JP6542475B2 - 活性ガス生成装置及び成膜処理装置 - Google Patents
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Description
図14は3個以上の複数のガス噴出孔を有する円盤状の電極構造を採用した前提技術となる活性ガス生成装置の基本構成を模式的に示す説明図である。同図では上部から斜め下方に視た概略を示す図を示している。また、図15は図14で示した複数のガス噴出孔及びその周辺を拡大して示す説明図である。なお、図14及び図15に適宜、XYZ直交座標系を示している。
図1はこの発明の実施の形態1である活性ガス生成装置の基本構成を模式的に示す説明図である。同図では上部から斜め下方に視た概略を示す図を示している。また、図2は図1で示した複数のガス噴出孔及びその周辺を拡大して示す説明図である。なお、図1及び図2に適宜、XYZ直交座標系を示している。
図5はこの発明の実施の形態2である活性ガス生成装置の基本構成を模式的に示す説明図である。同図では上部から斜め下方に視た概略を示す図を示している。また、図6は図5で示した複数のガス噴出孔及びその周辺を拡大して示す説明図である。なお、図5及び図6に適宜、XYZ直交座標系を示している。
以下、実施の形態1及び実施の形態2の活性ガス生成装置における他の態様を説明する。なお、以下に述べる態様において実施の形態1及び実施の形態2で共通する態様については説明の都合上、原則、実施の形態1を代表して説明する。
図8は第1の態様における高電圧側電極構成部1及び接地側電極構成部2と高周波電源5との接続関係を模式的に示す説明図である。同図に示すように、第1の態様では、互いに独立した動作する2つの高周波電源5H及び5Lを有することを特徴としている。
実施の形態2の活性ガス生成装置は、誘電体電極21Bの上面上に噴射口分離用段差形状部51を有している。
実施の形態1及び実施の形態2の活性ガス生成装置において、高電圧側電極構成部1及び接地側電極構成部2(2B)のうち、活性ガスと接触する領域であるガス接触領域を石英、あるいはアルミナを構成材料として形成することが望ましい。
実施の形態1及び実施の形態2の活性ガス生成装置において、原料ガス6として例えば窒素、酸素、弗素、希ガス及び水素のうち少なくとも一つを含むガスが考えられる。これら原料ガス6が電極群構成部101の外周部からガス供給方向D1(D1H,D1L)に沿って内部へと進み、内部の放電空間DSH及びDSLを経由して活性ガス7となり、活性ガス7(ラジカルを含んだガス)は誘電体電極21(21B)に設けられた複数のガス噴出孔31〜37及び41〜47からガス噴出方向D2に沿って後述する成膜処理チャンバ63の処理空間SP63(図5参照)へと噴出される。成膜処理チャンバ63内において、反応性の高い活性ガスを利用することで処理対象基板であるウェハ64に対し成膜処理を行うことができる。
実施の形態1及び実施の形態2の活性ガス生成装置において、複数のガス噴出孔の形状(直径)を複数のガス噴出孔31〜37及び41〜47間で互いに異なるように設定する変形構成も考えられる。
実施の形態1及び実施の形態2の活性ガス生成装置において、供給される原料ガス6として、前駆体ガス(プリカーサガス)を採用しても良い。
実施の形態2の誘電体電極21Bの上面上に形成される、整流用段差形状部52及び53並びに噴射口分離用段差形状部51は高電圧側電極構成部1と接地側電極構成部2Bとの間の放電空間におけるギャップ長(誘電体電極11,誘電体電極21B間のZ方向の距離)を規定するスペーサとしても機能させることが望ましい。
なお、上述した実施の形態1及び実施の形態2では、誘電体電極21(21B)を平面視矩形状の平板構造としたが、図1,図4及び図5に示すように、平面視矩形状の金属電極対20H及び20Lを平面視して誘電体電極21(21B)の中央領域R51を挟んで互いに対向するように、誘電体電極21の下面上に配置可能であれば、その形状は特に限定されない。例えば、誘電体電極21の平面形状を、基本的には矩形状を採用しつつ角部を丸める等の変形を加えても良い。同様なことは、誘電体電極11についても当てはまる。
2 接地側電極構成部
5,5H,5L 高周波電源
11,21,21B 誘電体電極
10H,10L,20H,20L 金属電極
31〜37,41〜47 ガス噴出孔
51 噴射口分離用段差形状部
51c 中央横断段差形状部
51h 第1孔分離段差形状部
51l 第2孔分離段差形状部
52,53 整流用段差形状部
63 成膜処理チャンバ
64 ウェハ
R50,R51 中央領域
Claims (10)
- 放電空間に供給された原料ガスを活性化して得られる活性ガスを生成する活性ガス生成装置であって、
第1の電極構成部(1)と
前記第1の電極構成部の下方に設けられる第2の電極構成部(2,2B)とを備え、前記第1及び第2の電極構成部に交流電圧が印加され、前記交流電圧の印加により、前記第1及び第2の電極構成部間に前記放電空間が形成され、
前記第1の電極構成部は、第1の誘電体電極(11)と前記第1の誘電体電極の上面上に選択的に形成される第1の金属電極(10H,10L)とを有し、前記第2の電極構成部は、第2の誘電体電極(21A,21B)と前記第2の誘電体電極の下面上に選択的に形成される第2の金属電極(20H,20L)とを有し、前記交流電圧の印加により前記第1及び第2の誘電体電極が対向する誘電体空間内において、前記第1及び第2の金属電極が平面視重複する領域が前記放電空間として規定され、
前記第2の金属電極は、平面視して前記第2の誘電体電極の中央領域(R51)を挟んで互いに対向して形成される一対の第2の部分金属電極(20H,20L)を有し、前記一対の第2の部分金属電極は第1の方向を電極形成方向とし、前記第1の方向に交差する第2の方向を互いに対向する方向としており、
前記第1の金属電極は、平面視して前記一対の第2の部分金属電極と重複する領域を有する一対の第1の部分金属電極(10H,10L)を有し、
前記第2の誘電体電極は、
前記中央領域に形成され、前記活性ガスを外部に噴出するための複数のガス噴出孔(31〜37,41〜47)と、
前記複数のガス噴出孔の全てを挟んで前記第1の方向の両端側に、各々が上方に突出し前記第2の方向に沿って形成される一対の端部領域段差部(52,53)とを有し、前記一対の端部領域段差部は平面視して少なくとも前記一対の第2の部分金属電極の形成位置を超える位置まで前記第2の方向に延びて形成され、
前記複数のガス噴出孔は、
前記第1の方向に沿って第1の間隔毎に形成される、3個以上の第1の数の第1の噴出孔(31〜37)と、
前記第1の数の第1の噴出孔に対し前記第2の方向に所定間隔隔てて配置され、前記第1の方向に沿って第2の間隔毎に形成される、3個以上の第2の数の第2の噴出孔(41〜47)とを含み、
前記第1の数の第1の噴出孔及び前記第2の数の第2の噴出孔は、前記第1の方向に沿って第1の噴出孔と第2の噴出孔とが交互に配置されるように形成されることを特徴とする、
活性ガス生成装置。 - 請求項1記載の活性ガス生成装置であって、
前記第2の誘電体電極は、
前記中央領域において上方に突出して形成される中央領域段差部(51)をさらに備え、
前記中央領域段差部は、
各々が前記第2の方向に沿って形成され、前記第1の数の第1の噴出孔のうち互いに隣接する第1の噴出孔間を分離する複数の第1の分離部(51h)と、
各々が前記第2の方向に沿って形成され、前記第2の数の第2の噴出孔のうち互いに隣接する第2の噴出孔間を分離する複数の第2の分離部(51l)と、
前記第1の方向に沿って形成され、前記第1の数の第1の噴出孔と前記第2の数の第2の噴出孔との間を分離する第3の分離部(51c)とを有する、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記交流電圧は互いに独立した一方側交流電圧及び他方側交流電圧を含み、前記放電空間は互いに分離して形成される一方側放電空間及び他方側放電空間を含み、
前記一対の第1の部分金属電極は一方側第1の部分金属電極(10H)及び他方側第1の部分金属電極(10L)を有し、
前記一対の第2の部分金属電極は一方側第2の部分金属電極(20H)及び他方側第2の部分金属電極(20L)を有し、前記一方側交流電圧の印加により前記一方側第1及び第2の部分金属電極間に前記一方側放電空間が形成され、前記他方側交流電圧の印加により前記他方側第1及び第2の部分金属電極間に前記他方側放電空間が形成される、
活性ガス生成装置。 - 請求項2記載の活性ガス生成装置であって、
前記放電空間は互いに分離して形成される一方側放電空間及び他方側放電空間を含み、
前記一対の第1の部分金属電極は一方側第1の部分金属電極及び他方側第1の部分金属電極を有し、
前記一対の第2の部分金属電極は一方側第2の部分金属電極及び他方側第2の部分金属電極を有し、前記一方側第1及び第2の部分金属電極間に前記一方側放電空間が形成され、前記他方側第1及び第2の部分金属電極間に前記他方側放電空間が形成され、
前記第1の数の第1の噴出孔は前記第3の分離部を基準として前記一方側第1及び第2の部分金属電極の方向に設けられ、前記第2の数の第2の噴出孔は前記第3の分離部を基準として前記他方側第1及び第2の部分金属電極の方向に設けられ、
前記原料ガスは互いに独立して供給される第1及び第2の原料ガスを含み、前記活性ガスは第1及び第2の活性ガスを含み、
前記第1の原料ガスが前記一方側放電空間を通過して得られる前記第1の活性ガスが前記第1の数の第1の噴出孔から噴出され、前記第2の原料ガスが前記他方側放電空間を通過して得られる前記第2の活性ガスが前記第2の数の第2の噴出孔から噴出される、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記第1及び第2の電極構成部のうち、活性ガスと接触する領域であるガス接触領域を石英、またはアルミナを構成材料として形成したことを特徴とする、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記原料ガスは窒素、酸素、弗素、希ガス及び水素のうち少なくとも一つを含むガスである、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記複数のガス噴出孔の形状が前記複数のガス噴出孔間で互いに異なるように設定されることを特徴とする、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記原料ガスは、前駆体ガスである、
活性ガス生成装置。 - 請求項2に記載の活性ガス生成装置であって、
前記一対の端部領域段差部及び前記中央領域段差部の形成高さにより、前記放電空間におけるギャップ長が規定される、
活性ガス生成装置。 - 請求項1または請求項2に記載の活性ガス生成装置(102)と、
前記第2の電極構成部の下方に配置され、内部の処理対象基板(64)に対し活性ガスによる成膜処理を行う成膜処理チャンバ(63)とを備え、
前記成膜処理チャンバは、前記活性ガス生成装置の前記複数のガス噴出孔から噴出される前記活性ガスを直接受けるように配置されることを特徴とする、
成膜処理装置。
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US20060118242A1 (en) * | 2001-02-12 | 2006-06-08 | Anthony Herbert | Atmospheric pressure plasma system |
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US7063819B2 (en) | 2003-03-21 | 2006-06-20 | The Regents Of The University Of California | Nonthermal plasma processor utilizing additive-gas injection and/or gas extraction |
JP2008269907A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP5423205B2 (ja) | 2008-08-29 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
KR101842675B1 (ko) * | 2009-07-08 | 2018-03-27 | 플라즈마시, 인크. | 플라즈마 처리를 위한 장치 및 방법 |
JP5328685B2 (ja) | 2010-01-28 | 2013-10-30 | 三菱電機株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
KR101254902B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2013-04-18 | 가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
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JP2012212640A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Plasma Ion Assist Co Ltd | バリア放電イオナイザ |
US20120255492A1 (en) * | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Atomic Energy Council-Institute Of Nuclear Enetgy Research | Large Area Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Apparatus |
CN102254774B (zh) * | 2011-05-27 | 2013-07-10 | 中国科学院物理研究所 | 一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法 |
US9831069B2 (en) * | 2011-06-03 | 2017-11-28 | Wacom | CVD apparatus and method for forming CVD film |
JP5613641B2 (ja) * | 2011-09-12 | 2014-10-29 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | プラズマ発生装置およびcvd装置 |
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