JP6545029B2 - Board work system - Google Patents

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Description

本発明は、ウェハをダイシングして形成したダイを供給するダイ供給部を備える対基板作業システム及び対基板作業システムの回路基板に部品を装着する装着順を管理する方法に関するものである。   The present invention relates to a substrate-to-substrate operation system provided with a die supply unit for supplying a die formed by dicing a wafer, and a method for managing the order of attachment of components to a circuit board of the substrate-to-substrate operation system.

部品を回路基板に実装する対基板作業システムには、種類の異なる部品を回路基板に実装するために、部品を供給する部品供給部を複数台備えるものがある(特許文献1など)。特許文献1に開示される対基板作業システムでは、ウェハをダイシングして形成したダイを供給する部品供給部を備えている。この部品供給部では、例えば、ダイシングシート上の所定位置に貼着されたダイを反転移送手段によって吸着し、吸着したダイの上下を反転させる。部品供給部は、反転移送手段で反転させたダイを装着ヘッドの吸着ノズルで吸着可能な位置まで移送する。そして、対基板作業システムは、ダイを吸着ノズルで吸着した装着ヘッドを移動させ回路基板にダイを装着する。 Some board-to-board work systems for mounting parts on a circuit board include a plurality of part supply units for supplying parts in order to mount different kinds of parts on the circuit board (eg, Patent Document 1). The substrate-to-substrate operation system disclosed in Patent Document 1 includes a component supply unit that supplies a die formed by dicing a wafer. In this component supply unit, for example, the die attached at a predetermined position on the dicing sheet is adsorbed by the reverse transfer means, and the adsorbed die is inverted upside down. The component supply unit transports the die inverted by the reversing transport means to a position where suction can be performed by the suction nozzle of the mounting head. Then, in the substrate-to-substrate operation system, the mounting head with the die suctioned by the suction nozzle is moved to mount the die on the circuit board.

特開2004−47927号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-47927

ところで、上記したウェハは、ダイシングシートに貼着されたダイ集合体の中に不良ダイ(バッドダイ)が存在する場合に、例えば、不良ダイの上面に不良品であることを示すマークが付加されている。部品供給部は、ダイカメラの撮像データに基づいて付加されたマークを検出し不良ダイを判定する。また、部品供給部は、検出した不良ダイに替えて正常なダイを検索する。このため、この種の部品供給部では、正常なダイを供給できるまでの間に必要となる部品供給時間が、ダイ集合体の中に含まれる不良ダイの数に応じて変動する。   By the way, when there is a defective die (bad die) in the die assembly attached to the dicing sheet, for example, a mark indicating that the wafer is defective is added to the upper surface of the defective die. There is. The component supply unit detects the mark added based on the imaging data of the die camera to determine a defective die. Further, the component supply unit searches for a normal die in place of the detected defective die. For this reason, in this type of component supply unit, the component supply time required until a normal die can be supplied fluctuates according to the number of defective dies included in the die assembly.

また、対基板作業システムは、1台の部品実装機に、ダイを供給する複数の部品供給部を備える場合や、ダイを供給する部品供給部と他の部品供給部(テープフィーダを備える部品供給部など)とを混載する場合がある。このような複数の部品供給部を備える部品実装機では、個々の部品供給部が部品を供給する時間をより正確に管理したいという要望がある。これは、部品供給時間をより正確に管理すれば、例えば、各種の部品の回路基板への装着順を決定することで、装着順が最適化でき生産時間が短縮できるからである。このため、上記したダイを供給する部品供給部の部品供給時間をより正確に管理できる対基板作業システムが望まれている。   Further, the substrate-to-board operation system includes a plurality of component supply units for supplying a die to one component mounter, or a component supply unit for supplying a die and another component supply unit (a component supply including a tape feeder May be mixed with other parts. In a component mounting machine provided with such a plurality of component supply units, there is a demand for more accurately managing the time during which individual component supply units supply components. This is because, if the component supply time is managed more accurately, for example, by determining the mounting order of various components on the circuit board, the mounting order can be optimized and the production time can be shortened. Therefore, there is a demand for a substrate handling system that can more accurately manage the component supply time of the component supply unit that supplies the die.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、回路基板に装着される部品の推定供給所要時間を補正することができる対基板作業システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an on-board operation system capable of correcting an estimated required supply time of a component mounted on a circuit board.

上記課題を鑑みてなされた本願に開示される技術に係る対基板作業システムは、装着ヘッドが回路基板に装着するダイを、ダイシングされたウェハから、装着ヘッドが前記ダイを吸着する供給位置へ供給するダイ供給部と、前記ダイ供給部が前記ダイを前記供給位置へ供給するための推定供給所要時間と、複数の前記回路基板の生産中の所定期間内に前記ダイ供給部が供給を試みた不良ダイの数、及び前記ウェハに含まれる不良ダイに係るデータの少なくとも一方に基づいて決定されるエラー発生率とに基づいて、前記回路基板に装着される前記ダイの推定供給所要時間を補正する制御部と、を備えることを特徴とする。   The substrate-to-substrate operation system according to the technology disclosed in the present application made in view of the above problems supplies a die mounted by the mounting head to the circuit board from a diced wafer to a supply position where the mounting head adsorbs the die. Die supply unit, the estimated required supply time for the die supply unit to supply the die to the supply position, and the die supply unit attempted supply within a predetermined period during production of a plurality of the circuit boards The estimated supply time of the die mounted on the circuit board is corrected based on the number of defective dies and an error rate determined based on at least one of data on the defective dies included in the wafer. And a control unit.

本願に開示される技術によれば、回路基板に装着される部品の推定供給所要時間を補正することができる対基板作業システムを提供することができる。 According to the technology disclosed in the present application, it is possible to provide a board-to-board operation system capable of correcting the estimated supply time of a component mounted on a circuit board.

第1実施形態の対基板作業システムを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the board | substrate working system of 1st Embodiment. 図1に示す対基板作業システムを構成する電子部品装着装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic component mounting apparatus which comprises the board | substrate working system shown in FIG. 電子部品装着機を上方からの視点において示す平面図である。It is a top view which shows an electronic component mounting machine in the viewpoint from upper direction. ダイ供給機を示す斜視図である。It is a perspective view showing a die supply machine. 電子部品装着機のブロック図である。It is a block diagram of an electronic component mounting machine. 部品の装着順の最適化処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the optimization process of the mounting order of components. 生産情報の一部であり、基板の生産順ごとに使用したウェハの正常ダイ及び不良ダイの数を示す図である。It is a part of production information, It is a figure which shows the number of the normal die | dye of the wafer and the defect die | dye which were used for every production order of a board | substrate. ウェハ種「A」の正常ダイ数及び不良ダイ数を示す図である。It is a figure which shows the number of normal dies of wafer kind "A", and the number of defect dies. 最適化前の電子部品装着機の部品の供給順を示す図である。It is a figure which shows the supply order of the components of the electronic component mounting machine before optimization. 電子部品装着機の装着シーケンスを説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the mounting | wearing sequence of an electronic component mounting machine. 推定部品供給時間に係わるデータであって、エラー発生率を考慮する前のデータを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing data relating to an estimated component supply time and before considering an error occurrence rate. 推定部品供給時間に係わるデータであって、エラー発生率を考慮した後のデータを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing data relating to an estimated component supply time and after taking an error occurrence rate into consideration. 図12に示すデータを最適化した後のデータを示す図である。It is a figure which shows the data after optimizing the data shown in FIG. 部品実装ラインに沿って並ぶモジュールを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the modules arranged along a component mounting line. 各モジュールの生産時間を比較するための図である。It is a figure for comparing the production time of each module. 第2実施形態の部品の装着順の最適化処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the optimization process of the mounting order of components of 2nd Embodiment. ウェハごとの正常ダイ及び不良ダイの数を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the number of normal and defective dies per wafer. 第3実施形態の部品の装着順の最適化処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the optimization process of the mounting order of components of 3rd Embodiment. 第4実施形態の部品残数を決定するための処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process for determining the components remaining number of 4th Embodiment.

<第1実施形態>
以下、本発明を具体化した一実施形態について図面を参照して説明する。図1は、第1実施形態の対基板作業システムを示している。図1に示す対基板作業システム(以下、単に「システム」という場合がある)10は、回路基板に電子部品を装着する作業を行うものであり、互いに隣接して配設された4台の電子部品装着装置12から構成されている。電子部品装着装置12は、1つのシステムベース14と、そのシステムベース14の上に互いに隣接されて配設された2つの電子部品装着機16、又は電子部品装着装置12の配設方向における幅が電子部品装着機16の2倍である電子部品装着機17とを含んで構成されている。つまり、7台の電子部品装着機16,17が順に並んで配列されている。なお、以下の説明において、電子部品装着機16,17の並ぶ方向をX軸方向とし、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。
First Embodiment
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a substrate-to-board operation system according to the first embodiment. A substrate-to-board operation system (hereinafter sometimes referred to simply as “system”) 10 shown in FIG. 1 is for carrying out an operation of attaching electronic components to a circuit board, and four electronic devices disposed adjacent to each other A component mounting device 12 is provided. The electronic component mounting apparatus 12 has a width in the disposition direction of one system base 14 and two electronic component mounting machines 16 disposed adjacent to each other on the system base 14 or the electronic component mounting apparatus 12 And an electronic component mounting machine 17 which is twice as large as the electronic component mounting machine 16. That is, seven electronic component mounting machines 16 and 17 are arranged in order in order. In the following description, the direction in which the electronic component placement machines 16 and 17 are arranged is referred to as an X-axis direction, and a horizontal direction perpendicular to the direction is referred to as a Y-axis direction.

上記システム10を構成する4台の電子部品装着装置12のうち、2つの電子部品装着機16が配設された3台の電子部品装着装置12は互いに同様の構成であるため、そのうちの1台を図2に示し、その1台の電子部品装着装置12を代表して説明する。ちなみに、図2は、電子部品装着装置12の外装部品の一部を取り除いた斜視図である。電子部品装着装置12の備える電子部品装着機16の各々は、主に、フレーム部20とそのフレーム部20に上架されたビーム部22とを含んで構成された装着機本体24と、回路基板をX軸方向に搬送するとともに設定された位置に固定する搬送装置26と、その搬送装置26によって固定された回路基板に電子部品を装着する装着ヘッド28と、ビーム部22に配設されて装着ヘッド28をX軸方向及びY軸方向に移動させる移動装置30と、フレーム部20の前方に配設され装着ヘッド28に電子部品を供給する供給装置32とを備えている。 Of the four electronic component mounting apparatuses 12 constituting the system 10, the three electronic component mounting apparatuses 12 in which the two electronic component mounting machines 16 are arranged have the same configuration, and one of them Is shown in FIG. 2, and the one electronic component mounting device 12 will be described as a representative. Incidentally, FIG. 2 is a perspective view in which a part of the exterior component of the electronic component mounting apparatus 12 is removed. Each of the electronic component mounting machines 16 included in the electronic component mounting system 12 mainly includes a mounting machine main body 24 including a frame portion 20 and a beam portion 22 mounted on the frame portion 20, and a circuit board. A carrying device 26 for carrying in the X axis direction and fixing at a set position, a mounting head 28 for mounting an electronic component on a circuit board fixed by the carrying device 26, and a mounting head provided for the beam portion 22 The moving device 30 moves the X-direction 28 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the supply device 32 which is disposed in front of the frame portion 20 and supplies the electronic components to the mounting head 28.

搬送装置26は、2つのコンベア装置40,42を備えており、それら2つのコンベア装置40,42は、互いに平行、かつ、X軸方向に延びるようにフレーム部20のY軸方向での中央部に配設されている。2つのコンベア装置40,42の各々は、電磁モータ(図示省略)によって各コンベア装置40,42に支持される回路基板をX軸方向に搬送する構造とされている。さらに、コンベア装置40,42の各々は、基板保持装置(図示省略)を有しており、所定の位置において回路基板を固定的に保持する構造とされている。 The transfer device 26 includes two conveyor devices 40 and 42, and the two conveyor devices 40 and 42 are parallel to each other and the central portion of the frame portion 20 in the Y-axis direction so as to extend in the X-axis direction. Are located in Each of the two conveyor devices 40 and 42 is configured to transport a circuit board supported by the conveyor devices 40 and 42 in the X-axis direction by an electromagnetic motor (not shown). Furthermore, each of the conveyor devices 40 and 42 has a substrate holding device (not shown), and is configured to hold the circuit board fixedly at a predetermined position.

また、装着ヘッド28は、搬送装置26によって保持された回路基板に対して電子部品を装着するものであり、下面に電子部品を吸着する吸着ノズル50を有している。また、装着ヘッド28は、マークカメラ44(図3参照)が下方を向いた状態で固定されており、このマークカメラ44によって回路基板の基準位置マーク、回路基板を識別するIDマークや電子部品の実装状態等を撮像する。吸着ノズル50は、負圧エア,正圧エア通路を介して正負圧供給装置52(図5参照)に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する構造とされている。さらに、装着ヘッド28は、吸着ノズル50を昇降させるノズル昇降装置54(図5参照)及び吸着ノズル50をそれの軸心回りに自転させるノズル自転装置55(図5参照)を有しており、保持する電子部品の上下方向の位置及び電子部品の保持姿勢を変更することが可能とされている。なお、吸着ノズル50は、装着ヘッド28に着脱可能とされており、電子部品のサイズ、形状等に応じて変更することが可能とされている。 Further, the mounting head 28 mounts the electronic component on the circuit board held by the transfer device 26, and has a suction nozzle 50 on the lower surface for suctioning the electronic component. In addition, the mounting head 28 is fixed with the mark camera 44 (see FIG. 3) facing downward, and the mark camera 44 uses the reference position mark of the circuit board, the ID mark for identifying the circuit board and the electronic parts Take images of the mounting status etc. The suction nozzle 50 communicates with the positive / negative pressure supply device 52 (see FIG. 5) through the negative pressure air and positive pressure air passages, suctions and holds the electronic components by the negative pressure, and a slight positive pressure is supplied. It is considered to be a structure that separates the held electronic components. Furthermore, the mounting head 28 has a nozzle lifting device 54 (see FIG. 5) that raises and lowers the suction nozzle 50 and a nozzle rotation device 55 (see FIG. 5) that rotates the suction nozzle 50 about its axis. It is possible to change the vertical position of the electronic component to be held and the holding attitude of the electronic component. The suction nozzle 50 is removable from the mounting head 28, and can be changed according to the size, shape, and the like of the electronic component.

移動装置30は、装着ヘッド28をフレーム部20上の任意の位置に移動させるものであり、装着ヘッド28をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構(図示省略)と、装着ヘッド28をY軸方向に移動させるためのY軸方向スライド機構(図示省略)とを備えている。Y軸方向スライド機構は、Y軸方向に移動可能にビーム部22に設けられたY軸スライダ60(図3参照)と、駆動源としての電磁モータ57(図5参照)とを有しており、電磁モータ57によってY軸スライダ60がY軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、X軸方向スライド機構は、X軸方向に移動可能にY軸スライダに設けられたX軸スライダ66と、駆動源としての電磁モータ58(図5参照)とを有しており、電磁モータ58によってX軸スライダ66がX軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そして、そのX軸スライダ66に装着ヘッド28が取り付けられることで、装着ヘッド28は、移動装置30によって、フレーム部20上の任意の位置に移動可能とされている。なお、装着ヘッド28は、X軸スライダ66にワンタッチで着脱可能とされており、種類の異なる作業ヘッド、例えば、ディスペンサヘッド、検査ヘッド等に変更することが可能とされている。 The moving device 30 is for moving the mounting head 28 to an arbitrary position on the frame portion 20, and an X-axis direction slide mechanism (not shown) for moving the mounting head 28 in the X-axis direction; And a Y-axis direction slide mechanism (not shown) for moving in the Y-axis direction. The Y-axis direction slide mechanism has a Y-axis slider 60 (see FIG. 3) provided on the beam portion 22 so as to be movable in the Y-axis direction, and an electromagnetic motor 57 (see FIG. 5) as a drive source. The Y-axis slider 60 can be moved by the electromagnetic motor 57 to any position in the Y-axis direction. The X-axis direction slide mechanism also includes an X-axis slider 66 provided on the Y-axis slider movably in the X-axis direction, and an electromagnetic motor 58 (see FIG. 5) as a drive source. The X-axis slider 66 can be moved to an arbitrary position in the X-axis direction by 58. The mounting head 28 is attached to the X-axis slider 66 so that the mounting head 28 can be moved by the moving device 30 to any position on the frame 20. The mounting head 28 is attachable to and detachable from the X-axis slider 66 with one touch, and can be changed to different types of working heads such as a dispenser head and an inspection head.

また、ベースとしてのフレーム部20の上面には、搬送装置26と供給装置32とのY軸方向における間に、パーツカメラ46が設けられている。パーツカメラ46は、電子部品を吸着保持した装着ヘッド28が上部を通過する際に撮像し、撮像データによって吸着状態を確認するためのものである。 Further, on the upper surface of the frame portion 20 as a base, a parts camera 46 is provided between the transport device 26 and the supply device 32 in the Y-axis direction. The parts camera 46 is for picking up an image when the mounting head 28 holding the electronic component by suction holds the upper part, and confirming the suction state by the image pickup data.

また、供給装置32は、フレーム部20の前方側の端部に配設されており、フィーダ型の供給装置とされている。供給装置32は、電子部品がテーピング化されたテープ化部品をリール72に巻回させた状態で収容する複数のテープフィーダ74と、それら複数のテープフィーダ74の各々に収容されているテープ化部品を送り出す複数の送出装置(図示省略)とを有しており、テープ化部品から電子部品を装着ヘッド28への供給位置に順次供給する構造とされている。テープフィーダ74は、フレーム部20の前方側の端部に取り付けられたデバイスパレット76に着脱可能とされており、電子部品の交換等に対応可能とされている。また、テープフィーダ74が着脱されるデバイスパレット76は、フレーム部20に設けられたクランプ機構(図示略)の作動によりフレーム部20に対して着脱可能とされている。従って、電子部品装着機16は、デバイスパレット76をフレーム部20から取り外して、フィーダ型の供給装置32とは異なる種類の供給装置をフレーム部20に取り付けることが可能とされている。 Moreover, the supply apparatus 32 is arrange | positioned by the edge part of the front side of the flame | frame part 20, and is set as the feeder type | mold supply apparatus. The feeding device 32 includes a plurality of tape feeders 74 that accommodate the taped components in which the electronic components are taped and wound on the reel 72, and the taped components accommodated in each of the plurality of tape feeders 74. And a plurality of delivery devices (not shown) for delivering the electronic components, and the electronic components are sequentially supplied to the supply position to the mounting head 28 from the taped components. The tape feeder 74 is attachable to and detachable from the device pallet 76 attached to the front end of the frame portion 20, and is compatible with electronic component replacement and the like. The device pallet 76 to which the tape feeder 74 is attached and detached is attachable to and detachable from the frame 20 by the operation of a clamp mechanism (not shown) provided on the frame 20. Therefore, the electronic component placement machine 16 can remove the device pallet 76 from the frame portion 20 and attach a different type of feeding device to the frame portion 20 from the feeder type feeding device 32.

図3は、電子部品装着装置12が有する電子部品装着機17を上方からの視点において示す平面図である。電子部品装着機17を備える電子部品装着装置12は、電子部品装着機17のフレーム部20、搬送装置26、Y軸スライダ60等のX軸方向における幅が、電子部品装着機16に設けられたそれらの約2倍の幅を有する点を除き、電子部品装着機16を備える電子部品装着装置12と同様の構成である。以下の説明では、電子部品装着機17の構成要素であって電子部品装着機16と共通するものは同じ符号を使用し、その説明を適宜省略する。図3に示す電子部品装着機17は、幅が約2倍のデバイスパレット76をフレーム部20から取り外して、フィーダ型の供給装置32とは異なる種類の供給装置80をフレーム部20に取り付けた状態を示している。供給装置80は、テープ型供給装置81と、ウェハ型供給装置82とを備える混載型の供給装置である。以下の説明では、図3に示す混載型の供給装置80がフレーム部20に取り付けられた電子部品装着機17について説明する。 FIG. 3 is a plan view showing the electronic component placement machine 17 of the electronic component placement apparatus 12 as viewed from above. The electronic component mounting apparatus 12 including the electronic component mounting apparatus 17 has the width in the X-axis direction of the frame unit 20, the transport apparatus 26, the Y-axis slider 60, etc. of the electronic component mounting apparatus 17 provided in the electronic component mounting apparatus 16. It has the same configuration as the electronic component mounting apparatus 12 provided with the electronic component mounting machine 16 except that it has a width about twice that of them. In the following description, components of the electronic component mounting machine 17 that are common to the electronic component mounting machine 16 use the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate. The state in which the electronic component mounting machine 17 shown in FIG. 3 removes the device pallet 76 having a width about twice that from the frame portion 20 and mounts the supply device 80 of a type different from the feeder type supply device 32 to the frame portion 20 Is shown. The feeder 80 is a mixed type feeder including a tape-type feeder 81 and a wafer-type feeder 82. In the following description, the electronic component mounting machine 17 in which the mixed type supply device 80 shown in FIG. 3 is attached to the frame portion 20 will be described.

テープ型供給装置81は、上記した複数のテープフィーダ74やテープフィーダ74のテープ化された電子部品77を送り出す送出装置等を備える。ウェハ型供給装置82は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングしてなるダイ集合体106(図4参照)からダイ108を供給するものである。供給装置80のテープ型供給装置81及びウェハ型供給装置82は、電子部品装着機17のフレーム部20の前面側に取り付けられている。 The tape-type feeding device 81 includes a feeding device or the like for feeding the tape feeder 74 or the tape-formed electronic component 77 of the tape feeder 74 described above. The wafer type supply device 82 supplies the die 108 from a die assembly 106 (see FIG. 4) formed by dicing a wafer having a dicing sheet attached to a wafer. The tape-type feeding device 81 and the wafer-type feeding device 82 of the feeding device 80 are attached to the front side of the frame portion 20 of the electronic component placement machine 17.

ウェハ型供給装置82は、載置プレート84上に載置されている。ウェハ型供給装置82は、載置プレート84の略中央に配設されてダイ集合体106を固定的に保持するダイ集合体保持装置86と、ダイ集合体保持装置86によって保持されたダイ集合体106からダイ108をピックアップするピックアップヘッド88と、ピックアップヘッド88を載置プレート84上の任意の位置に移動させるヘッド移動装置90と、ピックアップヘッド88にピックアップされたダイ108を供給位置まで運ぶシャトル機構92とを備えている。 The wafer type supply device 82 is mounted on the mounting plate 84. The wafer type supply device 82 is disposed substantially at the center of the mounting plate 84 and holds the die assembly 106 in a fixed manner, and a die assembly held by the die assembly holding device 86. Pickup head 88 for picking up die 108 from 106, head moving device 90 for moving pickup head 88 to any position on mounting plate 84, and shuttle mechanism for carrying die 108 picked up by pickup head 88 to the supply position It has 92 and.

図4に示すように、ダイ集合体保持装置86は、Y軸方向に延びるように配設された1対のガイドレール(図では一方のみが示されている)100と、それら1対のガイドレール100によってY軸方向に移動可能に保持された保持フレーム102と、その保持フレーム102をY軸方向に移動させるフレーム移動機構104とを有している。ダイ集合体保持装置86は、ダイ集合体106が保持フレーム102上に保持されたダイ集合体106が、フレーム移動機構104によって、Y軸方向に移動させられるようになっている。 As shown in FIG. 4, the die assembly holding device 86 includes a pair of guide rails 100 (only one of which is shown in the figure) disposed so as to extend in the Y-axis direction, and the pair of guides It has a holding frame 102 held movably in the Y-axis direction by the rail 100, and a frame moving mechanism 104 for moving the holding frame 102 in the Y-axis direction. The die assembly holding device 86 is configured such that the die assembly 106 in which the die assembly 106 is held on the holding frame 102 is moved by the frame moving mechanism 104 in the Y-axis direction.

また、ピックアップヘッド88は、ダイ108を吸着するための吸着ノズル(図示省略)を下端部に保持する複数本の保持ロッド110を備えている。各保持ロッド110に保持された吸着ノズルは、エア通路を介して負圧供給装置(図示省略)に通じており、負圧にてダイ108を吸着保持する構造とされている。 Further, the pickup head 88 is provided with a plurality of holding rods 110 for holding at its lower end a suction nozzle (not shown) for suctioning the die 108. The suction nozzles held by the holding rods 110 communicate with a negative pressure supply device (not shown) through an air passage, and are configured to suction and hold the die 108 by a negative pressure.

また、ヘッド移動装置90は、XYロボット型の移動装置であり、ピックアップヘッド88をダイ集合体保持装置86上の任意の位置に移動可能とされている。詳しく言えば、ヘッド移動装置90は、ピックアップヘッド88をY軸方向に移動させるためのY軸方向スライド機構112と、ピックアップヘッド88をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構114とを備えている。Y軸方向スライド機構112は、Y軸方向に移動可能に設けられたY軸方向スライダ116と、駆動源としての電磁モータ(図示省略)とを有している。Y軸方向スライド機構112は、電磁モータが駆動されることによって、Y軸方向スライダ116がY軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、X軸方向スライド機構114は、X軸方向に移動可能にY軸方向スライダ116の側面に設けられたX軸方向スライダ118と、駆動源としての電磁モータ(図示省略)とを有している。X軸方向スライド機構114は、電磁モータが駆動されることによって、X軸方向スライダ118がX軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そして、X軸方向スライダ118にピックアップヘッド88が取り付けられることで、ピックアップヘッド88は、ヘッド移動装置90によって、ダイ集合体保持装置86上の任意の位置に移動可能とされている。 The head moving device 90 is an XY robot type moving device, and is capable of moving the pickup head 88 to any position on the die assembly holding device 86. More specifically, the head moving device 90 includes a Y-axis direction slide mechanism 112 for moving the pickup head 88 in the Y-axis direction, and an X-axis direction slide mechanism 114 for moving the pickup head 88 in the X-axis direction. Have. The Y-axis direction slide mechanism 112 has a Y-axis direction slider 116 provided movably in the Y-axis direction, and an electromagnetic motor (not shown) as a drive source. In the Y-axis direction sliding mechanism 112, the Y-axis direction slider 116 can be moved to any position in the Y-axis direction by driving the electromagnetic motor. The X-axis direction slide mechanism 114 has an X-axis direction slider 118 provided on the side surface of the Y-axis direction slider 116 so as to be movable in the X-axis direction, and an electromagnetic motor (not shown) as a drive source. There is. The X-axis direction slide mechanism 114 can move the X-axis direction slider 118 to any position in the X-axis direction by driving the electromagnetic motor. The pickup head 88 can be moved to any position on the die assembly holding device 86 by the head moving device 90 by attaching the pickup head 88 to the X-axis direction slider 118.

ピックアップヘッド88が取り付けられるX軸方向スライダ118には、下方を向いた状態でダイカメラ120が設けられており、X軸方向スライダ118がヘッド移動装置90によって移動させられることで、ダイ集合体保持装置86に保持されたダイ集合体106を任意の位置において撮像することが可能となっている。これにより、ダイ集合体106の複数のダイ108の各々の位置情報等を取得することが可能となっている。  The die camera 120 is provided on the X-axis direction slider 118 to which the pickup head 88 is attached facing downward, and the X-axis direction slider 118 is moved by the head moving device 90 to hold the die assembly. It is possible to image the die assembly 106 held by the device 86 at an arbitrary position. Thereby, it is possible to obtain positional information and the like of each of the plurality of dies 108 of the die assembly 106.

また、図3に示すように、シャトル機構92は、ダイ集合体保持装置86に対してX軸方向の一方側の載置プレート84上に固定されている。シャトル機構92は、概して長手形状のシャトル本体122と、そのシャトル本体122の上面に設けられたダイ搬送台124とから構成されている。ダイ搬送台124は、シャトル本体122の長手方向にスライド可能とされている。ダイ搬送台124は、ピックアップヘッド88からダイ108を受け取り、その受け取ったダイ108を供給位置まで搬送するものであり、ダイ108を受け取るためのシャトルノズル(図示省略)を有している。また、シャトル本体122は、Y軸方向に延びるようにして、それの基端側の部分において載置プレート84の上面に固定されており、先端側の部分が載置プレート84から延び出している。これにより、シャトル機構92の先端側の部分は、供給装置80が電子部品装着機17に取り付けられた状態で、フレーム部20上に延び出している。また、供給装置80は、載置プレート84の下面に電子部品装着機17のフレーム部20と電気的に接続されるコネクタ(図示略)が設けられている。なお、ダイ108は、種類によっては、ダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ(例えば、フリップチップ等)が存在する。このため、ウェハ型供給装置82は、ピックアップヘッド88でピックアップされたダイ108を受け取って必要に応じて上下を反転させダイ搬送台124に供給する反転ユニットを備えてもよい。 Further, as shown in FIG. 3, the shuttle mechanism 92 is fixed on the mounting plate 84 on one side in the X-axis direction with respect to the die assembly holding device 86. The shuttle mechanism 92 is composed of a generally elongated shuttle body 122 and a die carrier 124 provided on the upper surface of the shuttle body 122. The die carrier 124 is slidable in the longitudinal direction of the shuttle body 122. The die transport stand 124 receives the die 108 from the pickup head 88, transports the received die 108 to the supply position, and has a shuttle nozzle (not shown) for receiving the die 108. In addition, the shuttle body 122 extends in the Y-axis direction, and is fixed to the upper surface of the mounting plate 84 at the proximal end portion thereof, and the distal end portion extends from the mounting plate 84 . Thus, the tip end side portion of the shuttle mechanism 92 extends onto the frame portion 20 in a state where the supply device 80 is attached to the electronic component mounting machine 17. Further, in the supply device 80, a connector (not shown) electrically connected to the frame portion 20 of the electronic component mounting machine 17 is provided on the lower surface of the mounting plate 84. Note that, depending on the type, the die 108 has a die (for example, a flip chip or the like) attached to the dicing sheet upside down. For this reason, the wafer type supply apparatus 82 may include a reversing unit that receives the die 108 picked up by the pickup head 88, reverses the top and bottom as necessary, and supplies the die to the die transport stand 124.

図5に示すように、電子部品装着機17の制御装置130は、CPU,ROM,RAM等を備えたコンピュータを主体とするコントローラ132と、搬送装置26、移動装置30の電磁モータ57,58、正負圧供給装置52、ノズル昇降装置54、ノズル自転装置55、テープ型供給装置81、ウェハ型供給装置82の各々に対応する複数の駆動回路133とを備えている。コントローラ132は、各駆動回路133を介して搬送装置26、移動装置30等の動作を制御することが可能とされている。また、コントローラ132は、マークカメラ44及びパーツカメラ46が撮像した画像データを処理する。コントローラ132は、マークカメラ44によって得られた画像データを処理して回路基板に関する情報を検出する。また、コントローラ132は、パーツカメラ46によって得られた画像データの処理結果と、メモリ135に保存された位置情報データとに基づいて吸着ノズル50による部品(ダイ108や電子部品77)の保持位置の誤差等の検出、補正等を実施する。また、コントローラ132は、システム10の統括制御装置141に接続されており、統括制御装置141との間で検出結果や指令等が送受信される。統括制御装置141は、タッチパネル等の表示装置143を備えており、各種情報の入力を受け付けたり、各種情報を表示してユーザが確認することが可能とされている。 As shown in FIG. 5, the control device 130 of the electronic component placement machine 17 is a computer 132 mainly comprising a CPU, a ROM, a RAM, etc., an electromagnetic motor 57 58 of the transport device 26 and the transport device 30, A plurality of drive circuits 133 corresponding to each of the positive / negative pressure supply device 52, the nozzle lifting device 54, the nozzle rotation device 55, the tape type supply device 81, and the wafer type supply device 82 are provided. The controller 132 is capable of controlling the operation of the conveying device 26, the moving device 30 and the like via each drive circuit 133. The controller 132 also processes image data captured by the mark camera 44 and the part camera 46. The controller 132 processes the image data obtained by the mark camera 44 to detect information on the circuit board. In addition, the controller 132 controls the holding position of the component (the die 108 or the electronic component 77) by the suction nozzle 50 based on the processing result of the image data obtained by the part camera 46 and the position information data stored in the memory 135. Implement error detection and correction. Further, the controller 132 is connected to the general control device 141 of the system 10, and the detection result, the command and the like are transmitted and received with the general control device 141. The general control device 141 includes a display device 143 such as a touch panel, and can receive input of various information or display various information to allow the user to confirm.

ウェハ型供給装置82は、制御装置130の制御に基づいて、ピックアップヘッド88によってダイ集合体106からダイ108をピックアップする。また、ウェハ型供給装置82は、ピックアップしたダイ108を、シャトル機構92によって供給位置まで搬送することで、ダイ108を装着ヘッド28に供給することが可能とされている。具体的には、まず、制御装置130は、ヘッド移動装置90を制御して、ダイ集合体保持装置86によって保持されたダイ集合体106の複数のダイ108のうちのピックアップすべきダイ108の上方にダイカメラ120を移動させる。制御装置130は、ダイカメラ120によってダイ108を撮像し、撮像データに基づいてダイ108の位置情報を取得する。 The wafer type feeder 82 picks up the die 108 from the die assembly 106 by the pickup head 88 based on the control of the controller 130. Further, the wafer type supply device 82 can supply the die 108 to the mounting head 28 by transporting the picked up die 108 to the supply position by the shuttle mechanism 92. Specifically, first, the control device 130 controls the head moving device 90 to position the die 108 to be picked up among the plurality of dies 108 of the die assembly 106 held by the die assembly holding device 86. The die camera 120 is moved to The control device 130 captures an image of the die 108 by the die camera 120, and obtains positional information of the die 108 based on the captured data.

次に、制御装置130は、取得されたダイ108の位置情報に基づいてヘッド移動装置90を制御し、ピックアップすべきダイ108の上方にピックアップヘッド88を移動させる。制御装置130は、ピックアップヘッド88の保持ロッド110を下降させる。保持ロッド110の吸着ノズルは、ダイ108を吸着保持し、ダイ集合体106からダイ108をピックアップする。なお、ダイ集合体保持装置86の下方には、ダイ108を下方から突き上げる突上機構(図示省略)が設けられており、吸着ノズルによるダイ108の吸着時に、ダイ108が突上機構によって上方に突き上げられることで、ダイ108のピックアップがサポートされるようになっている。 Next, the control device 130 controls the head moving device 90 based on the acquired positional information of the die 108 to move the pickup head 88 above the die 108 to be picked up. The controller 130 lowers the holding rod 110 of the pickup head 88. The suction nozzle of the holding rod 110 holds the die 108 by suction and picks up the die 108 from the die assembly 106. Note that a lift mechanism (not shown) for pushing up the die 108 from below is provided below the die assembly holding device 86, and when the die 108 is sucked by the suction nozzle, the die 108 is moved upward by the lift mechanism. By being pushed up, pickup of the die 108 is supported.

次に、制御装置130は、ダイ108をピックアップしたピックアップヘッド88を、シャトル機構92のダイ搬送台124の上方に移動させる。また、ピックアップヘッド88によってダイ108がピックアップされる際には、ダイ搬送台124は、シャトル本体122の基端部側の位置(図3でダイ搬送台124が実線で示される位置)とされる。そして、制御装置130は、ピックアップヘッド88の保持ロッド110を下降させ、吸着ノズルへの負圧の供給を停止させることで、ピックアップされたダイ108をダイ搬送台124のシャトルノズルに受け渡す。 Next, the control device 130 moves the pickup head 88 picking up the die 108 above the die transfer stand 124 of the shuttle mechanism 92. In addition, when the die 108 is picked up by the pickup head 88, the die transport stand 124 is set to a position on the base end side of the shuttle body 122 (a position where the die transport stand 124 is indicated by a solid line in FIG. 3). . Then, the control device 130 lowers the holding rod 110 of the pickup head 88 to stop the supply of the negative pressure to the suction nozzle, thereby delivering the picked-up die 108 to the shuttle nozzle of the die transport stand 124.

ダイ108を受け取ったダイ搬送台124は、制御装置130によって、シャトル本体122の基端部から先端部に向かってスライドされ、シャトル本体122の先端部側の位置(図3でダイ搬送台124が点線で示される位置)においてダイ108を供給する状態とされる。つまり、図3でダイ搬送台124が点線で示される位置が、ウェハ型供給装置82によるダイ108の供給位置であり、その位置において供給されるダイ108が、装着ヘッド28によって保持される。 The die transport stand 124 which has received the die 108 is slid by the control device 130 from the proximal end to the distal end of the shuttle body 122, and the tip end side of the shuttle body 122 (the die transport stand 124 in FIG. The die 108 is supplied at the position shown by the dotted line). That is, the position where the die transfer stand 124 is shown by the dotted line in FIG. 3 is the supply position of the die 108 by the wafer type supply apparatus 82, and the die 108 supplied at that position is held by the mounting head 28.

一方で、制御装置130は、テープフィーダ74から電子部品77を供給する場合には、テープ型供給装置81を制御して、複数のテープフィーダ74の各々に収容されているテープ化部品から電子部品77を装着ヘッド28への供給位置(図3のテープフィーダ74の先端部分)に順次供給する制御を実行する。 On the other hand, when the control device 130 supplies the electronic component 77 from the tape feeder 74, the control device 130 controls the tape-type supply device 81 to make the electronic component from the taped components accommodated in each of the plurality of tape feeders 74. Control to sequentially supply 77 to the supply position (the tip of the tape feeder 74 in FIG. 3) to the mounting head 28 is executed.

ここで、ウェハ型供給装置82のようにダイ108を供給する供給装置では、ダイ集合体106の中に不良ダイ(バッドダイ)が存在する場合に、例えば、不良ダイの上面に付加された不良品であることを示すマークを、ダイカメラ120の撮像データに基づいて検出する必要がある。また、ウェハ型供給装置82は、検出した不良ダイに替えて正常なダイ108を検索する処理が必要となる。このため、ウェハ型供給装置82は、正常なダイ108を供給するまでの間に必要となる部品供給時間が、ダイシングシート上のダイ集合体106の中に含まれる不良ダイの数に応じて変動する。そこで、本実施形態のシステム10は、電子部品装着機16,17の各々のうち、ウェハ型供給装置82を備える電子部品装着機17に対して、ダイ集合体106の中から不良ダイが検出されるエラー発生率(以下、単に「エラー率」という)を決定し、そのエラー率に基づいて推定部品供給時間を補正する。さらに、システム10は、補正後の推定部品供給時間に基づいて、電子部品装着機16及び電子部品装着機17の各々で回路基板に部品を装着する装着順の最適化させる。システム10は、例えば、生産ジョブごとや所定の基板を生産するごとに装着順の最適化処理を実施する。 Here, in the supply apparatus for supplying the dies 108 as in the wafer type supply apparatus 82, when there is a defective die (bad die) in the die assembly 106, for example, a defective product added to the upper surface of the defective die It is necessary to detect a mark indicating that is based on the imaging data of the die camera 120. In addition, the wafer type supply device 82 needs processing for searching for a normal die 108 instead of the detected defective die. For this reason, the wafer type supply apparatus 82 varies the component supply time required until supplying a normal die 108 according to the number of defective dies included in the die assembly 106 on the dicing sheet. Do. Therefore, in the system 10 of the present embodiment, a defective die is detected from the die assembly 106 with respect to the electronic component mounting machine 17 having the wafer type supply device 82 among the electronic component mounting machines 16 and 17. Error rate (hereinafter simply referred to as “error rate”), and the estimated component supply time is corrected based on the error rate. Furthermore, the system 10 optimizes the mounting order of mounting components on the circuit board in each of the electronic component mounting machine 16 and the electronic component mounting machine 17 based on the estimated component supply time after correction. The system 10 performs, for example, the optimization processing of the mounting order for each production job or each time a predetermined substrate is produced.

<部品の装着順の最適化処理>
図6に示すフローチャートは、部品の装着順の最適化処理の内容を示している。まず、システム10の統括制御装置141は、例えば生産ジョブに基づいて基板を生産する前に、ユーザからエラー率の指定があるか否かを判定する(ステップS1)。例えば、ユーザは、統括制御装置141の表示装置143の表示内容に従って、システム10の部品生産ラインに接続された電子部品装着機16,17のうち、ウェハ型供給装置82を備える電子部品装着機17のエラー率を表示装置143のタッチパネルを使って入力する。エラー率は、ダイ108(ウェハ)の種類などによって異なる。このため、ユーザは、システム10を稼働させる運用の中で、同一の種類のダイ108を使用した結果などに基づいて決定した任意のエラー率を設定することが可能となっている。
<Optimization processing of mounting order of parts>
The flowchart shown in FIG. 6 shows the contents of the optimization process of the mounting order of parts. First, before producing a substrate based on a production job, for example, the general control device 141 of the system 10 determines whether or not the user has designated an error rate (step S1). For example, according to the display content of the display device 143 of the general control device 141, the user has the electronic component placement machine 17 provided with the wafer type supply device 82 among the electronic component placement machines 16 and 17 connected to the component production line of the system 10. The error rate of is input using the touch panel of the display device 143. The error rate varies depending on the type of die 108 (wafer) and the like. Therefore, the user can set an arbitrary error rate determined based on the result of using the same type of die 108 in the operation of operating the system 10.

ステップS1においてユーザによりエラー率の指定があった場合には(ステップS1:「YES」)、統括制御装置141は、指定された値をエラー率として決定する(ステップS3)。また、ユーザからエラー率の指定がない場合には(ステップS1:「NO」)、統括制御装置141は、過去の基板の生産に使用したウェハのうち、同一の種類のウェハ(ダイ108)の不良ダイの発生率を平均化した値をエラー率として決定する(ステップS5)。 When the error rate is designated by the user in step S1 (step S1: "YES"), the general control device 141 determines the designated value as the error rate (step S3). If the user does not specify an error rate (step S1: “NO”), the general control device 141 selects one of the wafers of the same type (die 108) among the wafers used for the production of the substrates in the past. A value obtained by averaging the incidence rate of defective dies is determined as an error rate (step S5).

図7は、生産情報の一部を示しており、基板の生産順ごとに使用したウェハの不良ダイ数を示している。この生産情報は、例えば、統括制御装置141が一括して管理してもよく、電子部品装着機17の制御装置130がメモリ135に記憶して管理してもよい。図7に示すように、例えば1枚目の基板の生産には、「A」「B」「C」の3種類のウェハ種が使用されている。1枚目の基板を生産した時点では、ウェハ種「A」「B」「C」の各々は、1枚ずつ使用されている。また、2枚目の基板が生産された時点では、ウェハ種「A」「B」「C」の各々は、ウェハ種「A」が2つのウェハ(ウェハIDが「A−00001」と「A−00002」)が使用され、他のウェハ種「B」「C」の各々が1枚ずつ使用されている。例えば、ウェハ型供給装置82を備える電子部品装着機17は、基板を生産するごとに、各ウェハ種の正常ダイ数及び不良ダイ数を集計する。例えば、1枚目の基板の生産では、ウェハ種「A」(ウェハID「A−00001」)は、ウェハ型供給装置82がピックアップを試みたダイ108のうち、正常ダイが5000個、不良ダイが10個となっている。 FIG. 7 shows a part of production information, and shows the number of defective dies of a wafer used for each production order of substrates. For example, the general control device 141 may collectively manage the production information, or the control device 130 of the electronic component placement machine 17 may store and manage it in the memory 135. As shown in FIG. 7, for example, three types of wafer types “A”, “B” and “C” are used for production of the first substrate. At the time of production of the first substrate, each of wafer types “A”, “B” and “C” is used one by one. Also, when the second substrate is produced, each of wafer types “A”, “B” and “C” is a wafer having two wafer types “A” (wafer ID “A-00001” and “A “−00002”) is used, and each of the other wafer types “B” and “C” is used one by one. For example, the electronic component placement machine 17 provided with the wafer type supply device 82 counts the number of normal dies and the number of defective dies of each wafer type every time a substrate is produced. For example, in the production of the first substrate, the wafer type “A” (wafer ID “A-00001”) corresponds to 5000 normal dies out of the dies 108 for which the wafer type supply device 82 attempted to pick up, and defective dies. There are ten.

例えば、ステップS5において、統括制御装置141がエラー率を決定する際に、図8に示す生産情報が集計されていたものとする。図8は、ウェハ種「A」の正常ダイ数及び不良ダイ数を示している。例えば、ウェハID「A−00001」は、正常ダイ数が9900個であり、不良ダイ数が100個であるため、エラー率が1%となる。また、ウェハID「A−00002」は、正常ダイ数が9999個であり、不良ダイ数が1個であるため、エラー率が0.01%となる。電子部品装着機17の制御装置130は、図8に示す生産情報に基づいて、ウェハ種が同一であるウェハID「A−00001」〜ウェハID「A−00006」までの正常ダイ数及び不良ダイ数を加算しエラー率を演算する。演算した結果、ウェハ種「A」のエラー率は、2%となる。制御装置130は、ウェハ種「A」のエラー率と同様に、他のウェハ「B」「C」についてもエラー率を演算し、統括制御装置141に送信する。なお、エラー率の演算は、統括制御装置141が実施してもよい。 For example, in step S5, when the general control device 141 determines the error rate, it is assumed that the production information shown in FIG. 8 is aggregated. FIG. 8 shows the number of normal dies and the number of defective dies of wafer type "A". For example, the wafer ID “A-00001” has an error rate of 1% because the number of normal dies is 9900 and the number of defective dies is 100. Further, the wafer ID “A-00002” has an error rate of 0.01% because the number of normal dies is 9999 and the number of defective dies is one. Based on the production information shown in FIG. 8, the control device 130 of the electronic component placement machine 17 calculates the number of normal dies from the wafer ID “A-00001” to the wafer ID “A-00006” having the same wafer type and the defective dies. Calculate the error rate by adding numbers. As a result of the calculation, the error rate of wafer type “A” is 2%. The controller 130 calculates the error rate for the other wafers “B” and “C” as well as the error rate for the wafer type “A”, and transmits the error rates to the general control unit 141. The calculation of the error rate may be performed by the general control device 141.

<部品の供給順の最適化>
次に、図6に示すステップS6において、統括制御装置141は、ユーザの入力値又は生産情報によって決定したエラー率に基づいて、次に生産する基板の生産ジョブで使用するウェハ種のエラー率を決定する。統括制御装置141は、次の生産ジョブでウェハ型供給装置82を使用する電子部品装着機17に対して決定したエラー率を通知する。通知を受けた電子部品装着機17の制御装置130は、エラー率に基づいて推定部品供給時間を演算する。
<Optimization of parts supply order>
Next, in step S6 shown in FIG. 6, the general control device 141 determines the error rate of the wafer type used in the production job of the substrate to be produced next based on the error rate determined by the user's input value or production information. decide. The general control device 141 notifies the determined error rate to the electronic component placement machine 17 using the wafer type supply device 82 in the next production job. The control device 130 of the electronic component mounting machine 17 that has received the notification calculates the estimated component supply time based on the error rate.

次に、制御装置130は、演算した推定部品供給時間に基づいて、ウェハ型供給装置82が正常ダイをピックアップするまでの間、ウェハ型供給装置82や他の部品供給装置(テープ型供給装置81など)が部品を供給する動作に遅延が生じる「供給待ち」が発生したか否かを判定する(ステップS7)。制御装置130は、供給待ちが発生した場合には、供給待ち時間が短縮されるように、ウェハ型供給装置82や他の部品供給装置の供給の順番を変更する(ステップS9)。なお、推定部品供給時間の演算、供給待ちの有無、供給の順番の変更は、統括制御装置141が統括して実施してもよい。 Next, the controller 130 controls the wafer type feeder 82 and other component feeders (tape type feeder 81) until the wafer type feeder 82 picks up the normal die based on the calculated estimated component feed time. Etc.) determines whether "waiting for supply" occurs, which causes a delay in the operation of supplying parts (step S7). When a waiting for supply occurs, the control device 130 changes the order of supply of the wafer type supply device 82 and other component supply devices so as to reduce the supply waiting time (step S9). Note that the calculation of the estimated component supply time, the presence or absence of supply waiting, and the change of the supply order may be collectively performed by the general control device 141.

上記したステップS6〜ステップS9で実施される部品の供給順の最適化について説明する。図9は、最適化前の電子部品装着機17の部品の供給順の一例を示している。図9に示す例では、電子部品装着機17は、部品の装着シーケンスとして、まずウェハ型供給装置82のダイ108の供給(図中の部品種の項目が「ウェハ部品」の行)を5回実施した後に、テープ型供給装置81の電子部品77の供給(図中の部品種の項目が「フィーダ部品」の行)を5回実施している。 The optimization of the supply order of parts implemented in the above-described steps S6 to S9 will be described. FIG. 9 shows an example of the supply order of components of the electronic component mounting machine 17 before optimization. In the example shown in FIG. 9, the electronic component placement machine 17 first supplies the die 108 of the wafer type feeding device 82 five times (the row of the component type in the figure is “wafer components” row) five times as the component placement sequence. After the implementation, the supply of the electronic component 77 of the tape-type supply device 81 (the item of the type of component in the figure is the line of “feeder component”) is performed five times.

図10は、電子部品装着機17の装着シーケンスを説明するための模式図である。また、図11は、制御装置130のメモリ135に記憶された推定部品供給時間に係わるデータであり、図9に示す装着シーケンスに対応するエラー率を考慮する前のデータを示している。図11に示すデータには、装着シーケンスの番号(Seq番号)、スロット番号、エラー率を考慮しない推定供給所要時間、吸着動作内容、吸着動作時間(動作時間)、供給待ち発生の有無、トータル所要時間の各項目に応じたデータが設定されている。なお、「エラー率を考慮しない推定供給所要時間」は、供給される電子部品77またはダイ108の種類、使用される吸着ノズル50の種類、吸着ノズル50が取り付けられた装着ヘッド28の種類、装着ヘッド28の移動距離などに基づいた公知の方法により、予め推定された時間である。また、電子部品装着機17には、ウェハ型供給装置82及びテープ型供給装置81が接続される複数のスロットが設けられているが、以下の説明では、一例として、ウェハ型供給装置82が接続されるスロット番号を「1」、テープ型供給装置81が接続されるスロット番号を「2」として説明する。また、複数の装着シーケンスSeqのうち、同様の処理内容のものについては、適宜説明を省略する。 FIG. 10 is a schematic view for explaining the mounting sequence of the electronic component mounting machine 17. As shown in FIG. Further, FIG. 11 is data relating to the estimated component supply time stored in the memory 135 of the control device 130, and shows data before considering the error rate corresponding to the mounting sequence shown in FIG. In the data shown in FIG. 11, the mounting sequence number (Seq number), slot number, estimated supply required time not considering error rate, suction operation content, suction operation time (operation time), presence or absence of supply waiting, total required Data corresponding to each item of time is set. “Estimated supply required time not considering error rate” refers to the type of electronic component 77 or die 108 to be supplied, the type of suction nozzle 50 to be used, the type of mounting head 28 to which the suction nozzle 50 is attached, and the mounting The time is previously estimated by a known method based on the movement distance of the head 28 and the like. In addition, although the electronic component placement machine 17 is provided with a plurality of slots to which the wafer type feeding device 82 and the tape type feeding device 81 are connected, the wafer type feeding device 82 is connected as an example in the following description. It is assumed that the slot number to be stored is "1" and the slot number to which the tape type feeding apparatus 81 is connected is "2". Moreover, about the thing of the same processing content among several mounting | wearing sequences Seq, description is abbreviate | omitted suitably.

まず、制御装置130は、図11に示す装着シーケンスの開始にともなって、装着シーケンスの1番(装着シーケンスSeq1)を実行し、スロット番号1に接続されたウェハ型供給装置82の供給位置(装着ヘッド28の吸着位置)に装着ヘッド28を移動させる。図10の装着シーケンスSeq1で示すように、装着ヘッド28は、作業前の待機していた位置からウェハ型供給装置82の供給位置、より具体的には図3のダイ搬送台124を破線で示す部分まで移動する。この装着ヘッド28が吸着位置まで移動するのに必要な吸着動作時間は、例えば2秒である(図11の項目「吸着動作時間)参照)。 First, with the start of the mounting sequence shown in FIG. 11, the control device 130 executes the first (mounting sequence Seq1) of the mounting sequence to supply the supply position of the wafer type supply device 82 connected to the slot number 1 (loading The mounting head 28 is moved to the suction position of the head 28). As indicated by the mounting sequence Seq1 of FIG. 10, the mounting head 28 indicates the supply position of the wafer type supply device 82 from the position where it was waiting before the work, more specifically the die transport stand 124 of FIG. Move to the part. The suction operation time required for the mounting head 28 to move to the suction position is, for example, 2 seconds (see the item "suction operation time" in FIG. 11).

一方で、ウェハ型供給装置82は、生産の開始にともなって、ダイ108を供給位置に供給するための処理を開始する。このウェハ型供給装置82が供給位置にダイ108を供給するのに必要な供給所要時間は、例えば2秒と推定される(図11の項目「供給所要時間)参照)。この場合には、吸着動作時間及び推定供給所要時間は同じであるため、装着シーケンスSeq1のトータル所要時間は、2秒となる。 On the other hand, the wafer type supply device 82 starts processing for supplying the die 108 to the supply position as production starts. The supply required time required for the wafer type supply apparatus 82 to supply the die 108 to the supply position is estimated to be, for example, 2 seconds (see the item "supply required time" in FIG. 11). Since the operation time and the estimated required supply time are the same, the total required time of the mounting sequence Seq1 is 2 seconds.

次に、制御装置130は、装着シーケンスSeq2を実行し、ウェハ型供給装置82から装着ヘッド28に供給されたダイ108を、回路基板CBに装着する作業を実施する。制御装置130は、装着ヘッド28を制御して、吸着ノズル50によってウェハ型供給装置82の供給位置のダイ108を吸着する。図10の装着シーケンスSeq2に示すように、制御装置130は、装着ヘッド28を、ウェハ型供給装置82の供給位置からパーツカメラ46の上を通過させ、搬送装置26(図3参照)によって実装位置に固定された回路基板CBの装着位置まで移動させる。制御装置130は、装着ヘッド28がパーツカメラ46の上を通過する際、ダイ108を吸着した状態の吸着ノズル50を、パーツカメラ46によって撮像する。制御装置130は、パーツカメラ46の撮像データに基づいて、吸着ノズル50に吸着されるダイ108の保持位置や姿勢等の誤差を修正し、修正した後に装着ヘッド28に対してダイ108を回路基板CBに装着させる。また、制御装置130は、次の装着シーケンスSeq3においてもウェハ型供給装置82からダイ108が供給されるため、ウェハ型供給装置82の供給位置に装着ヘッド28を移動させる。この装着シーケンスSeq2の一連の動作に必要な吸着動作時間は、例えば2.5秒である。 Next, the control device 130 executes the mounting sequence Seq2, and carries out an operation of mounting the die 108 supplied from the wafer type supply device 82 to the mounting head 28 to the circuit board CB. The controller 130 controls the mounting head 28 to suction the die 108 at the supply position of the wafer type supply device 82 by the suction nozzle 50. As shown in the mounting sequence Seq2 of FIG. 10, the control device 130 causes the mounting head 28 to pass from the supply position of the wafer type supply device 82 above the parts camera 46 and mounts the mounting position by the transfer device 26 (see FIG. 3). To the mounting position of the circuit board CB fixed to the When the mounting head 28 passes above the parts camera 46, the control device 130 picks up an image of the suction nozzle 50 with the die 108 adsorbed by the parts camera 46. The control device 130 corrects an error such as the holding position or posture of the die 108 adsorbed to the suction nozzle 50 based on the imaging data of the parts camera 46, corrects the error, and then corrects the die 108 relative to the mounting head 28 Attach to CB. Further, since the die 108 is supplied from the wafer type supply device 82 also in the next mounting sequence Seq3, the control device 130 moves the mounting head 28 to the supply position of the wafer type supply device 82. The suction operation time required for a series of operations of the mounting sequence Seq2 is, for example, 2.5 seconds.

一方で、ウェハ型供給装置82の推定供給所要時間は、装着シーケンスSeq1と同様に、2秒である。吸着動作時間及び供給所要時間の一方が長い場合には、処理時間の短い動作が終了したとしても次の装着シーケンスを実行することができない。このため、装着シーケンスSeq2のトータル所要時間は、処理時間が長い吸着動作時間に合わせた2.5秒となる。同様に、制御装置130は、ウェハ型供給装置82から供給されるダイ108を回路基板CBに装着する装着シーケンスSeq3〜Seq5を実行する。なお、装着シーケンスSeq2のように回路基板CBへの部品の装着をともなう動作は、回路基板CBの部品の装着位置がウェハ型供給装置82の部品の供給位置から近い又は遠いかによって吸着動作時間が変動してくる。従って、同様の処理を行う他の装着シーケンスSeq3〜Seq5は、吸着動作時間が互いに異なっている。 On the other hand, the estimated required supply time of the wafer type supply apparatus 82 is 2 seconds, as in the mounting sequence Seq1. When one of the adsorption operation time and the supply required time is long, the next mounting sequence can not be executed even if the operation with a short processing time is finished. Therefore, the total required time of the mounting sequence Seq2 is 2.5 seconds, which is combined with the suction operation time having a long processing time. Similarly, the control device 130 executes mounting sequences Seq3 to Seq5 for mounting the die 108 supplied from the wafer type supply device 82 to the circuit board CB. In the operation involving the mounting of the component on the circuit board CB as in the mounting sequence Seq2, the suction operation time is determined depending on whether the mounting position of the component on the circuit board CB is close or far from the supply position of the component of the wafer type supply device 82. It will change. Therefore, in the other attachment sequences Seq3 to Seq5 performing the same process, the suction operation times are different from each other.

次に、制御装置130は、装着シーケンスSeq6において、回路基板CBへのダイ108の装着が終了した装着ヘッド28を、スロット番号2に接続されたテープ型供給装置81の供給位置に移動させる。次に、制御装置130は、装着シーケンスSeq7を実行し、テープ型供給装置81から装着ヘッド28に供給された電子部品77を回路基板CBに装着する作業を実施する。図10に示すように、装着ヘッド28は、テープ型供給装置81の供給位置からパーツカメラ46の上を通過し、回路基板CBの装着位置まで移動し電子部品77を装着する。同様に、制御装置130は、装着シーケンスSeq8〜Seq10においてテープ型供給装置81から供給される電子部品77の回路基板CBへの装着を繰り返し実行する。 Next, in the mounting sequence Seq6, the control device 130 moves the mounting head 28 in which the mounting of the die 108 to the circuit board CB is finished to the supply position of the tape-type supply device 81 connected to the slot number 2. Next, the control device 130 executes the mounting sequence Seq7, and carries out an operation of mounting the electronic component 77 supplied from the tape type supply device 81 to the mounting head 28 on the circuit board CB. As shown in FIG. 10, the mounting head 28 passes above the parts camera 46 from the supply position of the tape type supply device 81, moves to the mounting position of the circuit board CB, and mounts the electronic component 77. Similarly, the control device 130 repeatedly executes the mounting of the electronic component 77 supplied from the tape-type supply device 81 to the circuit board CB in the mounting sequences Seq8 to Seq10.

上記した内容の図11に示す推定部品供給時間に係わるデータに対して、制御装置130は、図6に示すステップS6において、統括制御装置141から通知を受けたエラー率に基づいて、ウェハ型供給装置82の供給所要時間を演算する。制御装置130は、エラー率と予め設定された係数とを各装着シーケンスの推定供給所要時間に乗算等して演算する。図12は、エラー率に基づいて演算した後の補正された推定部品供給時間に係わるデータを示している。例えば、ウェハ型供給装置82の推定供給所要時間は、不良ダイが発生するエラー率に基づいて演算した結果、2秒から2.1秒に補正される。装着シーケンスSeq1は、吸着動作時間(2秒)に比べて補正後の推定供給所要時間(2.1秒)が長くなる。従って、装着シーケンスSeq1のトータル所要時間は、処理時間が長い補正後の推定供給所要時間を適用した2.1秒となる。 With respect to the data relating to the estimated component supply time shown in FIG. 11 of the content described above, the control device 130 performs wafer type supply based on the error rate notified from the general control device 141 in step S6 shown in FIG. The supply required time of the apparatus 82 is calculated. The control device 130 calculates the error rate and the preset coefficient by multiplying the estimated required supply time of each mounting sequence. FIG. 12 shows data related to the corrected estimated component supply time after calculation based on the error rate. For example, as a result of calculating based on the error rate which a bad die | dye generate | occur | produces, the presumed supply required time of the wafer type supply apparatus 82 is correct | amended to 2 to 2.1 second. In the mounting sequence Seq1, the estimated required supply time (2.1 seconds) after correction is longer than the suction operation time (2 seconds). Therefore, the total required time of the mounting sequence Seq1 is 2.1 seconds to which the estimated required supply time after correction is applied.

このように、ウェハ種ごとに集計し平均化したエラー率を用いて推定供給所要時間を補正すると、装着シーケンスSeq1の動作では、ヘッド移動装置90の移動が完了するまでの間に、ウェハ型供給装置82がピックアップしたダイ108を供給位置まで搬送させる供給動作が完了しないことが予想される。その結果、制御装置130は、次の装着シーケンスSeq2以降の動作を実施するタイミングに遅延が生じる。制御装置130は、エラー率に基づいた推定供給所要時間の補正を実行した結果、トータル所要時間が長くなった装着シーケンスを供給待ちが発生したと判定する。図12に示す例では、ウェハ型供給装置82に対応するSeq1〜Seq5のうち、装着シーケンスSeq1,Seq3が該当する。制御装置130は、トータル所要時間が長くなった装着シーケンスSeq1,Seq3を供給待ちが発生すると判定し、「供給待ちの発生の有無」の項目に「有り」を示すデータを設定する。 As described above, when the estimated required supply time is corrected using the error rate tabulated and averaged for each wafer type, in the operation of the mounting sequence Seq1, the wafer type supply is completed while the movement of the head moving device 90 is completed. It is expected that the dispensing operation will not be completed, which will transport the die 108 picked up by the apparatus 82 to the dispensing position. As a result, the control device 130 causes a delay in the timing at which the operation of the next mounting sequence Seq2 and thereafter is performed. As a result of executing the correction of the estimated required supply time based on the error rate, the control device 130 determines that the waiting for supply has occurred for the mounting sequence in which the total required time has become longer. In the example shown in FIG. 12, the mounting sequences Seq1 and Seq3 correspond to Seq1 to Seq5 corresponding to the wafer type supply device 82. The control device 130 determines that waiting for supply occurs in the mounting sequences Seq1 and Seq3 in which the total required time has become long, and sets data indicating “Available” in the item “presence or absence of occurrence of supply waiting”.

次に、制御装置130は、図6に示すステップS7において、供給待ちが発生したと判定したため、供給待ち時間が短縮されるように、ウェハ型供給装置82及びテープ型供給装置81の供給の順番を変更する(ステップS9)。図13は、図12に示す補正後の推定部品供給時間に係わるデータを最適化した後のデータを示している。なお、以下の説明では、変更前の装着シーケンスの番号を旧装着シーケンス、変更後の装着シーケンスを新装着シーケンスと称して説明する。 Next, since the controller 130 determines in step S7 shown in FIG. 6 that supply waiting has occurred, the order of supply of the wafer type supply apparatus 82 and the tape type supply apparatus 81 is set so that the supply waiting time is shortened. Is changed (step S9). FIG. 13 shows data after the data related to the estimated part supply time after correction shown in FIG. 12 is optimized. In the following description, the number of the mounting sequence before the change is referred to as the old mounting sequence, and the mounting sequence after the change is referred to as the new mounting sequence.

例えば、制御装置130は、供給待ちが発生した旧装着シーケンスSeq1の前にテープ型供給装置81(スロット2)から電子部品77を供給する旧装着シーケンスSeq6を新装着シーケンスSeq1として挿入する。旧装着シーケンスSeq1は、新装着シーケンスSeq2として繰り下がる。 For example, the control device 130 inserts, as a new mounting sequence Seq1, the old mounting sequence Seq6 for supplying the electronic component 77 from the tape type supply device 81 (slot 2) before the old mounting sequence Seq1 for which the supply waiting has occurred. The old mounting sequence Seq1 is carried forward as a new mounting sequence Seq2.

変更後の装着シーケンスでは、制御装置130は、基板の生産の開始にともなって、新装着シーケンスSeq1を実行し、スロット番号2に接続されたテープ型供給装置81の供給位置へ装着ヘッド28を移動させる。この装着ヘッド28が吸着位置まで移動するのに必要な吸着動作時間は、2秒である。 In the mounting sequence after change, the control device 130 executes the new mounting sequence Seq1 with the start of production of the substrate, and moves the mounting head 28 to the supply position of the tape type supply device 81 connected to the slot number 2 Let The suction operation time required for the mounting head 28 to move to the suction position is 2 seconds.

一方で、ウェハ型供給装置82は、新装着シーケンスSeq1が実行される間、即ち、他の供給装置に対する動作が実施されている間に、ダイ108を供給位置に供給するための処理を開始することが可能となる。ウェハ型供給装置82が供給位置にダイ108を供給する補正後の推定供給所要時間は、上記した通り、エラー率を考慮するので2.1秒となる。しかしながら、ウェハ型供給装置82は、新装着シーケンスSeq1の開始と同時に、ダイ108のピックアップ動作を開始する。このため、ウェハ型供給装置82の補正後の推定供給所要時間は、実質的には、2.1秒から新装着シーケンスSeq1の2秒を引いた0.1秒となる。その結果、変更後の新装着シーケンスSeqでは、旧装着シーケンスSeq1のトータル所要時間は、最適化前の2.1秒から2秒に短縮されることとなる。なお、トータル所要時間が2秒となるのは、処理時間の長い装着ヘッド28の吸着動作時間を適用したためである。 On the other hand, the wafer type supplying apparatus 82 starts the process for supplying the die 108 to the supplying position while the new mounting sequence Seq1 is performed, that is, while the operation for the other supplying apparatus is being performed. It becomes possible. As described above, the estimated estimated required supply time after the wafer type supply apparatus 82 supplies the die 108 to the supply position is 2.1 seconds because the error rate is taken into consideration. However, the wafer type supply apparatus 82 starts the pickup operation of the die 108 simultaneously with the start of the new mounting sequence Seq1. For this reason, the estimated required supply time after correction of the wafer type supply apparatus 82 is substantially 0.1 seconds obtained by subtracting 2 seconds of the new mounting sequence Seq1 from 2.1 seconds. As a result, in the new mounting sequence Seq after change, the total required time of the old mounting sequence Seq1 is reduced from 2.1 seconds before optimization to 2 seconds. The total required time is 2 seconds because the suction operation time of the mounting head 28 having a long processing time is applied.

同様に、制御装置130は、供給待ちが発生した旧装着シーケンスSeq3の前にテープ型供給装置81(スロット2)から電子部品77を供給する旧装着シーケンスSeq7を新装着シーケンスSeq4として挿入する。旧装着シーケンスSeq3は、新装着シーケンスSeq5として繰り下がる。これにより、変更後の新装着シーケンスSeq5(旧装着シーケンスSeq3)のトータル所要時間は、最適化前の2.1秒から2秒に短縮されることとなる。なお、図13に示す最適化後の装着シーケンスの順番は、一例であり、これに限定されない。また、装着シーケンスの順番は、最適化による順番の入れ替え処理を除いては、可能な限り元の順番を維持することが好ましい。このため、制御装置130は、図13に示す最適化後のデータのように、テープ型供給装置81(他の供給装置)に係わる装着シーケンスのうち、順番の早いもの(例えば、旧装着シーケンスSeq6,Seq7)から入れ替えの対象とすることが好ましい。 Similarly, the control device 130 inserts, as a new mounting sequence Seq4, the old mounting sequence Seq7 for supplying the electronic component 77 from the tape type supply device 81 (slot 2) before the old mounting sequence Seq3 for which the supply waiting has occurred. The old mounting sequence Seq3 is carried forward as a new mounting sequence Seq5. As a result, the total required time of the new attachment sequence Seq5 (old attachment sequence Seq3) after change is shortened from 2.1 seconds before optimization to 2 seconds. In addition, the order of the mounting | wearing sequence after optimization shown in FIG. 13 is an example, and is not limited to this. Moreover, it is preferable to maintain the original order as much as possible, except for the process of changing the order by optimization. For this reason, the control device 130, like the data after optimization shown in FIG. 13, among the mounting sequences related to the tape type supplying device 81 (other supplying devices), the one having the earlier order (for example, the old mounting sequence Seq6 , Seq 7) are preferred as replacement targets.

制御装置130は、新装着シーケンスSeq2,Seq5のトータル所要時間が、図11に示すエラー率を考慮しない装着シーケンスSeq1,Seq3と同一の2秒に最適化されたため、図13に示す「供給待ちの発生の有無」の項目を、すべて無しとする。これにより、制御装置130は、エラー率によるウェハ型供給装置82の供給所要時間の遅延を踏まえた上でより正確なトータル所要時間を用いて、回路基板CBに対する部品(ダイ108及び電子部品77)の装着順を最適化すること可能となる。 Since the total required time of the new attachment sequences Seq2 and Seq5 is optimized to the same two seconds as the attachment sequences Seq1 and Seq3 not considering the error rate shown in FIG. The item "presence or absence of occurrence" is assumed to be none. As a result, the control device 130 uses the more accurate total required time based on the delay of the required time for supplying the wafer-type supply device 82 due to the error rate, and the components for the circuit board CB (die 108 and electronic parts 77) It is possible to optimize the mounting order of

従来の電子部品装着機17では、エラー率を考慮せずに装着シーケンスが決定されていたために、実際の作業において、不良ダイが発見される度に実施中の装着シーケンスのトータル所要時間が長くなり、次の装着シーケンス以降の作業の開始時間が遅延する不具合が生じていた。そして、トータル所要時間の遅延が発生するごとに、未実施の装着シーケンスの開始時間が遅延するため、1枚当たりの基板の生産時間が長くなり生産効率の低下に繋がっていた。これに対し、本実施形態のシステム10では、電子部品装着機17の制御装置130が、エラー率を考慮してトータル所要時間を最適化させるため、実際の作業での不良ダイによるトータル所要時間の遅延を可能な限り低減することが可能となる。その結果、システム10は、基板の生産時間を短縮させ、生産効率の効用を図ることが可能となる。 In the conventional electronic component mounting machine 17, since the mounting sequence is determined without considering the error rate, the total required time of the mounting sequence being executed becomes longer each time a defective die is found in an actual operation. There was a problem that the start time of work after the next mounting sequence was delayed. And since the start time of the unimplemented mounting | wearing sequence is delayed whenever the delay of total required time generate | occur | produces, the production time of the board | substrate per sheet was lengthened, and it has led to the fall of production efficiency. On the other hand, in the system 10 according to the present embodiment, the control device 130 of the electronic component placement machine 17 optimizes the total required time in consideration of the error rate, so It is possible to reduce the delay as much as possible. As a result, the system 10 can shorten the substrate production time, and can achieve the effect of production efficiency.

<モジュールの最適化>
次に、システム10の統括制御装置141は、モジュールごとの最適化を実施する。図1に示すように、システム10は、互いに隣接して配列された4台の電子部品装着装置12の各々が2台の電子部品装着機16、又は1台の電子部品装着機17を備える。統括制御装置141は、例えば、この複数の電子部品装着機16,17の各々をモジュールとして管理する。そして、統括制御装置141は、各モジュール(電子部品装着機16,17)において回路基板CBに部品を装着する際に必要となる生産時間(タクトタイム)が短縮されるように最適化を行う。なお、統括制御装置141が生産時間を管理するために設定するモジュールの単位は、適宜変更可能であり、例えば、電子部品装着装置12をモジュールとして管理してもよい。以下の説明では、統括制御装置141が1台の電子部品装着機16又は電子部品装着機17を1つのモジュールとして管理及び最適化の処理を実行する場合について説明する。
<Module optimization>
Next, the general control device 141 of the system 10 performs optimization for each module. As shown in FIG. 1, the system 10 includes two electronic component mounting machines 16 or one electronic component mounting machine 17 each of four electronic component mounting apparatuses 12 arranged adjacent to each other. The central control device 141 manages, for example, each of the plurality of electronic component placement machines 16 and 17 as a module. Then, the general control device 141 performs optimization so as to shorten the production time (tact time) required to mount the components on the circuit board CB in each module (electronic component mounting machines 16 and 17). The unit of the module set by the general control device 141 to manage the production time can be changed as appropriate. For example, the electronic component mounting device 12 may be managed as a module. In the following description, a case where the general control device 141 executes management and optimization processing with one electronic component mounting machine 16 or one electronic component mounting machine 17 as one module will be described.

統括制御装置141は、図6に示すステップS7又はステップS9に次いで、ステップS11を実行する。統括制御装置141は、各モジュール(電子部品装着機16,17)の生産時間を演算する。例えば、図13に示すエラー率に基づいて装着シーケンスを最適化した補正後の推定部品供給時間では、すべての部品(ダイ108及び電子部品77)を回路基板CBに装着するのに必要となる生産時間は、新装着シーケンスSeq1〜Seq10のトータル所要時間を合計した時間(この場合、21.5秒)となる。 The general control device 141 executes step S11 next to step S7 or step S9 shown in FIG. The general control device 141 calculates the production time of each module (electronic component mounting machines 16 and 17). For example, in the estimated component supply time after correction where the mounting sequence is optimized based on the error rate shown in FIG. 13, the production required to mount all the components (die 108 and electronic component 77) on the circuit board CB The time is the time (21.5 seconds in this case) obtained by totaling the total required times of the new mounting sequences Seq1 to Seq10.

次に、ステップS13において、統括制御装置141は、すべてのモジュールについて生産時間を取得し、生産時間が最大となるモジュールをボトルネックのモジュールとして判定する。図13に示す例では、すべてのトータル所要時間が、エラー率を考慮する前の図11ものと同一となっているため、生産時間(タクトタイム)の増減はない。しかしながら、ステップS9における最適化処理を実施してもエラー率を考慮する前に比べて生産時間が増加してしまう場合がある。この場合には、ウェハ型供給装置82を備える電子部品装着機17(モジュール)がボトルネックとなる可能性が生じる。なお、この生産時間の増加については、不良ダイが含まれていない理想的な生産時間(図11参照)に比べて増加することを意味しており、図12に示す装着シーケンスの順番を変更しないままの生産時間に比べれば、最適化後の生産時間が短縮されていることは言うまでもない。 Next, in step S13, the general control device 141 obtains production time for all modules, and determines a module with the largest production time as a bottleneck module. In the example shown in FIG. 13, since all the total required times are the same as those in FIG. 11 before considering the error rate, there is no increase or decrease in production time (tact time). However, even if the optimization process in step S9 is performed, the production time may increase compared to before the error rate is considered. In this case, there is a possibility that the electronic component mounting apparatus 17 (module) including the wafer type supply device 82 may become a bottleneck. Note that this increase in production time means that it will increase compared to the ideal production time (see FIG. 11) that does not include a defective die, and the order of the mounting sequence shown in FIG. 12 is not changed. It goes without saying that the production time after optimization is shortened compared to the production time as it is.

詳述すると、図14は、システム10の部品実装ラインに沿って並ぶ電子部品装着機16M1〜M4,M6,M7、及び電子部品装着機17M5(以下、M1〜M7を「モジュール」という)を模式的に示したものである。ここで、システム10は、モジュールM1〜M7が並ぶ1つの部品実装ラインで基板を生産する場合に、ボトルネックのモジュールM1〜M7の各々の生産時間を小さくすることで、システム10全体の生産効率(スループット)を向上できる。例えば、図15は、モジュールM1〜M7の各々の生産時間を示している。例えば、モジュールM5は、ウェハ型供給装置82を備える電子部品装着機17である。図14に示すように、各モジュールM1〜M7は、部品実装ラインの上流から搬送されてくる回路基板CBに対して部品を回路基板に装着する所定の実装工程を実施し、下流のモジュールM1〜M7に搬送する作業を繰り返し実施する。システム10は、品質を維持するため
に、モジュールM1〜M7の中で最も生産時間が長いもの、即ち、ボトルネックのモジュールの生産時間に合わせて各モジュールM1〜M7の回路基板CBの搬送を制御する。つまり、システム10が生産した1枚の基板を搬出するのに必要な時間(図15中の「システムの生産時間」)は、ボトルネックのモジュールの生産時間となる。このため、システム10は、ボトルネックのモジュールM1〜M7の生産時間が短縮されることで、生産効率が向上することとなる。
More specifically, FIG. 14 schematically shows electronic component placement machines 16M1 to M4, M6, M7 and electronic component placement machine 17M5 (hereinafter, M1 to M7 will be referred to as “modules”) arranged along the component mounting lines of the system 10. Is shown. Here, in the case where the system 10 produces a substrate on one component mounting line in which the modules M1 to M7 are lined up, the production efficiency of the entire system 10 can be achieved by reducing the production time of each of the bottleneck modules M1 to M7. (Throughput) can be improved. For example, FIG. 15 shows the production time of each of the modules M1 to M7. For example, the module M5 is the electronic component placement machine 17 provided with the wafer type supply device 82. As shown in FIG. 14, each of the modules M1 to M7 carries out a predetermined mounting process for mounting the component on the circuit board on the circuit board CB transported from the upstream of the component mounting line, and the downstream module M1 to M7 are mounted. Repeat the work to transfer to M7. The system 10 controls the transfer of the circuit board CB of each of the modules M1 to M7 according to the production time of the module with the longest production time among the modules M1 to M7, that is, the module of the bottleneck to maintain the quality. Do. That is, the time required to carry out one substrate produced by the system 10 ("the production time of the system" in FIG. 15) is the production time of the bottleneck module. Therefore, the system 10 improves the production efficiency by shortening the production time of the bottleneck modules M1 to M7.

図15に示すように、モジュールM5は、エラー率に基づいた最適化が実施されると、ウェハ型供給装置82(図中の「ウェハ部品」の項目)の生産時間が8秒から9秒に1秒だけ増加したとする。エラー率に基づいた最適化が実施された後のモジュールM1〜M7では、モジュールM5の生産時間が11秒で、他のモジュールM1〜M4,M6,M7の生産時間が10秒以下となっている。従って、モジュールM5は、単独でボトルネックのモジュールとなっている。 As shown in FIG. 15, when the optimization based on the error rate is performed, the production time of the wafer type supply device 82 (item of “wafer parts” in the figure) of the module M5 is 8 seconds to 9 seconds. Suppose that it increased by one second. In modules M1 to M7 after optimization based on the error rate, the production time of module M5 is 11 seconds, and the production time of other modules M1 to M4, M6 and M7 is less than 10 seconds . Thus, the module M5 alone is a bottleneck module.

統括制御装置141は、ステップS11において生産時間を再演算した結果、モジュールM5がボトルネックとなったため(ステップS13:「YES」)、モジュールM5の実装条件を変更する(ステップS14)。例えば、統括制御装置141は、モジュールM5のテープ型供給装置81に装着された複数のテープフィーダ74のうち、他のモジュールM1〜M4,M6,M7で装着可能なテープフィーダ74の配置を変更する。統括制御装置141は、モジュールM5を除く他のモジュールM1〜M4,M6,M7の実装工程の内容や個々の生産時間に基づいてテープフィーダ74の配置先を判定する。例えば、統括制御装置141は、モジュールM5に装着された1つのテープフィーダ74を、生産時間が最も短いモジュールM2に移動させる指示をユーザに通知する。図15に示すように、テープフィーダ74の一部の配置を変更した(最適化)後のモジュールM5の生産時間は、11秒から10秒に短縮されている。また、モジュールM2の生産時間は、8秒から9秒に増加している。しかしながら、モジュールM1〜M7の生産時間は、最適化前に比べて平均化されており、システム10の生産時間が11秒から10秒に短縮されている。このように、統括制御装置141は、テープフィーダ74の配置を変更することによって生産効率の向上を図ることが可能となっている。 As a result of recalculating the production time in step S11, the general control device 141 changes the mounting condition of the module M5 (step S14) because the module M5 becomes a bottleneck (step S13: "YES"). For example, the general control device 141 changes the arrangement of the tape feeders 74 that can be mounted by the other modules M1 to M4, M6 and M7 among the plurality of tape feeders 74 mounted to the tape type supply device 81 of the module M5. . The general control device 141 determines the arrangement destination of the tape feeder 74 based on the contents of the mounting process of the other modules M1 to M4, M6, and M7 except the module M5 and the individual production time. For example, the general control device 141 notifies the user of an instruction to move one tape feeder 74 attached to the module M5 to the module M2 having the shortest production time. As shown in FIG. 15, the production time of the module M5 after the arrangement of part of the tape feeder 74 is changed (optimized) is reduced from 11 seconds to 10 seconds. Also, the production time of module M2 has been increased from 8 seconds to 9 seconds. However, the production times of the modules M1 to M7 are averaged compared to before optimization, and the production time of the system 10 is reduced from 11 seconds to 10 seconds. As described above, the general control device 141 can improve the production efficiency by changing the arrangement of the tape feeders 74.

なお、上記した実装条件の変更内容は、一例であり、適宜変更される。例えば、システム10は、電子部品装着機17が複数のウェハ型供給装置82を備える場合や他の種類(トレイ型の供給装置)を備える場合には、テープフィーダ74の代わりに、いずかの供給装置が供給する部品の配置を変更して最適化を図ってもよい。また、上記ステップS13における統括制御装置141のボトルネックのモジュールがあるか否かの判定条件は、システム10の構成などに応じて適宜設定できる。例えば、上記したように、統括制御装置141は、単独のボトルネックのモジュールM5が存在した場合を、「ボトルネックのモジュールあり」と判定してもよい。また、例えば、統括制御装置141は、モジュールM1〜M7のうち、ボトルネックのモジュールの台数が、予め設定された台数以下の場合を、「ボトルネックのモジュールあり」と判定してもよい。また、例えば、統括制御装置141は、ステップS11(生産時間の再演算)の処理の前後で、システム10の生産時間が増加した場合を、「ボトルネックのモジュールあり」と判定してもよい。また、例えば、統括制御装置141は、ボトルネックのモジュールM1〜M7の実装条件を変更して、システム10の生産時間が短縮可能な場合を「ボトルネックのモジュールあり」と判定してもよい。 In addition, the change content of the above-mentioned mounting condition is an example, and is changed suitably. For example, in the case where the electronic component mounting machine 17 includes a plurality of wafer-type supply devices 82 or other types (tray-type supply devices), the system 10 may use any of the tape feeders 74 instead. Optimization may be achieved by changing the arrangement of parts supplied by the supply device. Further, the determination condition as to whether or not there is a module of the bottleneck of the general control device 141 in the step S13 can be appropriately set according to the configuration of the system 10 or the like. For example, as described above, the general control device 141 may determine that “a bottleneck module is present” when there is a single bottleneck module M5. Further, for example, the general control device 141 may determine that the number of modules of the bottleneck among the modules M1 to M7 is less than or equal to the number set in advance as “the module of the bottleneck is present”. Also, for example, the general control device 141 may determine that the production time of the system 10 increases before and after the process of step S11 (recalculation of production time) as “with bottleneck module”. Also, for example, the general control device 141 may change the mounting condition of the bottleneck modules M1 to M7 and determine that the production time of the system 10 can be shortened as “the bottleneck module is present”.

以上、詳細に説明した第1実施形態によれば以下の効果を奏する。
<効果1>システム10が備える電子部品装着機17は、回路基板CBに装着する部品(電子部品77及びダイ108)を供給する複数の部品供給部として、テープ型供給装置81及びウェハ型供給装置82を備える(図3参照)。システム10の統括制御装置141は、ウェハ型供給装置82が備えるウェハ内に含まれる不良ダイの数を示すエラー率をユーザが入力した場合には、入力された値を処理に用いる(図6のステップS3参照)。また、統括制御装置141は、ユーザからの入力がない場合に、生産情報内の過去の生産に使用したウェハのうち、同一の種類のウェハ(ダイ108)の不良ダイの発生率を平均化した値をエラー率として決定する(ステップS5)。システム10は、決定されたエラー率に基づいてテープ型供給装置81やウェハ型供給装置82から供給される部品を回路基板CBに装着する装着順を予め決定、あるいは決定後の装着順を変更する。
According to the first embodiment described above in detail, the following effects can be obtained.
<Effect 1> The electronic component placement machine 17 included in the system 10 includes a tape-type feeding device 81 and a wafer-type feeding device as a plurality of component feeding parts for feeding components (electronic component 77 and die 108) to be loaded onto the circuit board CB. 82 is provided (see FIG. 3). When the user inputs an error rate indicating the number of defective dies included in the wafer included in the wafer type supply device 82, the general control device 141 of the system 10 uses the input value for processing (see FIG. 6). See step S3). In addition, when there is no input from the user, the general control device 141 averaged the incidence of defective dies of the same type of wafer (die 108) among the wafers used for past production in the production information. The value is determined as the error rate (step S5). The system 10 determines in advance the mounting order for mounting the components supplied from the tape type supplying device 81 or the wafer type supplying device 82 to the circuit board CB based on the determined error rate, or changes the mounting order after the determination. .

ここで、上記した複数の部品供給装置を備える電子部品装着機17では、個々の部品供給装置の部品供給時間をより正確に推定できるので、例えば、各部品の回路基板CBへの装着順を最適化することで生産時間の短縮を図ることが可能となる。従って、本実施形態におけるシステム10によれば、ウェハ型供給装置82のより正確な推定部品供給時間を用いて最適な部品の装着順を決定するなどして、生産効率の向上を図ることが可能となる。 Here, in the electronic component mounting apparatus 17 including the plurality of component supply devices described above, since the component supply time of each component supply device can be estimated more accurately, for example, the mounting order of each component on the circuit board CB is optimal It is possible to shorten the production time by Therefore, according to the system 10 in the present embodiment, it is possible to improve production efficiency by determining the optimum mounting order of parts using the more accurate estimated parts supply time of the wafer type supply device 82. It becomes.

<効果2>電子部品装着機17の制御装置130は、エラー率に基づいてウェハ型供給装置82の推定供給所要時間を演算(ステップS6)した後に、ウェハ型供給装置82がダイ108を供給する装着シーケンス、例えば、図12の装着シーケンスSeq1において、ウェハ型供給装置82が正常なダイを供給するまでの間、次の装着シーケンスSeq2を開始する動作が遅延する供給待ち時間が発生することを検出する(ステップS7)。制御装置130は、この供給待ち時間が短縮されるように、ウェハ型供給装置82及びテープ型供給装置81から部品を供給する装着シーケンスSeq1〜Seq10の順番を決定、又は決定した順番を適宜変更する。 <Effect 2> The control device 130 of the electronic component placement machine 17 calculates the estimated required supply time of the wafer type supply device 82 based on the error rate (step S6), and then the wafer type supply device 82 supplies the die 108. In the mounting sequence, for example, in the mounting sequence Seq1 of FIG. 12, it is detected that the supply waiting time occurs in which the operation of starting the next mounting sequence Seq2 is delayed until the wafer type supplying device 82 supplies the normal die. (Step S7). The control device 130 determines the order of the mounting sequences Seq1 to Seq10 for supplying the components from the wafer type supplying device 82 and the tape type supplying device 81 or appropriately changes the determined order so that the supply waiting time is shortened. .

例えば、制御装置130は、図13に示すように、供給待ちが発生した旧装着シーケンスSeq1の前にテープ型供給装置81から電子部品77を供給する旧装着シーケンスSeq6を挿入する。変更後の装着シーケンスでは、制御装置130は、新装着シーケンスSeq1を実行しテープ型供給装置81の供給位置に装着ヘッド28を移動させる一方で、ウェハ型供給装置82を稼働させる。ウェハ型供給装置82は、新装着シーケンスSeq1が実行される間、即ち、他の供給装置に対する動作が実施されている間に、ダイ108を供給位置に供給するための処理を開始することが可能となる。その結果、変更後の新装着シーケンスでは、旧装着シーケンスSeq1のトータル所要時間が、最適化前の2.1秒から2秒に短縮されることとなる。これにより、電子部品装着機17は、トータル所要時間の合計、即ち、生産時間の短縮を図ることが可能となる。 For example, as shown in FIG. 13, the control device 130 inserts the old mounting sequence Seq6 for supplying the electronic component 77 from the tape type supplying device 81 before the old mounting sequence Seq1 for which the supply waiting has occurred. In the mounting sequence after the change, the control device 130 executes the new mounting sequence Seq 1 to move the mounting head 28 to the supply position of the tape-type supply device 81 while operating the wafer-type supply device 82. The wafer type supply apparatus 82 can start processing for supplying the die 108 to the supply position while the new mounting sequence Seq 1 is being performed, that is, while operations for other supply apparatuses are being performed. It becomes. As a result, in the new mounting sequence after the change, the total required time of the old mounting sequence Seq1 is reduced from 2.1 seconds before optimization to 2 seconds. Thus, the electronic component placement machine 17 can reduce the total required time, that is, the production time.

<効果3>統括制御装置141は、複数の電子部品装着機16,17の各々をモジュールとして管理する。統括制御装置141は、生産する基板の種類に応じた各モジュールの生産時間をエラー率に基づいて補正する(ステップS11)。次いで、統括制御装置141は、補正後の生産時間に基づいて、複数のモジュールのうち、生産時間が最大となるボトルネックとなるモジュールを判定する(ステップS13)。そして、統括制御装置141は、ボトルネックとなったモジュール(例えば、モジュールM5)の実装条件を変更する(ステップS14)。統括制御装置141は、モジュールM5のテープ型供給装置81に装着された複数のテープフィーダ74のうち、他のモジュールM1〜M4,M6,M7で装着可能なテープフィーダ74の配置を変更する。モジュールM1〜M7の生産時間は、最適化前に比べて平均化され、システム10の生産時間が短縮される(図15参照)。これにより、システム10は、テープフィーダ74の配置の最適化によって生産効率の向上を図ることが可能となる。 <Effect 3> The general control device 141 manages each of the plurality of electronic component placement machines 16 and 17 as a module. The general control device 141 corrects the production time of each module according to the type of substrate to be produced based on the error rate (step S11). Next, the general control device 141 determines, among the plurality of modules, a module that is the bottleneck with the largest production time, based on the corrected production time (step S13). Then, the general control device 141 changes the mounting condition of the module (for example, the module M5) that has become the bottleneck (step S14). The general control device 141 changes the arrangement of the tape feeders 74 which can be mounted by the other modules M1 to M4, M6 and M7 among the plurality of tape feeders 74 mounted to the tape type supply device 81 of the module M5. The production times of the modules M1 to M7 are averaged as compared to before optimization and the production time of the system 10 is reduced (see FIG. 15). As a result, the system 10 can improve the production efficiency by optimizing the arrangement of the tape feeders 74.

<第2実施形態>
次に、本発明を具体化した第2実施形態について説明する。図16は、第2実施形態のおける最適化する処理のフローチャートである。上記した第1実施形態の図6に示すフローチャートとの相違点は、予めユーザにより指定された切り替え数までダイ108を使用する間は、ユーザによって指定された値をエラー率として設定し、切り替え数までダイ108を使用した後は、生産情報に基づいて算出されたエラー率を用いて処理する点が異なる。なお、以下の説明では、第1実施形態の図6のフローチャートで示した処理と同様の内容については、その説明を適宜省略する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 16 is a flowchart of the optimization process in the second embodiment. The difference with the flowchart shown in FIG. 6 of the first embodiment described above is that while the die 108 is used up to the number of switching previously designated by the user, the value designated by the user is set as the error rate, and the number of switching After using the die 108, the difference is that processing is performed using the error rate calculated based on the production information. In the following description, the description of the same contents as the processing shown in the flowchart of FIG. 6 of the first embodiment is appropriately omitted.

まず、統括制御装置141は、生産ジョブに基づいて基板を生産するに際し、生産情報から指定されたウェハ種のサンプル数を取得する(図16のステップS21)。例えば、ユーザは、システム10に基板の生産を開始させる前に、統括制御装置141を操作してウェハ種ごとのエラー率及び切り替え数を設定する。統括制御装置141は、ユーザの設定操作が完了すると、生産情報のサンプル数をリセットする。ここでいうサンプル数とは、ウェハ種ごとの使用した正常ダイ数及び使用を試みた不良ダイ数をいう。そして、統括制御装置141は、図16に示すフローチャートの処理を、例えばウェハ型供給装置82が1枚のウェハ(すべてのダイ108)を使用するごとに実行する。なお、統括制御装置141は、図16に示す処理を、基板を1枚生産するごと、あるいは基板を所定の枚数を生産するごとに実行してもよい。 First, when producing a substrate based on a production job, the general control device 141 acquires the number of samples of the designated wafer type from the production information (step S21 in FIG. 16). For example, the user operates the general control device 141 to set the error rate and the number of switching for each wafer type before the system 10 starts production of a substrate. When the user's setting operation is completed, the central control device 141 resets the number of samples of production information. The number of samples referred to here means the number of normal dies used for each wafer type and the number of defective dies tried to be used. Then, the general control device 141 executes the processing of the flowchart shown in FIG. 16 every time the wafer type supply device 82 uses one wafer (all the dies 108), for example. The overall control device 141 may execute the process shown in FIG. 16 each time one substrate is produced or every time a predetermined number of substrates is produced.

図17は、生産情報の一部を示しており、過去に使用したウェハ種「A」のウェハIDごとの正常ダイ数及び不良ダイ数を示している。複数の電子部品装着機17を有するシステム10は、図17の上側から下側に向かってウェハID「A−00001」、「A−00002」・・・・「A−00007」の順にウェハ種「A」のウェハを使用する。図17に示す生産情報では、ウェハIDが「A−00001」のウェハを使用した時点では、正常ダイ数及び不良ダイ数を合計して10000個のダイ108を使用したこととなる。従って、この時点で生産情報から取得されるサンプル数は、10000個となる。 FIG. 17 shows a part of production information, and shows the number of normal dies and the number of defective dies for each wafer ID of wafer type “A” used in the past. In the system 10 having a plurality of electronic component placement machines 17, the wafer types “A-00001,” “A-00002,”... Use the A "wafer. In the production information shown in FIG. 17, when the wafer having the wafer ID “A-00001” is used, the number of normal dies and the number of defective dies are totaled, and 10000 dies 108 are used. Therefore, the number of samples acquired from the production information at this point is 10000.

統括制御装置141は、ステップS23おいて、生産情報から取得したサンプル数とユーザにより指定された切り替え数とを比較する。例えば、ユーザによって設定された切り替え数を「50000」個とする。統括制御装置141は、5枚目のウェハ(ウェハIDが「A−00005」)のすべてのダイ108を使用するまでは、使用したダイ108の数、即ち、サンプル数が50000個に到達しない。なお、ここでいう「使用」は、正常ダイを回路基板CBに装着する場合と、検査済みの不良ダイとを含む。従って、統括制御装置141は、ウェハID「A−00005」のウェハのダイ108をすべて使用するまでは、サンプル数が切り替え数に比べて少ないため(ステップS23:「YES」)、ステップS25以降の処理を実行する。即ち、統括制御装置141は、サンプル数が切り替え数に比べて多くなるまで、ユーザによって指定された値をエラー率とし、そのエラー率に基づいて最適化の処理を行う。 In step S23, the central control device 141 compares the number of samples acquired from the production information with the number of switching designated by the user. For example, the number of switchings set by the user is “50000”. The integrated control device 141 does not reach the number of dies 108 used, that is, the number of samples of 50000, until all dies 108 of the fifth wafer (wafer ID is “A-00005”) are used. Here, “use” includes the case where a normal die is attached to the circuit board CB, and the inspected defective die. Therefore, the integrated control device 141 has a smaller number of samples than the switching number until all dies 108 of the wafer of wafer ID “A-00005” are used (step S23: “YES”). Execute the process That is, the central control device 141 sets the value specified by the user as the error rate and performs the optimization process based on the error rate until the number of samples becomes larger than the number of switching.

一方で、統括制御装置141は、ウェハID「A−00005」のウェハのダイ108をすべて使用しサンプル数が切り替え数に比べて多くなると(ステップS23:「NO」)、ステップS27以降の処理を実行する。即ち、統括制御装置141は、サンプル数が切り替え数に比べて多くなると、生産情報に基づいて算出される値をエラー率とし、そのエラー率に基づいて最適化の処理を行う。なお、図16に示すステップS23以降のステップS25〜ステップS39の処理内容は、図6に示すステップS3〜ステップS14までの処理と同様であるため、ここでの説明は省略する。 On the other hand, if all the dies 108 of the wafer with wafer ID “A-00005” are used and the number of samples becomes larger than the switching number (step S23: “NO”), the integrated control device 141 performs the process from step S27. Run. That is, when the number of samples is larger than the number of switchings, the central control device 141 sets the value calculated based on the production information as an error rate, and performs optimization processing based on the error rate. Note that the processing contents of step S25 to step S39 after step S23 shown in FIG. 16 are the same as the processing of step S3 to step S14 shown in FIG.

以上、詳細に説明した第2実施形態によれば以下の効果を奏する。
<効果>統括制御装置141は、ユーザによって設定された切り替え数に比べてサンプル数が多くなるまで、ユーザによって指定された値をエラー率とし、そのエラー率に基づいて最適化の処理を行う。また、統括制御装置141は、サンプル数が切り替え数に比べて多くなると、生産情報に基づいて算出される値をエラー率とし、そのエラー率に基づいて最適化の処理を行う。これにより、当該統括制御装置141によれば、ユーザが運用状況などに基づいて判断した所望の切り替え数(サンプル数)まで生産情報を蓄積した上で、適切なタイミングでエラー率を変更することが可能となる。
According to the second embodiment described above in detail, the following effects can be obtained.
<Effects> The central control unit 141 sets the value specified by the user as an error rate and performs optimization processing based on the error rate until the number of samples increases compared to the number of switches set by the user. In addition, when the number of samples is larger than the number of switchings, the general control device 141 sets a value calculated based on the production information as an error rate, and performs an optimization process based on the error rate. Thus, according to the general control device 141, the error rate can be changed at an appropriate timing after the production information is accumulated up to the desired switching number (the number of samples) determined by the user based on the operation status and the like. It becomes possible.

<第3実施形態>
次に、本発明を具体化した第3実施形態について説明する。図18は、第3実施形態のおける最適化する処理のフローチャートである。上記した第1実施形態の図6に示すフローチャートとの相違点は、1点目として、ウェハマップを用いた処理が追加されている点が異なる。また、2点目の相違点は、ウェハのどの位置からダイ108をピックアップするかによってダイ108を供給するために必要となる推定時間を決定する点である。なお、以下の説明では、第1実施形態の図6のフローチャートで示した処理と同様の内容については、その説明を適宜省略する。
Third Embodiment
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 18 is a flowchart of the optimization process in the third embodiment. The difference between the first embodiment described above and the flowchart shown in FIG. 6 is that, as the first point, processing using a wafer map is added. The second difference is that the estimated time required to supply the die 108 is determined depending on which position on the wafer the die 108 is picked up from. In the following description, the description of the same contents as the processing shown in the flowchart of FIG. 6 of the first embodiment is appropriately omitted.

まず、統括制御装置141は、生産ジョブに基づいて基板を生産するに際し、生産計画の生産ジョブにおいて使用するウェハを特定する(図18のステップS41)。統括制御装置141は、例えば、生産ジョブの内容に基づいて、基板を生産する際にダイ108を回路基板CBに装着する電子部品装着機17を特定する。そして、統括制御装置141は、特定した電子部品装着機17が保有するウェハの中から基板の生産で使用する予定のウェハのIDを検索する。統括制御装置141は、検索結果のウェハIDに対応するウェハマップがあるか否かを判定する(ステップS43)。なお、ここでいうウェハマップとは、例えば、ウェハの製造過程において、ダイ集合体106内の各ダイ108について良品及び不良品の検査を実施した結果を、ダイ108の配列通りに示したデータである。即ち、ダイ集合体106のどの位置に不良ダイが配置されているかを示すデータである。また、統括制御装置141は、電子部品装着機17が保有するウェハIDを一括で管理せずに、電子部品装着機17に使用予定のウェハのIDを適宜問い合わせる処理を実施してもよい。 First, when producing a substrate based on a production job, the general control device 141 specifies a wafer to be used in a production job of a production plan (step S41 in FIG. 18). The general control device 141 specifies the electronic component placement machine 17 which places the die 108 on the circuit board CB when producing a substrate, for example, based on the content of the production job. Then, the general control device 141 searches for an ID of a wafer scheduled to be used in production of a substrate among the wafers held by the specified electronic component mounting machine 17. The central control unit 141 determines whether there is a wafer map corresponding to the wafer ID as the search result (step S43). Here, the wafer map referred to here is, for example, data indicating the result of inspection of non-defective product and defective product for each die 108 in the die assembly 106 in the wafer manufacturing process, as the arrangement of the die 108 is there. That is, it is data indicating which position of the die assembly 106 the defective die is disposed. In addition, the general control device 141 may execute processing for inquiring the electronic component mounting machine 17 about the ID of the wafer to be used appropriately, without managing the wafer IDs held by the electronic component mounting machine 17 collectively.

統括制御装置141は、ステップS43において、使用するウェハIDに対応するウェハマップがある場合には(ステップS43:「YES」)、そのウェハマップのデータに基づいてエラー率を演算する(ステップS45)。統括制御装置141は、ウェハマップを解析して正常ダイ数及び不良ダイ数を検出し、検出結果からエラー率を演算する。統括制御装置141は、演算結果のエラー率を電子部品装着機17に通知する。通知を受けた電子部品装着機17の制御装置130は、エラー率に基づいて推定部品供給時間を演算する(ステップS53)。 At step S43, if there is a wafer map corresponding to the wafer ID to be used (step S43: "YES"), central controller 141 calculates an error rate based on the data of the wafer map (step S45). . The central control unit 141 analyzes the wafer map to detect the number of normal dies and the number of defective dies, and calculates an error rate from the detection result. The general control device 141 notifies the electronic component mounting machine 17 of the error rate of the calculation result. The control device 130 of the electronic component mounting machine 17 having received the notification calculates the estimated component supply time based on the error rate (step S53).

また、生産計画で使用する予定のウェハの中に対応するウェハマップがないものについては、統括制御装置141は、ユーザによるエラー率(ステップS49)、又は生産情報に基づいたエラー率(ステップS51)を用いた処理を行う。なお、図18に示すステップS47〜ステップS53の処理内容は、図6に示すステップS1〜ステップS6までの処理と同様であるため、ここでの説明は省略する。 In addition, for wafers for which there is no corresponding wafer map among the wafers scheduled to be used in the production plan, the general control unit 141 determines the error rate by the user (step S49) or the error rate based on the production information (step S51). Perform processing using In addition, since the processing content of step S47-step S53 shown in FIG. 18 is the same as the processing to step S1-step S6 shown in FIG. 6, description here is abbreviate | omitted.

次に、制御装置130は、演算した推定部品供給時間に基づいて供給待ちが発生したか否かの判定(ステップS59)を処理する前処理として、ウェハのどの位置からダイ108をピックアップするかによってダイ108を供給するために必要となる推定時間を再演算する(ステップS55,ステップS57)。ここで、ウェハ型供給装置82は、ダイ108をピックアップする動作において、ピックアップヘッド88(図4参照)の吸着ノズルで吸着したダイ108をシャトル機構92(図3参照)で受け取って所定の供給位置まで移送する。この際に、ピックアップヘッド88が移動するのに必要となる推定時間は、ピックアップすべきダイ108の位置がダイシングシート上のダイ集合体106におけるどの位置にあるかによって増減する。これは、ウェハ型供給装置82のダイ108は、テープ型供給装置81のテープフィーダ74の電子部品77とは異なり、ピックアップする部品の位置がその時々で変化するためである。これに対し、本実施形態の制御装置130は、ステップS55において、例えば、生産計画で使用予定のダイ108の数と、使用予定のウェハ(ウェハID)とに基づいて、ウェハのどの位置からダイ108をピックアップするかを判定する。制御装置130は、ダイシングシート上のダイ108の配列、ダイ集合体106の中からダイ108をピックアップする順番、及び使用を開始するダイ108の位置などに基づいてピックアップする位置を判定する。 Next, the control device 130 is based on which position on the wafer the die 108 should be picked up as a pretreatment for processing whether or not supply waiting has occurred (step S59) based on the calculated estimated component supply time. The estimated time required to supply the die 108 is recalculated (step S55, step S57). Here, in the operation of picking up the die 108, the wafer type feeding device 82 receives the die 108 adsorbed by the suction nozzle of the pickup head 88 (see FIG. 4) by the shuttle mechanism 92 (see FIG. 3) Transport to At this time, the estimated time required for the pickup head 88 to move increases or decreases depending on the position of the die 108 to be picked up in the die assembly 106 on the dicing sheet. This is because the die 108 of the wafer type feeding apparatus 82 differs from the electronic component 77 of the tape feeder 74 of the tape type feeding apparatus 81, and the position of the component to be picked up changes from time to time. On the other hand, in step S55, the controller 130 according to the present embodiment starts the die from any position on the wafer based on, for example, the number of dies 108 scheduled to be used in the production plan and the wafer to be used (wafer ID). It is determined whether 108 is to be picked up. The controller 130 determines the pick-up position based on the arrangement of the dies 108 on the dicing sheet, the order in which the dies 108 are picked up from the die assembly 106, the position of the dies 108 to be used, and the like.

制御装置130は、ステップS55において判定したピックアップの位置に基づいて吸着時の動作時間を補正する(ステップS57)。例えば、制御装置130は、ピックアップの位置ごとにピックアップヘッド88の移動に生じる遅延時間を設定しておき、図12に示す各装着シーケンスSeq1〜Seq10の「エラー率を考慮した供給所要時間」の推定時間を補正する。なお、ステップS55,S57における処理内容では、ピックアップの位置を個々に特定し、その位置に応じたピックアップヘッド88の移動時間で推定供給所要時間を補正したが、これに限らない。例えば、ダイシングシート上のダイ集合体106の中心をすべてのピックアップの位置として移動に係る遅延時間の平均値を設定し、その平均値を用いてウェハごとに推定供給所要時間を補正する処理を実行してもよい。また、上記各実施形態では、ピックアップヘッド88によってダイ108をピックアップする構成であるが、例えば、ダイシングシート上のダイ108を装着ヘッド28の吸着ノズル50で直接吸着する構成でもよい。この場合には、例えば装着ヘッド28がダイ108をピックアップするために移動する時間を、ピックアップの位置に応じて補正する。また、このような吸着する部品の位置に応じた補正処理は、ウェハ型供給装置82に限らず、部品を吸着する位置が変位する他の供給装置、例えば、トレイ上に規則正しく配列された電子部品を供給するトレイ型供給装置に適用してもよい。 Control device 130 corrects the operation time at the time of suction based on the position of the pickup determined in step S55 (step S57). For example, the control device 130 sets the delay time that occurs in the movement of the pickup head 88 for each position of the pickup, and estimates the “required time for supply considering the error rate” of each mounting sequence Seq1 to Seq10 shown in FIG. Correct the time. In the processing contents in steps S55 and S57, the position of the pickup is individually specified, and the estimated required supply time is corrected by the movement time of the pickup head 88 according to the position, but the present invention is not limited thereto. For example, the center of the die assembly 106 on the dicing sheet is used as the position of all the pickups to set an average value of delay times for movement, and the average supply time is used to correct the estimated required supply time for each wafer. You may In each of the above embodiments, the pickup head 88 picks up the die 108. However, for example, the suction nozzle 50 of the mounting head 28 may directly suction the die 108 on the dicing sheet. In this case, for example, the time for which the mounting head 28 moves to pick up the die 108 is corrected according to the position of the pickup. In addition, the correction process according to the position of the component to be adsorbed is not limited to the wafer type supply device 82, but another supply device in which the position to adsorb the component is displaced, for example, electronic components regularly arranged on the tray The present invention may be applied to a tray type feeding device for feeding

そして、制御装置130は、ピックアップの位置に応じて補正した推定供給所要時間を用いて供給待ちを判定する(ステップS59)。なお、図18に示すステップS59〜ステップS67の処理内容は、図6に示すステップS7〜ステップS14までの処理と同様であるため、ここでの説明は省略する。 Then, the control device 130 determines the supply waiting using the estimated required supply time corrected according to the position of the pickup (step S59). Note that the processing contents of step S59 to step S67 shown in FIG. 18 are the same as the processing of step S7 to step S14 shown in FIG.

以上、詳細に説明した第3実施形態によれば以下の効果を奏する。
<効果1>本実施形態の統括制御装置141は、基板の生産に使用するウェハのIDに対応するウェハマップがある場合には(ステップS43:「YES」)、そのウェハマップのデータに基づいてエラー率を演算する。これにより、統括制御装置141は、予めウェハマップが入手可能なウェハに対して、より正確なエラー率を用いた処理が可能となる。
According to the third embodiment described above in detail, the following effects can be obtained.
<Effect 1> If there is a wafer map corresponding to the ID of a wafer used for substrate production (step S43: "YES"), the general control device 141 of the present embodiment is based on the data of the wafer map Calculate the error rate. As a result, the general control device 141 can perform processing using a more accurate error rate on wafers for which wafer maps are available in advance.

<効果2>制御装置130は、ウェハのどの位置からダイ108をピックアップするかによってダイ108を供給するために必要となる推定時間を再演算する(ステップS55,ステップS57)。制御装置130は、ピックアップの位置ごとにピックアップヘッド88の移動に生じる遅延時間を設定しておき、図12に示す各装着シーケンスSeq1〜Seq10の「エラー率を考慮した供給所要時間」の推定時間を補正する。これにより、制御装置130は、実際にピックアップヘッド88がダイ108をピックアップする動作の態様に適応させた装着順の最適化が実施可能となる。 <Effect 2> The control device 130 recalculates the estimated time required to supply the die 108 depending on which position on the wafer the die 108 is picked up from (step S55, step S57). The control device 130 sets the delay time that occurs in the movement of the pickup head 88 for each position of the pickup, and estimates the "required supply time considering error rate" of each mounting sequence Seq1 to Seq10 shown in FIG. to correct. As a result, the control device 130 can perform the optimization of the mounting order adapted to the mode of the operation in which the pickup head 88 actually picks up the die 108.

<第4実施形態>
次に、本発明を具体化した第4実施形態について説明する。図19は、第4実施形態のおける部品残数を決定するための処理のフローチャートである。統括制御装置141や電子部品装着装置12は、ウェハ型供給装置82の各々に供されるウェハのダイ108の残数が少なくなってくると、ユーザに補給を要請する旨の通知などを行うのが一般的である。この処理に必要となるダイ108の残数は、ダイシングシート上に残されたダイ集合体106のうち、不良ダイを除いた残りの正常ダイ数がより適切な値となる。そこで、本実施形態のシステム10は、エラー率を用いてより正確なダイ108の残数を演算し、ユーザに補給を通知するタイミングを変更する。以下の説明では、一例として、電子部品装着機17の制御装置130が、補給のタイミングを決定する場合について説明する。なお、制御装置130の他の装置(統括制御装置141など)が実施する場合については、同様の処理となるため、ここでの説明は省略する。
Fourth Embodiment
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 19 is a flowchart of a process for determining the number of remaining parts in the fourth embodiment. The general control device 141 and the electronic component mounting device 12 notify the user of a request for replenishment when the remaining number of the dies 108 of the wafer provided to each of the wafer type supply devices 82 decreases. Is common. The remaining number of dies 108 required for this processing is a more appropriate value for the number of remaining normal dies excluding defective dies in the die assembly 106 left on the dicing sheet. Therefore, the system 10 according to the present embodiment calculates the more accurate number of remaining dies 108 using the error rate, and changes the timing for notifying the user of the replenishment. In the following description, as an example, a case where the control device 130 of the electronic component placement machine 17 determines the timing of replenishment will be described. In addition, since it becomes the same process about the case where the other apparatuses (general control device 141 grade | etc.,) Of the control apparatus 130 implement, description here is abbreviate | omitted.

まず、図19に示すステップS71において、制御装置130は、不良ダイの数考慮せずに、部品残数を演算する。制御装置130は、例えば、ウェハがウェハ型供給装置82に補給されたタイミングで、補給されたウェハのIDに対応する残数のデータを統括制御装置141に問い合わせて、統括制御装置141から受信した部品残数のデータとウェハIDとを関連付ける。あるいは、制御装置130は、メモリ135(図5参照)内に対応する部品残数のデータが記憶されていないかを検索する。次に、制御装置130は、部品残数を設定したウェハについてウェハマップがあるか否かを判定する(ステップS73)。制御装置130は、例えば、対応するウェハマップのデータについて統括制御装置141に問い合わせる処理を実行する。 First, in step S71 shown in FIG. 19, the control device 130 calculates the remaining number of parts without considering the number of defective dies. The control device 130, for example, inquires of the general control device 141 about the remaining number of data corresponding to the ID of the supplied wafer at the timing when the wafer is supplied to the wafer type supply device 82, and receives it from the general control device 141. The data of the remaining number of parts is associated with the wafer ID. Alternatively, control device 130 searches whether data of the corresponding remaining number of parts is stored in memory 135 (see FIG. 5). Next, the control device 130 determines whether or not there is a wafer map for the wafer for which the remaining number of parts is set (step S73). The control device 130 executes, for example, a process of inquiring the general control device 141 about data of the corresponding wafer map.

制御装置130は、対応するウェハマップがない場合には(ステップS73:「NO」)、部品残数を設定したウェハについてユーザによるエラー率の指定があるか否かを判定する(ステップS75)。制御装置130は、ユーザによるエラー率の指定がある場合には(ステップS75:「YES」)、指定された値をエラー率とする(ステップS79)。また、制御装置130は、ユーザによるエラー率の指定がない場合には(ステップS75:「NO」)、生産情報の同一種のウェハ種のデータに基づいて演算した値をエラー率とする(ステップS81)。そして、制御装置130は、ステップS79又はステップS81において決定されたエラー率を用いて部品残数を補正する(ステップS83)。 If there is no corresponding wafer map (step S73: "NO"), the control device 130 determines whether or not the user has specified an error rate for the wafer for which the remaining number of parts has been set (step S75). When the error rate is designated by the user (step S75: "YES"), the control device 130 sets the designated value as the error rate (step S79). Further, when the error rate is not specified by the user (step S75: “NO”), the control device 130 sets the value calculated based on the data of the same wafer type of the production information as the error rate (step S81). Then, control device 130 corrects the remaining number of components using the error rate determined in step S79 or step S81 (step S83).

例えば、補正後の部品残数は、次式で表される。
補正後の部品残数=設定済みの部品残数*(100−エラー率)
設定済みの部品残数が1000個、エラー率を5%とすると、補正後の部品残数は950個となる。これにより、制御装置130は、エラー率を考慮した正確な部品残数を設定することが可能となる。
For example, the component remaining number after correction is expressed by the following equation.
Number of remaining parts after correction = Number of remaining parts after setting * (100-error rate)
Assuming that the set number of remaining parts is 1000 and the error rate is 5%, the number of remaining parts after correction is 950. As a result, the control device 130 can set the correct number of remaining parts in consideration of the error rate.

また、制御装置130は、対応するウェハマップがある場合には(ステップS73:「YES」)、ウェハマップを解析して正常ダイを検出し、検出した正常ダイ数を補正後の部品残数として設定する(ステップS77)。そして、制御装置130は、例えば、基板の生産中に、ウェハ型供給装置82からダイ108が装着ヘッド28に供給される度に、設定した補正後の部品残数を1つ減算し、減算した後の値が予め設定された閾値となった時に、ユーザに対してウェハの補給を通知する。 Further, when there is a corresponding wafer map (step S 73: “YES”), control device 130 analyzes the wafer map to detect a normal die, and uses the detected number of normal dies as the number of parts after correction. It sets (step S77). Then, for example, each time the die 108 is supplied from the wafer type supply device 82 to the mounting head 28 during production of a substrate, the control device 130 subtracts one from the set remaining number of parts after correction and subtracts it. When the later value reaches a preset threshold, the user is notified of wafer replenishment.

以上、詳細に説明した第4実施形態によれば以下の効果を奏する。
<効果1>制御装置130は、エラー率に基づいて、ウェハ型供給装置82に供されるウェハのダイ108の部品残数を補正する(ステップS83)。そして、制御装置130は、補正した部品残数を用いてウェハをウェハ型供給装置82に補給するタイミングを決定する。これにより、制御装置130は、エラー率を用いて部品残数を補正するため、予め設定された部品残数の中から不良ダイの数を除いたより正確な部品残数を処理に用いることができる。従って、制御装置130は、より正確な値を用いて部品残数を判定するため、ユーザに対してより適切なタイミングでウェハ型供給装置82に対するウェハの補給を通知することが可能となる。
According to the fourth embodiment described above in detail, the following effects can be obtained.
<Effect 1> The control device 130 corrects the remaining number of components of the die 108 of the wafer provided to the wafer type supply device 82 based on the error rate (step S83). Then, the control device 130 determines the timing for supplying the wafer to the wafer type supply device 82 using the corrected remaining number of parts. As a result, since the control device 130 corrects the remaining number of parts using the error rate, it is possible to use a more accurate number of remaining parts excluding the number of defective dies from among the predetermined number of remaining parts. . Therefore, the control device 130 can notify the user of the wafer supply to the wafer type supply device 82 at a more appropriate timing, since the controller 130 determines the remaining number of components using a more accurate value.

なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。例えば、上記各実施形態におけるエラー率を演算するタイミングは、一例であり、適宜変更できる。例えば、上記第2実施形態において、統括制御装置141は、生産に使用した部品数(サンプル数)と、ユーザによって予め設定された切り替え数と比較して、生産情報からエラー率を算出するタイミングを判定したが、これに限定されない。例えば、統括制御装置141は、ユーザによって予め生産する基板の枚数が切り替え数として設定され、その基板の枚数だけ生産が完了した時点でエラー率を算出してもよい。あるいは、統括制御装置141は、基板の生産の開始から所定の時間経過したタイミングを、エラー率の算出のタイミングとして設定する構成でもよい。 The present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various improvements and changes can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the timing at which the error rate is calculated in each of the above embodiments is an example, and can be changed as appropriate. For example, in the second embodiment, the general control device 141 compares the number of parts (the number of samples) used for production with the number of switches preset by the user, and calculates the error rate from the production information. Although determined, it is not limited to this. For example, the general control device 141 may set the number of substrates to be produced in advance as a switching number by the user, and calculate the error rate when production is completed for the number of substrates. Alternatively, the general control device 141 may be configured to set the timing at which a predetermined time has elapsed since the start of production of the substrate as the timing for calculating the error rate.

また、上記各実施形態では、特に言及していないが、例えば、制御装置130は、装着ヘッド28の吸着ノズル50によるダイ108の吸着動作において、吸着位置が大きくずれた場合にパーツカメラ46の画像データから装着不能なダイ108であると判定して吸着したダイ108を破棄する設定とされることがある。この場合に、仮に正常ダイであっても吸着位置の良否によって破棄される場合があり、装着ヘッド28は、再度、ダイ108をピックアップする必要が生じる。このような吸着位置のずれが、任意の装着シーケンスで起きる場合には、不良ダイと同様に、次の装着シーケンスの開始に遅延が生じる。これ対し、装着位置のずれによる部品(ダイ108や電子部品77など)の破棄が生じ、再度、同種の部品をピックアップしにいく動作が生じた場合に、装着シーケンスを入れ替えて最適化する構成としてもよい。このようなシステム10によれば、破棄動作によって供給待ちが生じる場合にも最適化を処理して対応することが可能となる。 In each of the above embodiments, although not particularly mentioned, for example, the controller 130 is an image of the parts camera 46 when the suction position is largely shifted in the suction operation of the die 108 by the suction nozzle 50 of the mounting head 28 From the data, it may be set to discard the adsorbed die 108 by determining that the die 108 can not be mounted. In this case, even if the die is normal, it may be discarded depending on the quality of the suction position, and the mounting head 28 needs to pick up the die 108 again. If such a shift in the suction position occurs in an arbitrary mounting sequence, a delay occurs at the start of the next mounting sequence, as in the case of the defective die. On the other hand, when a component (such as the die 108 or the electronic component 77) is discarded due to the displacement of the mounting position, and the operation of picking up the same component again occurs, the mounting sequence is replaced and optimized. It is also good. According to such a system 10, it is possible to process and cope with the optimization even when the waiting operation occurs due to the discarding operation.

また、上記各実施形態では、電子部品装着機16よりもX方向における幅が2倍である電子部品装着機17が、ウェハ型供給装置82及びテープ型供給装置81を備えたが、電子部品装着機16がウェハ型供給装置82及びテープ型供給装置81を備えてもよい。また、上記各実施形態において、電子部品装着装置12及び電子部品装着機16,17は、テープ型供給装置81及びウェハ型供給装置82の他の種類の供給装置、例えば、トレイ型の供給装置を備えてもよい。この場合、システム10は、トレイ型の供給装置を含めて装着順の最適化を実施することが好ましい。また、上記各実施形態において、電子部品装着機17は、複数のウェハ型供給装置82を備える構成として、複数のウェハ型供給装置82における装着順の最適化を実施してもよい。 In each of the above-described embodiments, the electronic component mounting apparatus 17 having a width twice as large as that of the electronic component mounting apparatus 16 in the X direction includes the wafer type supply device 82 and the tape type supply device 81. The machine 16 may include a wafer type feeder 82 and a tape type feeder 81. In each of the above-described embodiments, the electronic component mounting apparatus 12 and the electronic component mounting machines 16 and 17 are other types of supply devices of the tape type supply device 81 and the wafer type supply device 82, for example, tray type supply devices. You may have. In this case, it is preferable that the system 10 implement the optimization of the mounting order including the tray type supply device. In each of the above embodiments, the electronic component mounting apparatus 17 may be configured to include the plurality of wafer type supply devices 82, and the optimization of the mounting order of the plurality of wafer type supply devices 82 may be performed.

また、上記各実施形態では、ダイ108をピックアップする動作において、ウェハ型供給装置82のピックアップヘッド88の吸着ノズルで吸着したダイ108をシャトル機構92で受け取って所定の供給位置まで移送し、この供給位置で、装着ヘッド28の吸着ノズル50に受け渡すように構成したが、この構成に限定されない。例えば、ウェハ型供給装置82のピックアップヘッド88の吸着ヘッドが上下反転してダイ108を上向きにして、装着ヘッド28の吸着ノズル50に受け渡すように構成してもよい。また、例えば、ダイシングシート上のダイ108を装着ヘッド28の吸着ノズル50で直接吸着する構成としてもよい。この場合、装着ヘッド28は、本願におけるダイ供給部の一部として機能する。 Further, in the above embodiments, in the operation of picking up the die 108, the die 108 adsorbed by the suction nozzle of the pickup head 88 of the wafer type supply device 82 is received by the shuttle mechanism 92 and transferred to a predetermined supply position. The position is configured to be delivered to the suction nozzle 50 of the mounting head 28, but is not limited to this configuration. For example, the suction head of the pick-up head 88 of the wafer type supply device 82 may be turned upside down so that the die 108 faces upward and delivered to the suction nozzle 50 of the mounting head 28. Further, for example, the die 108 on the dicing sheet may be directly suctioned by the suction nozzle 50 of the mounting head 28. In this case, the mounting head 28 functions as a part of the die supply unit in the present application.

ちなみに、統括制御装置141及び電子部品装着機17の制御装置130は、制御部の一例である。ウェハ型供給装置82は、ダイ供給部の一例である。ダイ108及び電子部品77は、部品の一例である。テープ型供給装置81は、部品供給部の一例である。第1実施形態における過去の生産情報を蓄積する時間、又は第2実施形態における切り替え数による生産情報の蓄積時間は、回路基板の生産中の所定期間の一例である。ユーザが入力する値は、ウェハに含まれる不良ダイに係るデータの一例である。 Incidentally, the general control device 141 and the control device 130 of the electronic component placement machine 17 are an example of a control unit. The wafer type supply device 82 is an example of a die supply unit. The die 108 and the electronic component 77 are examples of components. The tape-type supply device 81 is an example of a component supply unit. The time to accumulate the past production information in the first embodiment, or the accumulation time of the production information according to the switching number in the second embodiment is an example of a predetermined period during production of the circuit board. The value input by the user is an example of data related to a defective die included in the wafer.

10 対基板作業システム(システム)、16,17 電子部品装着機、77 電子部品、81 テープ型供給装置、82 ウェハ型供給装置、108 ダイ、141 統括制御装置、Seq1〜Seq10 装着シーケンス、CB 回路基板、M1〜M5 モジュール。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 10 board | substrate operation | work system (system) 16, 17 electronic component mounting machine, 77 electronic component, 81 tape type supply apparatus, 82 wafer type supply apparatus, 108 die, 141 integrated control apparatus, Seq1-Seq10 mounting sequence, CB circuit board , M1 to M5 modules.

Claims (4)

装着ヘッドが回路基板に装着するダイを、ダイシングされたウェハから、装着ヘッドが前記ダイを吸着する供給位置へ供給するダイ供給部と、
前記ダイ供給部が前記ダイを前記供給位置へ供給するための推定所要時間と、複数の前記回路基板の生産中の所定期間内に前記ダイ供給部が供給を試みた不良ダイの数、及び前記ウェハに含まれる不良ダイに係るデータの少なくとも一方に基づいて決定されるエラー発生率とに基づいて、前記回路基板に装着される前記ダイの推定供給所要時間を補正する制御部と、
を備えることを特徴とする対基板作業システム。
A die supply unit for supplying a die for mounting a mounting head to a circuit board from a diced wafer to a supply position for the mounting head to adsorb the die;
An estimated required time for the die supply unit to supply the die to the supply position; a number of defective dies that the die supply unit attempted to supply within a predetermined period of time during production of a plurality of the circuit boards; A control unit that corrects an estimated required supply time of the die mounted on the circuit board based on an error occurrence rate determined based on at least one of data relating to a defective die included in the wafer;
A substrate handling system comprising:
前記不良ダイに係るデータは、前記不良ダイの前記ウェハにおける位置を示すウェハマップであり、
前記制御部は、前記ウェハマップに基づいて前記エラー発生率を決定することを特徴とする請求項1に記載の対基板作業システム。
The data relating to the defective die is a wafer map showing the position of the defective die in the wafer,
The system according to claim 1, wherein the control unit determines the error occurrence rate based on the wafer map.
前記制御部は、前記ウェハにおける前記ダイをピックアップする位置に応じて、前記推定供給所要時間を補正することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の対基板作業システム。 The said board | substrate operation | work system of Claim 1 or Claim 2 characterized by the said control part correct | amending the said estimated required supply time according to the position which picks up the said die | dye in the said wafer. 前記制御部は、前記エラー発生率に基づいて、前記ダイ供給部に供される前記ウェハの前記ダイの残数を演算し、演算結果に基づいて前記ウェハを前記ダイ供給部に補給するタイミングを決定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の対基板作業システム。 The control unit calculates the remaining number of the dies of the wafer to be supplied to the die supply unit based on the error occurrence rate, and the timing at which the wafer is supplied to the die supply unit based on the calculation result The substrate-to-board operation system according to any one of claims 1 to 3, which is to be determined.
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