JP6596041B2 - Fine particle collector - Google Patents

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Description

本発明は、空気中に含まれる微小粒子物質を効率的に捕集するための微小粒子の捕集装置に関する。   The present invention relates to a microparticle collection device for efficiently collecting microparticle materials contained in air.

大気中に浮遊する粒子には、花粉や砂塵のみならず、大気中に放出されたディーゼル排気ガスなどの煤や有機化合物などがある。花粉や砂塵などの粒径が大きい粗大粒子に対して、粒径が2.5μm以下の微小粒子状物質つまり微小粒子は、一般にPM2.5と言われる。PM2.5つまり微小粒子状物質は、約半分が水溶性の無機物質であり、残りはディーゼル排気などの煤や有機化合物であり、ガス物質が大気中の化学反応により微小粒子となる場合がある。   Particles floating in the atmosphere include not only pollen and dust, but also soot and organic compounds such as diesel exhaust emitted into the atmosphere. A microparticulate substance having a particle size of 2.5 μm or less, that is, a microparticle, is generally referred to as PM2.5 with respect to coarse particles having a large particle size such as pollen or dust. About 2.5% of PM2.5, that is, microparticulates are water-soluble inorganic substances, and the rest are soot and organic compounds such as diesel exhaust, and gas substances may become microparticles due to chemical reactions in the atmosphere. .

このような微小粒子は、鼻や気管にとどまらず、肺胞深くまで到達し、呼吸器や循環器の疾患を引き起こす原因になり、深刻な健康被害をもたらす可能性が指摘されている。しかしながら、PM2.5の有害性発現における細胞生化学的メカニズムの詳細は明らかになっていない。その理由としては、微小粒子が多種多様な化学成分から構成される複雑な集合体であることに加え、実験対象とすべき細胞の種類や影響の発現解析手法が多様であり、さらには細胞への曝露に用いるための微小粒子を大量に準備することが困難であることも挙げられる。つまり、曝露実験に用いるための微小粒子を大量に準備することの困難さが、研究上の一つの大きな制約となっている。   It has been pointed out that such fine particles not only reach the nose and trachea, but also reach deep into the alveoli, causing respiratory and circulatory diseases and causing serious health problems. However, details of the cellular biochemical mechanism in the harmful expression of PM2.5 are not clear. The reason for this is that in addition to the complex assembly of microparticles made up of a wide variety of chemical components, there are a variety of cell types that should be tested and methods for analyzing the expression of effects, and further to cells. It is also difficult to prepare a large amount of microparticles for use in the exposure of the above. In other words, the difficulty of preparing a large amount of microparticles for use in exposure experiments is one major limitation in research.

この問題に対して、例えば動物実験の場合には、大気中の微小粒子を濃縮して曝露する実験も行われている。しかし、この方法は、能動的に呼吸を行う動物への曝露には有効であるが、静的な生物体外の細胞実験に対してはあまり有効とは考えられていない。空気中の粒度濃度を高くしても、それに対応して細胞への粒子曝露量がリニアに増えるとは限らないからである。これまでは、微小粒子つまりPM2.5粒子を一度フィルター上に捕集した後に、機械的振動により微小粒子を回収して曝露実験に用いている場合が多い。しかしながら、この方法では、最終的に曝露に用いられる粒子が真に微小粒子であるとみなせるのか、特に粒径分布が同一であるか、という点について疑問が残る上に、実験に供する微小粒子を得るための方法が非常に煩雑となる。このため、細胞への曝露実験に用いるために必要十分な多量の微小粒子を、フィルターを用いずに簡便に捕集する技術の開発が強く望まれている。   In response to this problem, for example, in the case of animal experiments, experiments are also conducted in which minute particles in the atmosphere are concentrated and exposed. However, this method is effective for exposure to actively breathing animals, but is not considered very effective for static in vitro cell experiments. This is because even if the particle size concentration in air is increased, the amount of particle exposure to cells does not necessarily increase linearly. Until now, after collecting microparticles, that is, PM2.5 particles once on a filter, the microparticles are often collected by mechanical vibration and used for exposure experiments. However, in this method, there remains a question as to whether the particles finally used for exposure can be regarded as truly microparticles, in particular whether the particle size distribution is the same, and the microparticles used for the experiment are The method to obtain becomes very complicated. For this reason, there is a strong demand for the development of a technique for simply collecting a large amount of microparticles necessary and sufficient for use in experiments for exposure to cells without using a filter.

特許文献1には、燃焼器から発生する排ガス中の微細粒子を捕集するために、固定サイクロンと回転サイクロンとを組み合わせた粉塵セパレータが記載されている。特許文献2には、10μm以下の粉塵とそれ以上の粉塵とを分級するようにした全円周渦巻き型サイクロンが記載されている。   Patent Document 1 describes a dust separator that combines a fixed cyclone and a rotating cyclone to collect fine particles in exhaust gas generated from a combustor. Patent Document 2 describes an all-circular spiral cyclone that classifies dust of 10 μm or less and dust of more than 10 μm.

特開2015−131265号公報JP 2015-131265 A 特開2002−292308号公報JP 2002-292308 A

特許文献1に記載されるように、固定サイクロンと回転サイクロンとを組み合わせた粉塵セパレータは、回転サイクロンをモータで駆動する必要があり、大型化が避けられない。一方、特許文献2に記載される全円周渦巻き型のサイクロンは、処理できる量が16.7L/min程度の小型であって、導入路にサイクロンの流入口の上部と同じ高さの天井部を設け、導入路からの大きな粒子の舞い上がりと吸引口へのショートパスを避けるようにしたものである。このサイクロンにより捕集できる粉塵は、粒径が1〜10μmのものであり、それよりも微細な粉塵を捕集することができない。   As described in Patent Document 1, a dust separator that combines a stationary cyclone and a rotating cyclone needs to drive the rotating cyclone with a motor, and an increase in size is inevitable. On the other hand, the all-circular spiral type cyclone described in Patent Document 2 has a small size that can be treated is about 16.7 L / min, and has a ceiling portion that is the same height as the upper part of the inlet of the cyclone in the introduction path. In order to avoid a large particle rising from the introduction path and a short path to the suction port. The dust that can be collected by the cyclone has a particle diameter of 1 to 10 μm, and finer dust than that cannot be collected.

大気中に含まれる粒子には、上述のように、粒径が2.5μm以下の微小粒子と、粒径がそれよりも大きい粗大粒子とが含まれている。大気中に含まれる粒子を、微小粒子と粗大粒子とに分離つまり分級するために、バーチャルインパクタが開発されている。バーチャルインパクタは、粒子の慣性力を利用した慣性分級方式であり、加速ノズルと、これに隙間を隔てて配置される捕集ノズルとを有している。捕集ノズルは分粒容器内に配置される分粒筒体の天壁部に設けられており、分粒筒体の内部には副流室が形成され、分粒筒体の外面と分粒容器との間には主流室が形成される。微小粒子は加速ノズルから噴出されて主流室に向かう大気とともに主流室に流れる。一方、粗大粒子は慣性力により捕集ノズルから副流室に流入する。これにより、大気中の粒子は、微小粒子と粗大粒子とに分級される。   As described above, the particles contained in the atmosphere include fine particles having a particle size of 2.5 μm or less and coarse particles having a larger particle size. Virtual impactors have been developed to separate, or classify, particles contained in the atmosphere into fine particles and coarse particles. The virtual impactor is an inertia classification system that uses the inertial force of particles, and includes an acceleration nozzle and a collection nozzle that is disposed with a gap therebetween. The collection nozzle is provided in the top wall portion of the sizing cylinder arranged in the sizing container, and a side flow chamber is formed inside the sizing cylinder, and the outer surface of the sizing cylinder and the sizing A main flow chamber is formed between the containers. The fine particles are ejected from the acceleration nozzle and flow into the main flow chamber together with the atmosphere toward the main flow chamber. On the other hand, coarse particles flow into the secondary flow chamber from the collection nozzle by inertia force. Thereby, particles in the atmosphere are classified into fine particles and coarse particles.

粒子の慣性力を利用して微小粒子と粗大粒子とに分級するには、分級性能は、加速ノズルと捕集ノズルとの間のノズル間距離に大きく影響されることが判明した。そこで、種々の実験を行った結果、ノズル間距離を所定の範囲にすると、分級性能が高められることが判明した。分級性能が高められると、大気中に含まれる微小粒子を効率的に捕集することができる。   In order to classify the particles into fine particles and coarse particles using the inertial force of the particles, it has been found that the classification performance is greatly influenced by the inter-nozzle distance between the acceleration nozzle and the collection nozzle. As a result of various experiments, it has been found that the classification performance can be improved when the distance between the nozzles is set within a predetermined range. When the classification performance is improved, fine particles contained in the atmosphere can be efficiently collected.

本発明の目的は、大気中に含まれる粒子の中から微小粒子を効率的に捕集し得るようにすることにある。   An object of the present invention is to make it possible to efficiently collect fine particles from particles contained in the atmosphere.

本発明の微小粒子の捕集装置は、複数の加速ノズルが設けられた大気導入板を備えた分粒容器、前記分粒容器内に配置されて外側の主流室と内側の副流室とに区画する分粒筒体、前記分粒筒体の天壁に前記加速ノズルに対向して設けられ、前記加速ノズルを通過した大気のうち微小粒子を含む主流を前記主流室に振り向ける一方、粗大粒子を含む副流を前記副流室に案内する複数の捕集ノズルを備えたバーチャルインパクタと、前記主流が流入する流入口、該流入口から流入した大気を旋回させて微小粒子を下端部の粒子落下口に向けて案内する円錐筒部、および前記円錐筒部の内部を上昇した大気を外部に排出する排気口を備えた微小粒子捕集用のサイクロンと、前記微小粒子捕集用のサイクロンの下端部に設けられ、前記粒子落下口を通過した微小粒子を収容する捕集容器と、前記捕集容器の上端部に配置され、上部から下部に向けて外径が大きく、前記下部と前記捕集容器の内周面との間に微小粒子の通過隙間を形成する円錐体と、前記副流が流入する流入口、該流入口から流出した大気を旋回させて粗大粒子を下端部の粒子落下口に向けて案内する円錐筒部、および前記円錐筒部の内部を上昇した大気を外部に排出する排出口を備えた粗大粒子捕集用のサイクロンと、前記粗大粒子捕集用のサイクロンの下端部に受けられ、粒子落下口を通過した粗大粒子を収容する捕集容器と、を有し、前記微小粒子捕集用のサイクロンの円錐筒部の内周面の表面粗さは、0.17μm以下であり、前記加速ノズルの吐出口と前記捕集ノズルの流入口との間のノズル間距離は、4.9〜6.4mmである、粗大粒子も捕集する。 The fine particle collecting apparatus of the present invention includes a sizing container provided with an air introduction plate provided with a plurality of acceleration nozzles, an outer main flow chamber and an inner subflow chamber disposed in the sizing container. The sizing cylinder to be partitioned, provided on the top wall of the sizing cylinder facing the acceleration nozzle, and the main stream containing fine particles of the atmosphere that has passed through the acceleration nozzle is directed to the main flow chamber, while being coarse A virtual impactor having a plurality of collection nozzles for guiding a side flow containing particles to the side flow chamber, an inlet into which the main flow flows, and an atmosphere flowing in from the inlet to swirl the fine particles at the lower end. A cyclone for collecting microparticles, and a cyclone for collecting microparticles, comprising a conical cylinder part that is guided toward a particle dropping port, and an exhaust port that discharges the air that has risen inside the conical cylinder part to the outside Provided at the lower end of the A collecting container for storing the fine particles, and arranged at the upper end of the collecting container, the outer diameter of which is large from the upper part toward the lower part, and between the lower part and the inner peripheral surface of the collecting container. A conical body that forms a passage gap of the sub-flow, an inflow port into which the side flow flows, a conical cylinder unit that guides coarse particles toward the particle dropping port at the lower end by swirling the air flowing out from the inflow port, and A coarse particle collecting cyclone equipped with a discharge port for discharging the air that has risen inside the conical cylinder part to the outside, and a coarse particle received by the lower end of the coarse particle collecting cyclone and passed through the particle dropping port A collection container for containing particles, and the surface roughness of the inner peripheral surface of the conical cylinder part of the cyclone for collecting fine particles is 0.17 μm or less , and the discharge port of the acceleration nozzle and the The inter-nozzle distance between the collection nozzle and the inlet is 4.9 to 6 A 4mm, also to collect coarse particles.

本発明の微小粒子の捕集装置は、前記円錐体に装着される支持部材が径方向中心部に設けられ、複数の粒子通過孔が径方向外周部に設けられた取付リングを前記粒子落下口に設け、前記円錐体の上端部を前記取付リングに突き当てて、前記円錐体と前記捕集容器の内周面との間のスペースに前記粒子通過孔を落下した微小粒子を案内する。また、本発明の微小粒子の捕集装置は、前記分粒筒体の前記天壁は円形であり、前記捕集ノズルは、前記天壁の中心から同一半径位置の外周部に設けた。 The fine particle collecting apparatus according to the present invention includes a mounting ring in which a support member attached to the cone is provided at a central portion in the radial direction and a plurality of particle passage holes are provided at a radially outer peripheral portion. The upper end of the cone is abutted against the mounting ring, and the microparticles that have dropped the particle passage hole are guided to the space between the cone and the inner peripheral surface of the collection container. In the fine particle collecting apparatus of the present invention, the top wall of the sizing tube is circular, and the collecting nozzle is provided on the outer peripheral portion at the same radial position from the center of the top wall.

大気に含まれる粒径が2.5μm以下の微小粒子をサイクロンにより大気から分離し、分離された微小粒子は捕集容器に回収される。サイクロンの内周面の表面粗さを0.17μm以下すると、サイクロンを大気とともに排気口から透過される微小粒子の透過率を低下させて微小粒子の捕集率を高めることができる。さらに、微小粒子捕集用のサイクロンの捕集容器に円錐体を設けると、捕集容器の内部に捕集された微小粒子がサイクロンに再飛散することを抑制することができ、微小粒子の捕集効率を高めることができる。これにより、大気に含まれる微小粒子を効率的に捕集することができ、多量の微小粒子を短時間で得ることができる。 Fine particles having a particle size of 2.5 μm or less contained in the atmosphere are separated from the atmosphere by a cyclone, and the separated fine particles are collected in a collection container. When the surface roughness of the inner peripheral surface of the cyclone is 0.17 μm or less , it is possible to increase the collection rate of the fine particles by reducing the permeability of the fine particles that are transmitted through the cyclone from the exhaust port together with the atmosphere. Furthermore, if a cone is provided in the cyclone collection container for collecting fine particles , the fine particles collected in the collection container can be prevented from re-scattering into the cyclone, and the fine particles can be collected. Collection efficiency can be increased. Thereby, the microparticles contained in the atmosphere can be efficiently collected, and a large amount of microparticles can be obtained in a short time.

粒子を含む大気は加速ノズルを通過し、粗大粒子を含む副流はバーチャルインパクタの捕集ノズルから副流室に流入し、微小粒子を含む主流は主流室に流入する。加速ノズルと捕集ノズルとの間のノズル間距離は、4.9〜6.4mmに設定されており、微小粒子と粗大粒子とを振り分ける分級性能を向上させることができる。これにより、大気に含まれる微小粒子を効率的に捕集することができ、多量の微小粒子を短時間で得ることができる。さらに、粗大粒子をも効率的に捕集することができる。 The atmosphere containing particles passes through the accelerating nozzle, the side flow containing coarse particles flows from the collection nozzle of the virtual impactor into the side flow chamber, and the main flow containing fine particles flows into the main flow chamber. The inter-nozzle distance between the accelerating nozzle and the collection nozzle is set to 4.9 to 6.4 mm, and the classification performance for distributing fine particles and coarse particles can be improved. Thereby, the microparticles contained in the atmosphere can be efficiently collected, and a large amount of microparticles can be obtained in a short time. Furthermore, coarse particles can also be efficiently collected.

一実施の形態である微小粒子の捕集装置を示すシステム構成図である。It is a system configuration figure showing the collection device of the minute particles which is one embodiment. 図1に示されたバーチャルインパクタの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the virtual impactor shown by FIG. バーチャルインパクタの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a virtual impactor. バーチャルインパクタの変形例を示す一部切欠き正面図である。It is a partially notched front view which shows the modification of a virtual impactor. 図4におけるA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 分粒容器に設けられた上下動機構を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the up-and-down moving mechanism provided in the sizing container. 図1に示された微小粒子捕集用つまり主流用のサイクロンを示す一部切欠き斜視図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing a cyclone for collecting fine particles, that is, a mainstream cyclone shown in FIG. 1. 第1のサイクロンに設けられる捕集容器を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the collection container provided in a 1st cyclone. 捕集容器の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a collection container. サイクロンの内周面の表面粗さを相違させた場合における透過率の相違を示す特性線図である。It is a characteristic diagram which shows the difference in the transmittance | permeability in the case of making the surface roughness of the inner peripheral surface of a cyclone different. 捕集容器に円錐体が設けられていない場合と、円錐体が設けられた場合とについての透過率の相違を示す特性線図である。It is a characteristic line figure which shows the difference in the transmittance | permeability about the case where a cone is not provided in the collection container, and the case where a cone is provided. サイクロンの内周面の表面粗さを低減させることなく捕集容器に円錐体が設けられていない場合と、表面粗さを低減しつつ円錐体を捕集容器に設けた場合とについての透過率の相違を示す特性線図である。Permeability for the case where the cone is not provided in the collection container without reducing the surface roughness of the inner peripheral surface of the cyclone and the case where the cone is provided in the collection container while reducing the surface roughness It is a characteristic diagram which shows the difference of these. バーチャルインパクタの加速ノズルと捕集ノズルとの間のノズル間距離と、微小粒子捕集用のサイクロンにおける粒子の透過率を示す透過率曲線である。It is the transmittance | permeability curve which shows the transmittance | permeability of the particle | grains in the cyclone for fine particle collection, and the inter-nozzle distance between the acceleration nozzle of a virtual impactor and a collection nozzle. 粗大粒子捕集用のサイクロンの流量と粒子の透過率を示す透過率曲線である。It is the transmittance | permeability curve which shows the flow volume of the cyclone for coarse particle collection, and the transmittance | permeability of particle | grains. 微小粒子捕集用のサイクロンと粗大粒子捕集用のサイクロンのそれぞれで捕集された粉体の化学成分の測定結果を示すグラフである。It is a graph which shows the measurement result of the chemical component of the powder collected by each of the cyclone for fine particle collection, and the cyclone for coarse particle collection. 図15に示された化学成分を微小粒子の粗大粒子に対する割合を示すグラフである。It is a graph which shows the ratio with respect to the coarse particle of the chemical component shown by FIG. 15 with respect to the coarse particle.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1に示される微小粒子の捕集装置10は、バーチャルインパクタ11を有している。バーチャルインパクタ11は、粒子を含む大気を、粒径が2.5μm以下の微小粒子物質つまり微小粒子を含む主流と、それよりも粒径が大きい粗大粒子を含む副流とに分粒するための分粒器である。主流は、ホースやパイプからなる主流案内配管12により主流用つまり微小粒子捕集用のサイクロン13に供給される。サイクロン13は、主流の大気中に含まれる微小粒子を主流から分離する。分離された微小粒子を収容するために、サイクロン13の下端部には捕集容器14が設けられている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. A microparticle collection device 10 shown in FIG. 1 has a virtual impactor 11. The virtual impactor 11 divides the atmosphere containing particles into a fine particle substance having a particle size of 2.5 μm or less, that is, a main flow containing fine particles and a substream containing coarse particles having a larger particle size. A granulator. The mainstream is supplied to a mainstream, that is, a cyclone 13 for collecting fine particles through a mainstream guide pipe 12 including a hose and a pipe. The cyclone 13 separates fine particles contained in the mainstream atmosphere from the mainstream. In order to accommodate the separated fine particles, a collection container 14 is provided at the lower end of the cyclone 13.

微小粒子が分離された大気を外部に排出するために、サイクロン13の排気口には排気配管15を介して排気ファン16が接続されている。この排気ファン16は約1100LPMの排気流量を有しており、排気ファン16によりサイクロン13内には毎分約1100リットルの大気が流れる。排気配管15内を流れる大気の量を検出するために、排気配管15にはマスフローメータ17が設けられている。マスフローメータ17に流れる大気は、フィルター18により清浄化される。   An exhaust fan 16 is connected to the exhaust port of the cyclone 13 via an exhaust pipe 15 in order to discharge the atmosphere from which the fine particles have been separated to the outside. The exhaust fan 16 has an exhaust flow rate of about 1100 LPM, and the exhaust fan 16 causes the atmosphere of about 1100 liters per minute to flow through the cyclone 13. In order to detect the amount of air flowing through the exhaust pipe 15, a mass flow meter 17 is provided in the exhaust pipe 15. The air flowing through the mass flow meter 17 is cleaned by the filter 18.

副流は、ホースやパイプ等からなる副流供給配管22により副流用つまり粗大粒子捕集用のサイクロン23に供給される。サイクロン23は、副流の大気中に含まれる粗大粒子を副流から分離する。分離された粗大粒子を捕集するために、サイクロン23の下端部には捕集容器24が設けられている。粗大粒子が分離された大気を外部に排出するために、サイクロン23の排気口には排気配管25を介して真空ポンプ26が接続されている。この真空ポンプ26は約100LPMの排気流量を有しており、真空ポンプ26によりサイクロン23内には毎分約100リットルの大気が流れる。排気配管25内を流れる大気の量を検出するために、排気配管25にはマスフローメータ27が設けられている。マスフローメータ27に流れる大気は、フィルター28により清浄化される。   The side stream is supplied to the cyclone 23 for side stream, that is, for collecting coarse particles, by a side stream supply pipe 22 composed of a hose, a pipe or the like. The cyclone 23 separates coarse particles contained in the sidestream air from the sidestream. A collection container 24 is provided at the lower end of the cyclone 23 in order to collect the separated coarse particles. A vacuum pump 26 is connected to the exhaust port of the cyclone 23 via an exhaust pipe 25 in order to discharge the atmosphere from which coarse particles have been separated to the outside. The vacuum pump 26 has an exhaust flow rate of about 100 LPM, and about 100 liters of air flows per minute in the cyclone 23 by the vacuum pump 26. In order to detect the amount of air flowing through the exhaust pipe 25, the exhaust pipe 25 is provided with a mass flow meter 27. The air flowing through the mass flow meter 27 is cleaned by the filter 28.

図2は図1に示されたバーチャルインパクタの一例を示す斜視図であり、図3はバーチャルインパクタの概略断面図である。   FIG. 2 is a perspective view showing an example of the virtual impactor shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic sectional view of the virtual impactor.

バーチャルインパクタ11は分粒容器31を有しており、分粒容器31は円筒部31aと上部壁31bと底壁部31cとを有している。上部壁31bには大気導入板32が設けられており、大気導入板32には複数の加速ノズル33が設けられている。分粒容器31の上方には、雨水が加速ノズル33に入り込むのを防止するために、カバー34が設けられている。大気中に浮遊する粒子は、大気とともにカバー34と分粒容器31の外周部との間の空間35からカバー34の内部に流入する。   The virtual impactor 11 includes a sizing container 31. The sizing container 31 includes a cylindrical portion 31a, an upper wall 31b, and a bottom wall portion 31c. An air introduction plate 32 is provided on the upper wall 31 b, and a plurality of acceleration nozzles 33 are provided on the air introduction plate 32. A cover 34 is provided above the sizing container 31 in order to prevent rainwater from entering the acceleration nozzle 33. The particles floating in the atmosphere flow into the cover 34 from the space 35 between the cover 34 and the outer periphery of the sizing container 31 together with the atmosphere.

分粒容器31の内部には、分粒筒体36が配置されており、分粒筒体36により、分粒容器31の内部は、外側の主流室37と内側の副流室38とに区画される。分粒筒体36は円筒部36aと天壁部36bと円錐部36cとを有し、円錐部36cの下端部には副流の流出口39が設けられている。円形の天壁部36bには、加速ノズル33に対向して複数の捕集ノズル41が設けられており、捕集ノズル41の内径は加速ノズル33の内径よりも僅かに大きく設定されている。一方、分粒容器31の円筒部31aには主流の流出口42が設けられている。加速ノズル33の内径dは4.9mmであり、捕集ノズル41の内径Dは、内径dの約1.3倍の6.35mmである。   A sizing cylinder 36 is arranged inside the sizing container 31, and the sizing cylinder 36 divides the inside of the sizing container 31 into an outer main flow chamber 37 and an inner subflow chamber 38. Is done. The sizing cylinder 36 includes a cylindrical portion 36a, a ceiling wall portion 36b, and a conical portion 36c, and a subflow outlet 39 is provided at the lower end of the conical portion 36c. A plurality of collection nozzles 41 are provided on the circular ceiling wall 36 b so as to face the acceleration nozzle 33, and the inner diameter of the collection nozzle 41 is set slightly larger than the inner diameter of the acceleration nozzle 33. On the other hand, a mainstream outlet 42 is provided in the cylindrical portion 31 a of the sizing container 31. The inner diameter d of the acceleration nozzle 33 is 4.9 mm, and the inner diameter D of the collection nozzle 41 is 6.35 mm, which is about 1.3 times the inner diameter d.

排気ファン16と真空ポンプ26を作動させると、粒子を含む大気が吸引されて空間35からカバー34の内側に大気が流入する。この大気の流入量は、排気ファン16と真空ポンプ26とを上述した流量とすると、両方の合計流量である約1200LPMとなる。主流室37から流出口42に吸引される大気の流量は、副流室38から流出口39に吸引される大気の流量の約10倍である。カバー34内に流入した大気は、加速ノズル33に吸引される大気により加速されて分粒容器31内に流入する。流入した大気は、加速ノズル33に対向する捕集ノズル41を通って副流室38内に流入する副流と、加速ノズル33を通過した後に向きを変えて捕集ノズル41に向かうことなく、主流室37内に振り向けられる主流とに分離される。このように、捕集ノズル41を流れる流量つまり副流の流量は、全体の流量の約10%程度であり、副流に比して大量の主流は捕集ノズル41を迂回して流出口42に流れる。   When the exhaust fan 16 and the vacuum pump 26 are operated, the atmosphere including particles is sucked and the atmosphere flows into the cover 34 from the space 35. When the exhaust fan 16 and the vacuum pump 26 have the above-described flow rates, the air inflow amount is about 1200 LPM, which is the total flow rate of both. The flow rate of the air sucked from the main flow chamber 37 to the outflow port 42 is about 10 times the flow rate of the air sucked from the sub flow chamber 38 to the outflow port 39. The air flowing into the cover 34 is accelerated by the air sucked by the acceleration nozzle 33 and flows into the sizing container 31. The inflowing atmosphere passes through the collection nozzle 41 facing the acceleration nozzle 33 and flows into the side flow chamber 38, and without changing the direction after passing through the acceleration nozzle 33 and heading toward the collection nozzle 41. The main flow is separated into the main flow chamber 37. Thus, the flow rate that flows through the collection nozzle 41, that is, the flow rate of the secondary flow is about 10% of the total flow rate, and a large amount of the main flow bypasses the collection nozzle 41 as compared with the secondary flow, and the outlet 42. Flowing into.

カバー34内からそれぞれの加速ノズル33内に流入する大気には、粒径が2.5μm以下の微小粒子と、それよりも粒径が大きい粗大粒子とが含まれている。なお、図3においては、微小粒子が符号P1で示され、粗大粒子が符号P2で示されており、粗大粒子P2は微小粒子P1よりも模式的に拡大して示されている。微小粒子は、粗大粒子に比して慣性が小さいので、微小粒子は主流に留まって主流とともに主流室37内に流入する。一方、慣性力の大きい粗大粒子は、副流に同伴して捕集ノズル41に入り込んで副流室38内に流入する。このように、大気中に浮遊する粒子は、バーチャルインパクタ11により、慣性力を利用して微小粒子と粗大粒子とに分級される。   The air flowing into the respective acceleration nozzles 33 from the cover 34 includes fine particles having a particle size of 2.5 μm or less and coarse particles having a larger particle size. In FIG. 3, the fine particles are denoted by reference numeral P <b> 1, the coarse particles are denoted by reference numeral P <b> 2, and the coarse particles P <b> 2 are schematically enlarged than the fine particles P <b> 1. Since the fine particles have a smaller inertia than the coarse particles, the fine particles remain in the main flow and flow into the main flow chamber 37 together with the main flow. On the other hand, coarse particles having a large inertial force enter the collection nozzle 41 along with the secondary flow and flow into the secondary flow chamber 38. Thus, the particles floating in the atmosphere are classified into fine particles and coarse particles by the virtual impactor 11 using the inertial force.

図4はバーチャルインパクタの変形例を示す一部切欠き正面図であり、図5は図4におけるA−A線断面図である。   4 is a partially cutaway front view showing a modified example of the virtual impactor, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

大気導入板32は分粒容器31に上下動自在に装着されており、大気導入板32の上下方向の位置を調整することにより、加速ノズル33と捕集ノズル41との間の距離を調整することができる。大気導入板32を上下動するために、分粒容器31には上下動機構43が設けられている。大気導入板32には、図5に示されるように、20個の加速ノズル33が設けられており、それぞれの加速ノズル33に対向して、分粒筒体36の天壁部36bには、20個の捕集ノズル41が設けられている。なお、図4においては、1つの捕集ノズル41が示されている。大気導入板32の外周部には、図5に示されるように、円弧形状の複数の連通孔40が設けられており、微小粒子は、連通孔40から主流とともに主流室37内に流入する。   The air introduction plate 32 is mounted on the sizing container 31 so as to be movable up and down, and the distance between the acceleration nozzle 33 and the collection nozzle 41 is adjusted by adjusting the vertical position of the air introduction plate 32. be able to. In order to move the air introduction plate 32 up and down, the sorting container 31 is provided with a vertical movement mechanism 43. As shown in FIG. 5, the air introduction plate 32 is provided with 20 acceleration nozzles 33, facing each acceleration nozzle 33, the top wall portion 36 b of the sizing tube 36 has Twenty collection nozzles 41 are provided. In FIG. 4, one collection nozzle 41 is shown. As shown in FIG. 5, a plurality of arc-shaped communication holes 40 are provided on the outer periphery of the air introduction plate 32, and the fine particles flow into the main flow chamber 37 from the communication holes 40 together with the main flow.

それぞれの捕集ノズル41は、加速ノズル33に対向しているので、図4に示される捕集ノズル41は、図5に示されるように、大気導入板32の中心つまり天壁部36bの中心から同一半径の位置に円周方向に所定の間隔を隔てて設けられている。図4においては、20個の捕集ノズル41のうちの1つが示されている。このように、それぞれの捕集ノズル41を同一半径位置に設けると、それぞれの捕集ノズル41に流入する副流の流速がほぼ同一条件となる。これにより、分粒容器31内に多量の大気を供給しても、それぞれの捕集ノズル41には粗大粒子のみが流入し、分粒効率を高めつつ、微小粒子と粗大粒子との分粒精度を高めることができる。なお、加速ノズル33およびそれに対向して設けられる捕集ノズル41の数は、複数であれば、20個に限られず、分粒処理する容量に応じて任意の数に設定することができる。   Since each collection nozzle 41 faces the acceleration nozzle 33, the collection nozzle 41 shown in FIG. 4 is the center of the atmosphere introduction plate 32, that is, the center of the top wall portion 36b, as shown in FIG. Are provided at the same radius at a predetermined interval in the circumferential direction. In FIG. 4, one of the 20 collection nozzles 41 is shown. Thus, if each collection nozzle 41 is provided in the same radius position, the flow velocity of the side flow which flows into each collection nozzle 41 will be on substantially the same conditions. Thereby, even if a large amount of air is supplied into the sizing container 31, only the coarse particles flow into the respective collection nozzles 41, and the sizing accuracy between the fine particles and the coarse particles is improved while improving the sizing efficiency. Can be increased. Note that the number of the acceleration nozzles 33 and the collection nozzles 41 provided to face the acceleration nozzles 33 is not limited to 20 as long as it is plural, and can be set to an arbitrary number according to the capacity of the sizing treatment.

図6は大気導入板32を上下動するための上下動機構43を示す断面図である。上下動機構43は、分粒容器31に取り付けられる円筒形状の支持台44を有し、大気導入板32が設けられた上下動筒体45が支持台44の内部に上下動自在に装着される。ガイドピン46が上下動筒体45に取り付けられ、ガイドピン46は支持台44に上下方向に延びて設けられた長孔47を貫通しており、上下動筒体45は長孔47の上下方向の長さのストロークの範囲を上下方向に駆動される。カバー34は、上下動筒体45のフランジ部45bに複数の支持駒34aにより取り付けられる。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing a vertical movement mechanism 43 for moving the air introduction plate 32 up and down. The vertical movement mechanism 43 has a cylindrical support base 44 attached to the sizing container 31, and a vertical movement cylinder 45 provided with an air introduction plate 32 is mounted in the support base 44 so as to be movable up and down. . A guide pin 46 is attached to the vertical moving cylinder 45, and the guide pin 46 passes through a long hole 47 provided in the support base 44 so as to extend in the vertical direction. The vertical moving cylinder 45 extends in the vertical direction of the long hole 47. The length of the stroke range is driven up and down. The cover 34 is attached to the flange portion 45b of the vertical moving cylinder 45 by a plurality of support pieces 34a.

上下動筒体45の外周面には雄ねじ45aが設けられ、支持台44の上端面と上下動筒体45のフランジ部45bとの間に調整リング48が回転自在に設けられている。調整リング48の外周面にはローレットが刻み込まれており、調整リング48はローレット付きリングである。調整リング48には、雄ねじ45aにねじ結合される雌ねじ48aが設けられており、調整リング48を回転させて、上下動筒体45を上下動させると、大気導入板32に設けられた加速ノズル33と、分粒筒体36の天壁部36bに設けられた捕集ノズル41との間の隙間、つまり加速ノズル33の吐出口と捕集ノズル41の流入口との間のノズル間距離Sの寸法を調整することができる。   A male screw 45 a is provided on the outer peripheral surface of the vertical moving cylinder 45, and an adjustment ring 48 is rotatably provided between the upper end surface of the support base 44 and the flange portion 45 b of the vertical moving cylinder 45. Knurls are engraved on the outer peripheral surface of the adjustment ring 48, and the adjustment ring 48 is a knurled ring. The adjustment ring 48 is provided with a female screw 48a screwed to the male screw 45a. When the adjustment ring 48 is rotated to move the vertical moving cylinder 45 up and down, an acceleration nozzle provided on the atmosphere introduction plate 32 is provided. 33 and the gap S between the collection nozzle 41 provided on the top wall portion 36b of the sizing tube 36, that is, the inter-nozzle distance S between the discharge port of the acceleration nozzle 33 and the inlet of the collection nozzle 41. Can be adjusted.

上下動筒体45を支持台44に固定するための固定ねじ49aが支持台44に設けられ、調整リング48を上下動筒体45に固定するための固定ねじ49bが調整リング48に設けられている。   A fixing screw 49 a for fixing the vertical moving cylinder 45 to the support base 44 is provided on the support base 44, and a fixing screw 49 b for fixing the adjustment ring 48 to the vertical movement cylinder 45 is provided on the adjustment ring 48. Yes.

加速ノズル33と捕集ノズル41との間の距離つまりノズル間距離Sの寸法を調整するには、カバー34を取り外すとともに、それぞれの固定ねじ49a、49bを緩めた状態のもとで、調整リング48を回転させることにより行う。図6において、上下動筒体45の右半分が下降限位置に設定された状態を示す。調整リング48を回転させて調整リング48の上面をフランジ部45bに接触させるとともに、上下動筒体45を押し込んで調整リング48の下面を支持台44の上面に接触させると、ノズル間距離Sは、図6においてSmimで示す最小値となる。この最小値Sminは、0.4mmである。   In order to adjust the distance between the accelerating nozzle 33 and the collection nozzle 41, that is, the dimension of the inter-nozzle distance S, the cover 34 is removed and the fixing screws 49a and 49b are loosened. This is done by rotating 48. FIG. 6 shows a state where the right half of the vertical moving cylinder 45 is set at the lower limit position. When the adjustment ring 48 is rotated to bring the upper surface of the adjustment ring 48 into contact with the flange portion 45b and the vertical moving cylinder 45 is pushed in to bring the lower surface of the adjustment ring 48 into contact with the upper surface of the support base 44, the inter-nozzle distance S is obtained. In FIG. 6, the minimum value is indicated by Smim. This minimum value Smin is 0.4 mm.

この状態のもとで、調整リング48を平面から見て時計方向に回転させると、上下動筒体45は支持台44に対して上方に駆動される。このときには、ガイドピン46は長孔47に案内されて上昇移動する。調整リング48を1回転させると、上下動筒体45は1.5mm上昇する。調整リング48を8回転させると、上下動筒体45は、上昇限位置になる。図6において上下動筒体45の左半分が上昇限位置となった状態を示す。このときのノズル間距離Sは、図6においてSmaxで示す最大値となる。この最大値Smaxは12.4mmである。   Under this state, when the adjustment ring 48 is rotated in the clockwise direction when seen from the plane, the vertical moving cylinder 45 is driven upward with respect to the support base 44. At this time, the guide pin 46 moves upward while being guided by the long hole 47. When the adjustment ring 48 is rotated once, the vertical moving cylinder 45 is raised by 1.5 mm. When the adjustment ring 48 is rotated eight times, the up-and-down moving cylinder 45 is in the ascending limit position. FIG. 6 shows a state where the left half of the vertical moving cylinder 45 is in the ascending limit position. The inter-nozzle distance S at this time is the maximum value indicated by Smax in FIG. This maximum value Smax is 12.4 mm.

このように、ノズル間距離Sの値は、0.4〜12.4mmの範囲のいずれかに設定することができる。ノズル間距離Sが設定されたら、固定ねじ49aにより上下動筒体45は支持台44に固定され、固定ねじ49bにより調整リング48は上下動筒体45に固定される。バーチャルインパクタ11が使用されるときには、カバー34が上下動筒体45に取り付けられる。   Thus, the value of the inter-nozzle distance S can be set in any of the range of 0.4 to 12.4 mm. When the inter-nozzle distance S is set, the vertical moving cylinder 45 is fixed to the support base 44 by the fixing screw 49a, and the adjustment ring 48 is fixed to the vertical moving cylinder 45 by the fixing screw 49b. When the virtual impactor 11 is used, the cover 34 is attached to the vertical moving cylinder 45.

図7は、図1に示された微小粒子捕集用つまり主流用のサイクロン13を示す一部切欠き斜視図であり、図8は主流用のサイクロン13に設けられる捕集容器14を示す断面図であり、図9は捕集容器14の分解斜視図である。   7 is a partially cutaway perspective view showing the cyclone 13 for collecting fine particles, that is, the mainstream shown in FIG. 1, and FIG. 8 is a cross section showing the collection container 14 provided in the cyclone 13 for the mainstream. FIG. 9 is an exploded perspective view of the collection container 14.

サイクロン13は、図7に示されるように、下端部に向かうに従って漸次内径が小さくなった円錐筒部51を備えており、円錐筒部51の上側には円筒部52が設けられ、円筒部52の上端には端壁部53が設けられている。円筒部52には、バーチャルインパクタ11により分粒されて微小粒子を含む主流の大気が流入する流入口54が設けられている。流入口54には図1に示されるように、主流案内配管12が接続される。円錐筒部51の下端部には、粒子落下口55が設けられており、流入口54からサイクロン13内に流入した大気は、円筒部52と円錐筒部51とからなるサイクロン13の内周面56に沿って旋回しながら円錐筒部51の下端部の粒子落下口55に向けて流れる。主流の大気に含まれる微小粒子は、旋回流により遠心力を受けてサイクロン13の内周面に案内されて粒子落下口55に旋回しながら落下して捕集される。   As shown in FIG. 7, the cyclone 13 includes a conical cylinder portion 51 whose inner diameter gradually decreases toward the lower end portion, and a cylindrical portion 52 is provided above the conical cylinder portion 51. An end wall portion 53 is provided at the upper end of the. The cylindrical portion 52 is provided with an inflow port 54 into which a mainstream atmosphere including fine particles that has been sized by the virtual impactor 11 flows. As shown in FIG. 1, the main flow guide pipe 12 is connected to the inflow port 54. A particle drop port 55 is provided at the lower end of the conical cylinder part 51, and the air flowing into the cyclone 13 from the inlet 54 is the inner peripheral surface of the cyclone 13 including the cylindrical part 52 and the conical cylinder part 51. 56 flows toward the particle dropping port 55 at the lower end portion of the conical cylinder portion 51 while turning along 56. The microparticles contained in the mainstream atmosphere receive centrifugal force by the swirling flow, are guided to the inner peripheral surface of the cyclone 13, and fall and collect while swirling to the particle dropping port 55.

一方、円錐筒部51の下端部に到達して微小粒子が分離された大気は、サイクロン13の内部を上昇する。上昇した大気を外部に排出するために、端壁部53には、排気口57が設けられており、排気口57には図1に示される排気配管15が接続される。排気ファン16によって、主流がサイクロン13内に吸引供給されるとともに、微小粒子が分離除去された大気は捕集装置10の外部に排気される。   On the other hand, the atmosphere in which the fine particles are separated by reaching the lower end of the conical cylinder part 51 rises in the cyclone 13. In order to discharge the raised atmosphere to the outside, an exhaust port 57 is provided in the end wall portion 53, and the exhaust pipe 15 shown in FIG. 1 is connected to the exhaust port 57. The main stream is sucked and supplied into the cyclone 13 by the exhaust fan 16, and the atmosphere from which the fine particles are separated and removed is exhausted to the outside of the collection device 10.

副流用のサイクロン23の基本構造は、主流用のサイクロン13とほぼ同様の構造となっているが、副流は主流に比して流量が少ないので、サイクロン23はサイクロン13に比して小型である。サイクロン23もサイクロン13と同様に円錐筒部を備え、円錐筒部は副流室から流出した大気を旋回させて粗大粒子を下端部の粒子落下口に向けて案内する。さらに、サイクロン23は、粗大粒子を含む大気が流入する流入口と、円錐筒部の内部を上昇した大気を外部に排出する排出口が設けられている。サイクロン23の下端部には、粒子落下口を通過した粗大粒子を収容する捕集容器24が設けられている。   The basic structure of the substream cyclone 23 is substantially the same as that of the mainstream cyclone 13. However, since the substream has a smaller flow rate than the mainstream, the cyclone 23 is smaller than the cyclone 13. is there. Similarly to the cyclone 13, the cyclone 23 also has a conical cylinder part, and the conical cylinder part swirls the air flowing out from the side flow chamber to guide coarse particles toward the particle dropping port at the lower end. Further, the cyclone 23 is provided with an inflow port through which air containing coarse particles flows and an exhaust port through which the air rising inside the conical cylinder part is discharged to the outside. At the lower end portion of the cyclone 23, a collection container 24 for storing coarse particles that have passed through the particle dropping port is provided.

微小粒子を収容する捕集容器14は、図8および図9に示されるように、円錐筒部51の下端部に装着されて粒子落下口55を形成する継手部材61により円錐筒部51に取り付けられる。継手部材61には取付リング62が挿入されており、取付リング62は捕集容器14の上端面と継手部材61との間に突き当てられて挟み込まれる。捕集容器14の内部には円錐体63が捕集容器14の上端部側に位置させて配置される。円錐体63は上部から下部に向けて外径が大きくなった外周面64を有し、上部には棒状の支持部材65が装着されており、支持部材65は取付リング62の径方向中心部に取り付けられる。支持部材65は円錐体63に取り外し自在に装着されており、支持部材65を交換することにより、円錐体63の上端面と、取付リング62との間の距離、つまり円錐体63の設置高さhを変化させることができる。なお、円錐体63としては、円錐形状の外周面64を備えていれば、板金製としても良い。   As shown in FIGS. 8 and 9, the collection container 14 for storing fine particles is attached to the conical cylinder part 51 by a joint member 61 that is attached to the lower end part of the conical cylinder part 51 to form the particle dropping port 55. It is done. An attachment ring 62 is inserted into the joint member 61, and the attachment ring 62 is abutted and sandwiched between the upper end surface of the collection container 14 and the joint member 61. Inside the collection container 14, a cone 63 is disposed on the upper end side of the collection container 14. The cone 63 has an outer peripheral surface 64 whose outer diameter increases from the upper part toward the lower part, and a bar-like support member 65 is mounted on the upper part. The support member 65 is located at the center in the radial direction of the mounting ring 62. It is attached. The support member 65 is detachably attached to the cone 63. By exchanging the support member 65, the distance between the upper end surface of the cone 63 and the mounting ring 62, that is, the installation height of the cone 63 is obtained. h can be changed. The cone 63 may be made of sheet metal as long as it has a conical outer peripheral surface 64.

取付リング62の径方向外周部には、図9に示されるように、複数の粒子通過孔66が設けられており、粒子落下口55に到達した微小粒子は、粒子通過孔66を通って外周面64に向けて落下する。円錐体63の下部と捕集容器14の内周面との間には、通過隙間67が形成されており、粒子落下口55から粒子通過孔66を介して捕集容器14に落下した微小粒子は、円錐体63の外周面と捕集容器14の内周面との間のスペース68を通過して通過隙間67から捕集容器14の底部に落下する。   As shown in FIG. 9, a plurality of particle passage holes 66 are provided on the outer peripheral portion in the radial direction of the mounting ring 62, and the fine particles that have reached the particle dropping hole 55 pass through the particle passage hole 66 and are outer periphery. It falls toward the surface 64. A passage gap 67 is formed between the lower part of the cone 63 and the inner peripheral surface of the collection container 14, and the fine particles that have fallen into the collection container 14 from the particle drop port 55 through the particle passage hole 66. Passes through the space 68 between the outer peripheral surface of the cone 63 and the inner peripheral surface of the collection container 14 and falls from the passage gap 67 to the bottom of the collection container 14.

円錐筒部51の内周面に沿って旋回しながら粒子落下口55に到達した旋回流によって、捕集容器14の上端部に僅かな旋回流が発生することがある。発生した旋回流が上昇したとしても、円錐体63によって捕集容器14の底部内の気体には旋回流の発生が抑制される。これにより、捕集容器14の底部に溜まった微小粒子がサイクロン13に向けて逆流することが確実に防止され、微小粒子の捕集効率を高めることができる。   A slight swirling flow may occur at the upper end of the collection container 14 due to the swirling flow that reaches the particle dropping port 55 while swirling along the inner peripheral surface of the conical cylinder portion 51. Even if the generated swirling flow rises, the conical body 63 suppresses the generation of swirling flow in the gas in the bottom of the collection container 14. Thereby, it is possible to reliably prevent the microparticles collected at the bottom of the collection container 14 from flowing back toward the cyclone 13 and to increase the collection efficiency of the microparticles.

サイクロン13の排気口57から排出される大気の中には、捕集容器14に回収されずにサイクロンを透過した微小粒子も含まれる。サイクロン13を透過する微小粒子の割合である透過率を低下させると、サイクロン13による捕集率を高めることができる。微小粒子は、内周面56の付近の旋回中の微小粒子に加わる遠心力により空気の流れから分離されて捕集される。そこで、サイクロン13内を旋回する微小粒子に加わる遠心力は、サイクロン13の内周面56の表面粗さと関係があると推測した。内周面56の表面粗さを小さく、つまり低減すると、微小粒子の遠心力の低下を抑制することができると考え、表面粗さと微小粒子の透過率との関係について実験した。さらに、サイクロン13から捕集容器14内に捕集された微小粒子は、サイクロン13内の旋回流により旋回された後に排気口57に戻る大気に吸引されて再飛散するのではないかと考え、再飛散の防止技術について検討し、捕集容器14内に再飛散を防止するための円錐体63を設けた場合と設けない場合とについての透過率を測定した。   The atmosphere discharged from the exhaust port 57 of the cyclone 13 includes fine particles that are not collected in the collection container 14 and permeate the cyclone. When the transmittance, which is the ratio of fine particles that permeate the cyclone 13, is reduced, the collection rate by the cyclone 13 can be increased. The fine particles are separated from the air flow and collected by the centrifugal force applied to the turning fine particles in the vicinity of the inner peripheral surface 56. Therefore, it was estimated that the centrifugal force applied to the fine particles swirling in the cyclone 13 is related to the surface roughness of the inner peripheral surface 56 of the cyclone 13. It was considered that reducing the surface roughness of the inner peripheral surface 56, that is, reducing the centrifugal force of the microparticles, the experiment was conducted on the relationship between the surface roughness and the transmittance of the microparticles. Further, the fine particles collected in the collection container 14 from the cyclone 13 are sucked into the atmosphere returning to the exhaust port 57 after being swirled by the swirling flow in the cyclone 13, and re-scattered. The scattering prevention technique was examined, and the transmittance was measured when the cone 63 for preventing re-scattering was provided in the collection container 14 and when it was not provided.

図10は、サイクロンの内周面56の表面粗さを相違させた場合における透過率の相違を示す特性線図である。図10は、内周面56の表面粗さRaを相違させた場合における微小粒子の粒径(Dp)と透過率との関係を示す。なお、それぞれの実験に用いた捕集容器14には、円錐体63は設けられてない。図10において、比較例A1は内周面56の表面粗さRaを5.1μmとした場合を示し、実施例B1は内周面56の表面粗さRaを0.17μmとした場合を示し、実施例B2は表面粗さRaを0.08μmとした場合を示す。いずれの表面粗さの場合であっても、粒径が大きくなると、透過率は低下して捕集効率が高められる。図10に示されるように、粒径が0.1μmの粒子の透過率は、表面粗さRaが5.1μmの比較例A1の場合には76%であるのに対し、表面粗さRaが0.08μmの場合には69%であり、10%の捕集効率の向上が見られた。また、表面粗さRaが0.17μmとした場合であっても、高い捕集効率が得られたが、表面粗さRaを小さくした方が捕集効率が高められる。したがって、実験によれば、表面粗さRaとしては、0.17μm以下とし、好ましくは、0.08μm以下とすることで、捕集効率をより高めることができることを確認したが、表面粗さRaとしては、0.20μm以下であれば、同様の捕集効率を得ることができると考えられる。   FIG. 10 is a characteristic diagram showing the difference in transmittance when the surface roughness of the inner peripheral surface 56 of the cyclone is made different. FIG. 10 shows the relationship between the particle size (Dp) of fine particles and the transmittance when the surface roughness Ra of the inner peripheral surface 56 is made different. In addition, the cone 63 is not provided in the collection container 14 used for each experiment. In FIG. 10, Comparative Example A1 shows the case where the surface roughness Ra of the inner peripheral surface 56 is 5.1 μm, Example B1 shows the case where the surface roughness Ra of the inner peripheral surface 56 is 0.17 μm, Example B2 shows the case where the surface roughness Ra is 0.08 μm. Regardless of the surface roughness, when the particle size increases, the transmittance decreases and the collection efficiency increases. As shown in FIG. 10, the transmittance of particles having a particle size of 0.1 μm is 76% in the case of Comparative Example A1 having a surface roughness Ra of 5.1 μm, whereas the surface roughness Ra is In the case of 0.08 μm, it was 69%, and an improvement in the collection efficiency of 10% was observed. Moreover, even when the surface roughness Ra is 0.17 μm, high collection efficiency is obtained, but the collection efficiency is enhanced by reducing the surface roughness Ra. Therefore, according to experiments, it was confirmed that the surface roughness Ra is 0.17 μm or less, and preferably 0.08 μm or less, whereby the collection efficiency can be further improved. If it is 0.20 micrometer or less, it is thought that the same collection efficiency can be obtained.

図11は、捕集容器に円錐体が設けられていない場合と、円錐体が設けられた場合とについての透過率の相違を示す特性線図である。図11において、比較例A2は捕集容器14に円錐体63を設置していない場合であり、実施例B3は円錐体63の設置高さhを10mmとした場合であり、実施例B4は円錐体63の設置高さhを0mmとした場合である。それぞれの実験に使用したサイクロン13の内周面の表面粗さRaは、5.1μmである。なお、設置高さhは、図8に示されるように、取付リング62と円錐体63の上面との間の距離を示す。図11の実施例B3,B4に示されるように、円錐体63を設置しない場合よりも、設置した方が透過率を低下させることができた。また、設置高さhを0mmとして円錐体63をサイクロン13に近付けると、透過率をさらに低下させることが判明した。設置高さhを長くすると、円錐体63の上側のスペース68の容積が大きくなり、捕集容器14の上部の大気が旋回しながら上昇して微小粒子がサイクロン13内に再飛散することを抑制する効果が低下してしまったからであると考えられる。したがって、設置高さhを0とする方が捕集効果を高めることができる。   FIG. 11 is a characteristic diagram showing the difference in transmittance between when the collection container is not provided with a cone and when the cone is provided. In FIG. 11, Comparative Example A2 is a case where the cone 63 is not installed in the collection container 14, Example B3 is a case where the installation height h of the cone 63 is 10 mm, and Example B4 is a cone. This is a case where the installation height h of the body 63 is 0 mm. The surface roughness Ra of the inner peripheral surface of the cyclone 13 used in each experiment is 5.1 μm. The installation height h indicates the distance between the attachment ring 62 and the upper surface of the cone 63, as shown in FIG. As shown in Examples B3 and B4 in FIG. 11, it was possible to reduce the transmittance when the cone 63 was not installed, compared with the case where the cone 63 was not installed. Further, it has been found that when the installation height h is 0 mm and the cone 63 is brought closer to the cyclone 13, the transmittance is further reduced. When the installation height h is lengthened, the volume of the space 68 above the cone 63 is increased, and the atmosphere above the collection container 14 rises while swirling and suppresses fine particles from re-scattering into the cyclone 13. It is thought that this is because the effect to do has been reduced. Therefore, the collection effect can be enhanced by setting the installation height h to zero.

図12は、サイクロンの内周面の表面粗さを低減させることなく捕集容器に円錐体が設けられていない場合と、表面粗さを低減しつつ円錐体を捕集容器に設けた場合とについての透過率の相違を示す特性線図である。図12において、比較例A3は、内周面56の表面粗さRaを5.1μmとして円錐体63が設けられていない場合を示し、実施例B5は、表面粗さRaを0.08μmとし、円錐体63の設置高さhを0mmとした場合を示す。図12に示されるように、円錐体63を設置するとともに、内周面56の表面粗さRaを0.08μmとすると、表面粗さの低減と円錐体設置との相乗効果によって、比較例A3に比して明確に透過率が低減されて捕集効率を高められることが判明した。   FIG. 12 shows a case where the cone is not provided in the collection container without reducing the surface roughness of the inner peripheral surface of the cyclone, and a case where the cone is provided in the collection container while reducing the surface roughness. It is a characteristic line figure which shows the difference in the transmittance | permeability about. In FIG. 12, Comparative Example A3 shows the case where the inner surface 56 has a surface roughness Ra of 5.1 μm and no cone 63 is provided, and Example B5 has a surface roughness Ra of 0.08 μm. The case where the installation height h of the cone 63 is 0 mm is shown. As shown in FIG. 12, when the cone 63 is installed and the surface roughness Ra of the inner peripheral surface 56 is 0.08 μm, the synergistic effect of the reduction of the surface roughness and the installation of the cone results in the comparative example A3. It has been found that the transmittance is clearly reduced as compared with the above and the collection efficiency can be increased.

50%カットオフ径は、比較例A3ではdp=0.19μmであり、実施例B5ではdp=0.15μmであった。したがって、表面粗さRaを0.17μm以下に低減し、円錐体63を捕集容器14内に設置すると、サイクロン13による微小粒子の捕集効果を大幅に向上させることができることが可能であることが判明した。このように、微小粒子であるPM2.5を大量に捕集することができると、微小粒子を使用した細胞・生物曝露実験等の毒性評価や、微小粒子の有害性と関係があると考えられる化学成分や比表面積などの測定などの微小粒子の有害性評価を進展させることができる。特に、従来に比してバーチャルインパクタ11に供給する大気の量を増加させると、短時間で多量の微小粒子を捕集することができる。   The 50% cut-off diameter was dp = 0.19 μm in Comparative Example A3 and dp = 0.15 μm in Example B5. Therefore, if the surface roughness Ra is reduced to 0.17 μm or less and the cone 63 is installed in the collection container 14, it is possible to greatly improve the effect of collecting fine particles by the cyclone 13. There was found. Thus, if a large amount of PM2.5, which is a microparticle, can be collected, it is considered that there is a relationship with toxicity evaluation of cell / biological exposure experiments using microparticles and the toxicity of microparticles. It is possible to advance the hazard assessment of fine particles such as measurement of chemical composition and specific surface area. In particular, when the amount of air supplied to the virtual impactor 11 is increased as compared with the conventional case, a large amount of fine particles can be collected in a short time.

図6に示されるように、バーチャルインパクタ11のノズル間距離Sは0.4〜12.4mmの範囲で調整することができる。そこで、ノズル間距離Sを変化させて主流に含まれる粒子つまり捕集ノズル41に流入することなく、主流に向けて透過する粒子の割合である透過率つまり分級性能を測定した。図13はその測定結果を示し、バーチャルインパクタ11の加速ノズル33と捕集ノズル41との間のノズル間距離Sと、主流に流れる粒子の透過率を示す透過率曲線である。   As shown in FIG. 6, the inter-nozzle distance S of the virtual impactor 11 can be adjusted in the range of 0.4 to 12.4 mm. Therefore, the transmissivity, that is, the classification performance, which is the ratio of particles permeating toward the mainstream without changing the inter-nozzle distance S and flowing into the mainstream, that is, the particles contained in the mainstream, that is, the collecting nozzle 41 was measured. FIG. 13 shows the measurement results, and is a transmittance curve showing the inter-nozzle distance S between the acceleration nozzle 33 and the collection nozzle 41 of the virtual impactor 11 and the transmittance of particles flowing in the mainstream.

図13に示されるように、ノズル間距離Sを10mmとした場合には、主流の中に粒径(Dp)が2.5μm以上の粗大粒子が多く混入してしまうことが考えられる。一方、ノズル間距離Sを1.0mmとした場合には、粒径が2.5μm以下の微小粒子の主流への混入率が低下して、副流の中に微小粒子が多く混入していると考えられる。   As shown in FIG. 13, when the inter-nozzle distance S is set to 10 mm, it is considered that a large amount of coarse particles having a particle size (Dp) of 2.5 μm or more are mixed in the mainstream. On the other hand, when the inter-nozzle distance S is set to 1.0 mm, the mixing rate of fine particles having a particle size of 2.5 μm or less into the main flow is reduced, and a large amount of fine particles are mixed in the substream. it is conceivable that.

一方、ノズル間距離Sを1.9mmとした場合には、50%の分粒径は2.1μmであり、粒径が2.5μm以上の粗大粒子の混入率を低下させることができるとともに、粒径が2.5μm以下の微小粒子の透過率を、ノズル間距離Sを1.0mmとした場合よりも、高めることができる。   On the other hand, when the inter-nozzle distance S is 1.9 mm, the 50% particle size is 2.1 μm, and the mixing rate of coarse particles having a particle size of 2.5 μm or more can be reduced. The transmittance of fine particles having a particle size of 2.5 μm or less can be increased as compared with the case where the inter-nozzle distance S is 1.0 mm.

さらに、ノズル間距離Sを4.9mmとした場合には、50%分粒径は2.5μmであり、80%分粒径に対する20%分粒径の比で規定する傾きは1.4であった。粒径が2.5μm以下の微小粒子の透過率はノズル間距離Sを1.9mmとした場合よりも高めることができるとともに、粒径が2.5μm以上の粗大粒子の透過率を低減させることができる。   Furthermore, when the inter-nozzle distance S is 4.9 mm, the 50% particle size is 2.5 μm, and the slope defined by the ratio of the 20% particle size to the 80% particle size is 1.4. there were. The transmittance of fine particles having a particle size of 2.5 μm or less can be increased as compared with the case where the inter-nozzle distance S is set to 1.9 mm, and the transmittance of coarse particles having a particle size of 2.5 μm or more is reduced. Can do.

ノズル間距離Sを7.9mmとした場合には、50%分粒径は2.8であり、粒径が2.5μm以下の微小粒子の透過率はノズル間距離Sを4.9mmとした場合に近い値となった。ただし、粒径が2.5μm以上の粗大粒子が含まれる量は、ノズル間距離Sを4.9mmとした場合よりも多かった。   When the inter-nozzle distance S is 7.9 mm, the 50% particle size is 2.8, and the transmittance of fine particles having a particle size of 2.5 μm or less is set to 4.9 mm. The value was close to the case. However, the amount of coarse particles having a particle size of 2.5 μm or more was larger than when the inter-nozzle distance S was 4.9 mm.

図13に示されるように、ノズル間距離Sを、1.9〜7.9mmの範囲とすると、バーチャルインパクタ11としての実用上の分級性能としては十分と考えられる。より好ましくは、上述のように、ノズル間距離Sを4.9mmとすると、50%分粒径を2.5μmとすることができ、2.5μmよりも大きい粒子の透過率を飛躍的に低下させることができるので、主流の中に含まれる粗大粒子の量を低下させることができ、ノズル間距離Sを4.9mmとすることが好ましいことが判明した。ノズル間距離Sを3.4mm、6.4mmとした場合にも、4.9mmとした場合とほぼ同様の透過率であった。   As shown in FIG. 13, when the inter-nozzle distance S is in the range of 1.9 to 7.9 mm, it is considered sufficient for practical classification performance as the virtual impactor 11. More preferably, as described above, when the inter-nozzle distance S is 4.9 mm, the particle size can be reduced to 2.5 μm by 50%, and the transmittance of particles larger than 2.5 μm is drastically reduced. Therefore, it was found that the amount of coarse particles contained in the main stream can be reduced, and the inter-nozzle distance S is preferably 4.9 mm. When the inter-nozzle distance S was set to 3.4 mm and 6.4 mm, the transmittance was almost the same as when 4.9 mm.

したがって、バーチャルインパクタ11の分級性能を高めて、主流の中に粗大粒子が含まれないように、主流に混入される粗大粒子の量を少なくするには、ノズル間距離Sを、1.9〜7.9mmの範囲とし、好ましくは、3.4mm〜6.4mmとすることが好ましい。さらに好ましくはノズル間距離Sを4.9mmとすることが好ましいことが判明した。   Therefore, in order to improve the classification performance of the virtual impactor 11 and reduce the amount of coarse particles mixed into the mainstream so that the mainstream does not include coarse particles, the inter-nozzle distance S is set to 1.9 to The range is 7.9 mm, preferably 3.4 mm to 6.4 mm. More preferably, it has been found that the inter-nozzle distance S is preferably 4.9 mm.

バーチャルインパクタ11の分級性能を高めるとともに、サイクロン13の外部には排出される微小粒子の透過率を低下させると、分級性能の向上と相俟って、サイクロン13によって微小粒子の捕集率をさらに高めることができる。   When the classification performance of the virtual impactor 11 is increased and the transmittance of the microparticles discharged to the outside of the cyclone 13 is reduced, combined with the improvement of the classification performance, the cyclone 13 further increases the collection rate of the microparticles. Can be increased.

図14は、粗大粒子捕集用のサイクロン23の流量と粒子の透過率を示す透過率曲線である。   FIG. 14 is a transmittance curve showing the flow rate and particle transmittance of the cyclone 23 for collecting coarse particles.

上述のように、サイクロン23には毎分100リットル(LPM)の流量で空気を流している。この流量について、図14に示されるように、50LPM、75LPM、100LPMと変化させて粗大粒子捕集用のサイクロン23における透過率を測定した。流量50LPMのときは、50%分粒径は約1.0μmであった。流量を75LPM、100LPMと高めると、50%分粒径は小さくなり、100LPMにおける50%分粒径は約0.68μmであり、粒径1μmの粒子の捕集効率は95%であった。   As described above, air flows through the cyclone 23 at a flow rate of 100 liters per minute (LPM). As shown in FIG. 14, this flow rate was changed to 50 LPM, 75 LPM, and 100 LPM, and the transmittance in the cyclone 23 for collecting coarse particles was measured. When the flow rate was 50 LPM, the particle size for 50% was about 1.0 μm. When the flow rate was increased to 75 LPM and 100 LPM, the 50% particle size was reduced, the 50% particle size at 100 LPM was about 0.68 μm, and the collection efficiency of particles having a particle size of 1 μm was 95%.

バーチャルインパクタ11の分級性能により、粒径1μm以下の粒子はその殆どが微小粒子捕集用のサイクロン13に流入すると考えられるため、粗大粒子捕集用のサイクロン23では粒径1μm以上の粒子を捕集できれば十分な性能を持つと考えられる。したがって、サイクロン23としては、流量を100LPMとすることで、副流側に流入した粗大粒子を十分に捕集することができることが確認された。   Due to the classification performance of the virtual impactor 11, most of the particles having a particle size of 1 μm or less are considered to flow into the cyclone 13 for collecting fine particles. Therefore, the cyclone 23 for collecting coarse particles collects particles having a particle size of 1 μm or more. If it can be collected, it is considered to have sufficient performance. Therefore, it was confirmed that the coarse particles flowing into the secondary flow side can be sufficiently collected by setting the flow rate to 100 LPM.

図15は、微小粒子捕集用のサイクロン13と粗大粒子捕集用のサイクロン23のそれぞれで捕集された粉体の化学成分の測定結果を示すグラフである。図16は、図15に示された化学成分を微小粒子の粗大粒子に対する割合を示すグラフであり、粗大粒子の重量を微小粒子の重量で除した値を示す。   FIG. 15 is a graph showing the measurement results of the chemical components of the powder collected by the cyclone 13 for collecting fine particles and the cyclone 23 for collecting coarse particles. FIG. 16 is a graph showing a ratio of the chemical components shown in FIG. 15 to the coarse particles, and shows a value obtained by dividing the weight of the coarse particles by the weight of the fine particles.

それぞれのサイクロンで捕集された粒子の化学組成を比較すると、大気中において主に粗大側に存在すると考えられるNa、Ca2+、Si、Fe等は、粗大粒子捕集用のサイクロン23で捕集された粒子中に大きな割合で含まれていた。一方、大気中において主に微小粒子として存在すると考えられるEC(元素状炭素)、Cu、Zn、Pb等は微小粒子捕集用のサイクロン13で捕集された粒子中に大きな割合で含まれていた。 Comparing the chemical composition of the particles collected by each cyclone, Na + , Ca 2+ , Si, Fe, etc., which are considered to exist mainly on the coarse side in the atmosphere, are collected by the cyclone 23 for collecting coarse particles. It was contained in a large proportion in the collected particles. On the other hand, EC (elemental carbon), Cu, Zn, Pb, etc., which are considered to exist mainly as fine particles in the atmosphere, are contained in a large proportion in the particles collected by the cyclone 13 for collecting fine particles. It was.

したがって、バーチャルインパクタ11と、サイクロン13、23とを備えた装置により、それぞれのサイクロン13、23により特徴的な組成を持った微小粒子と粗大粒子とを捕集することができる。粗大粒子をサイクロン23を用いて捕集することにより、大気中の粗大粒子による生体への有害調査に供することができる。微小粒子とは別に、黄砂等の粗大粒子も生体内における炎症等を引き起こすことが知られており、粗大粒子と微小粒子を同時に採取して曝露実験を行うことにより、大気中の粒子による生体有害性を発現するメカニズムが詳細に解明できることが可能となる。   Therefore, the apparatus provided with the virtual impactor 11 and the cyclones 13 and 23 can collect fine particles and coarse particles having a characteristic composition by the cyclones 13 and 23, respectively. By collecting the coarse particles using the cyclone 23, it can be used for a harmful investigation on the living body due to the coarse particles in the atmosphere. Apart from fine particles, coarse particles such as yellow sand are also known to cause inflammation in the living body, and by conducting exposure experiments by collecting coarse particles and fine particles at the same time, biological harm caused by particles in the atmosphere It becomes possible to elucidate the mechanism that expresses sex in detail.

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

10 捕集装置
11 バーチャルインパクタ
13 サイクロン
14 捕集容器
16 排気ファン
23 サイクロン
24 捕集容器
26 真空ポンプ
31 分粒容器
32 大気導入板
33 加速ノズル
34 カバー
36 分粒筒体
37 主流室
38 副流室
39 流出口
41 捕集ノズル
42 流出口
43 上下動機構
44 支持台
45 上下動筒体
45a 雄ねじ
45b フランジ部
46 ガイドピン
47 長孔
48 調整リング
48a 雌ねじ
49a、49b 固定ねじ
51 円錐筒部
52 円筒部
54 流入口
55 粒子落下口
56 内周面
57 排気口
63 円錐体
64 外周面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Collection apparatus 11 Virtual impactor 13 Cyclone 14 Collection container 16 Exhaust fan 23 Cyclone 24 Collection container 26 Vacuum pump 31 Sizing container 32 Atmospheric introduction plate 33 Acceleration nozzle 34 Cover 36 Sizing cylinder 37 Main flow chamber 38 Secondary flow chamber 39 Outlet 41 Collection nozzle 42 Outlet 43 Vertical movement mechanism 44 Support base 45 Vertical movement cylinder 45a Male thread 45b Flange part 46 Guide pin 47 Long hole 48 Adjustment ring 48a Female thread 49a, 49b Fixing screw 51 Conical cylinder part 52 Cylindrical part 54 Inlet port 55 Particle drop port 56 Inner peripheral surface 57 Exhaust port 63 Cone 64 Outer peripheral surface

Claims (3)

複数の加速ノズルが設けられた大気導入板を備えた分粒容器、前記分粒容器内に配置されて外側の主流室と内側の副流室とに区画する分粒筒体、前記分粒筒体の天壁に前記加速ノズルに対向して設けられ、前記加速ノズルを通過した大気のうち微小粒子を含む主流を前記主流室に振り向ける一方、粗大粒子を含む副流を前記副流室に案内する複数の捕集ノズルを備えたバーチャルインパクタと、
前記主流が流入する流入口、該流入口から流入した大気を旋回させて微小粒子を下端部の粒子落下口に向けて案内する円錐筒部、および前記円錐筒部の内部を上昇した大気を外部に排出する排気口を備えた微小粒子捕集用のサイクロンと、
前記微小粒子捕集用のサイクロンの下端部に設けられ、前記粒子落下口を通過した微小粒子を収容する捕集容器と、
前記捕集容器の上端部に配置され、上部から下部に向けて外径が大きく、前記下部と前記捕集容器の内周面との間に微小粒子の通過隙間を形成する円錐体と、
前記副流が流入する流入口、該流入口から流出した大気を旋回させて粗大粒子を下端部の粒子落下口に向けて案内する円錐筒部、および前記円錐筒部の内部を上昇した大気を外部に排出する排出口を備えた粗大粒子捕集用のサイクロンと、
前記粗大粒子捕集用のサイクロンの下端部に受けられ、粒子落下口を通過した粗大粒子を収容する捕集容器と、を有し、
前記微小粒子捕集用のサイクロンの円錐筒部の内周面の表面粗さは、0.17μm以下であり、
前記加速ノズルの吐出口と前記捕集ノズルの流入口との間のノズル間距離は、4.9〜6.4mmである、粗大粒子も捕集する微小粒子の捕集装置。
A sizing container provided with an air introduction plate provided with a plurality of acceleration nozzles, a sizing cylinder disposed in the sizing container and partitioned into an outer main flow chamber and an inner subflow chamber, the sizing tube A main stream that is provided on the top wall of the body so as to face the accelerating nozzle and directs the main flow containing fine particles out of the air that has passed through the accelerating nozzle to the main flow chamber, while a sub flow containing coarse particles is transferred to the sub flow chamber. A virtual impactor with multiple collection nozzles to guide,
The inlet into which the main flow flows in, the conical cylinder part that swirls the air flowing in from the inlet and guides the microparticles toward the particle dropping port at the lower end, and the atmosphere that has risen inside the conical cylinder part to the outside A cyclone for collecting fine particles with an exhaust port for discharging to the
A collection container that is provided at the lower end of the cyclone for collecting fine particles, and that contains the fine particles that have passed through the particle dropping port,
A cone that is arranged at the upper end of the collection container, has a large outer diameter from the upper part toward the lower part, and forms a passage for passing microparticles between the lower part and the inner peripheral surface of the collection container;
An inlet through which the side stream flows, a conical cylinder section that swirls the air flowing out from the inlet and guides coarse particles toward a particle dropping port at a lower end, and an atmosphere that rises inside the conical cylinder section. A cyclone for collecting coarse particles with a discharge port for discharging to the outside,
A collection container that receives the coarse particles received by the lower end of the cyclone for collecting the coarse particles and that has passed through the particle dropping port ;
The surface roughness of the inner peripheral surface of the conical cylinder part of the cyclone for collecting microparticles is 0.17 μm or less ,
The inter-nozzle distance between the discharge port of the acceleration nozzle and the inlet of the collection nozzle is 4.9 to 6.4 mm, and the fine particle collection device collects coarse particles .
請求項記載の微小粒子の捕集装置において、前記円錐体に装着される支持部材が径方向中心部に設けられ、複数の粒子通過孔が径方向外周部に設けられた取付リングを前記粒子落下口に設け、前記円錐体の上端部を前記取付リングに突き当てて、前記円錐体と前記捕集容器の内周面との間のスペースに前記粒子通過孔を落下した微小粒子を案内する、微小粒子の捕集装置。 2. The apparatus for collecting fine particles according to claim 1 , wherein a support member attached to the cone is provided at a central portion in the radial direction, and a mounting ring in which a plurality of particle passage holes are provided at a radially outer peripheral portion is provided. Provided at the drop port, the upper end of the cone is abutted against the mounting ring, and guides the microparticles that have dropped the particle passage hole into the space between the cone and the inner peripheral surface of the collection container. , Microparticle collection device. 請求項1または2記載の微小粒子の捕集装置において、前記分粒筒体の前記天壁は円形であり、前記捕集ノズルは、前記天壁の中心から同一半径位置の外周部に設けた、微小粒子の捕集装置。 3. The apparatus for collecting fine particles according to claim 1 , wherein the top wall of the sizing tube is circular, and the collection nozzle is provided on an outer peripheral portion at the same radial position from the center of the top wall. , Microparticle collection device.
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