JP6595253B2

JP6595253B2 - Cooling system

Info

Publication number: JP6595253B2
Application number: JP2015161183A
Authority: JP
Inventors: 恭一 ▲えび▼澤; 秀幸鈴木; 裕太松村; 雅寛萩原; 好市浦野
Original assignee: 関東精機株式会社
Priority date: 2015-08-18
Filing date: 2015-08-18
Publication date: 2019-10-23
Anticipated expiration: 2035-08-18
Also published as: JP2017040396A

Description

この発明は、工作機械等の産業機械などの冷却対象を二酸化炭素冷媒を使用して冷却し目標温度に維持制御するための冷却装置に関し、さらに詳しくは、二酸化炭素冷媒を使用していながら冷却効率を大幅に向上させることのできる冷却装置に関する。 The present invention relates to a cooling device for cooling an object to be cooled, such as an industrial machine such as a machine tool, using a carbon dioxide refrigerant and maintaining it at a target temperature, and more specifically, cooling efficiency while using a carbon dioxide refrigerant. The present invention relates to a cooling device that can greatly improve the efficiency.

工作機械や半導体製造装置をはじめとする産業機械は、製品の高精度化や高生産性を目的として高度に精密な温度管理が必要となってきている。このためには水、油、空気などの熱媒体に対して高精度の温度制御を行う冷却装置が必要である。また、このような冷却装置には、温度制御の高精度化だけでなく、地球環境保護の観点から高いエネルギー効率（低エネルギー消費）も求められている。高効率の温度制御を実現するものとしては、冷凍サイクル（ヒートポンプ）を利用した冷却装置がある。 Industrial machines, including machine tools and semiconductor manufacturing equipment, require highly precise temperature management for the purpose of improving product accuracy and productivity. For this purpose, a cooling device that performs highly accurate temperature control on a heat medium such as water, oil, and air is required. Further, such a cooling device is required not only for high accuracy of temperature control but also for high energy efficiency (low energy consumption) from the viewpoint of protecting the global environment. As a means for realizing high-efficiency temperature control, there is a cooling device using a refrigeration cycle (heat pump).

冷凍サイクルを利用した冷却装置には、従来からフロン、代替フロンなどのフロン類の冷媒が用いられてきた。しかし、これらフロン類の冷媒はオゾン層の破壊防止や、地球温暖化の防止という観点から、使用の制限が検討されつつある。地球環境への影響がより少ない冷媒として、二酸化炭素が検討され一部の冷凍サイクルでは既に使用されている。 Conventionally, refrigerants of chlorofluorocarbons such as chlorofluorocarbons and chlorofluorocarbon alternatives have been used for cooling devices using a refrigeration cycle. However, restrictions on the use of these chlorofluorocarbon refrigerants are being studied from the viewpoint of preventing destruction of the ozone layer and preventing global warming. Carbon dioxide has been studied as a refrigerant that has less influence on the global environment and has already been used in some refrigeration cycles.

また、二酸化炭素は無毒で不燃性であり、冷媒として使用した場合の安全性の観点からも優れている。その一方で、二酸化炭素を冷媒とする冷凍サイクルは、冷媒の動作圧力が高く、産業機械向けの冷却装置の運転条件や設置環境を考慮すると、フロン類を冷媒とする冷凍サイクルとの比較において冷却効率（ＣＯＰ：成績係数とも言われる）が低下する傾向にある。すなわち、冷却能力との比率において消費電力が増加する傾向にある。 Carbon dioxide is non-toxic and non-flammable, and is excellent from the viewpoint of safety when used as a refrigerant. On the other hand, the refrigeration cycle using carbon dioxide as a refrigerant has a high operating pressure of the refrigerant, and in consideration of the operating conditions and installation environment of a cooling device for industrial machinery, it is cooled in comparison with the refrigeration cycle using chlorofluorocarbons as a refrigerant. Efficiency (COP: also called coefficient of performance) tends to decrease. That is, the power consumption tends to increase in proportion to the cooling capacity.

二酸化炭素を冷媒とする冷凍サイクルとしては、下記の特許文献１のようなものが公知である。特許文献１には、二酸化炭素等の超臨界流体を冷媒として用いた冷却サイクルにおいて、気液分離器を設けて冷却性能を向上させるようにした冷却サイクルが記載されている。 As a refrigeration cycle using carbon dioxide as a refrigerant, the following Patent Document 1 is known. Patent Document 1 describes a cooling cycle in which a supercritical fluid such as carbon dioxide is used as a refrigerant to improve the cooling performance by providing a gas-liquid separator.

特開平１１−６３６９４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-63694

前述のように、オゾン層の破壊防止や地球温暖化の防止というような地球環境への配慮からは、二酸化炭素のような地球環境への影響が少ない冷媒が好ましい。また、二酸化炭素は安全性の観点でも優れている。一方、冷却効率の点では、二酸化炭素冷媒はフロン類の冷媒に比べて不利な状況であった。二酸化炭素を冷媒とする冷凍サイクルにおいて、冷却効率をさらに向上させることができれば、理想的な冷凍サイクルを実現することができる。 As described above, in consideration of the global environment such as prevention of destruction of the ozone layer and prevention of global warming, a refrigerant having a small influence on the global environment such as carbon dioxide is preferable. Carbon dioxide is also excellent from the viewpoint of safety. On the other hand, in terms of cooling efficiency, the carbon dioxide refrigerant is disadvantageous compared to the refrigerants of chlorofluorocarbons. If the cooling efficiency can be further improved in the refrigeration cycle using carbon dioxide as a refrigerant, an ideal refrigeration cycle can be realized.

また、産業機械の温度管理の用途では、一般の空調機などと比べて熱負荷とその変動が大きく、さらに、設定温度に対し±０．１℃以内の高い温度精度が求められる。このような温度精度を実現するには、冷却能力を最小値（０）から最大値までを高精度に連続的に変更制御できる冷却装置が必要である。しかし、二酸化炭素を冷媒とする冷却装置で冷却能力をそのように連続的に変更制御できる冷却装置は実現されていない。 In industrial machinery temperature management applications, the thermal load and its fluctuations are larger than those of general air conditioners and the like, and high temperature accuracy within ± 0.1 ° C. with respect to the set temperature is required. In order to achieve such temperature accuracy, a cooling device capable of continuously changing and controlling the cooling capacity from the minimum value (0) to the maximum value with high accuracy is required. However, a cooling apparatus that can continuously change and control the cooling capacity with a cooling apparatus using carbon dioxide as a refrigerant has not been realized.

そこで、本発明は、産業機械などの冷却対象を二酸化炭素冷媒を使用して冷却し目標温度に維持制御するための冷却装置であって、冷却効率を大幅に向上させることのできる冷却装置を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides a cooling device for cooling an object to be cooled, such as an industrial machine, using a carbon dioxide refrigerant and maintaining it at a target temperature, which can greatly improve the cooling efficiency. The purpose is to do.

上記目的を達成するために、本発明の冷却装置は、二酸化炭素からなる冷媒を圧縮するための圧縮機と、前記圧縮機で圧縮された冷媒を冷却用流体によって冷却するためのガスクーラーと、前記ガスクーラーから出力された冷媒を絞り膨張させるための膨張弁と、前記膨張弁を通過して温度が低下した冷媒と冷却対象との熱交換を行い、熱交換後の冷媒を前記圧縮機に戻すように配置された熱交換器と、前記圧縮機、前記ガスクーラー、前記膨張弁および前記熱交換器を環状に接続し、冷媒を循環させる循環路と、前記圧縮機の入力側の冷媒の温度を検出する第１温度検出器と、前記圧縮機の入力側の冷媒の圧力を検出する第１圧力検出器と、前記圧縮機から出力された冷媒の圧力である高圧側圧力を検出する第２圧力検出器と、前記ガスクーラーから出力された冷媒の温度を検出する第２温度検出器と、前記ガスクーラーから出力された冷媒の温度が所定の目標温度となるように冷却用流体の流量を制御する冷媒温度制御部と、前記第１温度検出器の検出値、前記第１圧力検出器の検出値および冷媒の前記目標温度に応じて、冷却効率が最大となるような冷媒の高圧側圧力を最適圧力として求め、前記第２圧力検出器の検出値が当該最適圧力となるように前記膨張弁の開度を制御する冷却効率制御部と、前記冷却対象の温度が目標値となるように、前記圧縮機の回転速度を制御する温度制御部とを有するものである。 To achieve the above object, the cooling device of the present invention includes a compressor for compressing a refrigerant made of carbon dioxide, a gas cooler for cooling the refrigerant compressed by the compressor with a cooling fluid, An expansion valve for squeezing and expanding the refrigerant output from the gas cooler, heat exchange between the refrigerant whose temperature has dropped through the expansion valve and the object to be cooled, and the refrigerant after heat exchange to the compressor A heat exchanger arranged so as to return, the compressor, the gas cooler, the expansion valve, and the heat exchanger connected in an annular shape to circulate the refrigerant, and the refrigerant on the input side of the compressor A first temperature detector for detecting the temperature; a first pressure detector for detecting the pressure of the refrigerant on the input side of the compressor; and a first pressure detector for detecting the high-pressure side pressure that is the pressure of the refrigerant output from the compressor. 2 pressure detectors and the gas mask A second temperature detector that detects the temperature of the refrigerant output from the gas cooler, and a refrigerant temperature control unit that controls the flow rate of the cooling fluid so that the temperature of the refrigerant output from the gas cooler becomes a predetermined target temperature; The maximum pressure of the refrigerant that maximizes the cooling efficiency is determined as the optimum pressure according to the detection value of the first temperature detector, the detection value of the first pressure detector, and the target temperature of the refrigerant, A cooling efficiency control unit that controls the opening of the expansion valve so that the detection value of the second pressure detector becomes the optimum pressure, and the rotational speed of the compressor so that the temperature of the cooling target becomes a target value. And a temperature controller for controlling the temperature.

また、上記の冷却装置において、前記冷却効率制御部は、前記第１温度検出器の検出値、前記第１圧力検出器の検出値、冷媒の前記目標温度および冷媒の物性値に基づいて、冷媒の高圧側圧力として任意の値を仮定した場合の冷却効率を求め、当該冷却効率が最大となるような冷媒の高圧側圧力である最適圧力を探索して求めるものであることが好ましい。 In the cooling device, the cooling efficiency control unit may be configured to generate a refrigerant based on a detection value of the first temperature detector, a detection value of the first pressure detector, the target temperature of the refrigerant, and a physical property value of the refrigerant. It is preferable to obtain the cooling efficiency when an arbitrary value is assumed as the high-pressure side pressure and to search for the optimum pressure that is the high-pressure side pressure of the refrigerant that maximizes the cooling efficiency.

また、上記の冷却装置において、前記圧縮機から出力された冷媒の温度を検出する第３温度検出器を有し、前記冷却効率制御部は、冷媒の高圧側圧力が前記冷却効率制御部で求めた最適圧力となるように制御した場合の実際の冷却効率を、前記第３温度検出器の検出値と前記第２圧力検出器の検出値と冷媒の物性値に基づいて求めるものであることが好ましい。 The cooling device may further include a third temperature detector that detects a temperature of the refrigerant output from the compressor, and the cooling efficiency control unit obtains a high-pressure side pressure of the refrigerant by the cooling efficiency control unit. In other words, the actual cooling efficiency when the control is performed so as to obtain the optimum pressure is obtained based on the detection value of the third temperature detector, the detection value of the second pressure detector, and the physical property value of the refrigerant. preferable.

また、上記の冷却装置において、前記圧縮機から出力された冷媒の一部を前記ガスクーラーおよび前記膨張弁をバイパスして前記圧縮機の入力側に戻すバイパス路と、前記バイパス路を通る冷媒の流量を変更制御するための流量制御弁とを有し、前記温度制御部は、前記圧縮機の回転速度を制御するとともに、前記バイパス路を通る冷媒の流量を制御するものであることが好ましい。 In the above cooling device, a part of the refrigerant output from the compressor bypasses the gas cooler and the expansion valve and returns to the input side of the compressor, and a refrigerant passing through the bypass passage It is preferable that a flow rate control valve for changing and controlling the flow rate is provided, and the temperature control unit controls the rotation speed of the compressor and the flow rate of the refrigerant passing through the bypass path.

また、上記の冷却装置において、前記バイパス路は、前記圧縮機の出力側の循環路と前記熱交換器の入力側の循環路とを接続するものであることが好ましい。 In the above cooling device, it is preferable that the bypass path connects the circulation path on the output side of the compressor and the circulation path on the input side of the heat exchanger.

本発明は、以上のように構成されているので、以下のような効果を奏する。 Since this invention is comprised as mentioned above, there exist the following effects.

本発明の冷却装置により、二酸化炭素冷媒を使用していながら、冷却効率を従来よりも大幅に向上させることができる。これによって、地球環境への影響が少なく、冷却効率の点でも優れた理想的な冷却装置の実現が可能となる。 With the cooling device of the present invention, it is possible to significantly improve the cooling efficiency as compared with the prior art while using a carbon dioxide refrigerant. This makes it possible to realize an ideal cooling device that has little influence on the global environment and is excellent in terms of cooling efficiency.

第３温度検出器を有するものでは、より正確な冷却効率ＣＰを求めることができ、その正確な冷却効率を表示することができる。 In the case of having the third temperature detector, a more accurate cooling efficiency CP can be obtained, and the accurate cooling efficiency can be displayed.

バイパス路と流量制御弁を有するものでは、二酸化炭素冷媒を使用する冷却装置であって、冷却能力を０Ｗから最大値まで高精度に連続的に変更制御できる冷却装置が実現できる。 A device having a bypass and a flow rate control valve is a cooling device that uses carbon dioxide refrigerant, and can realize a cooling device that can continuously change and control the cooling capacity from 0 W to the maximum value with high accuracy.

本発明の冷却装置１の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the cooling device 1 of this invention. 冷却装置１の冷凍サイクルを示すｐ−ｈ線図である。2 is a ph diagram illustrating a refrigeration cycle of the cooling device 1. FIG.

本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の冷却装置１の全体構成を示す図である。冷却装置１は、熱媒体流通路２を流通する水、油、空気などの熱媒体の温度を所定の目標値に冷却制御するための装置である。冷却対象である熱媒体はポンプ２２により加圧されて、熱媒体流通路２内を流通させられている。冷却対象の熱媒体は、例えば、工作機械の機体等を一定の温度に維持するための冷却液であったり、半導体製造装置の環境温度を一定に維持するための空気であってもよい。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a cooling device 1 of the present invention. The cooling device 1 is a device for cooling and controlling the temperature of a heat medium such as water, oil, and air flowing through the heat medium flow passage 2 to a predetermined target value. The heat medium to be cooled is pressurized by the pump 22 and is circulated through the heat medium flow passage 2. The heat medium to be cooled may be, for example, a coolant for maintaining the machine tool body or the like at a constant temperature, or air for maintaining a constant environmental temperature of the semiconductor manufacturing apparatus.

冷却対象の熱媒体は、熱交換器８により冷却されて所定の目標温度となるように制御される。熱媒体の温度は熱媒体温度検出器２１１，２１２によって検出される。熱媒体温度検出器２１１はポンプ２２入り口側の熱媒体の温度を検出し、熱媒体温度検出器２１２は熱交換器８から流出した熱媒体の温度を検出するように配置されている。なお、熱媒体温度検出器２１１，２１２以外にも工作機械や半導体製造装置の機体の温度を検出する温度検出器や、装置が置かれている空間の室温を検出する温度検出器を設けるようにしてもよい。また、熱媒体温度検出器は必ず２つ必要なわけでもなく１つだけでもよい。 The heat medium to be cooled is controlled by the heat exchanger 8 to be cooled to a predetermined target temperature. The temperature of the heat medium is detected by heat medium temperature detectors 211 and 212. The heat medium temperature detector 211 detects the temperature of the heat medium on the inlet side of the pump 22, and the heat medium temperature detector 212 is arranged to detect the temperature of the heat medium flowing out from the heat exchanger 8. In addition to the heat medium temperature detectors 211 and 212, a temperature detector for detecting the temperature of the machine tool and the semiconductor manufacturing apparatus and a temperature detector for detecting the room temperature of the space where the apparatus is placed are provided. May be. In addition, two heat medium temperature detectors are not necessarily required, and only one heat medium temperature detector may be used.

この冷却装置１は、二酸化炭素を冷媒として使用するものである。冷媒は、圧縮機５、ガスクーラー６、膨張弁７、熱交換器８を環状に接続する循環路３中を循環する。冷媒は、まず圧縮機５によって圧縮されて高温高圧となり、ガスクーラー６に送られる。ガスクーラー６は高温高圧の冷媒ガスを冷却用流体と熱交換することによって冷却する。ガスクーラー６の冷却能力は冷却用流体の流量を調整することによって増減できるため、出口側の冷媒の温度が所定の目標温度となるように制御を行っている。なお、冷却用流体は水のような液体でも、空気のような気体でも良い。 This cooling device 1 uses carbon dioxide as a refrigerant. The refrigerant circulates in the circulation path 3 that connects the compressor 5, the gas cooler 6, the expansion valve 7, and the heat exchanger 8 in an annular shape. The refrigerant is first compressed by the compressor 5 to be high temperature and pressure and sent to the gas cooler 6. The gas cooler 6 cools the high-temperature and high-pressure refrigerant gas by exchanging heat with the cooling fluid. Since the cooling capacity of the gas cooler 6 can be increased or decreased by adjusting the flow rate of the cooling fluid, control is performed so that the temperature of the refrigerant on the outlet side becomes a predetermined target temperature. The cooling fluid may be a liquid such as water or a gas such as air.

冷媒は、次に膨張弁７に送られ、膨張弁７を通る際に絞り膨張されて低温低圧の気液混合状態となる。この低温低圧の気液混合状態の冷媒が熱交換器８に流入して、熱交換器８内の熱媒体と熱交換され、熱媒体を冷却する。熱交換器８から流出した冷媒は循環路３を一巡して圧縮機５の入口側に戻る。冷媒は、以上のように循環路３を循環する。 Next, the refrigerant is sent to the expansion valve 7, and is expanded by being throttled when passing through the expansion valve 7 to be in a low-temperature and low-pressure gas-liquid mixed state. This low-temperature and low-pressure gas-liquid mixed refrigerant flows into the heat exchanger 8 and exchanges heat with the heat medium in the heat exchanger 8 to cool the heat medium. The refrigerant flowing out of the heat exchanger 8 goes around the circulation path 3 and returns to the inlet side of the compressor 5. The refrigerant circulates in the circulation path 3 as described above.

圧縮機５は、インバータ駆動を行う駆動部５１によって駆動されている。駆動部５１は、駆動周波数を変更することにより圧縮機５の回転速度を変更することができ、それによって冷却装置１の冷却能力を変更制御している。圧縮機５の駆動周波数は温度制御部１３によって制御されている。温度制御部１３の詳細な制御内容は後述する。 The compressor 5 is driven by a drive unit 51 that performs inverter drive. The drive unit 51 can change the rotation speed of the compressor 5 by changing the drive frequency, thereby changing and controlling the cooling capacity of the cooling device 1. The driving frequency of the compressor 5 is controlled by the temperature control unit 13. Detailed control contents of the temperature control unit 13 will be described later.

さらに、冷媒が循環するこの循環路３には、圧縮されて温度上昇した冷媒の一部を冷却せずに熱交換器８に流入させるバイパス路４が付加されている。バイパス路４には流量制御弁９が設けられている。バイパス路４は、冷却装置１の冷却能力の最小値を０Ｗ（冷却量が０Ｗ）とし、冷却能力を最小値から最大値まで連続的に変更調整するために設けられている。 Further, a bypass path 4 is added to the circulation path 3 through which the refrigerant circulates, and allows a part of the refrigerant that has been compressed to rise in temperature to flow into the heat exchanger 8 without being cooled. A flow rate control valve 9 is provided in the bypass path 4. The bypass 4 is provided to continuously change and adjust the cooling capacity from the minimum value to the maximum value with the minimum value of the cooling capacity of the cooling device 1 being 0 W (cooling amount is 0 W).

冷却量が比較的大きな領域では、前述のように、冷却能力をインバータ駆動による圧縮機５の回転速度によって変更している。しかし、圧縮機５の特性による制約などから、圧縮機５が安定して圧縮動作を行うためには、下限回転速度以上の回転速度が必要である。したがって、圧縮機５の回転速度だけによる冷却能力の変更制御では、圧縮機５の下限回転速度に対応する冷却能力が冷却下限値となってしまい、その冷却下限値より小さい冷却能力には調整することができない。 In the region where the cooling amount is relatively large, as described above, the cooling capacity is changed according to the rotational speed of the compressor 5 driven by the inverter. However, because of the restriction due to the characteristics of the compressor 5 and the like, in order for the compressor 5 to perform a stable compression operation, a rotational speed higher than the lower limit rotational speed is required. Therefore, in the change control of the cooling capacity only by the rotation speed of the compressor 5, the cooling capacity corresponding to the lower limit rotation speed of the compressor 5 becomes the cooling lower limit value, and the cooling capacity is adjusted to be smaller than the lower cooling limit value. I can't.

そこで、圧縮機５の回転速度の最小値として下限回転速度以上の所定速度（最小回転速度）を設定しておき、圧縮機５の回転速度がその最小回転速度に達し、冷却能力をなおそれ以下に調整する場合には、圧縮機５の回転速度は最小回転速度に固定して、バイパス路４上の流量制御弁９の開度を０以上に調整し、循環路３の低温の冷媒にバイパス路４からの高温の冷媒を混合して熱交換器８に流入させる。 Therefore, a predetermined speed (minimum rotational speed) equal to or higher than the lower limit rotational speed is set as the minimum value of the rotational speed of the compressor 5, and the rotational speed of the compressor 5 reaches the minimum rotational speed, and the cooling capacity is less than feared. Is adjusted to a minimum rotational speed, the opening degree of the flow rate control valve 9 on the bypass path 4 is adjusted to 0 or more, and bypassed to the low-temperature refrigerant in the circulation path 3 The high-temperature refrigerant from the path 4 is mixed and flows into the heat exchanger 8.

これにより冷却能力を冷却下限値よりも小さく設定することができ、流量制御弁９の開度を適宜調整することにより冷却量を０Ｗとすることもできる。すなわち、バイパス路４の流量制御弁９の開度を調整することにより、冷却能力を０Ｗから冷却下限値まで連続的に変更できる。なお、ここではバイパス路４の出口側を熱交換器８の入口側に接続しているが、バイパス路４の出口側を熱交換器８の出口側に接続しても良い。 Thereby, the cooling capacity can be set smaller than the cooling lower limit value, and the cooling amount can be set to 0 W by appropriately adjusting the opening degree of the flow control valve 9. That is, the cooling capacity can be continuously changed from 0 W to the cooling lower limit value by adjusting the opening degree of the flow rate control valve 9 in the bypass passage 4. Although the outlet side of the bypass passage 4 is connected to the inlet side of the heat exchanger 8 here, the outlet side of the bypass passage 4 may be connected to the outlet side of the heat exchanger 8.

循環路３における圧縮機５の入口側（入力側）には、冷媒の温度を検出するための第１温度検出器３１１と、冷媒の圧力を検出するための第１圧力検出器３２１が配置されている。なお、第１圧力検出器３２１は冷凍サイクルにおける冷媒の低圧側圧力を検出するものである。 A first temperature detector 311 for detecting the temperature of the refrigerant and a first pressure detector 321 for detecting the pressure of the refrigerant are arranged on the inlet side (input side) of the compressor 5 in the circulation path 3. ing. The first pressure detector 321 detects the low-pressure side pressure of the refrigerant in the refrigeration cycle.

循環路３におけるガスクーラー６の出口側（出力側）には、冷媒の温度を検出するための第２温度検出器３１２と、冷媒の圧力を検出するための第２圧力検出器３２２が配置されている。この第２圧力検出器３２２は冷凍サイクルにおける冷媒の高圧側圧力を検出するものである。さらに、循環路３における圧縮機５の出口側（出力側）には、冷媒の温度を検出するための第３温度検出器３１３が配置されている。 A second temperature detector 312 for detecting the refrigerant temperature and a second pressure detector 322 for detecting the refrigerant pressure are arranged on the outlet side (output side) of the gas cooler 6 in the circulation path 3. ing. The second pressure detector 322 detects the high-pressure side pressure of the refrigerant in the refrigeration cycle. Furthermore, a third temperature detector 313 for detecting the temperature of the refrigerant is disposed on the outlet side (output side) of the compressor 5 in the circulation path 3.

これらの第１温度検出器３１１、第２温度検出器３１２、第３温度検出器３１３、第１圧力検出器３２１、第２圧力検出器３２２の検出値は制御部１０に送られて、後述するそれぞれの制御を行うために使用される。なお、各検出器と制御部１０とを接続する信号ケーブル、および各制御機器と制御部１０とを接続する信号ケーブルは、図の簡単化のために図示を省略している。 The detection values of the first temperature detector 311, the second temperature detector 312, the third temperature detector 313, the first pressure detector 321, and the second pressure detector 322 are sent to the control unit 10 and will be described later. Used to perform each control. In addition, the signal cable which connects each detector and the control part 10, and the signal cable which connects each control apparatus and the control part 10 are abbreviate | omitting illustration for the simplification of a figure.

制御部１０には、制御内容の異なる３種類の制御部が含まれている。冷媒温度制御部１１は、ガスクーラー６から出力された冷媒の温度が所定の目標温度となるように制御を行うものである。一般的には、この位置での冷媒の温度は低い方が冷却能力が大きくなるが、使用可能な冷却用流体の温度や最大流量の制限があり、設定可能な冷媒の温度には下限値が存在する。実際には、設置環境において実現可能な目標温度を設定して、冷媒の温度がその目標温度となるように冷却用流体の流量を制御する。 The control unit 10 includes three types of control units having different control contents. The refrigerant temperature control unit 11 performs control so that the temperature of the refrigerant output from the gas cooler 6 becomes a predetermined target temperature. In general, the lower the refrigerant temperature at this position, the greater the cooling capacity, but there are restrictions on the temperature of the cooling fluid that can be used and the maximum flow rate, and there is a lower limit on the settable refrigerant temperature. Exists. In practice, a target temperature that can be realized in the installation environment is set, and the flow rate of the cooling fluid is controlled so that the temperature of the refrigerant becomes the target temperature.

具体的には、冷媒温度制御部１１は、第２温度検出器３１２によって検出される冷媒温度が所定の目標温度となるように、流量制御弁６１の開度を変更制御することによって冷却用流体の流量を制御する。 Specifically, the refrigerant temperature control unit 11 changes the opening degree of the flow control valve 61 so that the refrigerant temperature detected by the second temperature detector 312 becomes a predetermined target temperature, thereby controlling the cooling fluid. To control the flow rate.

なお、冷却用流体が液体の場合は、図示のように流量制御弁６１の開度を制御することによって冷却用流体の流量を制御することが実用的である。冷却用流体が空気のような気体の場合は、流量制御弁によって冷却用流体の流量を制御するようにしても良いが、送風ファンの回転速度等によって冷却用流体の流量を制御することもできる。 When the cooling fluid is liquid, it is practical to control the flow rate of the cooling fluid by controlling the opening degree of the flow rate control valve 61 as shown in the figure. When the cooling fluid is a gas such as air, the flow rate of the cooling fluid may be controlled by a flow rate control valve, but the flow rate of the cooling fluid can also be controlled by the rotational speed of the blower fan or the like. .

冷却効率制御部１２は、第１温度検出器３１１の検出値、第１圧力検出器３２１の検出値およびガスクーラー６出力側での冷媒の目標温度に応じて、冷却効率が最大となるような制御を行う。すなわち、冷却効率が最大となるような冷媒の高圧側圧力を最適圧力として求め、第２圧力検出器３２２の検出値がその最適圧力となるように膨張弁７の開度を制御する。なお、冷却効率制御部１２の制御内容のさらに詳細な説明は後述する。 The cooling efficiency control unit 12 maximizes the cooling efficiency according to the detection value of the first temperature detector 311, the detection value of the first pressure detector 321, and the target temperature of the refrigerant on the gas cooler 6 output side. Take control. That is, the high pressure side pressure of the refrigerant that maximizes the cooling efficiency is obtained as the optimum pressure, and the opening degree of the expansion valve 7 is controlled so that the detected value of the second pressure detector 322 becomes the optimum pressure. A more detailed description of the control content of the cooling efficiency control unit 12 will be described later.

温度制御部１３は、前述のように、熱媒体（冷却対象）の温度が目標値となるように、圧縮機５の回転速度を制御する。圧縮機５はインバータ駆動を行う駆動部５１によって駆動されている。温度制御部１３は、駆動部５１の駆動周波数を変更することにより圧縮機５の回転速度を変更することができ、それによって冷却装置１の冷却能力を変更制御している。温度制御部１３は、熱媒体温度検出器２１１，２１２の検出値が所定の目標温度となるように、圧縮機５の回転速度を変更制御する。 As described above, the temperature control unit 13 controls the rotation speed of the compressor 5 so that the temperature of the heat medium (cooling target) becomes the target value. The compressor 5 is driven by a drive unit 51 that performs inverter drive. The temperature control unit 13 can change the rotation speed of the compressor 5 by changing the drive frequency of the drive unit 51, thereby changing and controlling the cooling capacity of the cooling device 1. The temperature control unit 13 changes and controls the rotation speed of the compressor 5 so that the detection values of the heat medium temperature detectors 211 and 212 become a predetermined target temperature.

なお、圧縮機５の回転速度には、前述のように最小回転速度が設定されている。圧縮機５の回転速度がその最小回転速度に達し、冷却能力をなおそれ以下に調整する場合には、圧縮機５の回転速度は最小回転速度に固定して、バイパス路４の流量制御弁９の開度を０以上に調整し、循環路３の低温の冷媒にバイパス路４からの高温の冷媒を混合して熱交換器８に流入させる。これにより、冷却能力をさらに低下させる。 Note that the minimum rotation speed is set as the rotation speed of the compressor 5 as described above. When the rotational speed of the compressor 5 reaches its minimum rotational speed and the cooling capacity is adjusted to be less than feared, the rotational speed of the compressor 5 is fixed to the minimum rotational speed and the flow rate control valve 9 of the bypass passage 4 is fixed. Is adjusted to 0 or more, and the low-temperature refrigerant in the circulation path 3 is mixed with the high-temperature refrigerant from the bypass path 4 and flows into the heat exchanger 8. This further reduces the cooling capacity.

冷却装置１の冷却量をｑ［Ｗ］として、圧縮機５の回転速度が最小回転速度であり、流量制御弁９の開度が０（全閉）である場合の冷却量（冷却下限値）をＱ_Lとする。温度制御部１３は、ｑ＜Ｑ_Lとなる領域では、圧縮機５の回転速度を最小回転速度に固定し、バイパス路４の流量制御弁９の開度を０以上に調整して、熱媒体の温度を目標温度に制御する。また、Ｑ_L≦ｑとなる領域では、流量制御弁９の開度は０に固定し、圧縮機５の回転速度を最小回転速度以上で変更制御して、熱媒体の温度を目標温度に制御する。 The cooling amount (cooling lower limit value) when the cooling amount of the cooling device 1 is q [W], the rotational speed of the compressor 5 is the minimum rotational speed, and the opening degree of the flow control valve 9 is 0 (fully closed). Let Q _L be. In the region where q <Q _L , the temperature control unit 13 fixes the rotational speed of the compressor 5 to the minimum rotational speed, adjusts the opening degree of the flow rate control valve 9 of the bypass passage 4 to 0 or more, and heat medium Is controlled to the target temperature. Further, in the region where Q _L ≦ q, the opening degree of the flow control valve 9 is fixed to 0, and the rotation speed of the compressor 5 is changed and controlled to be equal to or higher than the minimum rotation speed to control the temperature of the heat medium to the target temperature. To do.

温度制御部１３が、圧縮機５の回転速度とバイパス路４の流量制御弁９の開度とを以上のように制御することによって、冷却装置１の冷却量ｑを０Ｗから最大値まで連続的に変更調整することができる。 The temperature control unit 13 continuously controls the cooling amount q of the cooling device 1 from 0 W to the maximum value by controlling the rotation speed of the compressor 5 and the opening degree of the flow rate control valve 9 of the bypass passage 4 as described above. Can be changed and adjusted.

図２は、本発明の冷却装置１の冷凍サイクルを示すｐ−ｈ線図である。ここで、ｐ−ｈ線図とはモリエル線図とも呼ばれ、冷媒の物理的特性を分かりやすく表示したり求めたりするための図表である。図２の縦軸は冷媒の圧力を対数目盛で表示している。横軸は冷媒の比エンタルピーを表している。ここで、比エンタルピーとは、冷媒の単位質量あたりのエンタルピーである。ここで、冷媒は二酸化炭素であり、ｐ−ｈ線図も二酸化炭素の物理的特性を示すものとなっている。 FIG. 2 is a ph diagram showing the refrigeration cycle of the cooling device 1 of the present invention. Here, the ph diagram is also called a Mollier diagram, and is a chart for displaying and determining the physical characteristics of the refrigerant in an easy-to-understand manner. The vertical axis in FIG. 2 represents the refrigerant pressure on a logarithmic scale. The horizontal axis represents the specific enthalpy of the refrigerant. Here, the specific enthalpy is the enthalpy per unit mass of the refrigerant. Here, the refrigerant is carbon dioxide, and the ph diagram also shows the physical characteristics of carbon dioxide.

記号Ｄで表されている点は、圧縮機５の入力側の冷媒の状態を示すものである。冷媒の圧力および温度からｐ−ｈ線図上の位置が求められる。図２には３０℃等温線が点線の曲線で表示されている。図２では省略されているが、ｐ−ｈ線図には多数の異なる温度の等温線が表示されている。また、ｐ−ｈ線図上には任意の温度の等温線を表示することができる。 The point represented by the symbol D indicates the state of the refrigerant on the input side of the compressor 5. The position on the ph diagram is determined from the pressure and temperature of the refrigerant. In FIG. 2, the 30 ° C. isotherm is displayed as a dotted curve. Although omitted in FIG. 2, many isotherms at different temperatures are displayed in the ph diagram. Further, an isotherm at an arbitrary temperature can be displayed on the ph diagram.

つまり、冷媒の圧力検出値を示す水平線と、冷媒の温度検出値に対応する温度の等温線との交点が、その冷媒の状態を示すｐ−ｈ線図上の点となる。すなわち、冷媒の圧力検出値および温度検出値から、ｐ−ｈ線図上でその冷媒の状態を示すＤ点が求められ、さらに、そのＤ点の位置から冷媒が有する比エンタルピーが即座に求められる。また、Ｄ点における冷媒の単位質量のエントロピーも求めることができる。 That is, the intersection of the horizontal line indicating the refrigerant pressure detection value and the temperature isotherm corresponding to the refrigerant temperature detection value is a point on the ph diagram indicating the state of the refrigerant. That is, the point D indicating the state of the refrigerant on the ph diagram is obtained from the detected pressure value and the detected temperature of the refrigerant, and the specific enthalpy of the refrigerant is immediately obtained from the position of the D point. . Moreover, the entropy of the unit mass of the refrigerant at the point D can also be obtained.

記号Ａで表されている点は、圧縮機５の出力側の冷媒の状態を示すものである。圧縮機５における冷媒の圧縮はほぼ断熱圧縮であるとして、冷媒のエントロピーは変化しないものとする。ｐ−ｈ線図には、等温線以外にも等エントロピー線、等比体積線等が多数表示されている。Ａ点の位置を求めるには、Ｄ点を通る等エントロピー線を求めればよい。すなわち、Ｄ点を通り他の等エントロピー線と平行な曲線を描けばその曲線がＤ点を通る等エントロピー線となる。 The point represented by the symbol A indicates the state of the refrigerant on the output side of the compressor 5. It is assumed that the compression of the refrigerant in the compressor 5 is almost adiabatic compression, and the entropy of the refrigerant does not change. In the ph diagram, in addition to the isotherm, many isentropic lines, isospecific volume lines, and the like are displayed. In order to obtain the position of the point A, an isentropic line passing through the point D may be obtained. That is, if a curve passing through point D and parallel to another isentropic line is drawn, the curve becomes an isentropic line passing through point D.

冷凍サイクルの高圧側圧力を記号Ｐ_Hで表すこととし、高圧側圧力Ｐ_Hを圧力Ｐに設定する場合は、圧力Ｐに対応する水平線とＤ点を通る等エントロピー線との交点がＡ点となる。Ａ点の位置での冷媒の比エンタルピーも即座に求められる。 And to represent the high-pressure side pressure of the refrigeration cycle by the symbol P _H, when setting the high-pressure side pressure P _H to the pressure P is the intersection point A of the isentropic line that passes through the horizontal and point D corresponding to the pressure P Become. The specific enthalpy of the refrigerant at the point A is also obtained immediately.

記号Ｂで表されている点は、ガスクーラー６の出力側の冷媒の状態を示すものである。ガスクーラー６の出力側の圧力は入力側と同じであるから、Ｂ点はＡ点を通る水平線上にある。ここでガスクーラー６出力側の冷媒の温度は目標温度３０℃に制御されているものとする。このときＢ点は、Ａ点を通る水平線と３０℃等温線との交点として求めることができる。そしてＢ点の位置での冷媒の比エンタルピーも即座に求められる。 The point represented by the symbol B indicates the state of the refrigerant on the output side of the gas cooler 6. Since the pressure on the output side of the gas cooler 6 is the same as that on the input side, the point B is on a horizontal line passing through the point A. Here, it is assumed that the temperature of the refrigerant on the output side of the gas cooler 6 is controlled to a target temperature of 30 ° C. At this time, the point B can be obtained as an intersection of a horizontal line passing through the point A and a 30 ° C. isotherm. The specific enthalpy of the refrigerant at the position of point B is also immediately obtained.

記号Ｃで表されている点は、膨張弁７の出力側の冷媒の状態を示すものである。膨張弁７では冷媒からのエネルギーの出入りはないため、Ｃ点とＢ点の冷媒の比エンタルピーは等しい。また、Ｃ点の圧力はＤ点の圧力と等しい。したがって、Ｃ点はＢ点と通る鉛直線とＤ点を通る水平線との交点となる。 The point represented by the symbol C indicates the state of the refrigerant on the output side of the expansion valve 7. Since the expansion valve 7 does not allow energy to enter and exit from the refrigerant, the specific enthalpies of the refrigerant at point C and point B are equal. The pressure at point C is equal to the pressure at point D. Therefore, point C is the intersection of a vertical line passing through point B and a horizontal line passing through point D.

Ａ，Ｂ，Ｄ点における冷媒の比エンタルピーをそれぞれＨ_A，Ｈ_B，Ｈ_Dとする。ここで、単位時間あたり質量ｍの冷媒が循環路３を循環するものとすると、熱交換器８で熱媒体を冷却する単位時間あたりの熱量すなわち冷却量Ｑは次式で表される。なお、Ｃ点の冷媒の比エンタルピーはＨ_Bに等しい。 A, B, H, respectively specific enthalpy of the refrigerant at point D _A, H _B, and H _D. Here, assuming that a refrigerant having a mass m per unit time circulates in the circulation path 3, the amount of heat per unit time for cooling the heat medium by the heat exchanger 8, that is, the cooling amount Q is expressed by the following equation. The specific enthalpy of the refrigerant at point C is equal to H _B.

Ｑ＝ｍ（Ｈ_D−Ｈ_B）
また、この質量ｍの冷媒に対して、圧縮機５から与えられる単位時間あたりのエネルギーＷは次式で表される。このＷは圧縮機５の単位時間あたりの消費エネルギー（消費電力）でもある。 Q = m (H _D −H _B )
Further, the energy W per unit time given from the compressor 5 with respect to this mass m of refrigerant is expressed by the following equation. This W is also energy consumption (power consumption) per unit time of the compressor 5.

Ｗ＝ｍ（Ｈ_A−Ｈ_D）
そして、冷却効率をＣＰで表すと、冷却効率ＣＰは次式で求められる。 _{_{W = m (H A -H D}} )
When the cooling efficiency is represented by CP, the cooling efficiency CP can be obtained by the following equation.

ＣＰ＝Ｑ／Ｗ＝（Ｈ_D−Ｈ_B）／（Ｈ_A−Ｈ_D） … 式１
以上をまとめると、Ｄ点における冷媒の温度と圧力から、Ｄ点の比エンタルピーを求めることができ、その結果と高圧側圧力の設定値とからＡ点の比エンタルピーを求めることができる。それらの結果とガスクーラー６出力側の冷媒の目標温度からＢ点の比エンタルピーを求めることができる。それらの比エンタルピーから冷却効率ＣＰを求めることができる。 CP = Q / W = (H _D −H _B ) / (H _A −H _D ) Equation 1
In summary, the specific enthalpy at point D can be obtained from the temperature and pressure of the refrigerant at point D, and the specific enthalpy at point A can be obtained from the result and the set value of the high-pressure side pressure. The specific enthalpy of point B can be obtained from those results and the target temperature of the refrigerant on the gas cooler 6 output side. The cooling efficiency CP can be obtained from the specific enthalpy.

すなわち、ｐ−ｈ線図で代表されるような冷媒（二酸化炭素）の物性値のデータがあれば、Ｄ点における冷媒の温度と圧力、高圧側圧力の設定値、およびガスクーラー６出力側の冷媒の目標温度から冷却効率ＣＰを求めることができる。具体的には、冷却効率制御部１２を構成するコンピュータにｐ−ｈ線図を表現できるような物性値のデータや数式を保存しておき、それらを利用して上述の手順と同様の手順により冷却効率ＣＰを求めることができる。 That is, if there is physical property data of the refrigerant (carbon dioxide) as represented by the ph diagram, the temperature and pressure of the refrigerant at point D, the set value of the high-pressure side pressure, and the output side of the gas cooler 6 The cooling efficiency CP can be obtained from the target temperature of the refrigerant. Specifically, physical property data and mathematical formulas that can express a ph diagram are stored in a computer that constitutes the cooling efficiency control unit 12 and are used in the same procedure as described above. The cooling efficiency CP can be obtained.

Ｄ点における冷媒の温度と圧力は実際の測定値を使用し、ガスクーラー６出力側（Ｂ点）の冷媒の目標温度は定数（例えば、３０℃）であるとしたときに、高圧側圧力の設定値を変数として種々の値に変化させて、冷却効率ＣＰが最大値となるようにすることができる。 The actual temperature is used for the refrigerant temperature and pressure at point D, and the target temperature of the refrigerant on the gas cooler 6 output side (point B) is a constant (for example, 30 ° C.). The set value can be changed to various values as a variable so that the cooling efficiency CP becomes the maximum value.

図２において、高圧側圧力の設定値を圧力Ｐとした場合の点Ａ，Ｂ，Ｃの位置を求める手順を説明した。ここで、高圧側圧力の設定値を圧力Ｐ´（ただし、Ｐ´＞Ｐ）とした場合は、点Ａ，Ｂ，Ｃがそれぞれ点Ａ´，Ｂ´，Ｃ´に移動する。そして、点Ａ´，Ｂ´，Ｃ´に対応する比エンタルピーＨ_A´，Ｈ_B´，Ｈ_D´を求めることができる。この場合も前述の式１において、Ｈ_A，Ｈ_B，Ｈ_Dの値としてＨ_A´，Ｈ_B´，Ｈ_D´を代入すれば冷却効率ＣＰを求めることができる。 In FIG. 2, the procedure for obtaining the positions of points A, B, and C when the set value of the high-pressure side pressure is the pressure P has been described. Here, when the set value of the high-pressure side pressure is set to pressure P ′ (where P ′> P), points A, B, and C move to points A ′, B ′, and C ′, respectively. Then, specific enthalpies H _A ′, H _B ′, and H _D ′ corresponding to the points _A ′, _B ′, and _C ′ can be obtained. In this case as well, the cooling efficiency CP can be obtained by substituting H _A ′, H _B ′, and H _D ′ as the values of H _A , H _B , and H _D in Equation 1 described above.

このように、高圧側圧力Ｐ_Hの設定値を変数として種々の値に変化させて冷却効率ＣＰの値を求め、冷却効率ＣＰが最大値となるような高圧側圧力Ｐ_Hの値を探索して求めることができる。ここで、冷却効率ＣＰが最大値となるような高圧側圧力Ｐ_Hの値を最適圧力Ｐ_maxとする。 Thus, by changing to various values of the set value of the high-pressure side pressure P _H as a variable to seek the value of cooling efficiency CP, the cooling efficiency CP is searched value of the high-pressure side pressure P _H such that the maximum value Can be obtained. Here, the optimum pressure P _max value of the high-pressure side pressure P _H as the cooling efficiency CP becomes the maximum value.

図１における冷却効率制御部１２は、Ｄ点における冷媒の温度と圧力には実際の測定値を代入し、Ｂ点の冷媒の温度は定数を代入し、変数としての高圧側圧力Ｐ_Hの値を種々の値に変化させて、冷却効率ＣＰが最大値となるような高圧側圧力Ｐ_Hの値を探索する。例えば、探索範囲の下限値から上限値まで、Ｐ_Hの値を微少量ずつ順次増加させて冷却効率ＣＰを求めていき、その中から冷却効率ＣＰが最大となるＰ_Hの値を最適圧力Ｐ_maxとすればよい。 Cooling efficiency control unit 12 in FIG. 1, substitutes the actual measurements of the temperature and pressure of the refrigerant in the point D, the temperature of the coolant at the point B by substituting the constant, the value of the high side pressure P _H as a variable the varied to various values, the cooling efficiency CP is to explore the value of the high side pressure P _H as the maximum value. For example, from the lower limit to the upper limit of the search range, P values of _H sequentially in increments fine small amount will seek cooling efficiency CP, the optimum pressure P the value of P _H in the cooling efficiency CP from its maximized It should be _max .

また、冷却効率が探索範囲において単一の極大値を持つことが保証されている場合は、公知の黄金分割探索のアルゴリズムが使用でき、効率的に最適圧力Ｐ_maxを求めることができる。なお、このように最適圧力Ｐ_maxをその都度リアルタイムで求めることもできるが、予めＤ点における冷媒の温度と圧力、Ｂ点の冷媒の温度に対して、それらの値に対応する最適圧力Ｐ_maxを求めておき、それを数表（数値テーブル）として記憶しておいても良い。 When the cooling efficiency is guaranteed to have a single maximum value in the search range, a known golden section search algorithm can be used, and the optimum pressure _Pmax can be obtained efficiently. Although this way the optimum pressure P _max can be determined each time in real time, the optimal pressure P _max in advance temperature and pressure of the refrigerant in the point D, with respect to the temperature of the refrigerant at point B, corresponding to these values May be obtained and stored as a numerical table.

例えば、Ｂ点の冷媒温度は定数として、適切な数値間隔のＤ点の冷媒温度の数列とＤ点の冷媒圧力の数列に対して、それらの値に対応する最適圧力Ｐ_maxを求めて、それを数値テーブルとして保存しておく。冷却効率制御部１２はその数値テーブルと、Ｄ点における実際の測定値から、公知の補間処理によって実際の測定値に対応する最適圧力Ｐ_maxを求めることができる。 For example, assuming that the refrigerant temperature at point B is a constant, the optimum pressure P _max corresponding to these values is obtained for a series of refrigerant temperature at point D and a series of refrigerant pressure at point D at appropriate numerical intervals. Is saved as a numeric table. The cooling efficiency control unit 12 can obtain the optimum pressure P _max corresponding to the actual measurement value by a known interpolation process from the numerical table and the actual measurement value at the point D.

冷却効率制御部１２は、以上のようにして最適圧力Ｐ_maxを求めると、第２圧力検出器３２２の検出値がその最適圧力Ｐ_maxとなるように膨張弁７の開度を変更制御する。すなわち、圧力検出値が最適圧力Ｐ_maxよりも大きければ膨張弁７の開度を増加させてＢ点の圧力を低下させるようにし、圧力検出値が最適圧力Ｐ_maxよりも小さければ膨張弁７の開度を減少させてＢ点の圧力を上昇させるようにフィードバック制御を行う。 When the cooling efficiency control unit 12 obtains the optimum pressure P _max as described above, the cooling efficiency control unit 12 changes and controls the opening degree of the expansion valve 7 so that the detected value of the second pressure detector 322 becomes the optimum pressure P _max . That is, if the detected pressure value is larger than the optimum pressure P _max , the opening degree of the expansion valve 7 is increased to decrease the pressure at the point B, and if the detected pressure value is smaller than the optimum pressure P _max , Feedback control is performed so as to increase the pressure at point B by decreasing the opening.

なお、膨張弁７の開度を変更すると、Ｂ点の冷媒圧力が変化するだけでなく、冷却装置１の冷却能力も変化する。この冷却能力の変化は温度制御部１３による熱媒体の温度制御にも影響を与えてしまう。そこで、冷却効率制御部１２によるフィードバック制御の制御ゲインを温度制御部１３によるフィードバック制御の制御ゲインよりも適宜量だけ小さくしておく。これにより、温度制御部１３による熱媒体の温度制御の応答速度の方が速くなり制御結果も優先されることになる。具体的には、熱媒体の温度制御が安定した後に、これに比べてゆっくりと冷却効率の制御が安定することになる。 When the opening degree of the expansion valve 7 is changed, not only the refrigerant pressure at the point B changes, but also the cooling capacity of the cooling device 1 changes. This change in the cooling capacity also affects the temperature control of the heat medium by the temperature control unit 13. Therefore, the control gain of the feedback control by the cooling efficiency control unit 12 is set to be appropriately smaller than the control gain of the feedback control by the temperature control unit 13. Thereby, the response speed of the temperature control of the heat medium by the temperature control unit 13 is faster, and the control result is also given priority. Specifically, after the temperature control of the heat medium is stabilized, the control of the cooling efficiency is stabilized more slowly than this.

このように、冷却効率制御部１２がＤ点における冷媒の温度と圧力、Ｂ点の冷媒の目標温度に応じて、高圧側圧力Ｐ_Hの最適値である最適圧力Ｐ_maxを求めて、高圧側圧力Ｐ_Hがその最適圧力Ｐ_maxとなるように制御を行うため、Ｄ点における冷媒の温度と圧力がどのような状態であっても、冷却効率ＣＰをその状態における最大値に持って行くことができる。このため、制御条件や制御状態が変化しても冷却効率ＣＰを常に最大にすることができ、従来の冷却装置よりも冷却効率を大幅に向上させることができる。 Thus, the temperature and pressure of the refrigerant cooling efficiency control unit 12 at point D, in accordance with a target temperature of the refrigerant at the point B, and determine the optimum pressure P _max is the optimum value of the high-pressure side pressure P _H, the high pressure side for performing control such that the pressure P _H is the optimum pressure P _max, whatever the conditions temperature and pressure of the refrigerant in the point D, that bring the cooling efficiency CP to the maximum value in that state Can do. For this reason, the cooling efficiency CP can always be maximized even if the control conditions and the control state change, and the cooling efficiency can be greatly improved as compared with the conventional cooling device.

また、冷却効率制御部１２は現在の冷却効率を表示部（図示せず）に表示する。現在の条件における最大化された冷却効率は既に求められているので、その冷却効率を表示することができる。しかし、この最大値としての冷却効率は実際の冷却効率としては誤差を含む可能性がある。図２において、Ａ点を求める際にＤ点を通る等エントロピー線を利用している。ところが実際の圧縮機５による圧縮過程では等エントロピー線からのずれを生じてしまう。そのずれが冷却効率の誤差となって現れてしまう。 Moreover, the cooling efficiency control part 12 displays the present cooling efficiency on a display part (not shown). Since the maximized cooling efficiency under the current conditions has already been determined, the cooling efficiency can be displayed. However, the cooling efficiency as the maximum value may include an error as the actual cooling efficiency. In FIG. 2, an isentropic line passing through the point D is used when obtaining the point A. However, the actual compression process by the compressor 5 causes a deviation from the isentropic line. The deviation appears as an error in cooling efficiency.

そこで、本発明ではＡ点（圧縮機５出力側）における冷媒の温度を検出する第３温度検出器３１３を配置する。その第３温度検出器３１３によって検出された冷媒の実際の温度と、第２圧力検出器３２２によって検出された冷媒の実際の圧力から、Ａ点での冷媒の実際の比エンタルピーＨ_Aを求めることができる。これは前述のようにｐ−ｈ線図のような物性値を利用して求めることができる。 Therefore, in the present invention, a third temperature detector 313 for detecting the refrigerant temperature at point A (compressor 5 output side) is disposed. The actual specific enthalpy H _A of the refrigerant at point A is obtained from the actual temperature of the refrigerant detected by the third temperature detector 313 and the actual pressure of the refrigerant detected by the second pressure detector 322. Can do. As described above, this can be obtained using physical property values such as a ph diagram.

冷却効率ＣＰを計算するための前述の式１において、比エンタルピーＨ_Aとして上記の実際の比エンタルピーを代入することによってより正確な冷却効率ＣＰを求めることができる。そして、その正確な冷却効率ＣＰを表示部に表示することができる。 In the above-described Equation 1 for calculating the cooling efficiency CP, the more accurate cooling efficiency CP can be obtained by substituting the actual specific enthalpy as the specific enthalpy _HA . And the exact cooling efficiency CP can be displayed on a display part.

以上のような本発明の冷却装置１により、二酸化炭素冷媒を使用していながら、冷却効率を従来よりも大幅に向上させることができる。また、二酸化炭素冷媒を使用する冷却装置であって、冷却能力を０Ｗから最大値まで高精度に連続的に変更制御できる冷却装置が実現できる。これによって、地球環境への影響が少なく、冷却効率の点でも優れた理想的な冷却装置の実現が可能となる。 With the cooling device 1 of the present invention as described above, the cooling efficiency can be greatly improved as compared with the prior art while using the carbon dioxide refrigerant. Moreover, it is a cooling device using a carbon dioxide refrigerant, and a cooling device capable of continuously changing and controlling the cooling capacity from 0 W to the maximum value with high accuracy can be realized. This makes it possible to realize an ideal cooling device that has little influence on the global environment and is excellent in terms of cooling efficiency.

本発明によれば、二酸化炭素冷媒を使用する冷却装置の冷却効率を従来よりも大幅に向上させ、地球環境への影響が少なく、冷却効率の点でも優れた理想的な冷却装置の実現が可能となる。 According to the present invention, the cooling efficiency of a cooling device using a carbon dioxide refrigerant is greatly improved compared to the conventional one, and it is possible to realize an ideal cooling device that has less influence on the global environment and is excellent in terms of cooling efficiency. It becomes.

１冷却装置
２熱媒体流通路
３循環路
４バイパス路
５圧縮機
６ガスクーラー
７膨張弁
８熱交換器
９流量制御弁
１０制御部
１１冷媒温度制御部
１２冷却効率制御部
１３温度制御部
２２ポンプ
３０目標温度
５１駆動部
６１流量制御弁
２１１，２１２熱媒体温度検出器
３１１第１温度検出器
３１２第２温度検出器
３１３第３温度検出器
３２１第１圧力検出器
３２２第２圧力検出器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cooling device 2 Heat medium flow path 3 Circulation path 4 Bypass path 5 Compressor 6 Gas cooler 7 Expansion valve 8 Heat exchanger 9 Flow rate control valve 10 Control part 11 Refrigerant temperature control part 12 Cooling efficiency control part 13 Temperature control part 22 Pump 30 target temperature 51 drive unit 61 flow control valve 211, 212 heat medium temperature detector 311 first temperature detector 312 second temperature detector 313 third temperature detector 321 first pressure detector 322 second pressure detector

Claims

A compressor (5) for compressing a refrigerant composed of carbon dioxide;
A gas cooler (6) for cooling the refrigerant compressed by the compressor (5) with a cooling fluid;
An expansion valve (7) for constricting and expanding the refrigerant output from the gas cooler (6);
A heat exchanger (8) disposed so as to exchange heat between the refrigerant whose temperature has decreased by passing through the expansion valve (7) and the object to be cooled, and to return the refrigerant after the heat exchange to the compressor (5). When,
A circulation path (3) for connecting the compressor (5), the gas cooler (6), the expansion valve (7), and the heat exchanger (8) in a ring and circulating the refrigerant;
A first temperature detector (311) for detecting the temperature of the refrigerant on the input side of the compressor (5);
A first pressure detector (321) for detecting the pressure of refrigerant on the input side of the compressor (5);
A second pressure detector (322) that detects a high-pressure side pressure that is the pressure of the refrigerant output from the compressor (5);
A second temperature detector (312) for detecting the temperature of the refrigerant output from the gas cooler (6);
A refrigerant temperature control section (11) for controlling the flow rate of the cooling fluid so that the temperature of the refrigerant output from the gas cooler (6) becomes a predetermined target temperature;
The pressure on the high pressure side of the refrigerant that maximizes the cooling efficiency is optimized according to the detection value of the first temperature detector (311), the detection value of the first pressure detector (321), and the target temperature of the refrigerant. A cooling efficiency control unit (12) that controls the opening of the expansion valve (7) so that the detected value of the second pressure detector (322) becomes the optimum pressure,
A cooling device comprising: a temperature control unit (13) that controls a rotational speed of the compressor (5) so that the temperature of the cooling target becomes a target value.

The cooling device according to claim 1,
The cooling efficiency control unit (12) is based on the detection value of the first temperature detector (311), the detection value of the first pressure detector (321), the target temperature of the refrigerant, and the physical property value of the refrigerant, A cooling device that obtains the cooling efficiency when an arbitrary value is assumed as the high-pressure side pressure of the refrigerant and searches for the optimum pressure that is the high-pressure side pressure of the refrigerant that maximizes the cooling efficiency.

The cooling device according to claim 2,
A third temperature detector (313) for detecting the temperature of the refrigerant output from the compressor (5);
The cooling efficiency control unit (12) controls the actual cooling efficiency when the high-pressure side pressure of the refrigerant is controlled to the optimum pressure obtained by the cooling efficiency control unit (12) by using the third temperature detector ( 313), the detected value of the second pressure detector (322) and the physical property value of the refrigerant.

The cooling device according to any one of claims 1 to 3,
A bypass path (4) for bypassing the gas cooler (6) and the expansion valve (7) with a part of the refrigerant output from the compressor (5) to the input side of the compressor (5);
A flow control valve (9) for changing and controlling the flow rate of the refrigerant passing through the bypass passage (4),
The said temperature control part (10) is a cooling device which controls the rotational speed of the said compressor (5), and controls the flow volume of the refrigerant | coolant which passes the said bypass path (4).

The cooling device according to claim 4,
The said bypass path (4) is a cooling device which connects the output side circulation path of the said compressor (5), and the input side circulation path of the said heat exchanger (8).