JP6625007B2

JP6625007B2 - Measurement jig

Info

Publication number: JP6625007B2
Application number: JP2016088994A
Authority: JP
Inventors: 雄一土信田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-04-27
Filing date: 2016-04-27
Publication date: 2019-12-25
Anticipated expiration: 2036-04-27
Also published as: JP2017199777A

Description

本発明は、切削装置における切削送り方向の直進精度及びインデックス送り方向の直進精度を測定する測定治具に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a measuring jig for measuring a straight-moving accuracy in a cutting feed direction and a straight-moving accuracy in an index feed direction in a cutting device.

例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、回転可能な切削ブレードを備えた切削装置によって切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。 For example, a wafer in which a plurality of devices such as ICs and LSIs are defined by dividing lines and formed on the surface is cut by a cutting device having a rotatable cutting blade, divided into individual devices, and divided into various electronic devices. It's being used.

上記切削装置は、概ね、ウエーハを保持する保持テーブルと、ウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着する切削手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向（Ｘ軸方向）に切削送りする切削送り手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的にインデックス送り方向（Ｙ軸方向）にインデックス送りするインデックス送り手段と、切削手段を切込み送り方向（Ｚ軸方向）に切込み送りする切込み送り手段とを備えている。そして、分割予定ラインに沿ってウエーハを正確に切削していくために、切削送り手段の切削送り方向及びインデックス送り手段のインデックス送り方向のそれぞれにおいて、測定装置（例えば、特許文献１参照）を用いてピッチング及びヨーイングについてそれぞれ測定を行い、ピッチング及びヨーイングがそれぞれ許容値内にあるか否かを検査している。なお、ピッチングとは、例えば、保持テーブルについては、切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化、すなわち縦方向における回転振動の程度である。また、ヨーイングとは、例えば、切削手段については、インデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＸ軸方向への姿勢変化、すなわち横方向における回転振動の程度である。 The cutting apparatus generally includes a holding table for holding a wafer, cutting means for rotatably mounting a cutting blade for cutting the wafer, and the holding table and the cutting means in a cutting feed direction (X-axis direction). Cutting feed means for cutting feed, index feed means for index feeding the holding table and the cutting means relatively in the index feed direction (Y-axis direction), and cutting feed for the cutting means in the cut feed direction (Z-axis direction). Cutting feed means. Then, in order to accurately cut the wafer along the dividing line, a measuring device is used in each of the cutting feed direction of the cutting feed means and the index feed direction of the index feed means (for example, see Patent Document 1). Then, the pitching and the yawing are respectively measured to check whether the pitching and the yawing are within allowable values, respectively. The pitching refers to, for example, a posture change of the holding table in the Z-axis direction with respect to the cutting feed direction (X-axis direction), that is, a degree of rotational vibration in the vertical direction. The yawing is, for example, a change in posture of the cutting means in the X-axis direction with respect to the index feed direction (Y-axis direction), that is, the degree of rotational vibration in the lateral direction.

特開平０７−０５５４２２号公報JP-A-07-055422

切削装置では回転する切削ブレードをウエーハに切り込ませて切削していく。そして、回転する切削ブレードがウエーハと接触する加工点は、ウエーハを保持する保持テーブルがＸ軸方向に移動するのに伴って移動していく。したがって、ウエーハを切削する際の加工点のＸ軸方向の移動範囲内（移動距離内）におけるピッチングとヨーイングとを測定することが、ウエーハを正確に切削するために特に重要となる。また、切削すべきウエーハの分割予定ラインに切削ブレードを位置付けるために、インデックス送り手段が切削手段をＹ軸方向に移動させるのに伴って、回転する切削ブレードがウエーハと接触する加工点もＹ軸方向に移動していく。したがって、ウエーハを切削する際の加工点のＹ軸方向の移動範囲内（移動距離内）におけるピッチングとヨーイングとを測定することも、ウエーハを正確に切削するために重要となる。つまり、切削送り方向及びインデックス送り方向のいずれにおいても、ピッチング及びヨーイングの測定は加工点で測定することが好ましい。 In a cutting device, a rotating cutting blade is cut into a wafer for cutting. The processing point where the rotating cutting blade contacts the wafer moves as the holding table holding the wafer moves in the X-axis direction. Therefore, it is particularly important to measure pitching and yawing within the moving range (within the moving distance) of the processing point in the X-axis direction when cutting the wafer in order to cut the wafer accurately. Further, in order to position the cutting blade on the scheduled dividing line of the wafer to be cut, as the index feeding means moves the cutting means in the Y-axis direction, the processing point at which the rotating cutting blade comes into contact with the wafer is also changed along the Y-axis. Move in the direction. Therefore, it is also important to measure pitching and yawing within the moving range (moving distance) of the processing point in the Y-axis direction when cutting a wafer, in order to cut the wafer accurately. That is, in both the cutting feed direction and the index feed direction, it is preferable to measure the pitching and the yawing at the processing point.

よって、切削装置において、切削送り方向及びインデックス送り方向におけるピッチング及びヨーイングを、測定治具を用いて測定する場合には、切削ブレードがウエーハと接触する加工点の移動範囲内において、測定治具の測定点を加工点と一致させてピッチング及びヨーイングを測定していくという課題がある。 Therefore, in the cutting device, when measuring the pitching and yawing in the cutting feed direction and the index feed direction using a measuring jig, the cutting blade is moved within a moving range of a processing point where the measuring blade comes into contact with the wafer. There is a problem that the pitching and the yawing are measured by making the measurement point coincide with the processing point.

上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に切削ブレードを切り込ませて切削加工する切削手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に直交する保持面方向であるＹ軸方向にインデックス送りするインデックス送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的に該Ｘ軸方向および該Ｙ軸方向に直交し該保持面に対し直交するＺ軸方向に切込み送りする切込み送り手段とを備える切削装置におけるＸ軸方向の直進精度とＹ軸方向の直進精度とを測定する測定治具であって、該切削手段は、該切削ブレードを囲繞するブレードカバーを備え、該ブレードカバーに取り付け可能とし該Ｚ軸方向に延在するシャフトと、てこ式ダイヤルゲージが取り付けられるゲージ取り付け部を有し該シャフトに締結可能で該シャフトの延在方向に直交し該保持面方向に延在するアームとを備え、該切削ブレードが被加工物を切削する加工点に該てこ式ダイヤルゲージの測定点を位置付けて該測定点の位置を測定する測定治具である。 The present invention for solving the above problems, a holding table having a holding surface for holding the workpiece, a cutting means for cutting by cutting a cutting blade into the workpiece held on the holding table, Cutting feed means for cutting and feeding the cutting means and the holding table relatively in the X-axis direction; and a Y-axis direction which is a holding surface direction orthogonal to the cutting means and the holding table relatively in the X-axis direction. Index feed means for feeding an index to the cutting means, and cutting feed means for cutting and feeding the cutting means and the holding table relatively in the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction and orthogonal to the holding surface. A measuring jig for measuring the straight-moving accuracy in the X-axis direction and the straight-moving accuracy in the Y-axis direction in a cutting device comprising: a blade cover surrounding the cutting blade; A shaft that can be attached to a bar and extends in the Z-axis direction, and a gauge attachment portion to which a lever-type dial gauge is attached; the shaft can be fastened to the shaft and extends in the direction perpendicular to the extension direction of the shaft and in the direction of the holding surface; And a measuring jig for measuring a position of the measuring point by positioning a measuring point of the lever type dial gauge at a processing point where the cutting blade cuts a workpiece.

本発明に係る測定治具は、切削ブレードを囲繞するブレードカバーに取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフトと、てこ式ダイヤルゲージが取り付けられるゲージ取り付け部を有しシャフトに締結可能でシャフトの延在方向に直交し保持面方向に延在するアームとを備え、切削ブレードが被加工物を切削する加工点にてこ式ダイヤルゲージの測定点を位置付けて測定点の位置を測定することが可能であるため、切削ブレードがウエーハと接触する加工点の移動範囲内でピッチング及びヨーイングについて正確に測定を行い、切削送り手段の駆動軸の直進精度及びインデックス送り手段の駆動軸の直進精度が許容値内にあるか否かを適切に判断することができる。 The measuring jig according to the present invention has a shaft that can be attached to a blade cover surrounding a cutting blade and extends in the Z-axis direction, and a gauge attachment portion to which a lever type dial gauge is attached. With an arm extending perpendicular to the direction of extension and extending in the direction of the holding surface, it is possible to measure the position of the measurement point by positioning the measurement point of this type dial gauge at the processing point where the cutting blade cuts the workpiece Therefore, the pitching and yawing are accurately measured within the movement range of the processing point where the cutting blade comes into contact with the wafer, and the linearity of the drive shaft of the cutting feed means and the linearity of the drive axis of the index feed means are allowable. It can be appropriately determined whether or not it is within.

切削装置の一例を示す斜視図である。It is a perspective view showing an example of a cutting device. 切削手段の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of a cutting means. スライドカバー部をブレードカバー基部からスライド移動させてブレードカバーが開かれた状態を示す斜視図である。It is a perspective view showing the state where the slide cover was slid from the blade cover base and the blade cover was opened. 測定治具の一例を示す斜視図である。It is a perspective view showing an example of a measuring jig. 保持テーブルの切削送り方向のピッチングを測定する状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which measures the pitching of the holding table in the cutting feed direction. 保持テーブルの切削送り方向のヨーイングを測定する状態を切削送り方向からみた側面図である。It is the side view which looked at the state which measures the yawing of the holding table in the cutting feed direction from the cutting feed direction. 切削手段のインデックス送り方向のピッチングを測定する状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which measures the pitching of the cutting means in the index feed direction. 切削手段のインデックス送り方向のヨーイングを測定する状態を示す正面図である。FIG. 7 is a front view showing a state in which yawing of the cutting means in the index feed direction is measured.

図１に示す切削装置１は、保持テーブル３０が保持する被加工物に対して、切削ブレード６３を備える切削手段６によって切削加工を施す装置である The cutting device 1 illustrated in FIG. 1 is a device that performs a cutting process on a workpiece held by a holding table 30 by a cutting unit 6 including a cutting blade 63.

切削装置１の基台１０上には、Ｘ軸方向に保持テーブル３０を往復移動させる切削送り手段１１が配設されている。切削送り手段１１は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０と平行に配設された一対のガイドレール１１１と、ボールネジ１１０を回動させるモータ１１２と、内部のナットがボールネジ１１０に螺合し底部がガイドレール１１１に摺接する可動板１１３とから構成される。そして、モータ１１２がボールネジ１１０を回動させると、これに伴い可動板１１３がガイドレール１１１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１１３上に配設された保持テーブル３０が可動板１１３の移動に伴いＸ軸方向に移動することで、保持テーブル３０に保持された被加工物が切削送りされる。 On the base 10 of the cutting device 1, cutting feed means 11 for reciprocating the holding table 30 in the X-axis direction is provided. The cutting and feeding means 11 includes a ball screw 110 having an axis in the X-axis direction, a pair of guide rails 111 disposed in parallel with the ball screw 110, a motor 112 for rotating the ball screw 110, and an internal nut serving as the ball screw 110. And a movable plate 113 whose bottom is in sliding contact with the guide rail 111. When the motor 112 rotates the ball screw 110, the movable plate 113 is guided by the guide rail 111 and moves in the X-axis direction, and the holding table 30 disposed on the movable plate 113 moves the movable plate 113. The workpiece held by the holding table 30 is cut and fed by moving in the X-axis direction with the movement of the workpiece.

保持テーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、被加工物を吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面であり枠体３０１の上面と面一に形成されている保持面３００ａ上で被加工物を吸引保持する。そして、保持面３００ａの保持面方向は水平方向となっている。保持テーブル３０は、保持テーブル３０の底面側に配設された回転手段３１により駆動されて回転可能となっている。また、保持テーブル３０の周囲には、固定クランプ３０４が図示の例では４つ配設されている。 The holding table 30 has, for example, a circular outer shape, and includes a suction unit 300 that suctions a workpiece and a frame body 301 that supports the suction unit 300. The suction unit 300 communicates with a suction source (not shown), and suction-holds the workpiece on a holding surface 300 a which is an exposed surface of the suction unit 300 and is flush with the upper surface of the frame 301. The direction of the holding surface of the holding surface 300a is horizontal. The holding table 30 is rotatable by being driven by rotating means 31 disposed on the bottom side of the holding table 30. Around the holding table 30, four fixed clamps 304 are provided in the illustrated example.

基台１０上には、門型コラム１４が切削送り手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１４の＋Ｘ方向側の面には、Ｙ軸方向に切削手段６を往復移動させるインデックス送り手段１２が配設されている。インデックス送り手段１２は、軸方向が保持テーブル３０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向（保持面方向）に直交する方向（Ｙ軸方向）の軸心を有するボールネジ１２０と、ボールネジ１２０と平行に配設された一対のガイドレール１２１と、ボールネジ１２０を回動させるモータ１２２と、内部のナットがボールネジ１２０に螺合し側部がガイドレール１２１に摺接する可動板１２３とから構成される。そして、モータ１２２がボールネジ１２０を回動させると、これに伴い可動板１２３がガイドレール１２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１２３上に配設された切削手段６が可動板１２３の移動に伴いＹ軸方向にインデックス送りされる。 On the base 10, a portal column 14 is erected so as to straddle the cutting feed means 11. On a surface on the + X direction side of the portal column 14, an index feeding means 12 for reciprocating the cutting means 6 in the Y-axis direction is provided. The index feeding means 12 includes a ball screw 120 having an axis whose axis direction is perpendicular to the moving direction (X-axis direction) of the holding table 30 in the horizontal direction (holding surface direction) (Y-axis direction), and the ball screw 120. It comprises a pair of guide rails 121 disposed in parallel, a motor 122 for rotating the ball screw 120, and a movable plate 123 in which an internal nut is screwed to the ball screw 120 and a side portion slides on the guide rail 121. . When the motor 122 rotates the ball screw 120, the movable plate 123 is guided by the guide rail 121 and moves in the Y-axis direction, and the cutting means 6 disposed on the movable plate 123 moves the movable plate 123. Is fed in the Y-axis direction with the movement of.

可動板１２３上には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交し保持面方向に対し直交するＺ軸方向（鉛直方向）に切削手段６を往復移動させる切込み送り手段１６が配設されている。切込み送り手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有する図示しないボールネジと、ボールネジと平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジを回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジに螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する支持部材１６３とから構成される。そして、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い支持部材１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１６３が支持する切削手段６が支持部材１６３の移動に伴いＺ軸方向に切込み送りされる。なお、図１に示す切削装置１においては、門型コラム１４の−Ｙ方向側の前面にも、インデックス送り手段１２、切込み送り手段１６及び切削手段６が配設されているが、これに限定されるものではない。 On the movable plate 123, a notch feeding means 16 for reciprocating the cutting means 6 in a Z-axis direction (vertical direction) orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction and orthogonal to the holding surface direction is provided. The notch feed means 16 includes a ball screw (not shown) having an axis in the Z-axis direction, a pair of guide rails 161 disposed in parallel with the ball screw, a motor 162 for rotating the ball screw, and an internal nut screwed onto the ball screw. And a support member 163 whose sliding portion is in sliding contact with the guide rail 161. Then, when the motor 162 rotates the ball screw 160, the support member 163 is guided by the guide rail 161 and moves in the Z-axis direction, and the cutting means 6 supported by the support member 163 moves along with the movement of the support member 163. As a result, the sheet is cut and fed in the Z-axis direction. In the cutting device 1 shown in FIG. 1, the index feed unit 12, the cut feed unit 16, and the cutting unit 6 are also provided on the front surface of the portal column 14 on the −Y direction side. It is not done.

切削手段６は、軸方向がＹ軸方向であるスピンドル６０と、支持部材１６３の下端に固定されスピンドル６０を回転可能に支持するハウジング６１と、スピンドル６０を回転させる図示しないモータと、スピンドル６０に固定されている切削ブレード６３とを備えており、モータがスピンドル６０を回転駆動することに伴って、切削ブレード６３も高速回転する。 The cutting means 6 includes a spindle 60 whose axial direction is the Y-axis direction, a housing 61 fixed to the lower end of the support member 163 and rotatably supporting the spindle 60, a motor (not shown) for rotating the spindle 60, and a spindle 60. The cutting blade 63 is fixed, and the cutting blade 63 rotates at high speed as the motor drives the spindle 60 to rotate.

ハウジング６１の＋Ｘ方向側の側面には、被加工物の切削すべき位置を撮像して検出するためのアライメント手段６４が配設されている。アライメント手段６４は、被加工物の被切削面を撮像するアライメント用カメラ６４０を備えており、アライメント用カメラ６４０により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって被加工物の切削すべき位置を検出することができる。 On the side surface on the + X direction side of the housing 61, an alignment means 64 for imaging and detecting a position where the workpiece is to be cut is provided. The alignment means 64 is provided with an alignment camera 640 that captures an image of the cut surface of the workpiece, and a position where the workpiece is to be cut by image processing such as pattern matching based on an image acquired by the alignment camera 640. Can be detected.

切削手段６は、例えば、切削ブレード６３を囲繞する図２に示すブレードカバー６５を備えている。ブレードカバー６５は、ブレードカバー基部６５０と、ブレードカバー基部６５０の後方側（−Ｘ方向側）に配設されブレードカバー基部６５０に対してＸ軸方向にスライド可能なスライドカバー部６５１とで構成されている。 The cutting means 6 includes, for example, a blade cover 65 shown in FIG. The blade cover 65 includes a blade cover base 650 and a slide cover 651 disposed on the rear side (−X direction side) of the blade cover base 650 and slidable in the X-axis direction with respect to the blade cover base 650. ing.

ブレードカバー基部６５０の前方側（＋Ｘ方向側）には、切削水ブロック６５２が配設されており、切削水ブロック６５２には、切削ブレード６３の外周方向から切削ブレード６３に向かって切削水を供給する切削水ノズル６５２ａが配設されている。切削水ノズル６５２ａの噴射口６５２ｃを通じて噴射される切削水によって、切削ブレード６３は冷却及び洗浄される。 A cutting water block 652 is provided on the front side (+ X direction side) of the blade cover base 650, and the cutting water is supplied to the cutting water block 652 from the outer peripheral direction of the cutting blade 63 toward the cutting blade 63. A cutting water nozzle 652a is provided. The cutting blade 63 is cooled and washed by the cutting water injected through the injection port 652c of the cutting water nozzle 652a.

図２に示すように、スライドカバー部６５１は、エアシリンダ６５３を介してブレードカバー基部６５０に連結されており、図３に示すように、ブレードカバー基部６５０の上面に配設されたカバー開閉手段６５３ａを通じて供給されるエアによってエアシリンダ６５３のピストンロッド６５３ｂがＸ軸方向に移動するのに伴って、Ｘ軸方向にスライド移動する。例えば、ブレードカバー基部６５０の正面６５０ａは、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向側に向かってスライド移動させることで露出した状態になり、正面６５０ａには図４に示す測定治具９を取り付けるためのネジ孔６５０ｂが形成されている。 As shown in FIG. 2, the slide cover 651 is connected to the blade cover base 650 via an air cylinder 653. As shown in FIG. 3, a cover opening / closing means provided on the upper surface of the blade cover base 650. As the piston rod 653b of the air cylinder 653 moves in the X-axis direction due to the air supplied through 653a, the piston rod 653b slides in the X-axis direction. For example, the front surface 650a of the blade cover base 650 is exposed by sliding the slide cover portion 651 toward the −X direction, and the front surface 650a is for mounting the measuring jig 9 shown in FIG. A screw hole 650b is formed.

ブレードカバー６５をハウジング６１の前面６１ａに装着し、切削ブレード６３をスピンドル６０に装着した後に、スライドカバー部６５１を＋Ｘ方向に向かってスライドさせてブレードカバー６５を閉じれば、図２に示すように、切削ブレード６３をブレードカバー６５の内側に収容できる。切削ブレード６３を収容したブレードカバー６５は、ブレードカバー基部６５０とスライドカバー部６５１とで形成される開口部６５ａの中心が、スピンドル６０のＹ軸方向に延びる軸芯線上におおよそ位置する状態になる。 After the blade cover 65 is mounted on the front surface 61a of the housing 61 and the cutting blade 63 is mounted on the spindle 60, the slide cover 651 is slid in the + X direction to close the blade cover 65, as shown in FIG. The cutting blade 63 can be accommodated inside the blade cover 65. The blade cover 65 accommodating the cutting blade 63 is in a state where the center of the opening 65 a formed by the blade cover base 650 and the slide cover 651 is roughly positioned on the axis extending in the Y-axis direction of the spindle 60. .

図３に示すように、スライドカバー部６５１は、−Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の一対の切削水ノズル６５５を支持している。すなわち、一対の切削水ノズル６５５は、それぞれその上端側が固定ナット６５５ａによりスライドカバー部６５１に固定されており、スライドカバー部６５１内を通り下方に延びた後、切削ブレード６３の下部を挟むようにして＋Ｘ方向側に互いに平行に延びている。一対の切削水ノズル６５５のそれぞれの上端は、図示しない切削水供給源と連通している。一対の切削水ノズルは切削ブレード６３の側面に向く複数のスリット６５５ｂを備えており、スリット６５５ｂを通じて噴射される切削水によって、切削ブレード６３は冷却及び洗浄される。例えば、一対の切削水ノズル６５５は、調整ネジ６５５ｄによってその高さ位置を調節できる。 As shown in FIG. 3, the slide cover portion 651 supports a pair of substantially L-shaped cutting water nozzles 655 when viewed from the −Y direction side. That is, each of the pair of cutting water nozzles 655 has its upper end side fixed to the slide cover portion 651 by the fixing nut 655a, extends downward through the slide cover portion 651, and then sandwiches the lower portion of the cutting blade 63 with + X. Extend parallel to each other on the direction side. The respective upper ends of the pair of cutting water nozzles 655 communicate with a cutting water supply source (not shown). The pair of cutting water nozzles has a plurality of slits 655b facing the side surface of the cutting blade 63, and the cutting blade 63 is cooled and washed by the cutting water injected through the slit 655b. For example, the height position of the pair of cutting water nozzles 655 can be adjusted by adjusting screws 655d.

図４に示す測定治具９は、図３に示すブレードカバー６５に取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフト９２と、てこ式ダイヤルゲージ９１が取り付けられるゲージ取り付け部９００を有しシャフト９２に締結可能でシャフト９２の延在方向（Ｚ軸方向）に直交し保持面方向（図示の例においては、Ｘ軸方向）に延在するアーム９０とを、少なくとも備えている。 The measuring jig 9 shown in FIG. 4 has a shaft 92 that can be attached to the blade cover 65 shown in FIG. 3 and extends in the Z-axis direction, and a gauge attaching portion 900 to which a lever type dial gauge 91 is attached. At least an arm 90 that can be fastened and extends in the direction of the holding surface (in the illustrated example, the X-axis direction) perpendicular to the direction in which the shaft 92 extends (the Z-axis direction).

ゲージ取り付け部９００は、例えば、アーム９０の一端９０ａ側（−Ｘ方向側）においてアーム９０に対して固定ネジ９００ｄによって締結されており、下方に向かって＋Ｘ方向に所定の角度で傾斜するように延在している。そして、固定ネジ９００ｄを緩めることで、ゲージ取り付け部９００は、アーム９０に対する取り付け角度を変えることができる。ゲージ取り付け部９００は、その下面９００ｂから上面９００ａへ貫通して形成される取り付け孔を備えており、この取り付け孔の孔径は取り付けネジ９００ｅによって拡縮することができ、後述するてこ式ダイヤルゲージ９１の接続部９１１をこの取り付け孔に挿嵌してから取り付けネジ９００ｅを締めることで、てこ式ダイヤルゲージ９１をゲージ取り付け部９００に取り付けた状態にすることができる。例えば、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いによって、てこ式ダイヤルゲージ９１の位置を矢印Ｒ１方向に変えることができる。 The gauge mounting portion 900 is, for example, fastened to the arm 90 by a fixing screw 900d on one end 90a side (−X direction side) of the arm 90, and is inclined downward at a predetermined angle in the + X direction. Extending. By loosening the fixing screw 900d, the mounting angle of the gauge mounting section 900 with respect to the arm 90 can be changed. The gauge mounting portion 900 has a mounting hole formed so as to penetrate from the lower surface 900b to the upper surface 900a, and the diameter of the mounting hole can be enlarged or reduced by a mounting screw 900e. By inserting the connecting portion 911 into the mounting hole and then tightening the mounting screw 900e, the lever type dial gauge 91 can be mounted on the gauge mounting portion 900. For example, the position of the lever-type dial gauge 91 can be changed in the direction of the arrow R1 depending on the degree of insertion of the connection portion 911 into the gauge attachment portion 900.

てこ式ダイヤルゲージ９１は、例えば、ゲージ本体部９１０と、ゲージ本体部９１０に一端が固定されもう一端がゲージ取り付け部９００に取り付けられる棒状の接続部９１１と、ゲージ本体部９１０の前端面９１０ｂから延出され先端に測定点となる測定子９１２ａを備えるスピンドル９１２とを備えている。てこ式ダイヤルゲージ９１は、てこの一部を形成するスピンドル９１２の矢印Ｒ２方向の微小な動きを機械的に回転運動としてゲージ本体部９１０内部の図示しない歯車に伝え、この歯車がスピンドル９１２の動いた量を拡大して円形の目盛り板９１０ａに指針によって表示する。作業者は、目盛り板９１０ａの表示を基に、スピンドル９１２の動いた量、すなわち各送り手段の送り方向におけるピッチングまたはヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。てこ式ダイヤルゲージ９１は、スピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させセットすることで、測定面に対してスピンドル９１２を水平にした状態で、測定子９１２ａを測定面に接触させることができる。なお、、てこ式ダイヤルゲージ９１が読み取ったピッチングまたはヨーイングについてのデータが、切削装置１の図示しない制御手段に送信されるようにしてもよい。 The lever type dial gauge 91 includes, for example, a gauge main body 910, a rod-shaped connection part 911 having one end fixed to the gauge main body 910 and the other end attached to the gauge mounting part 900, and a front end face 910 b of the gauge main body 910. And a spindle 912 having a tracing stylus 912a which is extended and serves as a measuring point at the tip. The lever type dial gauge 91 mechanically transmits a minute movement of the spindle 912 forming a part of the lever in the direction of the arrow R2 to a gear (not shown) inside the gauge main body 910 as a rotational movement, and this gear moves the spindle 912. The displayed amount is enlarged and displayed on the circular scale plate 910a by a pointer. The operator determines, based on the display on the scale plate 910a, whether the amount of movement of the spindle 912, that is, pitching or yawing in the feed direction of each feed means is within an allowable value. The lever dial gauge 91 can set the probe 912 by rotating the spindle 912 in the direction of arrow R2 so that the tracing stylus 912a can be brought into contact with the measurement surface while the spindle 912 is horizontal with respect to the measurement surface. It should be noted that the pitching or yawing data read by the lever type dial gauge 91 may be transmitted to a control unit (not shown) of the cutting apparatus 1.

アーム９０の他端９０ｂ側（＋Ｘ方向側）は、例えば、＋Ｚ方向に延びさらに＋Ｘ方向に延在するエルボ部９０２が一体的に形成されており、エルボ部９０２の＋Ｘ方向側の端がアーム９０の他端９０ｂとなる。アーム９０の他端９０ｂには、ネジ９０３ａを回転させ締め付けることでシャフト９２に対しアーム９０を締結させるネジクランプ９０３が一体的に形成されている。アーム９０の他端９０ｂ側はシャフト９２と直交しており、ネジ９０３ａを緩めることで、アーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変えることができ、また、シャフト９２を軸にしてアーム９０を回転させることができる。 On the other end 90b side (+ X direction side) of the arm 90, for example, an elbow portion 902 extending in the + Z direction and further extending in the + X direction is integrally formed, and the end of the elbow portion 902 on the + X direction side is formed by an arm. 90 is the other end 90b. On the other end 90b of the arm 90, a screw clamp 903 for fastening the arm 90 to the shaft 92 by rotating and tightening the screw 903a is integrally formed. The other end 90b side of the arm 90 is orthogonal to the shaft 92, and the height position of the arm 90 in the Z-axis direction can be changed by loosening the screw 903a. Can be rotated.

Ｚ軸方向に延在するシャフト９２の上端には、例えば、図３に示すブレードカバー基部６５０の正面６５０ａのネジ孔６５０ｂに固定ネジ９２０ａを螺合させることで固定させるシャフト固定部９２０が配設されている。シャフト９２の外周面には、例えば、アーム９０の高さ位置、すなわち、測定子９１２ａの高さ位置を把握するための目盛りがＺ軸方向に向かって所定の間隔を保って形成されていてもよい。 At the upper end of the shaft 92 extending in the Z-axis direction, for example, a shaft fixing portion 920 that is fixed by screwing a fixing screw 920a into a screw hole 650b of the front surface 650a of the blade cover base 650 shown in FIG. Have been. On the outer peripheral surface of the shaft 92, for example, graduations for grasping the height position of the arm 90, that is, the height position of the tracing stylus 912a are formed at predetermined intervals in the Z-axis direction. Good.

以下に、図１〜５を用いて、測定治具９により切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のピッチングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。 Hereinafter, the operation of the measuring jig 9 when measuring the pitching of the holding table 30 in the cutting feed direction in the cutting device 1 with the measuring jig 9 using the measuring jig 9 will be described with reference to FIGS.

切削装置１における切削送り方向のピッチングを測定するには、作業者等が、図１に示すスピンドル６０に装着された状態の切削ブレード６３の外径等から、切削ブレード６３の加工点位置（例えば、切削ブレード６３の最下端位置）を、例えばスピンドル６０の中心を基準として予め認識する。 In order to measure pitching in the cutting feed direction in the cutting device 1, an operator or the like determines a processing point position (for example, a cutting point position of the cutting blade 63 from the outer diameter or the like of the cutting blade 63 mounted on the spindle 60 shown in FIG. 1). , The lowermost position of the cutting blade 63) is recognized in advance with reference to the center of the spindle 60, for example.

図１に示す切削ブレード６３をスピンドル６０から取り外し、図５に示すようにハウジング６１に装着されたブレードカバー６５の開口部６５ａが空いている状態にする。次いで、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向にスライドさせてブレードカバー６５を開いた状態にする。 The cutting blade 63 shown in FIG. 1 is detached from the spindle 60, and the opening 65a of the blade cover 65 mounted on the housing 61 is made empty as shown in FIG. Next, the slide cover 651 is slid in the −X direction to open the blade cover 65.

ブレードカバー６５の図３に示すネジ孔６５０ｂにシャフト固定部９２０の固定ネジ９２０ａを螺合させて、測定治具９をブレードカバー６５に取り付ける。例えば、測定治具９がブレードカバー基部６５０の正面６５０ａに取り付けられることで、シャフト９２の軸芯線Ｌ１上にスピンドル６０の中心が位置する状態になる。 The fixing jig 920a of the shaft fixing portion 920 is screwed into the screw hole 650b of the blade cover 65 shown in FIG. For example, by attaching the measurement jig 9 to the front surface 650a of the blade cover base 650, the center of the spindle 60 is positioned on the axis L1 of the shaft 92.

例えば、図４に示すネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、固定ネジ９００ｄを緩めてゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、取り付けネジ９００ｅを緩めて接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、図５に示すように、スピンドル６０の中心を基準とした切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して平行で、かつ、ピッチングの測定方向（Ｚ軸方向）に対して垂直な状態とすると好ましい。 For example, the screw 903a shown in FIG. 4 is loosened to change the height position of the arm 90 in the Z-axis direction, the spindle 912 of the lever type dial gauge 91 is rotated in the direction of the arrow R2, and the fixing screw 900d is loosened to make the gauge mounting portion 900 By changing the mounting angle of the connecting portion 911 to the arm 90 or by loosening the mounting screw 900e to change the degree of insertion of the connecting portion 911 into the gauge mounting portion 900, as shown in FIG. The tracing stylus 912a is positioned at the processing point position of the cutting blade 63 and the tracing stylus 912a, that is, the measuring point is positioned on the axis L1 extending in the Z-axis direction of the shaft 92. Preferably, the spindle 912 is parallel to the holding surface 300a of the holding table and perpendicular to the pitching measurement direction (Z-axis direction).

保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、例えば、所定の厚みを備える直方体のストレートエッジ８を、その長手方向がＸ軸方向と平行になるように載置する。そして、保持面３００ａに連通する図示しない吸引源を作動させ、保持テーブル３０の保持面３００ａ上にストレートエッジ８を吸引保持する。ストレートエッジ８の上面８ａは、保持面３００ａと平行な水平面となる。 At the center on the holding surface 300a of the holding table 30, for example, a rectangular parallelepiped straight edge 8 having a predetermined thickness is placed so that its longitudinal direction is parallel to the X-axis direction. Then, a suction source (not shown) communicating with the holding surface 300 a is operated to suction-hold the straight edge 8 on the holding surface 300 a of the holding table 30. The upper surface 8a of the straight edge 8 is a horizontal plane parallel to the holding surface 300a.

ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、例えば、ストレートエッジ８の上面８ａのＸ軸方向に延びる図示しない中心線上に、測定治具９の測定子９１２ａがおおよそ位置するように、切削手段６がインデックス送り手段１２によりＹ軸方向に駆動される。 The holding table 30 holding the straight edge 8 is fed in the −X direction by the cutting feed unit 11, and the upper surface 8 a of the straight edge 8 is imaged by the alignment unit 64 shown in FIG. The cutting means 6 is driven in the Y-axis direction by the index feed means 12 so that the tracing stylus 912a of the measuring jig 9 is approximately positioned on a center line (not shown) extending in the X-axis direction of 8a.

ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がさらに−Ｘ方向に送り出され、測定治具９の直下にストレートエッジ８が位置付けられる。次いで、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の上面８ａに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触するように、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、所定の高さ位置に位置付けられる。例えば、測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。 The holding table 30 holding the straight edge 8 is further fed in the −X direction, and the straight edge 8 is positioned directly below the measuring jig 9. Next, while the spindle 912 of the measuring jig 9 is in contact with the upper surface 8a of the straight edge 8 and does not move, the cutting means 6 cuts and feeds so that the tracing stylus 912a contacts the upper surface 8a of the straight edge 8. The sheet is cut and fed in the -Z direction by the means 16 and positioned at a predetermined height position. For example, when the tracing stylus 912a contacts the upper surface 8a of the straight edge 8, the pointer of the scale plate 910a is adjusted based on zero.

次いで、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が−Ｘ方向に向かって切削送りされ、測定治具９による切削装置１における切削送り方向のピッチングが測定されていく。保持テーブル３０が切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られることで、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化であるピッチングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れることで変化が確認でき、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）におけるピッチングが確認できる場合には、作業者が確認できたピッチングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ピッチングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１１のボールネジ１１０の直進精度等に問題があると判断できる。 Next, while the operator monitors the scale plate 910a, the holding table 30 holding the straight edge 8 is cut and fed in the −X direction in the same manner as in the actual processing by the cutting blade 63, and the measurement jig 9 is used. Pitching in the cutting feed direction in the cutting device 1 is measured. When the holding table 30 is fed in the −X direction by the cutting feed unit 11, the tracing stylus 912 a does not vibrate in the Z-axis direction, that is, if the pointer of the scale plate 910 a does not change without swinging, It can be determined that there is no pitching which is a posture change in the Z-axis direction with respect to the cutting feed direction (X-axis direction). On the other hand, when the tracing stylus 912a vibrates in the Z-axis direction, that is, when the pointer of the scale plate 910a swings, the change can be confirmed and the pitching of the holding table 30 in the cutting feed direction (X-axis direction) can be confirmed. It is determined whether or not the pitching confirmed by the operator is within an allowable value. When the pitching is out of the allowable range, it can be determined that there is a problem in, for example, the straight traveling accuracy of the ball screw 110 of the cutting and feeding means 11 shown in FIG.

測定治具９による切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のピッチング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の上面８ａに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０を−Ｘ方向に切削送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工を施していく場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での保持テーブル３０のピッチングが測定できる。 In the pitching measurement of the holding table 30 in the cutting feed direction in the cutting device 1 by the measuring jig 9, after the measuring jig 9 is brought into contact with the upper surface 8 a of the straight edge 8, for example, by the same distance as the diameter of the holding table 30. This is completed by cutting and feeding the holding table 30 in the −X direction. By performing the measurement in this manner, when the workpiece such as the wafer is suction-held on the holding table 30 and the cutting is performed, the holding table within the moving range of the processing point where the cutting blade 63 comes into contact with the wafer. 30 pitchings can be measured.

以下に、図１〜６を用いて、測定治具９により切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のヨーイングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。 The operation of the measuring jig 9 when measuring the yawing in the cutting feed direction of the holding table 30 in the cutting device 1 with the measuring jig 9 will be described below with reference to FIGS.

測定治具９をブレードカバー６５に取り付けるまでは、ピッチングを測定する場合と同様に行う。次いで、例えば、図５に示すアーム９０の延在方向（長手方向）がＹ軸方向と平行となるように、シャフト９２を軸にしてアーム９０を＋Ｚ方向からみて反時計回り方向に９０度回転させる。さらに、アーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、例えば、スピンドル６０の中心を基準とした切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して垂直な状態とすると好ましい。 Until the measuring jig 9 is attached to the blade cover 65, the measurement is performed in the same manner as in the case of measuring the pitching. Next, for example, the arm 90 is rotated 90 degrees counterclockwise as viewed from the + Z direction around the shaft 92 such that the extending direction (longitudinal direction) of the arm 90 shown in FIG. 5 is parallel to the Y-axis direction. Let it. Further, the height position of the arm 90 in the Z-axis direction is changed, the spindle 912 of the lever type dial gauge 91 is rotated in the direction of the arrow R2, the mounting angle of the gauge mounting section 900 to the arm 90 is changed, or the connecting section 911 is connected. By changing the degree of insertion into the gauge mounting portion 900, for example, the tracing stylus 912a is positioned at the processing point position of the cutting blade 63 with respect to the center of the spindle 60, and the axis extending in the Z-axis direction of the shaft 92. The tracing stylus 912a, that is, the measurement point is positioned on the core line L1. Preferably, the spindle 912 is in a state perpendicular to the holding surface 300a of the holding table.

保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＸ軸方向と平行になるように載置し、保持テーブル３０上に吸引保持する。吸引保持された状態のストレートエッジ８の−Ｙ方向側の側面８ｂは、保持面３００ａに対して垂直な面となる。 The straight edge 8 is placed at the center on the holding surface 300a of the holding table 30 so that its longitudinal direction is parallel to the X-axis direction, and is suction-held on the holding table 30. The side surface 8b on the −Y direction side of the straight edge 8 in the suction-held state is a surface perpendicular to the holding surface 300a.

ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、図６に示すように、測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触する高さ位置に位置付けられる。なお、図６においては、切削手段６の構成の一部を省略して示している。 The holding table 30 for holding the straight edge 8 is fed in the −X direction by the cutting feed means 11, and the cutting means 6 is cut and fed in the −Z direction by the cut feeding means 16, as shown in FIG. 912 a is positioned at a height position where it contacts the side surface 8 b of the straight edge 8. In FIG. 6, a part of the configuration of the cutting means 6 is omitted.

図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の側面８ｂに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触するように、切削手段６がインデックス送り手段１２により−Ｙ方向にインデックス送りされる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の−Ｙ方向側の側面８ｂに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。 The upper surface 8a of the straight edge 8 is imaged by the alignment means 64 shown in FIG. 1, and the spindle 912 of the measuring jig 9 is kept in contact with the side surface 8b of the straight edge 8 so as not to move. The cutting means 6 is index-fed by the index feeding means 12 in the -Y direction so that the tracing stylus 912a contacts the side surface 8b of the straight edge 8. When the tracing stylus 912a contacts the side surface 8b on the −Y direction side of the straight edge 8, the pointer of the scale plate 910a is adjusted based on zero.

次いで、例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がさらに−Ｘ方向に送り出され、測定治具９による切削装置１における切削送り方向のヨーイングが測定されていく。保持テーブル３０が切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られることで、測定子９１２ａがＹ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＹ軸方向への姿勢変化であるヨーイングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＹ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）におけるヨーイングが確認できる場合には、作業者が確認できたヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ヨーイングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１１のボールネジ１１０の直進精度等に問題があると判断できる。 Next, for example, while the operator monitors the scale plate 910a, the holding table 30 holding the straight edge 8 is further sent out in the −X direction, as in the actual processing by the cutting blade 63, and the measurement jig 9 The yawing in the cutting feed direction in the cutting device 1 is measured. When the holding table 30 is sent in the −X direction by the cutting feed unit 11, the tracing stylus 912 a does not vibrate in the Y-axis direction, that is, if the pointer of the scale plate 910 a does not change without swinging. It can be determined that there is no yawing that is a posture change in the Y-axis direction with respect to the cutting feed direction (X-axis direction). On the other hand, when the tracing stylus 912a vibrates in the Y-axis direction, that is, when the pointer of the scale plate 910a can confirm a change in deflection and yawing in the cutting feed direction (X-axis direction) of the holding table 30 can be confirmed, It is determined whether or not the confirmed yawing is within an allowable value. If the yawing is out of the allowable range, it can be determined that there is a problem in, for example, the straight traveling accuracy of the ball screw 110 of the cutting and feeding means 11 shown in FIG.

測定治具９による切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のヨーイング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の側面８ｂに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０を−Ｘ方向に切削送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での保持テーブル３０のヨーイングが測定できる。 In the yawing measurement of the holding table 30 in the cutting feed direction in the cutting device 1 by the measuring jig 9, after the measuring jig 9 is brought into contact with the side surface 8 b of the straight edge 8, for example, by the same distance as the diameter of the holding table 30. This is completed by cutting and feeding the holding table 30 in the −X direction. By performing the measurement in this manner, the yawing of the holding table 30 within the movement range of the processing point where the cutting blade 63 comes into contact with the wafer when the workpiece such as the wafer is suction-held on the holding table 30 for cutting. Can be measured.

以下に、図１、図７を用いて、測定治具９により切削装置１における切削手段６のインデックス送り方向のピッチングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。 The operation of the measuring jig 9 when measuring the pitching of the cutting means 6 in the cutting device 1 in the index feed direction by the measuring jig 9 will be described below with reference to FIGS.

切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチングを測定するには、図１に示す切削ブレード６３の加工点位置（例えば、切削ブレード６３の最下端位置）を、例えばスピンドル６０の中心を基準として予め認識する。そして、図７に示すように、ブレードカバー６５の開口部６５ａが空いている状態し、かつ、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向にスライドさせてブレードカバー６５を開いた状態にする。そして、測定治具９をブレードカバー６５に取り付ける。例えば、測定治具９がブレードカバー基部６５０の正面６５０ａに取り付けられることで、シャフト９２の軸芯線Ｌ１上に図１に示すスピンドル６０の中心が位置する状態になる。 In order to measure the pitching in the index feed direction in the cutting device 1, the processing point position of the cutting blade 63 shown in FIG. 1 (for example, the lowermost position of the cutting blade 63) is recognized in advance based on, for example, the center of the spindle 60. . Then, as shown in FIG. 7, the opening 65a of the blade cover 65 is in an empty state, and the slide cover 651 is slid in the −X direction to open the blade cover 65. Then, the measuring jig 9 is attached to the blade cover 65. For example, by attaching the measurement jig 9 to the front surface 650 a of the blade cover base 650, the center of the spindle 60 shown in FIG. 1 is positioned on the axis L1 of the shaft 92.

例えば、ネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して平行で、かつ、ピッチングの測定方向（Ｚ軸方向）に対して垂直な状態とすると好ましい。 For example, the screw 903a is loosened to change the height position of the arm 90 in the Z-axis direction, the spindle 912 of the lever type dial gauge 91 is rotated in the direction of the arrow R2, the mounting angle of the gauge mounting section 900 to the arm 90 is changed, or By changing the degree of insertion of the connecting portion 911 into the gauge mounting portion 900, the measuring element 912a is positioned at the processing point of the cutting blade 63, and the measuring element is positioned on the axis L1 extending in the Z-axis direction of the shaft 92. 912a, that is, a state where the measurement point is positioned. Preferably, the spindle 912 is parallel to the holding surface 300a of the holding table and perpendicular to the pitching measurement direction (Z-axis direction).

保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＹ軸方向と平行になるように載置し、保持面３００ａ上にストレートエッジ８を吸引保持する。保持テーブル３０の保持面３００ａ上に吸引保持されたストレートエッジ８の上面８ａは、保持面３００ａと平行な水平面となる。 The straight edge 8 is placed at the center on the holding surface 300a of the holding table 30 so that its longitudinal direction is parallel to the Y-axis direction, and the straight edge 8 is suction-held on the holding surface 300a. The upper surface 8a of the straight edge 8 sucked and held on the holding surface 300a of the holding table 30 is a horizontal plane parallel to the holding surface 300a.

ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、例えば、ストレートエッジ８の上面８ａのＹ軸方向に延びる図示しない中心線上に、測定治具９の測定子９１２ａがおおよそ位置するように、保持テーブル３０が切削手段６に対して位置付けられた後、−Ｘ方向への移動が停止される The holding table 30 holding the straight edge 8 is fed in the −X direction by the cutting feed unit 11, and the upper surface 8 a of the straight edge 8 is imaged by the alignment unit 64 shown in FIG. After the holding table 30 is positioned with respect to the cutting means 6 so that the tracing stylus 912a of the measuring jig 9 is approximately positioned on a center line (not shown) extending in the Y-axis direction of 8a, the movement in the -X direction is performed. Suspended

次いで、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の上面８ａに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触するように、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ位置付けられる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。 Next, while preventing the spindle 912 of the measuring jig 9 from moving by contacting the upper surface 8 a of the straight edge 8, cutting is performed so that the tracing stylus 912 a of the measuring jig 9 contacts the upper surface 8 a of the straight edge 8. The means 6 is cut and fed in the −Z direction by the cut feeding means 16 and positioned. When the tracing stylus 912a contacts the upper surface 8a of the straight edge 8, the pointer of the scale plate 910a is adjusted to zero.

例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、切削手段６がインデックス送り手段１２によりＹ軸方向にインデックス送りされ、測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチングが測定されていく。保持テーブル３０がインデックス送り手段１２によってＹ軸方向に送られることで、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化であるピッチングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）におけるピッチングが確認できる場合には、作業者が確認できたピッチングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ピッチングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示すインデックス送り手段１２のボールネジ１２０の直進精度等に問題があると判断できる。 For example, while the operator monitors the scale plate 910a, the cutting means 6 is index-fed in the Y-axis direction by the index feeding means 12 in the same manner as in actual processing by the cutting blade 63, and the cutting device 1 by the measuring jig 9 is used. Is measured in the index feed direction. When the holding table 30 is fed in the Y-axis direction by the index feeding means 12, the tracing stylus 912a does not vibrate in the Z-axis direction, that is, if the pointer of the scale plate 910a does not change without swinging. It can be determined that there is no pitching which is a posture change in the Z-axis direction with respect to the index feed direction (Y-axis direction). On the other hand, when the tracing stylus 912a vibrates in the Z-axis direction, that is, when the pointer of the scale plate 910a can be confirmed to change in swing and the pitching of the holding table 30 in the index feed direction (Y-axis direction) can be confirmed, Then, it is determined whether or not the confirmed pitching is within an allowable value. If the pitching is out of the allowable range, it can be determined that there is a problem, for example, in the linear running accuracy of the ball screw 120 of the index feed unit 12 shown in FIG.

測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の上面８ａに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０をＹ軸方向にインデックス送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での切削手段６のピッチングが測定できる。 In the pitching measurement in the index feed direction in the cutting device 1 by the measuring jig 9, after the measuring jig 9 is brought into contact with the upper surface 8 a of the straight edge 8, for example, the holding table 30 is moved by the same distance as the diameter of the holding table 30. This is completed by index feeding in the Y-axis direction. By performing the measurement in this manner, the pitching of the cutting means 6 within the movement range of the processing point where the cutting blade 63 comes into contact with the wafer when the workpiece such as the wafer is suction-held on the holding table 30 and cut. Can be measured.

以下に、図１、図８を用いて、測定治具９により切削装置１における切削手段６のインデックス送り方向のヨーイングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。 The operation of the measuring jig 9 when measuring the yawing of the cutting means 6 in the cutting device 1 in the index feed direction by the measuring jig 9 will be described below with reference to FIGS.

測定治具９をブレードカバー６５に取り付けるまでは、ピッチングを測定する場合と同様に行う。図８に示すように、例えば、シャフト９２を軸にしてアーム９０を所定の角度回転させる、ネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付ける。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して垂直な状態とすると好ましい。 Until the measuring jig 9 is attached to the blade cover 65, the measurement is performed in the same manner as in the case of measuring the pitching. As shown in FIG. 8, for example, the spindle 912 of the lever type dial gauge 91 is rotated by rotating the arm 90 by a predetermined angle around the shaft 92, loosening the screw 903a and changing the height position of the arm 90 in the Z-axis direction. By turning in the direction of arrow R2, changing the mounting angle of the gauge mounting portion 900 with respect to the arm 90, or changing the degree of insertion of the connecting portion 911 into the gauge mounting portion 900, the cutting blade 63 can be moved to the processing point position. Position the tracing stylus 912a. Preferably, the spindle 912 is in a state perpendicular to the holding surface 300a of the holding table.

保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＹ軸方向と平行になるように載置し、保持テーブル３０上に吸引保持する。吸引保持された状態のストレートエッジ８の−Ｘ方向側の側面８ｂは、保持面３００ａに対して垂直な面となる。 The straight edge 8 is placed at the center on the holding surface 300a of the holding table 30 so that its longitudinal direction is parallel to the Y-axis direction, and is suction-held on the holding table 30. The side surface 8b on the −X direction side of the straight edge 8 in the suction-held state is a surface perpendicular to the holding surface 300a.

ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、図８に示すように、測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触する高さ位置に切削手段６が位置付けられる。 The holding table 30 for holding the straight edge 8 is fed in the −X direction by the cutting feed means 11, and the cutting means 6 is cut and fed in the −Z direction by the cut feeding means 16, as shown in FIG. The cutting means 6 is positioned at a height position where 912a contacts the side surface 8b of the straight edge 8.

図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の側面８ｂに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触するように、切削手段６が切削送り手段１１により−Ｘ方向に切削送りされる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の−Ｘ方向側の側面８ｂに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。 The upper surface 8a of the straight edge 8 is imaged by the alignment means 64 shown in FIG. 1, and the spindle 912 of the measuring jig 9 is kept in contact with the side surface 8b of the straight edge 8 so as not to move. The cutting means 6 is cut and fed in the −X direction by the cutting and feeding means 11 so that the tracing stylus 912 a contacts the side surface 8 b of the straight edge 8. When the tracing stylus 912a contacts the side surface 8b on the −X direction side of the straight edge 8, the pointer of the scale plate 910a is adjusted based on zero.

次いで、例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がＹ軸方向にインデックス送りされ、測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のヨーイングが測定されていく。保持テーブル３０がインデックス送り手段１２によってＹ軸方向に送られることで、測定子９１２ａがＸ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＸ軸方向への姿勢変化であるヨーイングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＸ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０のインデックス送り方向におけるヨーイングが確認できる場合には、作業者が確認できたヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ヨーイングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１２のボールネジ１２０の直進精度等に問題があると判断できる。 Next, for example, while the operator monitors the scale plate 910a, the holding table 30 holding the straight edge 8 is index-fed in the Y-axis direction in the same manner as in the actual processing by the cutting blade 63, and the measuring jig 9 is used. The yawing in the index feed direction in the cutting device 1 is measured. When the holding table 30 is fed in the Y-axis direction by the index feed means 12, the tracing stylus 912a does not vibrate in the X-axis direction, that is, if the pointer of the scale plate 910a does not change without swinging. It can be determined that there is no yawing, which is a change in posture in the X-axis direction with respect to the index feed direction (Y-axis direction). On the other hand, when the tracing stylus 912a vibrates in the X-axis direction, that is, when the pointer of the scale plate 910a can confirm a change in deflection and yawing in the index feed direction of the holding table 30 can be confirmed, the yawing that the operator has confirmed can be confirmed. Is determined to be within the allowable value. If the yawing is out of the allowable range, it can be determined that there is a problem in, for example, the straight running accuracy of the ball screw 120 of the cutting and feeding means 12 shown in FIG.

測定治具９による切削装置１における切削送り方向のヨーイング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の側面８ｂに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０をＹ軸方向にインデックス送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での切削手段６のヨーイングが測定できる。 In the yawing measurement in the cutting feed direction in the cutting device 1 by the measuring jig 9, after the measuring jig 9 is brought into contact with the side surface 8 b of the straight edge 8, for example, the holding table 30 is moved by the same distance as the diameter of the holding table 30. This is completed by index feeding in the Y-axis direction. By performing the measurement in this manner, when the workpiece such as the wafer is suction-held on the holding table 30 and the cutting is performed, the yawing of the cutting means 6 within the movement range of the processing point where the cutting blade 63 comes into contact with the wafer. Can be measured.

本発明に係る測定治具９は、切削ブレード６３を囲繞するブレードカバー６５に取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフト９２と、てこ式ダイヤルゲージ９１が取り付けられるゲージ取り付け部９００を有しシャフト９２に締結可能でシャフト９２の延在方向に直交し保持面方向に延在するアーム９０とを備え、切削ブレード６３が被加工物を切削する加工点にてこ式ダイヤルゲージ９１の測定点を位置付けて測定することが可能であるため、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内でピッチング及びヨーイングについて正確に測定を行い、切削送り手段１１の直進精度及びインデックス送り手段１２の直進精度が許容値内にあるか否かを適切に判断することができる。 The measuring jig 9 according to the present invention includes a shaft 92 that can be attached to the blade cover 65 surrounding the cutting blade 63 and extends in the Z-axis direction, and a gauge attachment portion 900 to which a lever type dial gauge 91 is attached. An arm 90 that can be fastened to the shaft 92 and extends in the direction of the holding surface perpendicular to the direction in which the shaft 92 extends, and the measuring point of the dial gauge 91 is positioned at the processing point where the cutting blade 63 cuts the workpiece. Therefore, the pitching and yawing are accurately measured within the movement range of the processing point where the cutting blade 63 comes into contact with the wafer, and the linearity of the cutting feed means 11 and the linearity of the index feed means 12 are measured. Can be appropriately determined whether or not is within the allowable value.

なお、本発明に係る測定治具９は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。 Note that the measuring jig 9 according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the size and shape of each component illustrated in the accompanying drawings are not limited thereto. It can be changed appropriately within a range where the effect can be exhibited.

１：切削装置１０：基台１４：門型コラム
１１：切削送り手段１１０：ボールネジ１１１：一対のガイドレール１１２：モータ１１３：可動板
１２：インデックス送り手段１２０：ボールネジ１２１：一対のガイドレール１２２：モータ１２３：可動板
１６：切込み送り手段１６１：一対のガイドレール１６２：モータ１６３：支持部材
３０：保持テーブル３００：吸着部３００ａ：保持面３０１：枠体
３１：回転手段３２：固定クランプ
６：切削手段６０：スピンドル６１：ハウジング６１ａ：ハウジングの前面６３：切削ブレード
６４：アライメント手段６４０：アライメント用カメラ
６５：ブレードカバー６５ａ：開口部６５０：ブレードカバー基部
６５１：スライドカバー部
６５２：切削水ブロック６５２ａ：切削水ノズル
６５３：エアシリンダ６５３ａ：カバー開閉手段６５３ｂ：ピストンロッド
６５５：一対の切削水ノズル
９：測定治具
９０：アーム９０ａ：アームの一端９０ｂ：アームの他端９００：ゲージ取り付け部９０２：エルボ部９０３：ネジクランプ９０３ａ：ネジ
９１：てこ式ダイヤルゲージ９１０：ゲージ本体部９１０ａ：目盛り板９１１：接続部９１２：スピンドル９１２ａ：測定子
９２：シャフト９２０：シャフト固定部
８：ストレートエッジ 1: cutting device 10: base 14: portal column 11: cutting feed means 110: ball screw 111: pair of guide rails 112: motor 113: movable plate 12: index feed means 120: ball screw 121: pair of guide rails 122: Motor 123: Movable plate 16: Cut feed means 161: A pair of guide rails 162: Motor 163: Support member 30: Holding table 300: Suction unit 300a: Holding surface 301: Frame 31: Rotating means 32: Fixed clamp 6: Cutting Means 60: spindle 61: housing 61a: front of housing 63: cutting blade
64: alignment means 640: alignment camera 65: blade cover 65a: opening 650: blade cover base
651: Slide cover
652: cutting water block 652a: cutting water nozzle 653: air cylinder 653a: cover opening / closing means 653b: piston rod 655: pair of cutting water nozzles
9: Measurement jig
90: Arm 90a: One end of arm 90b: The other end of arm 900: Gauge mounting part 902: Elbow part 903: Screw clamp 903a: Screw 91: Lever type dial gauge 910: Gauge body part 910a: Scale plate 911: Connection part 912 : Spindle 912a: Contact point
92: Shaft 920: Shaft fixing part 8: Straight edge

Claims

A holding table having a holding surface for holding the workpiece, cutting means for cutting the workpiece held by the holding table by cutting a cutting blade, and cutting the cutting means and the holding table relative to each other; Cutting feed means for cutting and feeding in the X-axis direction; index feeding means for index-feeding the cutting means and the holding table in the Y-axis direction, which is a holding surface direction orthogonal to the X-axis direction; A cutting device comprising cutting means for cutting and feeding the holding table relative to the holding table in a Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction and orthogonal to the holding surface. A measuring jig for measuring the accuracy and the straight-moving accuracy in the Y-axis direction,
The cutting means includes a blade cover surrounding the cutting blade,
A shaft mountable to the blade cover and extending in the Z-axis direction, and a gauge mounting portion to which a lever-type dial gauge is mounted, the shaft mountable to the shaft and orthogonal to the extending direction of the shaft, the holding surface direction A measurement jig for measuring the position of the measurement point by positioning the measurement point of the lever type dial gauge at a processing point where the cutting blade cuts a workpiece.