JP6599722B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
図1は、本実施の形態に係わる検査装置の構成を示す断面図である。
(対物レンズユニットの構成)
対物レンズユニット2は、筒体11と、接続管12と、蓋13と、レンズ枠体14とを有する。筒体11は、ステンレスなどの金属製である。接続管12は、筒体11に螺子などの固定手段により固定されている。筒体11の中央部には、テーパ面を有する凹部11aが形成され、凹部11aには、開口部11bが形成されている。開口部11bには、照明ランプ15とプリズム16が配置されている。
対物レンズユニット2は、細長形状を有し、細長形状の側方から被検体の像を取得する。
筒体11の先端側に設けられて固定された蓋13の内側に、照明ランプ15を制御する制御基板19が配置されている。制御基板19は、照明ランプ15のオン・オフ及び光量調整を行うための制御回路が搭載され、照明ランプ15とバッテリ17とはリード線20により接続されている。照明ランプ15は、発光ダイオード(LED)などの発光素子を有する照明器である。すなわち、照明ランプ15は、対物レンズユニット2に設けられ、照明光を出射する照明部を構成する。そして、バッテリ17は、対物レンズユニット2に設けられ、照明ランプ15への電力を供給する電源である。
照明ランプ15により、被検体は照明され、筒体11の側面側から入射した被検体からの反射光は、プリズム16で反射されて筒体11の基端方向に進み、複数の対物レンズ21に入射して、筒体11の基端方向へすなわち接眼レンズユニット4の方へ出射する。
リング状の基板22aは、フレア絞りの機能も兼ねており、基板22aの先端側の表面22a1は非反射性の黒色塗料が塗布されている。
制御基板19は、制御回路19aと入力回路19bとを有する。複数のフォトダイオード22が入力回路19bに接続されており、入力回路19bは、各フォトダイオード22の出力信号を受信して制御回路19aへ供給する。各フォトダイオード22と制御基板19は、図示しないリード線により接続されている。
後述するように、各フォトダイオード22には、照明ランプ22の出射光量の増加又は減少を指示する光量調節信号の赤外光が入射される。各フォトダイオード22は、受光した赤外光に応じた出力信号を制御回路19aに出力する。
(リレーレンズユニットの構成)
図1に戻り、リレーレンズユニット3は、3つのリレーレンズ31a、31b、31cと、筒体32と、対物レンズユニット2あるいは他のリレーレンズユニット3との接続のための接続管33と、接眼レンズユニット4あるいは他のリレーレンズユニット3との接続のための接続管34とを有して構成されている。筒体32は、前側筒体32aと、後側筒体32bと、前側筒体32aと後側筒体32bとを接続し固定する接続用筒体32cとから構成される。筒体32を構成する各部材及び接続管33、34は、ステンレスなどの金属製である。接続管33、34は、筒体32に螺子などの固定手段により固定されている。
前側筒体32aの基端部が接続用筒体32cの先端部分に内挿され、後側筒体32bの先端部は接続用筒体32cの基端部分に内挿されて、レンズ枠33bを前側筒体32aと後側筒体32bによって挟むように、前側筒体32aと後側筒体32bが接続用筒体32cに、螺子、接着剤などの固定手段により固定されている。
各リレーレンズ31a、31b、31cは、2枚のレンズを合わせた接合レンズであり、接合レンズは、いずれも、平凸レンズである。リレーレンズ31aと31cは、視野レンズであり、リレーレンズ31bは、結像レンズである。リレーレンズ31aは、平行に入射された光を結像レンズであるリレーレンズ31bに出射し、リレーレンズ31cは、リレーレンズ31bからの光を平行光で出射する。
以上のように、リレーレンズユニット3は、2つの視野レンズと、2つの視野レンズ間に配置された結像レンズとを有し、2つの視野レンズの1つは、入射した光を結像レンズに出射し、結像レンズは、入射した光を2つの視野レンズの他方へ出射し、2つの視野レンズの他方は、入射した光を平行光として出射する。
なお、ここでは、リレーレンズは3つの平凸となる接合レンズよりなるものとしたが、この構成に限るものではない。
(接眼レンズユニットの構成)
接眼レンズユニット4は、ステンレスなどの金属製の筒体41を有し、筒体41内に接眼レンズ42が設けられている。筒体41の先端側に、ステンレスなどの金属製の接続用口金43が固定されている。接続用口金43は、リレーレンズユニット3の基端部が内挿されて嵌合可能な形状を有している。
各スイッチ44a、44bは、制御基板48に接続されている。スイッチ44aが押下されると、制御基板48は照明ランプ15の光量の増加を指示する増加パルス信号を生成して、LED47に供給する制御回路を有している。スイッチ44bが押下されると、制御回路48は照明ランプ15の光量の減少を指示する減少パルス信号を生成して、LED47に供給する。LED47は、増加パルス信号又は減少パルス信号に応じた赤外光IRを出射する。赤外光IRは、接続用口金43の先端方向へ出射される。
発光ダイオード47とフォトダイオード22の配置する位置を同じサイズの同心円状に置くことで光軸が若干ずれても信号の送受信が可能になる。
(光学系)
次に検査装置1の光学系について説明する。
図4に示すように、LED47は、視野絞り53の光が通る絞りの縁53aの外側に配置されている。
LED47から出射された電磁波である赤外光は、複数のリレーレンズユニット3を通って対物レンズユニット2の基端部に入射する。
そこで、ここでは、複数のフォトダイオード22が、連結される複数のリレーレンズユニット3の数に拘わらずに、確実に赤外光を受光するようにリング状に設けられている。
よって、電磁波信号出力部であるLED47から出力された赤外光は、複数のリレーレンズユニット3の内側のリレーレンズを通って、電磁波信号受信部である複数のフォトダイオード22で受信される。
なお、フォトダイオード22は、光軸Oの基端方向に略直交する方向に向くように、対物レンズユニット2内に設けてもよい。
また、接眼レンズユニット4のLED47をリング状になるように複数配置して、対物レンズユニット2のフォトダイオード22を1つにしてもよい。
なお、複数のLED47を設ける場合は、レンズを用いて、赤外光が平行光として出射されるようにしてもよい。
透明な円筒形状の透明部材61の基端面に複数のLED47が設けられている。透明部材61の材質は、ガラス、アクリル、ポリカーボネートなどである。
また、LED47の向きを明るさ絞りの開放している向きの方向に傾けて配置しても良く、光が通過する光量が多くなるというメリットがある。
さらになお、複数のLED47を用いずに、リング状の光を出射するようにしてもよい。
円筒形状の透明部材63の基端側の一部に切り欠き部63aを設け、その切り欠き部63aにLED47が、光が透明部材63内に出射されるように固定される。透明部材63の材質は、ガラス、アクリル、ポリカーボネートなどである。
透明部材63の前面は、光が散乱するように磨りガラスのような散乱面63bである。
なお、ここでは、透明部材63に1つのLED47が設けられているが、2以上でもよい。
また、円筒形状の透明部材63が切り欠き部63aを有さなくてもよい。
図8Aは、図8の構成の変形例を示す斜視図である。すなわち、円筒形状の透明部材63Aの両端面63Aaと63Abは、光が散乱するように磨りガラスのような散乱面であり、LED47が、光を透明部材63A内に出射するように端面63Aaに固定される。LED47からの光は、端面63Aaと63Abにおいて散乱して、端面63Abから円形に前面側に出射する。
なお、図8Aの場合も、2以上のLED47を端面63Aaに設けてもよい。
また、上述したように、赤外線出射装置49を用いて、接眼レンズユニット4の接眼レンズに直接赤外光を入力する場合は、被検体の画像の一部がケラレルことのないように、対物レンズユニット2ではなく、最先端のリレーレンズユニット3にフォトダイオード22を設ける。
赤外線出射装置49から出射した赤外光は、接眼レンズユニット4の図示しない明るさ絞りを通って接眼レンズ42に入射する。赤外線出射装置49から出射した赤外光は、複数のリレーレンズユニット3の内部を通って、対物レンズユニット2の結像面上に結像するが、フォトダイオード22は、最先端のリレーレンズユニット3の結像レンズであるリレーレンズ31bの近傍に配置され、赤外光を受光する。
その場合、最先端のリレーレンズユニット3のフォトダイオード22の電源は、対物レンズユニット2のバッテリ17から取得できるように、対物レンズユニット2と最先端のリレーレンズユニット3のそれぞれに接点2aと3aが設けられる。すなわち、バッテリ17は、連結された1又は2以上のリレーレンズユニット3のうち最先端のリレーレンズユニット3に設けられ、照明ランプ15への電力を供給する電源である。
(作用)
例えば、タービンロータなど回転中心を通る軸に沿って穿設された中心穴に、対物レンズユニット2から検査装置1が挿入される。
上述した実施の形態によれば、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することができる。
(変形例1)
なお、上述した実施の形態の検査装置は、側視タイプであるが、本変形例1の検査装置は、直視タイプであってもよい。
対物レンズユニット2Aは、筒体11Aと、接続管12Aと、レンズ枠体14Aとを有する。筒体11Aは、ステンレスなどの金属製である。筒体11Aの先端側には凹部11dが形成され、凹部11dには、開口部11b1が形成されている。
3つのバッテリ17Aが上述したバッテリ17に相当し、3つのLED15Aが上述した照明ランプ15に相当する。
(変形例2)
上述した実施の形態及び各変形例では、バッテリは、対物レンズユニット2に内蔵されているが、本変形例では、バッテリは、最先端のリレーレンズユニット3の先端側で保持され、対物レンズユニット内に配置されるように構成されている。
本変形例2の検査装置1Aでは、最先端のリレーレンズユニット3aの先端側に、複数の、ここでは2つのバッテリ収容部71が設けられている。バッテリ収容部71が設けられたリレーレンズユニット3aの先端部分は、対物レンズユニット2Bの基端側の凹部2Baに嵌合するように内挿可能な形状を有している。複数のフォトダイオード22は、リング状の基板22a上に搭載され、筒体11の基端方向からの赤外光を受光できるように配設されている。
対物レンズユニット2Bの基端側の凹部2Ba内には、複数の接点73がリング状に配置されたリング状の基板73aが設けられている。
複数の接点73は、リード線20により制御基板19に接続されている。LED15aもリード線20により制御基板19と接続されている。よって、制御基板19は、バッテリ17からの電源を受けて、フォトダイオード22とLED15aを駆動する。
なお、後述する変形例7のような構成の場合は、図12において点線で示すように、フォトダイオード22を蓋13に設け、先端方向からの赤外光を受光できるようにしてもよい。
(変形例3)
上述した実施の形態及び各変形例では、電磁波信号として赤外光を用いて光量の調節を行っているが、レーザ光を用いてもよい。
対物レンズユニット2Cは、プリズム81を有し、プリズム81は、基端側からのレーザ光を半分透過させ、残り半分を反射させるビームスプリッタを有する。
ユーザは、接眼レンズユニット側からレーザ光により照明光の調整のための信号を、二点鎖線で示すレーザ出力装置84から先端側に向けて、検査装置内に出射すると、そのレーザ光は、フォトダイオード83で受光され、制御基板19の制御回路19aは、受信したレーザ光に基づいて、照明の光量を調整する。
よって、赤外光に代わって、レーザ光を用いるようにしてもよい。
その結果、レーザ出力装置84は、レーザ光に基づく、被検体までの距離を表示などするので、ユーザは、検査装置の長さを知ることができる。
(変形例4)
上述した実施の形態及び各変形例ではLED47は、接眼レンズユニット内で固定されているが、本変形例4では、照明光の光量を調節するときだけ、LED47が視野内に位置するようにしてもよい。
接眼レンズユニット4Aは、LED47の可動機構91が設けられている。可動機構91は、先端にLED47が固定された軸部92と、軸部92の基端側に設けられたボタン93と、ボタン93を付勢する付勢部材としての圧縮バネ94を有している。
図16は、可動機構91の部分拡大断面図である。バッテリ95の2つの端部に電気的に接続されている2つの接片101aと101bが筒体41に対して、所定の位置に固定されている。
以上のように、本変形例では、電磁波信号出力部であるLED47は、接眼レンズユニット4Aの視野外から視野内へ移動可能である。そのために、接眼レンズユニット4Aに操作部としてのボタン93が設けられ、ボタン93を操作することにより、LED47は、接眼レンズユニット4Aの視野外から視野内へ移動する。
(変形例5)
上述した変形例4では、ボタンを押下することによって、LED47が視野内に位置するが、本変形例5では、レバーの操作により、LED47が視野内に位置する。
接眼レンズユニット4Bの筒体41には、操作レバー111が、所定の軸部材112回りに回動可能に取り付けられている。軸部材112は、操作レバー111の表面に設けられた凸部でもよい。
操作部111bは、引っ張りバネ113の一端が接続されている。引っ張りバネ113の他端は、筒体41の外周部に設けられた固定部114に接続されている。操作部111bは、引っ張りバネ113によって、所定の方向に常に引っ張られている。
(変形例6)
上述した実施の形態では、赤外光は、リレーレンズユニット3内を通って、対物レンズユニット2内に設けられたフォトダイオード22において受光されるが、本変形例6では、赤外光はリレーレンズユニット3の内部を通らず、対物レンズユニット2の外周部に設けられたフォトダイオード22において受光される。
本変形例6に係わる検査装置1Bでは、接眼レンズユニット4Cの筒体41の外側の先端側にLED47が設けられている。また、フォトダイオード22は、対物レンズユニット2の外周部に設けられている。
以上のように、本変形例6では、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部であるフォトダイオード22は、対物レンズユニット2の外側に設けられ、LED47から出力されて複数のリレーレンズユニット3の外側を通った電磁波信号を受信する。
(変形例7)
変形例6では、赤外光は、対物レンズユニット2の外周部に設けられたフォトダイオードにおいて受光されるが、本変形例7では、先端が貫通している管路を検査するような場合は、検査対象の内部あるいは外部を通った赤外光を、管路の先端側に設けたミラーによって反射させて、対物レンズユニット2に設けたフォトダイオードによっては、受光する。
すなわち、フォトダイオード22は、対物レンズユニット2Eの先端側に設けられたミラーによって反射された赤外光を受信するように対物レンズユニット2Eの外側に設けられている。そして、LED47からの赤外光は、複数のリレーレンズユニット3を支持する支持装置である複数の移動機構121を介してフォトダイオード22で受信される。
よって、ユーザは、赤外光出射装置122を操作して、対物レンズユニット2の照明部の照明光の光量を増減することができる。
このような構成によっても、赤外光を検査装置1C内を通さないで、赤外光出射装置122を操作して、対物レンズユニット2Eの照明部の照明光の光量を増減することができる。
なお、先端側が開放の被検体では、手元側から光量を変えることができるだけではなく、複数人で検査する場合は、検査対象を観察する者以外の者が、赤外光出射装置122の赤外光を被検体の先端側からフォトダイオード22へ当てて、光量を変化させても良い。
(変形例8)
上述した変形例7では、赤外光を管路内に通す場合に、移動機構121の隙間121a内を赤外光が通るが、本変形例8では、各移動機構に受光部と発光部を設けて、赤外光の受光と出射を繰り返すようにして赤外光を対物レンズユニット2Eのフォトダイオード22に照射するようにしてもよい。
以上のように、支持装置である各移動機構121は、電源としてのバッテリ133を有し、電磁波信号である赤外光は、最基端の移動機構121において受信され、各移動機構121は、受信した赤外光に基づいて、受信した赤外光と同じ赤外光を生成して出力する。
よって、ユーザは、赤外光出射装置122を操作して、対物レンズユニット2Fの照明部の照明光の光量を増減することができる。
(変形例9)
図21では、検査装置1Dの外側で移動機構において赤外光の受光と出射を行うようにして、対物レンズユニット2Fのフォトダイオード22に照射しているが、本変形例9は、赤外光が検査装置内で受光と出射を行うように対物レンズユニット2のフォトダイオード22に照射を行う。
各リレーレンズユニット3Aは、基端部に複数のフォトダイオード141を有し、先端部の内側に複数のLED142を有している。複数のフォトダイオード141は、リング状の基板141a上に搭載され、基端側からの赤外光を受光するように、リレーレンズユニット3Aの接続管34に固定されている。複数のLED142は、リング状の基板142a上に搭載され、先端側へ赤外光を出射するように、リレーレンズユニット3Aの接続管33に固定されている。
すなわち、電磁波信号受信部である複数のフォトダイオード22が、対物レンズユニット2Gの内側に設けられ、赤外光を受信する。各リレーレンズユニット3Aは、電源としてのバッテリ143を有し、受信した赤外光に基づいて、受信した赤外光と同じ電磁波信号を生成して出力する。
(変形例10)
変形例9では、各リレーレンズユニット3Aが複数のフォトダイオード141、複数のLED142及び複数のバッテリ143を有し、各リレーレンズユニット3Aにおいて赤外光の受光と出射を行うようにして、対物レンズユニット2Gのフォトダイオード22に照射しているが、本変形例10は、各リレーレンズユニットが光ファイバを有して、赤外光の受光と出射を行うようにした。
以上のように、フォトダイオード22が、対物レンズユニット2Hの内側に設けられ、光コネクタ151に接続され、各リレーレンズユニット3Bは、受信した赤外光を光ファイバ154を介して出射する。
(変形例11)
変形例10では、各リレーレンズユニット3Bが光ファイバ154を有して、赤外光の受光と出射を行うようにしているが、本変形例11は、各リレーレンズユニット3Aが赤外光を通す隙間を内部に有して、赤外光を透過させるようにした。
また、複数のリレーレンズユニット3Cが連設可能なように、各リレーレンズユニット3Cの先端部は、他のリレーレンズユニット3Cの基端部にも嵌合するように外挿可能に形成されている。
以上のように、各リレーレンズユニット3Cは、外筒部材である外筒161と、外筒161の内側に設けられた内筒部材である内筒162とを有し、フォトダイオード22は、LED47から出射され、外筒161と内筒162の間に形成された隙間163を通った赤外光を受信する。
変形例12は、対物光学系及び接眼光学系のそれぞれの近傍に、赤外反射ミラーが配置された検査装置に関する。
図26は、本変形例12に係わる検査装置の構成を示す断面図である。
なお、本変形例12に係わる検査装置1Xの構成は、上述した実施の形態の検査装置1と同様の構成であるため、検査装置1と同じ構成要素については、同じ符号を付して説明は省略し、異なる構成についてのみ説明する。
検査装置1の対物レンズユニット2Xには、図26に示すように、赤外反射ミラー211が、レンズ枠体でもあるミラー保持部材14Xに設けられている。赤外反射ミラー211は、赤外光は反射するが、可視光は透過する可視光透過ミラーである。赤外反射ミラー211は、接眼レンズユニット2Xからの光の光軸に対して45度傾けて配置される。ミラー保持部材14Xは、接続管12Xの基端側から挿入されて固定される。
フレキシブル基板22Xは、薄く細長い形状を有して、フォトダイオード22の位置から、ミラー保持部材14Xの外周面に沿って、ミラー保持部材14Xの先端側まで延出している。フレキシブル基板22Xは、先端部において、図示しないリード線により、基板19と電気的に接続されており、基板19は、フォトダイオード22の出力信号を受信可能に構成されている。
筒体41Xには、ユーザが操作可能な操作スイッチ44Xが設けられている。また、筒体41Xの内側には、基板51Xに搭載されたLED47が、LED47からの赤外光が赤外反射ミラー212に向くように、筒体41Xに固定されている。操作スイッチ44X及びLED47は、図示しなリード線により、制御基板48に接続されている。
なお、ここでは、操作スイッチ44Xは、1つしか示していないが、上述したように、2つのスイッチ(44a、44b)を有している。
検査対象の反射光は、赤外反射ミラー211、リレーレンズユニット3のリレーレンズ、及び赤外反射ミラー212を通るので、ユーザは、接眼レンズユニット4Xの接眼レンズ42を覗くと検査対象を観察することができる。
よって、本変形例12の構成によっても、ユーザは、接眼レンズユニット4Xのスイッチ44Xを操作して、照明光の光量調整信号を出力すると、基端側から出射された赤外光は、接眼レンズユニット4Xから各リレーレンズユニット3を通って、対物レンズユニット2Xのフォトダイオード22Xに入射され、光量の調整を行うことができる。
(第2の実施の形態)
上述した第1の実施の形態では、照明光の光量を制御する光量調節信号は、接眼レンズユニットから出射されているが、本実施の形態では、対物レンズユニットに設けられたセンサの検出信号に基づいて光量が制御される。
本実施の形態の検査装置1Hの構成は、上述した実施の形態及び各変形例の検査装置の構成と略同じであり、同じ構成要素については、同じ符号を付して説明は省略し、上述した実施の形態及び各変形例の検査装置の構成と異なる点のみ説明する。
接眼レンズユニット4Dには、操作スイッチ44が設けられている。操作スイッチ44の操作信号は、接眼レンズユニット4D内の制御基板48に入力される。
操作スイッチ44は、照明光の照射開始を指示するための操作器である。操作スイッチ44が操作されると、制御基板48に接続されたLED47が発光する。
操作スイッチ44が押下されると、制御回路48aは対物レンズユニット2J内の照明ランプ15(図示せず)を点灯させるパルス信号を生成して、LED47に供給する。LED47は、そのパルス信号に応じた赤外光IRを出射する。赤外光は、接続用口金43の先端方向へ出射される。
図28に示すように、基板22bの片面には、複数のフォトダイオード22が、搭載されると共に、3つの加速度センサ171も搭載されている。
3つの加速度センサ171は、それぞれ、互いに直交するx、y、z方向の加速度を検出するように配置される。ここでは、xとy方向は、基板22bの平面内における互いに直交する方向である。z方向は、基板22bの平面に直交する方向、すなわち検査装置1Hの軸方向である。すなわち、本実施の形態では、加速度センサ171は、物理量として、加速度の信号を検出する。
対物レンズユニット2J、複数のリレーレンズユニット3D及び接眼レンズユニット4Dが連結されて、検査装置1Hが組み立てられると、検査装置1Hは一体となる。そのため、ユーザが検査装置1Hの基端側を把持して、検査装置1Hの軸回りに回動させると、先端側の対物レンズユニット2Jも共に回動する。
制御基板19の制御回路19aは、複数のフォトダイオード22の出力信号を受けると照明ランプ15を点灯する。さらに、その制御回路19aは、3つの加速度センサ171の出力信号に応じて、照明ランプ15の光量を調整する。すなわち、操作スイッチ44は、照明光量の調整を開始することを指示するためのスイッチである。
制御回路19aは、所定の加速度信号を検出すると、照明ランプ15の光量を増加させるランプ駆動信号を照明ランプ15へ出力し、別の所定の加速度信号を検出すると、照明ランプ15の光量を減少させるランプ駆動信号を照明ランプ15へ出力する。
図29は、検査装置1Hの回動に伴う加速度センサ171のXYZ方向における加速度と、光量の増減を示すタイミングチャートである。
よって、本実施の形態によれば、ユーザは、赤外光を用いずに、光量の調整を行うことができる。
また、加速度センサ171の出力をモニタすれば、その出力の情報を確認することで、対物レンズユニット2Jの向きすなわち検査装置の先端の向きがどちらで、被検体内のどこまで挿入されたかも確認することができる。加速度センサ171本来の機能である位置を検知することができるとともに、照明光の光量の調整も同時に行うことができる。
さらに、加速度センサ171を先端側のみではなく、手元側の接眼レンズユニット4D付近にも配置し、先端側と手元側の加速度センサの情報を比較することにより、リレーレンズユニット3D間の連結部、リレーレンズユニット3Dと対物レンズユニット2J間の連結部、あるいはリレーレンズユニット3Dと接眼レンズユニット4D間の連結部の緩み、ズレを確認することも可能となる。
上述した実施の形態によれば、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することができる。
(変形例1)
上述した第2の実施の形態では、照明ランプ15の光量調整のために加速度信号を利用しているが、本変形例1では、圧力を利用している。すなわち、本変形例1では、物理量として、圧力の信号を検出する圧力センサを利用している。
対物レンズユニット2Kの基端側には、複数のフォトダイオード22と複数の圧力センサ181がリング状に搭載されたリング状の基板181aが設けられており、各圧力センサ181の出力は制御基板19に入力され、制御回路19aが、検査装置1I内の空気圧を検出できるように配設されている。
外筒161と内筒162は、スペーサ164を介して螺子165で固定されている。2つのリレーレンズユニット3E間には、接続口金182が螺子165aにより固定されている。
複数のリレーレンズユニット3Eが連結されたとき、少なくとも1つの接続口金182が介装される。
複数のフォトダイオード22の出力信号及び圧力センサ181の出力信号は、対物レンズユニット2K内の制御基板19に入力される。
制御基板19の制御回路19aは、複数のフォトダイオード22の出力信号を受けると照明ランプ15を点灯する。さらに、その制御回路19aは、圧力センサ181の出力パターンに応じて、照明ランプ15の光量を調整する。
本変形例によれば、ユーザは、赤外光を用いずに、光量の調整を行うことができる。
また、圧力センサを内部に設けることで、内部の圧力を検知して、エアの漏れを確認することで、連結部の緩み等の確認も可能となる。
(変形例2)
上述した変形例1では、圧力の伝達により、対物レンズユニット2の光量調整を行っているが、本変形例2では、音により対物レンズユニット2の光量調整を行う。すなわち、本変形例1では、物理量として、音の信号を検出するマイクロフォンを利用している。
図32は、対物レンズユニット2Lの構成を示す断面図である。
マイクロフォン191と192は、制御基板19に接続されている。
音の複数の種類は、音の大きさ、音の長さ、所定期間内における音の発生の回数、音の周波数、及びこれらの組合せ等々により規定され、マイクロフォン191と192の出力信号から、制御基板19において検出可能なものであれば、どのようなものでもよい。
対物レンズユニット2Mには、ポンプ184からの空気を導入する管路193を有し、管路193の開口部には、空気振動により音を発する発音部材194が設けられている。
ポンプ184から吐出される空気の吐出パターンによって、音の種類を付けることができる。
対物レンズユニット2Nの基板22cには、複数のフォトダイオード22と共に、複数の、ここでは3つのLED201も搭載されている。各LED201の光の出射方向が、点線で示すようにリング状の基板22aの中心に向かうようには、各LED201は、基板22a上に搭載される。
なお、複数のLED201の色を異なるようにして、残量に応じた色のLED201を発光させるようにしてもよい。
以上のように、対物レンズユニット2Gは、バッテリ17の消耗状態を、光の変化により示す。
21a 隙間、122 赤外光出射装置、123 反射装置、123a、123b ミラー、123a1、123b1 反射面、131 フォトダイオード、132 発光部、133 バッテリ、141 フォトダイオード、141a 基板、142 LED、142a 基板、143 バッテリ、143a バッテリ収容部、143b リード線、151、152 光コネクタ、152a 基板、153 光コネクタ、153a 基板、154 光ファイバ、155 内筒体、161 外筒、162 内筒、163 隙間、164 スペーサ、165、165a 螺子、166a、166b、166c スペーサ、171 加速度センサ、181 圧力センサ、181a 基板、182 接続口金、183 孔、184 ポンプ、185 コネクタ、186 チューブ、187 スイッチ191、192 マイクロフォン、193 管路、194 発音部材、195 マイクロフォン、201 LED。
Claims (16)
- 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記対物レンズユニットに設けられた受信部で受信した電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記接眼レンズユニットの視野外から視野内へ移動可能であり、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記接眼レンズユニットに設けられた操作部を有し、
前記操作部を操作することにより、前記電磁波信号出力部は、前記接眼レンズユニットの視野外から視野内へ移動することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットに設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
前記電磁波信号は、前記1又は2以上のリレーレンズユニットの内側のリレーレンズを通って前記電磁波信号受信部で受信されることを特徴とする検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの外側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
前記電磁波信号受信部は、前記対物レンズユニットの先端側に設けられたミラーによって反射された前記電磁波信号を受信するように前記対物レンズユニットに設けられていることを特徴とする検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの外側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
前記電磁波信号出力部からの前記電磁波信号は、前記1又は2以上のリレーレンズユニットを支持する支持装置を介して前記電磁波信号受信部で受信されることを特徴とする検査装置。 - 前記電磁波信号は、前記支持装置の形成された隙間を通って前記電磁波信号受信部で受信されることを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記支持装置は、複数あり、
各支持装置は、第2の電源を有し、
前記電磁波信号は、最基端の前記各支持装置において受信され、
前記各支持装置は、受信した前記電磁波信号に基づいて前記電磁波信号と同じ電磁波信号を生成して出力することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの内側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
前記電磁波信号受信部は、前記電磁波信号出力部から出力され、前記1又は2以上のリレーレンズユニット内を通った前記電磁波信号を受信することを特徴とする検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの内側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
各リレーレンズユニットは、第3の電源を有し、
前記各リレーレンズユニットは、受信した前記電磁波信号に基づいて前記電磁波信号と同じ電磁波信号を生成して出力することを特徴とする検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの内側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
各リレーレンズユニットは、受信した前記電磁波信号を光ファイバを介して出射することを特徴とする検査装置。 - 互いに連結可能に構成された1又は2以上のリレーレンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
前記1又は2以上のリレーレンズユニットの先端部に接続可能に構成された対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットに設けられ、照明光を出射する照明部と、
前記対物レンズユニット又は連結された2以上のリレーレンズユニットの最先端のリレーレンズユニットに設けられ、前記照明部への電力を供給する第1の電源と、
前記対物レンズユニットの内側に設けられ、電磁波信号を受信する電磁波信号受信部と、
前記対物レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号受信部で受信した前記電磁波信号に応じて、前記照明部の前記照明光の光量を調節する照明調節部と、
前記接眼レンズユニットに設けられ、前記電磁波信号を出力する電磁波信号出力部と、
を有し、
各リレーレンズユニットは、外筒部材と、前記外筒部材の内側に設けられた内筒部材とを有し、
前記電磁波信号受信部は、前記電磁波信号出力部から出射され、前記外筒部材と前記内筒部材の間に形成された隙間を通った前記電磁波信号を受信することを特徴とする検査装置。 - 前記電磁波信号は、赤外光又はレーザ光であることを特徴とする請求項1から11のいずれか1つに記載の検査装置。
- 前記接眼レンズユニットには、撮像装置を装着可能であることを特徴とする請求項1から12のいずれか1つに記載の検査装置。
- 前記対物レンズユニットは、細長形状を有し、前記細長形状の前方からあるいは側方から被検体の像を取得することを特徴とする請求項1から13のいずれか1つに記載の検査装置。
- 前記リレーレンズユニットは、2つの視野レンズと、前記2つの視野レンズ間に配置された結像レンズとを有し、
前記2つの視野レンズの1つは、入射した光を前記結像レンズに出射し、
前記結像レンズは、入射した光を前記2つの視野レンズの他方へ出射し、
前記2つの視野レンズの前記他方は、入射した光を平行光として出射することを特徴とする請求項1から14のいずれか1つに記載の検査装置。 - 前記対物レンズユニットは、前記第1の電源の消耗状態を、光の変化により示すことを特徴とする請求項1から15のいずれか1つに記載の検査装置。
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