JP6632453B2 - Liquid processing apparatus, control method for liquid processing apparatus, and storage medium - Google Patents
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Description
開示の実施形態は、液処理装置、液処理装置の制御方法および記憶媒体に関する。 The disclosed embodiments relate to a liquid processing apparatus, a method for controlling the liquid processing apparatus, and a storage medium.
従来、半導体ウェハやガラス基板といった基板に対し、所定の処理液を用いてエッチング処理等の液処理を行う、複数の処理部を備えた基板液処理装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a substrate liquid processing apparatus including a plurality of processing units for performing a liquid process such as an etching process on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate using a predetermined processing liquid (for example, Patent Document 1). reference).
基板液処理装置において用いられる処理液の中には、例えばバッファードフッ酸や有機系の薬液といったものがある。これら処理液は、基板液処理装置の処理液供給系の配管内に残された状態で放置されると、配管内に気泡を生じさせやすい。 Among the processing liquids used in the substrate liquid processing apparatus, there are, for example, buffered hydrofluoric acid and organic chemicals. If these processing liquids are left in the processing liquid supply system pipes of the substrate liquid processing apparatus and left as they are, bubbles tend to be generated in the pipes.
そして、配管内に気泡が生じた場合、処理液供給系の例えば流量計等が正常に流量を検知できないといった、気泡に起因する異常が発生してしまうおそれがある。 When air bubbles are generated in the pipe, there is a possibility that an abnormality caused by the air bubbles may occur, for example, the flow rate of a processing liquid supply system, for example, cannot be detected normally.
実施形態の一態様は、配管内での気泡の発生を抑制することができる液処理装置、液処理装置の制御方法および記憶媒体を提供することを目的とする。 An object of one embodiment of the present invention is to provide a liquid processing apparatus, a control method of the liquid processing apparatus, and a storage medium that can suppress generation of bubbles in a pipe.
実施形態の一態様に係る液処理装置は、供給ラインと、処理液供給部と、供給路と、供給路の第1開閉弁、流量測定部および第2開閉弁と、制御部とを備える。供給ラインは、処理液の供給源に接続され、所定の圧力をかけた状態で処理液を流れさせる。処理液供給部は、供給ラインに接続され、被処理体に対し処理液を供給する。供給路は、供給ラインおよび処理液供給部の間に設けられる。第1開閉弁、流量測定部および第2開閉弁は、供給路において、供給ライン側から処理液供給部側へ順に設けられ、流量測定部は、供給路を流れる処理液の流量を測定する。制御部は、第1開閉弁および第2開閉弁を制御する。また、制御部は、被処理体に対し処理液の供給を開始する場合には、第1開閉弁および第2開閉弁を開くことを実行させる。また、制御部はさらに、処理液の供給を終了する場合には、処理液の発泡リスクを判定し、かかる判定の結果に応じて、第2開閉弁を閉じて第1開閉弁を開けることと、第2開閉弁を閉じて第1開閉弁を閉じることのうちいずれかを選択する。 A liquid processing apparatus according to an aspect of the embodiment includes a supply line, a processing liquid supply unit, a supply path, a first on-off valve, a flow rate measurement unit, a second on-off valve of the supply path, and a control unit. The supply line is connected to a processing liquid supply source, and allows the processing liquid to flow under a predetermined pressure. The processing liquid supply unit is connected to the supply line, and supplies the processing liquid to the object. The supply path is provided between the supply line and the processing liquid supply unit. The first on-off valve, the flow rate measurement unit, and the second on-off valve are provided in order from the supply line side to the processing liquid supply unit side in the supply path, and the flow rate measurement unit measures the flow rate of the processing liquid flowing through the supply path. The control unit controls the first on-off valve and the second on-off valve. The control unit, when starting the supply of treatment liquid to the object to be processed is Ru is executed to open the first on-off valve and the second on-off valve. Further, when ending the supply of the processing liquid , the control unit further determines the bubbling risk of the processing liquid, and closes the second on-off valve and opens the first on-off valve according to the result of the determination. And closing the second on-off valve and closing the first on-off valve.
実施形態の一態様によれば、配管内での気泡の発生を抑制することができる。 According to one aspect of the embodiment, it is possible to suppress the generation of bubbles in the pipe.
以下、添付図面を参照して、本願の開示する液処理装置、液処理装置の制御方法および記憶媒体の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、以下では、処理液による被処理体が基板である基板液処理を主たる例に挙げて説明を行う。 Hereinafter, embodiments of a liquid processing apparatus, a control method of the liquid processing apparatus, and a storage medium disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is not limited by the embodiments described below. In the following, a description will be given by taking as an example a main example a substrate liquid treatment in which a substrate to be processed by a treatment liquid is a substrate.
なお、本実施形態は、基板液処理装置に限らず、処理液を用いて被処理体を処理する液処理装置全般に適用することができる。 Note that the present embodiment is not limited to the substrate liquid processing apparatus, and can be applied to all liquid processing apparatuses that process a target object using a processing liquid.
図1は、本実施形態に係る基板処理システム1の概略構成を示す図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a
図1に示すように、基板処理システム1は、搬入出ステーション2と、処理ステーション3とを備える。搬入出ステーション2と処理ステーション3とは隣接して設けられる。
As shown in FIG. 1, the
搬入出ステーション2は、キャリア載置部11と、搬送部12とを備える。キャリア載置部11には、複数枚の基板、本実施形態では半導体ウェハ(以下ウェハW)を水平状態で収容する複数のキャリアCが載置される。
The loading /
搬送部12は、キャリア載置部11に隣接して設けられ、内部に基板搬送装置13と、受渡部14とを備える。基板搬送装置13は、ウェハWを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置13は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いてキャリアCと受渡部14との間でウェハWの搬送を行う。
The
処理ステーション3は、搬送部12に隣接して設けられる。処理ステーション3は、搬送部15と、複数の処理ユニット16とを備える。複数の処理ユニット16は、搬送部15の両側に並べて設けられる。
The processing station 3 is provided adjacent to the
搬送部15は、内部に基板搬送装置17を備える。基板搬送装置17は、ウェハWを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置17は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いて受渡部14と処理ユニット16との間でウェハWの搬送を行う。
The
処理ユニット16は、基板搬送装置17によって搬送されるウェハWに対して所定の基板処理を行う。
The
また、基板処理システム1は、制御装置4を備える。制御装置4は、例えばコンピュータであり、制御部18と記憶部19とを備える。記憶部19には、基板処理システム1において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部18は、記憶部19に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって基板処理システム1の動作を制御する。
Further, the
なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置4の記憶部19にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、例えばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。
The program may be recorded on a storage medium readable by a computer, and may be installed from the storage medium into the
上記のように構成された基板処理システム1では、まず、搬入出ステーション2の基板搬送装置13が、キャリア載置部11に載置されたキャリアCからウェハWを取り出し、取り出したウェハWを受渡部14に載置する。受渡部14に載置されたウェハWは、処理ステーション3の基板搬送装置17によって受渡部14から取り出されて、処理ユニット16へ搬入される。
In the
処理ユニット16へ搬入されたウェハWは、処理ユニット16によって処理された後、基板搬送装置17によって処理ユニット16から搬出されて、受渡部14に載置される。そして、受渡部14に載置された処理済のウェハWは、基板搬送装置13によってキャリア載置部11のキャリアCへ戻される。
The wafer W carried into the
次に、処理ユニット16の概略構成について図2を参照して説明する。図2は、処理ユニット16の概略構成を示す図である。
Next, a schematic configuration of the
図2に示すように、処理ユニット16は、チャンバ20と、基板保持機構30と、処理流体供給部40と、回収カップ50とを備える。
As shown in FIG. 2, the
チャンバ20は、基板保持機構30と処理流体供給部40と回収カップ50とを収容する。チャンバ20の天井部には、FFU(Fan Filter Unit)21が設けられる。FFU21は、チャンバ20内にダウンフローを形成する。
The
基板保持機構30は、保持部31と、支柱部32と、駆動部33とを備える。保持部31は、ウェハWを水平に保持する。支柱部32は、鉛直方向に延在する部材であり、基端部が駆動部33によって回転可能に支持され、先端部において保持部31を水平に支持する。駆動部33は、支柱部32を鉛直軸まわりに回転させる。かかる基板保持機構30は、駆動部33を用いて支柱部32を回転させることによって支柱部32に支持された保持部31を回転させ、これにより、保持部31に保持されたウェハWを回転させる。
The
処理流体供給部40は、ウェハWに対して処理流体を供給する。処理流体供給部40は、処理流体供給源70に接続される。
The processing
回収カップ50は、保持部31を取り囲むように配置され、保持部31の回転によってウェハWから飛散する処理液を捕集する。回収カップ50の底部には、排液口51が形成されており、回収カップ50によって捕集された処理液は、かかる排液口51から処理ユニット16の外部へ排出される。また、回収カップ50の底部には、FFU21から供給される気体を処理ユニット16の外部へ排出する排気口52が形成される。
The
次に、基板処理システム1が備える処理液供給系の概略構成について図3を参照して説明する。図3は、基板処理システム1が備える処理液供給系の概略構成を示す図である。
Next, a schematic configuration of a processing liquid supply system included in the
図3に示すように、基板処理システム1が備える処理液供給系は、複数の処理ユニット16に処理液を供給する処理流体供給源70を有している。
As shown in FIG. 3, the processing liquid supply system provided in the
処理流体供給源70は、処理液を貯留するタンク102と、タンク102から出てタンク102に戻る循環ライン104とを有している。循環ライン104にはポンプ106が設けられている。ポンプ106は、タンク102から出て循環ライン104を通りタンク102に戻る循環流を形成する。ポンプ106の下流側において循環ライン104には、処理液に含まれるパーティクル等の汚染物質を除去するフィルタ108が設けられている。必要に応じて、循環ライン104に補機類(例えばヒータ等)をさらに設けてもよい。
The processing
循環ライン104に設定された接続領域110に、1つまたは複数の分岐ライン112が接続されている。各分岐ライン112は、循環ライン104を流れる処理液を対応する処理ユニット16に供給する。各分岐ライン112には、必要に応じて、流量制御弁等の流量調整機構、フィルタ等を設けることができる。
One or
基板処理システム1は、タンク102に、処理液または処理液構成成分を補充するタンク液補充部116を有している。タンク102には、タンク102内の処理液を廃棄するためのドレン部118が設けられている。
The
なお、図3には、循環ライン104が1系統であり、1種類の処理液を循環させる例を示したが、基板処理システム1は、循環ライン104を複数系統備えることとしたうえで、複数種類の処理液を切り替えつつウェハWへ供給することが可能である。
FIG. 3 shows an example in which the
かかる場合の構成について図4Aを参照してより詳細に説明する。図4Aは、複数系統の循環ライン104を有する処理液供給系の具体的な構成の一例を示す図である。
The configuration in such a case will be described in more detail with reference to FIG. 4A. FIG. 4A is a diagram illustrating an example of a specific configuration of a processing liquid supply system having a plurality of
図4Aに示すように、例えば処理液供給系は、第1循環ライン104Aと、第2循環ライン104Bとの2系統を有する。第1循環ライン104Aには第1処理液供給源71が接続され、第1処理液を循環させる。第2循環ライン104Bには第2処理液供給源72が接続され、第2処理液を循環させる。なお、以下、第1循環ライン104Aおよび第2循環ライン104Bを総称する場合、単に「循環ライン104」と記載する。
As shown in FIG. 4A, for example, the processing liquid supply system has two systems, a
また、第1循環ライン104Aからは分岐ライン112Aが分岐しており、第1処理液を処理ユニット16の処理流体供給部40へ供給するための供給路へ接続される。また、第2循環ライン104Bからは分岐ライン112Bが分岐しており、第2処理液を同じ処理ユニット16の処理流体供給部40へ供給するための供給路へ接続される。
A
かかる供給路は第1処理液および第2処理液で共用であり、その切り替えは、供給路開閉機構60によって行われる。供給路開閉機構60は、各循環ライン104と処理流体供給部40との間に設けられる。
This supply path is shared by the first processing liquid and the second processing liquid, and the switching is performed by the supply path opening /
供給路開閉機構60は、循環ライン104側を上流側、処理流体供給部40を下流側とした場合に、上流側から順に、第1開閉弁61と、流量測定部62と、流量調整部63と、第2開閉弁64と、ドレン部65とを備える。
When the
第1開閉弁61は、第1系統弁61aと第2系統弁61bとを備える。第1循環ライン104Aからの分岐ライン112Aは第1系統弁61aへ接続される。また、第2循環ライン104Bからの分岐ライン112Bは第2系統弁61bへ接続される。
The first on-off
第1開閉弁61は、供給路の共用部分に対し、これら第1系統弁61aおよび第2系統弁61bの接続を切り替え可能に設けられている。かかる切り替えは、制御装置4の制御部18によって制御される。
The first opening / closing
例えば、制御装置4は、後述するレシピ情報19a(図5参照)等に基づいて処理流体供給部40へ供給する処理液を選択し、選択された処理液が第1処理液であるならば、供給路の共用部分に対し第1系統弁61aを接続させて開閉する制御を行う。なお、第1系統弁61aが接続される間、第2系統弁61bは閉じられる。
For example, the
同様に、制御装置4は、選択された処理液が第2処理液であるならば、供給路の共用部分に対し第2系統弁61bを接続させて開閉する制御を行う。なお、第2系統弁61bが接続される間、第1系統弁61aは閉じられる。
Similarly, if the selected processing liquid is the second processing liquid, the
なお、以下では、分岐ライン112Aと符号は重複するが、説明の便宜上、供給路の共用部分を「供給路112A」と記載する場合がある。また、第1系統弁61aまたは第2系統弁61bのうち、供給路112Aへ接続されている側を開閉することを、「第1開閉弁61を開閉する」と表す場合がある。
Note that, in the following, although the symbols are the same as those of the
また、第1開閉弁61は、閉じられる際、後述する第2開閉弁64よりも後に閉じられるように遅延させつつ閉じられる。
When the first on-off
流量測定部62は、例えば超音波式の流量計等を用いて構成され、供給路112Aを流れる処理液の流量を測定する。測定された測定結果は、制御装置4へ都度通知される。なお、流量測定部62は、フロート式の流量計、差圧式の流量計、カルマン渦流式の流量計等を用いて構成されてもよい。流量調整部63は、制御装置4の制御により、例えばエア圧等を用いて供給路112Aを狭めたり拡げたりすることによって供給路112Aを流れる処理液の流量を調整する。
The flow
第2開閉弁64は、制御装置4の制御により開閉されることによって、処理流体供給部40に対し、供給路112Aを開閉する。なお、第2開閉弁64は例えば速度制御が可能な速度制御弁を用いて構成され、制御装置4の制御により所定時間をかけて徐々に閉めたり開いたりすることができる。第2開閉弁64が徐々に閉められることによって、例えば処理流体供給部40のノズル41からの液ダレを抑えることができる。
The second on-off
ドレン部65は、処理流体供給部40内の処理液を廃棄する。処理流体供給部40は、ノズル41と、ノズル41を支持するアーム42とを備える。アーム42は、例えば、鉛直軸まわりに旋回可能に、かつ、鉛直軸に沿って昇降可能に設けられている。
The
ノズル41およびアーム42それぞれの内部には、第2開閉弁64に接続され、ノズル41の吐出口にまで延びる図示略の供給管が貫通されており、第2開閉弁64を介して処理液が供給される。
Inside each of the
処理流体供給源70から供給路112Aにまで供給された処理液は、この第2開閉弁64が開かれることによって前述の供給管へ供給され、アーム42およびノズル41の内部を順に通り、ノズル41から、保持部31の保持部材31aによって保持部31の上面からわずかに離間した状態で水平保持されたウェハWへ向けて吐出される。
The processing liquid supplied from the processing
次に、図4Aに示した構成の一例を前提として、本実施形態に係る基板液処理方法の概要について、図4B〜図4Fを参照して説明する。図4B〜図4Fは、実施形態に係る基板液処理方法の概要を説明するための図(その1)〜(その5)である。 Next, on the premise of the example of the configuration shown in FIG. 4A, an outline of the substrate liquid processing method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4B to 4F. 4B to 4F are diagrams (No. 1) to (No. 5) for describing the outline of the substrate liquid processing method according to the embodiment.
まず、図4Bの図中に破線の矢印で示すように、第1循環ライン104Aからの供給路112Aが形成され、第1開閉弁61の第1系統弁61aから第2開閉弁64を介して、処理流体供給部40へ第1処理液である「処理液A」が供給されているものとする。
First, as shown by a dashed arrow in the drawing of FIG. 4B, a
ここで、処理液Aの供給を終了させる場合、制御装置4の制御により、まず第2開閉弁64が閉じられ(ステップS1「CLOSE」)、つづいて第1開閉弁61が閉じられることとなる(ステップS2「CLOSE」)。
Here, when the supply of the processing liquid A is terminated, under the control of the
その後、ウェハWに対する次回の処理液供給が行われるまでの間、図4Cに示すように、供給路112Aの第2開閉弁64と第1開閉弁61との間の区間BVには、処理液Aが残留することとなる。
Thereafter, until the next processing liquid supply to the wafer W is performed, as shown in FIG. 4C, the processing liquid is supplied to the section BV between the second opening / closing
しかし、ここで、処理液Aが、例えばバッファードフッ酸(BHF)や有機系の薬液等であり、放置されると発泡するリスク(以下、「発泡リスク」と言う)があるものである場合、次回の処理液供給が行われるまでに時間を置かれると、図4Cに示すように区間BVには細かい気泡bが生じてしまうおそれがある。 However, here, when the treatment liquid A is, for example, buffered hydrofluoric acid (BHF) or an organic chemical solution, and has a risk of foaming when left unattended (hereinafter referred to as “foaming risk”). If a certain period of time is set before the next supply of the processing liquid, fine bubbles b may be generated in the section BV as shown in FIG. 4C.
そして、区間BVに気泡bが生じてしまった場合、流量測定部62が例えば超音波式等であれば気泡bにより超音波の伝達が阻害されてしまい、流量測定部62が異常を検知して、例えば基板処理システム1を異常終了させてしまうおそれがある。
Then, when the bubble b is generated in the section BV, if the
そこで、本実施形態に係る基板液処理方法では、図4Dに示すように、処理液Aの供給を終了させる場合に、まず第2開閉弁64を閉じるとともに(ステップS1「CLOSE」)、処理液Aに発泡リスクがあるかを判定し、発泡リスクがあれば、第1開閉弁61については開くこととした(ステップS2’「OPEN」)。発泡リスクは、処理液Aが例えば次回の処理液供給が開始されるまでの間にどのくらい放置されるかといった放置時間も判定条件に含むことができる。すなわち、本実施形態に係る基板液処理方法では、次回の処理液供給が開始されるまでに空く間隔が、予め規定された放置時間よりも長い場合に、第1開閉弁61が開いた状態となるように制御する。
Therefore, in the substrate liquid processing method according to the present embodiment, as shown in FIG. 4D, when the supply of the processing liquid A is terminated, the second on-off
なお、ステップS2’では、第1開閉弁61を、ステップS1につづいて一旦閉じてから開いてもよいし、閉じずに開いたままでもよい。
In step S2 ', the first on-off
これにより、図4Eに示すように、例えば第1開閉弁61の第1系統弁61aは開かれたままの「OPEN状態」となる。かかる「OPEN状態」となれば、区間BVに対しては、第1循環ライン104Aにおける循環流からの圧力が加圧されることとなるので、かかる圧力により、気泡bの発生を抑制させることができる。
Thereby, as shown in FIG. 4E, for example, the
なお、つづく図4Fの図中に破線の矢印で示すように、第2循環ライン104Bから分岐ライン112Bを経た供給路112Aが形成され、第1開閉弁61の第2系統弁61bから第2開閉弁64を介して、処理流体供給部40へ第2処理液である「処理液B」が供給されているものとする。
4F, the
ここで、処理液Bが、図4Fに示すようにDIW(純水)であった場合、DIWについては発泡リスクがほぼないため、本実施形態に係る基板液処理方法では、処理液Bの供給を終了させる場合は、まず第2開閉弁64を閉じ(ステップS1「CLOSE」)、つづいて第1開閉弁61を閉じることとなる(ステップS2「CLOSE」)。
Here, when the processing liquid B is DIW (pure water) as shown in FIG. 4F, there is almost no bubbling risk with respect to DIW, and therefore, in the substrate liquid processing method according to the present embodiment, the supply of the processing liquid B is performed. Is terminated, first, the second on-off
このように、本実施形態に係る基板液処理方法では、ウェハWに対し処理液の供給を開始する場合には、第1開閉弁61および第2開閉弁64を開き、処理液の供給を終了する場合には、第2開閉弁64を閉じるとともに、処理液の発泡具合に基づいて第1開閉弁61の開閉を選択する。
As described above, in the substrate liquid processing method according to the present embodiment, when the supply of the processing liquid to the wafer W is started, the first on-off
より具体的には、本実施形態に係る基板液処理方法では、処理液の供給を終了する場合、例えばまず第2開閉弁64を、つづいて第1開閉弁61を、それぞれ閉じてから、それまで供給されていた直近の処理液に発泡リスクがある場合には、第1開閉弁61を開いた状態にして供給路112Aを循環流からの圧力で加圧することを選択する。
More specifically, in the substrate liquid processing method according to the present embodiment, when the supply of the processing liquid is terminated, for example, the second on-off
また、直近の処理液に発泡リスクがない場合には、第1開閉弁61を閉じた状態にして供給路112Aを循環流からの圧力で加圧しないことを選択する。これにより、発泡リスクのある処理液を基板処理において使用する場合であっても、供給路112Aの配管内での気泡bの発生を抑制することができ、処理液の気泡bに起因する異常の発生を防止することができる。
If there is no risk of bubbling in the most recent processing liquid, it is selected that the first open /
次に、制御装置4についてより具体的に図5および図6を参照して説明する。図5は、制御装置4のブロック図であり、図6は、液情報19bの一例を示す図である。なお、図5では、本実施形態の特徴を説明するために必要な構成要素を機能ブロックで表しており、一般的な構成要素についての記載を省略している。
Next, the
換言すれば、図5に図示される各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。例えば、各機能ブロックの分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することが可能である。 In other words, each component illustrated in FIG. 5 is a functional concept and does not necessarily need to be physically configured as illustrated. For example, the specific form of distribution / integration of each functional block is not limited to the illustrated one, and all or a part thereof may be functionally or physically distributed in arbitrary units according to various loads and usage conditions. -It is possible to integrate and configure.
さらに、制御装置4の各機能ブロックにて行なわれる各処理機能は、その全部または任意の一部が、CPU(Central Processing Unit)などのプロセッサおよび当該プロセッサにて解析実行されるプログラムにて実現され、あるいは、ワイヤードロジックによるハードウェアとして実現され得るものである。
Furthermore, all or any part of each processing function performed in each functional block of the
まず、既に述べたように、制御装置4は、制御部18と記憶部19とを備える(図1参照)。制御部18は、例えばCPUであり、記憶部19に記憶された図示しないプログラムを読み出して実行することにより、例えば図5に示す機能ブロック18aおよび18bとして機能する。つづいて、この機能ブロック18aおよび18bについて説明する。
First, as described above, the
図5に示すように、例えば制御部18は、基板処理実行部18aと、弁制御部18bとを備える。また、記憶部19は、レシピ情報19aと、液情報19bとを記憶する。
As shown in FIG. 5, for example, the
制御部18は基板処理実行部18aとして機能する場合、記憶部19に記憶されたレシピ情報19aおよび液情報19bに従って処理ユニット16を制御して、ウェハWに対して処理液を供給しつつ一連の基板処理を実行させる。
When the
レシピ情報19aは、一連の基板処理の内容を示す情報である。具体的には、基板処理中において処理ユニット16に対して実行させる各処理の内容が予め処理シーケンス順に登録された情報である。また、レシピ情報19aには、処理ユニット16に対して実行させる各処理において使用される処理液の種別が含まれる。
The
液情報19bは、かかる各処理において使用される処理液の種別ごとの発泡リスクの有無が登録された情報である。すなわち、図6に示すように、例えば処理液Aが、前述のBHFや有機系の薬液のように発泡リスクのあるものであれば、発泡リスク有無には「有り」が登録される。また、例えば処理液Bが前述のDIWのように発泡リスクのないものであれば、発泡リスク有無には「無し」が登録される。
The
なお、図6には、発泡リスク有無が「有り」または「無し」で2値化されている例を挙げたが、発泡しやすさの程度を数値化したレベル値等が登録されてもよい。また、レシピ情報19aの中に液情報19bが含まれていてもよい。
Although FIG. 6 illustrates an example in which the presence or absence of the foaming risk is binarized by “present” or “absent”, a level value or the like in which the degree of foaming easiness is quantified may be registered. . Further, the
基板処理実行部18aは、かかるレシピ情報19aおよび液情報19bに基づき、一連の基板処理の処理シーケンスに従って弁制御部18bへ指示を出し、弁制御部18bに供給路開閉機構60の第1開閉弁61および第2開閉弁64を制御させる。
Based on the
ここで、制御部18により制御され、処理ユニット16において実行される一連の基板処理の処理手順の一例について説明しておく。ここでは、ウェハWに対しエッチング処理が行われる場合の例を挙げる。
Here, an example of a processing procedure of a series of substrate processing controlled by the
処理ユニット16では、まず、ウェハWの搬入処理が行われる。かかる搬入処理では、基板搬送装置17(図1参照)が保持部31の支持ピン(図示略)上にウェハWを載置した後、基板保持機構30に設けられ、ウェハWを側面から保持するチャック(図示略)がウェハWを保持する。
In the
つづいて、処理ユニット16では、エッチング処理が行われる。かかるエッチング処理ではまず、駆動部33が保持部31を回転させることにより、保持部31に保持されたウェハWを所定の回転数で回転させる。つづいて、処理流体供給部40のノズル41がウェハWの中央上方に位置する。
Subsequently, the
その後、例えば第1処理液供給源71(図4A等参照)から供給されるBHFが、ノズル41からウェハWの表面へ供給される。ウェハWへ供給されたBHFは、ウェハWの回転に伴う遠心力によってウェハWの表面の全面に広げられる。これにより、ウェハWの表面に形成された膜がBHFによってエッチングされる。
Thereafter, for example, BHF supplied from the first processing liquid supply source 71 (see FIG. 4A and the like) is supplied from the
つづいて、処理ユニット16では、ウェハWの表面をDIWですすぐリンス処理が行われる。かかるリンス処理では、例えば第2処理液供給源72(図4A等参照)から供給されるDIWが処理流体供給部40のノズル41からウェハWの表面へ供給され、ウェハWに残存するBHFを洗い流す。
Subsequently, in the
つづいて、処理ユニット16では、乾燥処理が行われる。かかる乾燥処理では、ウェハWの回転速度を増速させることによってウェハW上のDIWを振り切ってウェハWを乾燥させる。
Subsequently, the
つづいて、処理ユニット16では、ウェハWの搬出処理が行われる。かかる搬出処理では、駆動部33によるウェハWの回転が停止した後、ウェハWが基板搬送装置17(図1参照)によって処理ユニット16から搬出される。かかる搬出処理が完了すると、1枚のウェハWについての一連の基板処理が完了する。
Subsequently, in the
基板処理実行部18aの説明に戻る。また、基板処理実行部18aは、供給路開閉機構60の流量測定部62からの測定結果を都度受け取り、かかる測定結果に応じて流量調整部63(図4A等参照)による流量調整を行ったり、測定結果が異常である場合の異常処理を行ったりする。
Returning to the description of the substrate
制御部18は弁制御部18bとして機能する場合、基板処理実行部18aからの指示に基づいて第1開閉弁61および第2開閉弁64の開閉を制御する。具体的には、弁制御部18bは、例えば処理液の供給を開始する場合、処理液の種別に応じた供給路112Aが形成されるように第1開閉弁61の第1系統弁61aおよび第2系統弁61bを切り替えるとともに、第1開閉弁61および第2開閉弁64を開いて処理液を処理流体供給部40へ供給する。
When functioning as the
また、弁制御部18bは、処理液の供給を終了する場合、例えばまず第2開閉弁64を、つづいて第1開閉弁61を、それぞれ閉じてから、それまで供給されていた直近の処理液に発泡リスクがある場合には、第1開閉弁61を開いて供給路112Aを加圧する制御を行う。また、弁制御部18bは、直近の処理液に発泡リスクがない場合には、第1開閉弁61を開くことなく閉じたままとする制御を行う。
When terminating the supply of the processing liquid, the
次に、かかる弁制御部18bによって制御される第1開閉弁61および第2開閉弁64の挙動パターンの具体例について、図7A〜図7Iを参照して説明する。図7Aは、図7B〜図7Iの説明のための定義図であり、図7B〜図7Iは、第1開閉弁61および第2開閉弁64の挙動パターンの具体例を示すタイミングチャート(その1)〜(その8)である。
Next, specific examples of the behavior patterns of the first on-off
図7B〜図7Iでの説明を分かりやすくするために、まず図7Aに示すように、第1循環ライン104Aを流れるのはこれまでと同様に「処理液A」であり、第2循環ライン104Bを流れるのは「処理液B」であるものとする。そして、「処理液A」は発泡リスクが「有り」であり、「処理液B」は発泡リスクが「無し」であるものとする(図6参照)。
In order to make the description in FIGS. 7B to 7I easy to understand, first, as shown in FIG. 7A, the “processing liquid A” flows through the
また、図7Aに示すように、図7B〜図7Iを用いた説明では、第1開閉弁61の第1系統弁61aについては「バルブA」と、第2系統弁61bについては「バルブB」と、第2開閉弁64については「バルブC」と、それぞれ表す。また、各処理ユニット16については「キャビネット」と表す場合がある。
In addition, as shown in FIG. 7A, in the description using FIGS. 7B to 7I, the
まず、図7Bに示すように、「ウェハ搬入」、「処理液B供給開始」、「処理液B供給終了」、「処理液A供給開始」、「処理液A供給終了」、「ウェハ搬出」の順の処理シーケンスが実行されるものとする。その間、キャビネットは終始、処理可能状態であるものとする(「READY」参照、以下同様)。 First, as shown in FIG. 7B, “wafer loading”, “processing liquid B supply start”, “processing liquid B supply ending”, “processing liquid A supply starting”, “processing liquid A supply ending”, “wafer unloading”. It is assumed that the following processing sequence is executed. During that time, the cabinet is assumed to be in a processable state throughout (see “READY”, the same applies hereinafter).
かかる場合、「ウェハ搬入」のタイミングでまずバルブAが閉じられる。そして、「処理液B供給開始」のタイミングでバルブBおよびバルブCが共に開かれる。そして、「処理液B供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられる。なお、このときバルブCが速度制御弁であれば、符号gに示すように所定時間をかけて徐々に閉じられることが好ましい。所定時間は、例えば0.5秒〜0.6秒程度である。符号gについては以下同様とする。 In such a case, the valve A is first closed at the timing of “wafer loading”. Then, both the valves B and C are opened at the timing of "start of supply of the processing liquid B". Then, at the timing of “the end of the supply of the processing liquid B”, the valve C is first closed. At this time, if the valve C is a speed control valve, it is preferable that the valve C be gradually closed over a predetermined time as shown by reference numeral g. The predetermined time is, for example, about 0.5 to 0.6 seconds. The same applies to the reference symbol g.
そして、バルブBが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる(「delay」参照、以下同様)。 Then, the valve B is closed with a delay from the valve C (see “delay”, the same applies hereinafter).
つづいて、「処理液A供給開始」のタイミングでバルブAおよびバルブCが共に開かれる。そして、「処理液A供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられ、つづいてバルブAが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 Subsequently, both the valve A and the valve C are opened at the timing of "start of supply of the processing liquid A". Then, at the timing of "the end of the supply of the processing liquid A", the valve C is closed first, and then the valve A is closed with a delay from the valve C.
そして、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのある処理液Aであるので、「ウェハ搬出」のタイミングでバルブAが開かれ、供給路112Aが加圧された状態となる。
Since the most recent processing liquid that has been supplied is the processing liquid A that has a bubbling risk, the valve A is opened at the timing of “wafer unloading”, and the
次に、図7Cに示すように、「ウェハ搬入」、「処理液A供給開始」、「処理液A供給終了」、「処理液B供給開始」、「処理液B供給終了」、「ウェハ搬出」の順の処理シーケンスが実行されるものとする。なお、「ウェハ搬入」の前にバルブAは開かれたままであるものとする。 Next, as shown in FIG. 7C, “wafer loading”, “processing liquid A supply start”, “processing liquid A supply ending”, “processing liquid B supply starting”, “processing liquid B supply ending”, “wafer unloading”. Are executed in this order. It is assumed that the valve A is kept open before “wafer loading”.
かかる場合、「ウェハ搬入」のタイミングでもバルブAは開かれたままでよい。そして、「処理液A供給開始」のタイミングでバルブCが開かれ、「処理液A供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられる。そしてバルブAが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 In such a case, the valve A may be kept open even at the timing of “wafer loading”. Then, the valve C is opened at the timing of "start of the supply of the processing liquid A", and the valve C is first closed at the timing of "end of the supply of the processing liquid A". Then, the valve A is closed with a delay from the valve C.
つづいて、「処理液B供給開始」のタイミングでバルブBおよびバルブCが共に開かれる。そして、「処理液B供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられ、つづいてバルブBが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 Subsequently, both the valve B and the valve C are opened at the timing of "start of supply of the processing liquid B". Then, at the timing of “end of supply of the processing liquid B”, the valve C is closed first, and then the valve B is closed with a delay from the valve C.
そして、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのない処理液Bであるので、「ウェハ搬出」のタイミングでもバルブA,Bは閉じられたままとされ、供給路112Aは非加圧状態となる。
Since the most recent processing liquid supplied so far is the processing liquid B without the risk of bubbling, the valves A and B are kept closed even at the timing of “wafer unloading”, and the
次に、図7Dに示すように、「ウェハ搬入」、「処理液B供給開始」、「処理液B供給終了」、「ウェハ搬出」の順の処理シーケンスが実行されるものとする。 Next, as shown in FIG. 7D, it is assumed that a processing sequence of “wafer loading”, “processing liquid B supply start”, “processing liquid B supply end”, and “wafer unloading” is executed in this order.
かかる場合、「ウェハ搬入」のタイミングでまずバルブAが閉じられる。そして、「処理液B供給開始」のタイミングでバルブBおよびバルブCが共に開かれる。そして、「処理液B供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられ、つづいてバルブBが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 In such a case, the valve A is first closed at the timing of “wafer loading”. Then, both the valve B and the valve C are opened at the timing of “start of supply of the processing liquid B”. Then, at the timing of “end of supply of the processing liquid B”, the valve C is closed first, and then the valve B is closed with a delay from the valve C.
そして、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのない処理液Bであるので、「ウェハ搬出」のタイミングでもバルブA,Bは閉じられたままとされ、供給路112Aは非加圧状態となる。
Since the most recent processing liquid supplied so far is the processing liquid B without the risk of bubbling, the valves A and B are kept closed even at the timing of “wafer unloading”, and the
次に、図7Eに示すように、「ダミーディスペンス開始」、「処理液A供給開始」、「処理液A供給終了」、「ダミーディスペンス終了」の順の処理シーケンスが実行されるものとする。 Next, as shown in FIG. 7E, it is assumed that a processing sequence of “start of dummy dispense”, “start of supply of processing liquid A”, “end of supply of processing liquid A”, and “end of dummy dispense” is executed.
ここで、ダミーディスペンスとは、例えば処理液の劣化を防止するために、ウェハWへ処理液を供給していない待機中に、ノズル41から処理液をウェハW以外の所定の供給先(例えば図示略の液受け部)へ定期的に吐出させる処理である。図7Eの例は、かかるダミーディスペンス処理においてノズル41へ処理液Aを供給する場合を示している。なお、「ダミーディスペンス開始」の前にバルブAは開かれたままであるものとする。
Here, the dummy dispensing means, for example, in order to prevent the processing liquid from deteriorating, the processing liquid is supplied from the
かかる場合、「ダミーディスペンス開始」のタイミングでもバルブAは開かれたままでよい。そして、「処理液A供給開始」のタイミングでバルブCが開かれ、「処理液A供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられる。そしてバルブAが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 In such a case, the valve A may be kept open even at the timing of “start of dummy dispensing”. Then, the valve C is opened at the timing of "start of the supply of the processing liquid A", and the valve C is first closed at the timing of "end of the supply of the processing liquid A". Then, the valve A is closed with a delay from the valve C.
そして、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのある処理液Aであるので、「ダミーディスペンス終了」のタイミングでバルブAが開かれ、供給路112Aが加圧された状態となる。
Since the most recent processing liquid that has been supplied is the processing liquid A that has a risk of foaming, the valve A is opened at the timing of “dummy dispense end”, and the
なお、図7Eに示すように、「ダミーディスペンス開始」のタイミングから「処理液A供給開始」後、所定時間が経過するまでは、流量測定部62により流量を測定しない「流量無監視区間」とすることが好ましい。
In addition, as shown in FIG. 7E, after the “dummy dispensing start” timing and after the “processing liquid A supply start”, a “flow rate non-monitoring section” in which the flow rate is not measured by the flow
これにより、「ダミーディスペンス開始」前に仮に供給路112Aに気泡bが生じていても、かかる気泡bがダミーディスペンスにより外部へ排出される間、あえて無監視とすることで、気泡bにより流量測定部62が異常を検知してしまうのを避けることができる。
Thus, even if bubbles b are generated in the
これは、次に図7Fに示す、「ダミーディスペンス開始」、「処理液B供給開始」、「処理液B供給終了」、「ダミーディスペンス終了」の順の処理シーケンスが実行される場合も同様である。 The same applies to the case where the processing sequence of “dummy dispense start”, “processing liquid B supply start”, “processing liquid B supply end”, and “dummy dispense end” shown in FIG. is there.
かかる場合、図7Fに示すように、「ダミーディスペンス開始」のタイミングから「処理液B供給開始」後、所定時間が経過するまでは、流量測定部62により流量を測定しない「流量無監視区間」とすることが好ましい。
In this case, as shown in FIG. 7F, the “flow rate non-monitoring section” in which the flow rate is not measured by the flow
なお、図7Fの場合、「処理液B供給終了」を経てバルブCおよびバルブBが閉じられた後、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのない処理液Bであるので、「ダミーディスペンス終了」のタイミングでもバルブA,Bは閉じられたままとされ、供給路112Aは非加圧状態となる。
In the case of FIG. 7F, after the valve C and the valve B are closed after the “processing liquid B supply is completed”, the most recent processing liquid that has been supplied up to that time is the processing liquid B having no bubbling risk. Even at the timing of "dummy dispensing end", the valves A and B are kept closed, and the
次に、図7Gに示すように、「ウェハ搬入」から「ウェハ搬出」まで、処理液の供給されない処理シーケンスが実行されるものとする。なお、「ウェハ搬入」の前にバルブAは開かれたままであるものとする。 Next, as shown in FIG. 7G, a processing sequence in which the processing liquid is not supplied is executed from “wafer loading” to “wafer unloading”. It is assumed that the valve A is kept open before “wafer loading”.
かかる場合は、バルブAは終始開かれたままとされ、供給路112Aは加圧された状態を保つこととなる。また、無論、バルブBおよびバルブCは終始閉じられたままでよい。
In such a case, the valve A is kept open all the time, and the
次に、図7Hに示すように、基板処理システム1の「電源オン」から初期化処理である「イニシャライズ」を経て、「ウェハ搬入」、「処理液A供給開始」、「処理液A供給終了」、「ウェハ搬出」の順の処理シーケンスが実行されるものとする。
Next, as shown in FIG. 7H, from “power-on” of the
かかる場合、「電源オン」から「イニシャライズ」の間にバルブAが開かれ、キャビネットが処理可能状態へ推移した後、「ウェハ搬入」が行われる。「ウェハ搬入」のタイミングでもバルブAは開かれたままでよい。 In such a case, the valve A is opened between "power on" and "initialize", and the "wafer carry-in" is performed after the cabinet shifts to a processable state. The valve A may be kept open at the timing of “wafer loading”.
そして、「処理液A供給開始」のタイミングでバルブCが開かれ、「処理液A供給終了」のタイミングで、まずバルブCが閉じられる。そしてバルブAが、バルブCよりも遅延させつつ閉じられる。 Then, the valve C is opened at the timing of "start of the supply of the processing liquid A", and the valve C is first closed at the timing of "end of the supply of the processing liquid A". Then, the valve A is closed with a delay from the valve C.
そして、それまで供給されていた直近の処理液は発泡リスクのある処理液Aであるので、「ウェハ搬出」のタイミングでバルブAが開かれ、供給路112Aが加圧された状態となる。
Since the most recent processing liquid that has been supplied is the processing liquid A that has a bubbling risk, the valve A is opened at the timing of “wafer unloading”, and the
なお、「電源オン」から「イニシャライズ」の間に開かれるバルブに関する情報は、例えば基板処理システム1の前回のシャットダウン時等に制御装置4の記憶部19に書き込まれた情報に基づくことができる。
Note that the information on the valve that is opened between “power on” and “initialize” can be based on information written in the
例えば、次の図7Iに示すように、「ウェハ搬出」後、バルブAが開かれ、供給路112Aが加圧された状態から基板処理システム1の「正常シャットダウン」が実行されたものとする。なお、図示していないが「異常シャットダウン」であってもよい。
For example, as shown in the following FIG. 7I, it is assumed that, after “wafer unloading”, the valve A is opened and the “normal shutdown” of the
かかるシャットダウン時、制御装置4の制御部18は、例えばそれまでの各バルブの開閉状態を記憶部19へ書き込む処理を行う。そして、制御部18は、「電源オン」を経て「イニシャライズ」までの間にシャットダウン時の書き込み情報を参照し、これに応じて「イニシャライズ」までに開くべきバルブ(ここではバルブA)を決定し、これを開くこととなる。
At the time of the shutdown, the
次に、制御部18が供給路開閉機構60を制御して処理液を供給する処理液供給処理1回分の処理手順について図8を参照して説明する。図8は、処理液供給処理の処理手順を示すフローチャートである。
Next, a processing procedure for one processing liquid supply processing in which the
まず、制御部18は、レシピ情報19aに基づき、供給対象となる処理液が供給路112Aに供給されるよう切り替えを行いつつ第1開閉弁61および第2開閉弁64を開き、処理液を供給する(ステップS101)。
First, the
そして、処理液の供給終了であるか否かを判定する(ステップS102)。ここで、供給終了である場合(ステップS102,Yes)、制御部18は、まず第2開閉弁64を閉じる(ステップS103)。なお、供給終了でない場合(ステップS102,No)、処理液を供給しつつステップS102の判定を繰り返す。
Then, it is determined whether or not the supply of the processing liquid has been completed (step S102). Here, when the supply is completed (Step S102, Yes), the
また、制御部18は、つづいて第1開閉弁61を閉じる(ステップS104)。そして、制御部18は、液情報19bに基づき、それまで供給していた直近の処理液につき、発泡リスク有りか否かを判定する(ステップS105)。
Further, the
ここで、直近の処理液が発泡リスク有りの場合(ステップS105,Yes)、制御部18は、第1開閉弁61を開き(ステップS106)、供給路112Aを循環流からの圧力によって加圧した状態にして処理を終了し、次の処理液供給処理に備える。
Here, when the latest processing liquid has a bubbling risk (Step S105, Yes), the
また、直近の処理液が発泡リスク無しの場合(ステップS105,No)、制御部18は、第1開閉弁61を閉じたままとし、供給路112Aを循環流からの圧力によって加圧しない状態にして処理を終了し、次の処理液供給処理に備えることとなる。
When there is no risk of bubbling of the latest processing liquid (No in step S105), the
上述してきたように、実施形態に係る基板処理システム1(「液処理装置」の一例に相当)は、循環ライン104(「供給ライン」の一例に相当)と、処理流体供給部40(「処理液供給部」の一例に相当)と、供給路112Aと、供給路112Aの第1開閉弁61、流量測定部62および第2開閉弁64と、制御部18とを備える。
As described above, the substrate processing system 1 (corresponding to an example of a “liquid processing apparatus”) according to the embodiment includes a circulation line 104 (corresponding to an example of a “supply line”) and a processing fluid supply unit 40 (“processing liquid”). A liquid supply unit), a
循環ライン104は、処理流体供給源70(「処理液の供給源」の一例に相当)に接続され、所定の圧力をかけた状態で処理液を流れさせる。処理流体供給部40は、循環ライン104に接続され、ウェハW(「被処理体」の一例に相当)に対し処理液を供給する。
The
供給路112Aは、循環ライン104および処理流体供給部40の間に設けられる。第1開閉弁61、流量測定部62および第2開閉弁64は、供給路112Aにおいて、循環ライン104側から処理流体供給部40側へ順に設けられ、流量測定部62は、供給路112Aを流れる処理液の流量を測定する。制御部18は、第1開閉弁61および第2開閉弁64を制御する。
The
また、制御部18は、ウェハWに対し処理液の供給を開始する場合には、第1開閉弁61および第2開閉弁64を開くことを実行させ、さらに、処理液の供給を終了する場合には、次に処理液の供給を開始する際の供給路112A内の処理液の発泡具合に応じて、第2開閉弁64を閉じて第1開閉弁61を開けることと、第2開閉弁64を閉じて第1開閉弁61を閉じることのうちいずれかを選択する。
In addition, when the supply of the processing liquid to the wafer W is started, the
したがって、基板処理システム1によれば、供給路112Aの配管内での気泡bの発生を抑制することができる。
Therefore, according to the
なお、上述した実施形態では、循環ライン104が複数系統である場合を主たる例に挙げたが、無論、循環ライン104が1系統である(すなわち、使用する処理液が1種類である)場合にも適用してもよい。
In the above-described embodiment, a case where the
また、上述した実施形態では、発泡しやすい処理液がBHFや有機系の薬剤等である場合を例に挙げたが、処理液を限定するものではない。なお、処理液が、例えば供給路112Aの配管内の素材(例えばメタル)等に反応してしまう場合も考えられるので、処理液の成分や配管内の素材の相性等を勘案したうえで、液情報19bを定義することが好ましい。
Further, in the above-described embodiment, the case where the processing liquid that easily foams is BHF, an organic chemical, or the like is described as an example, but the processing liquid is not limited. Since the processing liquid may react with, for example, a material (for example, metal) in the pipe of the
また、上述した実施形態では、一連の基板処理の中で行われる液処理がエッチング処理である場合を例に挙げたが、エッチング処理に限らず、例えば洗浄処理等、種々の液処理が行われる場合であってよい。 Further, in the above-described embodiment, the case where the liquid processing performed in the series of substrate processing is an etching processing is described as an example. It may be the case.
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and equivalents thereof.
W ウェハ
b 気泡
1 基板処理システム
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
4 制御装置
18 制御部
18a 基板処理実行部
18b 弁制御部
19 記憶部
19a レシピ情報
19b 液情報
40 処理流体供給部
41 ノズル
42 アーム
60 供給路開閉機構
61 第1開閉弁
61a 第1系統弁
61b 第2系統弁
62 流量測定部
63 流量調整部
64 第2開閉弁
65 ドレン部
70 処理流体供給源
71 第1処理液供給源
72 第2処理液供給源
104 循環ライン
104A 第1循環ライン
104B 第2循環ライン
112A 供給路
W
Claims (11)
前記供給ラインに接続され、被処理体に対し前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記供給ラインおよび前記処理液供給部の間に設けられる前記処理液の供給路と、
前記供給路において、前記供給ライン側から前記処理液供給部側へ順に設けられる第1開閉弁、前記供給路を流れる前記処理液の流量を測定する流量測定部および第2開閉弁と、
前記第1開閉弁および前記第2開閉弁を制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記被処理体に対し前記処理液の供給を開始する場合には、前記第1開閉弁および前記第2開閉弁を開くことを実行させ、
前記制御部はさらに、
前記処理液の供給を終了する場合には、前記処理液の発泡リスクを判定し、該判定の結果に応じて、前記第2開閉弁を閉じて前記第1開閉弁を開けることと、前記第2開閉弁を閉じて前記第1開閉弁を閉じることのうちいずれかを選択すること
を特徴とする液処理装置。 A supply line connected to a supply source of the processing liquid and flowing the processing liquid under a predetermined pressure;
A processing liquid supply unit connected to the supply line and supplying the processing liquid to the object to be processed;
A supply path for the processing liquid provided between the supply line and the processing liquid supply unit,
In the supply path, a first opening / closing valve provided in order from the supply line side to the processing liquid supply unit side, a flow measurement unit for measuring a flow rate of the processing liquid flowing through the supply path, and a second opening / closing valve,
A control unit for controlling the first on-off valve and the second on-off valve,
The control unit includes:
When starting supply of the processing liquid to the object to be processed, opening the first on-off valve and the second on-off valve is executed ,
The control unit further includes:
When terminating the supply of the processing liquid, a bubbling risk of the processing liquid is determined, and according to a result of the determination , the second on-off valve is closed and the first on-off valve is opened; 2. A liquid processing apparatus, wherein one of closing the first on-off valve and closing the first on-off valve is selected.
前記処理液の発泡性に関する情報を取得し、該情報に基づいて前記処理液が発泡しやすいと判定される場合には、該処理液の供給を終了する場合に前記第1開閉弁が開いた状態となるように該第1開閉弁を制御すること
を特徴とする請求項1に記載の液処理装置。 The control unit includes:
The first open / close valve is opened when the supply of the processing liquid is completed, when the information regarding the foaming property of the processing liquid is obtained, and it is determined that the processing liquid is easily foamed based on the information. The liquid processing apparatus according to claim 1, wherein the first on-off valve is controlled so as to be in a state.
次に前記処理液の供給を開始するまでの間隔が、予め規定された時間よりも長い場合には、前記第1開閉弁が開いた状態になるように該第1開閉弁を制御すること
を特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。 The control unit includes:
Next, when the interval until the supply of the processing liquid is started is longer than a predetermined time, controlling the first on-off valve so that the first on-off valve is opened. The liquid processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein
前記処理液供給部に前記処理液の供給を一定時間行わせる場合に、前記処理液の供給が開始されてから所定時間が経過するまでは、前記流量測定部によって測定された前記流量を監視しないこと
を特徴とする請求項3に記載の液処理装置。 The control unit includes:
When the processing liquid is supplied to the processing liquid supply unit for a certain period of time, the flow rate measured by the flow rate measurement unit is not monitored until a predetermined time elapses after the supply of the processing liquid is started. The liquid processing apparatus according to claim 3, wherein:
を特徴とする請求項4に記載の液処理装置。 5. The liquid processing according to claim 4, wherein causing the supply of the processing liquid to be performed for a predetermined time is a dummy dispense that periodically supplies the processing liquid to a predetermined supply destination other than the processing target. 6. apparatus.
前記供給ラインのそれぞれは、前記第1開閉弁に接続され、
前記制御部は、
予め設定されたレシピ情報に従って実行する一連の処理における各液処理に応じた種別の前記処理液が前記供給路へ供給されるように前記供給ラインを切り替えるよう前記第1開閉弁を制御すること
を特徴とする請求項2〜5のいずれか一つに記載の液処理装置。 A plurality of the supply lines are provided according to the type of the processing liquid,
Each of the supply lines is connected to the first on-off valve,
The control unit includes:
Controlling the first opening / closing valve so as to switch the supply line so that the processing liquid of a type corresponding to each liquid processing in a series of processing executed according to preset recipe information is supplied to the supply path. The liquid processing apparatus according to any one of claims 2 to 5, wherein:
前記一連の処理が終了した場合において、前記処理液供給部へ直近に供給された前記処理液が発泡しやすいと判定される場合には、前記第1開閉弁が開いた状態となるように該第1開閉弁を制御すること
を特徴とする請求項6に記載の液処理装置。 The control unit includes:
When the series of processes is completed, when it is determined that the processing liquid supplied to the processing liquid supply unit is likely to foam, the first on-off valve is opened so that the first on-off valve is opened. The liquid processing apparatus according to claim 6, wherein the first on-off valve is controlled.
前記制御部は、
前記処理液の供給を終了する場合に、前記第2開閉弁が所定時間をかけて徐々に閉まるように該第2開閉弁を制御すること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の液処理装置。 The second on-off valve is a speed control valve capable of speed control during opening and closing,
The control unit includes:
When ending the supply of the processing liquid, the second on-off valve is controlled so that the second on-off valve gradually closes over a predetermined time. A liquid processing apparatus according to claim 1.
前記第1開閉弁および前記第2開閉弁を閉める場合に、前記第1開閉弁が前記第2開閉弁よりも遅延して閉まるように制御すること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の液処理装置。 The control unit includes:
When closing the said 1st on-off valve and the said 2nd on-off valve, it controls so that the said 1st on-off valve may be closed later than the said 2nd on-off valve. The liquid processing apparatus according to one of the above.
前記制御工程は、
前記被処理体に対し前記処理液の供給を開始する場合には、前記第1開閉弁および前記第2開閉弁を開くことを実行させ、
前記制御工程はさらに、
前記処理液の供給を終了する場合には、前記処理液の発泡リスクを判定し、該判定の結果に応じて、前記第2開閉弁を閉じて前記第1開閉弁を開けることと、前記第2開閉弁を閉じて前記第1開閉弁を閉じることのうちいずれかを選択すること
を特徴とする液処理装置の制御方法。 A supply line connected to a supply source of the processing liquid and flowing the processing liquid in a state of applying a predetermined pressure, and a processing liquid supply unit connected to the supply line and supplying the processing liquid to the object to be processed. A supply path for the processing liquid provided between the supply line and the processing liquid supply section, and a first opening / closing valve provided in order from the supply line side to the processing liquid supply section side in the supply path; Using a liquid processing apparatus including a flow rate measurement unit that measures the flow rate of the processing liquid flowing through the passage and a second on-off valve, including a control step of controlling the first on-off valve and the second on-off valve,
The control step includes:
When starting supply of the processing liquid to the object to be processed, opening the first on-off valve and the second on-off valve is executed ,
The control step further includes:
When terminating the supply of the processing liquid, a bubbling risk of the processing liquid is determined, and according to a result of the determination , the second on-off valve is closed and the first on-off valve is opened; 2. A control method for a liquid processing apparatus, wherein one of closing the first on-off valve and closing the first on-off valve is selected.
前記プログラムは、実行時に、請求項10に記載の液処理装置の制御方法が行われるように、コンピュータに前記液処理装置を制御させること
を特徴とする記憶媒体。 A computer-readable storage medium that operates on a computer and stores a program that controls the liquid processing apparatus,
A storage medium, wherein the program causes a computer to control the liquid processing apparatus so that, when executed, the control method of the liquid processing apparatus according to claim 10 is performed.
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