JP6581940B2 - 電子顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施例に係る走査電子顕微鏡100の構成図の例である。
走査電子顕微鏡100は、撮像部101、全体制御部102、信号処理部103、入出力部104および記憶部105を備えている。
つぎに、検出器1:119の画像信号強度に対する検出器2:121の画像信号強度の比Rを画素ごとに算出し、比R画像を生成する(S302)。
検出器1の撮像画像602や撮像画像の一部である信号波形603のほかに、比Rの波形604および得られたパターンの段差の判定結果605を表示する。ただし、撮像画像602は検出器2の画像であってもよく、検出器1と2との混合画像であってもよい。
つぎに、検出器1:119の画像信号に対する検出器2:121の画像信号の比Rを画素ごとに算出し、比R画像を生成する(S802)。
つぎに、取得画像における、深さ評価対象の段差パターンの溝部の中心座標を求める(S1102)。
つぎに、中心座標における検出器1の信号に対する検出器2の信号の比Rx_evを算出する(S1103)。
撮像画像1402や撮像画像の一部である信号波形1403のほかに、比R波形1404や段差パターンの溝部中心座標における検出器1の信号に対する検出器2の信号の比Rx_ev1302を表示する。また、開口角qx_evを求めるために必要なデータベース1405を読み込むためのGUI1401を有し、読み込まれたデータベース1405を表示する。
基本的な構成は実施例1で図1を用いて説明した走査電子顕微鏡100の構成と同じだが、検出絞りが二段構成となっており、検出絞り1:116に対して試料112の側に検出絞り2:126と検出器3:128とが追加されている。このような構成で、二次電子アライナ115を通過した二次電子114が検出絞り2:126に衝突し、発生した三次電子127を検出器3:128で検出される。
つぎに、検出器の組合せをかえて、検出器間の画像信号の比を算出する(S2202)。
つづけて、比の変化量が最大となる組合せを、最適な組み合わせとして選択する(S2203)。
Claims (10)
- 1次電子線を照射する線源と、
測定対象へ前記1次電子線を照射することによって前記測定対象から発生する2次電子を検出する検出部と、
前記検出部で検出した信号を処理する処理部とを有し、
前記検出部は、
前記測定対象に照射する1次電子線の光軸方向と前記2次電子の前記測定対象からの放出方向とのなす角が所定値以下の2次電子を検出する第1検出部と、
前記測定対象に照射する1次電子線の光軸方向と前記2次電子の前記測定対象からの放出方向とのなす角が所定値より大きい2次電子を検出する第2検出部と、
を備え、
前記処理部は、前記第1検出部と前記第2検出部が出力する信号の比を求めて前記求めた比に関する情報を用いて前記測定対象に形成されたパターンの段差の情報を取得することを特徴とする電子顕微鏡装置。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡装置であって、前記処理部は、前記第1検出部で前記2次電子を検出して得た信号の信号極大領域を抽出し、前記抽出した信号極大領域における前記第1検出部で前記2次電子を検出して得た信号と前記第2検出部で前記2次電子を検出して得た信号の比の情報を用いて前記パターンの段差を判定することを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項2に記載の電子顕微鏡装置であって、前記処理部は、前記抽出した信号極大領域における前記第1検出部で前記2次電子を検出して得た信号と前記第2検出部で前記2次電子を検出して得た信号の比の増減傾向から予め設定した判定条件に基づいて前記パターンの段差を判定することを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項1に記載の電子顕微鏡装置であって、画面を有する出力部を更に備え、前記検出部で前記測定対象から発生する2次電子を検出して得た画像と、前記処理部で取得した前記測定対象に形成されたパターンの段差の情報とを前記画面上に表示することを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項1に記載の電子顕微鏡装置であって、前記第1検出部で前記2次電子を検出して得た信号と前記第2検出部で前記2次電子を検出して得た信号の比の情報と前記パターンの段差の溝部の開口角の関係を記憶しておく記憶部を更に備え、前記処理部で求めた比の情報を用いて前記記憶部に記憶しておいた前記比の情報と前記パターンの段差の溝部の開口角の関係に基づいて前記パターンの段差の溝の深さを求めることを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 1次電子線を照射する線源と、
測定対象へ前記1次電子線を照射することによって前記測定対象から発生する2次電子を検出する検出部と、
前記検出部で検出した信号を処理する処理部とを有し、
前記検出部は、
前記測定対象から発生する2次電子を検出する第1検出部と、
前記線源に対して前記第1検出部よりも前記測定対象の側に配置された第2検出部と、
を備え、
前記処理部は、前記第1検出部と前記第2検出部が出力する信号の比を求め、前記求めた比に関する情報を用いて前記測定対象に形成されたパターンの段差に関する情報を取得することを特徴とする電子顕微鏡装置。 - 請求項6に記載の電子顕微鏡装置であって、前記処理部は、前記第1検出部と前記第2検出部が出力する信号から前記測定対象に形成されたパターンの溝部の中心座標を求め、前記求めた中心座標における前記第1検出部と前記第2検出部が出力する信号の比を求めることを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項7に記載の電子顕微鏡装置であって、前記第1検出部で前記2次電子を検出して得た信号と前記第2検出部で前記2次電子を検出して得た信号の比の情報と前記パターンの段差の溝部の開口角の関係を記憶しておく記憶部を更に備え、前記処理部は、前記求めた中心座標における前記第1検出部と前記第2検出部が出力する信号の比の情報を用いて前記記憶部に記憶しておいた前記比の情報と前記パターンの段差の溝部の開口角の関係から前記測定対象に形成されたパターンの段差の開口角を求めることを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項8に記載の電子顕微鏡装置であって、前記処理部は、前記第1検出部が出力する信号から前記測定対象に形成されたパターンの溝部の幅を求め、前記求めたパターンの溝部の幅の情報と前記測定対象に形成されたパターンの段差の開口角の情報を用いて前記測定対象に形成されたパターンの段差に関する情報を取得することを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項6に記載の電子顕微鏡装置であって、画面を有する出力部を更に備え、前記検出部で前記測定対象から発生する2次電子を検出して得た画像と、前記処理部で取得した前記測定対象に形成されたパターンの段差の情報とを前記画面上に表示することを特徴とする電子顕微鏡装置。
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