JP6638457B2 - Transfer device - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 55
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 52
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 11
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 11
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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Description
本発明は、内部通路を有する部材を搬送する搬送装置に関する。 The present invention relates to a transport device that transports a member having an internal passage.
従来、搬送装置において搬送レール上を搬送されている部材に対して様々な検査や加工が行われている。例えば、特許文献1には、中空の部材を搬送するパレットに設けられ当該部材の内部と連通可能な連通路を有するジョイントブロック、及び、ジョイントブロックと接続可能な検査部を備え、部材の内部の気密を検査するとき、部材とジョイントブロックとを接続した後、ジョイントブロックと検査部とを接続する搬送装置が記載されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, various inspections and processing have been performed on members that are transported on a transport rail in a transport device. For example, Patent Literature 1 discloses a joint block provided on a pallet that conveys a hollow member and having a communication path that can communicate with the inside of the member, and an inspection unit that can be connected to the joint block. A transfer device that connects a joint block and an inspection unit after connecting a member and a joint block when checking airtightness is described.
特許文献1に記載の搬送装置が備える検査部は、部材の内部を加圧または減圧可能なポンプ、当該ポンプとジョイントブロックとを接続する配管を有する。しかしながら、ポンプが比較的重い場合、ポンプと搬送レール上のジョイントブロックとを接続するための配管をフレキシブルチューブにする必要がある。装置の構成上、ポンプとジョイントブロックとの距離が長くなると配管の長さが長くなる。配管の長さが長くなると繰り返して使用する場合、配管が劣化しやすくなり、配管の気密が低下するおそれがある。また、気密検査の精度を向上するために配管が固定されると、検査のために部材を搬送レール上から一旦取り出さなくてはならないため、当該検査に時間がかかる。 The inspection unit included in the transfer device described in Patent Literature 1 includes a pump capable of pressurizing or depressurizing the inside of a member, and a pipe connecting the pump and a joint block. However, when the pump is relatively heavy, it is necessary to make the piping for connecting the pump and the joint block on the transfer rail a flexible tube. Due to the configuration of the device, the longer the distance between the pump and the joint block, the longer the length of the piping. When the pipe is used repeatedly when the length of the pipe is long, the pipe is likely to be deteriorated, and the airtightness of the pipe may be reduced. In addition, when the pipe is fixed to improve the accuracy of the airtight inspection, the inspection requires time since the member must be once removed from the transport rail for the inspection.
また、搬送レール上を移動する部材の内部を表面処理する場合、気密を保ちつつ部材の内部に所定の流体を導入しつつ部材の温度を当該表面処理に適した温度に制御可能なチャンバ内に部材を収容する必要がある。しかしながら、部材の内部に流体を導入可能な、例えば、特許文献1に記載の搬送装置が備える検査部と当該チャンバとは、装置の構成上、搬送レールを挟む位置に設けられるため、例えば、固定されているチャンバに昇降装置を用いて部材を収容させると、検査部が有する可撓性の配管の長さをさらに長くする必要がある。また、搬送レール上の部材の温度を制御するようチャンバを昇降させる場合、搬送装置の構成が複雑になる。 Further, in the case where the inside of the member moving on the transport rail is subjected to surface treatment, a predetermined fluid is introduced into the inside of the member while maintaining the airtightness, and the temperature of the member can be controlled to a temperature suitable for the surface treatment. The members need to be accommodated. However, for example, the inspection unit and the chamber provided in the transfer device described in Patent Literature 1, which can introduce a fluid into the inside of the member, are provided at positions sandwiching the transfer rail due to the configuration of the device. When the member is accommodated in the chamber using the lifting device, it is necessary to further increase the length of the flexible pipe of the inspection unit. Further, when the chamber is moved up and down to control the temperature of the members on the transfer rail, the configuration of the transfer device becomes complicated.
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送されている部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間に所定の流体を確実に導入可能な搬送装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a transfer device capable of reliably introducing a predetermined fluid into an internal space of a member while maintaining the airtightness of the internal space of the member being transferred. To provide.
本発明は、搬送されている部材が有する内部空間の気密を保ちつつ内部空間に所定の流体を導入可能な搬送装置であって、部材を搬送可能な搬送レール、収容室形成部材、第一中継配管部、流体供給部、接続配管部、第一駆動部、及び、第二駆動部を備える。
収容室形成部材は、搬送レールに対して固定され、部材を収容可能な収容室を有する。
第一中継配管部は、搬送レールの収容室形成部材とは反対側に収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられている。第一中継配管部は、搬送レール上の部材側に形成され内部空間に連通可能な接続用開口、搬送レール上を搬送されている部材が収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口、及び、接続用開口と中継用開口とを連通する第一中継通路を有する。
流体供給部は、第一中継通路を介して内部空間に所定の流体を供給可能である。
接続配管部は、第一中継配管部と流体供給部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、第一中継通路と流体供給部内とを連通可能な接続通路を有する。
第一駆動部は、接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
第二駆動部は、第一中継配管部を収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する。
本発明の搬送装置では、接続配管部は、内部空間と接続用開口とが連通しているとき、中継用開口と流体供給部内とが連通するよう移動方向に交わる方向に伸びる。
The present invention relates to a transfer device capable of introducing a predetermined fluid into an internal space while maintaining the airtightness of an internal space of a member being transferred, and includes a transfer rail capable of transferring the member, a storage chamber forming member, and a first relay. It includes a pipe section, a fluid supply section, a connection pipe section, a first drive section, and a second drive section.
The storage chamber forming member has a storage chamber fixed to the transport rail and capable of storing the member.
The first relay pipe portion is provided on the opposite side of the transfer rail from the storage chamber forming member so as to be relatively movable with respect to the storage chamber forming member. The first relay pipe section is formed on the member side on the transport rail and is a connection opening that can communicate with the internal space, and is a movement direction in which the member being transported on the transport rail is moved when housed in the housing chamber. A relay opening that opens in a direction crossing the direction; and a first relay passage that communicates the connection opening and the relay opening.
The fluid supply unit can supply a predetermined fluid to the internal space via the first relay passage.
The connection pipe section is provided between the first relay pipe section and the fluid supply section, is formed to be expandable and contractable, and has a connection passage capable of communicating the first relay passage with the inside of the fluid supply section.
The first driving section generates a driving force capable of extending the connection pipe section.
The second driving unit generates a driving force capable of relatively moving the first relay pipe unit with respect to the storage chamber forming member.
In the transfer device of the present invention, when the internal space communicates with the connection opening, the connection pipe portion extends in a direction intersecting the moving direction so that the relay opening and the inside of the fluid supply unit communicate with each other.
本発明の搬送装置では、第一中継配管部は、部材の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口を有している。
部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間に所定の流体を導入するとき、搬送レールの一方の側に固定されている収容室形成部材内に部材を導入する。このとき、第一中継配管部の接続用開口と内部空間とが連通するよう第一中継配管部を収容室形成部材の方向に移動する。第一中継配管部が収容室形成部材の方向に移動し収容室形成部材内の部材の内部空間と接続用開口とが連通すると、接続配管部を部材の移動方向に交わる方向に伸ばし、中継用開口と流体供給部内とを連通する。これにより、部材の内部空間と流体供給部内とが連通し、流体供給部は、所定の流体を内部空間に供給することが可能となる。
このように、本発明の搬送装置では、伸縮可能に形成されている接続配管部は、部材の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口に連通するよう伸びることが可能である。これにより、部材が移動する距離以上に伸びるよう接続配管部が設けられている場合に比べ、伸縮する長さを比較的短くすることができるため、伸縮による接続配管部の劣化を防止することができる。したがって、本発明の搬送装置は、搬送されている部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間の所定の流体を確実に導入することができる。
In the transfer device of the present invention, the first relay pipe portion has a relay opening that opens in a direction that intersects the moving direction of the member.
When introducing a predetermined fluid into the internal space of the member while maintaining the airtightness of the internal space of the member, the member is introduced into the accommodation chamber forming member fixed to one side of the transport rail. At this time, the first relay pipe is moved in the direction of the accommodation chamber forming member so that the connection opening of the first relay pipe and the internal space communicate with each other. When the first relay pipe section moves in the direction of the housing chamber forming member and the internal space of the member in the housing chamber forming member communicates with the connection opening, the connection pipe section extends in the direction intersecting the moving direction of the member, and The opening communicates with the inside of the fluid supply unit. Accordingly, the internal space of the member and the inside of the fluid supply unit communicate with each other, and the fluid supply unit can supply a predetermined fluid to the internal space.
As described above, in the transfer device of the present invention, the connection pipe portion formed to be extendable and contractable can extend so as to communicate with the relay opening that opens in the direction intersecting the moving direction of the member. Thereby, the length of expansion and contraction can be made relatively short as compared with the case where the connection pipe portion is provided so as to extend more than the moving distance of the member, so that deterioration of the connection pipe portion due to expansion and contraction can be prevented. it can. Therefore, the transfer device of the present invention can reliably introduce the predetermined fluid into the internal space of the member while maintaining the airtightness of the internal space of the member being transferred.
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づき説明する。
(第一実施形態)
第一実施形態による搬送装置1を図1〜7を参照して説明する。搬送装置1は、搬送レール10によって部材90を搬送しつつ、部材90が有する「内部空間」としての内部通路91の内壁を表面処理することが可能な装置である。搬送装置1は、搬送レール10、「収容室形成部材」としてのチャンバ15、パレット20、第一中継配管部25、接続配管部31、32、第二中継配管部36、37、「第一駆動部」としてのフレキ駆動部41、42、「第二駆動部」としてのリフタ43、流体供給部45などを備える。なお、図1、2、4〜7では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。
Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
A transport device 1 according to a first embodiment will be described with reference to FIGS. The transport device 1 is a device capable of surface-treating the inner wall of an
最初に、搬送装置1で搬送される部材90について説明する。部材90は、内部通路91を有する。内部通路91は、二つの開口を介して部材90の外部と連通している。図1に示す部材90では、二つの開口である「一の開口」としての第一開口911及び「他の開口」としての第二開口912を有する。第一開口911及び第二開口912は、後述するパレット20内に連通可能な位置に形成されている。本実施形態では、部材90の地側に形成されている。搬送装置1では、内部通路91の気密を保ちつつ部材90の内壁を表面処理可能な所定の流体を導入可能である。
First, the
次に、搬送装置1の構成について、図1〜3を参照して説明する。図1、2には、部材90が移動可能な方向である移動方向を示す移動軸D1を示す。なお、図2では、図面が煩雑になるため、図2の紙面手前側に位置する第二中継配管部36、37や流体供給部45を省略している。また、図3では、図面が煩雑になるため、図3の紙面奥側に位置するパレット20や第一中継配管部25の形状を簡略化している。
Next, the configuration of the transport device 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 2 show a movement axis D1 indicating a movement direction in which the
搬送レール10は、二本のレール101、102から形成されている。レール101、102のそれぞれは、水平方向に延びるよう形成され、レール101とレール102とは略平行に設けられている。
The
チャンバ15は、搬送レール10の天側に固定されている部材である。チャンバ15は、地側に開口16を有する収容室150を有する。収容室150は、部材90を収容可能な大きさとなるよう形成されている。チャンバ15は、後述する流体供給部45が供給する所定の流体が部材90の内壁を表面処理するのに適した温度に、部材90の温度がなるよう部材90を加熱可能である。
The
パレット20は、ベース21、地側フランジ22、23、天側フランジ24を有する。パレット20は、部材90を支持しつつ二本のレール101、102の天側の面111、112を移動可能なよう設けられている。
The
ベース21は、レール101とレール102との間の距離に比べ長くなるよう形成され、例えば、図示しない回転可能なローラを有する。当該ローラは、二本のレール101、102の天側の面111、112に当接し、パレット20がレール101、102上をスムーズに移動することを可能とする。ベース21の天側の面211の周縁部には、例えば、弾性材料から形成される当接部材212が設けられている。当接部材212は、パレット20が天方向に移動するとき、チャンバ15と当接しパレット20の移動によるチャンバ15及びベース21の破損を防止する。
The
地側フランジ22、23は、ベース21の地側の面213に設けられている。地側フランジ22、23は、それぞれ地方向に開口する開口221、231を有する。
The
天側フランジ24は、ベース21の天側に設けられている。天側フランジ24の天側には部材90を置くことが可能である。これにより、パレット20は、部材90を支持しつつ搬送レール10上を移動可能である。天側フランジ24は、天方向に開口する開口241、242を有する。開口241は、部材90の第一開口911に連通可能に形成されている。開口242は、部材90の第二開口912に連通可能に形成されている。
The
開口221と開口241とは、パレット20が有する連通路201を介して連通している。また、開口231と開口242とは、パレット20が有する連通路202を介して連通している。
The
第一中継配管部25は、本体部26、第一中継配管27、28を有する。
The
本体部26は、略直方体形状の部材であって、第一中継配管27、28を所定の位置に支持するよう形成されている。本体部26は、地側の面261においてリフタ43と連結している。
The
第一中継配管27、28は、略L字状に形成されている筒状の部材である。第一中継配管27と第一中継配管28とは、図2に示すように、水平方向に隣り合うよう本体部26に設けられている。
The
第一中継配管27は、部材側フランジ271、鉛直部272、水平部273、供給側フランジ274から形成されている。
部材側フランジ271は、第一中継配管27の天側の端部に設けられている。部材側フランジ271は、パレット20側に開口する「一の接続用開口」としての接続用開口275を有する。接続用開口275は、パレット20の開口221に連通可能に形成されている。
鉛直部272は、部材側フランジ271から地方向に延びるよう形成されている。
水平部273は、鉛直部272の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
供給側フランジ274は、水平部273の鉛直部272と接続する側とは反対側の端部に設けられている。供給側フランジ274は、部材90の移動軸D1に交わる方向に開口する「一の中継用開口」としての中継用開口276を有する。本実施形態では、中継用開口276は、部材90の移動軸D1と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管27は、接続用開口275と中継用開口276とを連通する「一の第一中継通路」としての第一中継通路270を有する。
The
The member-
The
The
The supply-
The
第一中継配管28は、部材側フランジ281、鉛直部282、水平部283、供給側フランジ284から形成されている。
部材側フランジ281は、第一中継配管28の天側の端部に設けられている。部材側フランジ281は、パレット20側に開口する「他の接続用開口」としての接続用開口285を有する。接続用開口285は、パレット20の開口231に連通可能に形成されている。
鉛直部282は、部材側フランジ281から地方向に延びるよう形成されている。
水平部283は、鉛直部282の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
供給側フランジ284は、水平部273の鉛直部282と接続する側とは反対側の端部に設けられている。供給側フランジ284は、部材90の移動軸D1に交わる方向に開口する「他の中継用開口」としての中継用開口286を有する。本実施形態では、中継用開口286は、部材90の移動軸D1と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管28は、接続用開口285と中継用開口286とを連通する「他の第一中継通路」としての第一中継通路280を有する。
The
The
The
The
The
The
接続配管部31、32は、パレット20及び第一中継配管部25が移動可能な領域(図1に示す二つの二点鎖線VL1に挟まれた領域)の外の所定の位置に設けられている。本実施形態では、二つの接続配管部31、32を二つ有している。
The
接続配管部31は、二つのフランジ311、312とフレキシブルホース313とから形成されている。フランジ311、312及びフレキシブルホース313は、「一の接続通路」としての接続通路310を有する。
フランジ311は、フレキシブルホース313の移動軸D1側に設けられている。フランジ311が有する接続通路310の開口は、第一中継配管部25の中継用開口276と連通可能に形成されている。
フランジ312は、フレキシブルホース313の移動軸D1とは反対側に設けられている。フランジ312は、第二中継配管部36に接続されている。
フレキシブルホース313は、二つのフランジ311、312の間に設けられている。フレキシブルホース313は、水平方向に伸縮可能に形成されている。
The
The
The
The
接続配管部32は、二つのフランジ321、322とフレキシブルホース323とから形成されている。フランジ321、322及びフレキシブルホース323は、「他の接続通路」としての接続通路320を有する。
フランジ321は、フレキシブルホース323の移動軸D1側に設けられている。フランジ311が有する接続通路320の開口は、第一中継配管部25の中継用開口286と連通可能に形成されている。
フランジ322は、フレキシブルホース323の移動軸D1とは反対側に設けられている。フランジ322は、第二中継配管部37に接続されている。
フレキシブルホース323は、二つのフランジ321、322の間に設けられている。フレキシブルホース323は、水平方向に伸縮可能に形成されている
The
The
The
The
第二中継配管部36、37は、天地方向に延びるよう形成されている(図1の第二中継配管部36参照)。
第二中継配管部36の天側の端部には、接続配管部31が設けられている。具体的には、第二中継配管部36は、接続配管部31が水平方向に伸びるとき中継用開口276と接続通路310とが連通可能な位置に接続配管部31を支持している。第二中継配管部36が有する第二中継通路360は、接続通路310と連通している。
第二中継配管部37の天側の端部には、接続配管部32が設けられている、具体的には、第二中継配管部37は、接続配管部32が水平方向に伸びるとき中継用開口286と接続通路310とが連通可能な位置に接続配管部32に支持している。第二中継配管部37が有する第二中継通路370は、接続通路320と連通している。
The second
The
The
流体供給部45は、第二中継配管部36、37の地側の端部に設けられる。流体供給部45は、第二中継通路360、接続通路310、中継用開口276、第一中継通路270、接続用開口275、開口221、連通路201、及び、開口241を介して内部通路91に所定の流体を供給することが可能である。また、流体供給部45は、開口242、連通路202、開口231、接続用開口285、第一中継通路280、中継用開口286、接続通路320、及び、第二中継通路370を介して内部通路91の気体を吸引することが可能である。
The
フレキ駆動部41は、シリンダ411、及び、ピストン412を有する。フレキ駆動部41は、例えば、シリンダ411内に流体を加圧注入することによってピストン412を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン412は、フランジ311のフレキシブルホース313側の端面314に当接している当接部材315と連結している。フレキ駆動部41は、フレキシブルホース313を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
The
フレキ駆動部42は、シリンダ421、及び、ピストン422を有する。フレキ駆動部42は、例えば、シリンダ421内に流体を加圧注入することによってピストン422を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン422は、フランジ321のフレキシブルホース323側の端面324に当接している当接部材325と連結している。フレキ駆動部42は、フレキシブルホース323を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
The
リフタ43は、シリンダ431、ピストン432を有する。リフタ43は、例えば、シリンダ431内に気体を加圧注入することによってピストン432を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン432は、本体部26の地側の面261と連結している。リフタ43は、第一中継配管部25を天方向に移動可能な駆動力を発生する。
The
次に、搬送装置1の作用について図1〜7を参照して説明する。
部材90を支持するパレット20がチャンバ15の地方向に来ると、リフタ43によって第一中継配管部25を天方向に移動する。天方向に移動する第一中継配管部25は、本体部26の天側の面262がパレット20の地側の面213と当接する。このとき、パレット20の開口221と第一中継配管部25の接続用開口275とが連通し、パレット20の開口231と第一中継配管部25の接続用開口285とが連通する。第一中継配管部25がリフタ43によってさらに天方向に移動すると、パレット20は第一中継配管部25とともに天方向に移動し、レール101、102から離間する。
Next, the operation of the transport device 1 will be described with reference to FIGS.
When the
第一中継配管部25とともにパレット20が天方向に移動すると、部材90がチャンバ15の収容室150に収容される。パレット20の当接部材212が図4、5に示すように、チャンバ15に当接すると、パレット20及び第一中継配管部25の天方向への移動が停止する。このとき、第一中継配管部25の中継用開口276は、天地方向において接続配管部31の接続通路310と同じ位置となる。また、第一中継配管部25の中継用開口286は、天地方向において及び接続配管部32の接続通路320と同じ位置となる。
When the
パレット20及び第一中継配管部25の天方向への移動が停止した後、フレキ駆動部41、42によって接続配管部31、32のフレキシブルホース313、323が第一中継配管部25に向かって伸びる。伸びたフレキシブルホース313、323に設けられているフランジ311、321は、図6、7に示すように、供給側フランジ274、284に当接する。これにより、接続通路310と第一中継通路270とが連通し、接続通路320と第一中継通路280とが連通する。したがって、第二中継通路360は、接続通路310及び連通路201を介して内部通路91に連通する。また、第二中継通路370は、接続通路320及び連通路202を介して内部通路91に連通する。
After the movement of the
第二中継通路360、370と内部通路91とが連通すると、流体供給部45は、接続通路320側から内部通路98の気体を吸引しつつ接続通路310側から内部通路91に所定の流体を供給する。このとき、チャンバ15は、部材90の温度が部材90の内壁の表面処理に適した温度となるよう部材90を加熱する。これにより、内部通路91の内壁が表面処理される。
When the
内部通路91の内壁の表面処理が終了すると、流体供給部45によって内部通路91に大気圧レベルまで空気を充填した後、フレキ駆動部41、42のピストン412、422を駆動し、接続配管部31、32を第一中継配管部25から切り離す。
接続配管部31、32が第一中継配管部25から切り離された後、リフタ43のピストン432を駆動し、第一中継配管部25及びパレット20を地方向に移動する。地方向に移動するパレット20は、レール101、102に当接し、レール101、102上に戻される。第一中継配管部25は、さらに地方向に移動し、図1〜3に示す状態となる。
レール101、102上に戻されたパレット20は、部材90を支持しつつ次の工程のためにレール101、102上を移動する。
When the surface treatment of the inner wall of the
After the
The
(a)搬送装置1では、第一中継配管部25は、中継用開口276、286を部材90の移動軸D1に交わる方向に開口するよう有している。
部材90の内壁を表面処理するとき、部材90は、パレット20とともに搬送レール10の一方の側に固定されているチャンバ15内に導入するよう天方向に移動する。このとき、第一中継配管部25は、第一中継配管部25の接続用開口275、285と内部通路91とが連通するようチャンバ15の方向に移動する。第一中継配管部25がチャンバ15の方向に移動しチャンバ15内の部材90の内部通路91と接続用開口275、285とが連通すると、接続配管部31、32は、移動軸D1に交わる方向に伸ばし、第一中継通路270、280と流体供給部45内とを連通する。これにより、部材90の内部通路91と流体供給部45内とが連通し、流体供給部45は、所定の流体を内部通路91に供給することが可能となる。
このように、搬送装置1では、伸縮可能に形成されている接続配管部31、32は、接続通路310、320が部材90の移動軸D1に交わる方向に開口する中継用開口276、286に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、伸縮による接続配管部31、32の劣化を防止することができる。したがって、搬送装置1は、搬送されている部材90の内部通路91の気密を保ちつつ所定の流体を導入することができる。
(A) In the transport device 1, the first
When the inner wall of the
As described above, in the transport device 1, the
(b)また、接続配管部31、32が伸縮する長さを比較的短くすることができるため、標準的なフレキシブルホース313、323によって接続配管部31、32を構成することができる。これにより、搬送レール10によって搬送される部材が有する内部通路の気密を保つために特別にフレキシブルホースを用意することが不要となる。したがって、搬送装置1の設備費を低減することができる。
(B) Further, since the length of expansion and contraction of the
(c)搬送装置1では、部材90を加熱するチャンバ15は、部材90の温度を表面処理に適した温度となるよう搬送レール10の天方向に固定されている。これにより、チャンバ15が有するヒータの配線や冷却用の流体が流れる流路が固定されるため、チャンバ15の構成を比較的簡素にすることができる。したがって、搬送装置1の構成を比較的簡素にすることができる。
(C) In the transfer apparatus 1, the
(d)搬送装置1は、流体供給部45と部材90の内部通路91とを連通する通路の組み合わせを接続通路310側と接続通路320側との二つ有している。部材90の内部通路91の内壁に表面処理を施すとき、接続通路320側から内部通路98の気体を吸引しつつ接続通路310側から内部通路91に所定の流体を供給する。これにより、内部通路91を比較的短時間で所定の流体で充満させることができるため、表面処理に要する時間を短くすることができる。したがって、部材90の製造に要する時間を短くすることができる。
(D) The transfer device 1 has two combinations of passages that connect the
(e)搬送装置1では、接続配管部31、32が接続する中継用開口276、286は、部材90の移動軸D1と垂直に交わる方向に開口している。これにより、接続配管部31、32と供給側フランジ274、284とが接続するときに接続配管部31、32が伸びる必要がある長さをさらに短くすることができる。したがって、伸縮による接続配管部31、32の劣化をさらに防止することができる。
(E) In the transport device 1, the
(f)搬送装置1では、接続配管部31、32は、それぞれ図1に示す二点鎖線VL1で挟まれた領域の外に設けられている。これにより、パレット20が移動するとき、接続配管部31、32とパレット20との干渉を防止しつつ、接続配管部31、32が伸びる距離を比較的短くすることができる。したがって、伸縮による接続配管部31、32の劣化をさらに防止することができる。
(F) In the transport device 1, the
(g)搬送装置1では、パレット20は、第一中継配管部25を天方向に移動可能なリフタ43によって第一中継配管部25とともに天方向に移動可能に設けられている。これにより、パレット20に支持されている部材90をチャンバ15内に導入するための駆動部が不要となる。したがって、搬送装置1の設備費をさらに低減することができる。
(G) In the transport device 1, the
(第二実施形態)
次に、本発明の第二実施形態による搬送装置を図8、9に基づいて説明する。第二実施形態は、第一中継通路、接続通路、及び、第二中継通路の数が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
(Second embodiment)
Next, a transport device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The second embodiment differs from the first embodiment in the number of first relay passages, connection passages, and second relay passages. In addition, the same reference numerals are given to substantially the same portions as those in the first embodiment, and description thereof will be omitted.
第二実施形態による搬送装置2は、搬送レール10で搬送されている部材95を搬送しつつ、部材95が有する「内部空間」としての内部通路96の気密を検査可能な装置である。搬送装置2は、搬送レール10、「収容室形成部材」としてのチャンバ15、パレット20、第一中継配管部65、接続配管部31、第二中継配管部36、フレキ駆動部41、リフタ43、「加減圧部」としてのポンプ47、「圧力検出手段」としての圧力センサ48などを備える。なお、図8、9では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。
The
部材95は、例えば、ゴムなどの弾性部材によって気密を維持可能な部材である。部材95は、内部に内部通路96を有する。内部通路96は、一つの開口961を介して部材90の外部と連通している。部材95では、開口961は、パレット20の天側フランジ24の開口241と連通するよう形成されている。搬送装置2では、内部通路96の気密性を検査することが可能である。
The
チャンバ15は、搬送レール10の天側に固定されている部材である。チャンバ15は、地側に開口18を有する収容室170を有する。収容室170は、部材95を収容可能な大きさとなるよう形成されている。チャンバ15は、部材95の内部の気密性を検査するとき、部材95の温度が所定の温度となるよう部材95を加熱可能である。
The
第一中継配管部65は、本体部66、第一中継配管67を有する。
The first
本体部66は、略直方体形状の部材であって、第一中継配管67を所定の位置に支持するよう形成されている。本体部66は、地側の面661においてリフタ43と連結している。
The
第一中継配管67は、略L字状に形成されている筒状の部材である。第一中継配管67は、部材側フランジ671、鉛直部672、水平部673、検査側フランジ674から形成されている。
部材側フランジ671は、第一中継配管67の天側の端部に設けられている。部材側フランジ671は、パレット20側に開口する接続用開口675を有する。接続用開口675は、パレット20の開口221に連通可能に形成されている。
鉛直部672は、部材側フランジ671から地方向に延びるよう形成されている。
水平部673は、鉛直部672の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
検査側フランジ674は、水平部673の鉛直部672と接続する側とは反対側の端部に設けられている。検査側フランジ674は、部材95の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口676を有する。本実施形態では、中継用開口676は、部材95の移動方向と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管67は、接続用開口675と中継用開口676とを連通する第一中継通路670を有する。
The
The
The
The
The inspection-
The
搬送装置2は、一個の接続配管部31を備える。すなわち、搬送装置2は、伸縮可能な接続通路310を一本有する。搬送装置2の接続配管部31は、第二中継配管部36に支持されている。接続配管部31は、フレキ駆動部41によって水平方向に延びることが可能である。
第二中継配管部36は、接続通路310に連通する第二中継通路360を有している。
The
The second
ポンプ47は、第二中継配管部36の地側の端部に設けられる。ポンプ47は、第二中継通路360、接続通路310、中継用開口676、第一中継通路670、接続用開口675、開口221、連通路201、及び、開口241を介して内部通路96の気体を吸引することが可能である。
圧力センサ48は、ポンプ47に設けられ、内部通路96の圧力を検出可能である。
The
The
搬送装置2では、搬送レール10上を移動している部材95を所定の温度に加熱し、弾性部材の劣化による気密性の変化を検査することができる。このとき、接続配管部31は、接続通路310が部材95の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口676に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、搬送装置2は、第一実施形態の効果(b)、(c)、(e)〜(g)を奏するとともに、部材95の気密検査を精度良く行うことができる。
In the
(第三実施形態)
次に、本発明の第三実施形態による搬送装置を図10、11に基づいて説明する。第三実施形態は、接続配管部が設けられる場所が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
(Third embodiment)
Next, a transport device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The third embodiment is different from the first embodiment in the location where the connection piping section is provided. In addition, the same reference numerals are given to substantially the same portions as those in the first embodiment, and description thereof will be omitted.
第三実施形態による搬送装置3は、搬送レール10、チャンバ15、パレット20、第一中継配管部25、接続配管部51、52、第二中継配管部36、37、フレキ駆動部56、57、リフタ43、流体供給部45などを備える。なお、図10では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。
The transport device 3 according to the third embodiment includes a
接続配管部51、52は、レール101とレール102との間の領域(図10に示す二点鎖線VL3で挟まれた領域)内に設けられている。本実施形態では、接続配管部51、52を二つ有している。
The
接続配管部51は、フランジ512とフレキシブルホース513とから形成されている。接続配管部51は、第一中継配管部25の第二中継配管部36に設けられている。フレキシブルホース513及びフランジ512は、「一の接続通路」としての接続通路510を有する。接続通路510は、中継用開口276と連通している。
The
フランジ512は、フレキシブルホース513の移動軸D1とは反対側に設けられている。フランジ512は、第二中継配管部36の第二中継通路360と連通可能に形成されている。
The
フレキシブルホース513は、供給側フランジ274とフランジ512との間に設けられている。フレキシブルホース513は、水平方向に伸縮可能に形成されている。
The
接続配管部52は、フランジ522とフレキシブルホース523とから形成されている。接続配管部52は、第一中継配管部25の第二中継配管部37に設けられている。フレキシブルホース523及びフランジ522は、「他の接続通路」としての接続通路520が形成されている。接続通路520は、中継用開口286と連通している。
The
フランジ522は、フレキシブルホース523の移動軸D1とは反対側に設けられている。フランジ522は、第二中継配管部37の第二中継通路370と連通可能に形成されている。
The
フレキシブルホース523は、供給側フランジ284とフランジ522との間に設けられている。フレキシブルホース523は、水平方向に伸縮可能に形成されている。
The
フレキ駆動部56は、シリンダ561、ピストン562を有する。本実施形態では、フレキ駆動部56は、第一中継配管部25の地側に設けられている。フレキ駆動部56は、例えば、シリンダ561内に流体を加圧注入することによってピストン562を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン562は、フランジ512のフレキシブルホース513側の端面514に当接している当接部材515と連結している。フレキ駆動部56は、フレキシブルホース513を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
The
フレキ駆動部57は、シリンダ571、ピストン572を有する。本実施形態では、フレキ駆動部57は、第一中継配管部25の地側に設けられている。フレキ駆動部57は、例えば、シリンダ571内に流体を加圧注入することによってピストン572を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン572は、フランジ522のフレキシブルホース523側の端面524に当接している当接部材525と連結している。フレキ駆動部57は、フレキシブルホース523を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
The
搬送装置3では、二つの接続配管部51、52は、第一中継配管部25に設けられている。部材90の内壁に表面処理を施すとき、接続配管部51、52は、接続通路510、520が部材90の移動軸D1に交わる方向に開口する中継用開口276、286に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、搬送装置3は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
In the transport device 3, the two
(他の実施形態)
第一実施形態では、部材は二つの開口を有するとした。しかしながら、第二実施形態のように、一つの開口しか有していない部材に対しても表面処理を施すことは可能である。また、部材が有する開口が三つ以上となっても、第一中継通路、接続通路、及び、第二中継通路の組み合わせを部材が有する開口の数と同じだけ有することで表面処理を施すことが可能である。
(Other embodiments)
In the first embodiment, the member has two openings. However, as in the second embodiment, it is possible to apply a surface treatment to a member having only one opening. In addition, even if the member has three or more openings, the first relay passage, the connection passage, and the surface treatment can be performed by having the same number of combinations of the second relay passages as the number of openings that the member has. It is possible.
上述の実施形態では、中継用開口が開口する方向は、部材の移動方向と垂直に交わるとした。しかしながら、垂直に交わらなくてもよい。中継用開口が開口する方向は、部材の移動方向と交わればよい。 In the above-described embodiment, the direction in which the relay opening is opened is perpendicular to the moving direction of the member. However, they do not have to cross vertically. The direction in which the relay opening opens may intersect the moving direction of the member.
上述の実施形態では、搬送装置は、第二中継配管部を備えるとした。しかしながら、第二中継配管部はなくてもよい。接続配管部が流体供給部またはポンプに直接接続してもよい。 In the above-described embodiment, the transport device includes the second relay piping unit. However, the second relay piping section may not be provided. The connection piping section may be directly connected to the fluid supply section or the pump.
上述の実施形態では、部材はパレットともに第一中継配管部を天方向に移動可能なリフタによって天方向に移動させるとした。しかしながら、部材を天方向に移動させる駆動部を別途備えてもよい。 In the above-described embodiment, the member is configured to move the first relay pipe portion together with the pallet in the top direction by the lifter capable of moving in the top direction. However, a drive unit for moving the member in the upward direction may be separately provided.
上述の実施形態では、搬送装置は、部材を支持するパレットを備えるとした。パレットは、なくてもよい。部材が搬送レールから天側に移動可能に設けられていれば、第一中継配管部の接続用開口が直接部材の開口に連通されてもよい。 In the above-described embodiment, the transport device includes the pallet that supports the member. A pallet is not required. If the member is provided so as to be movable from the transport rail to the top side, the connection opening of the first relay pipe may be directly communicated with the opening of the member.
第一実施形態では、流体供給部45は、接続通路320側から内部通路98の気体を吸引しつつ接続通路310側から内部通路91に所定の流体を供給するとした。しかしながら、接続通路310側から内部通路98の気体を吸引しつつ接続通路320側から内部通路91に所定の流体を供給してもよい。
In the first embodiment, the
第二実施態では、搬送装置は、弾性部材によって気密を維持可能な部材の気密性を検査可能であるとした。しかしながら、弾性部材を有していない部材に対しても気密性を検査することはできる。 In the second embodiment, the transport device can inspect the airtightness of a member whose airtightness can be maintained by the elastic member. However, it is possible to inspect the airtightness of a member having no elastic member.
第二実施形態において、第三実施形態のように、接続配管部を第一中継配管部に設けてもよい。 In the second embodiment, the connection pipe section may be provided in the first relay pipe section as in the third embodiment.
第二実施形態において、ポンプは、部材内を吸引するとした。しかしながら、加圧することによって気密を検査してもよい。 In the second embodiment, the pump sucks the inside of the member. However, the airtightness may be checked by applying pressure.
第一、三実施形態では、搬送装置は、部材の内部に表面処理を施すとした。また、第二実施形態では、搬送装置は、部材の気密検査を行うとした。しかしながら、搬送装置が実施可能な工程は、これに限定されない。搬送されている部材が有する内部通路の気密を保ちつつ内部通路に所定の流体を導入、または、内部通路を加減圧する工程であればよい。 In the first and third embodiments, the transfer device performs the surface treatment on the inside of the member. In the second embodiment, the transport device performs an airtight inspection of the members. However, the steps that can be performed by the transport device are not limited to this. It may be a step of introducing a predetermined fluid into the internal passage while maintaining the airtightness of the internal passage of the member being conveyed, or increasing or decreasing the pressure of the internal passage.
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。 The present invention is not limited to the embodiments described above, and can be implemented in various forms without departing from the spirit of the invention.
1、2、3・・・搬送装置
90・・・部材
91・・・内部通路(内部空間)
10・・・搬送レール
15・・・チャンバ(収容室形成部材)
25・・・第一中継配管部
270、280・・・第一中継通路
31、32、51、52・・・接続配管部
310、320、510、520・・・接続通路
41、42、56、57・・・フレキ駆動部(第一駆動部)
43・・・リフタ(第二駆動部)
1, 2, 3 ... conveying
10: transport rail 15: chamber (accommodation chamber forming member)
25: first
43 ··· Lifter (second drive unit)
Claims (8)
前記部材を搬送可能な搬送レール(10)と、
前記搬送レールに対して固定され、前記部材を収容可能な収容室(150)を有する収容室形成部材(15)と、
前記搬送レールの前記収容室形成部材とは反対側に前記収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられ、前記搬送レール上の前記部材側に形成され前記内部空間に連通可能な接続用開口(275、285)、前記搬送レール上を搬送されている前記部材が前記収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口(276、286)、及び、前記接続用開口と前記中継用開口とを連通する第一中継通路(270、280)を有する第一中継配管部(25)と、
前記第一中継通路を介して前記内部空間に所定の流体を供給可能な流体供給部(45)と、
前記第一中継配管部と前記流体供給部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、前記第一中継通路と前記流体供給部内とを連通可能な接続通路(310、320、510、520)を有する接続配管部(31、32、51、52)と、
前記接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する第一駆動部(41、42、56、57)と、
前記第一中継配管部を前記収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する第二駆動部(43)と、
を備え、
前記接続配管部は、前記内部空間と前記接続用開口とが連通しているとき、前記中継用開口と前記流体供給部内とが連通するよう前記移動方向に交わる方向に伸びる搬送装置。 A transfer device capable of introducing a predetermined fluid into the internal space (91) of the member (90) being transported while keeping the internal space (91) airtight,
A transport rail (10) capable of transporting the member,
An accommodation room forming member (15) fixed to the transport rail and having an accommodation room (150) capable of accommodating the member;
A connection opening provided on the side of the transfer rail opposite to the storage chamber forming member so as to be relatively movable with respect to the storage chamber formation member, formed on the member side of the transfer rail and communicateable with the internal space. (275, 285), a relay opening (276, 286) that opens in a direction that intersects a moving direction that is a direction in which the member conveyed on the conveyance rail is moved when the member is housed in the housing chamber; A first relay pipe portion (25) having a first relay passage (270, 280) communicating the connection opening and the relay opening;
A fluid supply unit (45) capable of supplying a predetermined fluid to the internal space via the first relay passage;
Connection passages (310, 320, 510, 520) that are provided between the first relay pipe portion and the fluid supply portion, are formed to be extendable and contractable, and can communicate the first relay passage and the inside of the fluid supply portion. A connection piping section (31, 32, 51, 52) having
A first drive unit (41, 42, 56, 57) for generating a drive force capable of extending the connection pipe unit;
A second driving unit (43) for generating a driving force capable of relatively moving the first relay piping unit with respect to the storage chamber forming member;
With
The transfer device, wherein the connection pipe portion extends in a direction intersecting the moving direction such that the relay opening and the inside of the fluid supply portion communicate with each other when the internal space communicates with the connection opening.
前記第一中継配管部は、前記一の開口に連通可能な前記接続用開口としての一の接続用開口(275)、前記一の接続用開口に連通する前記第一中継通路としての一の第一中継通路(270)、前記一の第一中継通路に連通する前記中継用開口としての一の中継用開口(276)、前記他の開口に連通可能な前記接続用開口としての他の接続用開口(285)、前記他の接続用開口に連通する前記第一中継通路としての他の第一中継通路(280)、及び、前記他の第一中継通路に連通する前記中継用開口の他の中継用開口(286)を有し、
前記接続配管部は、前記一の中継用開口に連通可能な一の接続通路(310、510)、及び、前記他の中継用開口に連通可能な他の接続通路(320、520)を有し、
前記流体供給部は、前記他の接続通路、前記他の中継用開口、前記他の第一中継通路、及び、前記他の接続用開口を介して前記内部空間の気体を吸引しつつ、前記一の接続用開口、前記一の第一中継通路、前記一の中継用開口、及び、前記一の接続通路を介して前記内部空間に所定の流体を供給可能な請求項1に記載の搬送装置。 The member has one opening (911) for communicating the internal space and the outside, and another opening (912) for communicating the internal space and the outside separately from the one opening,
The first relay pipe section includes one connection opening (275) as the connection opening that can communicate with the one opening, and one first connection passage as the first relay passage that communicates with the one connection opening. One relay passage (270), one relay opening (276) as the relay opening communicating with the one first relay passage, and another connection as the connection opening communicable with the other opening An opening (285), another first relay passage (280) as the first relay passage communicating with the other connection opening, and another of the relay opening communicating with the other first relay passage. A relay opening (286),
The connection piping section has one connection passage (310, 510) that can communicate with the one relay opening, and another connection passage (320, 520) that can communicate with the other relay opening. ,
The fluid supply unit suctions the gas in the internal space through the other connection passage, the other relay opening, the other first relay passage, and the other connection opening, and The transfer device according to claim 1, wherein a predetermined fluid can be supplied to the internal space through the connection opening, the one first relay passage, the one relay opening, and the one connection passage.
前記接続配管部(31、32)は、前記第一中継配管部に接続可能なよう前記第二中継配管部に設けられる請求項1または2に記載の搬送装置。3. The transfer device according to claim 1, wherein the connection pipe section is provided in the second relay pipe section so as to be connectable to the first relay pipe section. 4.
前記部材を搬送可能な搬送レール(10)と、
前記搬送レールに対して固定され、前記部材を収容可能な収容室(170)を有する収容室形成部材(17)と、
前記搬送レールの前記収容室形成部材とは反対側に前記収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられ、前記搬送レール上の前記部材側に形成され前記内部空間に連通可能な接続用開口(675)、前記搬送レール上を搬送されている前記部材が前記収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口(676)、及び、前記接続用開口と前記中継用開口とを連通する第一中継通路(670)を有する第一中継配管部(65)と、
前記第一中継通路を介して前記内部空間を加圧または減圧可能な加減圧部(47)と、
前記内部空間の圧力検出可能な圧力検出手段(48)と、
前記第一中継配管部と前記加減圧部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、前記第一中継通路と前記加減圧部内とを連通可能な接続通路(310)を有する接続配管部(31)と、
前記接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する第一駆動部(41)と、
前記第一中継配管部を前記収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する第二駆動部(43)と、
を備え、
前記接続配管部は、前記内部空間と前記接続用開口とが連通しているとき、前記中継用開口と前記加減圧部内とが連通するよう前記移動方向に交わる方向に伸びる搬送装置。 A transport device capable of pressurizing or depressurizing the internal space while maintaining the airtightness of an internal space (96) of a member (95) being transported,
A transport rail (10) capable of transporting the member,
An accommodation room forming member (17) fixed to the transport rail and having an accommodation room (170) capable of accommodating the member;
A connection opening provided on the side of the transfer rail opposite to the storage chamber forming member so as to be relatively movable with respect to the storage chamber formation member, formed on the member side of the transfer rail and communicateable with the internal space. (675) a relay opening (676) that opens in a direction intersecting a movement direction that is a direction in which the member conveyed on the conveyance rail is moved when the member is housed in the housing chamber; A first relay pipe portion (65) having a first relay passage (670) communicating the opening and the relay opening;
A pressurizing and depressurizing unit (47) capable of pressurizing or depressurizing the internal space via the first relay passage;
Pressure detecting means (48) capable of detecting the pressure of the internal space;
A connection pipe part (310) that is provided between the first relay pipe part and the compression / decompression unit and that is formed to be extendable and contractable, and that has a connection passage (310) that can communicate the first relay passage and the inside of the compression / decompression unit. 31),
A first drive unit (41) that generates a drive force capable of extending the connection pipe unit,
A second driving unit (43) for generating a driving force capable of relatively moving the first relay piping unit with respect to the storage chamber forming member;
With
The transfer device, wherein the connection pipe portion extends in a direction intersecting with the moving direction such that the relay opening and the inside of the pressurizing / depressurizing portion communicate with each other when the internal space and the connection opening communicate with each other.
前記接続配管部は、前記第一中継配管部に接続可能なよう前記第二中継配管部に設けられる請求項5に記載の搬送装置。 A second relay pipe section (36) having a second relay path (360) that can communicate the first relay path and the inside of the pressure increasing / decreasing section via the connection path;
The transfer device according to claim 5 , wherein the connection piping unit is provided in the second relay piping unit so as to be connectable to the first relay piping unit.
前記接続配管部は、前記パレットが移動可能な領域の外に設けられる請求項1〜3、5または6のいずれか一項に記載の搬送装置。
A pallet (20) movably provided on the transport rail while supporting the member, and relatively movable with respect to the storage chamber forming member;
The connecting pipe section, the conveying device according to any one of claims 1 to 3, 5 or 6 wherein the pallet is provided outside the movable area.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016028667A JP6638457B2 (en) | 2016-02-18 | 2016-02-18 | Transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016028667A JP6638457B2 (en) | 2016-02-18 | 2016-02-18 | Transfer device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017145111A JP2017145111A (en) | 2017-08-24 |
JP6638457B2 true JP6638457B2 (en) | 2020-01-29 |
Family
ID=59681190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016028667A Active JP6638457B2 (en) | 2016-02-18 | 2016-02-18 | Transfer device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6638457B2 (en) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01283496A (en) * | 1988-05-11 | 1989-11-15 | Asahi Eng Co Ltd | Automatic connecting device for pipe line |
JPH02194829A (en) * | 1989-01-25 | 1990-08-01 | Asahi Eng Co Ltd | Raw material supplying method from plurality of raw material tanks to transferring tank |
JP2591394B2 (en) * | 1991-12-26 | 1997-03-19 | 日立プラント建設株式会社 | Piping connection device |
JPH06298141A (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-25 | Toyota Motor Corp | Conveying pallet device of fluid pressure controller |
JP5888288B2 (en) * | 2013-06-26 | 2016-03-16 | 株式会社ダイフク | Inspection equipment for goods storage facilities |
JP6146281B2 (en) * | 2013-11-29 | 2017-06-14 | 株式会社デンソー | Gas leak detection device |
JP6743656B2 (en) * | 2016-11-04 | 2020-08-19 | 株式会社デンソー | Pallets and processing equipment |
-
2016
- 2016-02-18 JP JP2016028667A patent/JP6638457B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017145111A (en) | 2017-08-24 |
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