JP6557200B2 - Article carrying-in / out apparatus and article carrying-in / out method - Google Patents
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Description
本発明は、物品の搬出入を行う搬出入口の構造に関し、特に、外部環境との隔離が必要な場所との物品の搬出入に適用して有効な技術に関する。 The present invention relates to a structure of a carry-in / out port for carrying in / out an article, and more particularly to a technique effective when applied to carry-in / out of an article to / from a place where isolation from an external environment is necessary.
半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等、外部環境との隔離が必要な場所での物品の搬出入においては、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口の構造が求められている。 Maintaining isolation when goods are taken in and out of places that need to be isolated from the external environment, such as taking goods in and out of clean rooms such as semiconductor manufacturing plants and pharmaceutical manufacturing facilities, and taking out fuel debris from inside the reactor building However, there is a demand for a structure of a carry-in / out port through which articles can easily pass.
本技術分野の背景技術として、例えば、特許文献1のような技術がある。特許文献1には、「入り口のドアやシャッターなどの代わりに水平方向に振幅するように波状に湾曲させた可撓性シートを入り口の手前から奥に向かって配置して、そのシートの山と谷とで入り口を閉鎖し、出入りの際にはシートに前進波動を起こさせて、シートの端部が山もしくは谷になったとき出入りを行い、その山もしくは谷の前進とともに移動するようにした閉鎖部材および閉鎖構造」が開示されている。
As a background art in this technical field, for example, there is a technique such as
上述したように、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口は、様々な産業分野において需要があり、例えば、従来の一般的なクリーンルームでは、前室にエアーシャワー装置を設け、HEPAフィルター(High-Efficiency Particulate Air filter)で清浄化された高速ジェットエアーを、人や搬入物の表面に直接当てて、付着した塵埃を除塵している。また、ドアを二重に設け、それらのドアが同時に開放しない構造とすることで外気とクリーンルームとを遮断するエアーロック機能なども備えている。 As described above, there is a demand in various industrial fields for carrying in / out ports through which articles can be easily passed while maintaining an isolated state. For example, in a conventional general clean room, an air shower device is provided in the front chamber. The high-speed jet air cleaned by the HEPA filter (High-Efficiency Particulate Air filter) is directly applied to the surface of people and items to remove adhering dust. In addition, an air lock function that shuts off the outside air and the clean room is provided by providing double doors and preventing the doors from opening simultaneously.
ところで、従来のエアーシャワー装置による除塵では、搬入しようとする物品の形状が複雑である場合、高速ジェットエアーが直接当たらない箇所の除塵が不十分であったり、質量が大きく運動エネルギーの高い拡散物質に対してはエアーシャワーでは十分に隔離できない可能性がある。 By the way, in the dust removal by the conventional air shower device, when the shape of the article to be carried is complicated, the dust removal is insufficient in the portion where the high-speed jet air is not directly applied, or the diffusion material has a large mass and high kinetic energy. May not be sufficiently isolated by air shower.
上記特許文献1の閉鎖構造は、可撓性シートに前進波動を起こさせるための駆動装置が必要であるなど構造が複雑で、前進波動に合せたコンベアの制御が必要であるなど物品の搬出入も容易ではない。
The closed structure of the above-mentioned
そこで、本発明の目的は、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an article carrying-in / out apparatus that allows easy passage of articles while maintaining a state of isolation from the external environment with a relatively simple structure.
また、本発明は、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を提供することにある。 It is another object of the present invention to provide an article carrying-in / out method that allows easy passage of articles while reliably maintaining a state of isolation from the external environment by a relatively simple method.
上記課題を解決するために、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、を備え、前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention is an article carry-in / out apparatus for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from an external environment, the frame serving as a casing of the article carry-in / out apparatus, A plurality of deformable elastic members provided in the frame to extend in the loading / unloading direction of the article and separating the external environment from the space, and the elastic members are filled in a bag It is a gel .
また、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入方法であって、前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入し、前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする。 The present invention is also an article carrying-in / out method for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from the external environment, wherein the external environment and the space provided extending in the carrying-in / out direction of the article are provided. The article is carried in and out along the boundary portions of a plurality of deformable elastic members that isolates from each other , and the elastic member is a gel filled in a bag .
本発明によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を実現できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the goods carrying in / out apparatus with easy passage of goods is realizable with a comparatively simple structure, maintaining an isolation | separation state with an external environment reliably.
また、本発明によれば、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を実現できる。 Further, according to the present invention, it is possible to realize an article carrying-in / out method in which an article can be easily passed through while maintaining a state of isolation from the external environment with a relatively simple method.
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明によって明らかにされる。 Problems, configurations, and effects other than those described above will be clarified by the following description of embodiments.
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。なお、各図面において、同一の構成については同一の符号を付し、重複する部分についてはその詳細な説明は省略する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and detailed description of the overlapping portions is omitted.
図1Aから図3を参照して、実施例1の物品搬出入装置について説明する。図1Aはゲル充填袋を使用する本実施例の物品搬出入装置の正面図である。図1Bは図1AのA−A’断面図であり、物品搬出入装置の断面構造を示している。図2Aおよび図2Bは物品搬出入装置により台車を搬入する様子を示す図であり、それぞれ図1A,図1Bに対応している。また、図3は物品搬出入装置の途中まで台車を搬入した状態を示している。 With reference to FIG. 1A to FIG. 3, an article carry-in / out apparatus of Example 1 will be described. FIG. 1A is a front view of an article carry-in / out apparatus according to the present embodiment using a gel-filled bag. FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 1A, and shows a cross-sectional structure of the article carry-in / out apparatus. 2A and 2B are views showing a state in which a cart is carried in by the article carrying-in / out device, and corresponds to FIGS. 1A and 1B, respectively. Moreover, FIG. 3 has shown the state which carried in the trolley | bogie to the middle of the goods carrying in / out apparatus.
図1Aに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口1側から見て、床2上に設置されたフレーム3と、フレーム3に固定されたゲル袋4と、ゲル袋4の内部に充填されたゲル球5とで構成されている。フレーム3は物品搬出入装置の筐体である。ゲル袋4は、フレーム3の内側の上部と左右の側面の3か所以上に設置され、上部のゲル袋4が自重で側面のゲル袋4を押し付けて気密を保持する。
As shown in FIG. 1A, the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment is viewed from the carrying-in / out
なお、ゲル袋4は、フレーム3にゲル投入用の袋を設置し、ホース等でゲルを投入することでゲル球5が内部に充填されている。或いは、予めゲル球5を充填したゲル袋4を製作し、フレーム3に取り付けて設置する形態であってもよい。
The gel bag 4 is filled with
ゲル袋4を構成する袋は、内部にゲル球5を充填して保持するための充分な強度を有する素材を用いるのが望ましく、例えば、アラミド繊維やカーボンファイバー(炭素繊維)などの高強度な繊維を用いる。但し、ゲル袋4はこれらの素材に限定されるものではなく、物品搬出入装置の用途や規模によって最適な素材の袋を選択するのがより好適である。
The bag constituting the gel bag 4 is preferably made of a material having sufficient strength to fill and hold the
また、図1Bに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口1の奥行方向すなわち物品の搬入方向に沿って、ゲル袋4がフレーム3に延在して設けられている。ゲル袋4を物品搬出入装置の奥行方向に十分な幅を持たせて設置することで、物品を搬入する際にも確実に外部環境との隔離状態を維持することができる。
As shown in FIG. 1B, the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment is provided with the gel bag 4 extending to the
図2Aから図3に、本実施例の物品搬出入装置により台車を搬入する際の様子を示す。台車6などの搬入物を搬入する際、フレーム3の内側に設けられた複数のゲル袋4同士の境界に沿って搬入される。内部にゲル球5が充填されたゲル袋4は変形が容易(変形自在)な伸縮部材であり、ある程度の質量も有するため、台車6などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋4の形状が元に戻り、気密を保持することができる。これにより、外部環境との隔離状態を維持しながら、台車6などの搬入物を搬入することができる。
FIG. 2A to FIG. 3 show a state when the carriage is carried in by the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment. When carrying in an article such as a cart 6, it is carried in along the boundaries between a plurality of gel bags 4 provided inside the
以上説明したように、本実施例によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に物品の搬出入を行うことができる。 As described above, according to the present embodiment, articles can be easily carried in and out with a relatively simple structure while reliably maintaining a state of isolation from the external environment.
図4Aから図4Cを参照して、実施例2の物品搬出入装置について説明する。図4Aはゲル球を袋に入れずに使用する本実施例の物品搬出入装置の側面図であり、搬出口付近の端部を示している。図4Bは図4AをC−C’方向から見た搬出口付近を示す図であり、フタ8が閉じた状態を示している。また、図4Cはフタ8を押し出して内部から搬入物が搬入される状態を示している。
With reference to FIG. 4A to FIG. 4C, the article carrying in / out apparatus according to the second embodiment will be described. FIG. 4A is a side view of the article carry-in / out apparatus of the present embodiment that uses the gel sphere without putting it in a bag, and shows an end near the carry-out port. FIG. 4B is a view showing the vicinity of the carry-out port when FIG. 4A is viewed from the C-C ′ direction, and shows a state where the
図4Aに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、気密保持装置7の内部にゲル球5が充填されており、気密保持装置7の両端にはフタ8を有する搬入口および搬出口が設けられた構成となっている。なお、図4Aでは気密保持装置7の一端(搬出口)のみを図示している。また、フタ8は図4Aから図4Cに示すように分割構造となっている。
As shown in FIG. 4A, the article carrying-in / out apparatus according to the present embodiment is filled with
図4Bに示すように、搬入物の搬入を行わない場合、複数に分割されたフタ8は閉じた状態となり、気密保持装置7の内部にゲル球5が保持される。一方、搬入物を搬入する場合は、図4Aおよび図4Cに示すように、搬入物に押されてフタ8が開き、搬入物9が搬入される。搬入物9が気密保持装置7を通過後は、フタ8はバネやゴム等の弾性力で元に戻り、フタ8が閉じられる。
As shown in FIG. 4B, when the carry-in object is not carried in, the
なお、フタ8が開いて搬入物9が通過する際に、ある程度のゲル球5は搬入物9と共に外部に漏れ出るため、新たなゲル球5を気密保持装置7内にホース等で供給するようにしてもよい。或いは、フタ8を二重構造とし、2つのフタの間に気密保持装置7から溢れたゲル球5を回収する機構(設備)を設けて、ゲル球5が外部に溢れないようにすることもできる。
When the
以上説明したように、本実施例によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に物品の搬出入を行うことができる。なお、本実施例の物品搬出入装置は、例えば、クリーンルームのパスボックスのような比較的軽量で小型の物品の搬出入に好適である。 As described above, according to the present embodiment, articles can be easily carried in and out with a relatively simple structure while reliably maintaining a state of isolation from the external environment. The article carrying-in / out apparatus according to the present embodiment is suitable for carrying in / out a relatively light and small article such as a pass box in a clean room.
図5Aおよび図5Bを参照して、実施例3の物品搬出入装置について説明する。図5Aはゲル球を袋に入れずに使用する本実施例の物品搬出入装置の平面図である。図5Bは図5AをD−D’方向から見た図であり、一方(右側)の開口ポート10から搬入物9が搬入される状態を示し、もう一方(左側)の開口ポート10はフタ8が閉じた状態を示している。
With reference to FIG. 5A and FIG. 5B, the articles | goods carrying in / out apparatus of Example 3 is demonstrated. FIG. 5A is a plan view of the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment in which the gel sphere is used without being put in a bag. FIG. 5B is a view of FIG. 5A as viewed from the direction DD ′, showing a state in which the
図5Aに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、気密保持装置7の内部にゲル球が充填された2つの搬入(搬出)物通路11が設けられており、搬入(搬出)物通路11の両端にはフタ付の開口ポート10がそれぞれ設置されている。
As shown in FIG. 5A, the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment is provided with two carrying-in (carrying-out)
本実施例のように、搬入(搬出)物通路11を2つ設けて搬出用通路と搬入用通路を分けることで、開口ポート10のフタ8が片側にしか開閉できない構造の場合、例えば、図5Bに示すように、右側の開口ポート10のフタ8が紙面手前側にのみ開く構造であり、左側の開口ポート10のフタ8が紙面奥側にのみ開く構造であっても、物品の搬出と搬入のいずれにも対応可能となる。
In the case of a structure in which the
また、搬出用通路と搬入用通路をそれぞれ別個に設けているため、搬出と搬入を同時に行うことができ、搬出入作業の作業効率を向上することができる。また、汚染物品を搬出し、汚染されていない新しい物品を搬入するような場合でも、搬出用通路と搬入用通路が異なるため、新しい物品の汚染を防止することができる。 Further, since the carry-out passage and the carry-in passage are separately provided, carrying out and carrying in can be performed at the same time, and the work efficiency of the carry-in / out operation can be improved. Even when a contaminated article is carried out and a new article that is not contaminated is carried in, the carry-out path and the carry-in path are different, so that contamination of the new article can be prevented.
図6Aから図7Cを参照して、実施例4の物品搬出入装置について説明する。図6Aはゲル充填袋とゲル単体を組合せて使用する本実施例の物品搬出入装置の正面図である。図6Bは図6AのE−E’断面図であり、物品搬出入装置の断面構造を示している。図7Aおよび図7Bは物品搬出入装置により台車を搬入する様子を示す図であり、それぞれ図6A,図6Bに対応している。また、図7Cは物品搬出入装置の途中まで台車を搬入した状態を示している。 With reference to FIG. 6A to FIG. 7C, the article carry-in / out apparatus of Example 4 will be described. FIG. 6A is a front view of the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment that uses a combination of a gel-filled bag and a gel alone. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line E-E ′ of FIG. 6A and shows a cross-sectional structure of the article carry-in / out device. 7A and 7B are views showing a state in which the cart is carried in by the article carry-in / out device, and corresponds to FIGS. 6A and 6B, respectively. Moreover, FIG. 7C has shown the state which carried the trolley in the middle of the goods carrying in / out apparatus.
図6Aに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口1側から見て、床2上に設置されたフレーム3と、フレーム3の正面側に設けられたスライド式扉12と、で構成されている。また、図6Bに示すように、断面構造は、フレーム3の両側つまり搬入口側と搬出口側の両方に設けられたスライド式扉12と、それぞれのスライド式扉12の内側に設けられ、フレーム3に固定されたゲル袋4と、ゲル袋4の内部に充填されたゲル球5と、両側のゲル袋4に挟まれた物品搬出入装置の中央部に充填された複数のゲル球13で構成されている。
As shown in FIG. 6A, the article carry-in / out device of the present embodiment includes a
ゲル袋4は、両側のフレーム3の内側の上部と左右の側面の3か所以上にそれぞれ設置され、上部のゲル袋4が自重で側面のゲル袋4を押し付けて気密を保持する。また、搬入口側と搬出口側の両方に設けられたゲル袋4は、スライド式扉12と共に、中央に充填された複数のゲル球13が外側へ漏れるのを防止する抑え(固定部)としての役割も果たしている。
The gel bags 4 are respectively installed at three or more locations on the inner upper side and the left and right side surfaces of the
図7Aから図7Cに、本実施例の物品搬出入装置により台車を搬入する際の様子を示す。図7Aに示すように、搬出入口1のスライド式扉12が開き、台車6などの搬入物が物品搬出入装置内に搬入される。この際、物品搬出入装置の中央に充填されている複数のゲル球13はゲル袋4により抑えられているため、物品搬出入装置の外部に漏れ出ることはない。なお、図7Aでは両開きのスライド式扉の例を示しているが、これに限定されるものではなく、片開きのスライド式扉や引き戸式の扉であってもよい。
FIG. 7A to FIG. 7C show a state when the carriage is carried in by the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment. As shown in FIG. 7A, the sliding
続いて、図7Bおよび図7Cに示すように、台車6は複数のゲル袋4同士の境界に沿って搬入される。内部にゲル球5,15が充填されたゲル袋4は変形が容易であり、ある程度の質量も有するため、台車6などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋4の形状が元に戻り、気密を保持することができる。また、物品搬出入装置の中央に複数のゲル球13,14を充填することで、より気密性を向上することができる。なお、図7B,図7Cに示すように、ゲル球14は台車6を搬入する際の圧力を受けて圧縮されて変形するが、ゲルは伸縮性が高いため、台車6が通過した後は、元の形状に戻る。
Subsequently, as shown in FIGS. 7B and 7C, the carriage 6 is carried along the boundaries between the plurality of gel bags 4. Since the gel bag 4 filled with the
以上説明したように、本実施例の物品搬出入装置では、搬入(搬出)物が通過する際はゲル袋が変形して物品を容易に通過させることができ、また、中央に充填したゲル球が隙間を埋めるため、より隔離性が高まる。これにより、外部環境との隔離状態をより確実に維持しながら、台車6などの搬入物を搬入することができる。 As described above, in the article loading / unloading apparatus according to the present embodiment, the gel bag is deformed when the loaded (unloaded) article passes through, and the article can easily pass through the gel bag filled in the center. Since the gap is filled, the isolation is further improved. Thereby, carrying-in objects, such as a trolley | bogie 6, can be carried in, maintaining a isolation | separation state with an external environment more reliably.
図8を参照して、実施例5の物品搬出入装置について説明する。本実施例の物品搬出入装置は実施例4の変形例であり、図8は図7Bに対応する図である。本実施例の物品搬出入装置は、内部にゲル球5,15を充填したゲル袋4のみを使用し、中央にゲル単体を充填しない例である。
With reference to FIG. 8, the article carrying in / out apparatus of Example 5 is demonstrated. The article carrying-in / out apparatus of the present embodiment is a modification of the fourth embodiment, and FIG. 8 is a diagram corresponding to FIG. 7B. The article carrying-in / out apparatus of the present embodiment is an example in which only the gel bag 4 filled with the
図8に示すように、ゲル袋4は両側のフレーム3の内側の上部と左右の側面の3か所以上にそれぞれ設置されており、上部のゲル袋4が自重で側面のゲル袋4を押し付けて気密を保持する。このため、本実施例のように物品搬出入装置の中央にゲルを充填せず、ゲル袋4のみで気密性を確保することも可能である。
As shown in FIG. 8, the gel bags 4 are installed at three or more locations on the inner side of the
図8のように、物品搬出入装置の中央にゲルを充填せず、空洞16を設けることで、空洞16において、物品の清掃や洗浄、組み立てなどの作業を行うことができる。つまり、空洞16を前室(中間室)として利用することができる。
As shown in FIG. 8, by providing the
図9Aから図10Bを参照して、実施例6の物品搬出入装置について説明する。図9Aから図9Cはゲル充填袋無しで粘着性(吸着性)のあるゲルを単体で使用する本実施例の物品搬出入装置の断面図であり、台車6の搬入(搬出)と同時に台車6に付着したダスト19が除去される様子を示している。また、図10Aおよび図10Bは粘着性のあるゲルによりダストが除去される仕組みを概念的に示す図である。
With reference to FIG. 9A to FIG. 10B, an article carry-in / out apparatus of Example 6 will be described. 9A to 9C are cross-sectional views of the article loading / unloading apparatus of the present embodiment in which an adhesive (adsorptive) gel is used alone without a gel-filled bag, and the carriage 6 is simultaneously loaded (unloaded) with the carriage 6. The state where the
図9Aに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、物品搬出入装置の筐体であるフレーム3と、フレーム3に固定された粘着性ゲル17,18とで構成されている。粘着性ゲル17,18は、フレーム3の内側の上部と左右の側面の3か所以上に設置され、上部の粘着性ゲル17が自重で側面の粘着性ゲル18を押し付けて気密を保持する。
As shown in FIG. 9A, the article carry-in / out apparatus of the present embodiment is configured by a
先ず、図9Aに示すように、表面にダスト19が付着した台車6が搬出入口1から物品搬出入装置内へ搬入される。
First, as shown in FIG. 9A, the carriage 6 with the
続いて、図9Bに示すように、台車6はフレーム3の内側に設けられた複数の粘着性ゲル17,18の境界に沿って搬入される。粘着性ゲル17,18は変形が容易であり、ある程度の質量も有するため、台車6などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋4の形状が元に戻り、気密を保持することができる。台車6が複数の粘着性ゲル17,18の境界を通過する際、台車6に付着したダスト19は粘着性ゲル17,18に吸着される。
Subsequently, as shown in FIG. 9B, the carriage 6 is carried along the boundaries of the plurality of
その後、図9Cに示すように、ダスト19を吸着し汚れたゲル表面は次第に乾燥し、ダスト19と共に剥がれ落ちる。このようにして、外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に台車6の搬出入を行うと共に、台車6からダスト19が除去される。
Thereafter, as shown in FIG. 9C, the gel surface adsorbed and soiled with the
図10Aおよび図10Bに粘着性ゲル17,18によりダスト19が除去される仕組みを概念的に示す。先ず、図10Aに示すように、ダストが付着した搬入(搬出)物が通過する際、粘着性ゲルの表面20に対し、多数のダスト19が吸着する。その後、図10Bに示すように、多数のダストが付着し汚れたゲル表面は次第に乾燥し、ダスト19と共に剥がれ落ち、粘着性ゲルの内側部分21が露出することでゲルの表面は再び粘着性を持つようになる。
FIG. 10A and FIG. 10B conceptually show the mechanism by which the
つまり、汚れた表面部分が剥がれ落ちることで内部から新たに綺麗でかつ粘着性を有する部分が出現することにより繰り返し使用することが可能である。また、ダスト19をある程度固まりとして除去できるため、物品搬出入装置内の清掃時に剥がれ落ちた粘着性ゲルの表面20とダスト19の除去が容易になる。
That is, the dirty surface portion is peeled off, and a new clean and sticky portion appears from the inside, so that it can be used repeatedly. Further, since the
以上説明したように、本実施例の物品搬出入装置によれば、外部環境との隔離状態をより確実に維持しながら、台車6などの搬入物を搬入することができるのと同時に、搬入物(搬出物)に付着したダストは汚染を効果的に除去することができる。 As described above, according to the article carrying-in / out apparatus of the present embodiment, it is possible to carry in a carry-in object such as a cart 6 while maintaining a state of isolation from the external environment more reliably. The dust adhering to the (unloading material) can effectively remove the contamination.
なお、以上の各実施例において説明した物品搬出入装置および物品搬出入方法は、半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等の他、食品製造加工施設や石油化学工場、防虫用の隔離室など、外部環境との隔離が必要な一般産業の分野においても有効であるのは言うまでもない。 The article carrying-in / out apparatus and the article carrying-in / out method described in each of the above-described embodiments include the carrying-in / out of articles in clean rooms such as semiconductor manufacturing factories and pharmaceutical manufacturing facilities, and the removal of fuel debris from the reactor building interior. Needless to say, it is also effective in the fields of general industries that require isolation from the outside environment, such as food processing facilities, petrochemical factories, and insect-proof isolation rooms.
また、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes various modifications. For example, the above-described embodiments have been described in detail for easy understanding of the present invention, and are not necessarily limited to those having all the configurations described. Further, a part of the configuration of one embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of one embodiment. Further, it is possible to add, delete, and replace other configurations for a part of the configuration of each embodiment.
1…搬出入口、2…床、3…フレーム、4…ゲル袋、5,15…ゲル球(充填)、6…搬入物(台車)、7…気密保持装置、8…フタ、9…搬入物、10…開口ポート(フタ付)、11…搬入(搬出)物通路(ゲル球充填)、12…スライド式扉、13,14…ゲル球、16…空洞(中間室)、17,18…粘着性ゲル、19…ダスト、20…粘着性ゲルの表面(外側部分)、21…粘着性ゲルの内側部分。
DESCRIPTION OF
Claims (13)
前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、
前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、
を備え、
前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする物品搬出入装置。 An article loading / unloading device for loading / unloading articles in a space that needs to be isolated from the external environment,
A frame serving as a housing of the article carrying-in / out device;
A plurality of deformable expansion and contraction members that extend in the carry-in / out direction of the article on the inner side of the frame and separate the external environment from the space;
Equipped with a,
The article carrying-in / out apparatus according to claim 1, wherein the elastic member is a gel filled in a bag .
前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、
前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、
を備え、
前記フレームの両端に、前記物品の搬出入口となるフタ付きの開口ポートが各々設けられており、
前記フレームの内部にゲルが充填されていることを特徴とする物品搬出入装置。 An article loading / unloading device for loading / unloading articles in a space that needs to be isolated from the external environment,
A frame serving as a housing of the article carrying-in / out device;
A plurality of deformable expansion and contraction members that extend in the carry-in / out direction of the article on the inner side of the frame and separate the external environment from the space;
With
Opening ports with lids serving as carry-in / out ports for the article are respectively provided at both ends of the frame,
The article carrying-in / out apparatus characterized in that the inside of the frame is filled with gel.
前記フタは分割構造であり、前記物品の通過時に当該物品により押し開けられ、
当該物品の通過後、前記フタの弾性力により閉となることを特徴とする物品搬出入装置。 The article carry-in / out apparatus according to claim 2 ,
The lid has a divided structure, and is pushed open by the article when the article passes through.
The article carrying-in / out apparatus is closed by the elastic force of the lid after the article passes.
前記フレームの内部に2つの通路を備え、
前記ゲルは前記2つの通路内に充填されており、
前記フタ付きの開口ポートは、いずれも一方向にのみ開放可能であることを特徴とする物品搬出入装置。 The article carry-in / out apparatus according to claim 2 ,
Two passages are provided inside the frame,
The gel is filled in the two passages;
The opening / closing device with the lid can be opened only in one direction.
前記複数の伸縮部材は、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に分割して設けられ、
前記分割して設けられた伸縮部材の間に、ゲル球が充填されていることを特徴とする物品搬出入装置。 The article carrying-in / out apparatus according to claim 1 ,
The plurality of elastic members are provided in the inside of the frame and divided in the carry-in / out direction of the article,
An article carrying-in / out apparatus characterized in that gel balls are filled between the elastic members provided separately.
前記複数の伸縮部材は、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に分割して設けられ、
前記分割して設けられた伸縮部材の間に、中間室となる空洞が設けられていることを特徴とする物品搬出入装置。 The article carrying-in / out apparatus according to claim 1 ,
The plurality of elastic members are provided in the inside of the frame and divided in the carry-in / out direction of the article,
An article carrying-in / out apparatus characterized in that a cavity serving as an intermediate chamber is provided between the divided elastic members.
前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、
前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、
を備え、
前記伸縮部材は、粘着性を有するゲルであり、前記物品の搬出入時に当該物品に付着したダストを前記ゲルにより吸着することを特徴とする物品搬出入装置。 An article loading / unloading device for loading / unloading articles in a space that needs to be isolated from the external environment,
A frame serving as a housing of the article carrying-in / out device;
A plurality of deformable expansion and contraction members that extend in the carry-in / out direction of the article on the inner side of the frame and separate the external environment from the space;
With
The said elastic member is a gel which has adhesiveness, and adsorb | sucks the dust adhering to the said article | item at the time of carrying in / out of the said article | item with the said gel, The goods carrying in / out apparatus characterized by the above-mentioned.
前記ゲルが前記ダストを吸着した後、前記ダストを吸着した部分のゲルが当該ダストと共に剥がれ落ち、前記伸縮部材の表面に再び粘着性を有するゲルが出現することを特徴とする物品搬出入装置。 The article carry-in / out apparatus according to claim 7 ,
After the said gel adsorb | sucks the said dust, the gel of the part which adsorb | sucked the said dust peels off with the said dust, and the gel which has adhesiveness again appears on the surface of the said expansion-contraction member, The article carrying in / out apparatus characterized by the above-mentioned.
前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入し、
前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする物品搬出入方法。 An article carrying-in / out method for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from an external environment,
The article is carried in / out along boundary portions of a plurality of deformable elastic members separating the external environment and the space provided extending in the carrying-in / out direction of the article ,
The method for carrying in and out an article , wherein the elastic member is a gel filled in a bag .
前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入し、
前記伸縮部材は、前記物品の搬出入経路内に充填されたゲル球であることを特徴とする物品搬出入方法。 An article carrying-in / out method for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from an external environment,
The article is carried in / out along boundary portions of a plurality of deformable elastic members separating the external environment and the space provided extending in the carrying-in / out direction of the article,
The article carrying-in / out method, wherein the elastic member is a gel ball filled in a carrying-in / out route of the article.
前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入し、
前記複数の伸縮部材は、前記物品の搬出入経路内において前記物品の搬出入方向に分割して設けられていることを特徴とする物品搬出入方法。 An article carrying-in / out method for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from an external environment,
The article is carried in / out along boundary portions of a plurality of deformable elastic members separating the external environment and the space provided extending in the carrying-in / out direction of the article,
The article carrying-in / out method, wherein the plurality of expansion / contraction members are divided and provided in the carrying-in / out direction of the article in the carrying-in / out route of the article.
前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入し、
前記伸縮部材は、粘着性を有するゲルであり、前記物品の搬出入時に当該物品に付着したダストを前記ゲルにより吸着することを特徴とする物品搬出入方法。 An article carrying-in / out method for carrying in / out an article in a space that needs to be isolated from an external environment,
The article is carried in / out along boundary portions of a plurality of deformable elastic members separating the external environment and the space provided extending in the carrying-in / out direction of the article,
The method for carrying in and out an article, wherein the elastic member is an adhesive gel, and dust adhering to the article is adsorbed by the gel when the article is carried in and out.
前記ゲルが前記ダストを吸着した後、前記ダストを吸着した部分のゲルが当該ダストと共に剥がれ落ち、前記伸縮部材の表面に再び粘着性を有するゲルが出現することを特徴とする物品搬出入方法。 The article carrying-in / out method according to claim 12 ,
After the said gel adsorb | sucks the said dust, the gel of the part which adsorb | sucked the said dust peels off with the said dust, and the gel which has adhesiveness again appears on the surface of the said expansion-contraction member, The article carrying in / out method characterized by the above-mentioned.
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