KR101462948B1 - Impactor Performance Evaluation System - Google Patents

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KR101462948B1
KR101462948B1 KR20130157751A KR20130157751A KR101462948B1 KR 101462948 B1 KR101462948 B1 KR 101462948B1 KR 20130157751 A KR20130157751 A KR 20130157751A KR 20130157751 A KR20130157751 A KR 20130157751A KR 101462948 B1 KR101462948 B1 KR 101462948B1
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aerosol particles
mixing chamber
particle
supply unit
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한진석
홍유덕
박진수
안준영
최진수
강기태
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대한민국
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Abstract

The present invention relates to an impactor performance evaluation system. The present invention provides an impactor performance evaluation system which is capable of evaluating impactor performance by measuring collection efficiency of a test target impactor in such a manner that the number of aerosol particles collected in the target impactor is compared with a reference value after the aerosol particles are supplied into a separated mixing chamber to allow the aerosol particles to pass through the target impactor. In addition, the impactor performance evaluation system can obtain a more exact measurement result and perform the performance evaluation for an impactor in various manners while the concentration of aerosol particles is changed.

Description

임팩터 성능 평가 시스템{Impactor Performance Evaluation System}[0001] IMPACTOR PERFORMANCE EVALUATION SYSTEM [0002]

본 발명은 임팩터 성능 평가 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는 에어로졸 입자를 별도의 믹싱 챔버에 공급하여 테스트 대상 임팩터를 통과시킨 후 임팩터에 포집된 에어로졸 입자 개수를 기준치와 비교하는 방식으로 임팩터에 대한 포집 효율을 측정함으로써, 임팩터에 대한 성능을 평가할 수 있으며, 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있고 에어로졸 입자의 농도를 변화시켜가며 다양한 방식으로 임팩터에 대한 성능 평가를 수행할 수 있는 임팩터 성능 평가 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to an impactor performance evaluation system. More specifically, the performance of the impactor is evaluated by measuring the collection efficiency of the impactor by supplying the aerosol particles to a separate mixing chamber, passing the test object impactor, and comparing the number of aerosol particles collected in the impactor with a reference value And more particularly to an impactor performance evaluation system capable of obtaining a more accurate measurement result and performing a performance evaluation on an impactor in various ways while changing the concentration of aerosol particles.

일반적으로 반도체 공정이나 LCD 공정과 같은 나노 수준의 고도 정밀 공정은 작업 설비 내에 오염 입자가 발생하게 되면, 치명적인 제품 불량으로 이어질 수 있으므로, 고도의 청결 상태가 유지될 수 있도록 클린룸과 같은 청정 설비 내에서 공정이 진행되고 있으며 이러한 설비에서는 오염 입자에 대한 실시간 감시 또한 매우 엄격하게 이루어지고 있다.Generally, nano-level high-precision processes such as semiconductor and LCD processes can lead to fatal product defects if contaminant particles are generated in the work equipment. Therefore, in order to maintain a high degree of cleanliness, And the real-time monitoring of polluted particles is also being carried out very strictly in these facilities.

따라서, 이러한 설비에서는 설비 내의 오염 입자 측정을 위한 별도의 입자 측정 장치가 사용되고 있으며, 이러한 입자 측정 장치를 통해 실시간으로 설비 내의 특정 챔버에 대한 입자 분포 상태가 측정되고 있다.Therefore, in such a facility, a separate particle measuring device for measuring contaminated particles in the facility is used, and the particle distribution state for a specific chamber in the facility is measured in real time through such a particle measuring device.

이러한 입자 측정 장치는 임의의 측정 챔버 내의 입자의 분포 상태, 즉 입자의 크기 및 개수 등을 측정하는 것으로, 클린룸 설비 이외에도 대기 오염 입자의 분포 상태를 측정하거나 실험실 등에서 특정 입자의 분포 상태를 측정하기 위해 사용되는 등 매우 다양한 분야에 널리 사용되고 있다.Such a particle measuring apparatus measures the distribution state of particles in an arbitrary measurement chamber, that is, the size and number of the particles. In addition to the clean room facility, it measures the distribution state of air pollution particles or measures the distribution state of specific particles in a laboratory And is widely used in a wide variety of fields.

특히, 임팩터는 환경 오염 물질 중 대기 오염의 주원인인 미세 에어로졸 입자의 측정 및 제어에 많이 사용되는 장치이다. 임팩터라는 것은 미세 입자(10㎛ 이하의 입자)가 가지는 관성을 이용하여 미세 입자를 분리, 포집 및 측정하는 장치로서, 1970년대 환경 입자 연구가들에 의해 개발되어 사용되고 있다.In particular, the impactor is a device widely used for the measurement and control of fine aerosol particles which are the main cause of air pollution among environmental pollutants. The impactor is a device for separating, collecting and measuring fine particles by using the inertia of fine particles (particles of 10 μm or less) and has been developed and used by environmental particle researchers in the 1970s.

이러한 임팩터는 유로를 따라 이동하던 유동 입자들의 유로를 급변화시켜 입자들 각각이 가진 관성 크기를 이용하여 입자를 분리 및 포집한다. 즉, 관성이 작은 입자는 급변하는 유동의 흐름을 잘 따라가게 되고, 관성이 큰 입자는 유로를 벗어나게 되는데, 이러한 현상을 이용하여 임팩터는 유로를 벗어난 입자를 충돌판(impaction plate)에 충돌시켜 포집하게 된다.Such an impactor rapidly changes the flow path of the flowing particles along the flow path, and separates and collects the particles using the inertia magnitude of each of the particles. In other words, particles with small inertia follow the flow of abruptly changing flow, and particles with large inertia move out of the flow path. Using this phenomenon, the impactor collides the particles off the flow path to the impaction plate, .

이러한 임팩터에 대한 성능은 주로 포집 효율로 나타내게 된다. 포집 효율은 임팩터를 통과하는 유체에 포함된 전체 에어로졸 입자 중에 임팩터에 의해 포집된 에어로졸 입자가 얼마나 되는지에 대한 비율이다. 즉, 임팩터를 통과하는 유체에 포함된 전체 에어로졸 입자 개수 대비 임팩터에 의해 포집된 에어로졸 입자의 개수를 비율로 나타낸 값이다.The performance of such an impactor is mainly represented by the collection efficiency. The collection efficiency is the ratio of how much aerosol particles are collected by the impactor among the total aerosol particles contained in the fluid passing through the impactor. That is, the ratio of the number of aerosol particles collected by the impactor to the total number of aerosol particles contained in the fluid passing through the impactor.

따라서, 이러한 임팩터의 성능을 측정하기 위해서는 별도의 임팩터 성능 평가 시스템이 필요한데, 현재 임팩터에 대한 성능을 평가할 수 있는 시스템은 아직까지 정확한 측정 결과를 제공할 만한 시스템이 마련되고 있지 않은 실정이다. 최근 대기 오염에 대한 관심이 더욱 부각되고 있는 상황에서 이러한 임팩터의 성능 평가 시스템에 대한 필요성은 더욱 증가하고 있으며, 그 시스템의 정확도 및 신뢰도가 더욱 중요시되고 있다.Therefore, in order to measure the performance of such an impactor, a separate impactor performance evaluation system is required. However, a system capable of evaluating the performance of the present impactor has not yet provided a system capable of providing accurate measurement results. In recent years, with the increasing interest in air pollution, the need for a performance evaluation system for such impactors is increasing, and the accuracy and reliability of the system is becoming more important.

국내공개특허 제10-2002-0084504호Korean Patent Publication No. 10-2002-0084504

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 에어로졸 입자를 별도의 믹싱 챔버에 공급하여 테스트 대상 임팩터를 통과시킨 후 임팩터에 포집된 에어로졸 입자 개수를 기준치와 비교하는 방식으로 임팩터에 대한 포집 효율을 측정함으로써, 임팩터에 대한 성능을 평가할 수 있으며, 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있고 에어로졸 입자의 농도를 변화시켜가며 다양한 방식으로 임팩터에 대한 성능 평가를 수행할 수 있는 임팩터 성능 평가 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for supplying aerosol particles to a separate mixing chamber, passing the aerosol particles through a test object impacter and comparing the number of aerosol particles collected in the impactor with a reference value By measuring the collection efficiency of the impactor, it is possible to evaluate the performance of the impactor, to obtain more accurate measurement results, to change the concentration of the aerosol particles, and to perform the performance evaluation of the impactor in various ways Evaluation system.

본 발명의 다른 목적은 별도의 믹싱 챔버에 저장되는 에어로졸 입자에 대한 분포 상태를 균일하게 하여 테스트 대상 임팩터를 통과하게 함으로써, 임팩터 포집 효율에 대한 측정 결과를 더욱 정확하게 얻을 수 있어 임팩터 성능 평가 시험에 대한 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 임팩터 성능 평가 시스템을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for measuring the impactor performance of an impactor, which can obtain the measurement result of the impactor collection efficiency more accurately by making the distribution state of the aerosol particles stored in the separate mixing chamber uniform, And to provide an impactor performance evaluation system capable of improving accuracy and reliability.

본 발명은, 입자를 크기별로 포집하는 임팩터에 대한 성능을 평가하는 임팩터 성능 평가 시스템으로서, 에어로졸 입자를 발생 공급하는 입자 공급 유닛; 상기 입자 공급 유닛으로부터 에어로졸 입자를 공급받을 수 있도록 상기 입자 공급 유닛과 연결되며, 일측에는 상기 임팩터가 연결될 수 있도록 샘플링 포트가 형성되는 믹싱 챔버; 및 상기 믹싱 챔버 내부에 분포하는 에어로졸 입자가 상기 샘플링 포트를 통해 배출되어 상기 임팩터를 통과하도록 상기 임팩터와 연결되어 상기 믹싱 챔버의 내부 공간을 흡입하는 흡입 펌프를 포함하고, 상기 임팩터에 의해 포집된 에어로졸 입자의 개수를 기준치와 비교하여 상기 임팩터에 대한 성능을 평가하는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템을 제공한다.The present invention relates to an impactor performance evaluation system for evaluating performance of an impactor for collecting particles by size, comprising: a particle supply unit for generating and supplying aerosol particles; A mixing chamber connected to the particle supply unit to receive aerosol particles from the particle supply unit and having a sampling port formed at one side thereof for connecting the impactor; And a suction pump connected to the impactor such that aerosol particles distributed in the mixing chamber are discharged through the sampling port and pass through the impactor to suck in the internal space of the mixing chamber, And evaluating the performance of the impactor by comparing the number of particles with a reference value.

이때, 상기 임팩터와 상기 흡입 펌프 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기가 장착되고, 상기 입자 계수기에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 통해 상기 임팩터에 포집된 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있다.At this time, a separate particle counter capable of measuring the number of the aerosol particles flowing in the interval between the impactor and the suction pump is mounted, and the aerosol particles collected in the impactor through the number of the aerosol particles measured by the particle counter Can be measured.

또한, 상기 믹싱 챔버에는 상기 샘플링 포트와는 별개로 상기 흡입 펌프에 연결되도록 별도의 기준 포트가 형성되고, 상기 기준 포트와 상기 흡입 펌프 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기가 장착되며, 상기 기준치는 상기 입자 계수기에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 측정하여 산정될 수 있다.A separate reference port is formed in the mixing chamber so as to be connected to the suction pump separately from the sampling port and a separate port for measuring the number of aerosol particles flowing in the interval between the reference port and the suction pump A particle counter is mounted and the reference value can be estimated by measuring the number of aerosol particles measured by the particle counter.

또한, 상기 입자 공급 유닛은 상기 믹싱 챔버로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 조절할 수 있도록 형성될 수 있다.The particle supply unit may be configured to adjust the concentration of the aerosol particles supplied to the mixing chamber.

또한, 상기 입자 공급 유닛은 상기 믹싱 챔버와 연결되는 입자 발생기; 상기 입자 발생기로부터 발생된 에어로졸 입자가 상기 믹싱 챔버로 공급되도록 상기 입자 발생기에 클린 에어를 공급하는 에어 공급기; 및 상기 에어 공급기로부터 공급되는 클린 에어의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브를 포함하고, 상기 유량 조절 밸브에 대한 동작 제어를 통해 상기 믹싱 챔버로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 조절할 수 있다.The particle supply unit may further include a particle generator connected to the mixing chamber; An air feeder for supplying clean air to the particle generator so that aerosol particles generated from the particle generator are supplied to the mixing chamber; And a flow rate control valve for controlling the flow rate of the clean air supplied from the air supply device. The concentration of the aerosol particles supplied to the mixing chamber can be controlled through operation control of the flow rate control valve.

또한, 상기 믹싱 챔버에는 상기 입자 공급 유닛으로부터 공급된 에어로졸 입자가 상기 믹싱 챔버 내부 공간에서 균일한 분포로 혼합될 수 있도록 클린 에어를 공급할 수 있는 에어 인렛 포트가 형성될 수 있다.In addition, the mixing chamber may be provided with an air inlet port capable of supplying clean air so that the aerosol particles supplied from the particle supply unit can be mixed in a uniform distribution in the space inside the mixing chamber.

또한, 상기 에어 인렛 포트는 상기 에어 공급기에 연결될 수 있다.Further, the air inlet port may be connected to the air supply device.

또한, 상기 믹싱 챔버에는 상기 믹싱 챔버 내부 공간에 대한 압력을 일정하게 유지시킬 수 있도록 내부 공기를 배출할 수 있는 배기 포트가 형성될 수 있다.
In addition, the mixing chamber may be provided with an exhaust port capable of discharging the internal air so as to maintain a constant pressure with respect to the space inside the mixing chamber.

본 발명에 의하면, 에어로졸 입자를 별도의 믹싱 챔버에 공급하여 테스트 대상 임팩터를 통과시킨 후 임팩터에 포집된 에어로졸 입자 개수를 기준치와 비교하는 방식으로 임팩터에 대한 포집 효율을 측정함으로써, 임팩터에 대한 성능을 평가할 수 있으며, 더욱 정확한 측정 결과를 얻을 수 있고 에어로졸 입자의 농도를 변화시켜가며 다양한 방식으로 임팩터에 대한 성능 평가를 수행할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the collection efficiency of the impactor is measured by supplying the aerosol particles to a separate mixing chamber, passing through the test target impactor, and comparing the number of aerosol particles collected in the impactor with a reference value. It is possible to obtain a more accurate measurement result and to perform the performance evaluation of the impactor in various ways while changing the concentration of the aerosol particles.

또한, 별도의 믹싱 챔버에 저장되는 에어로졸 입자에 대한 분포 상태를 균일하게 하여 테스트 대상 임팩터를 통과하게 함으로써, 임팩터 포집 효율에 대한 측정 결과를 더욱 정확하게 얻을 수 있어 임팩터 성능 평가 시험에 대한 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, by uniformly distributing the aerosol particles stored in separate mixing chambers and passing them through the test object, the measurement results of the impactor collection efficiency can be obtained more accurately, and the accuracy and reliability of the impact performance evaluation test can be improved There is an effect that can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합 수단이 구비된 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도,
도 3 및 도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 혼합 수단이 구비된 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically showing a configuration of an impactor performance evaluation system according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a conceptual diagram schematically showing a configuration of an impactor performance evaluation system provided with mixing means according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 3 and FIG. 4 are conceptual diagrams schematically showing the configuration of an impactor performance evaluation system provided with mixing means according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합 수단이 구비된 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.FIG. 1 is a conceptual diagram schematically showing the configuration of an impactor performance evaluation system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 schematically shows the configuration of an impactor performance evaluation system having mixing means according to an embodiment of the present invention. FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 성능 평가 시스템은 입자를 크기별로 포집하는 임팩터(10)에 대한 성능 평가, 즉, 임팩터에 대한 포집 효율을 측정할 수 있는 시스템으로서, 입자 공급 유닛(200), 믹싱 챔버(100) 및 흡입 펌프(300)를 포함하여 구성된다.The impactor performance evaluation system according to an embodiment of the present invention is a system capable of measuring a performance evaluation of an impactor 10 that collects particles by size, that is, a collection efficiency with respect to an impactor. The system includes a particle supply unit 200, A mixing chamber 100 and a suction pump 300.

입자 공급 유닛(200)은 에어로졸 입자를 발생시켜 믹싱 챔버(100)에 공급하는 구성으로, 믹싱 챔버(100)와 연결되는 입자 발생기(210)와, 입자 발생기(210)로부터 발생된 에어로졸 입자가 믹싱 챔버(100)로 공급되도록 입자 발생기(210)에 클린 에어를 공급하는 에어 공급기(220)를 포함하여 구성될 수 있다. The particle supplying unit 200 is configured to generate aerosol particles and supply them to the mixing chamber 100. The particle generating unit 210 is connected to the mixing chamber 100. The aerosol particles generated from the particle generator 210 are mixed And an air supplier 220 for supplying clean air to the particle generator 210 to be supplied to the chamber 100.

이러한 입자 공급 유닛(200)은 다양한 방식으로 임팩터에 대한 포집 효율을 측정할 수 있도록 믹싱 챔버(100)로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 다양하게 조절할 수 있도록 구성될 수 있다. The particle supply unit 200 may be configured to vary the concentration of the aerosol particles supplied to the mixing chamber 100 so as to measure the collection efficiency of the impactor in various ways.

이를 위해 에어 공급기(220)로부터 공급되는 클린 에어의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브(230)가 구비될 수 있으며, 유량 조절 밸브(230)에 대한 동작 제어를 통해 믹싱 챔버(100)로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 조절할 수 있다.The flow control valve 230 controls the flow rate of the clean air supplied from the air feeder 220. The flow rate control valve 230 controls the flow rate of the aerosol supplied to the mixing chamber 100, The concentration of the particles can be controlled.

예를 들면, 유량 조절 밸브(230)의 개도량을 증가시켜 클린 에어의 공급량을 증가시키면, 입자 발생기(210)로부터 믹싱 챔버(100)로 공급되는 에어로졸 입자의 공급량, 즉 농도가 증가하게 되고, 유량 조절 밸브(230)의 개도량을 감소시켜 클린 에어의 공급량을 감소시키면, 입자 발생기(210)로부터 믹싱 챔버(100)로 공급되는 에어로졸 입자의 공급량, 즉 농도가 감소하게 된다. For example, if the amount of clean air supplied is increased by increasing the opening amount of the flow control valve 230, the supply amount, that is, the concentration of the aerosol particles supplied from the particle generator 210 to the mixing chamber 100 increases, The supply amount of the aerosol particles supplied from the particle generator 210 to the mixing chamber 100, that is, the concentration, is reduced by reducing the opening amount of the flow rate control valve 230 to reduce the supply amount of the clean air.

믹싱 챔버(100)는 입자 공급 유닛(200)으로부터 에어로졸 입자를 공급받을 수 있도록 입자 공급 유닛(200)과 연결되며, 내부에는 이러한 에어로졸 입자를 수용할 수 있도록 수용 공간이 형성된다. 이러한 믹싱 챔버(100)의 일측에는 믹싱 챔버(100)의 내부 압력이 일정하게 유지될 수 있도록 내부 공기를 배출하는 별도의 배기 포트(103)가 형성될 수 있으며, 배기 포트(103)의 끝단에는 에어로졸 입자의 외부 누출을 방지할 수 있도록 별도의 여과 필터(104)가 장착될 수 있다. 이러한 배기 포트(103)를 통해 믹싱 챔버(100)의 내부 압력이 일정하게 유지되면, 믹싱 챔버(100)에 에어로졸 입자의 공급이 원활하게 계속적으로 이루어질 수 있다. 또한, 믹싱 챔버(100)의 또 다른 일측에는 테스트 대상인 임팩터(10)가 연결될 수 있도록 샘플링 포트(101)가 형성된다. The mixing chamber 100 is connected to the particle supplying unit 200 so that the aerosol particles can be supplied from the particle supplying unit 200, and a receiving space is formed therein to accommodate such aerosol particles. A separate exhaust port 103 may be formed on one side of the mixing chamber 100 to discharge the internal air so that the internal pressure of the mixing chamber 100 can be maintained constant. A separate filtration filter 104 may be mounted to prevent external leakage of the aerosol particles. When the internal pressure of the mixing chamber 100 is maintained constant through the exhaust port 103, the supply of the aerosol particles to the mixing chamber 100 can be smoothly and continuously performed. A sampling port 101 is formed on another side of the mixing chamber 100 so that the impactor 10 to be tested can be connected.

흡입 펌프(300)는 믹싱 챔버(100) 내부에 분포하는 에어로졸 입자가 샘플링 포트(101)를 통해 배출되어 임팩터(10)를 통과하도록 임팩터(10)와 연결되어 믹싱 챔버(100)의 내부 공간을 흡입하도록 구성된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 흡입 펌프(300)는 임팩터(10)와 연결되고, 임팩터(10)는 샘플링 포트(101)를 통해 믹싱 챔버(100)와 연결된다. The suction pump 300 is connected to the impactor 10 so that the aerosol particles distributed in the mixing chamber 100 are discharged through the sampling port 101 and pass through the impactor 10 to separate the inner space of the mixing chamber 100 . 1, the suction pump 300 is connected to the impactor 10, and the impactor 10 is connected to the mixing chamber 100 through the sampling port 101.

이러한 구조에 따라 흡입 펌프(300)를 작동시키면, 흡입 압력이 임팩터(10) 및 샘플링 포트(101)를 통해 믹싱 챔버(100)에 전달된다. 이에 따라 믹싱 챔버(100)에 분포하는 에어로졸 입자는 유체와 함께 샘플링 포트(101)를 통해 임팩터(10)를 통과하게 되고, 임팩터(10)를 통과한 후 흡입 펌프(300)로 유입된다. 이때, 에어로졸 입자가 임팩터(10)를 통과하는 과정에서 임팩터(10)의 종류에 따라 특정 크기 이상의 에어로졸 입자는 임팩터(10)에 포집된다.When the suction pump 300 is operated according to this structure, the suction pressure is transmitted to the mixing chamber 100 through the impactor 10 and the sampling port 101. [ Accordingly, the aerosol particles distributed in the mixing chamber 100 pass through the sampling port 101 and the impactor 10, pass through the impactor 10, and then enter the suction pump 300. At this time, in the process of passing the aerosol particles through the impactor 10, the aerosol particles having a specific size or more are collected in the impactor 10 depending on the type of the impactor 10.

이와 같이 임팩터(10)에 포집되는 에어로졸 입자의 개수를 기준치와 비교하여 임팩터(10)에 대한 포집 효율, 즉 성능을 평가할 수 있다.In this manner, the collection efficiency of the impactor 10, that is, the performance, can be evaluated by comparing the number of aerosol particles collected in the impactor 10 with a reference value.

이때, 임팩터(10)와 흡입 펌프(300) 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기(400)가 장착되고, 입자 계수기(400)에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 통해 임팩터(10)에 포집된 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있다. 입자 계수기(400)는 APS(Aerosol Particle Sizer) 장치가 사용될 수 있으며, 에어로졸 입자의 크기별 개수를 측정할 수 있는 장치로서, 관련 분야에서 널리 사용되고 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.At this time, in the interval between the impactor 10 and the suction pump 300, a separate particle counter 400 capable of measuring the number of flowing aerosol particles is mounted, and the number of aerosol particles measured by the particle counter 400 The number of aerosol particles collected in the impactor 10 can be measured. An aerosol particle sizer (APS) device can be used as the particle counter 400, and it is a device that can measure the number of aerosol particles by size, and is widely used in the related field, so a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 입자 계수기(400)를 통해 임팩터(10)를 통과한 이후의 구간에서 에어로졸 입자의 개수를 측정함으로써, 역으로 임팩터(10)에 포집된 에어로졸 입자의 개수가 얼마인지 측정할 수 있다. By measuring the number of aerosol particles in the section after passing through the impactor 10 through the particle counter 400, the number of aerosol particles collected in the impactor 10 can be measured.

한편, 기준치는 입자 공급 유닛(200)에 의해 공급되는 에어로졸 입자의 공급량을 기준으로 판단할 수도 있지만, 좀더 정확한 테스트 결과를 위해 믹싱 챔버(100) 내부 공간에 분포하는 에어로졸 입자를 임팩터(10)를 통과한 흐름과 동일한 유량으로 배출시키는 과정에서 측정된 에어로졸 입자의 개수를 측정하는 방식으로 기준치를 정할 수 있다.On the other hand, the reference value may be determined on the basis of the supply amount of the aerosol particles supplied by the particle supply unit 200. However, for more accurate test results, the aerosol particles distributed in the space inside the mixing chamber 100 may be attached to the impactor 10 The reference value can be determined by measuring the number of aerosol particles measured during the discharge process at the same flow rate as the passing flow.

예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이 믹싱 챔버(100)에 샘플링 포트(101)와는 별개로 흡입 펌프(300)에 연결되는 별도의 기준 포트(102)를 형성하고, 기준 포트(102)와 흡입 펌프(300) 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기(400)를 장착하며, 여기에 장착된 입자 계수기(400)에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 측정하는 방식으로 기준치를 정할 수 있다. For example, as shown in FIG. 1, a separate reference port 102 connected to the suction pump 300 is formed in the mixing chamber 100 separately from the sampling port 101, and the reference port 102, A separate particle counter (400) capable of measuring the number of aerosol particles flowing in the interval between the suction pumps (300) is mounted, and the number of aerosol particles measured by the particle counter (400) The reference value can be determined by the method.

이때, 흡입 펌프(300)는 임팩터(10)와 연결된 흡입 펌프(300)가 적용되도록 하는 것이 바람직하며, 이를 통해 샘플링 포트(101)를 통해 임팩터(10)를 통과하는 유량과 기준 포트(102)를 통해 배출되는 유량이 동일하게 형성될 수 있다.It is preferable that the suction pump 300 is adapted to apply a suction pump 300 connected to the impactor 10 so that the flow rate passing through the sampling port 101 and the reference port 102, The flow rate of the exhaust gas may be the same.

이러한 구조에 따라 흡입 펌프(300)를 작동시키면, 기준 포트(102)를 통해 믹싱 챔버(100) 내부에 분포하는 에어로졸 입자가 배출되고, 이와 같이 배출되는 에어로졸 입자의 개수는 해당 구간에 장착되는 입자 계수기(400)를 통해 측정된다. 이때, 측정된 에어로졸 입자의 개수는 믹싱 챔버(100) 내부 공간에 분포하는 에어로졸 입자의 농도에 따라 결정되며, 배출 과정에서 별도의 손실이 발생하지 않으므로, 배출되는 에어로졸 입자의 개수에 대한 기준치로 결정할 수 있다.When the suction pump 300 is operated according to this structure, the aerosol particles distributed inside the mixing chamber 100 are discharged through the reference port 102, and the number of the aerosol particles discharged in this way is smaller than the number of particles Is measured through the counter (400). At this time, the number of the measured aerosol particles is determined according to the concentration of the aerosol particles distributed in the space inside the mixing chamber 100, and since no separate loss occurs in the discharging process, the reference value for the number of the discharged aerosol particles is determined .

이에 반해 흡입 펌프(300)의 작동에 의해 샘플링 포트(101) 및 임팩터(10)를 통과하는 에어로졸 입자는 임팩터(10)를 통과하는 과정에서 임팩터(10)에 의해 일부 또는 전부 포집될 수 있는데, 이러한 임팩터(10)에서의 포집량은 임팩터(10)와 흡입 펌프(300) 사이에 연결되는 입자 계수기(400)의 측정 결과를 통해 알 수 있다. By the operation of the suction pump 300, the aerosol particles passing through the sampling port 101 and the impactor 10 can be partially or totally collected by the impactor 10 in the process of passing through the impactor 10, The amount of collection in the impactor 10 can be known from the measurement results of the particle counter 400 connected between the impactor 10 and the suction pump 300.

예를 들면, 기준 포트(102)에 연결된 입자 계수기(400)에 의해 측정된 기준치가 100으로 측정되고, 임팩터(10)의 후단에 연결된 입자 계수기(400)에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수가 60인 경우라면, 임팩터(10)에 의해 포집된 에어로졸 입자의 개수는 40(100-60)임을 역으로 추론할 수 있다. 이 경우, 임팩터(10)의 포집 효율은 전체 에어로졸 입자의 개수 대비 포집된 에어로졸 입자의 개수 비율로 40/100, 즉 40%라고 판단할 수 있다.For example, when the reference value measured by the particle counter 400 connected to the reference port 102 is measured as 100 and the number of aerosol particles measured by the particle counter 400 connected to the rear end of the impactor 10 is 60 , It can be inferred that the number of aerosol particles collected by the impactor 10 is 40 (100-60). In this case, the collection efficiency of the impactor 10 can be determined as 40/100, that is, 40%, as the ratio of the number of captured aerosol particles to the total number of aerosol particles.

한편, 본 발명의 일 실시예에서는 기준 포트(102)를 별도로 형성하여 기준치를 측정하는 방식으로 설명하였으나, 이와 달리 기준 포트(102) 없이 샘플링 포트(101)를 이용하여 기준치를 측정할 수도 있다. 즉, 먼저, 샘플링 포트(101)에 임팩터(10)를 연결하지 않고 흡입 펌프(300)를 작동시키게 되면, 입자 계수기(400)를 통해 기준치가 측정될 수 있고, 이후, 임팩터(10)를 장착한 이후, 흡입 펌프(300)를 작동시키게 되면, 입자 계수기(400)를 통해 전술한 바와 같이 임팩터(10)의 에어로졸 입자 포집 개수를 측정할 수 있다.Meanwhile, in the embodiment of the present invention, the reference port 102 is separately formed to measure the reference value. Alternatively, the reference port may be measured using the sampling port 101 without the reference port 102. That is, if the suction pump 300 is operated without connecting the impactor 10 to the sampling port 101, the reference value can be measured through the particle counter 400, and then the impactor 10 is mounted Once the suction pump 300 is activated, the number of aerosol particles captured by the impactor 10 can be measured through the particle counter 400 as described above.

본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 성능 평가 시스템은 이상에서 설명한 방식으로 임팩터(10)의 포집 효율을 측정할 수 있다. 특히, 임팩터(10)에 포집된 에어로졸 입자의 개수를 기준치와 비교하여 임팩터(10)의 포집 효율을 판단할 수 있어 더욱 정확한 임팩터 성능 평가 결과를 얻을 수 있다.
The impactor performance evaluation system according to an embodiment of the present invention can measure the collection efficiency of the impactor 10 in the manner described above. Particularly, the number of aerosol particles collected in the impactor 10 can be compared with a reference value to determine the collection efficiency of the impactor 10, and more accurate impactor performance evaluation results can be obtained.

한편, 임팩터에 대한 더욱 정확한 성능 평가 결과를 얻기 위해서는 임팩터(10)로 유입되는 에어로졸 입자가 균일한 분포로 유입될 수 있도록 믹싱 챔버(100) 내부 공간에서 에어로졸 입자가 균일하게 분포하는 것이 바람직하다.Meanwhile, in order to obtain a more accurate performance evaluation result of the impactor, it is preferable that the aerosol particles are uniformly distributed in the inner space of the mixing chamber 100 so that the aerosol particles flowing into the impactor 10 can be uniformly distributed.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 임팩터 성능 평가 시스템은 입자 공급 유닛(200)으로부터 공급된 에어로졸 입자를 믹싱 챔버(100) 내부 공간에서 균일한 분포로 혼합하는 혼합 수단(M)을 더 포함하여 구성될 수 있다.Accordingly, the impactor performance evaluation system according to an embodiment of the present invention further includes mixing means M for mixing the aerosol particles supplied from the particle supply unit 200 into a uniform distribution in the inner space of the mixing chamber 100 Lt; / RTI >

혼합 수단(M)은 도 2에 도시된 바와 같이 입자 공급 유닛(200)으로부터 공급된 에어로졸 입자가 믹싱 챔버(100) 내부 공간에서 균일한 분포로 혼합될 수 있도록 클린 에어를 공급할 수 있는 에어 인렛 포트(510)를 포함하여 구성될 수 있다. 에어 인렛 포트(510)는 믹싱 챔버(100)의 일측에 형성될 수 있으며, 별도의 에어 공급기(220)와 연결되어 클린 에어를 공급할 수도 있으나, 전술한 입자 공급 유닛(200)의 에어 공급기(220)와 연결되어 클린 에어를 공급하도록 구성될 수도 있다.The mixing means M includes an air inlet port (not shown) capable of supplying clean air so that the aerosol particles supplied from the particle supply unit 200 can be mixed in a uniform distribution in the inner space of the mixing chamber 100, (Not shown). The air inlet port 510 may be formed at one side of the mixing chamber 100 and may be connected to a separate air supply unit 220 to supply clean air. However, the air inlet port 210 of the particle supply unit 200 To supply clean air.

이와 같이 에어 인렛 포트(510)를 통해 믹싱 챔버(100) 내부 공간에 클린 에어가 공급되면, 도 2에 도시된 바와 같이 입자 공급 유닛(200)으로부터 공급되는 에어로졸 입자와 에어 인렛 포트(510)를 통해 공급되는 클린 에어가 믹싱 챔버(100)의 내부 공간에서 서로 부딪히며 난류를 발생시키게 되고, 이에 따라 에어로졸 입자가 믹싱 챔버(100) 내부 공간에서 더욱 확산되어 상대적으로 균일한 분포를 나타내게 된다.2, when the clean air is supplied to the inner space of the mixing chamber 100 through the air inlet port 510, the aerosol particles supplied from the particle supplying unit 200 and the air inlet port 510 The clean air supplied through the mixing chamber 100 collides with each other in the inner space of the mixing chamber 100 to generate turbulence. As a result, the aerosol particles are further diffused in the inner space of the mixing chamber 100 to exhibit a relatively uniform distribution.

이때, 입자 공급 유닛(200)은 도 2에 도시된 바와 같이 믹싱 챔버(100)의 상부 공간에 에어로졸 입자를 공급할 수 있도록 장착되고, 에어 인렛 포트(510)는 믹싱 챔버(100)의 하부 공간에서 상부 방향으로 클린 에어를 공급하도록 장착될 수 있으며, 이를 통해 믹싱 챔버(100)의 내부 공간 중앙부에서 난류 발생이 활발하게 이루어지며, 이에 따라 더욱 원활하게 에어로졸 입자의 확산을 가능하게 한다.
2, the particle supply unit 200 is installed to supply aerosol particles to the upper space of the mixing chamber 100, and the air inlet port 510 is connected to the upper space of the mixing chamber 100 in the lower space of the mixing chamber 100 So that turbulent flow is actively generated in the center portion of the inner space of the mixing chamber 100 through the upper portion of the mixing chamber 100, thereby enabling diffusion of the aerosol particles more smoothly.

도 3 및 도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 혼합 수단이 구비된 임팩터 성능 평가 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개념도이다.FIG. 3 and FIG. 4 are conceptual diagrams schematically showing the configuration of an impactor performance evaluation system provided with mixing means according to another embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4에는 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 달리 또 다른 형태의 혼합 수단(M)이 도시되며, 그 외의 구성은 도 1 및 도 2에서 설명한 구성과 동일하므로, 이에 대한 내용은 설명의 중복 방지를 위해 생략한다.3 and 4 show a mixing means M of a different type from those described in Figs. 1 and 2, and the other configurations are the same as those described in Figs. 1 and 2. Therefore, It is omitted for duplication prevention.

본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 혼합 수단(M)은 도 3에 도시된 바와 같이 믹싱 챔버(100)의 상부 공간에 장착되는 확산판(520)을 포함하여 구성될 수 있다. 확산판(520)은 미세한 관통홀이 전체 면적에 걸쳐 고르게 형성된 형태로서, 예를 들면 복수개의 메쉬(mesh)를 적층한 형태로 적용될 수 있으며, 이를 통해 에어로졸 입자의 확산 혼합 정도를 더욱 향상시킬 수 있다. 이때, 확산판(520)은 입자 공급 유닛(200)에 의해 공급되는 에어로졸 입자가 확산판(520)을 통과하여 믹싱 챔버(100) 내부 공간으로 확산 공급되도록 배치되는 것이 바람직하다.The mixing means M according to another embodiment of the present invention may include a diffusion plate 520 mounted in an upper space of the mixing chamber 100 as shown in FIG. The diffusion plate 520 may be formed in a form in which a plurality of fine mesh through holes are uniformly formed over the entire area. For example, the diffusion plate 520 may be formed by stacking a plurality of meshes, have. At this time, it is preferable that the diffusion plate 520 is arranged such that the aerosol particles supplied by the particle supply unit 200 pass through the diffusion plate 520 and are diffusively supplied to the inner space of the mixing chamber 100.

예를 들면, 입자 공급 유닛(200)은 도 3에 도시된 바와 같이 믹싱 챔버(100)의 내부 공간 상단부에 에어로졸 입자를 공급하도록 믹싱 챔버(100)의 상단부와 연결될 수 있고, 확산판(520)은 이러한 입자 공급 유닛(200)을 통해 믹싱 챔버(100)의 상단부로 공급된 에어로졸 입자가 통과하여 확산될 수 있도록 입자 공급 유닛(200)의 연결 부위로부터 하부에 위치하도록 장착될 수 있다.For example, the particle supply unit 200 may be connected to the upper end of the mixing chamber 100 to supply aerosol particles to the upper end of the inner space of the mixing chamber 100 as shown in FIG. 3, Can be mounted so as to be positioned below the connection portion of the particle supply unit 200 so that the aerosol particles supplied to the upper end of the mixing chamber 100 through the particle supply unit 200 can be diffused and passed through.

한편, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 혼합 수단(M)은 도 4에 도시된 바와 같이 믹싱 챔버(100)의 상단 벽체(110) 내부에 형성되어 입자 공급 유닛(200)으로부터 공급되는 에어로졸 입자가 유입되도록 입자 공급 유닛(200)과 연결되는 공급 유로(530)와, 공급 유로(530)로부터 믹싱 챔버(100)로 에어로졸 입자가 공급되도록 공급 유로(530)에 연통되게 믹싱 챔버(100)의 상단 벽체(110)에 형성되는 다수개의 공급홀(540)을 포함하여 구성될 수 있다.4, the mixing means M according to another embodiment of the present invention is formed in the upper wall 110 of the mixing chamber 100, The mixing chamber 100 is connected to the supply passage 530 so that the aerosol particles are supplied to the mixing chamber 100 from the supply passage 530. The supply passage 530 is connected to the particle supply unit 200, And a plurality of supply holes 540 formed in the upper wall 110 of the main body 110.

즉, 믹싱 챔버(100)의 상단 벽체(100)의 내부에는 공급 유로(530)가 형성되고, 이러한 공급 유로(530)에는 상단 벽체(100)의 전체 영역에 걸쳐 균일한 분포로 배치되는 공급홀(540)이 다수개 형성되며, 입자 공급 유닛(200)으로부터 공급된 에어로졸 입자는 공급 유로(530) 및 공급홀(540)을 통해 믹싱 챔버(100)의 내부 공간에 더욱 균일하게 확산된 상태로 공급된다.A supply channel 530 is formed in the upper wall 100 of the mixing chamber 100 and a supply channel 530 is formed in the supply channel 530. The supply channel 530 is formed in the upper wall 100 of the mixing chamber 100, The aerosol particles supplied from the particle supply unit 200 are uniformly diffused into the inner space of the mixing chamber 100 through the supply flow path 530 and the supply hole 540 .

또한, 믹싱 챔버(100)의 상단 벽체(110) 하단에는 공급홀(540)을 통해 공급되는 에어로졸 입자가 한번 더 확산 공급되도록 확산판(520)이 더 장착될 수 있으며, 이때, 확산판(520)은 공급홀(540)을 통해 공급되는 에어로졸 입자가 원활하게 통과하며 확산될 수 있도록 믹싱 챔버(100)의 상단 벽체(110)에 이격된 상태로 하향 위치하도록 장착될 수 있다.
The diffusion plate 520 may be further mounted on the lower end of the upper wall 110 of the mixing chamber 100 so that the aerosol particles supplied through the supply hole 540 are diffused and supplied again. May be mounted so as to be spaced apart from the upper wall 110 of the mixing chamber 100 so that the aerosol particles supplied through the supply hole 540 can smoothly pass and diffuse.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

10: 임팩터 100: 믹싱 챔버
101: 샘플링 포트 102: 기준 포트
103: 배기 포트 104: 여과 필터
200: 입자 공급 유닛 210: 입자 발생기
220: 에어 공급기 230: 유량 조절 밸브
300: 흡입 펌프 400: 입자 계수기
510: 에어 인렛 포트 520: 확산판
530: 공급 유로 540: 공급홀10: Impactor 100: Mixing chamber
101: sampling port 102: reference port
103: exhaust port 104: filtration filter
200: particle feed unit 210: particle generator
220: Air feeder 230: Flow control valve
300: Suction pump 400: Particle counter
510: air inlet port 520: diffuser plate
530: Feeding channel 540: Feeding hole

Claims (8)

삭제delete 삭제delete 입자를 크기별로 포집하는 임팩터에 대한 성능을 평가하는 임팩터 성능 평가 시스템으로서,
에어로졸 입자를 발생 공급하는 입자 공급 유닛;
상기 입자 공급 유닛으로부터 에어로졸 입자를 공급받을 수 있도록 상기 입자 공급 유닛과 연결되며, 일측에는 상기 임팩터가 연결될 수 있도록 샘플링 포트가 형성되는 믹싱 챔버; 및
상기 믹싱 챔버 내부에 분포하는 에어로졸 입자가 상기 샘플링 포트를 통해 배출되어 상기 임팩터를 통과하도록 상기 임팩터와 연결되어 상기 믹싱 챔버의 내부 공간을 흡입하는 흡입 펌프
를 포함하고, 상기 임팩터에 의해 포집된 에어로졸 입자의 개수를 기준치와 비교하여 상기 임팩터에 대한 성능을 평가하며,
상기 임팩터와 상기 흡입 펌프 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기가 장착되고,
상기 입자 계수기에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 통해 상기 임팩터에 포집된 에어로졸 입자의 개수를 측정하며,
상기 믹싱 챔버에는 상기 샘플링 포트와는 별개로 상기 흡입 펌프에 연결되도록 별도의 기준 포트가 형성되고,
상기 기준 포트와 상기 흡입 펌프 사이 구간에는 유동하는 에어로졸 입자의 개수를 측정할 수 있는 별도의 입자 계수기가 장착되며,
상기 기준치는 상기 기준 포트와 상기 흡입 펌프 사이 구간에 연결된 입자 계수기에 의해 측정된 에어로졸 입자의 개수를 측정하여 산정되고,
상기 믹싱 챔버에는 상기 입자 공급 유닛으로부터 공급된 에어로졸 입자가 상기 믹싱 챔버 내부 공간에서 균일한 분포로 혼합될 수 있도록 클린 에어를 공급할 수 있는 에어 인렛 포트가 형성되는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템.
An impactor performance evaluation system for evaluating performance of an impactor for collecting particles by size,
A particle supply unit for generating and supplying aerosol particles;
A mixing chamber connected to the particle supply unit to receive aerosol particles from the particle supply unit and having a sampling port formed at one side thereof for connecting the impactor; And
And a suction pump connected to the impactor to suck the inner space of the mixing chamber so that the aerosol particles distributed in the mixing chamber are discharged through the sampling port and pass through the impactor,
Wherein the performance of the impactor is evaluated by comparing the number of aerosol particles captured by the impactor with a reference value,
A separate particle counter capable of measuring the number of aerosol particles flowing is installed in a section between the impactor and the suction pump,
Measuring the number of aerosol particles collected in the impactor through the number of aerosol particles measured by the particle counter,
A separate reference port is formed in the mixing chamber so as to be connected to the suction pump separately from the sampling port,
A separate particle counter capable of measuring the number of aerosol particles flowing in the interval between the reference port and the suction pump is mounted,
The reference value is calculated by measuring the number of aerosol particles measured by a particle counter connected between the reference port and the suction pump,
Wherein the mixing chamber is provided with an air inlet port capable of supplying clean air so that the aerosol particles supplied from the particle supply unit can be mixed in a uniform distribution in the space inside the mixing chamber.
제 3 항에 있어서,
상기 입자 공급 유닛은
상기 믹싱 챔버로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 조절할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템.
The method of claim 3,
The particle supply unit
And the concentration of aerosol particles supplied to the mixing chamber can be adjusted.
제 4 항에 있어서,
상기 입자 공급 유닛은
상기 믹싱 챔버와 연결되는 입자 발생기;
상기 입자 발생기로부터 발생된 에어로졸 입자가 상기 믹싱 챔버로 공급되도록 상기 입자 발생기에 클린 에어를 공급하는 에어 공급기; 및
상기 에어 공급기로부터 공급되는 클린 에어의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브
를 포함하고, 상기 유량 조절 밸브에 대한 동작 제어를 통해 상기 믹싱 챔버로 공급되는 에어로졸 입자의 농도를 조절하는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템.
5. The method of claim 4,
The particle supply unit
A particle generator connected to the mixing chamber;
An air feeder for supplying clean air to the particle generator so that aerosol particles generated from the particle generator are supplied to the mixing chamber; And
A flow control valve for regulating the flow rate of the clean air supplied from the air supply device;
Wherein the concentration of the aerosol particles supplied to the mixing chamber is controlled through operation control of the flow rate control valve.
삭제delete 제 5 항에 있어서,
상기 에어 인렛 포트는 상기 에어 공급기에 연결되는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템.
6. The method of claim 5,
Wherein the air inlet port is connected to the air feeder.
제 3 항에 있어서,
상기 믹싱 챔버에는 상기 믹싱 챔버 내부 공간에 대한 압력을 일정하게 유지시킬 수 있도록 내부 공기를 배출할 수 있는 배기 포트가 형성되는 것을 특징으로 하는 임팩터 성능 평가 시스템.

The method of claim 3,
Wherein the mixing chamber is formed with an exhaust port capable of discharging internal air so as to maintain a constant pressure with respect to the space inside the mixing chamber.

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