JP6616537B2 - 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 32
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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Description
本実施例1では、表示パネルの一例として例えば液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図6乃至図8は本発明の実施例2のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、図6はタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、図7は図6のD−D’線に沿った断面構造を示す断面図、図8は図6のE−E’線に沿った断面構造を示す断面図である。
1a 第1の部分
1b 第2の部分
2Y 電極
2a 第1の部分
2b 第2の部分
11 基板
12 絶縁膜
12a コンタクトホール
13 保護膜
20 タッチパネル
30 液晶表示パネル
40 バックライト
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に形成された、第1の方向に延在する複数の第1の電極と、
前記第1の電極と交差して、第2の方向に延在する複数の第2の電極と、
前記複数の第1の電極の各々は、前記第2の電極とは異なる層に形成され、前記第2の電極と交差する第1の部分と、前記第2の電極と同層に前記第2の電極とは分離して形成される第2の部分とを有し、
前記複数の第2の電極の各々は、前記第1の部分と交差する第3の部分と、前記第3の部分の間に形成される第4の部分とを有し、
前記第2の部分は、隣り合う2つの前記第1の部分の間で、前記第2の部分の中心部に向かって前記第2の方向の幅が広く、
前記第4の部分は、隣り合う2つの前記第3の部分の間で、前記第4の部分の中心部に向かって前記第1の方向の幅が広く、
前記第1の部分を覆うように形成された絶縁膜とを有する静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法であって、
前記基板上に、第1の透明導電膜を形成する工程と、
前記第1の透明導電膜上にレジストからなるエッチングマスクを形成する工程と、
前記第1の透明導電膜をエッチングして、前記第1の部分を形成する工程と、
前記第1の透明導電膜上のエッチングマスクを除去する工程と、
前記第1の部分を含む前記第1の電極と前記第2の電極が形成される領域の上にネガ型レジストからなる前記絶縁膜を前記第1の透明導電膜よりも厚く形成する工程と、
前記第1の部分上の前記絶縁膜にコンタクト部を形成し、前記コンタクト部を除いた前記第1の電極と前記第2の電極が形成される領域に前記絶縁膜を残す工程と、
前記絶縁膜上に第2の透明導電膜を形成する工程と、
前記第2の透明導電膜上にレジストからなるエッチングマスクを形成する工程と、
前記第2の透明導電膜をエッチングして、前記コンタクト部内部に空間を形成するように前記第3の部分を形成し、前記絶縁膜上に前記第2の部分を中心部に向かって前記第2の方向の幅が広くなるように形成し、前記第4の部分を中心部に向かって前記第1の方向の幅が広くなるように形成する工程と、
前記第2の透明導電膜上のエッチングマスクを除去する工程と、
前記コンタクト部の内部の空間を含み、前記第2の透明導電膜上にネガ型レジストからなる保護膜を形成する工程と、
からなることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法。 - 前記第1の透明導電膜は、ITOを前記基板上に形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法。
- 前記第2の透明導電膜は、ITOを前記絶縁膜上に形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法。
- 前記第1の透明導電膜上に形成されるエッチングマスクは、ポジ型レジストであることを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法。
- 前記第2の透明導電膜上に形成されるエッチングマスクは、ポジ型レジストであることを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019020593A JP6616537B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019020593A JP6616537B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018076728A Division JP6480623B2 (ja) | 2018-04-12 | 2018-04-12 | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019202652A Division JP2020038701A (ja) | 2019-11-07 | 2019-11-07 | 静電容量結合式タッチパネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019071138A JP2019071138A (ja) | 2019-05-09 |
JP6616537B2 true JP6616537B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=66441908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019020593A Active JP6616537B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6616537B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58166437A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Fujitsu Ltd | 指タツチ式座標検出パネルの製造方法 |
JPH0561606A (ja) * | 1991-08-31 | 1993-03-12 | Pentel Kk | 座標入力装置用入力盤の製造方法 |
TWI322374B (en) * | 2006-04-14 | 2010-03-21 | Ritdisplay Corp | Light transmission touch panel and manufacturing method thereof |
TWI313431B (en) * | 2006-04-14 | 2009-08-11 | Ritdisplay Corporatio | Transparent touch panel |
JP2008083497A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Epson Imaging Devices Corp | 電極基板の製造方法 |
TW200842681A (en) * | 2007-04-27 | 2008-11-01 | Tpk Touch Solutions Inc | Touch pattern structure of a capacitive touch panel |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019071138A (ja) | 2019-05-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190207 |
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