition, in this embodiment, it is an object not to measure microparticles | fine-particles PS but to measure the granulator PL larger in diameter than microparticles | fine-particles PS. For this reason, the normal use method of the impactor 21 as shown in the upper part of FIG. 3 cannot be used. Therefore, it is as shown in the bottom of FIG. That is, the lower end part of the
이 경우에, 2종류의 입자(PS, PL)의 관성력의 상이에 의해, 상대적으로 큰 직경의 조립자(PL)의 쪽은 구부러지지 않고 직관(23) 내를 바로 아래로 낙하하여 계측기(26)에 의해 계측되고, 상대적으로 작은 직경의 미립자(PS)의 쪽은 흡인관(24), 공기 흡인 통로(27)를 통해 블로어(28)에 의해 배제되도록 한다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는 임팩터로 행해지는 관성력에 의한 분립 방식을 역수로 이용하여 최적화한다.In this case, due to the difference in the inertia forces of the two kinds of particles PS and PL, the relatively large diameter granulator PL does not bend, but falls directly inside the
본 실시 형태의 임팩터(21)에 의한 분립 방법이 양호한 곳은, 블로어(28)에 의해 시스 에어의 대부분 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기를 폐기하여, 계측부(26)로의 공기 유입량을 감소시킬 수 있는 점에 있다. 계측부(26)에 있어서는, 통상은 흡인 유량당의 입자수를 계측하기 위해, 일반적으로 관성력에 의한 분립에서도 유량을 좁히는 것이 행해지고 있다. 이 유량 조리개가 본 실시 형태에서는 블로어(28)에 의해 효과적으로 행해지는 것이다.Where the separation method by the
본 실시 형태의 임팩터(21)의 작용을 다시 도 4에서 보면, 계측 대상 에어와 시스 에어가 흡인관(24)의 위치까지 왔을 때, 흡인관(24)에 의해 시스 에어의 대부분 및 미립자(PS)를 포함하는 잉여 공기가 흡인되므로, 시스 에어층의 두께가 감소하지만, 시스 에어층은 계측부(26)의 입구까지 유지되어 있다. 이와 같이, 시스 에어의 대부분 및 미립자를 포함하는 잉여 공기를 임팩터(21)로 분리하고 또한 폐기함으로써, 계측부(26)의 제한 유량까지 계측 대상 에어의 유량을 감소시킬 수 있다. 또한, 측정 대상의 조립자의 결손을 방지할 수 있다.Referring again to the operation of the
또한, 시스 에어를 모두 흡인관(24)에 의해 흡인할 수는 없고, 소량의 시스 에어는 흡인관(24)으로부터 계측부(26)의 공기 입구까지의 내벽에도 필요하다. 따라서, 소량의 시스 에어는 계측 대상 에어와 함께 계측부(26)에 들어간다. 환경에는, 시스 에어는 애당초 존재하지 않는 것이므로, 계측 대상 에어가 시스 에어의 분만큼 증가하게 되어, 계측값의 오차로 될 수 있다. 그러나, 어느 정도의 시스 에어가 계측 대상 에어와 함께 계측부에 들어가는지는 미리 계측해 둘 수 있으므로, 그 계측한 시스 에어의 양을 고려하여 계측값을 보정함으로써 계측값을 정확한 것으로 할 수 있다.Moreover, not all the sheath air can be sucked by the
다음에, 기중 입자 검출 장치의 설계 방법을 설명한다. 시스 에어의 공급량과 임팩터(21)의 흡인관(24)으로부터의 흡인량의 양쪽이 유량(공급량, 흡인량)을 조정하는 기능을 갖고 있는 구조로 한다. 이에 의해, 시스 에어층의 유속을 임계 레이노즐수 이하로 제어하여 시스 에어층을 뿔형으로 유지할 수 있게 된다.Next, the design method of the airborne particle detection apparatus is demonstrated. Both the supply amount of the sheath air and the suction amount from the
깔때기의 사이즈와 센서 입구[계측부(26)의 공기 입구]의 치수와 시스 에어의 공급량의 각 적정값을 구체적으로 검토한다. 본 발명을 적용하지 않는 경우의 유량부터 먼저 서술하면, 센서 허용량[계측부(26)의 제한 유량]을, 예를 들어 130L/min으로 했을 때, 수집부로서의 깔때기(3)의 유량은 이 값과 동일한 130L/min으로 할 필요가 있다.The appropriate values of the size of the funnel, the dimensions of the sensor inlet (the air inlet of the measuring section 26) and the amount of supply of the sheath air will be specifically discussed. First, from the flow rate in the case of not applying the present invention, when the sensor allowable amount (limit flow rate of the measurement unit 26) is 130 L / min, for example, the flow rate of the
이에 대해, 본 발명을 적용한 경우의 유량은 어떻게 되는지를 계산해 본다. 예를 들어, φ7㎜의 관에 최대 유속(음속의 1/2 내지 1/3이 현실적)을 흘리는 것으로 한 경우에, 임팩터(21)의 흡인관(24)에 의한 감량을 300L/min까지 행할 수 있도록 한다. 한편, 시스 에어층의 두께가 5㎜이고 또한 임계 레이노즐수가 500,000(판이 500,000 정도로 알려져 있으므로 이 값을 적용함)일 때의 유속으로 한다. 깔때기는 φ200㎜, 각도 45°의 깔때기로 한다. 그리고, 깔때기의 최협부에서 임계 유속에 도달하였다고 한다. 이때, 시스 에어 발생 수단(11)에 의해, 34L/min(MAX값)까지 시스 에어를 증량하는 것으로 한다. 센서 허용량을 본 발명을 적용하지 않는 경우와 동일한 30L/min으로 했을 때, 깔때기의 유량은 30+300-34=296L/min으로 된다. 이와 같이 하여, 조립자가 1ft^3의 체적에 얼마나 있는지를 상시, 고정밀도로 계측하는 것이 가능해졌다. 또한, 파티클 센서(계측부)에서는, 입자를 포함하는 계측 대상 에어에 레이저광을 조사하여, 입자로부터의 반사광을 받음으로써, 흡인 유량당의 입자의 수를 카운트한다.In contrast, how the flow rate in the case of applying the present invention is calculated. For example, when the maximum flow velocity (1/2 to 1/3 of the speed of sound is realistic) is flowed into a φ7 mm tube, the weight loss by the
다음에, 시스 에어층의 형성이 가능한지 여부를 검토한다. 임팩터(21)의 흡인관(24)에 의한 흡인량이 시스 에어의 공급량보다도 적을 때에는 시스 에어의 공급 과잉으로 되어, 적절한 양의 계측 대상 에어를 계측부(26)에 도입되지 않게 된다. 따라서, 이 경우에는 계측 대상 에어를 오버플로우시킨다(이와 같은 설정으로는 하지 않음).Next, it is examined whether the formation of the sheath air layer is possible. When the suction amount of the impactor 21 by the
임팩터(21)의 흡인관(24)에 의한 흡인량(설정 유량)은 시스 에어의 공급량(설정 유량)보다도 많게 한다. 시스 에어는 임팩터(21)를 향해 공급되므로, 임팩터(21)의 흡인관(24)에 의한 흡인량과 시스 에어의 공급량이 동량인 경우에는 시스 에어의 전량을 임팩터(21)의 흡인관(24)이 흡인하게 된다. 임팩터(21)의 흡인관(24)에 의한 흡인량을 많게 함으로써 시스 에어에 추가하여 계측 대상 에어를 흡입하는 것이 가능해, 시스 에어층을 형성하고 있는 유체가 임계 레이노즐수를 초과하지 않는 한 시스 에어층은 파탄되지 않는다. 따라서, 단면 변화를 수반해도 임계 레이노즐수 이하이면 시스 에어층은 파괴되지 않는다.The suction amount (set flow rate) by the
여기서, 본 실시 형태의 작용 효과를 설명한다.Here, the effect of this embodiment is demonstrated.
본 실시 형태에 따르면, 공기 중을 강하하는 입자를 포함한 공기(기체)를 수집하는 깔때기(3)(수집부)와, 이 깔때기(3)에 의해 수집된 공기 중의 입자를 계측하는 계측부(26)를 구비하고, 깔때기(3)에 시스 에어를 발생시키는 시스 에어 발생 수단(11)을 갖게 하는 동시에, 깔때기(3)와 계측부(26) 사이에 관성력에 의한 분립을 행하는 임팩터(21)를 배치하므로, 시스 에어에 의해, 계측 대상(검출 대상)의 입자가 깔때기(3)에 부착되어 체류하는 경우가 없어지고, 또한 시스 에어로서 공급한 여분의 공기를 임팩터(21)로 배제함으로써, 계측 가능한 유량을 계측부(26)에 유입할 수 있으므로, 계측 대상 입자(검출 대상 입자)의 계측 정밀도가 향상된다.According to this embodiment, the funnel 3 (collection part) which collects air (gas) containing the particle | grains which descend | falls in air, and the
본 실시 형태에 따르면, 시스 에어 발생 수단(11)은 깔때기(3)(수집부)의 개구 단부(4a)의 전체 둘레에 설치되어, 깔때기(3)의 내벽(4a)을 따르는 균일한 층이 형성되도록 청정 공기(클린 에어) 또는 청정한 공기를 토출하는 기구이므로, 깔때기(3)의 내벽(4a) 전체에 시스 에어층을 형성할 수 있다.According to the present embodiment, the sheath air generating means 11 is installed around the entire circumference of the opening
본 실시 형태에 따르면, 임팩터(21)는 깔때기(3)(수집부)로부터의 시스 에어 및 계측 대상 에어(계측 대상의 입자를 포함한 공기)를 유도하는 직관(23)과, 이 직관(23)의 전체 둘레에 균등하게 배치되는 흡인구[흡인관(24)]으로 이루어지고, 조립자(PL)(제2 입자)만을 관성력에 의해 계측부(26)로 유도하고, 시스 에어의 대부분 및 미립자(PS)(제1 입자)를 포함한 잉여 공기를 상기 흡인구로부터 배제하므로, 효율적으로 시스 에어 및 계측 비대상의 미립자를 포함하는 잉여 공기를 배출할 수 있다.According to the present embodiment, the impactor 21 includes a
도 5는 제2 실시 형태의 깔때기(3)의 개략 사시도, 도 6은 제2 실시 형태의 시스 에어 발생 수단(11)의 일부를 확대한 단면도이다. 도 1, 도 2와 동일 부분에는 동일 번호를 부여하고 있다. 또한, 도 5와 도 6 사이에서 공기 분출 구멍(35)의 수는 상이하게 하고 있다.5 is a schematic perspective view of the
제2 실시 형태에서는, 시스 에어 발생 수단(11)은 에어 펌프(13), 메인 공기 공급관(14), 링 형상 공기 저류부(31), 공기 분출 구멍(35)으로 이루어진다.In the second embodiment, the sheath air generating means 11 includes an
제1 실시 형태와 상이한 부분을 주로 설명하면, 제1 실시 형태의 노즐 대신에, 제2 실시 형태에서는 링 형상 공기 저류부(31)와 공기 분출 구멍(35)을 형성하고 있다. 우선, 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b)로부터 직경 방향 외측을 향해 소정 폭으로 연장 설치되는 상측 판재(32), 개구 단부(4b)보다도 소정 높이 낮은 위치의 콘 형상 부재(4)로부터 직경 방향 외측을 향해 상기 소정 폭과 동일한 폭으로 연장 설치되는 하측 판재(33), 양 부재(32, 33)와 접속되는 곡면 형상의 외주 부재(34) 및 이 외주 부재(34)에 대향하는 콘 형상 부재(4)로부터 단면이 평행 사변형인 링 형상 공기 저류부(31)가 구성되어 있다. 이 링 형상 공기 저류부(31)는 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b)의 주연에 형성되어 있다.The parts different from the first embodiment will be mainly described. Instead of the nozzle of the first embodiment, the ring-shaped
외주 부재(34)에 대향하는 콘 형상 부재(4)에는 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b)로부터 원통 형상 부재(5)를 향하는 선을 따라서 배열되는 복수의 공기 분출 구멍(35)의 열을 뚫고, 이 복수의 공기 분출 구멍(35)이 배열되는 열을 도 5에 도시한 바와 같이 콘 형상 부재(4)의 둘레 방향으로 등간격으로 설치하고 있다.The cone-shaped
링 형상 공기 저류부(31)에는, 도 6에 도시한 바와 같이 에어 펌프(13)에 의해 가압한 청정 공기를 메인 공기 공급관(14)을 통해 도입한다. 이에 의해, 공기 분출 구멍(35)으로부터 청정 공기가 콘 형상 부재(4) 내로 분출한다. 이 콘 형상 부재(4) 내로 분출되는 공기는 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 층형상으로 흐르는 시스류를 생성시키기 위한 것이다. 그러나, 단순히 콘 형상 부재(4)에 공기 분출 구멍(35)을 뚫었을 뿐이면, 공기는 콘 형상 부재의 벽에 대해 직교하는 방향으로 분출되고, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따르는 흐름으로는 되지 않는다. 따라서, 도 6에 도시한 바와 같이 공기 분출 구멍(35)에는 공기의 분출 방향을 규제하는 가이드(36)를 설치해 두고, 공기가 각 공기 분출 구멍(35)으로부터 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 분출되고, 또한 분출된 공기가 합류하여 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)의 전체를 덮는 시스류로 되어, 시스 에어층이 형성되도록 한다.As shown in FIG. 6, clean air pressurized by the
이와 같이 하면, 각 공기 분출 구멍(35)으로부터 분출되는 공기는 합류하여 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 흐르는 동시에 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)의 전체를 덮는 시스류로 되고, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)에 시스 에어층이 형성된다.In this way, the air blown out from each
도 7은 제3 실시 형태의 깔때기(3)의 개략 사시도, 도 8은 도 7에 1점 쇄선으로 나타내는 단면에서 깔때기(3)를 위에서 본 개략 평면도이다. 도 1, 도 2와 동일 부분에는 동일 번호를 부여하고 있다. 또한, 도 7과 도 8 사이에서 공기 도입 구멍(42)의 수는 상이하게 하고 있다.FIG. 7 is a schematic perspective view of the
제1, 제2 실시 형태에서는 청정 공기를 시스 에어로 하여 사용하였지만, 제3 실시 형태는 계측 대상 에어와 동일한 에어를 시스 에어로서 편의적으로 사용하는 것이다. 이로 인해, 에어 펌프나 메인 공기 공급관은 불필요한 경우가 있다.In the first and second embodiments, clean air is used as the sheath air. In the third embodiment, the same air as the measurement target air is conveniently used as the sheath air. For this reason, an air pump and a main air supply line may be unnecessary.
제3 실시 형태의 시스 에어 발생 수단(11)은 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b)의 부근에 있어서 콘 형상 부재(4)의 둘레 방향으로 등간격으로 복수 설치한 핀(41)과, 깔때기(3)를 그 축의 주위로 회전 구동하는 액추에이터(도시하지 않음)로 주로 구성되어 있다. 즉, 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b) 근처에 둘레 방향으로 등간격으로 ㄷ자 형상의 절입부를 넣고, 이 절입 부분을 외측을 향해 개방함으로써 핀(41)을 형성한다. 절입 부분이 개방된 후에는 공기 도입 구멍(42)이 형성된다. 깔때기(3)는 그 축을 중심으로 하여 회전할 수 있도록 지지한다.The sheath air generating means 11 of 3rd Embodiment is the
지금, 도 8에 있어서 깔때기(3)를 액추에이터로 반시계 방향으로 회전시켰을 때, 핀(41)의 형성을 위해 콘 형상 부재(4)에 뚫린 공기 도입 구멍(42)을 통해, 콘 형상 부재(4) 외주의 공기(계측 대상 에어와 동일한 에어)가 콘 형상 부재(4)의 내부로 공급된다. 도 8에 있어서 이때 콘 형상 부재(4)의 내부로 공급되는 공기의 흐름을 화살표로 나타내고 있다.Now, when the
이 경우, 각 공기 도입 구멍(42)으로부터 콘 형상 부재(4)의 내부로 공급되는 공기가 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 따라서 나선 형상으로 흐르고, 또한 이들 복수의 나선 형상 흐름이 합류하여 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a) 전체를 덮는 시스류로 되어, 시스 에어층이 형성되도록, 공기 도입 구멍(42)이나 핀(41)의 위치, 공기 도입 구멍(42)이나 핀(41)의 형상을 설정한다.In this case, air supplied from each
이와 같이, 콘 형상 부재(4)의 개구 단부(4b)의 부근에 있어서 핀(41)을 콘 형상 부재(4)의 주위에 등간격으로 복수 설치하는 동시에, 핀의 형성을 위해 개방한 구멍을 공기 도입 구멍으로 하여 깔때기(3)를 회전시킴으로써, 각 공기 도입 구멍(42)으로부터 콘 형상 부재(4)의 내부로 공급되는 공기가, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a)을 층형상으로 타는 시스류로 되고, 콘 형상 부재(4)의 내벽(4a) 전체에 시스 에어층이 형성된다.In this manner, in the vicinity of the
계측 대상 에어에 포함되는 조립자의 비율은 작은 것이므로, 시스 에어로서 계측 대상 에어와 동일한 에어를 사용하고 있어도, 계측값에 영향을 미치는 경우는 없다고 생각된다. 이 의미에서는, 제1, 제2 실시 형태에 있어서도 청정 공기를 반드시 사용할 필요는 없게 된다.Since the ratio of the coarse particles contained in the measurement target air is small, it is considered that even if the same air as the measurement target air is used as the sheath air, it does not affect the measured value. In this sense, clean air does not necessarily need to be used even in the first and second embodiments.
마지막으로, 본 발명의 기중 입자 검출 장치는, 예를 들어 리튬 이온 2차 전지 등의 2차 전지의 제조 라인의 각 처에 배치하는 것이 생각된다. 이에 의해, 조립자가 제품에 부착되는 것에 의한 문제의 발생을 검사 공정을 거치지 않고 검지할 수 있어, 생산의 수율의 향상과 그것에 수반하는 비용 저감이 가능해진다.Finally, it is thought that the airborne particle detection apparatus of this invention is arrange | positioned in each location of the manufacturing line of secondary batteries, such as a lithium ion secondary battery, for example. As a result, the occurrence of problems caused by the coarse particles attached to the product can be detected without undergoing an inspection process, thereby improving the yield of production and reducing the cost thereof.
3 : 깔때기(수집부)
11 : 시스 에어 발생 수단
21 : 임팩터
24 : 흡인관(흡인구)
26 : 계측부3: funnel (collection)
11: sheath air generating means
21: impactor
24: suction pipe (suction port)
26: measuring unit
Claims (3)
이 수집부에 의해 수집된 기중의 입자를 계측하는 계측부를 구비하고,
상기 수집부에 시스 에어를 발생시키는 시스 에어 발생 수단을 갖게 하는 동시에, 상기 수집부와 계측부 사이에서 관성력에 의한 분립을 행하는 임팩터를 배치하는 것을 특징으로 하는, 기중 입자 검출 장치.A collecting unit for collecting a gas including particles that lower the air;
It is provided with the measuring part which measures the particle | grains in the air collected by this collection part,
An airborne particle detection device, characterized in that the collecting unit includes a sheath air generating means for generating the sheath air, and an impactor for performing separation by inertial force between the collecting unit and the measuring unit.
상기 임팩터는, 상기 수집부로부터의 시스 에어 및 계측 대상의 입자를 포함한 기체를 유도하는 직관과, 이 직관의 전체 둘레에 균등하게 배치되는 흡인구로 이루어지고,
상기 제2 입자만을 관성력에 의해 상기 계측부로 유도하여, 상기 시스 에어 및 상기 제1 입자를 포함한 잉여 공기를 상기 흡인구로부터 배제하는 것을 특징으로 하는, 기중 입자 검출 장치.The method according to claim 1 or 2, wherein when the particles dropping the air weight are composed of first particles having a relatively small diameter and second particles having a relatively large diameter,
The impactor is composed of a straight pipe that guides the gas including the sheath air and the particles to be measured from the collecting unit, and a suction port that is evenly disposed around the entire circumference of the straight pipe,
An airborne particle detection device, characterized in that only the second particles are guided to the measurement unit by inertial force, thereby excluding excess air including the sheath air and the first particles from the suction port.
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