JP6572466B2

JP6572466B2 - Substrate storage container

Info

Publication number: JP6572466B2
Application number: JP2016106245A
Authority: JP
Inventors: 和正大貫; 瞬山川
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2016-05-27
Filing date: 2016-05-27
Publication date: 2019-09-11
Anticipated expiration: 2036-05-27
Also published as: JP2017212392A

Description

本発明は、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。 The present invention relates to a substrate storage container for storing a substrate such as a semiconductor wafer.

従来、半導体の製造工程において、工場間・工程間の搬送や保管のために、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器が使用されている。 Conventionally, in a semiconductor manufacturing process, a substrate storage container for storing a substrate such as a semiconductor wafer has been used for transportation and storage between factories and between processes.

この種の基板収納容器として、開口を有する容器本体と、この容器本体の開口に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構と、容器本体と蓋体との間に介在してシールする弾性変形可能なガスケットと、を備えるものが知られている（特許文献１参照）。 As this type of substrate storage container, a container body having an opening, a lid body detachably fitted to the opening of the container body, a locking mechanism for locking the lid body fitted to the container body, a container body, An elastically deformable gasket that is interposed between and sealed with a lid is known (see Patent Document 1).

特開２０１２−１８２３０４号公報JP 2012-182304 A

これらの基板収納容器から基板を取出す場合は蓋体を開放するが、このとき開口がガスケットによりシールされているため、瞬間的に基板収納容器の内部空間が減圧状態となる。 When the substrate is taken out from these substrate storage containers, the lid is opened. At this time, since the opening is sealed by the gasket, the internal space of the substrate storage container is instantaneously decompressed.

しかしながら、従来のガスケットは、シールリップの肉厚が全て均等な厚さに形成されているため、外部空間との差圧により空気が流入しようとすると、ガスケットの一部のシールリップが変形し、そこから空気が流入するため、その一部のシールリップが振動され共鳴することで、不快音が発生していた。 However, in the conventional gasket, since the thickness of the seal lip is all uniform, when the air tries to flow in due to the differential pressure with the external space, a part of the seal lip of the gasket is deformed, Since air flows in from there, a part of the sealing lip vibrates and resonates, and an unpleasant noise is generated.

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、蓋体を開放するときに、不快音が発生しない基板収納容器を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a substrate storage container that does not generate unpleasant noise when the lid is opened.

（１）本発明に係る一つの態様は、開口を有し基板を収納する容器本体と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の外周部に設けられ、前記容器本体を密封するシール部材と、を備える基板収納容器において、前記シール部材は、直線部における前記シール部材のバネ定数を、コーナー部における前記シール部材のバネ定数より大きくすること。 (1) One aspect according to the present invention is a container body having an opening for storing a substrate, a lid body for closing the opening, and a seal provided on an outer peripheral portion of the lid body for sealing the container body. In the substrate storage container comprising the member, the seal member has a spring constant of the seal member at the straight portion larger than a spring constant of the seal member at the corner portion.

（２）上記（１）の態様において、前記シール部材は、前記直線部における前記シール部材のバネ定数を、前記コーナー部における前記シール部材のバネ定数の１．２倍から２．５倍以内としてもよい。 (2) In the aspect of the above (1), the seal member has a spring constant of the seal member in the linear portion within 1.2 to 2.5 times the spring constant of the seal member in the corner portion. Also good.

（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記シール部材は、シールリップの先端部から前記シールリップの根元部までの距離の１／３から１／２までの範囲を、均等な厚さに、残りの範囲を、前記根元部に向けて徐々に肉厚化し、前記根元部の肉厚を、前記先端部の肉厚の１．５倍から３倍以内としてもよい。 (3) In the aspect of the above (1) or (2), the seal member has a uniform range from 1/3 to 1/2 of the distance from the tip end portion of the seal lip to the root portion of the seal lip. The remaining range of the thickness may be gradually increased toward the root portion, and the thickness of the root portion may be within 1.5 to 3 times the thickness of the tip portion.

（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記シール部材は、シールリップの厚さを前記コーナー部から前記直線部にかけて徐々に厚くする徐変領域を有してもよい。 (4) In any one of the above aspects (1) to (3), the seal member has a gradually changing region in which the thickness of the seal lip is gradually increased from the corner portion to the linear portion. Also good.

（５）上記（４）の態様において、前記徐変領域は、前記コーナー部の末端から１０ｍｍの範囲としてもよい。 (5) In the above aspect (4), the gradual change region may have a range of 10 mm from the end of the corner portion.

本発明によれば、蓋体を開放するときに、不快音が発生しない基板収納容器を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when opening a cover body, the board | substrate storage container which does not generate | occur | produce an unpleasant sound can be provided.

本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the substrate storage container 1 which concerns on embodiment of this invention. 図１のＡ−Ａ線で切断した容器本体２と蓋体３との密封状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the sealing state of the container main body 2 and the cover body 3 cut | disconnected by the AA line of FIG. 容器本体２と蓋体３との密封状態を開放した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which open | released the sealing state of the container main body 2 and the cover body 3. FIG. ガスケット４を示すシール側の平面図である。3 is a plan view of a seal side showing a gasket 4. FIG. ガスケット４を示す反シール側の平面図である。FIG. 6 is a plan view on the side opposite to the seal showing the gasket 4. ガスケット４のコーナー部を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the corner part of the gasket 4. FIG. 図４のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected by the BB line of FIG. 図４のＣ−Ｃ線で切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected by the CC line | wire of FIG. 図４のＤ−Ｄ線で切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected by the DD line | wire of FIG.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments of the present specification, the same members are denoted by the same reference numerals throughout.

図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図である。
図１に示される基板収納容器１は、図示されない複数の基板を収納可能なものであり、容器本体２と、蓋体３とを備える。 FIG. 1 is a perspective view showing a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
A substrate storage container 1 shown in FIG. 1 is capable of storing a plurality of substrates (not shown), and includes a container body 2 and a lid 3.

容器本体２は、前面などの一方の開口（図示せず）と、天井面２ａと、背面（図示せず）と、左右の側面２ｃと、底面（図示せず）とを有する略立方体のもので、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものである。 The container body 2 has a substantially cubic shape having one opening (not shown) such as a front surface, a ceiling surface 2a, a back surface (not shown), left and right side surfaces 2c, and a bottom surface (not shown). The so-called front open box type.

容器本体２及び後述する蓋体３は、樹脂材料を用いた射出成形などにより形成される。樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの従来公知の合成樹脂やこれらのアロイ樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与したものを用いてもよい。 The container main body 2 and the lid 3 described later are formed by injection molding using a resin material. Examples of the resin material include conventionally known synthetic resins such as polycarbonate, polyether ether ketone, polyether imide, polybutylene terephthalate, polyacetal, liquid crystal polymer, and cycloolefin polymer, and alloy resins thereof. Moreover, you may use what added carbon powder, carbon fiber, a carbon nanotube, etc. to these resin, and provided electroconductivity.

一方、蓋体３は、容器本体２の開口をシール可能な外形形状及び寸法で形成されるもので、開口（図示せず）を有する筐体３ａと、筐体３ａの開口を覆うカバープレート３ｂとを有する。 On the other hand, the lid body 3 is formed with an outer shape and dimensions capable of sealing the opening of the container body 2, and includes a housing 3a having an opening (not shown) and a cover plate 3b covering the opening of the housing 3a. And have.

筐体３ａは、一方に開口を有し、他方が容器本体２の開口と対向する略直方体の箱状である。筐体３ａの側壁の外周部には、後述するガスケット４が取付けられている（図２Ａ参照）。 The housing 3 a has a substantially rectangular parallelepiped box shape having an opening on one side and the other facing the opening of the container body 2. A gasket 4 described later is attached to the outer peripheral portion of the side wall of the housing 3a (see FIG. 2A).

カバープレート３ｂは、筐体３ａの開口を覆うものであり、ネジなどで筐体３ａに固定される。 The cover plate 3b covers the opening of the housing 3a and is fixed to the housing 3a with screws or the like.

なお、蓋体３は、容器本体２を密封した状態で、蓋体３を容器本体２に固定するラッチ機構（図示なし）を備える。ラッチ機構は、蓋体３の内外に出没可能なもので、上下の２辺にそれぞれ２箇所設けられる。 The lid 3 includes a latch mechanism (not shown) that fixes the lid 3 to the container body 2 in a state where the container body 2 is sealed. The latch mechanism can move in and out of the lid 3 and is provided at two locations on the upper and lower sides.

ところで、容器本体２又は蓋体３の少なくとも一方は、基板収納容器１の内部空間と外部空間とを連通し、フィルタを有する内圧調整機構５を備える。この内圧調整機構５は、基板収納容器１が航空機で輸送されたりや工程ベイ内で高速輸送されたりする場合に、内部空間と外部空間との圧力差を解消するためのものである。 By the way, at least one of the container body 2 or the lid 3 includes an internal pressure adjusting mechanism 5 that communicates the internal space and the external space of the substrate storage container 1 and includes a filter. The internal pressure adjusting mechanism 5 is for eliminating a pressure difference between the internal space and the external space when the substrate storage container 1 is transported by aircraft or transported at high speed in the process bay.

ガスケット４について説明する。図２Ａは、図１のＡ−Ａ線で切断した容器本体２と蓋体３との密封状態を示す断面図であり、図２Ｂは、容器本体２と蓋体３との密封状態を開放した状態を示す断面図であり、図３Ａは、ガスケット４を示すシール側の平面図であり、図３Ｂは、ガスケット４を示す反シール側の平面図であり、図４は、ガスケット４のコーナー部を示す拡大図であり、図５は、図４のＢ−Ｂ線で切断した断面図であり、図６は、図４のＣ−Ｃ線で切断した断面図であり、図７は、図４のＤ−Ｄ線で切断した断面図である。 The gasket 4 will be described. 2A is a cross-sectional view showing a sealed state of the container body 2 and the lid body 3 cut along the line AA in FIG. 1, and FIG. 2B is a diagram showing the sealed state of the container body 2 and the lid body 3 opened. FIG. 3A is a plan view of the seal side showing the gasket 4, FIG. 3B is a plan view of the anti-seal side showing the gasket 4, and FIG. 4 is a corner portion of the gasket 4. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 4, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 4, and FIG. It is sectional drawing cut | disconnected by the DD line of 4. FIG.

ガスケット４は、シール部材であって、容器本体２の開口の周縁と蓋体３との間に挟み込まれ、密封状態にするものである（図２Ａ，２Ｂ参照）。このガスケット４は、例えば耐熱性や耐候性に優れるポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系、シリコーン系のエラストマーなどで形成されている。 The gasket 4 is a sealing member, and is sandwiched between the peripheral edge of the opening of the container main body 2 and the lid body 3 so as to be sealed (see FIGS. 2A and 2B). The gasket 4 is formed of, for example, a polyester-based, polystyrene-based, polyolefin-based, or silicone-based elastomer having excellent heat resistance and weather resistance.

ガスケット４の形状について説明すると、ガスケット４は、略矩形枠体で（図３Ａ，３Ｂ参照）、２つの第１の直線部Ｌ１と、２つの第２の直線部Ｌ２と、４つコーナー部Ｒ１と、８つの徐変領域Ｌ３とで構成されている（図４も参照）。 The shape of the gasket 4 will be described. The gasket 4 is a substantially rectangular frame (see FIGS. 3A and 3B), two first straight portions L1, two second straight portions L2, and four corner portions R1. And eight gradually changing regions L3 (see also FIG. 4).

また、ガスケット４の断面形状について説明すると、ガスケット４は、本体４０と、本体４０から外方に延びるシールリップ４１及びリブ４２とを備える（図５−７参照）。 Moreover, the cross-sectional shape of the gasket 4 will be described. The gasket 4 includes a main body 40, and a seal lip 41 and a rib 42 extending outward from the main body 40 (see FIGS. 5-7).

シールリップ４１は、容器本体２の開口の周縁に接触し、密封するもので、斜め外方に突出して形成されている。一方、リブ４２は、ガスケット４が筐体３ａの側壁の外周部に取付けられたときの位置ズレを防止するもので、側方に突出する複数の凸条として形成されている。 The seal lip 41 contacts and seals the periphery of the opening of the container body 2 and is formed to protrude obliquely outward. On the other hand, the rib 42 prevents positional displacement when the gasket 4 is attached to the outer peripheral portion of the side wall of the housing 3a, and is formed as a plurality of ridges protruding sideways.

ここで、コーナー部Ｒ１おけるシールリップ４１は、図５に示されるように、先端部４１ａと、先端部４１ａに続く中間部４１ｂと、根元部４１ｃとで形成されている。先端部４１ａは、シールリップ４１の先端から根元までの距離（シールリップ４１の全長）の１／３から１／２までの範囲であり、残りの範囲が中間部４１ｂとなる。なお、直径４５０ｍｍのウェハを収納する基板収納容器１のサイズであれば、先端部４１ａは、１／３の範囲でよい。 Here, as shown in FIG. 5, the seal lip 41 in the corner portion R1 is formed of a tip portion 41a, an intermediate portion 41b following the tip portion 41a, and a root portion 41c. The distal end portion 41a is a range from 1/3 to 1/2 of the distance from the distal end of the seal lip 41 to the base (the entire length of the seal lip 41), and the remaining range is the intermediate portion 41b. If the size of the substrate storage container 1 that stores a wafer having a diameter of 450 mm is used, the tip end portion 41a may be in the range of 1/3.

コーナー部Ｒ１では、先端部４１ａ、中間部４１ｂ及び根元部４１ｃの肉厚Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃは、全て均等な厚さである。コーナー部Ｒ１でのシールリップ４１は、コーナーに沿う屈曲によって、全体として剛性が他の部分より増大しているため、空気が流入する起点とはならない。 In the corner portion R1, the thicknesses Ta, Tb, and Tc of the tip portion 41a, the intermediate portion 41b, and the root portion 41c are all equal. The seal lip 41 at the corner portion R1 does not serve as a starting point for air to flow in because the rigidity thereof as a whole is increased by bending along the corner as compared with other portions.

つぎに、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２おけるシールリップ４１は、コーナー部Ｒ１と同じく、図６に示されるように、先端部４１ａと、先端部４１ａに続く中間部４１ｂと、根元部４１ｃとで形成されている。ただし、シールリップ４１の突出長さは、実際には、第１の直線部Ｌ１側と、第２の直線部Ｌ２側とで異なっている。 Next, the seal lip 41 in the first straight line portion L1 and the second straight line portion L2, as in the corner portion R1, is, as shown in FIG. 6, a tip portion 41a and an intermediate portion 41b following the tip portion 41a. , And a root portion 41c. However, the protruding length of the seal lip 41 is actually different between the first straight line portion L1 side and the second straight line portion L2 side.

この第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２では、先端部４１ａの肉厚Ｔａは、コーナー部Ｒ１の肉厚Ｔａと同じで、均等な厚さである。これは、シール性を確保するためには、シールリップ４１の先端部４１ａは柔らかい方が好ましいからである。 In the first straight portion L1 and the second straight portion L2, the thickness Ta of the tip portion 41a is the same as the thickness Ta of the corner portion R1, and is equal in thickness. This is because the tip 41a of the seal lip 41 is preferably soft in order to ensure sealing performance.

続く中間部４１ｂの肉厚Ｔｂは、先端部４１ａ側から根元部４１ｃ側に向けて徐々に肉厚化されている。このとき、容器本体２と接触するシール側とは反対の反シール側が厚くなっている。これは、シール側を厚くすると、ガスケット４のシール機能が低下するため、反シール側を肉厚化して、剛性を高めているからである。 The thickness Tb of the subsequent intermediate portion 41b is gradually increased from the tip portion 41a side toward the root portion 41c side. At this time, the non-seal side opposite to the seal side in contact with the container body 2 is thick. This is because if the seal side is thickened, the sealing function of the gasket 4 is lowered, and thus the anti-seal side is thickened to increase the rigidity.

そして、根元部４１ｃの肉厚Ｔｃは、先端部４１ａの肉厚Ｔａの１．５倍から３倍以内とされる。なお、直径４５０ｍｍのウェハを収納する基板収納容器１のサイズであれば、２倍でよい。これは、シールリップ４１全体の曲がりを防止するためには、根元部４１ｃ側が硬い方が好ましいからである。 The thickness Tc of the root portion 41c is set to be within 1.5 to 3 times the thickness Ta of the tip portion 41a. In addition, if the size of the substrate storage container 1 that stores a wafer having a diameter of 450 mm, the size may be doubled. This is because in order to prevent the entire seal lip 41 from being bent, it is preferable that the root portion 41c side is hard.

最後に、徐変領域Ｌ３おけるシールリップ４１は、コーナー部Ｒ１と同じく、図７に示されるように、先端部４１ａと、先端部４１ａに続く中間部４１ｂと、根元部４１ｃとで形成されている。 Finally, the seal lip 41 in the gradual change region L3 is formed of a tip portion 41a, an intermediate portion 41b following the tip portion 41a, and a root portion 41c, as shown in FIG. 7, as in the corner portion R1. Yes.

この徐変領域Ｌ３では、先端部４１ａの肉厚Ｔａは、コーナー部Ｒ１の肉厚Ｔａと同じで、均等な厚さである。 In the gradual change region L3, the thickness Ta of the tip end portion 41a is the same as the thickness Ta of the corner portion R1, and is equal.

続く中間部４１ｂの肉厚Ｔｂは、コーナー部Ｒ１から第１の直線部Ｌ１又は第２の直線部Ｌ２に向かって徐々に変化して厚くなっており、最終的に第１の直線部Ｌ１又は第２の直線部Ｌ２おける中間部４１ｂの肉厚Ｔｂに等しくなっている。このとき、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２と同様に、容器本体２と接触するシール側とは反対の反シール側が厚くなっている。なお、図７において、中間部４１ｂの肉厚Ｔｂより下方の外形線は、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２の中間部４１ｂの外形線であり、この肉厚差が、徐変領域Ｌ３で徐々に解消される。 The thickness Tb of the subsequent intermediate portion 41b gradually increases from the corner portion R1 toward the first straight portion L1 or the second straight portion L2, and finally becomes thicker. It is equal to the thickness Tb of the intermediate part 41b in the second straight line part L2. At this time, like the first straight line portion L1 and the second straight line portion L2, the anti-seal side opposite to the seal side in contact with the container body 2 is thick. In FIG. 7, the outline line below the wall thickness Tb of the intermediate part 41b is the outline line of the intermediate part 41b of the first straight line part L1 and the second straight line part L2. It is gradually eliminated in the change area L3.

また、根元部４１ｃの肉厚Ｔｃも、コーナー部Ｒ１から第１の直線部Ｌ１又は第２の直線部Ｌ２に向かって徐々に変化して厚くなっており、最終的に第１の直線部Ｌ１又は第２の直線部Ｌ２おける根元部４１ｃの肉厚Ｔｃに等しくなっている。 Further, the thickness Tc of the root portion 41c is gradually changed from the corner portion R1 toward the first straight portion L1 or the second straight portion L2, and finally becomes thicker, and finally the first straight portion L1. Alternatively, it is equal to the thickness Tc of the root portion 41c in the second straight line portion L2.

この徐変領域Ｌ３の範囲は、コーナー部Ｒ１と第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２間の肉厚Ｔｂ，Ｔｃの差に応じて設定されるが、直径４５０ｍｍのウェハを収納する基板収納容器１のサイズであれば、コーナー部Ｒ１の末端から１０ｍｍ程度でよい。 The range of the gradual change region L3 is set according to the difference in the thicknesses Tb and Tc between the corner portion R1, the first linear portion L1, and the second linear portion L2, but accommodates a wafer having a diameter of 450 mm. If it is the size of the substrate storage container 1, it may be about 10 mm from the end of the corner portion R1.

このようにして、ガスケット４は、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシールリップ４１のバネ定数ｋ１，ｋ２を、コーナー部Ｒ１におけるシールリップ４１のバネ定数ｋ３より大きくしている。好ましくは、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシールリップ４１のバネ定数ｋ１，ｋ２を、コーナー部Ｒ１におけるシールリップ４１のバネ定数ｋ３の１．２倍から２．５倍以内とする。本実施形態では、コーナー部Ｒ１のバネ定数ｋ３が０．３６Ｎ／ｍｍであったのに対して、第１の直線部Ｌ１のバネ定数ｋ１は０．４３Ｎ／ｍｍであり、第２の直線部Ｌ２のバネ定数ｋ２は０．７８Ｎ／ｍｍであった。 In this way, in the gasket 4, the spring constants k1 and k2 of the seal lip 41 in the first straight portion L1 and the second straight portion L2 are made larger than the spring constant k3 of the seal lip 41 in the corner portion R1. . Preferably, the spring constants k1 and k2 of the seal lip 41 in the first straight portion L1 and the second straight portion L2 are within 1.2 to 2.5 times the spring constant k3 of the seal lip 41 in the corner portion R1. And In this embodiment, the spring constant k3 of the corner portion R1 is 0.36 N / mm, whereas the spring constant k1 of the first straight portion L1 is 0.43 N / mm, and the second straight portion. The spring constant k2 of L2 was 0.78 N / mm.

一方、ガスケット４の第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２のバネ定数ｋ１，ｋ２を、ガスケット４のコーナー部Ｒ１のバネ定数ｋ３の２．５倍より大きくすると、コーナー部Ｒ１の方が第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２よりも剛性が低くなる。そのため、コーナー部Ｒ１で、不快音が発生し始める。 On the other hand, if the spring constants k1 and k2 of the first straight portion L1 and the second straight portion L2 of the gasket 4 are larger than 2.5 times the spring constant k3 of the corner portion R1 of the gasket 4, the corner portion R1 However, rigidity becomes lower than the 1st linear part L1 and the 2nd linear part L2. Therefore, unpleasant noise begins to occur at the corner portion R1.

なお、上記実施形態では、ガスケット４のシールリップ４１を、第１の直線部Ｌ１側と、第２の直線部Ｌ２側とで、異なる長さとしたが、同じ長さとしてもよい。 In the above embodiment, the seal lip 41 of the gasket 4 has different lengths on the first straight line portion L1 side and the second straight line portion L2 side, but may have the same length.

以上のとおり、本発明の実施形態に係る基板収納容器１は、開口を有し基板を収納する容器本体２と、開口を閉鎖する蓋体３と、蓋体３の外周部に設けられ、容器本体２を密封するシール部材（ガスケット）４と、を備えるものにおいて、シール部材４は、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシール部材４のバネ定数ｋ１，ｋ２を、コーナー部Ｒ１におけるシール部材４のバネ定数ｋ３より大きくするものである。また、シール部材４は、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシール部材４のバネ定数ｋ１，ｋ２を、コーナー部Ｒ１におけるシール部材４のバネ定数ｋ３の１．２倍から２．５倍以内とする。 As described above, the substrate storage container 1 according to the embodiment of the present invention is provided on the container body 2 having an opening and storing the substrate, the lid body 3 that closes the opening, and the outer periphery of the lid body 3. And a sealing member (gasket) 4 that seals the main body 2, the sealing member 4 has the spring constants k1 and k2 of the sealing member 4 in the first linear portion L1 and the second linear portion L2 as corner portions. This is larger than the spring constant k3 of the seal member 4 in R1. In addition, the seal member 4 has a spring constant k1 and k2 of the seal member 4 in the first straight line portion L1 and the second straight line portion L2 from 2 times the spring constant k3 of the seal member 4 in the corner portion R1. Within 5 times.

これにより、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシール部材４のシールリップ４１の剛性を増大させることができ、空気の流入でシールリップ４１が振動することがないか、振動しても非常に狭い範囲であるから、共鳴を抑えることができる。また、シールリップ４１の先端部４１ａの肉厚Ｔａを厚くしていないため、シール部材４の反発力が微増するものの、ＳＥＭＩ規格のドア閉め力で蓋体３の開閉不良が起きることがない。また、シール部材４のシールリップ４１のうち、剛性が必要な範囲の肉厚のみを厚くするから、全てのシールリップ４１の剛性を増大させる場合よりも、シール部材４の反発力が大きくなり過ぎず、材料を削減することもできる。 As a result, the rigidity of the seal lip 41 of the seal member 4 in the first straight line portion L1 and the second straight line portion L2 can be increased. However, since it is a very narrow range, resonance can be suppressed. Further, since the thickness Ta of the tip portion 41a of the seal lip 41 is not increased, the repulsive force of the seal member 4 slightly increases, but the opening / closing failure of the lid 3 does not occur due to the door closing force of the SEMI standard. Further, since only the thickness of the seal lip 41 of the seal member 4 in the range where the rigidity is required is increased, the repulsive force of the seal member 4 becomes too large as compared with the case where the rigidity of all the seal lips 41 is increased. In addition, the material can be reduced.

なお、第１の直線部Ｌ１及び第２の直線部Ｌ２におけるシール部材４のバネ定数ｋ１，ｋ２が、コーナー部Ｒ１におけるシール部材４のバネ定数ｋ３の２．５倍より大きくなると、コーナー部Ｒ１から不快音が発生し始める。 When the spring constants k1 and k2 of the seal member 4 in the first straight portion L1 and the second straight portion L2 are larger than 2.5 times the spring constant k3 of the seal member 4 in the corner portion R1, the corner portion R1. An unpleasant sound begins to occur.

本実施形態では、シール部材４は、シールリップ４１の先端部４１ａからシールリップ４１の根元部４１ｃまでの距離の１／３から１／２までの範囲を、均等な厚さに、残りの範囲を、根元部４１ｃに向けて徐々に肉厚化し、根元部の肉厚Ｔｃを、先端部４１ａの肉厚Ｔａの１．５倍から３倍とする。これにより、シールリップ４１は、先端部４１ａが柔らかく、根元部４１ｃが硬いため、シール性を確保できるとともに、シールリップ４１全体の曲がりを防止することができる。 In the present embodiment, the seal member 4 has a remaining thickness in the range from 1/3 to 1/2 of the distance from the tip 41a of the seal lip 41 to the root 41c of the seal lip 41. Is gradually increased toward the root portion 41c, and the thickness Tc of the root portion is set to be 1.5 to 3 times the thickness Ta of the tip portion 41a. Thereby, since the front-end | tip part 41a is soft and the base part 41c is hard, the sealing lip 41 can ensure sealing performance, and can prevent the bending of the sealing lip 41 whole.

本実施形態では、シール部材４は、シールリップ４１の厚さをコーナー部Ｒ１から第１の直線部Ｌ１又は第２の直線部Ｌ２にかけて徐々に厚くする徐変領域Ｌ３を有する。また、徐変領域Ｌ３は、コーナー部Ｒ１の末端から１０ｍｍの範囲とする。これにより、シールリップ４１の肉厚Ｔｂ，Ｔｃが急激に変化することがないから、局所的な応力集中がなく、耐久性の問題が起きない。 In the present embodiment, the seal member 4 has a gradual change region L3 in which the thickness of the seal lip 41 is gradually increased from the corner portion R1 to the first straight portion L1 or the second straight portion L2. Further, the gradual change region L3 has a range of 10 mm from the end of the corner portion R1. Thereby, since the wall thicknesses Tb and Tc of the seal lip 41 do not change abruptly, there is no local stress concentration and no durability problem occurs.

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

１基板収納容器
２容器本体、２ａ天井面、２ｃ側面
３蓋体、３ａ筐体、３ｂカバープレート
４ガスケット（シール部材）
４０本体、４１シールリップ、４１ａ先端部、４１ｂ中間部、４１ｃ根元部、４２リブ
５内圧調整機構
Ｌ１第１の直線部、Ｌ２第２の直線部、Ｌ３徐変領域
Ｒ１コーナー部
Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ肉厚
ｋ１，ｋ２，ｋ３バネ定数 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate storage container 2 Container body, 2a Ceiling surface, 2c Side surface 3 Lid, 3a Housing, 3b Cover plate 4 Gasket (seal member)
40 Main body, 41 Seal lip, 41a Tip part, 41b Intermediate part, 41c Root part, 42 Rib 5 Internal pressure adjusting mechanism L1 First straight part, L2 Second straight part, L3 Gradual change region R1 Corner parts Ta, Tb, Tc Thickness k1, k2, k3 Spring constant

Claims

A container body having an opening and storing a substrate;
A lid for closing the opening;
A seal member provided on an outer peripheral portion of the lid, and sealing the container body;
In a substrate storage container comprising:
The said sealing member makes the spring constant of the said sealing member in a linear part larger than the spring constant of the said sealing member in a corner part. The board | substrate storage container characterized by the above-mentioned.

2. The seal member according to claim 1, wherein a spring constant of the seal member in the linear portion is within 1.2 to 2.5 times a spring constant of the seal member in the corner portion. Board storage container.

The seal member is gradually formed in a range from 1/3 to 1/2 of the distance from the tip end portion of the seal lip to the root portion of the seal lip, with an equal thickness, and the remaining range toward the root portion. The substrate storage container according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the base portion is set to 1.5 to 3 times the thickness of the tip portion.

4. The substrate storage container according to claim 1, wherein the seal member has a gradually changing region in which the thickness of the seal lip is gradually increased from the corner portion to the linear portion. 5.

5. The substrate storage container according to claim 4, wherein the gradual change region has a range of 10 mm from an end of the corner portion.