JP6590234B1 - SiC膜構造体およびSiC膜構造体の製造方法 - Google Patents
SiC膜構造体およびSiC膜構造体の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
そこで本発明では、上記問題を解決し、封止構造とすることのできるSiC膜構造体、およびこのような効果を奏するSiC膜構造体の製造方法を提供することを目的とする。
本実施形態に係るSiC膜構造体10は、図1に示すように、本体12と蓋体14、およびSiCコート層16を基本として構成されている。本体12は、立体形状を成す中空部材であり、少なくとも一部に開口部12aを備えている。開口部12aは、中空部12bに連通するように設けられている。なお、本体12は、SiC(炭化ケイ素)膜により構成されている。
次に、図2を参照して、本実施形態に係るSiC膜構造体10の製造方法について説明する。まず、図2(A)に示すように、立体形状を有する基材50を形成する。基材50の形状については特に限定するものではない。なお、図2(A)に示す例では、説明を容易化するために直方体型として示している。基材50の構成部材としては、グラファイトやシリコン等、加熱や薬品により、比較的容易に除去することのできる材質とすることが望ましい。本実施形態においては、基材50の構成部材として、グラファイトを採用することとしている。高温酸化雰囲気中における加熱により、焼失させることが可能だからである。なお、基材50には、少なくとも一部に、開口部12aを構成するためのマスキング52を施すようにする。
上記実施形態では、本体12の開口部12aを蓋体14により封止する際、SiCコート層16は、蓋体14の全体を覆うように形成していた。しかしながら、SiCコート層16は、本体12と蓋体14の外縁部との接触箇所を覆う構成とすれば良い。すなわち、図3に示すように、蓋体14の中心付近にはSiCコート層16を設けることなく、外周上にSiCコート層16を配するようにしても良い。このような構成とした場合でも、本体12の開口部12aを封止する構成に変わりないからである。
Claims (6)
- 気相成長型の成膜法により基材の外周にSiC膜を形成し、前記基材を除去することでSiC膜による立体形状を得るSiC膜構造体であって、
SiC膜により構成された立体形状を有すると共に、前記基材を除去するために基材の一部を露出させる開口部を備えた本体と、
前記開口部を覆い、前記SiC膜構造体を密閉された封止構造とするための蓋体と、を備えたことを特徴とするSiC膜構造体。 - 前記蓋体をSiC膜により構成したことを特徴とする請求項1に記載のSiC膜構造体。
- 前記蓋体は、前記開口部に嵌合するボス部と、前記ボス部の外周に張り出して前記開口部を覆うフランジ部とを有することを特徴とする請求項1または2に記載のSiC膜構造体。
- 気相成長型の成膜法により基材の外周にSiC膜を形成し、前記基材を除去することでSiC膜による立体形状を得るSiC膜構造体の製造方法であって、
前記基材の一部を露出させた状態で、当該基材の外周にSiC膜を形成する膜形成工程と、
前記膜形成工程の後、前記基材を除去する基材除去工程と、
基材を除去した前記SiC膜の開口部を蓋体で塞ぎ、前記SiC膜構造体を密閉された封止構造とする封止工程と、を含むことを特徴とするSiC膜構造体の製造方法。 - 前記封止工程には、前記蓋体と前記SiC膜との接触箇所を新たなSiC膜により覆う工程を含むことを特徴とする請求項4に記載のSiC膜構造体の製造方法。
- 前記SiC膜と前記蓋体との間に加熱により焼失するスペーサを介在させた状態で前記封止工程を行うことを特徴とする請求項5に記載のSiC膜構造体の製造方法。
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