JP6598731B2 - Processing device and table moving device - Google Patents
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Description
本発明は、処理対象物を処理するための処理装置及びテーブル移動装置に関するものである。 The present invention relates to a processing device and a table moving device for processing a processing object.
従来から、加工装置などにおいて、直線運動を行う移動機構としてボールねじ機構が使用されている。ボールねじ機構は、駆動モータと回転運動を直線運動に変換するボールねじと直線運動を行う可動部とから構成される。可動部の直線運動を案内するガイドレールがボールねじの両側に設けられる。加工によって生じる粉塵などがボールねじ及びガイドレールに付着することを防止するために、保護カバーとして伸縮自在なジャバラなどがボールねじ及びガイドレールを囲うようにして設けられる（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, a ball screw mechanism is used as a moving mechanism for performing a linear motion in a processing apparatus or the like. The ball screw mechanism includes a drive motor, a ball screw that converts rotational motion into linear motion, and a movable portion that performs linear motion. Guide rails for guiding the linear motion of the movable part are provided on both sides of the ball screw. In order to prevent dust generated by processing from adhering to the ball screw and the guide rail, an expandable bellows or the like is provided as a protective cover so as to surround the ball screw and the guide rail (for example, see Patent Document 1). .
特許文献１に示されるボールねじ機構は次のような課題を有する。特許文献１に示されるように、ガイドレール１及びボールネジ機構３は、固定カバー６と可動収縮カバー７とによって保護される。しかしながら、固定カバー６と可動収縮カバー７との間には隙間が生じる。可動収縮カバー７が収縮すると隙間を介して外部から空気が流入する。この流入する空気に粉塵などが巻き込まれて、ガイドレール１及びボールネジ機構３に粉塵が付着するおそれがある。粉塵の付着が続けば、ガイドレール１及びボールネジ機構３に粉塵が堆積するおそれがある。これらの場合も含めて、テーブルを安定して往復移動させることが粉塵などによって阻害されるおそれがある。
The ball screw mechanism disclosed in
本発明は上記の課題を解決するもので、テーブルを安定して往復移動させることができる処理装置及びテーブル移動装置を提供することを目的とする。 The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus and a table moving apparatus that can stably reciprocate a table.
上記の課題を解決するために、本発明に係る処理装置は、処理対象物又は処理対象物を処理するための処理用部材が主面に取り付けられるテーブルと、テーブルが接続され、直線運動を行う可動部と、可動部を直線運動させる駆動機構と、駆動機構を駆動する駆動源と、直線運動の方向に沿う第１方向に可動部を案内する案内部材と、可動部において第１方向に沿う一方側に接続され、テーブルにおける主面の反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、可動部において第１方向に沿う他方側に接続され、テーブルにおける反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、第１ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、第２ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、可動部は、第１ジャバラによって囲まれた第１空間と第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含む。 In order to solve the above-mentioned problems, a processing apparatus according to the present invention performs a linear motion by connecting a table to which a processing target or a processing member for processing the processing target is attached to a main surface and the table. A movable portion, a drive mechanism that linearly moves the movable portion, a drive source that drives the drive mechanism, a guide member that guides the movable portion in a first direction along the direction of the linear motion, and the movable portion along the first direction A first bellows connected to one side and surrounding the periphery of the drive mechanism and the guide member on the opposite side of the main surface of the table, and connected to the other side along the first direction in the movable part and on the opposite side of the table A second bellows surrounding the drive mechanism and the guide member, a first support member supporting an end of the first bellows opposite to the movable portion, and a side opposite to the movable portion of the second bellows And a second support member for supporting the end portion, the movable portion includes a communicating hole which communicates the second space surrounded by the first space and the second bellows surrounded by the first bellows.
上記の課題を解決するために、本発明に係るテーブル移動装置は、テーブルにおける主面の反対面に接続され、直線運動を行う可動部と、可動部を直線運動させる駆動機構と、駆動機構を駆動する駆動源と、直線運動の方向に沿う第１方向に可動部を案内する案内部材と、可動部において第１方向に沿う一方側に接続され、テーブルにおける主面の反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、可動部において第１方向に沿う他方側に接続され、テーブルにおける反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、第１ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、第２ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、可動部は、第１ジャバラによって囲まれた第１空間と第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含む。 In order to solve the above-described problems, a table moving device according to the present invention includes a movable part that is connected to the opposite surface of the main surface of the table and that performs linear motion, a drive mechanism that linearly moves the movable part, and a drive mechanism. A driving source for driving, a guide member for guiding the movable portion in a first direction along the direction of linear motion, and a drive member connected to one side of the movable portion along the first direction and driven on the opposite side of the main surface of the table A first bellows surrounding the mechanism and the guide member; a second bellows connected to the other side of the movable portion along the first direction and surrounding the drive mechanism and the guide member on the opposite side of the table; A first support member that supports an end portion of the bellows opposite to the movable portion; and a second support member that supports an end portion of the second bellows opposite to the movable portion. Ja A second space surrounded by the first space and the second bellows surrounded by La including communication hole communicating.
本発明によれば、テーブルを安定して往復移動させることができる。 According to the present invention, the table can be stably reciprocated.
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。本出願書類におけるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。なお、平面図においては駆動機構の構成をわかりやすくするために、便宜上、テーブル、保護カバー及びジャバラを透明なものとして描く。
〔実施形態１〕
Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. Any figure in the present application document is schematically omitted or exaggerated as appropriate for easy understanding. About the same component, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted suitably. In the plan view, for the sake of convenience, the table, the protective cover, and the bellows are drawn as transparent for easy understanding of the configuration of the drive mechanism.
（テーブル移動装置の構成）
本発明に係るテーブル移動装置の実施形態１について、図１を参照して説明する。テーブル移動装置１はテーブル２を第１方向（図においてはＹ方向）に移動させる移動装置である。テーブル移動装置１は、テーブル２を移動させるためにサーボモータ３などの駆動源を有する。サーボモータ３は、Ｙ方向に沿って伸びる回転部材であるボールねじ４を回転させる。ボールねじ４には、ボールねじナット（図示なし）を介して軸方向（Ｙ方向）に沿う直線運動を行う可動部５が取り付けられる。サーボモータ３とボールねじ４と可動部５とはボールねじ機構を構成する。ボールねじ４を回転させる駆動源として、ステッピングモータなど他の駆動源を使用しても良い。ボールねじ４は、可動部５を直線運動させる駆動機構として働く。
(Configuration of table moving device)
ボールねじ４は、サーボモータ３の側（＋Ｙ方向側）に設けられた第１支持部材６と、サーボモータ３の反対側（−Ｙ方向側）に設けられた第２支持部材７とによって、回転可能に支持される。具体的には、第１支持部材６及び第２支持部材７にそれぞれ取り付けられた回転軸受（図示なし）によって、ボールねじ４が支持される。回転軸受には、加工による粉塵などが内部に侵入しないようにガスケットなどのシール材が設けられる。
The
サーボモータ３の回転軸とボールねじ４とは、カップリング（図示なし）によって結合される。カップリングを保護する保護カバー（図示なし）が、第１支持部材６に固定される。粉塵などが保護カバー内部に侵入しないように保護カバー固定部にもガスケットなどのシール材が設けられる。
The rotating shaft of the
第１支持部材６及び第２支持部材７は、テーブル移動装置１の基台８の上に取り付けられる。第１支持部材６と第２支持部材７とは、Ｙ方向において相対向するようにして取り付けられる。第１支持部材６と第２支持部材７とは、Ｘ方向において相対向する２個の側壁部材９によって、互いに接続される。したがって、テーブル移動装置１は、第１支持部材６と第２支持部材７と２個の側壁部材９とを含む枠状部材を備える。
The
処理対象物などを載置するテーブル２が、可動部５の上端に固定される。テーブル２は可動部５の移動に伴ってＹ方向に移動する。２個のボールスプライン１０は、ボールねじ４の両側に設けられた案内部材である。２個のボールスプライン１０は、それぞれスプライン軸及びスプラインナット（いずれも図示なし）によって構成される。可動部５は、ボールねじ４の両側に設けられた案内部材である２個のボールスプライン１０に沿ってボールねじ４の軸方向（Ｙ方向）に移動する。スプラインナットは可動部５に固定される。ボールスプライン１０のスプライン軸の両端は、第１支持部材６及び第２支持部材７にそれぞれ固定される。ボールスプライン１０に代えて、リニアブッシュとリニアシャフトとの組み合わせ、又は、ボールねじスプラインを使用しても良い。
A table 2 on which a processing object or the like is placed is fixed to the upper end of the
図１（ｂ）に示されるように、可動部５の一端５Ｒ（テーブル移動装置１におけるサーボモータ３の側）と第１支持部材６とは、Ｙ方向（第１方向）に沿って伸縮できる第１ジャバラ１１によって接続される。可動部５の他端５Ｌ（テーブル移動装置１におけるサーボモータ３の反対側）と第２支持部材７とは、Ｙ方向に沿って伸縮できる第２ジャバラ１２によって接続される。
As shown in FIG. 1B, the one end 5R of the movable portion 5 (the
第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２は、それぞれ筒状であってボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う。第１ジャバラ１１は、可動部５の一端５Ｒと第１支持部材６との間において、密閉された第１空間１３を形成する。第２ジャバラ１２は、可動部５の一端５Ｌと第２支持部材７との間において、密閉された第２空間１４を形成する。ボールねじ４及び２個のボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。したがって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。
The first bellows 11 and the second bellows 12 are respectively cylindrical and surround the
第１ジャバラ１１と可動部５の一端５Ｒとの接続部、第１ジャバラ１１と第１支持部材６との接続部、第２ジャバラ１２と可動部５の他端５Ｌとの接続部及び第２ジャバラ１２と第２支持部材７との接続部は、粉塵などがジャバラの内部に侵入しないようにそれぞれガスケットなどのシール材が設けられる。
A connecting portion between the first bellows 11 and one end 5R of the
第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２は、それぞれ筒状であって、四角形又は円形の断面形状を有する。それぞれのジャバラが収縮した時の長さが短くなるように、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２として、縫いジャバラではなく溶着ジャバラを使用することが好ましい。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の断面形状は楕円形であってもよい。 The first bellows 11 and the second bellows 12 are each cylindrical and have a square or circular cross-sectional shape. It is preferable to use welded bellows instead of stitched bellows as the first bellows 11 and the second bellows 12 so that the length when each bellows contracts is shortened. The cross sections of the first bellows 11 and the second bellows 12 may be elliptical.
図１（ｃ）に示されるように、可動部５には、第１ジャバラ１１内に形成された第１空間１３と第２ジャバラ１２内に形成された第２空間１４とを連通する２個の連通孔１５が設けられる。２個の連通孔１５は、図１（ａ）に示されるＺ方向に沿って見て（平面視して）、ボールねじ４を挟んでボールねじ４の両側に設けられる。可動部５に連通孔１５が設けられることによって、第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して互いに空気を流動させることができる。連通孔１５は四角形の断面形状を有する。連通孔１５の端部における可動部５の４つの稜角には、Ｃ面取り又はＲ面取りなどの面取りを施すことが好ましい。このことにより、空気をより滑らかに流動させることができる。
As shown in FIG. 1 (c), the
本実施形態では、四角形の断面形状を有する連通孔１５をボールねじ４の両側に設けた。これに限らず、連通孔１５の断面形状は円形又は多角形などであっても良い。各実施形態では、連通孔１５の断面形状を問わない。連通孔１５を形成する位置も問わない。連通孔１５は、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において空気が滑らかに流動できるような大きさ及び断面形状を有していれば良い。言い換えれば、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が生じないように連通孔１５の大きさ及び断面形状が設定されていれば良い。
In the present embodiment, the communication holes 15 having a square cross-sectional shape are provided on both sides of the
（テーブル移動装置の動作）
図１を参照して、テーブル移動装置１の動作について説明する。まず、サーボモータ３を駆動（正回転）させることによってボールねじ４を正回転させる。ボールねじ４を正回転させることによって可動部５を−Ｙ方向に移動させる。可動部５が−Ｙ方向に移動することによって、第１ジャバラ１１は伸長し、第２ジャバラ１２は収縮する。
(Operation of table moving device)
The operation of the
第１ジャバラ１１が伸長すると第１ジャバラ１１内の気圧が下がろうとする。第２ジャバラ１２が収縮すると第２ジャバラ１２内の気圧が上がろうとする。第１空間１３と第２空間１４との間において気圧差が発生すると、可動部５の滑らかな移動が妨げられる。本実施形態では、第１空間１３と第２空間１４との間において空気が滑らかに流動できるようにして、可動部５に連通孔１５を設ける。可動部５が移動する場合において、連通孔１５を経由して空気が流動することによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。したがって、可動部５が滑らかに−Ｙ方向に移動することができる。「気圧差が実質的に発生しない」という文言は、物理的には気圧差が発生する場合であって発生した気圧差の大きさが可動部５の滑らかな移動を妨げない程度である場合を含む。
When the first bellows 11 expands, the air pressure in the first bellows 11 tends to drop. When the second bellows 12 contracts, the air pressure in the second bellows 12 tends to increase. When a pressure difference occurs between the
次に、サーボモータ３を逆に駆動（逆回転）させることによってボールねじ４を逆回転させる。ボールねじ４を逆回転させることによって可動部５を＋Ｙ方向に移動させる。可動部５が＋Ｙ方向に移動することによって、第１ジャバラ１１は収縮し、第２ジャバラ１２は伸長する。この場合においても、可動部５が移動しても連通孔１５を経由して空気が流動することによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。したがって、可動部５が滑らかに＋Ｙ方向に移動することができる。
Next, the
ボールねじ４及びボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断されている。このことによって、可動部５がＹ方向に往復移動する場合において、加工によって生じる粉塵などが第１空間１３及び第２空間１４に吸い込まれない。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に粉塵などが侵入することが防止される。加えて、可動部５に連通孔１５を設けることによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。これらのことによって、可動部５が滑らかに往復移動することができる。
The
（処理装置の構成）
図２を参照して、処理装置の一種である加工装置１６の構成について説明する。図２に示されるように、テーブル移動装置１のテーブル２の上に加工部材（処理用部材）を取り付ける。このことによって、加工装置（処理装置）１６においてテーブル移動装置１を使用することができる。図２においては、加工部材（処理用部材）としてブラスト噴射装置１７をテーブル２に取り付けた例を示す。
(Configuration of processing equipment)
With reference to FIG. 2, the structure of the
加工装置１６において、テーブル２のテーブル面がＺ方向に沿うようにして、テーブル２が配置される。テーブル２には、ブラスト噴射装置１７が取り付けられる。本実施形態においては、ブラスト噴射装置１７として、例えば、サクション式ブラスト噴射装置を取り付けた例を示す。ブラスト噴射装置１７は、ブラスト材が供給されるブラスト材供給管１８と、圧縮空気が供給される圧縮空気供給管１９と、ブラスト材を圧縮空気によって噴射させるノズル２０とを備える。ブラスト噴射装置１７の下方には、加工用テーブル２１の上に載置された加工対象物（処理対象物）２２が配置される。ブラスト材として、珪砂、アルミナ、鋼球などの粉粒体が用途に応じて使用される。
In the
本実施形態においては、ブラスト噴射装置１７として、ブラスト材と圧縮空気とをそれぞれの供給管から供給するサクション式ブラスト噴射装置を使用する例を示した。これに限らず、ブラスト材と圧縮空気とを同一の供給管から供給する直圧式ブラスト噴射装置を使用してもよい。
In this embodiment, the example which uses the suction type blast injection apparatus which supplies a blast material and compressed air from each supply pipe as the
（処理装置の動作）
図２を参照して、加工装置１６の動作について説明する。図２に示されるように、加工用テーブル２１の上に加工対象物２２を載置する。加工対象物２２の上方の所定位置にブラスト噴射装置１７を配置する。サーボモータ３を駆動させることによって、テーブル２をＹ方向に往復移動させる。テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させる。ブラスト噴射装置１７のノズル２０から加工対象物２２に向かってブラスト材２３を噴射して、加工対象物２２を加工する。この場合には、加工用テーブル２１を固定した状態で、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させることによって加工対象物２２を加工することができる。
(Processing device operation)
With reference to FIG. 2, operation | movement of the
変形例として、加工用テーブル２１をＸ方向に移動させても良い。この場合には、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させ、かつ、加工用テーブル２１をＸ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
As a modification, the processing table 21 may be moved in the X direction. In this case, the
（作用効果）
本実施形態では、加工装置１６は、加工部材であるブラスト噴射装置１７が取り付けられるテーブル２と、テーブル２が接続されて直線運動を行う可動部５と、可動部５を直線運動させる駆動機構であるボールねじ４と、ボールねじ４を駆動する駆動源であるサーボモータ３と、可動部５を直線運動の方向に案内する案内部材であるボールスプライン１０と、可動部５の一方側５Ｒに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第１ジャバラ１１と、可動部５の他方側５Ｌに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第２ジャバラ１２と、第１ジャバラ１１の可動部５とは反対側の端部を支持する第１支持部材６と、第２ジャバラ１２の可動部５とは反対側の端部を支持する第２支持部材７とを備え、可動部５は第１ジャバラ１１によって囲まれた第１空間１３と第２ジャバラ１２によって囲まれた第２空間１４とを連通する連通孔１５を含む構成を有する。
(Function and effect)
In the present embodiment, the
このような構成にすることによって、ブラスト加工によって生じる粉塵及びブラスト材など（以下「粉塵など」という。）が第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。言い替えれば、第１空間１３及び第２空間１４に粉塵などが侵入することが防止される。
By adopting such a configuration, it is possible to prevent dust, blasting material, and the like (hereinafter referred to as “dust”) generated by blasting from entering the first bellows 11 and the second bellows 12. In other words, dust and the like are prevented from entering the
本実施形態によれば、Ｙ方向に沿って可動部５を直線運動させるボールねじ４及びＹ方向に沿って可動部５を案内するボールスプライン１０の周囲を、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって完全に囲う。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。ボールねじ４及びボールスプライン１０に粉塵などが付着することによって可動部５の直線運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
According to this embodiment, the first bellows 11 and the second bellows 12 are disposed around the
本実施形態によれば、可動部５に第１空間１３と第２空間１４とを連通させる連通孔１５をボールねじ４の両側に設ける。このことによって、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において連通孔１５を経由して空気が流動する。第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して空気が流動するので気圧差が実質的に発生しない。このことにより、気圧差が可動部５の直線運動を妨げることが抑制される。したがって、可動部５が滑らかに往復移動することができるので、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態２〕
According to the present embodiment, the communication holes 15 that allow the
[Embodiment 2]
（テーブル移動装置の構成）
図３を参照して、実施形態２のテーブル移動装置について説明する。実施形態２の特徴は、第１に、実施形態１においては可動部５とテーブル２とが直接的に接続されるのに対して、実施形態２においては可動部５とテーブル２とが別部材を介して間接的に接続されることである。第２に、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバーが設けられたことである。
(Configuration of table moving device)
With reference to FIG. 3, the table moving apparatus of
図３（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置２４において、可動部５とテーブル２とは、Ｘ方向（第２方向）において相対向する２個の接続部材２５によって接続される。２個の接続部材２５は、Ｘ方向（第２方向）における可動部５の両端部にそれぞれ設けられる。第１方向と第２方向とは互いに交わる方向であればよい。図３（ａ）に示されるように、第１方向と第２方向とは、Ｙ方向とＸ方向とのように直交することが好ましい。
As shown in FIG. 3C, in the
２個の接続部材２５の間に、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部を覆うようにして、板状部材からなる保護カバー２６が設けられる。Ｙ方向における保護カバー２６の両端は、支持部材６及び支持部材７に接続される。保護カバー２６は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間において、平面視して可動部５の直線運動を妨げない位置に設けられる。平面視して可動部５の直線運動を妨げない位置の例として、Ｘ方向において相対向する２個の接続部材２５の間が挙げられる。平面視して、保護カバー２６が第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２を完全に内包することが好ましい。上述した以外の構成及び動作については、実施形態１のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
A
（処理装置の構成）
図４を参照して、処理装置の一種である加工装置２７の構成について説明する。図４に示されるように、テーブル移動装置２４は、テーブル２の面がＹ方向に沿うようにして配置される。ブラスト噴射装置１７の下方にテーブル移動装置２４を設置することにより、テーブル移動装置２４を加工装置２７における移動機構として使用することができる。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間には保護カバー２６が設けられる。加工対象物２２は、テーブル移動装置２４のテーブル２の上に載置される。
(Configuration of processing equipment)
With reference to FIG. 4, the structure of the
（処理装置の動作）
図４を参照して、加工装置２７の動作について説明する。図４に示されるように、加工装置２７において、テーブル移動装置２４が有するテーブル２の上に加工対象物２２を載置する。ブラスト噴射装置１７は、テーブル移動装置２４の上方における所定の位置に固定される。サーボモータ３を駆動させてテーブル２をＹ方向に往復移動させる。テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＹ方向に往復移動させる。ブラスト噴射装置１７のノズル２０から加工対象物２２に向かってブラスト材２３を噴射することによって、加工対象物２２を加工する。この場合には、ブラスト噴射装置１７を固定した状態で、テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって加工対象物２２を加工することができる。
(Processing device operation)
With reference to FIG. 4, operation | movement of the
変形例として、ブラスト噴射装置１７をＸ方向に移動させるようにしても良い。この場合には、ブラスト噴射装置１７をＸ方向に往復移動させ、かつ、テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
As a modification, the
（作用効果）
本実施形態では、加工装置２７は、加工対象物２２が載置されるテーブル２と、テーブル２が接続されて直線運動を行う可動部５と、可動部５を直線運動させるボールねじ４と、ボールねじ４を駆動する駆動源であるサーボモータ３と、可動部５を直線運動の方向に案内するボールスプライン１０と、可動部５の一方側５Ｒに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第１ジャバラ１１と、可動部５の他方側５Ｌに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第２ジャバラ１２と、第１ジャバラ１１の可動部５とは反対側の端部を支持する第１支持部材６と、第２ジャバラ１２の可動部５とは反対側の端部を支持する第２支持部材７とを備え、可動部５は第１ジャバラ１１によって囲まれた第１空間１３と第２ジャバラ１２によって囲まれた第２空間１４とを連通する連通孔１５を含む構成を有する。
(Function and effect)
In the present embodiment, the
更に、本実施形態では、加工装置２７は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に配置された保護カバー２６と、Ｘ方向における保護カバー２６の外側に位置し可動部５とテーブル２とを接続する接続部材２５とを含む構成を有する。
Furthermore, in this embodiment, the
これらの構成が採用されることによって、第１に、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。第２に、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。 By adopting these configurations, first, dust generated by processing is prevented from entering the first bellows 11 and the second bellows 12. Secondly, dust or the like generated by processing is suppressed from adhering to the upper portions of the first bellows 11 and the second bellows 12.
本実施形態によれば、可動部５を直線運動させるボールねじ４及び可動部５を軸方向に案内するボールスプライン１０の周囲を第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって完全に囲う。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。ボールねじ４及びボールスプライン１０に粉塵などが付着することによって可動部５の直線運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
According to the present embodiment, the first bellows 11 and the second bellows 12 completely surround the
本実施形態によれば、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２を覆うようにして、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバー２６を設ける。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが、抑制される。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２に粉塵などが付着することによって第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の収縮運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
According to the present embodiment, the
本実施形態によれば、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバー２６を設けるので、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に粉塵などが付着することが抑制される。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の劣化（最悪の場合には破損）が抑制される。このことによって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の寿命を長くすることができる。したがって、テーブル２が長期間安定して往復移動することができる。
According to this embodiment, since the
本実施形態によれば、可動部５に第１空間１３と第２空間１４とを連通させる連通孔１５をボールねじ４の両側に設ける。このことによって、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において連通孔１５を経由して空気が流動する。第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して空気が流動するので気圧差が実質的に発生しない。このことにより、気圧差が可動部５の直線運動を妨げることが抑制される。したがって、可動部５が滑らかに往復移動することができるので、テーブル２が安定して往復移動することができる。
According to the present embodiment, the communication holes 15 that allow the
保護カバー２６において、ボールねじ４の上方に稜部を設けてもよい。この場合には、Ｘ方向における保護カバー２６の両端に向かって稜部から下り勾配を設けることが好ましい。この構成によれば、保護カバー２６の上面に落下した粉塵などが下り勾配に沿って保護カバー２６の両端からテーブル移動装置２４の下方に落下しやすくなる。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に粉塵などが侵入することが、いっそう防止される。
〔実施形態３〕
In the
[Embodiment 3]
図５を参照して、実施形態３のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、可動部を案内する案内部材としてボールスプラインではなくリニアガイドを使用することである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
With reference to FIG. 5, the table moving apparatus of
図５（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置２８において、可動部２９（ドットで塗りつぶしている部分）は、基台３０に設けられたリニアガイド３１を案内部材として直線運動を行う。図５（ｂ）に示されるように、基台３０の一端は、第１空間１３を通過して第１支持部材６に固定される。基台３０の他端は、第２空間１４を通過して第２支持部材７に固定される。したがって、基台３０は第１支持部材６と第２支持部材７とによって支持される。基台３０の両端部にリニアガイド３１が設けられる。可動部２９は、リニアガイド３１に沿ってボールねじ４の軸方向（Ｙ方向）に移動する。
As shown in FIG. 5C, in the
図５（ｃ）に示されるように、可動部２９は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２と接続される枠状部材２９ａと、枠状部材２９ａが有する貫通穴に設けられ枠状部材２９ａに接続される可動部材２９ｂとを備える。可動部材２９ｂがリニアガイド３１に沿って直線運動を行う。したがって、可動部材２９ｂと枠状部材２９ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
As shown in FIG. 5C, the
可動部材２９ｂにおいて、ボールねじ４の両側に凹部３２が設けられる。凹部３２は、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。本実施形態においては、可動部２９を構成する枠状部材２９ａと可動部材２９ｂとの間の空間、可動部材２９ｂと基台３０との間の空間、枠状部材２９ａと基台３０との間の空間及び可動部材２９ｂに設けられた凹部３２のそれぞれが、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。第１空間１３と第２空間１４との間において、これらの連通孔を経由して空気が流動する。ボールねじ４、リニアガイド３１及び基台３０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。
In the movable member 29b,
このような構成とすることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。
By adopting such a configuration, it is possible to prevent dust generated by processing from entering the first bellows 11 and the second bellows 12. By providing the
加えて、可動部２９が移動した際に第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔を経由して空気が流動する。したがって、可動部２９が滑らかに往復移動することができる。本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態４〕
In addition, when the
[Embodiment 4]
図６を参照して、実施形態４のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、テーブルに接続される可動部を２個設けることである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
With reference to FIG. 6, the table moving apparatus of
図６（ｂ）に示されるように、テーブル移動装置３３は、ボールねじナット（図示なし）を介してボールねじ４に取り付けられる２個の可動部５ａ、５ｂを有する。テーブル２は、接続部材２５ａ、２５ｂによってそれぞれ可動部５ａ、５ｂに接続される。可動部５ａと可動部５ｂとは、第３ジャバラ３４によって接続される。第３ジャバラ３４は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２と同様にボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲うジャバラである。第３ジャバラ３４は、可動部５ａと可動部５ｂとの間に密閉された第３空間３５を形成する。したがって、ボールねじ４及びボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４によって外部から完全に遮断される。
As shown in FIG. 6B, the
可動部５ａには、第１ジャバラ１１内に形成された第１空間１３と第３ジャバラ３４内に形成された第３空間３５とを連通させる連通孔１５ａがボールねじ４の両側に設けられる。可動部５ｂには、第２ジャバラ１２内に形成された第２空間１４と第３ジャバラ３４内に形成された第３空間３５とを連通させる連通孔１５ｂがボールねじ４の両側に設けられる。したがって、第１空間１３と第３空間３５と第２空間１４とは、連通孔１５ａ及び連通孔１５ｂをそれぞれ経由して互いに空気を流動させることができる。
The movable portion 5 a is provided with communication holes 15 a on both sides of the
これらのような構成を採用することによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることにより、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４の上部に付着することが抑制される。
By adopting such a configuration, dust generated by processing is prevented from entering the first bellows 11, the second bellows 12, and the third bellows 34. By providing the
加えて、可動部５ａ、５ｂが移動した際に第１空間１３と第３空間３５と第２空間１４との間において、連通孔１５ａ、１５ｂを経由して空気が流動する。したがって、可動部５ａ、５ｂが滑らかに往復移動することができる。本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。なお、第３ジャバラ３４に代えて、可動部５ａと可動部５ｂとの間において、第３空間３５を密閉する枠状部材を用いることもできる。
〔実施形態５〕
In addition, when the movable parts 5a and 5b move, the air flows between the
[Embodiment 5]
図７を参照して、実施形態５のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、可動部（テーブル）を直線運動させる駆動機構としてリニアモータ機構を使用することである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
With reference to FIG. 7, the table moving apparatus of
図７（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置３６において、可動部３７（ドットで塗りつぶしている部分）は、基台３０に設けられたリニアガイド３１を案内部材として直線運動を行う。基台３０の一端は、第１空間１３を通過して第１支持部材６に固定される。基台３０の他端は、第２空間１４を通過して第２支持部材７に固定される。基台３０は第１支持部材６と第２支持部材７とによって支持される。基台３０の両端部にリニアガイド３１が設けられる。可動部３７は、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
As shown in FIG. 7C, in the table moving device 36, the movable portion 37 (portion filled with dots) performs a linear motion using the linear guide 31 provided on the base 30 as a guide member. One end of the base 30 passes through the
可動部３７は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２に接続される枠状部材３７ａと、枠状部材３７ａが有する貫通穴に設けられ枠状部材３７ａに接続される可動部材３７ｂとを備える。可動部材３７ｂがリニアガイド３１に沿って直線運動を行う。したがって、可動部材３７ｂと枠状部材３７ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。可動部材３７ｂは下側に凹部３８を有する。凹部３８は、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。
The
本実施形態において、可動部材３７ｂは、リニアモータ機構３９によって直線運動を行う。リニアモータ機構３９は、可動子であるリニアモータ４０と、共通固定子である磁石板４１とを備える。リニアモータ４０自身が駆動機構及び駆動源の双方に相当する。リニアモータ４０は、可動部材３７ｂが有する凹部３８に設けられ、可動部材３７ｂに固定される。図７（ａ）、（ｂ）に示されるように、磁石板４１はリニアガイド３１が沿う方向（Ｙ方向）に沿って基台３０の上に設けられる。リニアモータ４０は磁石板４１の上方に配置される。磁石板４１の上方において、リニアモータ４０は磁石板４１に沿って直線運動を行う。したがって、リニアモータ４０と可動部材３７ｂと枠状部材３７ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
In the present embodiment, the movable member 37 b performs a linear motion by the
図７（ｃ）に示されるように、可動部３７を構成する枠状部材３７ａと可動部材３７ｂとの間の空間、可動部材３７ｂと基台３０との間の空間、枠状部材３７ａと基台３０との間の空間、リニアモータ４０と磁石板４１との間の空間、及び可動部材３７ｂが有する凹部３８が、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。第１空間１３と第２空間１４との間において、これらの連通孔を経由して空気が流動する。
As shown in FIG. 7C, the space between the frame-shaped member 37a and the movable member 37b constituting the
これらのような構成を採用することによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。
By adopting such a configuration, dust generated by processing is prevented from entering the first bellows 11 and the second bellows 12. By providing the
加えて、可動部３７が移動した際に第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔を経由して空気が流動する。したがって、可動部３７が滑らかに往復移動することができる。
In addition, when the
本実施形態によれば、リニアモータ４０、磁石板４１、リニアガイド３１及び基台３０が、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。駆動機構を構成する要素部材のすべてが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から遮断される。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって、加工によって生じる粉塵などから駆動機構全体を保護することができる。したがって、本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態６〕
According to this embodiment, the
[Embodiment 6]
図８を参照して、実施形態６のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、保護カバーを第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部を覆うだけでなく可動部の上部も覆うようにして設けることである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
With reference to FIG. 8, the table moving apparatus of
図８（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置４２において、可動部５とテーブル２とは、Ｘ方向において相対向する２個のＬ字形状を有する接続部材４３によって接続される。２個の接続部材４３は、Ｘ方向における可動部５の両側面にそれぞれ設けられる。
As shown in FIG. 8C, in the table moving device 42, the
２個の接続部材４３の間に、第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５の上部を覆うようにして、板状部材からなる保護カバー４４が設けられる。保護カバー４４は、可動部５とテーブル２との間に設けられる。
A
図８（ｂ）に示されるように、Ｙ方向における保護カバー４４の両端は、支持部材６及び支持部材７に接続される。保護カバー４４は、基台８の上において内部を取り囲む第１支持部材６と第２支持部材７と２個の側壁部材９とを含む枠状部材の上に固定される。平面視して保護カバー４４は基台８に重なることが好ましい。平面視して保護カバー４４は基台８を完全に内包してもよい。したがって、平面視して、保護カバー４４が第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５を完全に内包する。
As shown in FIG. 8B, both ends of the
このような構成とすることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５の上部に付着することがいっそう抑制される。加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。したがって、本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
By setting it as such a structure, it is suppressed further that the dust etc. which arise by processing adhere to the upper part of the 1st bellows 11, the 2nd bellows 12, and the
実施形態３、４、５、６においては、テーブル移動装置２８、３３、３６、４２について説明した。実施形態３、４、５、６に示したテーブル移動装置２８、３３、３６、４２を、それぞれ実施形態１又は２に示した加工装置（処理装置）に適用して使用することができる。
〔実施形態７〕
In the third, fourth, fifth, and sixth embodiments, the
[Embodiment 7]
図９を参照して、実施形態７の処理装置の一種である加工装置について説明する。実施形態２の加工装置との違いは、テーブル移動装置２４を２個積み重ねることによって、ブラスト噴射装置１７を固定した状態で加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させることである。
With reference to FIG. 9, the processing apparatus which is a kind of processing apparatus of
図９に示されるように、加工装置４５はテーブル移動装置２４ａとテーブル移動装置２４ｂとを備える。テーブル移動装置２４ａは、ボールねじ４ａの軸方向がＹ方向に沿うようにして配置される。テーブル移動装置２４ｂは、ボールねじ４ｂの軸方向がＸ方向に沿うようにして配置される。テーブル移動装置２４ａのテーブル２ａ上に、テーブル移動装置２４ｂの基台８が固定される。テーブル移動装置２４ｂのテーブル２ｂの上に加工対象物２２が載置される。ブラスト噴射装置１７はテーブル２ｂの上方の所定位置に固定される。このような構成とすることによって、加工装置４５において、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させることができる。
As shown in FIG. 9, the processing device 45 includes a table moving device 24a and a table moving device 24b. The table moving device 24a is arranged so that the axial direction of the ball screw 4a is along the Y direction. The table moving device 24b is arranged so that the axial direction of the ball screw 4b is along the X direction. The
図９を参照して、加工装置４５の動作について説明する。加工装置４５において、テーブル移動装置２４ａを使用してテーブル２ａをＹ方向に往復移動させることによって、テーブル移動装置２４ｂをＹ方向に往復移動させる。テーブル移動装置２４ｂを使用してテーブル２ｂをＸ方向に往復移動させる。このことによって、テーブル２ｂの上に載置された加工対象物２２を、Ｘ方向及びＹ方向に沿って移動させることができる。ブラスト噴射装置１７からブラスト材２３を加工対象物２２に噴射することによって、加工対象物２２を加工する。したがって、加工装置４５において、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
With reference to FIG. 9, operation | movement of the processing apparatus 45 is demonstrated. In the processing device 45, the table moving device 24b is reciprocated in the Y direction by reciprocating the table 2a in the Y direction using the table moving device 24a. The table 2b is reciprocated in the X direction using the table moving device 24b. Thus, the
これらのような構成とすることによって、テーブル移動装置２４ａ及びテーブル移動装置２４ｂそれぞれにおいて、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。更に、実施形態２と同様に保護カバー２６をそれぞれ設けるので、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。したがって、本実施形態においても、テーブル２ｂが安定してＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動することができる。 By adopting such a configuration, it is possible to prevent dust generated by processing from entering the first bellows 11 and the second bellows 12 in each of the table moving device 24a and the table moving device 24b. Furthermore, since the protective covers 26 are provided in the same manner as in the second embodiment, it is possible to suppress dust generated by processing from adhering to the upper portions of the first bellows 11 and the second bellows 12. Therefore, also in the present embodiment, the table 2b can stably reciprocate along the X direction and the Y direction.
本実施形態においては、テーブル移動装置２４を２個積み重ねることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させた。これに限らず、テーブル移動装置２４の底面に、テーブル移動装置２４の軸方向に対して直交する方向にテーブル移動装置２４を移動させる移動機構を設けても良い。このことによって、テーブル移動装置２４をＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動させることができる。
In the present embodiment, the
各実施形態においては、可動部を直線運動させる駆動機構としてボールねじ機構又はリニアモータ機構を使用した。これに限らず、可動部を直線運動させる駆動機構として直線運動するアクチュエータを使用しても良い。この場合には、直線運動するアクチュエータの駆動部の周囲を、第１ジャバラ及び第２ジャバラで囲う。このことによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ及び第２ジャバラの内部に侵入することが防止される。 In each embodiment, a ball screw mechanism or a linear motor mechanism is used as a drive mechanism for linearly moving the movable part. Not limited to this, an actuator that moves linearly may be used as a drive mechanism that linearly moves the movable part. In this case, the periphery of the actuator that moves linearly is surrounded by the first bellows and the second bellows. This prevents dust generated by processing from entering the first bellows and the second bellows.
各実施形態においては、第１ジャバラ及び第２ジャバラによって加工によって生じる粉塵などがジャバラの内部に侵入することを防止した。このことにより、加工によって硬い粉塵が発生した場合であっても、ボールねじ、ボールスプライン、リニアガイドなどを硬い粉塵から保護することができ、例えば、これらの部材の磨耗による精度劣化を防ぐことができる。したがって、駆動機構の劣化を抑制して駆動機構の寿命を長くすることができる。 In each embodiment, dust generated by processing by the first bellows and the second bellows is prevented from entering the inside of the bellows. This makes it possible to protect ball screws, ball splines, linear guides, etc. from hard dust even when hard dust is generated by processing, for example, preventing deterioration of accuracy due to wear of these members. it can. Therefore, it is possible to extend the life of the drive mechanism by suppressing the deterioration of the drive mechanism.
各実施形態において、ボールねじ機構を使用した場合には、基台の上に設けられた枠状部材の外側にサーボモータを配置した。これに限らず、枠状部材の内側にサーボモータを配置しても良い。言い換えれば、サーボモータを第１ジャバラの内部に配置しても良い。この場合には、テーブル移動装置において、サーボモータに粉塵などが付着することが防止される。 In each embodiment, when the ball screw mechanism is used, the servo motor is disposed outside the frame-like member provided on the base. However, the present invention is not limited to this, and a servo motor may be arranged inside the frame member. In other words, the servo motor may be arranged inside the first bellows. In this case, dust or the like is prevented from adhering to the servo motor in the table moving device.
各実施形態に示した加工装置おいては、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ及び第２ジャバラの内部に侵入することが防止される。第１ジャバラ及び第２ジャバラの上方に保護カバーを設けることによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部に粉塵などが付着することが抑制される。加えて、それぞれの加工装置において、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部又は保護カバーの上部に向かって高圧の空気を噴射する噴射装置を設けることができる。このことによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部又は保護カバーの上部に付着する粉塵などを、高圧の空気を使用して吹き飛ばすことができる。このことによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの劣化がいっそう抑制される。 In the processing apparatus shown in each embodiment, dust generated by processing is prevented from entering the first bellows and the second bellows. By providing the protective cover above the first bellows and the second bellows, it is possible to suppress dust and the like from adhering to the upper portions of the first bellows and the second bellows. In addition, in each processing apparatus, an injection device that injects high-pressure air toward the top of the first bellows and the second bellows or the top of the protective cover can be provided. By this, the dust etc. which adhere to the upper part of the 1st bellows and the 2nd bellows or the upper part of a protective cover can be blown away using high pressure air. This further suppresses the degradation of the first bellows and the second bellows.
更に、保護カバーと側壁部材との隙間から内部に侵入した粉塵を外部に排出するために、高圧の空気を噴射する噴射装置を設けても良い。この場合には、基台又は側壁部材に排出口を設けることが好ましく、噴射装置を用いて、内部に侵入した粉塵を排出口から強制的に外部に吹き飛ばすことができる。 Furthermore, in order to discharge the dust that has entered inside through the gap between the protective cover and the side wall member to the outside, an injection device that injects high-pressure air may be provided. In this case, it is preferable to provide a discharge port on the base or the side wall member, and the dust that has entered the inside can be forcibly blown out from the discharge port to the outside using an injection device.
各実施形態においては、加工装置の一つの例としてブラスト加工装置を示した。本発明は、切断加工装置、切削加工装置、旋盤加工装置、研削加工装置、ＮＣ加工装置など、加工装置一般に適用することができる。加工装置においては、加工液、洗浄液を使用してもよく、使用しなくてもよい。加えて、加工装置、搬送装置、測定装置などの駆動機構に、本発明のテーブル移動装置を適用することができる。 In each embodiment, the blast processing apparatus was shown as one example of the processing apparatus. The present invention can be applied to general processing devices such as a cutting device, a cutting device, a lathe processing device, a grinding device, and an NC processing device. In the processing apparatus, a processing liquid and a cleaning liquid may be used or may not be used. In addition, the table moving device of the present invention can be applied to a driving mechanism such as a processing device, a conveying device, or a measuring device.
本発明は、加工装置以外の処理装置に適用される。それらの処理装置は、それぞれ移動機構を有する洗浄装置、移動装置（搬送装置を含む）、測定装置（検査装置を含む）、試験装置、乾燥装置などを含む。それらの処理装置において、洗浄、移動、測定、検査、試験、乾燥などの処理が行われる。本発明が適用される処理装置は、医療用の測定装置、ちり、ほこりなどを極力含まない雰囲気中（クリーンルームなどの雰囲気中）において使用される半導体製造装置などを含む。 The present invention is applied to a processing apparatus other than a processing apparatus. These processing apparatuses each include a cleaning apparatus having a moving mechanism, a moving apparatus (including a transport apparatus), a measuring apparatus (including an inspection apparatus), a test apparatus, and a drying apparatus. In these processing apparatuses, processes such as cleaning, moving, measuring, inspecting, testing, and drying are performed. The processing apparatus to which the present invention is applied includes a medical measurement apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus used in an atmosphere that contains as little dust and dust as possible (in an atmosphere such as a clean room), and the like.
本発明は、エレクトロニクスの分野において使用される処理装置に適用される。それらの処理装置は、基板を研磨する研磨装置、フォトレジストの塗布装置、露光装置、現像装置、基板に装着された電子部品が樹脂封止された樹脂封止済み基板を切断する切断装置などを含む。それらの処理装置において、研磨、塗布、露光、現像、切断などの処理が行われる。 The present invention applies to processing equipment used in the field of electronics. These processing apparatuses include a polishing apparatus for polishing a substrate, a photoresist coating apparatus, an exposure apparatus, a developing apparatus, and a cutting apparatus for cutting a resin-sealed substrate in which electronic components mounted on the substrate are resin-sealed. Including. In these processing apparatuses, processes such as polishing, coating, exposure, development, and cutting are performed.
本発明は、医療技術分野において使用される処理装置に適用される。それらの処理装置は、測定装置（検査装置を含む）などであって、具体的には、ＣＴスキャナ（ Computed Tomography Scanner ）、ＭＲＩ( Magnetic Resonance Imaging )装置などを含む。これらの処理装置においては、撮像、測定、検査などの処理が行われる。 The present invention is applied to a processing apparatus used in the medical technical field. These processing apparatuses are measurement apparatuses (including inspection apparatuses), and specifically include CT scanners (Computed Tomography Scanners), MRI (Magnetic Resonance Imaging) apparatuses, and the like. In these processing apparatuses, processing such as imaging, measurement, and inspection is performed.
本発明によれば、工作機械などの加工装置、その他の処理装置において発生する粉塵などが移動機構の周囲の空間に入り込むことが防止される。加えて、処理装置が動作する際に、塵などが移動機構の周囲の空間に入り込むことが防止される。したがって、テーブルが安定して往復移動することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it is prevented that the dust etc. which generate | occur | produce in processing apparatuses, such as a machine tool, and other processing apparatuses enter into the space around a moving mechanism. In addition, dust or the like is prevented from entering the space around the moving mechanism when the processing apparatus operates. Therefore, the table can reciprocate stably.
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。 The present invention is not limited to each of the above-described embodiments, and can be arbitrarily combined, modified, or selected and adopted as necessary without departing from the spirit of the present invention. It is.
１、２４、２４ａ、２４ｂ、２８、３３、３６、４２ テーブル移動装置
２、２ａ、２ｂ テーブル
３ サーボモータ（駆動源）
４、４ａ、４ｂ ボールねじ（駆動機構）
５、５ａ、５ｂ、２９、３７ 可動部
５Ｒ 可動部の一端
５Ｌ 可動部の他端
６ 第１支持部材
７ 第２支持部材
８ 基台
９ 側壁部材
１０ ボールスプライン（案内部材）
１１ 第１ジャバラ
１２ 第２ジャバラ
１３ 第１空間
１４ 第２空間
１５、１５ａ、１５ｂ 連通孔
１６、２７、４５ 加工装置（処理装置）
１７ ブラスト噴射装置（処理用部材）
１８ ブラスト材供給管
１９ 圧縮空気供給管
２０ ノズル
２１ 加工用テーブル
２２ 加工対象物（処理対象物）
２３ ブラスト材
２５、２５ａ、２５ｂ、４３ 接続部材
２６、４４ 保護カバー（板状部材）
２９ａ、３７ａ 枠状部材（可動部）
２９ｂ、３７ｂ 可動部材（可動部）
３０ 基台
３１ リニアガイド（案内部材）
３２、３８ 凹部（連通孔）
３４ 第３ジャバラ
３５ 第３空間
３９ リニアモータ機構（駆動機構）
４０ リニアモータ（駆動源、駆動機構）
４１ 磁石板（駆動機構）
1, 2, 24, 24b, 28, 33, 36, 42
4, 4a, 4b Ball screw (drive mechanism)
5, 5a, 5b, 29, 37 Movable part 5R One end of the movable part 5L The other end of the
DESCRIPTION OF
17 Blast injection device (Processing member)
18 Blasting
23
29a, 37a Frame-shaped member (movable part)
29b, 37b Movable member (movable part)
30 Base 31 Linear guide (guide member)
32, 38 Recess (Communication hole)
34 3rd bellows 35
40 Linear motor (drive source, drive mechanism)
41 Magnet plate (drive mechanism)
Claims (6)
平面視で前記第１方向に直交する第２方向において、前記テーブルと前記可動部の両端部とを接続する一対の接続部材と、
前記可動部を直線運動させる駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動源と、
前記第１方向に前記可動部を案内する案内部材と、
前記可動部において前記第１方向に沿う一方側に接続され、前記テーブルにおける前記主面の反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、
前記可動部において前記第１方向に沿う他方側に接続され、前記テーブルにおける前記反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、
前記第１ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、
前記第２ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材と、
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラとテーブルとの間で、前記第１ジャバラ、前記第２ジャバラ及び前記可動部を覆うように配置された板状部材と、
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラを囲うように前記第１支持部の両端部と前記第２支持部の両端部とを接続する一対の側壁部材とを備え、
前記可動部は、前記第１ジャバラによって囲まれた第１空間と前記第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含み、
前記可動部が移動する際に前記第１空間と前記第２空間との間に気圧差が生じないように前記連通孔の大きさ及び前記連通孔の断面形状が設定され、
前記連通孔の端部における前記可動部の稜角には面取りが設けられ、
平面視で前記第２方向において、前記板状部材の幅は、前記一対の側壁部材の内側の間隔よりも大きく、
前記一対の接続部材は、一端が前記可動部材の両側面に接続され、前記一対の側壁部材の上方及び前記板状部材の両側方を経由して、他端が前記テーブルに接続される、テーブル移動装置。
A movable part connected to the opposite surface of the main surface of the table and performing linear motion in the first direction;
A pair of connecting members connecting the table and both ends of the movable part in a second direction orthogonal to the first direction in plan view;
A drive mechanism for linearly moving the movable part;
A drive source for driving the drive mechanism;
A guide member for guiding the movable part in the first direction;
A first bellows connected to one side of the movable portion along the first direction and surrounding the drive mechanism and the guide member on the opposite side of the main surface of the table;
A second bellows connected to the other side of the movable portion along the first direction and surrounding the drive mechanism and the guide member on the opposite surface side of the table;
A first support member that supports an end of the first bellows opposite to the movable portion;
A second support member for supporting an end portion of the second bellows opposite to the movable portion;
A plate-like member arranged so as to cover the first bellows, the second bellows, and the movable part between the first bellows and the second bellows and the table;
A pair of side wall members connecting both end portions of the first support portion and both end portions of the second support portion so as to surround the first bellows and the second bellows;
The movable portion includes a communication hole that communicates the first space surrounded by the first bellows and the second space surrounded by the second bellows,
The size of the communication hole and the cross-sectional shape of the communication hole are set so that there is no pressure difference between the first space and the second space when the movable part moves,
A chamfer is provided at the ridge angle of the movable part at the end of the communication hole,
In the second direction in plan view, the width of the plate-like member is greater than the distance between the inside of the pair of side wall members,
The pair of connection members has one end connected to both side surfaces of the movable member and the other end connected to the table via the upper side of the pair of side wall members and both sides of the plate-like member. Mobile equipment.
平面視で前記第１方向に直交する第２方向において、前記テーブルと前記可動部の両端部とを接続する一対の接続部材と、
前記可動部を前記第１方向に直線運動させる駆動機構と、
前記可動部の前記第１方向の両側に一端が接続され、前記駆動機構の周囲を囲う一対のジャバラと、
前記一対のジャバラの他端が接続される一対の支持部材と、
前記一対のジャバラを囲うように前記一対の支持部材の両端部を接続する一対の側壁部材と、
前記一対のジャバラとテーブルとの間で、前記一対のジャバラ及び前記可動部を覆うように配置された板状部材とを備え、
平面視で前記第２方向において、前記板状部材の幅は、前記一対の側壁部材の内側の間隔よりも大きく、
前記一対の接続部材は、一端が前記可動部材の両側面に接続され、前記一対の側壁部材の上方及び前記板状部材の両側方を経由して、他端が前記テーブルに接続される、テーブル移動装置。
A movable part connected to the table and performing linear motion in the first direction;
A pair of connecting members connecting the table and both ends of the movable part in a second direction orthogonal to the first direction in plan view;
A drive mechanism for linearly moving the movable part in the first direction;
A pair of bellows having one end connected to both sides of the movable portion in the first direction and surrounding the drive mechanism;
A pair of support members to which the other ends of the pair of bellows are connected;
A pair of side wall members connecting both ends of the pair of support members so as to surround the pair of bellows;
A plate-like member disposed between the pair of bellows and the table so as to cover the pair of bellows and the movable portion;
In the second direction in plan view, the width of the plate-like member is greater than the distance between the inside of the pair of side wall members,
The pair of connection members has a table in which one end is connected to both side surfaces of the movable member, and the other end is connected to the table via the upper side of the pair of side wall members and both sides of the plate-like member. Mobile equipment.
The table moving device according to claim 2, further comprising a guide member that guides the movable portion in the first direction.
The table moving device according to any one of claims 1 to 3, wherein the movable part includes a communication hole that communicates two spaces surrounded by the pair of bellows with the movable part interposed therebetween.
The table moving device according to claim 1, wherein the drive mechanism is a ball screw mechanism or a linear motor mechanism.
It is a processing apparatus provided with the table moving apparatus of any one of Claims 1-5, Comprising: As the said table, the processing member for processing a processing target object or a processing target object is attached to the said main surface. A processing device provided with a table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016097829A JP6598731B2 (en) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | Processing device and table moving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016097829A JP6598731B2 (en) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | Processing device and table moving device |
Publications (3)
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|---|---|
| JP2017205811A JP2017205811A (en) | 2017-11-24 |
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- 2016-05-16 JP JP2016097829A patent/JP6598731B2/en active Active
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