JP6643894B2 - Mounting head cleaning apparatus and mounting head cleaning method - Google Patents

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本発明は、電子回路製品を生産する部品実装機に用いられる実装ヘッドを対象とする実装ヘッド洗浄装置および実装ヘッド洗浄方法に関するものである。
The present invention relates to a mounting head cleaning apparatus and a mounting head cleaning method for a mounting head used in a component mounting machine that produces an electronic circuit product.

部品実装機は、吸着ノズルにより供給位置にある電子部品を吸着し、この電子部品を回路基板上の所定の座標位置に実装する。吸着ノズルは、実装ヘッドの内部に形成されたエア通路を介して供給される負圧エアにより電子部品を吸着する。そのため、吸着ノズルの先端などから塵埃がエア通路に吸引されることがある。実装ヘッドのエア通路は、例えば特許文献1に開示された洗浄装置を用いて洗浄される。
The component mounter sucks an electronic component at a supply position by a suction nozzle, and mounts the electronic component at a predetermined coordinate position on a circuit board. The suction nozzle sucks the electronic component by negative pressure air supplied through an air passage formed inside the mounting head. Therefore, dust may be sucked into the air passage from the tip of the suction nozzle. The air passage of the mounting head is cleaned using, for example, a cleaning device disclosed in Patent Document 1.

特許文献1:特開2011−3679号公報 Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-3679

実装ヘッドのエア通路の洗浄には、塵埃をより確実に除去し、洗浄に要する作業時間の短縮が望まれる。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、実装ヘッドを対象としたエア通路の洗浄効率を向上できる実装ヘッド洗浄装置および実装ヘッド洗浄方法を提供することを目的とする。 In cleaning the air passage of the mounting head, it is desired to remove dust more reliably and to reduce the work time required for cleaning. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a mounting head cleaning apparatus and a mounting head cleaning method that can improve the cleaning efficiency of an air passage for a mounting head.

本発明に係る実装ヘッド洗浄装置は、負圧エア供給装置からエア通路を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸と、を備える実装ヘッドを対象とし、前記実装ヘッドの内部に形成された前記エア通路を洗浄する。前記実装ヘッド洗浄装置は、部品実装機から取り外された前記実装ヘッドが固定されるクランプ機構と、前記エア通路に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置と、前記洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、前記ノズル軸が昇降されるとともに、当該ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸が軸線周りに回転されるように、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する制御装置と、を備える。前記洗浄流体は、前記オイルミストである。前記洗浄処理には、前記エア通路における前記洗浄流体の流通を遮断した状態で前記ノズル軸を昇降させるアイドリング工程が含まれる。前記制御装置は、前記アイドリング工程において、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる。A mounting head cleaning device according to the present invention includes a suction nozzle that suctions a component by negative pressure air supplied from a negative pressure air supply device via an air passage, and a detachable holding of the suction nozzle, and a lifting mechanism that moves up and down. The air passage formed inside the mounting head is cleaned for a mounting head including a nozzle shaft that is rotatably and rotatably held by a rotation mechanism. The mounting head cleaning device includes a clamp mechanism to which the mounting head detached from the component mounting machine is fixed, a cleaning fluid supply device that supplies a cleaning fluid including positive pressure air or oil mist to the air passage, In the cleaning process using the fluid supply device, the operation of the elevating mechanism and the rotation of the nozzle shaft are performed so that the nozzle shaft is moved up and down and the nozzle shaft is rotated around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft. A control device for controlling the operation of the mechanism. The cleaning fluid is the oil mist. The cleaning process includes an idling step of raising and lowering the nozzle shaft in a state where the flow of the cleaning fluid in the air passage is shut off. In the idling step, the control device rotates the nozzle shaft around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft.
本発明に係る実装ヘッド洗浄装置は、負圧エア供給装置からエア通路を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸と、を備える実装ヘッドを対象とし、前記実装ヘッドの内部に形成された前記エア通路を洗浄する。前記実装ヘッド洗浄装置は、部品実装機から取り外された前記実装ヘッドが固定されるクランプ機構と、前記エア通路に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置と、前記洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、前記ノズル軸が昇降されるとともに、当該ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸が軸線周りに回転されるように、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する制御装置と、を備える。前記ノズル軸には、前記エア通路の開口端を閉塞するダミーノズルが前記吸着ノズルに替えて装着される。前記制御装置は、前記エア通路に前記負圧エアを供給して前記エア通路が減圧されている際に、または前記エア通路に前記正圧エアを供給して前記エア通路が増圧されている際に、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる。A mounting head cleaning device according to the present invention includes a suction nozzle that suctions a component by negative pressure air supplied from a negative pressure air supply device via an air passage, and a detachable holding of the suction nozzle, and a lifting mechanism that moves up and down. The air passage formed inside the mounting head is cleaned for a mounting head including a nozzle shaft that is rotatably and rotatably held by a rotation mechanism. The mounting head cleaning device includes a clamp mechanism to which the mounting head detached from the component mounting machine is fixed, a cleaning fluid supply device that supplies a cleaning fluid including positive pressure air or oil mist to the air passage, In the cleaning process using the fluid supply device, the operation of the elevating mechanism and the rotation of the nozzle shaft are performed so that the nozzle shaft is moved up and down and the nozzle shaft is rotated around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft. A control device for controlling the operation of the mechanism. A dummy nozzle closing the open end of the air passage is mounted on the nozzle shaft in place of the suction nozzle. The control device supplies the negative pressure air to the air passage to reduce the pressure of the air passage, or supplies the positive pressure air to the air passage to increase the pressure of the air passage. At this time, the nozzle shaft is rotated around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft.

本発明に係る実装ヘッド洗浄方法は、負圧エア供給装置によりエア通路を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸と、を備える実装ヘッドを対象とし、前記実装ヘッドの内部に形成された前記エア通路を洗浄する。前記実装ヘッド洗浄方法は、前記エア通路に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、前記ノズル軸が昇降されるように前記昇降機構が動作するノズル軸昇降ステップと、当該ノズル軸昇降ステップにおける前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸が軸線周りに回転されるように前記回転機構が動作するノズル軸回転ステップと、を備える。
The mounting head cleaning method according to the present invention includes a suction nozzle that sucks a component by negative pressure air supplied through an air passage by a negative pressure air supply device, the suction nozzle being detachably held, and a lifting mechanism that moves up and down. The air passage formed inside the mounting head is cleaned, with the mounting head including a nozzle shaft rotatably and rotatably held by a rotation mechanism. In the mounting head cleaning method, in a cleaning process using a cleaning fluid supply device that supplies a cleaning fluid including positive pressure air or oil mist to the air passage, the lifting mechanism operates so that the nozzle shaft is raised and lowered. A nozzle shaft elevating step; and a nozzle axis rotating step in which the rotating mechanism operates so that the nozzle axis is rotated around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle axis in the nozzle axis elevating step.

前記構成によると、洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、実装ヘッドは、ノズル軸の昇降動作に同期してノズル軸を軸線周りに回転される。ここで、ノズル軸は、実装ヘッドの本体部に対して昇降可能に且つ自転可能に保持されている。そのため、実装ヘッドの本体部とノズル軸を連通するエア通路は、ノズル軸の昇降動作および回転動作に伴い変化する。よって、洗浄処理においてノズル軸を昇降させつつ軸線周りに回転させることにより、エア通路において洗浄される部位が一部に偏ることが防止される。従って、洗浄効率が向上するので、洗浄処理に要する時間が短縮される。
According to the above configuration , in the cleaning process using the cleaning fluid supply device, the mounting head is rotated around the axis of the nozzle axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle axis. Here, the nozzle shaft is held so as to be able to move up and down and rotate on the main body of the mounting head. Therefore, the air passage communicating the main body of the mounting head and the nozzle shaft changes with the vertical movement and rotation of the nozzle shaft. Therefore, by rotating the nozzle shaft around the axis while moving up and down in the cleaning process, the portion to be cleaned in the air passage is prevented from being partially biased. Therefore, the cleaning efficiency is improved, and the time required for the cleaning process is reduced.


実装ヘッドを備える部品実装機を示す全体図である。FIG. 1 is an overall view showing a component mounting machine including a mounting head. 図1における実装ヘッドを示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a mounting head in FIG. 1. 実装ヘッドのエア通路を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an air passage of a mounting head. 実装ヘッドが移動台または実装ヘッド洗浄装置に取り付けられた状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which the mounting head is attached to a moving table or a mounting head cleaning device. 実施形態における実装ヘッド洗浄装置を示す全体図である。1 is an overall view showing a mounting head cleaning device according to an embodiment. 洗浄流体供給装置により構成される流体供給回路図である。It is a fluid supply circuit diagram comprised by a cleaning fluid supply device. 実装ヘッド洗浄装置の制御装置を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram illustrating a control device of the mounting head cleaning device. 洗浄処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows a cleaning process. 洗浄処理における洗浄工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the cleaning process in a cleaning process. 洗浄処理における送風工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the blowing process in a cleaning process. 洗浄処理におけるアイドリング工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the idling process in a cleaning process.

以下、本発明の実装ヘッド洗浄装置および実装ヘッド洗浄方法を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。実装ヘッド洗浄装置は、電子回路製品を生産する部品実装機に用いられる実装ヘッドを対象として、当該実装ヘッドの内部に形成されたエア通路を洗浄する。
Hereinafter, an embodiment of a mounting head cleaning apparatus and a mounting head cleaning method according to the present invention will be described with reference to the drawings. The mounting head cleaning apparatus cleans an air passage formed inside the mounting head for a mounting head used in a component mounting machine that produces an electronic circuit product.

部品実装機は、回路基板上に複数の電子部品を装着する装置である。回路基板は、例えばスクリーン印刷機により電子部品の装着位置にクリームハンダが塗布され、複数の部品実装機を順に搬送されて電子部品が装着される。その後に、電子部品が装着された回路基板は、リフロー炉に搬送されてハンダ付けされることにより回路基板製品となる。
A component mounter is a device for mounting a plurality of electronic components on a circuit board. On the circuit board, cream solder is applied to a mounting position of the electronic component by, for example, a screen printing machine, and the electronic component is mounted by being sequentially transported through a plurality of component mounters. Thereafter, the circuit board on which the electronic components are mounted is conveyed to a reflow furnace and soldered to be a circuit board product.

<実施形態>(1.部品実装機の構成)部品実装機1の構成について、図1〜図4を参照して説明する。部品実装機1は、基板搬送装置10と、部品供給装置20と、部品移載装置30とを備えて構成される。各装置10,20,30は、部品実装機1の基台2に設けられている。また、図1に示すように、部品実装機1の水平幅方向(図1の左上から右下に向かう方向)をX軸方向、部品実装機1の水平長手方向(図1の右上から左下に向かう方向)をY軸方向、鉛直高さ方向(図1の上下方向)をZ軸方向とする。
<Embodiment> (1. Configuration of Component Mounter) The configuration of the component mounter 1 will be described with reference to FIGS. The component mounter 1 includes a board transfer device 10, a component supply device 20, and a component transfer device 30. Each of the devices 10, 20, 30 is provided on the base 2 of the component mounter 1. As shown in FIG. 1, the horizontal width direction of the component mounter 1 (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 1) is the X-axis direction, and the horizontal longitudinal direction of the component mounter 1 (from the upper right to the lower left in FIG. 1). A direction toward the head is defined as a Y-axis direction, and a vertical height direction (a vertical direction in FIG. 1) is defined as a Z-axis direction.

(1−1.基板搬送装置10)基板搬送装置10は、回路基板BをX軸方向に搬送するとともに、回路基板Bを所定の位置に位置決めする。この基板搬送装置10は、Y軸方向に並設された複数の搬送機構11により構成されたダブルコンベアタイプである。搬送機構11は、図略のコンベアベルトに載置されて搬送される回路基板Bを案内する一対のガイドレール12,13を有する。搬送機構11は、電子部品の装着処理に際して、回路基板Bを所定のX軸方向位置まで搬入して、クランプ装置により回路基板Bをクランプする。そして、搬送機構11は、回路基板Bに電子部品が装着されると、回路基板Bをアンクランプして、部品実装機1の機外に回路基板Bを搬出する。
(1-1. Board Transfer Apparatus 10) The board transfer apparatus 10 transfers the circuit board B in the X-axis direction and positions the circuit board B at a predetermined position. The substrate transfer device 10 is of a double conveyor type including a plurality of transfer mechanisms 11 arranged in parallel in the Y-axis direction. The transport mechanism 11 has a pair of guide rails 12 and 13 that guide the circuit board B placed and transported on a not-shown conveyor belt. The transport mechanism 11 carries in the circuit board B to a predetermined position in the X-axis direction during the mounting process of the electronic component, and clamps the circuit board B by a clamp device. Then, when the electronic component is mounted on the circuit board B, the transport mechanism 11 unclamps the circuit board B and carries the circuit board B out of the component mounter 1.

(1−2.部品供給装置20)部品供給装置20は、回路基板Bに実装される電子部品を供給する装置である。部品供給装置20は、部品実装機1のY軸方向の前部側(図1の左下側)に配置されている。この部品供給装置20は、本実施形態において、複数のカセット式のフィーダ21を用いたフィーダ方式としている。フィーダ21は、基台2に対して着脱可能に取り付けられるフィーダ本体部21aとフィーダ本体部21aの後端側に設けられたリール収容部21bとを有する。フィーダ21は、リール収容部21bにより部品包装テープが巻回された供給リール22を保持している。
(1-2. Component Supply Device 20) The component supply device 20 is a device that supplies an electronic component mounted on the circuit board B. The component supply device 20 is arranged on the front side (lower left side in FIG. 1) of the component mounter 1 in the Y-axis direction. In this embodiment, the component supply device 20 is of a feeder type using a plurality of cassette type feeders 21. The feeder 21 has a feeder body 21a detachably attached to the base 2, and a reel housing 21b provided on the rear end side of the feeder body 21a. The feeder 21 holds the supply reel 22 on which the component packaging tape is wound by the reel housing 21b.

上記の部品包装テープは、電子部品が所定ピッチで収納されたキャリアテープと、このキャリアテープの上面に接着されて電子部品を覆うトップテープとにより構成される。フィーダ21は、図略のピッチ送り機構により供給リール22から引き出された部品包装テープをピッチ送りする。そして、フィーダ21は、キャリアテープからトップテープを剥離して電子部品を露出させている。これにより、フィーダ21は、フィーダ本体部21aの前端側に位置する供給位置において、部品移載装置30の吸着ノズル46が電子部品を吸着可能となるように電子部品の供給を行っている。
The component packaging tape includes a carrier tape in which electronic components are stored at a predetermined pitch, and a top tape that is adhered to an upper surface of the carrier tape and covers the electronic components. The feeder 21 pitch-feeds the component packaging tape drawn from the supply reel 22 by a pitch feed mechanism (not shown). Then, the feeder 21 peels off the top tape from the carrier tape to expose the electronic components. Thus, the feeder 21 supplies the electronic component so that the suction nozzle 46 of the component transfer device 30 can suck the electronic component at the supply position located on the front end side of the feeder main body 21a.

(1−3.部品移載装置30)部品移載装置30は、供給位置に供給された電子部品を保持して、回路基板B上の装着位置まで電子部品を移載する。本実施形態において、部品移載装置30は、基板搬送装置10および部品供給装置20の上方に配置された直交座標型としている。この部品移載装置30は、Y軸方向に延在する一対のY軸レール31にY軸方向に移動可能にY軸スライド32が設けられている。
(1-3. Component Transfer Device 30) The component transfer device 30 holds the electronic component supplied to the supply position and transfers the electronic component to the mounting position on the circuit board B. In the present embodiment, the component transfer device 30 is of a rectangular coordinate type disposed above the substrate transfer device 10 and the component supply device 20. In this component transfer device 30, a Y-axis slide 32 is provided on a pair of Y-axis rails 31 extending in the Y-axis direction so as to be movable in the Y-axis direction.

Y軸スライド32は、ボールねじ機構を介してY軸モータ33の動作により制御される。また、Y軸スライド32には、移動台34がX軸方向に移動可能に設けられている。移動台34は、図略のボールねじ機構を介してX軸モータ35の動作により制御される。Y軸スライド32および移動台34は、上記の構成の他に、例えばリニアモータを用いた直動機構に設けられ、当該リニアモータの動作により制御される構成としてもよい。
The Y-axis slide 32 is controlled by the operation of a Y-axis motor 33 via a ball screw mechanism. The Y-axis slide 32 is provided with a movable table 34 movably in the X-axis direction. The moving table 34 is controlled by the operation of an X-axis motor 35 via a ball screw mechanism (not shown). The Y-axis slide 32 and the moving table 34 may be provided in a linear motion mechanism using a linear motor, for example, and may be configured to be controlled by the operation of the linear motor.

部品移載装置30の移動台34には、回路基板Bの基準マーク(図示しない)を撮像する基板カメラ36が取り付けられている。基板カメラ36は、光軸がZ軸方向となるように移動台34に固定されている。基板カメラ36の撮像により取得された画像データは、例えば回路基板Bに付された基板マーク(図示しない)を含み、回路基板Bの位置決め状態の認識に用いられる。
A board camera 36 that captures an image of a reference mark (not shown) of the circuit board B is attached to the movable table 34 of the component transfer device 30. The board camera 36 is fixed to the movable base 34 so that the optical axis is in the Z-axis direction. The image data obtained by the imaging by the board camera 36 includes, for example, a board mark (not shown) attached to the circuit board B, and is used for recognizing a positioning state of the circuit board B.

部品移載装置30の移動台34には、実装ヘッド40が着脱可能に取り付けられている。実装ヘッド40は、図2に示すように、移動台34にクランプされるヘッド本体41を有する。ヘッド本体41には、R軸モータ42によって所定の角度ごとに回転角度を割り出されるインデックス軸43が回転可能に支持されている。このインデックス軸43の下端には、ロータリヘッド44が固定されている。
The mounting head 40 is detachably attached to the moving table 34 of the component transfer device 30. As shown in FIG. 2, the mounting head 40 has a head main body 41 that is clamped to the moving table 34. The head body 41 rotatably supports an index shaft 43 whose rotation angle is determined by a predetermined angle by an R-axis motor 42. At the lower end of the index shaft 43, a rotary head 44 is fixed.

ロータリヘッド44は、R軸と同心の円周上において周方向に等間隔に複数(例えば、12本)のノズル軸45をZ軸方向に摺動可能に且つ回転可能に保持する。ノズル軸45は、図略のスプリングの弾性力によりロータリヘッド44に対して上方に付勢されている。これにより、ノズル軸45は、外力を付与されていない通常状態では、上昇端に位置している。
The rotary head 44 holds a plurality of (for example, 12) nozzle shafts 45 at equal intervals in the circumferential direction on a circle concentric with the R axis so as to be slidable and rotatable in the Z axis direction. The nozzle shaft 45 is urged upward with respect to the rotary head 44 by the elastic force of a spring (not shown). Thereby, the nozzle shaft 45 is located at the rising end in the normal state where no external force is applied.

ノズル軸45の下端部には、吸着ノズル46が着脱可能に保持される。吸着ノズル46は、図略の負圧エア供給装置からエア通路60を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する。エア通路60の詳細な構成については後述する。複数の吸着ノズル46は、R軸モータ42の駆動に伴ってロータリヘッド44がインデックス軸43を介して回転することにより、R軸周りの所定の角度位置(例えば、ノズル軸45の昇降位置)に順次割り出される。
At the lower end of the nozzle shaft 45, a suction nozzle 46 is detachably held. The suction nozzle 46 suctions a component by negative pressure air supplied from a negative pressure air supply device (not shown) via an air passage 60. The detailed configuration of the air passage 60 will be described later. The plurality of suction nozzles 46 are moved to a predetermined angular position around the R-axis (for example, the vertical position of the nozzle shaft 45) by rotating the rotary head 44 via the index shaft 43 in accordance with the driving of the R-axis motor 42. Indexed sequentially.

従動ギヤ47およびθ軸ギヤ48を一体的に形成された回転体49は、インデックス軸43に対して相対回転可能にインデックス軸43の外周側に配置されている。ヘッド本体41には、θ軸モータ51が固定されている。θ 軸モータ51の出力軸に固定された駆動ギヤ52は、従動ギヤ47に噛合している。θ軸ギヤ48は、回転体49の軸線方向(R軸方向)に所定の長さの歯幅となるように形成されている。
The rotating body 49 integrally formed with the driven gear 47 and the θ-axis gear 48 is arranged on the outer peripheral side of the index shaft 43 so as to be rotatable relative to the index shaft 43. A θ-axis motor 51 is fixed to the head main body 41. The drive gear 52 fixed to the output shaft of the θ-axis motor 51 meshes with the driven gear 47. The θ-axis gear 48 is formed so as to have a predetermined tooth width in the axial direction (R-axis direction) of the rotating body 49.

ノズル軸45の上端部には、ノズルギヤ53が形成されている。ノズルギヤ53は、インデックス軸43の外周側に相対回転可能に支持されたθ軸ギヤ48とR軸方向に摺動可能に噛合している。従動ギヤ47、θ軸ギヤ48、θ軸モータ51、駆動ギヤ52、およびノズルギヤ53は、実装ヘッド40における回転機構を構成する。ノズル軸45および吸着ノズル46は、上記の回転機構の動作によりθ軸周りに一体的に回転(自転)し、回転角度や回転速度を制御される。
A nozzle gear 53 is formed at the upper end of the nozzle shaft 45. The nozzle gear 53 is meshed slidably in the R-axis direction with a θ-axis gear 48 supported on the outer peripheral side of the index shaft 43 so as to be relatively rotatable. The driven gear 47, the θ-axis gear 48, the θ-axis motor 51, the drive gear 52, and the nozzle gear 53 constitute a rotation mechanism in the mounting head 40. The nozzle shaft 45 and the suction nozzle 46 are integrally rotated (rotated) around the θ axis by the operation of the above-described rotation mechanism, and the rotation angle and the rotation speed are controlled.

また、ヘッド本体41には、ノズル作動部材54が設けられている。ノズル作動部材54は、ガイドバー55によって上下方向(Z軸方向)に摺動可能に案内される。ヘッド本体41に固定されたZ軸モータ56は、ボールねじ機構57を駆動させる。ノズル作動部材54は、ボールねじ機構57の駆動によりZ軸方向に昇降される。
Further, the head main body 41 is provided with a nozzle operating member 54. The nozzle operating member 54 is slidably guided in the up-down direction (Z-axis direction) by a guide bar 55. The Z-axis motor 56 fixed to the head main body 41 drives the ball screw mechanism 57. The nozzle operating member 54 is moved up and down in the Z-axis direction by driving the ball screw mechanism 57.

ノズル作動部材54は、複数のノズル軸45のうち上記の昇降位置に割り出されたノズル軸45の上端部に当接するノズルレバー58を有する。ノズルレバー58は、ノズル作動部材54のZ軸方向下方への移動に伴って下降し、当接するノズル軸45をZ軸方向下方へと押圧する。ノズル作動部材54、ガイドバー55、Z軸モータ56、ボールねじ機構57、およびノズルレバー58は、実装ヘッド40における昇降機構を構成する。ノズル軸45および吸着ノズル46は、上記の昇降機構の動作によりZ軸方向に一体的に昇降し、Z方向位置や移動速度を制御される。
The nozzle operating member 54 has a nozzle lever 58 that comes into contact with the upper end of the nozzle shaft 45 indexed to the above-described elevating position among the plurality of nozzle shafts 45. The nozzle lever 58 descends as the nozzle operating member 54 moves downward in the Z-axis direction, and presses the abutting nozzle shaft 45 downward in the Z-axis direction. The nozzle operating member 54, the guide bar 55, the Z-axis motor 56, the ball screw mechanism 57, and the nozzle lever 58 constitute a lifting mechanism of the mounting head 40. The nozzle shaft 45 and the suction nozzle 46 are integrally moved up and down in the Z-axis direction by the operation of the above-mentioned elevating mechanism, and the position and the moving speed in the Z-direction are controlled.

また、基台2には、図1に示すように、光軸がZ軸方向となるように部品カメラ5が固定されている。部品カメラ5は、吸着ノズル46に保持された状態の電子部品を撮像可能に構成されている。部品カメラ5は、部品供給装置20の部品供給位置から回路基板Bにおける電子部品の装着位置まで実装ヘッド40が移動する途中で、電子部品を撮像する。部品実装機1は、部品カメラ5の撮像により取得した画像データに基づいて、吸着ノズル46による電子部品の保持状態を認識する。部品実装機1は、電子部品の保持状態に応じて実装ヘッド40の動作を補正し、実装制御の精度向上を図っている。
As shown in FIG. 1, a component camera 5 is fixed to the base 2 so that the optical axis is in the Z-axis direction. The component camera 5 is configured to be able to image the electronic component held by the suction nozzle 46. The component camera 5 captures an image of the electronic component while the mounting head 40 moves from the component supply position of the component supply device 20 to the electronic component mounting position on the circuit board B. The component mounter 1 recognizes the holding state of the electronic component by the suction nozzle 46 based on the image data obtained by the imaging of the component camera 5. The component mounter 1 corrects the operation of the mounting head 40 according to the holding state of the electronic component, thereby improving the accuracy of the mounting control.

(1−4.エア通路60の詳細構成)実装ヘッド40の内部には、部品実装機1の負圧エア供給装置(図示しない)が発生させる負圧エアを吸着ノズル46まで供給するエア通路60が形成されている。エア通路60は、図3に示すように、軸内通路61と、ヘッド内通路62とを有する。また、エア通路60は、図4に示すように、導入通路63と、接続管路64とを有する。
(1-4. Detailed Configuration of Air Passage 60) Inside the mounting head 40, an air passage 60 that supplies negative pressure air generated by a negative pressure air supply device (not shown) of the component mounter 1 to the suction nozzle 46. Are formed. The air passage 60 has an in-shaft passage 61 and an in-head passage 62 as shown in FIG. The air passage 60 has an introduction passage 63 and a connection pipe 64 as shown in FIG.

軸内通路61は、図3に示すように、ノズル軸45の中心部において軸方向に延在する管路と、ノズル軸45の外周側に形成された環状溝とを連結して構成される。ヘッド内通路62は、ロータリヘッド44に供給される負圧エアを各ノズル軸45に分配可能に、ロータリヘッド44の内部に形成されている。ヘッド内通路62は、軸内通路61のうち上記の環状溝との間で負圧エアなどを流通可能に接続されている。
As shown in FIG. 3, the axial passage 61 is formed by connecting a pipe extending in the axial direction at the center of the nozzle shaft 45 and an annular groove formed on the outer peripheral side of the nozzle shaft 45. . The in-head passage 62 is formed inside the rotary head 44 so that the negative pressure air supplied to the rotary head 44 can be distributed to each nozzle shaft 45. The passage 62 in the head is connected to the above-described annular groove in the passage 61 in the shaft so that negative pressure air or the like can flow therethrough.

また、実装ヘッド40は、メカニカル切替バルブ(以下、メカバルブという)65と、ステッピングモータ66と、作動軸67とを備える。メカバルブ65は、ノズル軸45への負圧エアの供給および遮断を切り替える部材である。ロータリヘッド44には、ロータリヘッド44に保持されたノズル軸45と同数のメカバルブ65が配置される。メカバルブ65は、ロータリヘッド44に上下方向に摺動可能に嵌合されている。
The mounting head 40 includes a mechanical switching valve (hereinafter, referred to as a mechanical valve) 65, a stepping motor 66, and an operating shaft 67. The mechanical valve 65 is a member that switches between supplying and shutting off the negative pressure air to the nozzle shaft 45. The same number of mechanical valves 65 as the number of nozzle shafts 45 held by the rotary head 44 are arranged on the rotary head 44. The mechanical valve 65 is fitted to the rotary head 44 so as to be slidable in the vertical direction.

メカバルブ65の上端には、ロータリヘッド44の上面より突出した部位に係合部65aが形成されている。ステッピングモータ66は、実装ヘッド40に固定されている。作動軸67は、ステッピングモータ66の駆動により所定量だけ昇降される。メカバルブ65の係合部65aは、作動軸67の係合部65aに対して、R軸周りに離脱可能に且つZ軸方向に係合可能に構成されている。これにより、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しによって、作動軸67の係合部67aに複数のメカバルブ65の係合部65aが順次係合される。
At the upper end of the mechanical valve 65, an engagement portion 65a is formed at a portion protruding from the upper surface of the rotary head 44. The stepping motor 66 is fixed to the mounting head 40. The operation shaft 67 is moved up and down by a predetermined amount by driving the stepping motor 66. The engaging portion 65a of the mechanical valve 65 is configured to be detachable around the R axis and engageable in the Z axis direction with the engaging portion 65a of the operating shaft 67. As a result, the engagement portions 65a of the plurality of mechanical valves 65 are sequentially engaged with the engagement portions 67a of the operating shaft 67 by determining the rotation angle of the rotary head 44.

なお、メカバルブ65は、ある程度の摩擦力をもってロータリヘッド44に保持されている。つまり、メカバルブ65は、自重による上下方向への摺動を規制されている。そのため、メカバルブ65は、上記の摩擦力を上回る外力が加えられない限り、上昇端位置または下降端位置に保持される。
The mechanical valve 65 is held by the rotary head 44 with a certain frictional force. That is, the mechanical valve 65 is restricted from sliding in the vertical direction due to its own weight. Therefore, the mechanical valve 65 is held at the rising end position or the falling end position unless an external force exceeding the frictional force is applied.

メカバルブ65は、図3に示すように、下降端位置への移動によりOFF状態となり、実装ヘッド40の内部に供給された負圧エアのノズル軸45の軸内通路61への導入を遮断する。一方、メカバルブ65は、上昇端位置への移動によりON状態となり、実装ヘッド40の内部に供給された負圧エアのノズル軸45の軸内通路61への導入を許容する。
As shown in FIG. 3, the mechanical valve 65 is turned off by moving to the lower end position, and shuts off the introduction of the negative pressure air supplied into the mounting head 40 into the axial passage 61 of the nozzle shaft 45. On the other hand, the mechanical valve 65 is turned ON by moving to the rising end position, and allows the introduction of the negative pressure air supplied into the mounting head 40 into the in-shaft passage 61 of the nozzle shaft 45.

また、ロータリヘッド44のヘッド内通路62は、ヘッド本体41に形成された導入通路63に連結される。導入通路63は、図4に示すように、ロータリヘッド44が部品移載装置30の移動台34、または後述する実装ヘッド洗浄装置70の本体部に取り付けられた状態において、接続管路64を介して負圧エアなどを導入する。接続管路64は、移動台34または実装ヘッド洗浄装置70の本体部に設けられた供給管路88に接続される。
The in-head passage 62 of the rotary head 44 is connected to an introduction passage 63 formed in the head main body 41. As shown in FIG. 4, the introduction passage 63 is connected via the connection conduit 64 when the rotary head 44 is attached to the moving table 34 of the component transfer device 30 or the main body of the mounting head cleaning device 70 described later. To introduce negative pressure air. The connection pipe 64 is connected to a supply pipe 88 provided on the movable table 34 or the main body of the mounting head cleaning device 70.

(2.実装ヘッド洗浄装置の構成)(2−1.実装ヘッド洗浄装置70の全体構成)実装ヘッド洗浄装置70の構成について、図3〜図7を参照して説明する。実装ヘッド洗浄装置70は、実装ヘッド40の内部に形成されたエア通路60を洗浄する装置である。実装ヘッド洗浄装置70は、部品実装機1の内部に設けられる構成、または部品実装機1とは別の外部装置とする構成の何れも採用することができる。ここでは、図5に示すように、実装ヘッド洗浄装置70が外部装置である態様を例示する。
(2. Configuration of Mounting Head Cleaning Device) (2-1. Overall Configuration of Mounting Head Cleaning Device 70) The configuration of the mounting head cleaning device 70 will be described with reference to FIGS. The mounting head cleaning device 70 is a device for cleaning the air passage 60 formed inside the mounting head 40. The mounting head cleaning device 70 can adopt either a configuration provided inside the component mounter 1 or a configuration provided as an external device separate from the component mounter 1. Here, as shown in FIG. 5, a mode in which the mounting head cleaning device 70 is an external device is illustrated.

実装ヘッド洗浄装置70には、ロータリヘッド44(図2を参照)を備える実装ヘッド40が取り付けられる。実装ヘッド洗浄装置70には、部品実装機1から取り外された実装ヘッド40が固定されるクランプ機構71を有する。クランプ機構71は、部品実装機10の移動台34に実装ヘッド40をクランプするクランプ機構(図示しない)と同様の構成からなる。
The mounting head 40 including the rotary head 44 (see FIG. 2) is attached to the mounting head cleaning device 70. The mounting head cleaning device 70 has a clamp mechanism 71 to which the mounting head 40 removed from the component mounter 1 is fixed. The clamp mechanism 71 has the same configuration as a clamp mechanism (not shown) that clamps the mounting head 40 to the moving table 34 of the component mounting machine 10.

クランプ機構71は、図4に示すように、実装ヘッド40の下部に形成された脚部41aが実装ヘッド洗浄装置70の本体部に形成された脚部支承部72に係合した状態で、実装ヘッド40の上部を固定する。これにより、実装ヘッド40は、実装ヘッド洗浄装置70の本体部に対して位置決め固定される。これにより、実装ヘッド40の接続管路64は、実装ヘッド洗浄装置70の供給管路88に接続され、負圧エアまたは洗浄流体の流通が可能となる。
As shown in FIG. 4, the clamp mechanism 71 mounts with the leg 41 a formed at the lower part of the mounting head 40 engaged with the leg support 72 formed on the main body of the mounting head cleaning device 70. The upper part of the head 40 is fixed. Thus, the mounting head 40 is positioned and fixed to the main body of the mounting head cleaning device 70. As a result, the connection pipe 64 of the mounting head 40 is connected to the supply pipe 88 of the mounting head cleaning device 70, and the flow of the negative pressure air or the cleaning fluid becomes possible.

また、図5に示すように、実装ヘッド洗浄装置70には、実装ヘッド40のエア通路60の洗浄に用いられた洗浄流体を吸引する吸引ブロア73が設けられている。吸引ブロア73により回収されたオイルや塵埃は、吸引ブロア73の下部に設けられた回収ボックス74に回収される。また、実装ヘッド40は、実装ヘッド洗浄装置70に固定された状態で電気系統および通信系統のコネクタを接続される。これにより、実装ヘッド40は、実装ヘッド洗浄装置70の制御装置90により各モータなどを制御可能とされる。
Further, as shown in FIG. 5, the mounting head cleaning device 70 is provided with a suction blower 73 that suctions a cleaning fluid used for cleaning the air passage 60 of the mounting head 40. The oil and dust collected by the suction blower 73 are collected in a collection box 74 provided below the suction blower 73. The mounting head 40 is connected to electrical and communication connectors while being fixed to the mounting head cleaning device 70. Thereby, the mounting head 40 can control each motor and the like by the control device 90 of the mounting head cleaning device 70.

(2−2.洗浄流体供給装置80)実装ヘッド洗浄装置70は、実装ヘッド40のエア通路60に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置80を備える。洗浄流体供給装置80は、図6に示される流体供給回路を構成する。洗浄流体供給装置80において、正圧エアの供給源であるコンプレッサ81は、エア供給通路82に接続されている。エア供給通路82には、エア供給通路82の圧力を調整するレギュレータバルブ83が配置される。
(2-2. Cleaning Fluid Supply Device 80) The mounting head cleaning device 70 includes a cleaning fluid supply device 80 that supplies a cleaning fluid composed of positive pressure air or oil mist to the air passage 60 of the mounting head 40. The cleaning fluid supply device 80 forms the fluid supply circuit shown in FIG. In the cleaning fluid supply device 80, a compressor 81, which is a supply source of positive pressure air, is connected to an air supply passage. A regulator valve 83 for adjusting the pressure of the air supply passage 82 is disposed in the air supply passage 82.

エア供給通路82は、洗浄切替バルブ84を介して洗浄用エア通路85と洗浄用オイル通路86に選択的に接続されるように構成されている。洗浄用エア通路85および洗浄用オイル通路86は、供給管路88の手前で接続されている。洗浄用オイル通路86には、ルブリケータ87が配置される。ルブリケータ87は、正圧エアが供給されている状態の洗浄用オイル通路86にミスト状のオイルを供給する。これにより、洗浄用オイル通路86においてオイルミストが生成される。ルブリケータ87が供給するオイルとしては、例えば、フッ素オイルに揮発性溶剤を混合したものが用いられる。
The air supply passage 82 is configured to be selectively connected to a cleaning air passage 85 and a cleaning oil passage 86 via a cleaning switching valve 84. The cleaning air passage 85 and the cleaning oil passage 86 are connected before the supply pipe 88. A lubricator 87 is disposed in the cleaning oil passage 86. The lubricator 87 supplies mist-like oil to the cleaning oil passage 86 to which the positive-pressure air is being supplied. As a result, oil mist is generated in the cleaning oil passage 86. As the oil supplied by the lubricator 87, for example, a mixture of a fluorine oil and a volatile solvent is used.

上記のような構成において、洗浄切替バルブ84の切り替えによりエア供給通路82に洗浄用エア通路85が接続されると、供給管路88に洗浄流体として正圧エアが送り込まれる。一方で、洗浄切替バルブ84の切り替えによりエア供給通路82に洗浄用オイル通路86が接続されると、供給管路88に洗浄流体としてオイルミストが送り込まれる。供給管路88は、実装ヘッド洗浄装置70の本体部に取り付けられた実装ヘッド40の接続管路64に、洗浄流体を供給可能に接続される。このような構成により、実装ヘッド40のエア通路60は、正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体が供給される。
In the above-described configuration, when the cleaning air passage 85 is connected to the air supply passage 82 by switching the cleaning switching valve 84, positive pressure air is supplied to the supply pipe 88 as a cleaning fluid. On the other hand, when the cleaning oil passage 86 is connected to the air supply passage 82 by switching the cleaning switching valve 84, an oil mist is fed into the supply pipe 88 as a cleaning fluid. The supply pipe 88 is connected to the connection pipe 64 of the mounting head 40 attached to the main body of the mounting head cleaning device 70 so that a cleaning fluid can be supplied. With such a configuration, a cleaning fluid composed of positive pressure air or oil mist is supplied to the air passage 60 of the mounting head 40.

また、エア供給通路82には、吸引ブロア73(図6を参照)が吸引バルブ89を介して接続されている。吸引バルブ89は、実装ヘッド40の洗浄時に切り替えられる。これにより、実装ヘッド40の吸着ノズル46の先端より排出される洗浄流体は、吸引ブロア73によって吸引される。このように、実装ヘッド洗浄装置70は、洗浄に用いられた洗浄流体が周囲に飛散するのを防止するように構成されている。
A suction blower 73 (see FIG. 6) is connected to the air supply passage 82 via a suction valve 89. The suction valve 89 is switched when the mounting head 40 is washed. Thus, the cleaning fluid discharged from the tip of the suction nozzle 46 of the mounting head 40 is sucked by the suction blower 73. As described above, the mounting head cleaning device 70 is configured to prevent the cleaning fluid used for cleaning from scattering around.

(2−3.制御装置90)実装ヘッド洗浄装置70は、洗浄流体供給装置80を用いた洗浄処理において、実装ヘッド40および洗浄流体供給装置80の動作を制御する制御装置90を備える。制御装置90は、図7に示すように、洗浄制御部91と、記憶部92と、入出力インターフェイス93と、モータ制御回路94とを有する。
(2-3. Control Device 90) The mounting head cleaning device 70 includes a control device 90 that controls the operations of the mounting head 40 and the cleaning fluid supply device 80 in the cleaning processing using the cleaning fluid supply device 80. As shown in FIG. 7, the control device 90 includes a cleaning control unit 91, a storage unit 92, an input / output interface 93, and a motor control circuit 94.

洗浄制御部91は、主としてCPUにより構成される。洗浄制御部91は、予め記憶された洗浄用プログラムや図略の各種センサから出力される信号に基づいて、実装ヘッド40の各モータ42,51,56,66、洗浄流体供給装置80の洗浄切替バルブ84などの動作を制御する。記憶部92は、光学ドライブ装置またはフラッシュメモリなどにより構成される。記憶部92には、洗浄用プログラムを含む各種の制御データが記憶されている。
The cleaning control unit 91 is mainly configured by a CPU. The cleaning control unit 91 performs cleaning switching of the motors 42, 51, 56, 66 of the mounting head 40 and the cleaning fluid supply device 80 based on a cleaning program stored in advance and signals output from various sensors (not shown). The operation of the valve 84 and the like is controlled. The storage unit 92 is configured by an optical drive device, a flash memory, or the like. The storage unit 92 stores various control data including a cleaning program.

入出力インターフェイス93には、バスを介して洗浄制御部91、記憶部92、モータ制御回路94、および各種センサが接続される。入出力インターフェイス93は、洗浄制御部91や記憶部92とモータ制御回路94との間に介在し、データ形式の変換や信号強度を調整する。モータ制御回路94は、実装ヘッド洗浄装置70に取り付けられた実装ヘッド40のR軸モータ42、θ軸モータ51、Z軸モータ56およびステッピングモータ66を制御する。
The cleaning control unit 91, the storage unit 92, the motor control circuit 94, and various sensors are connected to the input / output interface 93 via a bus. The input / output interface 93 is interposed between the cleaning control unit 91 and the storage unit 92 and the motor control circuit 94, and adjusts data format conversion and signal strength. The motor control circuit 94 controls the R-axis motor 42, the θ-axis motor 51, the Z-axis motor 56, and the stepping motor 66 of the mounting head 40 attached to the mounting head cleaning device 70.

(3.実装ヘッド洗浄装置による洗浄処理)実装ヘッド洗浄装置70による実装ヘッド40の洗浄処理についての構成について、図6、図8〜図11を参照して説明する。実装ヘッド40は、洗浄処理に際して、全ての吸着ノズル46がノズル軸45から取り外された状態で、実装ヘッド洗浄装置70の本体部に取り付けられる。実装ヘッド40が取り付けられると、実装ヘッド洗浄装置70の供給管路88に実装ヘッド40の接続管路64が接続される。
(3. Cleaning Process by Mounting Head Cleaning Device) The configuration of the cleaning process of the mounting head 40 by the mounting head cleaning device 70 will be described with reference to FIGS. 6 and 8 to 11. The mounting head 40 is attached to the main body of the mounting head cleaning device 70 with all the suction nozzles 46 removed from the nozzle shaft 45 during the cleaning process. When the mounting head 40 is attached, the connection pipe 64 of the mounting head 40 is connected to the supply pipe 88 of the mounting head cleaning device 70.

これにより、実装ヘッド洗浄装置70は、洗浄流体供給装置80から実装ヘッド40のエア通路60に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給可能な状態となる。また、実装ヘッド40と実装ヘッド洗浄装置70は、電気系統および通信系統のコネクタを接続される。これにより、実装ヘッド洗浄装置70は、制御装置90により実装ヘッド40の各モータなどを制御可能な状態となる。
Thus, the mounting head cleaning device 70 is in a state where it is possible to supply the cleaning fluid composed of positive pressure air or oil mist from the cleaning fluid supply device 80 to the air passage 60 of the mounting head 40. The mounting head 40 and the mounting head cleaning device 70 are connected to connectors of an electric system and a communication system. Thus, the mounting head cleaning device 70 is in a state where the control device 90 can control each motor of the mounting head 40 and the like.

(3−1.洗浄処理の概要)本実施形態においては、オイルミストを用いた洗浄処理を例示する。洗浄処理において、図8に示すように、先ず洗浄工程(ステップ10(以下、「ステップ」を「S」と表記する))が実行される。洗浄工程(S10)は、洗浄処理のうち洗浄流体供給装置80によりエア通路60に供給されたオイルミストがエア通路60の開口端から噴出される工程である。これにより、実装ヘッド40に形成されたエア通路60がオイルミストで洗浄される。
(3-1. Outline of Cleaning Process) In the present embodiment, a cleaning process using an oil mist will be exemplified. In the cleaning process, as shown in FIG. 8, first, a cleaning step (Step 10 (hereinafter, “Step” is described as “S”)) is performed. The cleaning step (S10) is a step in which the oil mist supplied to the air passage 60 by the cleaning fluid supply device 80 is ejected from the opening end of the air passage 60 in the cleaning process. Thereby, the air passage 60 formed in the mounting head 40 is cleaned with the oil mist.

次に、送風工程(S30)が実行される。送風工程(S30)は、洗浄処理のうちエア通路60に正圧エアを供給して当該エア通路60に残留したオイルを除去する工程である。これにより、オイルミストを用いた洗浄工程(S10)によりエア通路60の内壁等に付着していたオイルがノズル軸45の先端などから噴出される。
Next, a blowing step (S30) is performed. The blowing step (S30) is a step of supplying positive pressure air to the air passage 60 in the cleaning process to remove oil remaining in the air passage 60. Thereby, the oil adhering to the inner wall of the air passage 60 or the like is jetted from the tip of the nozzle shaft 45 or the like in the washing step (S10) using the oil mist.

続いて、アイドリング工程(S50)が実行される。アイドリング工程(S50)は、洗浄処理のうちエア通路60における洗浄流体の流通を遮断した状態、即ちメカバルブ65がOFF状態でノズル軸45昇降させる工程である。これにより、ノズル軸45およびメカバルブ65の摺動部は、エア通路60に残ったオイルによって潤滑される。
Subsequently, an idling step (S50) is performed. The idling step (S50) is a step in which the flow of the cleaning fluid in the air passage 60 is shut off during the cleaning processing, that is, the step of moving the nozzle shaft 45 up and down with the mechanical valve 65 being OFF. Thus, the sliding portions of the nozzle shaft 45 and the mechanical valve 65 are lubricated by the oil remaining in the air passage 60.

(3−2.洗浄工程の詳細)洗浄処理における洗浄工程(S10)では、図9に示すように、先ずR軸モータ42の回転によってロータリヘッド44が基準となる原位置に移動される(S111)。次に、ロータリヘッド44が所定角度に割り出される(S112)。この「所定角度」とは、ロータリヘッド44に保持されるノズル軸45がN本である場合には、360/Nにより示される。
(3-2. Details of Cleaning Step) In the cleaning step (S10) in the cleaning processing, as shown in FIG. 9, first, the rotation of the R-axis motor 42 moves the rotary head 44 to the reference original position (S111). ). Next, the rotary head 44 is indexed at a predetermined angle (S112). The “predetermined angle” is represented by 360 / N when the number of nozzle shafts 45 held by the rotary head 44 is N.

続いて、ノズル軸45(吸着ノズル46)ごとに対応して設けられたメカバルブ65がステッピングモータ66の駆動により、OFF状態にされる(S113)。これにより、軸内通路61は、閉止された状態となる。制御装置90は、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返されたか否かを判断する(S114)。N回未満の場合には(S114:N)、上記のS111〜S114のステップが繰り返される。
Subsequently, the mechanical valve 65 provided for each nozzle shaft 45 (suction nozzle 46) is turned off by driving the stepping motor 66 (S113). Thereby, the in-shaft passage 61 is in a closed state. The control device 90 determines whether or not the calculation of the rotation angle of the rotary head 44 has been repeated N times (S114). If the number is less than N (S114: N), the above steps S111 to S114 are repeated.

この処理によって、各ノズル軸45に対応する全てのメカバルブ65がOFF状態となる。換言すると、各ノズル軸45の軸内通路61が閉止した状態にリセットされる。そして、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回に達したと判断された場合には(S114:Y)、S121に移行する。ここでは、洗浄切替バルブ84が図6の右側(洗浄用オイル通路86側)に切り替えられるとともに、吸引バルブ89が図6の左側に切り替えられる(S121)。
By this processing, all the mechanical valves 65 corresponding to the respective nozzle shafts 45 are turned off. In other words, the in-shaft passage 61 of each nozzle shaft 45 is reset to a closed state. When it is determined that the rotation angle of the rotary head 44 has been calculated N times (S114: Y), the process proceeds to S121. Here, the cleaning switching valve 84 is switched to the right side (the cleaning oil passage 86 side) in FIG. 6, and the suction valve 89 is switched to the left side in FIG. 6 (S121).

そうすると、コンプレッサ81からエア供給通路82に供給される正圧エアが、洗浄切替バルブ84を介して洗浄用オイル通路86に送り込まれる。洗浄用オイル通路86を正圧エアが流通すると、ルブリケータ87で生成されたミスト状のフッ素オイルが洗浄用オイル通路86に供給される。これにより、実装ヘッド洗浄装置70の供給管路88に洗浄流体であるオイルミストが供給される。
Then, the positive pressure air supplied from the compressor 81 to the air supply passage 82 is sent to the cleaning oil passage 86 via the cleaning switching valve 84. When the positive pressure air flows through the cleaning oil passage 86, the mist-like fluorine oil generated by the lubricator 87 is supplied to the cleaning oil passage 86. As a result, the oil mist as the cleaning fluid is supplied to the supply pipe 88 of the mounting head cleaning device 70.

供給管路88に供給されたオイルミストは、実装ヘッド40の接続管路64を介して実装ヘッド40のエア通路60に導入される。また、吸引バルブ89の切り替えによって、エア供給通路82に供給された正圧エアが、吸引バルブ89を介して吸引ブロア73に供給される。これにより、吸引ブロア73が作動状態となる。
The oil mist supplied to the supply pipe 88 is introduced into the air passage 60 of the mounting head 40 via the connection pipe 64 of the mounting head 40. The positive pressure air supplied to the air supply passage 82 is supplied to the suction blower 73 via the suction valve 89 by switching the suction valve 89. As a result, the suction blower 73 is activated.

続いて、昇降位置に割り出された最初のノズル軸45に対応するメカバルブ65が、ステッピングモータ66によって上昇されてON状態にされる(S122)。これにより、最初のノズル軸45の軸内通路61が開放される。そうすると、実装ヘッド40の導入通路63に導入されたオイルミストが、ヘッド内通路62を介してノズル軸45の軸内通路61に供給される。オイルミストは、エア通路60の開口端に相当するノズル軸45の先端から外部へと噴出される。
Subsequently, the mechanical valve 65 corresponding to the first nozzle shaft 45 indexed to the elevating position is raised by the stepping motor 66 and turned on (S122). Thereby, the first axial passage 61 of the nozzle shaft 45 is opened. Then, the oil mist introduced into the introduction passage 63 of the mounting head 40 is supplied to the shaft passage 61 of the nozzle shaft 45 via the head passage 62. The oil mist is ejected from the tip of the nozzle shaft 45 corresponding to the open end of the air passage 60 to the outside.

この状態で、制御装置90は、ノズル軸45が昇降されるとともに、当該ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45が軸線周り(θ軸周り)に回転されるように、実装ヘッド40の昇降機構および回転機構の動作を制御する(S123)。具体的には、ノズル軸45は、先ず昇降機構を構成するZ軸モータ56の駆動により、複数回に亘り昇降される。このとき、ノズル軸45は、回転機構を構成するθ軸モータ51の駆動により、ノズル軸45の1回の昇降動作ごとに予め設定された角度だけ回転される。
In this state, the control device 90 controls the mounting head 40 so that the nozzle shaft 45 is moved up and down and the nozzle shaft 45 is rotated around the axis (around the θ axis) in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft 45. The operation of the lifting mechanism and the rotating mechanism is controlled (S123). Specifically, the nozzle shaft 45 is first raised and lowered a plurality of times by driving a Z-axis motor 56 constituting a lifting mechanism. At this time, the nozzle shaft 45 is rotated by a preset angle each time the nozzle shaft 45 moves up and down by driving the θ-axis motor 51 constituting the rotation mechanism.

上記のノズル軸45の回転角度は、連続するノズル軸45の昇降動作の間でノズル軸45の下降開始時の割り出し角度が相違するように設定される。例えば、回転角度が370度に設定された場合に、制御装置90は、ノズル軸45の下降時および上昇時に同方向にそれぞれ185度ずつノズル軸45を回転させる。これにより、次回のノズル軸45の昇降動作の下降開始時の割り出し角度が10度ずつ相違する。
The rotation angle of the nozzle shaft 45 is set so that the index angle at the start of the lowering of the nozzle shaft 45 is different between the successive raising and lowering operations of the nozzle shaft 45. For example, when the rotation angle is set to 370 degrees, the control device 90 rotates the nozzle shaft 45 by 185 degrees in the same direction when the nozzle shaft 45 descends and rises. As a result, the index angle at the start of the descent of the next elevating operation of the nozzle shaft 45 differs by 10 degrees.

このように、ノズル軸45が昇降されるように昇降機構が動作するノズル軸昇降ステップと、ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45が軸線周りに回転されるように回転機構が動作するノズル軸回転ステップとが実行される(S123)。これにより、エア通路60およびノズル軸45の摺動部(ロータリヘッド44との嵌合部)に入り込んだ塵埃などがオイルミストにより除去される。また、ノズル軸45が回転動作することにより、ノズル軸45の外周側に形成された環状溝が全周に亘り洗浄される。ノズル軸45の先端より噴出されたオイルミストは、吸引ブロア73によって吸引される。
Thus, the nozzle shaft raising / lowering step in which the lifting / lowering mechanism operates so that the nozzle shaft 45 is raised / lowered, and the rotation mechanism operates so that the nozzle shaft 45 is rotated around the axis in synchronization with the lifting / lowering operation of the nozzle shaft 45. Is performed (S123). As a result, dust and the like that have entered the sliding portion of the air passage 60 and the nozzle shaft 45 (the fitting portion with the rotary head 44) are removed by the oil mist. In addition, as the nozzle shaft 45 rotates, the annular groove formed on the outer peripheral side of the nozzle shaft 45 is washed over the entire circumference. The oil mist ejected from the tip of the nozzle shaft 45 is sucked by the suction blower 73.

続いて、軸内通路61を洗浄されたノズル軸45に対応したメカバルブ65が、再びOFF状態にされる(S124)。これにより、軸内通路61が閉止される。そして、ロータリヘッド44が所定角度に割り出される(S125)。制御装置90は、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返されたか否かを判定する(S126)。N回未満の場合には(S126:N)、上記のS122〜S126のステップが繰り返される。
Subsequently, the mechanical valve 65 corresponding to the nozzle shaft 45 having cleaned the shaft passage 61 is turned off again (S124). Thereby, the in-shaft passage 61 is closed. Then, the rotary head 44 is indexed at a predetermined angle (S125). The control device 90 determines whether or not indexing of the rotation angle of the rotary head 44 has been repeated N times (S126). If the number is less than N (S126: N), the above steps S122 to S126 are repeated.

この処理により、1〜N番目のノズル軸45の軸内通路61によりエア通路60が順次構成されるとともに、各軸内通路61が順次洗浄される。そして、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返された場合には(S126:Y)、N番目のノズル軸45の軸内通路61により構成されるエア通路60が洗浄された状態にある。その後に、洗浄切替バルブ84および吸引バルブ89は、原位置(図6を参照)にそれぞれ切り替えられる(S127)。これにより、実装ヘッド40へのオイルミストの供給、および吸引ブロア73への正圧エアの供給が停止される。
By this process, the air passages 60 are sequentially formed by the axial passages 61 of the first to Nth nozzle shafts 45, and the respective axial passages 61 are sequentially washed. When the rotation angle of the rotary head 44 is determined N times (S126: Y), the air passage 60 formed by the in-shaft passage 61 of the N-th nozzle shaft 45 is in a cleaned state. . Thereafter, the cleaning switching valve 84 and the suction valve 89 are respectively switched to the original positions (see FIG. 6) (S127). Thus, the supply of the oil mist to the mounting head 40 and the supply of the positive pressure air to the suction blower 73 are stopped.

(3−3.送風工程の詳細)洗浄処理における送風工程(S30)では、図10に示すように、先ず洗浄切替バルブ84が図6の左側(洗浄用エア通路85側)に切り替えられるとともに、吸引バルブ89が図6の左側に切り替えられる(S311)。そうすると、コンプレッサ81からエア供給通路82に供給された正圧エアが、洗浄切替バルブ84を介して洗浄用エア通路85に送り込まれる。また、エア供給通路82に供給された正圧エアが、吸引バルブ89を介して吸引ブロア73に供給される。これにより、吸引ブロア73が作動状態となる。
(3-3. Details of Blowing Step) In the blowing step (S30) in the cleaning process, as shown in FIG. 10, first, the cleaning switching valve 84 is switched to the left side (the cleaning air passage 85 side) in FIG. The suction valve 89 is switched to the left side in FIG. 6 (S311). Then, the positive pressure air supplied from the compressor 81 to the air supply passage 82 is sent into the cleaning air passage 85 via the cleaning switching valve 84. The positive pressure air supplied to the air supply passage 82 is supplied to the suction blower 73 via the suction valve 89. As a result, the suction blower 73 is activated.

次に、昇降位置に割り出されている最初のノズル軸45に対応するメカバルブ65が、ON状態にされる(S312)。これにより、最初のノズル軸45の軸内通路61が解放される。そうすると、実装ヘッド40の導入通路63に導入された正圧エアが、ヘッド内通路62を介してノズル軸45の軸内通路61に供給される。正圧エアは、エア通路60の開口端に相当するノズル軸45の先端から外部へと噴出する。
Next, the mechanical valve 65 corresponding to the first nozzle shaft 45 indexed to the elevating position is turned on (S312). Thereby, the first axial passage 61 of the nozzle shaft 45 is released. Then, the positive pressure air introduced into the introduction passage 63 of the mounting head 40 is supplied to the in-shaft passage 61 of the nozzle shaft 45 via the in-head passage 62. The positive pressure air blows out from the tip of the nozzle shaft 45 corresponding to the open end of the air passage 60 to the outside.

この状態で、制御装置90は、ノズル軸45を複数回に亘り昇降させるとともに、当該ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周り( θ軸周り)に回転させる(S313)。制御装置90によるノズル軸45の昇降動作および回転動作の同期制御については、洗浄工程(S10)のS123における同期制御と実質的に同一であるため、詳細な説明を省略する。
In this state, the control device 90 raises and lowers the nozzle shaft 45 a plurality of times, and rotates the nozzle shaft 45 around the axis (around the θ axis) in synchronization with the raising and lowering operation of the nozzle shaft 45 (S313). Synchronous control of the raising / lowering operation and rotation operation of the nozzle shaft 45 by the control device 90 is substantially the same as the synchronous control in S123 of the cleaning step (S10), and thus detailed description is omitted.

このようなノズル軸45の動作により、エア通路60、ノズル軸45の摺動部、およびメカバルブ65の摺動部に残留したオイルが吹き飛ばされて除去される。また、ノズル軸45が回転動作することにより、ノズル軸45の外周側に形成された環状溝に残留したオイルも同様に、全周に亘り除去される。このように除去されたオイルは、正圧エアとともにノズル軸45の先端から噴出され、吸引ブロア73によって吸引される。
By the operation of the nozzle shaft 45, oil remaining on the air passage 60, the sliding portion of the nozzle shaft 45, and the sliding portion of the mechanical valve 65 is blown off and removed. Further, as the nozzle shaft 45 rotates, oil remaining in the annular groove formed on the outer peripheral side of the nozzle shaft 45 is also removed over the entire circumference. The oil thus removed is ejected from the tip of the nozzle shaft 45 together with the positive pressure air, and is sucked by the suction blower 73.

続いて、軸内通路61のオイルを除去されたノズル軸45に対応したメカバルブ65が、再びOFF状態にされる(S314)。これにより、軸内通路61が閉止される。そして、ロータリヘッド44が所定角度に割り出される(S315)。制御装置90は、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返されたか否かを判定する(S316)。N回未満の場合には(S316:N)、上記のS312〜S316のステップが繰り返される。
Subsequently, the mechanical valve 65 corresponding to the nozzle shaft 45 from which the oil in the shaft passage 61 has been removed is turned off again (S314). Thereby, the in-shaft passage 61 is closed. Then, the rotary head 44 is indexed at a predetermined angle (S315). The control device 90 determines whether or not indexing of the rotation angle of the rotary head 44 has been repeated N times (S316). If the number is less than N (S316: N), the above steps S312 to S316 are repeated.

この処理により、1〜N番目のノズル軸45の軸内通路61によりエア通路60が順次構成されるとともに、各軸内通路61に残留したオイルが順次除去される。そして、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返された場合には(S316:Y)、N番目のノズル軸45の軸内通路61により構成されるエア通路60は、残留したオイルを除去された状態にある。その後に、洗浄切替バルブ84および吸引バルブ89は、原位置(図6を参照)にそれぞれ切り替えられる(S317)。これにより、実装ヘッド40および吸引ブロア73への正圧エアの供給が停止される。
By this process, the air passages 60 are sequentially formed by the axial passages 61 of the first to Nth nozzle shafts 45, and the oil remaining in each axial passage 61 is sequentially removed. When the rotation angle of the rotary head 44 is determined N times (S316: Y), the air passage 60 formed by the in-shaft passage 61 of the N-th nozzle shaft 45 removes residual oil. It is in the state that was done. Thereafter, the cleaning switching valve 84 and the suction valve 89 are respectively switched to the original positions (see FIG. 6) (S317). Thus, the supply of the positive pressure air to the mounting head 40 and the suction blower 73 is stopped.

(3−4.アイドリング工程の詳細)洗浄処理におけるアイドリング工程(S50)では、エア通路60における洗浄流体の流通を遮断した状態、即ち洗浄切替バルブ84が原位置(図6を参照)にあり正圧エアもオイルミストも実装ヘッド40に供給されていない状態で実行される。
(3-4. Details of Idling Step) In the idling step (S50) in the cleaning process, the flow of the cleaning fluid in the air passage 60 is shut off, that is, the cleaning switching valve 84 is in the original position (see FIG. 6), and the cleaning process is correct. The process is executed in a state where neither the compressed air nor the oil mist is supplied to the mounting head 40.

上記の状態において、図11に示すように、制御装置90は、ノズル軸45を昇降させるとともに、当該ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周り(θ軸周り)に回転させる(S511)。このとき、制御装置90は、ノズル軸45の1回の昇降動作におけるノズル軸45の回転角度が360度以上となるように、実装ヘッド40の昇降機構および回転機構の動作を制御する。
In the above state, as shown in FIG. 11, the control device 90 raises and lowers the nozzle shaft 45, and rotates the nozzle shaft 45 around the axis (around the θ axis) in synchronization with the raising and lowering operation of the nozzle shaft 45. (S511). At this time, the control device 90 controls the operation of the lifting mechanism and the rotation mechanism of the mounting head 40 such that the rotation angle of the nozzle shaft 45 in one lifting operation of the nozzle shaft 45 becomes 360 degrees or more.

次に、昇降位置に割り出されている最初のノズル軸45に対応するメカバルブ65が、昇降される(S512)。これにより、メカバルブ65は、ON状態に切り替えられた後に、再びOFF状態に戻される。このように、ノズル軸45およびメカバルブ65が動作(S511,S512)すると、それぞれの摺動部は、洗浄流体に含まれていたオイルにより潤滑される。
Next, the mechanical valve 65 corresponding to the first nozzle shaft 45 indexed to the elevating position is moved up and down (S512). Thereby, the mechanical valve 65 is returned to the OFF state again after being switched to the ON state. Thus, when the nozzle shaft 45 and the mechanical valve 65 operate (S511, S512), the respective sliding parts are lubricated by the oil contained in the cleaning fluid.

続いて、ロータリヘッド44が所定角度に割り出される(S513)。制御装置90は、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返されたか否かを判定する(S514)。N回未満の場合には(S514:N)、上記のS511〜S513のステップが繰り返される。この処理により、1〜N番目のノズル軸45およびメカバルブ65が順次アイドリング運転されて、各摺動部が潤滑される。
Subsequently, the rotary head 44 is indexed at a predetermined angle (S513). The control device 90 determines whether or not indexing of the rotation angle of the rotary head 44 has been repeated N times (S514). If the number is less than N (S514: N), the above steps S511 to S513 are repeated. By this processing, the first to Nth nozzle shafts 45 and the mechanical valve 65 are sequentially operated in an idling manner, and each sliding portion is lubricated.

そして、ロータリヘッド44の回転角度の割り出しがN回繰り返された場合には(S514:Y)、N番目のノズル軸45および当該ノズル軸45に対応するメカバルブ65は、アイドリング運転を終了した状態にある。制御装置90は、その後に、アイドリング工程(S50)を終了するとともに、洗浄処理(図8を参照)を終了する。
When the rotation angle of the rotary head 44 is calculated N times (S514: Y), the N-th nozzle shaft 45 and the mechanical valve 65 corresponding to the nozzle shaft 45 are in a state where the idling operation has been completed. is there. After that, the control device 90 ends the idling step (S50) and ends the cleaning process (see FIG. 8).

なお、上記の態様においては、制御装置90は、1組のノズル軸45およびメカバルブ65について、それぞれ1回ずつ昇降させる構成とした。これに対して、制御装置90は、ノズル軸45およびメカバルブ65を複数回に亘り昇降させてもよい。また、アイドリング工程(S50)では、洗浄流体の流通が遮断された状態にある。そこで、制御装置90は、ノズル軸45の昇降動作と回転動作の同期制御(S511)と、メカバルブ65の昇降動作の制御(S512)を同時に実行してもよい。
In the above embodiment, the control device 90 is configured to raise and lower the nozzle shaft 45 and the mechanical valve 65 once each. On the other hand, the control device 90 may move the nozzle shaft 45 and the mechanical valve 65 up and down a plurality of times. In the idling step (S50), the flow of the cleaning fluid is shut off. Therefore, the control device 90 may simultaneously execute the synchronous control of the elevating operation and the rotating operation of the nozzle shaft 45 (S511) and the control of the elevating operation of the mechanical valve 65 (S512).

(4.実施形態の構成による効果)本実施形態に係る実装ヘッド洗浄装置70および実装ヘッド洗浄方法は、負圧エア供給装置によりエア通路60を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズル46と、吸着ノズル46を着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸45と、を備える実装ヘッド40を対象とする。実装ヘッド洗浄装置70は、実装ヘッド40の内部に形成されたエア通路60を洗浄する。実装ヘッド洗浄装置70は、エア通路60に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置80と、洗浄流体供給装置80を用いた洗浄処理において、ノズル軸45が昇降されるとともに、当該ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45が軸線周りに回転されるように、昇降機構の動作および回転機構の動作を制御する制御装置90と、を備える。また、実装ヘッド洗浄方法は、エア通路60に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置80を用いた洗浄処理において、ノズル軸45が昇降されるように昇降機構が動作するノズル軸昇降ステップ(S123)と、当該ノズル軸昇降ステップにおけるノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45が軸線周りに回転されるように回転機構が動作するノズル軸回転ステップ(S123)と、を備える。
(4. Effects of the Configuration of the Embodiment) In the mounting head cleaning apparatus 70 and the mounting head cleaning method according to the present embodiment, the component is sucked by the negative pressure air supplied through the air passage 60 by the negative pressure air supply device. The mounting head 40 includes a suction nozzle 46 and a nozzle shaft 45 that detachably holds the suction nozzle 46 and that can be moved up and down by a lifting mechanism and rotatable by a rotation mechanism. The mounting head cleaning device 70 cleans the air passage 60 formed inside the mounting head 40. In the mounting head cleaning device 70, a cleaning fluid supply device 80 that supplies a cleaning fluid composed of positive pressure air or oil mist to the air passage 60, and a nozzle shaft 45 is moved up and down in a cleaning process using the cleaning fluid supply device 80. And a control device 90 for controlling the operation of the elevating mechanism and the operation of the rotating mechanism so that the nozzle shaft 45 is rotated around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft 45. Further, in the mounting head cleaning method, in a cleaning process using a cleaning fluid supply device 80 that supplies a cleaning fluid composed of positive pressure air or oil mist to the air passage 60, an elevating mechanism operates so that the nozzle shaft 45 is raised and lowered. Nozzle shaft raising and lowering step (S123), and a nozzle shaft rotating step (S123) in which the rotating mechanism operates so that the nozzle shaft 45 is rotated around the axis in synchronization with the raising and lowering operation of the nozzle shaft 45 in the nozzle shaft raising and lowering step. And.

このような構成によると、実装ヘッド40に形成されたエア通路60が全体に亘り洗浄される。本実施形態においては、ノズル軸45の外周側に形成された環状溝が全周に亘り洗浄され、エア通路60において洗浄される部位が偏ることが防止される。よって、洗浄効率が向上し、洗浄処理に要する時間が短縮される。
According to such a configuration, the air passage 60 formed in the mounting head 40 is entirely washed. In the present embodiment, the annular groove formed on the outer peripheral side of the nozzle shaft 45 is cleaned over the entire circumference, and the portion to be cleaned in the air passage 60 is prevented from being biased. Therefore, the cleaning efficiency is improved, and the time required for the cleaning process is reduced.

本実施形態において、制御装置90は、洗浄処理のうち洗浄流体供給装置80によりエア通路60に供給された洗浄流体が当該エア通路60の開口端から噴出される洗浄工程(S10)において、ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周りに回転させる(S123)。
In the present embodiment, in the cleaning step (S10) in which the cleaning fluid supplied to the air passage 60 by the cleaning fluid supply device 80 is jetted from the open end of the air passage 60 during the cleaning process, the control device 90 controls the nozzle shaft. The nozzle shaft 45 is rotated around the axis in synchronization with the raising / lowering operation of the nozzle 45 (S123).

ここで、ノズル軸45は、実装ヘッド40の本体部に対して昇降可能に且つ回転可能に保持されている。そのため、実装ヘッド40の本体部とノズル軸45を連通するエア通路60は、ノズル軸45の昇降動作および回転動作に伴い伸縮する。このような構成において、洗浄工程(S10)においてノズル軸45を昇降させつつ軸線周りに回転させることにより(S123)、伸縮するエア通路60を万遍なく洗浄流体(オイルミスト)が流通する。これにより、エア通路60に吸引された塵埃などが確実に除去される。従って、洗浄効率が向上し、洗浄処理に要する時間が短縮される。
Here, the nozzle shaft 45 is held rotatably and rotatably with respect to the main body of the mounting head 40. Therefore, the air passage 60 that communicates the main body of the mounting head 40 with the nozzle shaft 45 expands and contracts as the nozzle shaft 45 moves up and down and rotates. In such a configuration, in the cleaning step (S10), the nozzle fluid 45 is rotated around the axis while moving up and down (S123), so that the cleaning fluid (oil mist) flows evenly through the air path 60 that expands and contracts. As a result, dust and the like sucked into the air passage 60 are reliably removed. Therefore, the cleaning efficiency is improved, and the time required for the cleaning process is reduced.

本実施形態において、洗浄流体は、オイルミストである。制御装置90は、洗浄処理のうちエア通路60に正圧エアを供給して当該エア通路60に残留したオイルを除去する送風工程(S30)において、ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周りに回転させる(S313)。
In the present embodiment, the cleaning fluid is an oil mist. In the air blowing step (S30) of supplying positive pressure air to the air passage 60 and removing the oil remaining in the air passage 60 in the cleaning process, the control device 90 controls the nozzle shaft 45 in synchronization with the vertical movement of the nozzle shaft 45. 45 is rotated around the axis (S313).

このような構成によると、ノズル軸45の摺動部やエア通路60に残留したオイルが吹き飛ばされて除去される。また、ノズル軸45が回転動作することにより、ノズル軸45の外周側に形成された環状溝に残留したオイルも同様に、全周に亘り除去される。また、ノズル軸45の摺動部に、正圧エアの一部が進入する。これにより、エア通路60に残留した一部のオイルは、正圧エアの流通に伴ってノズル軸45の摺動部に送り込まれる。これにより、摺動部にオイルが供給され、摺動部の潤滑性が向上される。
According to such a configuration, the oil remaining in the sliding portion of the nozzle shaft 45 and the air passage 60 is blown off and removed. Further, as the nozzle shaft 45 rotates, oil remaining in the annular groove formed on the outer peripheral side of the nozzle shaft 45 is also removed over the entire circumference. Further, a part of the positive pressure air enters the sliding portion of the nozzle shaft 45. Thereby, a part of the oil remaining in the air passage 60 is sent to the sliding portion of the nozzle shaft 45 with the flow of the positive pressure air. Thereby, oil is supplied to the sliding portion, and the lubricating property of the sliding portion is improved.

本実施形態において、洗浄流体は、オイルミストである。制御装置90は、洗浄処理のうちエア通路60における洗浄流体の流通を遮断した状態でノズル軸45を昇降させるアイドリング工程(S50)において、ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周りに回転させる(S511)。
In the present embodiment, the cleaning fluid is an oil mist. In the idling step (S50) of raising and lowering the nozzle shaft 45 in a state where the flow of the cleaning fluid in the air passage 60 is interrupted in the cleaning process, the controller 90 sets the axis of the nozzle shaft 45 in synchronization with the vertical movement of the nozzle shaft 45. It is rotated around (S511).

このような構成によると、ノズル軸45の摺動部がオイルミストに含まれていたオイルによって潤滑される。よって、ノズル軸45の潤滑性が向上する。
According to such a configuration, the sliding portion of the nozzle shaft 45 is lubricated by the oil contained in the oil mist. Therefore, the lubricity of the nozzle shaft 45 is improved.

本実施形態において、ノズル軸45を複数回に亘り昇降させる場合に、連続する昇降動作の間でノズル軸45の下降開始時の割り出し角度が相違するように、1回の昇降動作におけるノズル軸45の回転角度が設定される。制御装置90は、設定されたノズル軸45の回転角度に基づいて、昇降機構の動作および回転機構の動作を制御する(S123,S313)。
In the present embodiment, when the nozzle shaft 45 is moved up and down a plurality of times, the nozzle shaft 45 in one elevating operation is changed so that the index angle at the start of lowering of the nozzle shaft 45 differs between successive elevating operations. Is set. The control device 90 controls the operation of the elevating mechanism and the operation of the rotating mechanism based on the set rotation angle of the nozzle shaft 45 (S123, S313).

このような構成によると、ノズル軸45のZ方向位置に対してノズル軸45の割り出し角度が変化する。これにより、エア通路60の形状が変化するので、エア通路60において洗浄される部位が一部に偏ることが防止される。よって、エア通路60に万遍なく洗浄流体が流通し、洗浄工程(S10)においては洗浄効率が向上し、また送風工程(S30)においは残留するオイルが好適に除去される。
According to such a configuration, the index angle of the nozzle shaft 45 changes with respect to the position of the nozzle shaft 45 in the Z direction. Accordingly, the shape of the air passage 60 changes, so that the portion to be cleaned in the air passage 60 is prevented from being partially biased. Therefore, the cleaning fluid flows evenly in the air passage 60, the cleaning efficiency is improved in the cleaning step (S10), and the remaining oil is suitably removed in the air blowing step (S30).

本実施形態において、制御装置90は、ノズル軸45の昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周りに回転させる場合に、1回の昇降動作におけるノズル軸45の回転角度が360度以上となるように、昇降機構の動作および回転機構の動作を制御する(S123,S313,S511)。
In the present embodiment, when the control device 90 rotates the nozzle shaft 45 around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft 45, the rotation angle of the nozzle shaft 45 in one elevating operation becomes 360 degrees or more. Thus, the operation of the elevating mechanism and the operation of the rotating mechanism are controlled (S123, S313, S511).

このような構成によると、少なくとも1回の昇降動作でノズル軸45が1周以上に亘り回転する。これにより、ロータリヘッド44とノズル軸45との間を連通するエア通路60の形状が好適に変化して、洗浄工程(S10)においては、洗浄効率が向上する。また、送風工程(S30)においては、残留するオイルが好適に除去される。アイドリング工程(S50)においては、ノズル軸45の摺動部が好適に潤滑される。
According to such a configuration, the nozzle shaft 45 rotates over at least one round by at least one elevating operation. Thereby, the shape of the air passage 60 communicating between the rotary head 44 and the nozzle shaft 45 is suitably changed, and the cleaning efficiency is improved in the cleaning step (S10). In the blowing step (S30), the remaining oil is suitably removed. In the idling step (S50), the sliding portion of the nozzle shaft 45 is suitably lubricated.

<実施形態の変形態様>(洗浄流体について)実施形態において、オイルミストを洗浄流体として用いた洗浄処理を例示した。これに対して、洗浄処理には、オイルを含まない正圧エアを洗浄流体として用いてもよい。具体的には、洗浄工程(S10)のS121(図9を参照)において、洗浄切替バルブ84が図6の左側(洗浄用エア通路85側)に切り替えられる。これにより、
<Modification of Embodiment> (Regarding Cleaning Fluid) In the embodiment, the cleaning process using the oil mist as the cleaning fluid has been exemplified. On the other hand, in the cleaning process, positive pressure air containing no oil may be used as the cleaning fluid. Specifically, in S121 (see FIG. 9) of the cleaning step (S10), the cleaning switching valve 84 is switched to the left side (the cleaning air passage 85 side) in FIG. This allows

コンプレッサ81からエア供給通路82に供給される正圧エアが、洗浄切替バルブ84を介して洗浄用エア通路85に送り込まれる。これにより、実装ヘッド洗浄装置70の供給管路88に洗浄流体である正圧エアが供給される。正圧エアを洗浄流体とする洗浄処理においては、残留したオイルを除去する送風工程(S30)およびオイルにより潤滑を促すアイドリング工程(S50)が不要となる。
Positive pressure air supplied from the compressor 81 to the air supply passage 82 is sent into the cleaning air passage 85 via the cleaning switching valve 84. Thereby, positive pressure air as a cleaning fluid is supplied to the supply pipe 88 of the mounting head cleaning device 70. In the cleaning process using positive pressure air as the cleaning fluid, the air blowing step (S30) for removing residual oil and the idling step (S50) for promoting lubrication with oil are not required.

(ノズル軸の昇降動作と回転動作の同期制御について)実施形態において、ノズル軸45は、以下の場合に昇降動作と回転動作が同期して制御されるものとして例示した。即ち、洗浄工程(S10)の洗浄時(S123)、送風工程(S30)のオイルの除去時(S313)、およびアイドリング工程(S50)の潤滑時(S511)に、昇降動作に回転動作が同期して制御される。
(Regarding Synchronous Control of Up / Down Operation and Rotation Operation of Nozzle Shaft) In the embodiment, the nozzle shaft 45 has been exemplified as being controlled in synchronization with the up / down operation and rotation operation in the following cases. That is, during the cleaning (S123) in the cleaning step (S10), when removing the oil (S313) in the air blowing step (S30), and during lubrication (S511) in the idling step (S50), the rotation operation is synchronized with the lifting / lowering operation. Controlled.

これに対して、ノズル軸45の同期制御は、上記の何れかの時期を適宜組み合わせて実行されるようにしてもよい。その他に、ノズル軸45の同期制御は、エア通路60が減圧または増圧されている状態で実行されるようにしてもよい。具体的には、以下のような態様がある。
On the other hand, the synchronous control of the nozzle shaft 45 may be executed by appropriately combining any of the above-mentioned timings. Alternatively, the synchronous control of the nozzle shaft 45 may be performed in a state where the air passage 60 is being reduced or increased in pressure. Specifically, there are the following aspects.

即ち、ノズル軸45には、エア通路60を閉塞するダミーノズルが吸着ノズル46に替えて装着される。ダミーノズルは、例えば吸着ノズル46と同様の外観形状を有し、吸着ノズル46とは先端部に開口部を有しない点で相違する。これにより、ノズル軸45にダミーノズルが装着されると、エア通路60は、実装ヘッド40側の端部において閉塞された状態となる。
That is, a dummy nozzle that closes the air passage 60 is mounted on the nozzle shaft 45 instead of the suction nozzle 46. The dummy nozzle has, for example, an appearance similar to that of the suction nozzle 46, and differs from the suction nozzle 46 in that the dummy nozzle does not have an opening at the tip. Accordingly, when the dummy nozzle is mounted on the nozzle shaft 45, the air passage 60 is closed at the end on the mounting head 40 side.

そして、制御装置90は、閉塞されたエア通路60に負圧エアを供給してエア通路60を減圧、または正圧エアを供給してエア通路60を増圧する。制御装置90は、エア通路60が減圧または増圧されている際に、ノズル軸45を昇降させ、この昇降動作に同期してノズル軸45を軸線周り(θ軸周り)に回転させる。制御装置90は、これを洗浄工程(S10)などと同様に、1〜N番目のノズル軸45に対して順次実行する。
Then, the control device 90 supplies negative pressure air to the closed air passage 60 to reduce the pressure in the air passage 60 or supplies positive pressure air to increase the pressure in the air passage 60. The control device 90 raises and lowers the nozzle shaft 45 when the pressure of the air passage 60 is reduced or increased, and rotates the nozzle shaft 45 around the axis (around the θ axis) in synchronization with the raising and lowering operation. The control device 90 sequentially executes this for the first to N-th nozzle shafts 45 as in the cleaning step (S10).

このようなノズル軸45の同期制御によると、エア通路60が減圧された場合には、ノズル軸45の摺動部やメカバルブ65の摺動部を介して外気が流入する。また、エア通路60が増圧された場合には、ノズル軸45の摺動部やメカバルブ65の摺動部を介して外部に正圧エアが流出する。これにより、摺動部に侵入した塵埃などが効率的に除去される。また、摺動部にオイルが効率的に送り込まれるので、摺動部が好適に潤滑される。
According to such synchronous control of the nozzle shaft 45, when the pressure in the air passage 60 is reduced, outside air flows in through the sliding portion of the nozzle shaft 45 and the sliding portion of the mechanical valve 65. When the pressure in the air passage 60 is increased, the positive pressure air flows out through the sliding portion of the nozzle shaft 45 and the sliding portion of the mechanical valve 65. As a result, dust and the like that have entered the sliding portion are efficiently removed. Further, since the oil is efficiently fed into the sliding portion, the sliding portion is suitably lubricated.

(洗浄処理におけるメカバルブの動作について)実施形態において、メカバルブ65は、洗浄工程(S10)の洗浄時の前後(S122,S124)、および送風工程(S30)のオイルの除去時の前後(S312,S314)において昇降して、ON状態またはOFF状態に切り替えられる。これに対して、制御装置90は、洗浄処理においてエア通路60に洗浄流体が供給されている際に、メカバルブ65の切り換えを複数回に亘り行ってもよい。
(Regarding the operation of the mechanical valve in the cleaning process) In the embodiment, the mechanical valve 65 controls before and after the cleaning (S122, S124) in the cleaning step (S10) and before and after the oil removal in the blowing step (S30) (S312, S314). ), And is switched to an ON state or an OFF state. On the other hand, the control device 90 may switch the mechanical valve 65 a plurality of times when the cleaning fluid is supplied to the air passage 60 in the cleaning process.

例えば、メカバルブ65は、洗浄工程(S10)の洗浄時(S123)において、洗浄流体の供給を寸断するように、短期的にOFF状態にされ再びON状態に切り替えられる。これにより、制御装置90は、エア通路60に作用する圧力を上下させる。そうすると、エア通路60における洗浄流体の流通量の変化が生じて、エア通路60に堆積した塵埃などが効率的に除去される。
For example, at the time of cleaning (S123) in the cleaning process (S10), the mechanical valve 65 is turned off for a short period of time so as to cut off the supply of the cleaning fluid, and is then turned on again. Thereby, the control device 90 raises and lowers the pressure acting on the air passage 60. Then, the flow rate of the cleaning fluid in the air passage 60 changes, and dust and the like accumulated in the air passage 60 are efficiently removed.

1:部品実装機10:基板搬送装置、 20:部品供給装置、 30:部品移載装置40:実装ヘッド、45:ノズル軸、 46:吸着ノズル47:従動ギヤ、 48:θ軸ギヤ、 51:θ軸モータ52:駆動ギヤ、 53:ノズルギヤ54:ノズル作動部材、 55:ガイドバー、 56:Z軸モータ57:ボールねじ機構、 58:ノズルレバー60:エア通路、 65:メカニカル切替バルブ(メカバルブ)70:実装ヘッド洗浄装置80:洗浄流体供給装置90:制御装置
1: Component mounting machine 10: Board transfer device, 20: Component supply device, 30: Component transfer device 40: Mounting head, 45: Nozzle shaft, 46: Suction nozzle 47: Driven gear, 48: θ-axis gear, 51: θ-axis motor 52: drive gear 53: nozzle gear 54: nozzle operating member 55: guide bar 56: Z-axis motor 57: ball screw mechanism 58: nozzle lever 60: air passage 65: mechanical switching valve (mechanical valve) 70: Mounting head cleaning device 80: Cleaning fluid supply device 90: Control device

Claims (9)

負圧エア供給装置からエア通路を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸と、を備える実装ヘッドを対象とし、
前記実装ヘッドの内部に形成された前記エア通路を洗浄する実装ヘッド洗浄装置であって、
前記実装ヘッド洗浄装置は、
部品実装機から取り外された前記実装ヘッドが固定されるクランプ機構と、
前記エア通路に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置と、
前記洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、前記ノズル軸が昇降されるとともに、当該ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸が軸線周りに回転されるように、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する制御装置と、
を備え
前記洗浄流体は、前記オイルミストであり、
前記洗浄処理には、前記エア通路における前記洗浄流体の流通を遮断した状態で前記ノズル軸を昇降させるアイドリング工程が含まれ、
前記制御装置は、前記アイドリング工程において、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる実装ヘッド洗浄装置。
A suction nozzle for sucking a component by negative pressure air supplied from the negative pressure air supply device through an air passage;
The suction nozzle is detachably held, a nozzle shaft held rotatably by a lift mechanism and rotatable by a rotation mechanism, and is intended for a mounting head including:
A mounting head cleaning device for cleaning the air passage formed inside the mounting head,
The mounting head cleaning device,
A clamp mechanism to which the mounting head removed from the component mounter is fixed,
A cleaning fluid supply device for supplying a cleaning fluid comprising positive pressure air or oil mist to the air passage;
In the cleaning process using the cleaning fluid supply device, the nozzle shaft is moved up and down, and the operation of the elevating mechanism is performed so that the nozzle shaft is rotated around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft. A control device for controlling the operation of the rotation mechanism,
Equipped with a,
The cleaning fluid is the oil mist,
The cleaning process includes an idling step of raising and lowering the nozzle shaft in a state where the flow of the cleaning fluid in the air passage is blocked,
Said control device, wherein in the idling step synchronization with mounting head cleaning device you want to rotate. The nozzle shaft about the axis in the vertical movement of the nozzle axis.
前記ノズル軸には、前記エア通路の開口端を閉塞するダミーノズルが前記吸着ノズルに替えて装着され、
前記制御装置は、前記エア通路に前記負圧エア供給して前記エア通路が減圧されている際に、または前記エア通路に前記正圧エア供給して前記エア通路が増圧されている際に、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる、請求項1の実装ヘッド洗浄装置。
A dummy nozzle closing the open end of the air passage is mounted on the nozzle shaft in place of the suction nozzle,
Wherein the control device, wherein by supplying the negative pressure air to the air passage when said air passage is depressurized, or the air passage supplying the positive pressure air in the air passage is pressure increase 2. The mounting head cleaning device according to claim 1, wherein the nozzle shaft is rotated around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft.
負圧エア供給装置からエア通路を介して供給される負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを着脱可能に保持し、昇降機構により昇降可能に且つ回転機構により自転可能に保持されたノズル軸と、を備える実装ヘッドを対象とし、
前記実装ヘッドの内部に形成された前記エア通路を洗浄する実装ヘッド洗浄装置であって、
前記実装ヘッド洗浄装置は、
部品実装機から取り外された前記実装ヘッドが固定されるクランプ機構と、
前記エア通路に正圧エアまたはオイルミストからなる洗浄流体を供給する洗浄流体供給装置と、
前記洗浄流体供給装置を用いた洗浄処理において、前記ノズル軸が昇降されるとともに、当該ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸が軸線周りに回転されるように、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する制御装置と、
を備え
前記ノズル軸には、前記エア通路の開口端を閉塞するダミーノズルが前記吸着ノズルに替えて装着され、
前記制御装置は、前記エア通路に前記負圧エアを供給して前記エア通路が減圧されている際に、または前記エア通路に前記正圧エアを供給して前記エア通路が増圧されている際に、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる実装ヘッド洗浄装置。
A suction nozzle for sucking a component by negative pressure air supplied from the negative pressure air supply device through an air passage;
The suction nozzle is detachably held, a nozzle shaft held rotatably by a lifting mechanism and rotatable by an elevating mechanism, and a mounting head comprising:
A mounting head cleaning device for cleaning the air passage formed inside the mounting head,
The mounting head cleaning device,
A clamp mechanism to which the mounting head removed from the component mounter is fixed,
A cleaning fluid supply device for supplying a cleaning fluid comprising positive pressure air or oil mist to the air passage;
In the cleaning process using the cleaning fluid supply device, the nozzle shaft is moved up and down, and the operation of the elevating mechanism is performed so that the nozzle shaft is rotated around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft. A control device for controlling the operation of the rotation mechanism,
Equipped with a,
A dummy nozzle closing the open end of the air passage is mounted on the nozzle shaft in place of the suction nozzle,
The control device supplies the negative pressure air to the air passage to reduce the pressure of the air passage, or supplies the positive pressure air to the air passage to increase the pressure of the air passage. when the synchronization with mounting head cleaning device you want to rotate. the nozzle shaft about the axis in the vertical movement of the nozzle axis.
前記洗浄流体は、前記オイルミストであり、
記洗浄処理には、前記エア通路における前記洗浄流体の流通を遮断した状態で前記ノズル軸を昇降させるアイドリング工程が含まれ、
前記制御装置は、前記アイドリング工程において、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる、請求項3の実装ヘッド洗浄装置。
The cleaning fluid is the oil mist,
Before SL in the cleaning process, the idling step of lifting the nozzle axis while blocking the flow of the cleaning fluid in the air passage is included,
4. The mounting head cleaning apparatus according to claim 3, wherein the control device rotates the nozzle shaft around an axis in synchronization with an elevating operation of the nozzle shaft in the idling step .
前記洗浄処理において前記ノズル軸を複数回に亘り昇降させる場合に、連続する昇降動作の間で前記ノズル軸の下降開始時の割り出し角度が相違するように、1回の昇降動作における前記ノズル軸の回転角度が設定され、
前記制御装置は、前記ノズル軸を複数回に亘り昇降させる前記洗浄処理において、予め設定された前記ノズル軸の前記回転角度に基づいて、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する、請求項1〜3の何れか一項の実装ヘッド洗浄装置。
In the case where the nozzle shaft is moved up and down a plurality of times in the cleaning process, the index angle of the nozzle shaft at the start of descending is different between successive elevating operations so that the nozzle shaft is moved up and down in one elevating operation. The rotation angle is set,
The control device controls the operation of the elevating mechanism and the operation of the rotating mechanism based on the preset rotation angle of the nozzle shaft in the cleaning process of moving the nozzle shaft up and down a plurality of times . The mounting head cleaning device according to claim 1.
記洗浄処理には、前記洗浄流体供給装置により前記エア通路に供給された前記洗浄流体が当該エア通路の開口端から噴出される洗浄工程が含まれ、
前記制御装置は、前記洗浄工程において、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる、請求項1〜5の何れか一項の実装ヘッド洗浄装置。
The pre Symbol cleaning process, cleaning process the cleaning fluid by the cleaning fluid supply device is supplied to the air passage is ejected from the open end of the air passage is included,
The mounting head cleaning device according to any one of claims 1 to 5, wherein the control device rotates the nozzle shaft around an axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft in the cleaning process .
前記洗浄流体は、前記オイルミストであり、
記洗浄処理には、前記洗浄流体供給装置により前記エア通路に正圧エアを供給して当該エア通路に残留したオイルを除去する送風工程が含まれ、
前記制御装置は、前記送風工程において、前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させる、請求項1〜6の何れか一項の実装ヘッド洗浄装置。
The cleaning fluid is the oil mist,
The pre Symbol cleaning, blowing step for removing the oil remaining in the air passage by supplying positive pressure air to the air passage by the cleaning fluid supply device is included,
The mounting head cleaning device according to any one of claims 1 to 6, wherein the control device rotates the nozzle shaft around an axis in synchronization with an elevating operation of the nozzle shaft in the blowing process .
前記実装ヘッドは、前記ノズル軸への前記負圧エアの供給および遮断を切り替え可能なバルブを備え、
前記制御装置は、前記洗浄処理において前記エア通路に前記洗浄流体が供給されている際に、前記バルブの切り替えを複数回に亘り行うことにより、前記エア通路に作用する圧力を上下させる、請求項1〜の何れか一項の実装ヘッド洗浄装置。
The mounting head includes a valve that can switch supply and cutoff of the negative pressure air to the nozzle shaft,
The control device, when the cleaning fluid is supplied to the air passage in the cleaning process, switches the valve a plurality of times to increase or decrease the pressure acting on the air passage. The mounting head cleaning device according to any one of claims 1 to 7 .
前記制御装置は、前記洗浄処理において前記ノズル軸の昇降動作に同期して前記ノズル軸を軸線周りに回転させるときに、1回の昇降動作における前記ノズル軸の回転角度が360度以上となるように、前記昇降機構の動作および前記回転機構の動作を制御する、請求項1〜の何れか一項の実装ヘッド洗浄装置。
The control device is configured such that , when the nozzle shaft is rotated around the axis in synchronization with the elevating operation of the nozzle shaft in the cleaning process, the rotation angle of the nozzle shaft in one elevating operation is 360 degrees or more. The mounting head cleaning device according to any one of claims 1 to 8 , wherein the operation of the lifting mechanism and the operation of the rotating mechanism are controlled.
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