JP6634836B2 - テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 - Google Patents

Description

本発明は、テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械に関する。

デバイスの製造工程又はデバイスの測定工程において、ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置が使用される。テーブル装置は、テーブルを移動して、テーブルに支持されたワークの位置を決定する。特許文献１及び特許文献２に開示されているような、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びθＺ方向の３つの方向にテーブルを移動可能なテーブル装置が知られている。

特開２０１２−１１２７１５号公報 特開２０１５−１１７９５８号公報

３つの方向に移動可能なテーブルにおいて、そのテーブルの位置決め精度が不足すると、製造されるデバイスの性能が低下する可能性がある。そのため、３つの方向に移動可能なテーブルの位置決め精度の不足を抑制できる技術が要望される。

本発明の態様は、位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様に従えば、ガイド面を有するベース部材と、前記ベース部材に支持され、前記ガイド面と平行な所定面内の第１軸と平行な第１軸方向、前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な第２軸方向、及び前記所定面と直交する第３軸と平行なテーブル中心軸を中心に回転可能なテーブルと、前記テーブルに前記第１軸方向の力を与える第１駆動装置と、前記テーブルに前記第２軸方向の力を与える第２駆動装置と、を備え、前記第１駆動装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第１軸方向に移動するための動力を発生する第１アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記第１アクチュエータの作動により前記第１軸と平行な第１駆動軸に沿って移動する第１可動部材と、を有し、前記第２駆動装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第２軸方向に移動するための動力を発生する第２アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記第２アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な第２駆動軸に沿って移動する第２可動部材と、を有し、前記第１駆動装置は、前記第２軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第１駆動軸の位置とが一致するように１つだけ設けられ、前記第２駆動装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第２駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、前記第１可動部材は、前記ベース部材に設けられた第１ガイド部材にガイドされ、前記第１駆動軸に沿って移動する第１リニアベアリングと、前記第１リニアベアリングに固定された第１ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第１ロッド中心軸を中心に前記第１ロッド部材に対して相対回転可能な第１回転軸受と、前記第１回転軸受に接続され、前記第１軸方向の前記テーブルの端部に固定された第２ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第２リニアベアリングと、を含む、テーブル装置が提供される。

本発明の第１の態様によれば、１つの第１駆動装置と少なくとも２つの第２駆動装置とによって、テーブルは、第１軸方向、第２軸方向、及びテーブル中心軸を中心とする回転方向の３つの方向に移動可能である。第１駆動装置は、第２軸方向におけるテーブル中心軸の位置と第１駆動軸の位置とが一致するように設けられているので、テーブルが回転したとき、第１軸方向のテーブルの端部に固定された第２ガイド部材と第２リニアベアリングとの干渉は抑制される。また、ベース部材において第１駆動軸に沿って移動する第１リニアベアリングと、テーブルに固定され第２軸方向に移動する第２リニアベアリングとは、第１ロッド部材及び第１回転軸受を介して連結される。そのため、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、第１ロッド部材と第１回転軸受との相対回転により、第２リニアベアリング及び第２ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記第２可動部材は、前記ベース部材に設けられた第３ガイド部材にガイドされ、前記第２駆動軸に沿って移動する第３リニアベアリングと、前記第３リニアベアリングに固定された第２ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第２ロッド中心軸を中心に前記第２ロッド部材に対して相対回転可能な第２回転軸受と、前記第２回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの端部に固定された第４ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第４リニアベアリングと、を含むことが好ましい。

ベース部材において第２駆動軸に沿って移動する第３リニアベアリングと、テーブルに固定され第１軸方向に移動する第４リニアベアリングとは、第２ロッド部材及び第２回転軸受を介して連結される。そのため、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、第２ロッド部材と第２回転軸受との相対回転により、第４リニアベアリング及び第４ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。したがって、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に接続され、前記ベース部材に設けられた第５ガイド部材にガイドされ、前記第２軸方向に移動する第５リニアベアリングと、前記第５リニアベアリングに固定された第３ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第３ロッド中心軸を中心に前記第３ロッド部材に対して相対回転可能な第３回転軸受と、前記第３回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に固定された第６ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第６リニアベアリングと、を有してもよい。

第２軸方向のテーブルの一方の端部に、第２駆動装置が接続され、第２軸方向のテーブルの他方の端部に、第５リニアベアリング、第３回転軸受、及び第６リニアベアリングを含む補助ガイド装置が設けられることにより、テーブルが第１軸方向に移動するとき、テーブル中心軸を中心とする回転方向に関するテーブルの位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、少なくとも２つの前記第２駆動装置のうち、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に接続され、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に接続されてもよい。

１つの第２駆動装置が第２軸方向のテーブルの一方の端部に接続され、１つの第２駆動装置が第２軸方向のテーブルの他方の端部に接続されることにより、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制され、テーブル装置の大型化、及び構造の複雑化が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面との間に配置され、前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが間隙を介して対向する状態で、前記テーブルを前記所定面と平行な方向にガイドするプレーンガイド装置を備えてもよい。

これにより、テーブルは、水平方向に円滑に移動可能である。

本発明の第１の態様において、前記プレーンガイド装置は、ロッド状のスライド部材を有し、前記テーブルに支持され、前記第３軸と平行な第３軸方向に前記スライド部材を移動可能に支持するガイド軸受を備えてもよい。

これにより、プレーンガイド装置がベース部材の上面に接触した状態で、テーブルの下面とベース部材の上面とが接触するようにテーブルが下方に移動するとき、プレーンガイド装置は、テーブルに対して上方に相対移動可能である。

本発明の第１の態様において、第３軸方向にプレーンガイド装置を移動する駆動素子を備えてもよい。

これにより、プレーンガイド装置に作用する第３方向の荷重が調整される。例えば、プレーンガイド装置に過大な荷重が作用することが抑制される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置を備え、前記テーブル装置の前記テーブルに支持されたワークの位置を決定する、位置決め装置が提供される。

本発明の第１の態様において、前記テーブルに前記テーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置を備えてもよい。

これにより、テーブルには回転方向に常にモーメントが作用し、テーブル装置の機構の遊びが無くなるため、位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記予圧装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第２軸方向に移動するための動力を発生する予圧アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記予圧アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な予圧駆動軸に沿って移動する予圧可動部材と、を有し、前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように設けられてもよい。

これにより、予圧アクチュエータが発生する力によってテーブルにモーメントを円滑に与えることができる。

本発明の第１の態様において、前記予圧可動部材は、前記ベース部材に設けられた第７ガイド部材にガイドされ、前記予圧駆動軸に沿って移動する第７リニアベアリングと、前記第７リニアベアリングに固定された第４ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第４ロッド中心軸を中心に前記第４ロッド部材に対して相対回転可能な第４回転軸受と、前記第４回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの端部に固定された第８ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第８リニアベアリングと、を含んでもよい。

これにより、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、第４ロッド部材と第４回転軸受との相対回転により、第８リニアベアリング及び第８ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、少なくとも２つの前記予圧装置が前記テーブルに与える力は、異なってもよい。

これにより、２つの予圧装置によってテーブルの異なる位置に異なる力を付与可能なので、回転方向におけるテーブルの位置決め精度の不足を抑制しつつテーブルにモーメントを付与することができる。

本発明の第２の態様によれば、テーブルに支持されたワークの位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第３の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置と、前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、フラットパネルディスプレイ製造装置は、テーブルによって位置決めされたワークを処理できるので、そのワークから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば２枚の基板を貼り合せる貼り合せ装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

本発明の第４の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置と、前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、を備える精密機械が提供される。

本発明の第４の態様によれば、精密機械は、テーブルによって位置決めされたワークを処理できるので、そのワークから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。精密機械は、例えば、精密測定機及び精密加工機の一方又は両方を含む。精密測定機は、テーブルによって位置決めされたワークを測定できるので、そのワークの測定を精密に行うことができる。精密加工機は、テーブルによって位置決めされたワークを加工できるので、そのワークの加工を精密に行うことができる。

本発明の態様によれば、位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械が提供される。

図１は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図２は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図３は、第１実施形態に係る連結装置の一例を示す図である。 図４は、比較例に係るテーブル装置を示す図である。 図５は、比較例に係るテーブル装置の動作を示す図である。 図６は、従来構造のテーブル装置における位置補正量と第１実施形態に係るテーブル装置における位置補正量とを比較する模式図である。 図７は、第２実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図８は、第３実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図９は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図１０は、第４実施形態に係るガイド軸受の近傍を示す拡大図である。 図１１は、第５実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図１２は、第５実施形態に係るプレーンガイド装置及び駆動素子の近傍を示す拡大図である。 図１３は、第６実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１４は、図１３のＢ−Ｂ線矢視図である。 図１５は、第７実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１６は、第８実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１７は、第９実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１８は、第９実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図１９は、第１０実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図２０は、第１１実施形態に係るフラットパネルディスプレイ製造装置の一例を示す図である。 図２１は、第１２実施形態に係る精密機械の一例を示す図である。 図２２は、第１３実施形態に係る精密機械の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内の第１軸と平行な方向を、Ｘ軸方向（第１軸方向）、とする。第１軸と直交する所定面内の第２軸と平行な方向を、Ｙ軸方向（第２軸方向）、とする。所定面と直交する第３軸と平行な方向を、Ｚ軸方向（第３軸方向）、とする。Ｘ軸（第１軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＸ方向、とする。Ｙ軸（第２軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＹ方向、とする。Ｚ軸（第３軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＺ方向、とする。所定面は、ＸＹ平面を含む。本実施形態において、所定面と水平面とは平行である。Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。ＸＹ平面は、Ｘ軸及びＹ軸を含む。ＸＺ平面は、Ｘ軸及びＺ軸を含む。ＹＺ平面は、Ｙ軸及びＺ軸を含む。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの一例を示す平面図である。図２は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの一例を示す側断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線矢視図に相当する。

図１及び図２に示すように、テーブル装置１００Ａは、上面１Ａ及び下面１Ｂを有するテーブル１と、テーブル１の下面１Ｂと対向する上面２Ａを有するベース部材２と、テーブル１を移動可能なアクチュエータ７を有する移動システム８とを備える。

テーブル１は、ワークＳを支持する。ワークＳは、テーブル１の上面１Ａに支持される。テーブル１は、ベース部材２に移動可能に支持される。ベース部材２の上面２Ａは、ＸＹ平面と平行である。ベース部材２の上面２Ａは、ＸＹ平面内においてテーブル１をガイドするガイド面である。テーブル１は、ベース部材２に支持された状態で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸と平行なテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向（θＺ方向）の３つの方向に移動可能である。テーブル中心軸ＡＸは、テーブル１の重心を通る。

また、テーブル装置１００Ａは、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面（ガイド面）２Ａとの間に配置され、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが間隙Ｇを介して対向する状態で、テーブル１をＸＹ平面と平行な方向にガイドするプレーンガイド装置３０を備える。プレーンガイド装置３０は、上面２Ａに接触した状態で回転可能な複数のボールを有する。ボールが上面２Ａに接触することにより、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面（ガイド面）２Ａとの間隙Ｇが維持される。なお、プレーンガイド装置３０が、静圧気体軸受を含んでもよい。

テーブル装置１００Ａは、ワークＳの位置を決定する位置決め装置として機能する。テーブル装置１００Ａを備える位置決め装置は、テーブル１に支持されたワークＳの位置を決定する。テーブル装置を、位置決め装置、と称してもよい。

移動システム８は、テーブル１にＸ軸方向の力を与える第１駆動装置９と、テーブル１にＹ軸方向の力を与える第２駆動装置１０と、を備える。第１駆動装置９及び第２駆動装置１０は、ベース部材２に支持される。

第１駆動装置９は、ベース部材２に支持され、テーブル１をＸ軸方向に移動するための動力を発生する第１アクチュエータ７Ｘと、テーブル１と連結され、第１アクチュエータ７Ｘの作動によりＸ軸と平行な第１駆動軸ＤＸに沿って移動する第１可動部材と、を有する。

第２駆動装置１０は、ベース部材２に支持され、テーブル１をＹ軸方向に移動するための動力を発生する第２アクチュエータ７Ｙと、テーブル１と連結され、第２アクチュエータ７Ｙの作動によりＹ軸と平行な第２駆動軸ＤＹに沿って移動する第２可動部材と、を有する。

図１に示すように、第１駆動装置９は、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致するように１つだけ設けられる。第２駆動装置１０は、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なるように少なくとも２つ設けられる。

本実施形態において、１つの第１駆動装置９が、テーブル１の＋Ｘ側の端部に連結される。２つの第２駆動装置１０が、テーブル１の−Ｙ側の端部に連結される。

移動システム８のアクチュエータ７は、第１アクチュエータ７Ｘ及び第２アクチュエータ７Ｙを含む。本実施形態において、アクチュエータ７は、サーボモータを含む。

移動システム８は、アクチュエータ７に接続されたボールねじ機構１５を有する。ボールねじ機構１５は、第１アクチュエータ７Ｘに接続された第１ボールねじ機構１５Ｘと、第２アクチュエータ７Ｙに接続された第２ボールねじ機構１５Ｙと、を含む。第１ボールねじ機構１５Ｘは、第１アクチュエータ７Ｘが発生する動力によって回転するボールねじと、そのボールねじの周囲に配置されたナットと、を含む。第２ボールねじ機構１５Ｙは、第２アクチュエータ７Ｙが発生する動力によって回転するボールねじと、そのボールねじの周囲に配置されたナットと、を含む。アクチュエータ７とボールねじ機構１５とは、カップリング１６を介して接続される。

第１駆動装置９は、第１アクチュエータ７Ｘと、第１ボールねじ機構１５Ｘのナットと接続され、第１駆動軸ＤＸに沿って移動可能な第１リニアベアリング１１と、ベース部材２に設けられ、第１リニアベアリング１１をＸ軸方向にガイドする第１ガイド部材１２と、接続部材２２を介してテーブル１の＋Ｘ側の端部に固定された第２ガイド部材１８にＹ軸方向にガイドされる第２リニアベアリング１９と、第１リニアベアリング１１と第２リニアベアリング１９とを連結する連結装置３と、を備える。

第２駆動装置１０は、第２アクチュエータ７Ｙと、第２ボールねじ機構１５Ｙのナットと接続され、第２駆動軸ＤＹに沿って移動可能な第３リニアベアリング１３と、ベース部材２に設けられ、第３リニアベアリング１３をＹ軸方向にガイドする第３ガイド部材１４と、接続部材２３を介してテーブル１の−Ｙ側の端部に固定された第４ガイド部材２０にＸ軸方向にガイドされる第４リニアベアリング２１と、第３リニアベアリング１３と第４リニアベアリング２１とを連結する連結装置３と、を備える。

第１駆動装置９の連結装置３は、第１リニアベアリング１１に固定されたロッド部材５と、ロッド部材５の周囲に配置され、Ｚ軸と平行なロッド中心軸Ｊを中心にロッド部材５に対してθＺ方向に相対回転可能な回転軸受４と、を有する。本実施形態において、第１リニアベアリング１１に第１支持部材６Ｘが固定されている。ロッド部材５は、第１支持部材６Ｘに固定される。ロッド部材５は、第１支持部材６Ｘの上面から上方に突出するように設けられる。回転軸受４は、第２リニアベアリング１９に接続される。

第２駆動装置１０の連結装置３は、第３リニアベアリング１３に固定されたロッド部材５と、ロッド部材５の周囲に配置され、Ｚ軸と平行なロッド中心軸Ｊを中心にロッド部材５に対してθＺ方向に相対回転可能な回転軸受４と、を有する。本実施形態において、第３リニアベアリング１３に第２支持部材６Ｙが固定されている。ロッド部材５は、第２支持部材６Ｙに固定される。ロッド部材５は、第２支持部材６Ｙの上面から上方に突出するように設けられる。回転軸受４は、第４リニアベアリング２１に接続される。

第１アクチュエータ７Ｘが作動すると、第１ボールねじ機構１５Ｘのボールねじが回転する。これにより、第１リニアベアリング１１がＸ軸方向に移動する。第１リニアベアリング１１は、ベース部材２に設けられた第１ガイド部材１２によりＸ軸方向にガイドされ、第１駆動軸ＤＸに沿って移動する。第１リニアベアリング１１が移動すると、第１支持部材６Ｘを介して第１リニアベアリング１１に固定されているロッド部材５が、第１リニアベアリング１１と一緒にＸ軸方向に移動する。ロッド部材５が移動すると、ロッド部材５の周囲に配置されている回転軸受４が、ロッド部材５と一緒にＸ軸方向に移動する。回転軸受４が移動すると、回転軸受４に接続されている第２リニアベアリング１９が、回転軸受４と一緒にＸ軸方向に移動する。第２リニアベアリング１９が移動すると、第２ガイド部材１８及び接続部材２２を介して第２リニアベアリング１９に接続されているテーブル１が、第２リニアベアリング１９と一緒にＸ軸方向に移動する。

第２アクチュエータ７Ｙが作動すると、第２ボールねじ機構１５Ｙのボールねじが回転する。これにより、第３リニアベアリング１３がＹ軸方向に移動する。第３リニアベアリング１３は、ベース部材２に設けられた第３ガイド部材１４によりＹ軸方向にガイドされ、第２駆動軸ＤＹに沿って移動する。第３リニアベアリング１３が移動すると、第２支持部材６Ｙを介して第３リニアベアリング１３に固定されているロッド部材５が、第３リニアベアリング１３と一緒にＹ軸方向に移動する。ロッド部材５が移動すると、ロッド部材５の周囲に配置されている回転軸受４が、ロッド部材５と一緒にＹ軸方向に移動する。回転軸受４が移動すると、回転軸受４に接続されている第４リニアベアリング２１が、回転軸受４と一緒にＹ軸方向に移動する。第４リニアベアリング２１が移動すると、第４ガイド部材２０及び接続部材２３を介して第４リニアベアリング２１に接続されているテーブル１が、第４リニアベアリング２１と一緒にＹ軸方向に移動する。

このように、移動システム８は、第１駆動装置９の第１アクチュエータ７Ｘを作動することにより、テーブル１をＸ軸方向に移動することができる。また、移動システム８は、第２駆動装置１０の第２アクチュエータ７Ｙを作動することにより、テーブル１をＹ軸方向に移動することができる。また、移動システム８は、複数（２つ）の第２駆動装置１０の第２アクチュエータ７Ｙの作動量を変えて、θＺ方向（回転方向）にテーブル１を移動することができる。

本実施形態において、テーブル１と連結され、第１アクチュエータ７Ｘの作動により第１駆動軸ＤＸに沿って移動する第１可動部材は、第１リニアベアリング１１、ロッド部材５及び回転軸受４を含む連結装置３、及び第２リニアベアリング１９を含む。また、テーブル１と連結され、第２アクチュエータ７Ｙの作動により第２駆動軸ＤＹに沿って移動する第２可動部材は、第３リニアベアリング１３、ロッド部材５及び回転軸受４を含む連結装置３、及び第４リニアベアリング２１を含む。

図３は、本実施形態に係る第１駆動装置９の連結装置３の一例を示す図である。図３に示すように、連結装置３は、第１リニアベアリング１１に固定された第１支持部材６Ｘの上面から上方に突出するように設けられるロッド部材５と、ロッド部材５の周囲に配置される回転軸受４とを有する。

ロッド部材５は、ロッド部５Ｌと、ロッド部５Ｌの上端部及び下端部のそれぞれに配置されたフランジ部５Ｆと、を有する。

回転軸受４は、実質的に円筒状である。回転軸受４は、ロッド部５Ｌの周囲に配置される。回転軸受４は、ケーシング１７に支持される。第２リニアベアリング１９は、ケーシング１７を介して、回転軸受４に接続される。

回転軸受４は、玉軸受を含む。回転軸受４は、ロッド部５Ｌに接触するように配置される内輪４Ａと、内輪４Ａの周囲に配置される外輪４Ｂと、内輪４Ａと外輪４Ｂとの間に配置されるボール４Ｃと、を含む。本実施形態において、内輪４Ａ、外輪４Ｂ、及びボール４Ｃを含む玉軸受は、鉛直方向（ロッド部５Ｌの中心軸と平行な方向）に２つ配置される。

回転軸受４は、鉛直方向のロッド部材５の移動を許容する。回転軸受４への予圧量が調整されることにより、鉛直方向のロッド部材５の移動が許容される。ロッド部材５は、鉛直方向に移動可能に回転軸受４に支持される。本実施形態において、テーブル１は、第１駆動装置９及び支持部材６に対して、鉛直方向に移動可能である。換言すれば、第１駆動装置９及び支持部材６に対する鉛直方向のテーブル１の変位が許容されている。但し、回転軸受４により鉛直方向のロッド部材５の移動が許容されることによりＸ軸方向のテーブル１の位置決め精度の低下が問題となる場合には、予圧が付与され半径方向に隙間が無いニードル軸受を用いて、鉛直方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。また、ロッド部材５の移動量が小さい場合には、回転軸受４の軸方向剛性により、鉛直方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。また、回転軸受４が正面組合せされ、その正面組合せされた回転軸受４からなる軸受部のθＹ方向の回転と、リニアベアリング１１のθＹ方向の回転とにより、鉛直方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。

第２駆動装置１０の連結装置３は、第１駆動装置９の連結装置３と同等の構造である。第２駆動装置１０の連結装置３についての説明は省略する。

次に、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの動作の一例について説明する。テーブル１に支持されたワークＳのＸＹ平面内における位置が移動システム８により調整される。Ｘ軸方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム８は、第１駆動装置９の第１アクチュエータ７Ｘを作動する。Ｙ軸方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム８は、第２駆動装置１０の第２アクチュエータ７Ｙを作動する。θＺ方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム８は、２つの第２駆動装置１０の第２アクチュエータ７Ｙの作動量を変えて、それら２つの第２アクチュエータ７Ｙを作動する。

本実施形態においては、Ｙ軸方向に関してテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致するように、第１駆動装置９が設けられる。第１駆動軸ＤＸは、第１駆動装置９がテーブル１に力を付与するときの力点を含む。本実施形態において、第１駆動軸ＤＸは、第１ボールねじ機構１５Ｘのボールねじの中心軸を含み、Ｘ軸と平行である。また、Ｙ軸方向に関して、第１駆動軸ＤＸの位置と回転軸受４の中心軸（ロッド中心軸Ｊ）とは一致する。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致されることにより、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転しても、第１駆動装置９の第２リニアベアリング１９と第２ガイド部材１８との干渉が抑制され、第２ガイド部材１８による第２リニアベアリング１９の円滑なガイドが維持される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め精度の不足が抑制される。

本実施形態においては、Ｘ軸方向に関してテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なるように、２つの第２駆動装置１０が設けられる。第２駆動軸ＤＹは、第２駆動装置１０がテーブル１に力を付与するときの力点を含む。本実施形態において、第２駆動軸ＤＹは、第２ボールねじ機構１５Ｙのボールねじの中心軸を含み、Ｙ軸と平行である。Ｘ軸方向に関して、第２駆動軸ＤＹの位置と回転軸受４の中心軸（ロッド中心軸Ｊ）とは一致する。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なることにより、テーブル１はＹ軸方向及びθＺ方向に移動可能である。

テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転したとき、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸとの位置がずれ（オフセットされ）、そのオフセットに起因して、第２リニアベアリング１９及び第２ガイド部材１８にモーメントが作用する可能性がある。本実施形態においては、第１アクチュエータ７Ｘに連結されＸ軸方向に移動する第１リニアベアリング１１と、テーブル１に連結されＹ軸方向に移動する第２リニアベアリング１９との間に、回転軸受４を含む連結装置３が配置される。第１リニアベアリング１１と第２リニアベアリング１９とは、回転軸受４を含む連結装置３を介して連結される。そのため、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転しても、連結装置３におけるロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第２リニアベアリング１９及び第２ガイド部材１８に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め誤差が低減され、干渉を避けるための第１駆動装置９による位置補正量の算出も簡単となる。

図４は、比較例に係るテーブル装置１００Ｊを示す図である。図４に示すテーブル装置１００Ｊにおいては、テーブル１にロッド部材５が固定され、そのロッド部材５の周囲に回転軸受４が配置されている。回転軸受４と第２ガイド部材１８とが接続され、第２リニアベアリング１９と第１リニアベアリング１１とが固定されている。

図５は、比較例に係るテーブル装置１００Ｊの動作の一例を示す図である。図５（Ａ）に示す状態から、テーブル１がθＺ方向に回転すると、図５（Ｂ）に示すように、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸとの位置がずれる（オフセットされる）。図５（Ｂ）に示す状態において、第２リニアベアリング１９及び第２ガイド部材１８に作用するモーメントを低減するためには、テーブル中心軸ＡＸと第１駆動軸ＤＸとのオフセット量ＯＦを考慮して、第１駆動装置９の第１アクチュエータ７Ｘを作動し、Ｘ軸方向における第２リニアベアリング１９の位置を補正する必要がある。

比較例に係るテーブル装置１００Ｊにおいては、Ｘ軸方向における第２リニアベアリング１９の位置を補正するための位置補正量の算出が複雑化する可能性がある。例えば、位置補正量の算出に、第２駆動装置１０によるＹ軸方向におけるテーブル１の移動量を計算に含める必要がある。本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの構造を採用することにより、位置補正量の算出が簡単となる。

図６は、例えば特開２０１２−１１２７１５号公報に開示されているような従来構造のテーブル装置におけるアクチュエータによる位置補正量と、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａにおける第１アクチュエータ７Ｘによる位置補正量とを比較する模式図である。図６は、テーブルを模式的に示す図であり、テーブルはテーブル中心軸ＡＸを中心に角度θだけ回転する。

従来構造のテーブル装置の場合、位置補正量ＤＪとして［ＯａＸ×ｔａｎθ］だけテーブルを移動させる必要がある。一方、本出願に係るテーブル装置１００Ａにおいては、位置補正量Ｄとして［Ｌ（１−１／cosθ）］だけテーブルを移動させればよい。また、角度θが微小である場合、位置補正量は無視できる。但し、オフセット量ＯＦ、テーブルの回転量、及び位置決め精度のバランスによっては、補正が必要となる。例えば、位置決め精度１［μｍ］を得たい場合、回転量を０．１［°］とするならば、位置補正量を１［μｍ］以下とするためには、オフセット量ＯＦは、０．５７［ｍｍ］以下、つまり設計上はオフセット量をゼロとして、オフセットを部品の加工や組立公差による誤差レベルに抑制する必要がある。

以上説明したように、本実施形態によれば、１つの第１駆動装置９と少なくとも２つの第２駆動装置１０とによって、テーブル１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の３つの方向に移動可能である。第１駆動装置９は、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致するように設けられているので、テーブル１が回転したとき、Ｘ軸方向のテーブル１の端部に固定された第２ガイド部材１８と第２リニアベアリング１９との干渉は抑制される。また、ベース部材２において第１駆動軸ＤＸに沿って移動する第１リニアベアリング１１と、テーブル１に固定されＹ軸方向に移動する第２リニアベアリング１９とは、第１駆動装置９のロッド部材５及び回転軸受４を介して連結される。そのため、テーブル中心軸ＡＸを中心にテーブル１を回転しても、第１駆動装置９のロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第２リニアベアリング１９及び第２ガイド部材１８に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め精度の不足が抑制される。

また、本実施形態においては、ベース部材２において第２駆動軸ＤＹに沿って移動する第３リニアベアリング１３と、テーブル１に固定されＸ軸方向に移動する第４リニアベアリング２１とは、第２駆動装置１０のロッド部材５及び回転軸受４を介して連結される。そのため、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心に回転しても、第２駆動装置１０のロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第４リニアベアリング２１及び第４ガイド部材２０に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め精度の不足が抑制される。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図７は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｂの一例を示す平面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｂは、上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ａに、補助ガイド装置５０を設けた点を特徴とする。

テーブル装置１００Ｂは、テーブル１の＋Ｘ側の端部に接続される１つの第１駆動装置９と、テーブル１の−Ｙ側の端部に接続される２つの第２駆動装置１０と、テーブル１の＋Ｙ側の端部に接続される２つの補助ガイド装置５０とを有する。

補助ガイド装置５０は、ベース部材２に設けられた第５ガイド部材１４Ｂにガイドされ、Ｙ軸方向に移動する第５リニアベアリング１３Ｂと、第５リニアベアリング１３Ｂに固定されたロッド部材５の周囲に配置され、Ｚ軸と平行なロッド中心軸Ｊを中心にロッド部材５に対して相対回転可能な回転軸受４と、回転軸受４に接続され、テーブル１の＋Ｙ側の端部に固定された第６ガイド部材２０ＢにＸ軸方向にガイドされる第６リニアベアリング２１Ｂと、を有する。

すなわち、補助ガイド装置５０は、第２駆動装置１０から第２アクチュエータ７Ｙ、カップリング１６、及び第２ボールねじ機構１５Ｙを除いた構造を有する。Ｙ軸方向に移動する第５リニアベアリング１３Ｂと、Ｘ軸方向に移動する第６リニアベアリング２１Ｂとは、ロッド部材５及び回転軸受４を含む連結装置３によって連結される。

第２駆動装置１０は、テーブル１の−Ｙ側の空間において、Ｘ軸方向に２つ配置される。補助ガイド装置５０は、テーブル１の＋Ｙ側の空間において、Ｘ軸方向に２つ配置される。

２つの第２駆動装置１０のうち一方の第２駆動装置１０のＸ軸方向の位置と、２つの補助ガイド装置５０のうち一方の補助ガイド装置５０のＸ軸方向の位置とは、等しい。２つの第２駆動装置１０のうち他方の第２駆動装置１０のＸ軸方向の位置と、２つの補助ガイド装置５０のうち他方の補助ガイド装置５０のＸ軸方向の位置とは、等しい。すなわち、２つの第２駆動装置１０の連結装置３（ロッド中心軸Ｊ）のＸ座標と、２つの補助ガイド装置５０の連結装置３（ロッド中心軸Ｊ）のＸ座標とは、等しい。

本実施形態においても、移動システム８のアクチュエータ７の作動により、テーブル１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びθＺ方向の３つの方向に移動することができる。

以上説明したように、本実施形態によれば、テーブル１の−Ｙ側の端部に第２駆動装置１０が接続され、テーブル１の＋Ｙ側の端部に補助ガイド装置５０が接続される。これにより、テーブル１がＸ軸方向に移動するとき、テーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向に関するテーブル１００Ｂの位置決め精度の不足が抑制される。また、第１アクチュエータ７Ｘから見て、等間隔に同一の大きさの摩擦が生じることで、テーブル１をＸ軸方向に移動させたときに、θＺ方向の位置決め誤差となるモーメントの発生を抑制することができる。

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図８は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｃの一例を示す平面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｃは、上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ａの変形例である。

図８に示すように、２つの第２駆動装置１０のうち、１つの第２駆動装置１０が、テーブル１の＋Ｙ側の端部に接続され、１つの第２駆動装置１０が、テーブル１の−Ｙ側の端部に接続される。

テーブル１のテーブル中心軸ＡＸに対して＋Ｙ側に配置された第２駆動装置１０のＸ軸方向の位置と、テーブル１のテーブル中心軸ＡＸに対して−Ｙ側に配置された第２駆動装置１０のＸ軸方向の位置とは、異なる。すなわち、テーブル１のテーブル中心軸ＡＸに対してＹ軸方向の両側に配置された第２駆動装置１０の連結装置３（ロッド中心軸Ｊ）のＸ座標は、異なる。

本実施形態においても、テーブル装置１００Ｃの位置決め精度の不足が抑制され、テーブル装置１００Ｃの大型化、及び構造の複雑化が抑制される。

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図９は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｄの一部を示す側断面図である。本実施形態においては、プレーンガイド装置３０の変形例であるプレーンガイド装置３０Ｂについて説明する。

プレーンガイド装置３０Ｂは、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとの間に配置され、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが間隙Ｇを介して対向する状態で、テーブル１をＸＹ平面と平行な方向にガイドする。

プレーンガイド装置３０Ｂは、テーブル１に形成された内部空間１Ｈに配置される。プレーンガイド装置３０Ｂは、複数のボール３１を支持する支持板３２と、支持板３２に接続されたロッド状のスライド部材３３と、を有する。ボール３１は、支持板３２の下面側に配置される。ボール３１は、回転（転動）可能に支持板３２に支持される。プレーンガイド装置３０Ｂのうち、ボール３１の少なくとも一部が、テーブル１の下面１Ｂから下方に突出するように配置される。

移動システム８の作動により、テーブル１は、ベース部材２の上面２Ａにおいて移動する。間隙Ｇが形成されているとき、プレーンガイド装置３０Ｂのボール３１は、ベース部材２の上面２Ａと接触した状態で、転動可能である。これにより、テーブル１は、上面２Ａと平行なＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びθＺ方向の少なくとも一つの方向にガイドされる。

スライド部材３３は、支持板３２の上面に固定される。スライド部材３３は、支持板３２の上面から上方に突出するように設けられる。スライド部材３３は、ロッド部３３Ｌと、ロッド部３３Ｌの上端部及び下端部のそれぞれに配置されたフランジ部３３Ｆと、を有する。

本実施形態において、テーブル装置１００Ｄは、テーブル１に支持され、Ｚ軸方向にスライド部材３３を移動可能に支持するガイド軸受３４を備えている。

図１０は、本実施形態に係るガイド軸受３４の近傍を示す拡大図である。ガイド軸受３４は、ロッド部３３Ｌの周囲に配置される。ガイド軸受３４は、テーブル１の内部空間１Ｈの内面に支持される。

ガイド軸受３４は、玉軸受を含む。ガイド軸受３４は、ロッド部３３Ｌに接触するように配置される内輪３４Ａと、内輪３４Ａの周囲に配置される外輪３４Ｂと、内輪３４Ａと外輪３４Ｂとの間に配置されるボール３４Ｃと、を含む。本実施形態において、内輪３４Ａ、外輪３４Ｂ、及びボール３４Ｃを含む玉軸受は、Ｚ軸方向（ロッド部３３Ｌの中心軸と平行な方向）に２つ配置される。

ガイド軸受３４は、Ｚ軸方向のスライド部材３３（プレーンガイド装置３０Ｂ）の移動を許容する。スライド部材３３は、Ｚ軸方向に移動可能にガイド軸受３４に支持される。本実施形態において、プレーンガイド装置３０Ｂは、テーブル１に対して、Ｚ軸方向に移動可能である。換言すれば、テーブル１に対するＺ軸方向のプレーンガイド装置３０Ｂの変位が許容されている。

テーブル装置１００Ｄを用いるデバイスの製造工程等において、テーブル１に対して鉛直方向下向き（−Ｚ方向）の荷重が作用する場合がある。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が零の場合、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとは、間隙Ｇを介して対向する。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満において、そのテーブル１にＺ軸方向の荷重が作用した場合、間隙Ｇの寸法が小さくなるように、テーブル１が下降する。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満の場合、ガイド軸受３４は、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触しないように、テーブル１を支持する。

テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満で、間隙Ｇが形成されている状態で、テーブル１に支持されているプレーンガイド装置３０Ｂの少なくとも一部は、ベース部材２の上面２Ａに接触する。移動システム８の作動により、テーブル１がＸＹ平面内を移動するとき、テーブル１は、プレーンガイド装置３０Ｂを介して、ベース部材２の上面２Ａにガイドされる。これにより、テーブル１は、水平方向に円滑に移動することができる。

ガイド軸受３４は、間隙Ｇの寸法だけ、Ｚ軸方向に関するテーブル１の移動を許容する。間隙Ｇの寸法とは、テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が零のとき（無荷重のとき）の下面１Ｂと上面２Ａとの距離である。鉛直方向下向き（−Ｚ方向）の荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１は、ガイド軸受３４にガイドされながら、下方（−Ｚ方向）に移動する。テーブル１が下方に移動することにより、テーブル１の下面１Ｂは、ベース部材２の上面２Ａに接触する。テーブル１に対する鉛直方向下向きの力が所定値のとき、テーブル１の下面１Ｂは、ベース部材２の上面２Ａに接触する。ガイド軸受３４は、所定値以上の鉛直方向下向きの荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触するように、Ｚ軸方向にテーブル１をガイドする。テーブル１の下面１Ｂがベース部材２の上面２Ａに接触することにより、テーブル１は、ベース部材２の上面２Ａに支持される。

間隙Ｇの寸法は、ガイド軸受３４に過剰な負荷（過負荷）が作用される前に下面１Ｂと上面２Ａとが接触するように定められている。換言すれば、間隙Ｇの寸法の範囲内でテーブル１が鉛直方向に移動しても、ガイド軸受３４に過負荷が作用しないように、間隙Ｇの寸法が定められている。なお、ガイド軸受３４に過負荷が作用する状態とは、静定格荷重を超えるような荷重がガイド軸受３４に作用する状態、及びボール３４Ｃが内輪３４Ａ及び外輪３４Ｂのガイド溝から外れてしまうような荷重がガイド軸受３４に作用する状態が例示される。

所定値とは、−Ｚ方向の荷重がテーブル１に作用し、Ｚ軸方向に関するテーブル１の位置をガイド軸受３４が維持できず、テーブル１が−Ｚ方向に移動して、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触し、間隙Ｇの寸法が零になるときの、テーブル１に作用する−Ｚ方向の荷重の値をいう。テーブル１に作用する荷重が零のとき（無荷重のとき）、テーブル１は−Ｚ方向に移動せず、Ｚ軸方向に関するテーブル１の位置は維持され、下面１Ｂと上面２Ａとの間隙Ｇは維持される。テーブル１に−Ｚ方向の荷重が作用すると、−Ｚ方向のテーブル１の移動が開始される。テーブル１に作用する荷重が所定値未満のとき、テーブル１は−Ｚ方向に移動し、間隙Ｇの寸法は徐々に小さくなるものの、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとは離れている。テーブル１に作用する荷重が所定値に達すると、−Ｚ方向に移動したテーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触し、間隙Ｇの寸法は零になる。

なお、ガイド軸受３４に過負荷が作用される前に下面１Ｂと上面２Ａとが接触可能な間隙Ｇの寸法、及び荷重の所定値は、実験又はシミュレーションに基づいて予め求めることができる。求められたデータに基づいて、使用されるガイド軸受３４に適切な間隙Ｇの寸法、及び荷重の所定値が定められる。

ガイド軸受３４と同様、連結装置３の回転軸受４も、テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満の場合、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触しないように、テーブル１を支持する。回転軸受４は、間隙Ｇの寸法だけ、Ｚ軸方向に関するテーブル１の移動を許容する。鉛直方向下向き（−Ｚ方向）の荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１は、回転軸受４にガイドされながら、下方（−Ｚ方向）に移動する。所定値以上の鉛直方向下向きの荷重がテーブル１に作用したとき、回転軸受４は、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触するように、Ｚ軸方向にテーブル１をガイドする。

本実施形態においては、ガイド軸受３４は、Ｚ軸方向のスライド部材３３（プレーンガイド装置３０Ｂ）の移動を許容する。所定値以上の鉛直方向下向きの荷重がテーブル１に作用し、テーブル１が下方に移動するとき、ガイド軸受３４に支持されているプレーンガイド装置３０Ｂは、テーブル１に対して相対的に上方に移動可能である。これにより、プレーンガイド装置３０Ｂの全部が、テーブル１の内部空間１Ｈに収容される。

本実施形態において、Ｚ軸方向のガイド軸受３４の剛性は、Ｚ軸方向のプレーンガイド装置３０Ｂの剛性よりも小さい。テーブル１が下方に移動すると、プレーンガイド装置３０Ｂには、鉛直方向上向きの負荷が作用する。間隙Ｇの寸法は、プレーンガイド装置３０Ｂに過剰な負荷（過負荷）が作用される前に下面１Ｂと上面２Ａとが接触するように定められている。換言すれば、間隙Ｇの寸法の範囲内でテーブル１が鉛直方向に移動しても、プレーンガイド装置３０Ｂに過負荷が作用しないように、間隙Ｇの寸法が定められている。

以上説明したように、本実施形態によれば、プレーンガイド装置３０Ｂが設けられているので、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが間隙Ｇを介して対向する状態で、テーブル１は、ベース部材２の上面２Ａと平行な水平方向に円滑に移動することができる。

また、本実施形態によれば、プレーンガイド装置３０Ｂは、ロッド状のスライド部材３３を有する。スライド部材３３は、テーブル１に支持されているガイド軸受３４によって、Ｚ軸方向に移動可能に支持される。そのため、ガイド軸受３４がベース部材２の上面２Ａに接触した状態で、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触するようにテーブル１が下方に移動するとき、プレーンガイド装置３０Ｂはテーブル１に対して上方に相対移動することができる。これにより、プレーンガイド装置３０Ｂは、テーブル１の内部空間１Ｈに収容される。

＜第５実施形態＞
第５実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１１は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｅの一例を示す側断面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｅの殆どの部分が、上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ｄと同一である。本実施形態において、テーブル装置１００Ｅは、Ｚ軸方向にプレーンガイド装置３０Ｂを移動する駆動素子３５を備えている。

図１２は、本実施形態に係るプレーンガイド装置３０Ｂ及び駆動素子３５の近傍を示す拡大図である。プレーンガイド装置３０Ｂは、支持板３２に固定されたロッド状のスライド部材３３を有する。テーブル１の内部空間１Ｈには、Ｚ軸方向にスライド部材３３を移動可能に支持するガイド軸受３４が設けられている。ガイド軸受３４は、テーブル１の内部空間１Ｈの内面に支持される。

ガイド軸受３４は、玉軸受を含む。ガイド軸受３４は、ロッド部３３Ｌに接触するように配置される内輪３４Ａと、内輪３４Ａの周囲に配置される外輪３４Ｂと、内輪３４Ａと外輪３４Ｂとの間に配置されるボール３４Ｃと、を含む。本実施形態において、内輪３４Ａ、外輪３４Ｂ、及びボール３４Ｃを含む玉軸受は、Ｚ軸方向（ロッド部３３Ｌの中心軸と平行な方向）に２つ配置される。

本実施形態においては、上下方向に配置された２つの内輪３４Ａの間にスペーサ部材３７が配置される。内輪３４Ａは、スペーサ部材３７と接触する。上下方向に配置された２つの外輪３４Ｂは、間隙を介して対向する。

駆動素子３５は、例えばピエゾ素子のような圧電素子を含む。駆動素子３５は、ガイド軸受３４の上面と、テーブル１の内部空間１Ｈの内面に固定された固定部材３６との間に配置される。

駆動素子３５は、Ｚ軸方向に関するプレーンガイド装置３０Ｂの下端部（本実施形態においてはボール３４Ｃの下端部）の位置を調整可能である。駆動素子３５が縮むことによって、プレーンガイド装置３０Ｂの下端部は上方に移動する。駆動素子３５が伸びることによって、プレーンガイド装置３０Ｂの下端部は下方に移動する。

本実施形態において、駆動素子３５は、ガイド軸受３４の上下方向に配置された２つの外輪３４Ｂのうち上側の外輪３４Ｂと固定部材３６との間に配置される。駆動素子３５の作動により、２つの外輪３４Ｂの距離が変化する。これにより、プレーンガイド装置３０Ｂの下端部の位置が調整される。

本実施形態によれば、駆動素子３５によって鉛直方向のプレーンガイド装置３０Ｂの下端部の位置が調整可能である。そのため、プレーンガイド装置３０Ｂに作用する荷重が調整される。例えば、プレーンガイド装置３０Ｂに過大な荷重が作用することが抑制される。

テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満の場合、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとは、間隙Ｇを介して対向する。間隙Ｇが形成されている状態で、テーブル１に支持されているプレーンガイド装置３０Ｂの下端部は、ベース部材２の上面２Ａに接触する。駆動素子３５によりＺ軸方向のプレーンガイド装置３０Ｂの下端部の位置が調整されることによって、上面２Ａに接触するプレーンガイド装置３０の下端部に作用する荷重が調整される。

所定値以上の鉛直方向下向き（−Ｚ方向）の荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１は、回転軸受４にガイドされながら、下方（−Ｚ方向）に移動する。テーブル１が下方に移動することにより、テーブル１の下面１Ｂは、ベース部材２の上面２Ａに接触する。テーブル１の下面１Ｂがベース部材２の上面２Ａに接触することにより、テーブル１は、ベース部材２の上面２Ａに支持される。テーブル１が下方に移動するとき、ガイド軸受３４を介してテーブル１に支持されているプレーンガイド装置３０Ｂの下端部は、ベース部材２の上面２Ａから荷重を受ける。テーブル１が下方に移動するとき、ベース部材２の上面２Ａから受けるプレーンガイド装置３０Ｂの下端部の荷重は、増大する。本実施形態においては、テーブル１が下方に移動してプレーンガイド装置３０Ｂの下端部に作用する荷重が増大するときにおいて、駆動素子３５は、テーブル１に対してプレーンガイド装置３０Ｂの下端部を上方に相対移動する。これにより、プレーンガイド装置３０Ｂの下端部に作用する荷重の増大が抑制される。

以上説明したように、本実施形態によれば、Ｚ軸方向にプレーンガイド装置３０Ｂを移動可能な駆動素子３５が設けられるので、プレーンガイド装置３０Ｂに過大な荷重が作用することが抑制される。プレーンガイド装置３０Ｂに作用する荷重の低減が図れるので、プレーンガイド装置３０Ｂの大型化が抑制される。

なお、本実施形態において、ベース部材２の内部空間に、プレーンガイド装置３０Ｂ、ガイド軸受３４、及び駆動素子３５が配置されてもよい。

なお、本実施形態において、駆動素子３５が、エアシリンダのような力制御アクチュエータでもよい。

なお、本実施形態において、テーブル１にＺ軸方向の荷重が作用していないときに、駆動素子３５により、テーブル１とベース部材２との間隙Ｇの寸法が零に調整されてもよい。

＜第６実施形態＞
第６実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１３は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｆの一例を示す平面図である。図１４は、図１３のＢ−Ｂ線矢視図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｆは、上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ａの変形例である。

上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ａと同様、テーブル装置１００Ｆは、１つの第１駆動装置９と、２つの第２駆動装置１０とを備える。第１駆動装置９は、テーブル１の＋Ｘ側の端部に接続される。第２駆動装置１０は、テーブル１の−Ｙ側の端部に接続される。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動装置９の第１駆動軸ＤＸの位置とは一致する。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動装置１０の第２駆動軸ＤＹの位置とは異なる。

本実施形態に係るテーブル装置１００Ｆは、テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向（θＺ方向）の力を予め与える予圧装置６０を備える。予圧装置６０は、Ｙ軸方向に力を作用させることで、テーブル１にθＺ方向の力を常に与え続ける。予圧装置６０は、第１駆動装置９及び第２駆動装置１０の一方又は両方がテーブル１を移動させるための力を発生している状態において、中心軸ＡＸを中心とする一定の方向に一定の力をテーブル１に与え続ける。予圧装置６０が発生する力（予圧力）は、第１駆動装置９が発生する力（駆動力）及び第２駆動装置１０が発生する力（駆動力）よりも小さい。

予圧装置６０は、ベース部材２に支持され、テーブル１をＹ軸方向に移動するための動力を発生する予圧アクチュエータ７Ｐと、テーブル１と連結され、予圧アクチュエータ７Ｐの作動によりＹ軸と平行な予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する予圧可動部材と、を有する。予圧装置６０は、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧駆動軸ＤＰの位置とが異なるように設けられる。

本実施形態において、予圧アクチュエータ７Ｐは、エアシリンダである。予圧アクチュエータ７Ｐのシリンダ部はベース部材２に固定される。

予圧可動部材は、ベース部材２に設けられた第７ガイド部材６４にガイドされ、予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する第７リニアベアリング６３と、第７リニアベアリング６３に固定されたロッド部材５の周囲に配置され、Ｚ軸と平行なロッド中心軸Ｊを中心にロッド部材５に対して相対回転可能な回転軸受４と、回転軸受４に接続され、＋Ｙ側のテーブル１の端部に固定された第８ガイド部材７０にＸ軸方向にガイドされる第８リニアベアリング７１と、を含む。

第７リニアベアリング６３は、予圧アクチュエータ７Ｐのロッド部と接続され、予圧アクチュエータ７Ｐの作動により予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する。第７ガイド部材６４は、ベース部材２に固定され、第７リニアベアリング６３をＹ軸方向にガイドする。第８ガイド部材７０は、接続部材７３を介してテーブル１の＋Ｙ側の端部に固定される。第８リニアベアリング７１は、第８ガイド部材７０にＸ軸方向にガイドされる。

予圧アクチュエータ７Ｐのロッド部又は第７リニアベアリング６３と第８リニアベアリング７１とは、回転軸受４及びロッド部材５を含む連結装置３によって連結される。連結装置３は上述の実施形態で説明した連結装置３と同様であるため、その説明を省略する。

以上説明したように、本実施形態によれば、予圧装置６０により、テーブル１には回転方向に常にモーメントが作用する。そのため、テーブル装置１００Ｆの機構の遊びが無くなるため、テーブル装置１００Ｆの位置決め精度の不足が抑制される。

また、本実施形態によれば、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧装置６０の予圧駆動軸ＤＰの位置とは異なる。そのため、予圧アクチュエータ７Ｐが発生する力によってテーブル１にモーメントを円滑に作用させることができる。

また、本実施形態によれば、予圧アクチュエータ７Ｐと第８リニアベアリング７１とは、ロッド部材５及び回転軸受４を含む連結装置３によって連結される。そのため、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心に回転しても、ロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第８リニアベアリング７１及び第８ガイド部材７０に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ｆの位置決め精度の劣化が抑制される。

また、本実施形態によれば、第８リニアベアリング７１と第８ガイド部材７０及び第７リニアベアリング６３と第７ガイド部材６４の相対移動可能かつ、シリンダの力は一定だが、位置は定まっていないため、テーブル１は円滑に回転可能である。

なお、本実施形態においては、予圧アクチュエータ７Ｐがエアシリンダであることとした。予圧アクチュエータ７Ｐが、ボールねじ機構を介してテーブル１に予圧を与えるサーボモータでもよい。ただし位置決めモードではなくモータはトルクモードで制御されている。以下の実施形態においても同様である。

＜第７実施形態＞
第７実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１５は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｇの一例を示す平面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｇは、上述の実施形態で説明したテーブル装置１００Ｆの変形例である。

テーブル装置１００Ｇにおいて、予圧装置６０は、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧駆動軸ＤＰの位置とが異なるように２つ設けられる。本実施形態において、２つの予圧装置６０がテーブル１に与える力は、異なる。すなわち、一方の予圧装置６０の予圧アクチュエータ７Ｐａの出力と、他方の予圧装置６０の予圧アクチュエータ７Ｐｂの出力とは大きさが異なる。

以上説明したように、本実施形態によれば、２つの予圧装置６０が設けられ、テーブル１の＋Ｙ側の端部の２つの位置に異なる力を付与可能なので、θＺ方向におけるテーブル１にモーメントを付与し、θＺ方向におけるテーブル１の位置決め精度の不足を抑制することができる。また、本実施形態によれば、２つの予圧装置６０が２つの第２駆動装置１０と対称となるように配置されているので、第２駆動装置１０の第３ガイド部材１４に作用する摩擦力と、予圧装置６０の第７ガイド部材６４に作用する摩擦力とがＸ軸に対して対称となり、θＺ方向におけるテーブル１の位置決め誤差が抑制される。また、本実施形態によれば、第１駆動装置９の作動によりテーブル１がＸ軸方向に移動するとき、第４ガイド部材２０に作用する摩擦力と第８ガイド部材７０に作用する摩擦力とが対称となるように、２つの第２駆動装置１０と２つの予圧装置６０とが配置されているので、θＺ方向におけるテーブル１の位置誤差（回転誤差）が抑制される。

＜第８実施形態＞
第８実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１６は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｈの一例を示す平面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｈは、図８を参照して説明したテーブル装置１００Ｃに予圧装置６０が設けられた実施形態である。図１６に示すように、２つの第２駆動装置１０のうち、１つの第２駆動装置１０が、テーブル１の＋Ｙ側の端部に接続され、１つの第２駆動装置１０が、テーブル１の−Ｙ側の端部に接続される。

本実施形態においても、テーブル装置１００Ｈの位置決め精度の不足が抑制される。

＜第９実施形態＞
第９実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１７は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｉの一例を示す平面図である。図１８は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｉの一例を示す側断面図である。上述の実施形態と同様、テーブル装置１００Ｉは、第１駆動装置９と、第２駆動装置１０と、予圧装置６０とを備える。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ｉの少なくとも一部がチャンバ装置２００の内部空間に配置される。本実施形態においては、テーブル１、ガイド部材１８，２０，７０、リニアベアリング１９，２１，７１、及び連結装置３などが、チャンバ装置２００の内部空間に配置される。

第１アクチュエータ７Ｘ、第２アクチュエータ７Ｙ、及び予圧アクチュエータ７Ｐは、チャンバ装置２００の外部空間に配置される。

チャンバ装置２００は、内部空間の環境を制御する環境制御システムを含む。内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間のガスの種類を含む。なお、内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間の温度でもよい。なお、内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間の湿度でもよい。なお、内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間の圧力（真空度を含む）でもよい。なお、内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間のクリーン度でもよい。

環境制御システムによって、チャンバ装置２００の内部空間は、例えば真空状態に制御される。また、環境制御システムによって、チャンバ装置２００の内部空間は、一定温度に制御される。

チャンバ装置２００は、内部空間と外部空間とを結ぶ複数の開口２００Ｋを有する。複数の開口２００Ｋに、第１駆動装置９、第２駆動装置１０、及び予圧装置６０が配置される。

チャンバ装置２００は、開口２００Ｋに配置されたべローズ２５０と、ベローズ２５０を支持する支持装置２６０とを備えている。べローズ２５０は、チャンバ装置２００の内部空間と外部空間との圧力差により力が生じることを抑制する。べローズ２５０により、内部空間と外部空間とのガスの流通が抑制される。

以上説明したように、本実施形態によれば、少なくともテーブル１が配置される内部空間を有するチャンバ装置２００が設けられるので、環境が制御されたチャンバ装置２００の内部空間において、テーブル１に支持されたワークＳが処理される。アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐは、チャンバ装置２００の外部空間に配置されているので、例えば、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐから熱が発生しても、その熱がテーブル１及びワークＳに及ぼす影響が抑制される。また、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐから異物が発生しても、その異物がテーブル１及びワークＳに及ぼす影響が抑制される。また、テーブル装置１００Ｉの全部がチャンバ装置２００の内部空間に収容されず、テーブル１、ガイド部材１８，２０，７０、リニアベアリング１９，２１，７１、及び連結装置３などがチャンバ装置２００の内部空間に収容され、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐがチャンバ装置２００の外部空間に配置されることによって、チャンバ装置２００の大型化が抑制される。

＜第１０実施形態＞
第１０実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１９は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｊの一例を示す平面図である。テーブル装置１００Ｊは、テーブル１の＋Ｙ側の端部と連結され、テーブル１をＹ軸方向にガイドするガイド装置８０Ｙを備える。ガイド装置８０Ｙは、Ｘ軸方向に２つ配置される。ガイド装置８０Ｙは、アクチュエータのような動力源を備えない。

ガイド装置８０Ｙは、ベース部材２に設けられた第９ガイド部材８１にＹ軸方向にガイドされる第９リニアベアリング８２を備える。第９リニアベアリング８２は、連結部材３を介して、第８リニアベアリング７１と連結される。第８リニアベアリング７１は、テーブル１に設けられた第８ガイド部材７０にガイドされる。第９ガイド部材８１は、Ｙ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第９リニアベアリング８２は、第９ガイド部材８１にガイドされながらＹ軸方向に移動可能である。

本実施形態において、予圧装置６０Ｊは、予圧アクチュエータを有しない。べローズ２５０による弾性力によって、テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の力が与えられる。

また、べローズ２５０は、第１の弾性力をテーブル１に付与する第１べローズ２５０Ａと、第２の弾性力をテーブル１に付与する第２べローズ２５０Ｂとを含む。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第１べローズ２５０Ａの位置及び第２べローズ２５０Ｂの位置とは異なる。第１べローズ２５０Ａがテーブル１に与える力と、第２べローズ２５０Ｂがテーブル１に与える力とは、異なる。例えば、第１べローズ２５０Ａの面積と、第２べローズ２５０Ｂの面積とを異ならせることによって、第１べローズ２５０Ａがテーブル１に与える力と、第２べローズ２５０Ｂがテーブル１に与える力とを異ならせることができる。なお、べローズ２５０は、開口２００Ｋに配置される筒状部材であり、べローズ２５０の面積とは、その筒状部材であるべローズ２５０の開口面積をいう。

第１べローズ２５０Ａは、２つのガイド装置８０Ｙのうち一方のガイド装置８０Ｙとチャンバ装置２００とを連結するように設けられる。第２べローズ２５０Ｂは、２つのガイド装置８０Ｙのうち他方のガイド装置８０Ｙとチャンバ装置２００とを連結するように設けられる。

以上説明したように、予圧装置４０Ｅがテーブル１に与える力は、予圧アクチュエータが発生する動力でなくてもよく、べローズ２５０が発生する弾性力でもよい。

＜第１１実施形態＞
第１１実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図２０は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｊ）を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置５００の一例を示す図である。フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、フラットパネルディスプレイを製造するためのワークＳを搬送可能な搬送装置６００を含む。搬送装置６００は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを含む。

なお、図２０においては、テーブル装置１００Ａを簡略して図示する。ワークＳは、テーブル１に支持される。

本実施形態において、ワークＳは、フラットパネルディスプレイを製造するための基板である。ワークＳからフラットパネルディスプレイが製造される。ワークＳは、ガラス板を含んでもよい。液晶ディスプレイが製造される場合、ワークＳは、ＴＦＴ基板を含んでもよいし、カラーフィルタ基板を含んでもよい。

フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置されたワークＳを使って、フラットパネルディスプレイを製造するための処理を行う。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳを処理位置ＰＪ１に配置する。搬送装置６００は、テーブル装置１００Ａのテーブル１にワークＳを搬送（搬入）可能な搬入装置６０１と、テーブル１からワークＳを搬送（搬出）可能な搬出装置６０２とを含む。搬入装置６０１によって、処理前のワークＳがテーブル１に搬送（搬入）される。テーブル装置１００Ａによって、テーブル１に支持されたワークＳが処理位置ＰＪ１まで搬送される。搬出装置６０２によって、処理後のワークＳがテーブル１から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００Ａは、テーブル１を移動して、テーブル１に支持されたワークＳを処理位置ＰＪ１に移動する。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳを高い位置決め精度で処理位置ＰＪ１に配置可能である。

例えば、フラットパネルディスプレイ製造装置５００が、２枚の基板を貼り合せる貼り合せ装置を含む場合、テーブル１に支持されているワークＳは、２枚の基板のうち一方の基板を含む。処理位置ＰＪ１は、一方の基板が他方の基板と貼り合せられる貼り合せ位置を含む。貼り合せ位置に配置されたテーブル１の一方の基板に、他方の基板が押し付けられる。

本実施形態において、フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、他方の基板を保持する基板ホルダ５０１を有する。基板ホルダ５０１は、テーブル１に支持されたワークＳ（一方の基板）を処理する処理部として機能する。基板ホルダ５０１は、貼り合せ位置に配置されている一方の基板と、基板ホルダ５０１に保持されている他方の基板とを対向させる。基板ホルダ５０１は、テーブル１に支持されている一方の基板に他方の基板を押し付けるように、下方に移動する。これにより、２枚の基板が貼り合せられる。

処理位置ＰＪ１においてワークＳが処理された後、その処理後のワークＳが搬出装置６０２によってテーブル１から搬送される。搬出装置６０２によって搬送（搬出）されたワークＳは、後工程を行う処理装置に搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ａは、ワークＳを処理位置ＰＪ１に配置可能である。また、テーブル１の位置決め精度の不足が抑制されている。そのため、不良な製品（フラットパネルディスプレイ）の発生が抑制される。

なお、テーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｊ）が、半導体製造装置に使用されてもよい。半導体製造装置は、例えば、投影光学系を介してワークＳにデバイスパターンを形成する露光装置を含む。露光装置において、処理位置ＰＪ１は、投影光学系の像面位置（露光位置）を含む。投影光学系は、テーブル１に支持されたワークＳを露光処理する処理部として機能する。処理位置ＰＪ１にワークＳが配置されることにより、半導体製造装置は、投影光学系を介して、ワークＳにデバイスパターンを形成可能である。

なお、半導体製造装置が、ワークＳに膜を形成する成膜装置を含んでもよい。半導体製造装置が成膜装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、膜を形成するための材料が供給される供給位置（成膜位置）を含む。材料を供給する供給部が、テーブル１に支持されたワークＳの成膜処理を行う処理部として機能する。処理位置ＰＪ１にワークＳが配置されることにより、デバイスパターンを形成するための膜がワークＳに形成される。

＜第１２実施形態＞
第１２実施形態について説明する。図２１は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｊ）を備える精密機械７００の一例を示す図である。本実施形態においては、精密機械７００が、精密機器のようなワークを精密に測定する精密測定機である例について説明する。

精密測定機７００は、ワークＳ２を測定する。ワークＳ２は、例えば、フラットパネルディスプレイ製造装置５００により製造されたフラットパネルディスプレイ、及び上述の半導体製造装置により製造された半導体デバイスの少なくとも一方を含んでもよい。精密測定機７００は、ワークＳ２を搬送可能な搬送装置６００Ｂを含む。搬送装置６００Ｂは、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを含む。

なお、図２１において、テーブル装置１００Ａを簡略して図示する。ワークＳ２は、テーブル１に支持される。

精密測定機７００は、測定位置（目標位置）ＰＪ２に配置されたワークＳ２の測定を行う。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定位置ＰＪ２に配置する。搬送装置６００Ｂは、テーブル装置１００Ａのテーブル１にワークＳ２を搬送（搬入）可能な搬入装置６０１Ｂと、テーブル１からワークＳ２を搬送（搬出）可能な搬出装置６０２Ｂとを含む。搬入装置６０１Ｂによって、測定前のワークＳ２がテーブル１に搬送（搬入）される。テーブル装置１００Ａによって、テーブル１に支持されたワークＳ２が測定位置ＰＪ２まで搬送される。搬出装置６０２Ｂによって、測定後のワークＳ２がテーブル１から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００Ａは、テーブル１を移動して、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定位置ＰＪ２に移動する。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳ２を高い位置決め精度で測定位置ＰＪ２に配置可能である。

本実施形態において、精密測定機７００は、検出光を用いてワークＳ２の測定を光学的に行う。精密測定機７００は、検出光を射出可能な照射装置７０１と、照射装置７０１から射出され、ワークＳ２で反射した検出光の少なくとも一部を受光可能な受光装置７０２とを含む。本実施形態において、測定位置ＰＪ２は、検出光の照射位置を含む。照射装置７０１及び受光装置７０２は、テーブル１に支持されたワークＳ２を処理する処理部として機能する。本実施形態において、照射装置７０１及び受光装置７０２は、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定する測定部として機能する。測定位置ＰＪ２にワークＳ２が配置されることにより、ワークＳ２の状態が光学的に測定される。

測定位置ＰＪ２においてワークＳ２の測定が行われた後、その測定後のワークＳ２が搬出装置６０２Ｂによってテーブル１から搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ａは、ワークＳ２を測定位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能であるため、測定不良の発生を抑制できる。すなわち、精密測定機７００は、ワークＳ２が不良であるか否かを良好に判断することができる。これにより、例えば不良なワークＳ２が後工程に搬送されたり、出荷されたりすることが抑制される。また、精密測定機７００は、テーブル１によって測定位置ＰＪ２に配置されたワークＳ２を測定できるので、そのワークＳ２の測定を精密に行うことができる。

なお、三次元測定装置が、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを備えてもよいし、テーブル装置１００Ａを含む搬送装置を備えてもよい。測定対象のワークがテーブル１に支持されることにより、三次元測定装置は、目標位置に配置されたワークを測定できるので、そのワークの測定を精密に行うことができる。

＜第１３実施形態＞
第１３実施形態について説明する。図２２は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｊ）を備える精密機械８００の一例を示す図である。本実施形態においては、精密機械８００が、精密加工を実施可能な精密加工機である例について説明する。

精密加工機８００は、ワークＳ３を加工する。精密加工機８００は、マシニングセンタを含み、テーブル装置１００Ａと、加工ヘッド８０１とを有する。加工ヘッド８０１が、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を処理する処理部として機能する。本実施形態においては、加工ヘッド８０１が、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を加工する加工部として機能する。加工ヘッド８０１は、加工工具を有し、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を加工工具で加工する。加工ヘッド８０１は、ワークＳ３を切削する機構である。加工ヘッド８０１は、テーブル１の移動方向と直交するＺ軸方向に加工工具を移動させる。

精密加工機８００は、テーブル装置１００ＡでワークＳ３をＸＹ平面内において移動させ、加工ヘッド８０１をＺ軸方向に移動させることで、加工工具とワークＳ３とを相対的に移動させることができる。

精密加工機８００は、加工位置（目標位置）に配置されたテーブル１上のワークＳ３を加工できるので、そのワークＳ３の加工を精密に行うことができる。

なお、本実施形態においては、テーブル１がＸＹ平面内（水平面内）に移動することとした。本実施形態において、テーブル１がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよい。すなわち、ＸＹ平面は、水平面と平行でもよいし、水平面に対して傾斜していてもよい。

１ テーブル
１Ａ 上面
１Ｂ 下面
１Ｈ 内部空間
２ ベース部材
２Ａ 上面（ガイド面）
３ 連結装置
４ 回転軸受
４Ａ 内輪
４Ｂ 外輪
４Ｃ ボール
５ ロッド部材
５Ｆ フランジ部
５Ｌ ロッド部
６Ｘ 第１支持部材
６Ｙ 第２支持部材
７ アクチュエータ
７Ｘ 第１アクチュエータ
７Ｙ 第２アクチュエータ
７Ｐ 予圧アクチュエータ
８ 移動システム
９ 第１駆動装置
１０ 第２駆動装置
１１ 第１リニアベアリング
１２ 第１ガイド部材
１３ 第３リニアベアリング
１４ 第３ガイド部材
１３Ｂ 第５リニアベアリング
１４Ｂ 第５ガイド部材
１５ ボールねじ機構
１５Ｘ 第１ボールねじ機構
１５Ｙ 第２ボールねじ機構
１６ カップリング
１７ ケーシング
１８ 第２ガイド部材
１９ 第２リニアベアリング
２０ 第４ガイド部材
２１ 第４リニアベアリング
２０Ｂ 第６ガイド部材
２１Ｂ 第６リニアベアリング
２２ 接続部材
２３ 接続部材
３０ プレーンガイド装置
３０Ｂ プレーンガイド装置
３１ ボール
３２ 支持板
３３ スライド部材
３３Ｆ フランジ部
３３Ｌ ロッド部
３４ ガイド軸受
３５ 駆動素子
３６ 固定部材
３７ スペーサ部材
５０ 補助ガイド装置
６０ 予圧装置
６３ 第７リニアベアリング
６４ 第７ガイド部材
７０ 第８ガイド部材
７１ 第８リニアベアリング
７３ 接続部材
８０Ｙ ガイド装置
８１ 第９ガイド部材
８２ 第９リニアベアリング
１００Ａ テーブル装置
１００Ｂ テーブル装置
１００Ｃ テーブル装置
１００Ｄ テーブル装置
１００Ｅ テーブル装置
１００Ｆ テーブル装置
１００Ｇ テーブル装置
１００Ｈ テーブル装置
１００Ｉ テーブル装置
１００Ｊ テーブル装置
２００ チャンバ装置
２００Ｋ 開口
２５０ ベローズ
２６０ 支持装置
５００ フラットパネルディスプレイ製造装置
７００ 精密機械（精密測定機）
８００ 精密機械（精密加工機）
ＡＸ テーブル中心軸
ＤＰ 予圧駆動軸
ＤＸ 第１駆動軸
ＤＹ 第２駆動軸
Ｇ 間隙
Ｓ ワーク

Claims (14)

1. ガイド面を有するベース部材と、
   前記ベース部材に支持され、前記ガイド面と平行な所定面内の第１軸と平行な第１軸方向、前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な第２軸方向、及び前記所定面と直交する第３軸と平行なテーブル中心軸を中心に回転可能なテーブルと、
   前記テーブルに前記第１軸方向の力を与える第１駆動装置と、
   前記テーブルに前記第２軸方向の力を与える第２駆動装置と、
   を備え、
   前記第１駆動装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第１軸方向に移動するための動力を発生する第１アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記第１アクチュエータの作動により前記第１軸と平行な第１駆動軸に沿って移動する第１可動部材と、を有し、
   前記第２駆動装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第２軸方向に移動するための動力を発生する第２アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記第２アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な第２駆動軸に沿って移動する第２可動部材と、を有し、
   前記第１駆動装置は、前記第２軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第１駆動軸の位置とが一致するように１つだけ設けられ、
   前記第２駆動装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第２駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、
   前記第１可動部材は、前記ベース部材に設けられた第１ガイド部材にガイドされ、前記第１駆動軸に沿って移動する第１リニアベアリングと、前記第１リニアベアリングに固定された第１ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第１ロッド中心軸を中心に前記第１ロッド部材に対して相対回転可能な第１回転軸受と、前記第１回転軸受に接続され、前記第１軸方向の前記テーブルの端部に固定された第２ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第２リニアベアリングと、を含む、
   テーブル装置。
2. 前記第２可動部材は、前記ベース部材に設けられた第３ガイド部材にガイドされ、前記第２駆動軸に沿って移動する第３リニアベアリングと、前記第３リニアベアリングに固定された第２ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第２ロッド中心軸を中心に前記第２ロッド部材に対して相対回転可能な第２回転軸受と、前記第２回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの端部に固定された第４ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第４リニアベアリングと、を含む、
   請求項１に記載のテーブル装置。
3. 前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に接続され、
   前記ベース部材に設けられた第５ガイド部材にガイドされ、前記第２軸方向に移動する第５リニアベアリングと、
   前記第５リニアベアリングに固定された第３ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第３ロッド中心軸を中心に前記第３ロッド部材に対して相対回転可能な第３回転軸受と、
   前記第３回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に固定された第６ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第６リニアベアリングと、
   を有する、
   請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。
4. 少なくとも２つの前記第２駆動装置のうち、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に接続され、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に接続される、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のテーブル装置。
5. 前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面との間に配置され、前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが間隙を介して対向する状態で、前記テーブルを前記所定面と平行な方向にガイドするプレーンガイド装置を備える、
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のテーブル装置。
6. 前記プレーンガイド装置は、ロッド状のスライド部材を有し、
   前記テーブルに支持され、前記第３軸と平行な第３軸方向に前記スライド部材を移動可能に支持するガイド軸受を備える、
   請求項５に記載のテーブル装置。
7. 前記第３軸方向に前記プレーンガイド装置を移動する駆動素子を備える、
   請求項６に記載のテーブル装置。
8. 前記テーブルに前記テーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置を備える、
   請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のテーブル装置。
9. 前記予圧装置は、前記ベース部材に支持され、前記テーブルを前記第２軸方向に移動するための動力を発生する予圧アクチュエータと、前記テーブルと連結され、前記予圧アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な予圧駆動軸に沿って移動する予圧可動部材と、を有し、
   前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように設けられる、
   請求項８に記載のテーブル装置。
10. 前記予圧可動部材は、前記ベース部材に設けられた第７ガイド部材にガイドされ、前記予圧駆動軸に沿って移動する第７リニアベアリングと、前記第７リニアベアリングに固定された第４ロッド部材の周囲に配置され、前記第３軸と平行な第４ロッド中心軸を中心に前記第４ロッド部材に対して相対回転可能な第４回転軸受と、前記第４回転軸受に接続され、前記第２軸方向の前記テーブルの端部に固定された第８ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第８リニアベアリングと、を含む、
    請求項９に記載のテーブル装置。
11. 前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、
    少なくとも２つの前記予圧装置が前記テーブルに与える力は、異なる、
    請求項９又は請求項１０に記載のテーブル装置。
12. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置を備え、
    前記テーブル装置の前記テーブルに支持されたワークの位置を決定する、
    位置決め装置。
13. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置と、
    前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、
    を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置。
14. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置と、
    前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、
    を備える精密機械。

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