JP6534881B2

JP6534881B2 - 支持機構

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Publication number: JP6534881B2
Application number: JP2015141131A
Authority: JP
Inventors: 雄也関口
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2015-07-15
Filing date: 2015-07-15
Publication date: 2019-06-26
Anticipated expiration: 2035-07-15
Also published as: JP2017019086A

Description

本発明は、切削装置、研削装置等の加工装置を設置場所に固定し安定化させるための支持機構に関する。

切削装置、研削装置等の加工装置は、工場等に搬入後、所定の設置場所に固定治具を用いて固定される。そして、ボルトで装置を床に固定する支持機構ではなく、簡単にジャッキアップを行える支持機構を、装置を設置する床面と装置の基台の底面との間に挿入しており、挿入した支持機構により装置をジャッキアップすることで装置の水平出しをして、装置を設置場所に固定している。

上記のような支持機構は装置をジャッキアップさせるための脚体を備え、この脚体は、例えば、ボールネジと、ボールネジの上方に配設され装置が載せられるステージと、ステージの上面中央部に設けられる挿入部と、ボールネジを回転させるハンドルと、ボールネジが螺合する脚体ベースと、から主に構成される。そして、装置の基台下に脚体を挿入しジャッキアップの準備をする場合には、脚体ベースにボールネジを螺入させ、また、挿入部を装置の基台の係合穴に挿入させた後、ハンドルでボールネジを回転させ脚体ベースからボールネジを進出させて、ステージ上に装置の基台を載せる。この後、ハンドルでボールネジを回転させベースからボールネジをさらに進出させて装置をジャッキアップし押し上げること等で、装置の水平出しを行う。

しかし、ジャッキアップの準備をする際に、装置の目視できない下面において開口している係合穴に対して脚体の挿入部を挿入して係合させることには困難が伴う。そこで、装置の基台に備える係合穴を装置の基台の側面まで延ばして開口させる長穴として、脚体の挿入部を基台側面の開口から挿入して係合穴に位置付けられるようにする支持機構がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−１６３２５３号公報

上記特許文献１に記載されている支持機構は、ジャッキアップにより装置の水平出しを行うことで装置を支持している状態となる。ここで、装置が支持されている状態で例えば地震等が発生し大きな振動が装置に伝わった場合に、基台に備える係合穴が長穴で形成されていることから、係合穴から脚体の挿入部がずれて外れる可能性がある。そのため、上記特許文献１に記載されている支持機構では、係合穴に挿入部を位置付けた後に止めネジまたはプレートをさらに取り付けることで、挿入部が係合穴から外れることを防止している。

しかし、係合穴から挿入部が外れるのを防止するために止めネジまたはプレートを取り付けるのは、時間がかかり作業効率が低下するという問題がある。よって、支持機構で装置を支持する場合に、簡便で少ない作業を行うだけで支持機構における挿入部が基台の係合穴から外れないようにして、支持機構による装置の支持状態が確保されるようにするという課題が存在する。

上記課題を解決するための本発明は、装置の基台に装着され装置の設置状態を安定化させる脚体を含む支持機構であって、該脚体は、床に接地し上面に雌ネジを有するベース部と、上面で該装置の基台を支持する基部と、該基部から下方に突出して形成され該ベース部の該雌ネジに螺合する雄ネジと、からなり回転させることで該雄ネジが該雌ネジに対して進退して昇降可能なボルト部と、該ボルト部の該基部の上に連結される首部と、該首部の上部に連結され該首部より大径の円板状頭部と、からなる進入部と、から少なくとも構成され、該装置の基台には、縦断面がＴ字形状に形成され該進入部の進入を許容するガイド溝と、該ガイド溝の終端において該進入部の上昇を許容する開口部と、を備え、該進入部を該ガイド溝に進入させ該終端で該開口部に該円板状頭部を上昇させた状態で該ガイド溝に進入し該首部に係合して該円板状頭部の降下を阻止するストッパとを含み構成される支持機構である。
また、該ボルト部は、該基部の上面の中心に形成されるネジ穴を備え、該進入部は、該基部の該ネジ穴に螺合する第２雄ねじを該首部の下端部に備え、該ボルト部の該基部の上面に着脱自在であると好ましい。

本発明に係る支持機構では、装置の設置状態を安定化させる脚体は、床に接地し上面に雌ネジを有するベース部と、上面で装置の基台を支持する基部と、基部から下方に突出して形成されベース部の雌ネジに螺合する雄ネジと、からなり回転させることで雄ネジが雌ネジに対して進退して昇降可能なボルト部と、ボルト部の基部の上に連結される首部と、首部の上部に連結され首部より大径の円板状頭部と、からなる進入部と、から少なくとも構成され、装置の基台には、縦断面がＴ字形状に形成され進入部の進入を許容するガイド溝と、ガイド溝の終端において進入部の上昇を許容する開口部と、を備え、進入部をガイド溝に進入させ終端で開口部に円板状頭部を上昇させた状態でガイド溝に進入し首部に係合して円板状頭部の降下を阻止するストッパとを含み構成されるものとしたことで、簡便な作業により装置が支持機構で支持される状態とした後に、ストッパの進入という簡便で少ない作業を行うだけで、脚体を基台の係合穴であるガイド溝から外れないようにして支持機構による装置の支持状態を確保できる。さらに、支持機構で装置を支持した状態で装置を移設し、装置の設置位置の微調整を行うことができる。

支持機構の一例を示す斜視図である。図２（Ａ）は、脚体の分解正面図である。図２（Ｂ）は、脚体のボルト部を下降させている状態を示す正面図である。図３（Ａ）は、ガイド溝の始端から進入部をガイド溝に進入させている状態を示す斜視図である。図３（Ｂ）は、ガイド溝の始端から進入部をガイド溝に進入させている状態を示す端面図である。図４（Ａ）は、ガイド溝の終端まで進入部を進入させた状態を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、ガイド溝の終端まで進入部を進入させた状態を示す端面図である。図５（Ａ）は、ガイド溝の終端で開口部に円板状頭部を上昇させた状態で、ストッパをガイド溝に挿入する状態を示す斜視図である。図５（Ｂ）は、ガイド溝の終端でボルト部を上昇させ開口部に円板状頭部を上昇させた状態で、ストッパをガイド溝に挿入する状態を示す端面図である。図６（Ａ）は、装置を床面上に降ろしている状態を示す端面図である。図６（Ｂ）は、装置を床面上に降ろした状態で、ボルト部をベース部に対して上昇させて装置の水平出しを行っている状態を示す端面図である。

以下に、図１、図２（Ａ），（Ｂ）を用いて、装置１の基台１０に装着され装置１の設置状態を安定化させる脚体２を含む支持機構４について説明する。本実施形態における装置１は、例えば半導体ウエーハ等の加工に用いられる切削装置であるが、これに限定されるものではない。

図１に示す脚体２は、床に接地するベース部２０と、ベース部２０に昇降可能に装着されるボルト部２１と、ボルト部２１の上方に配設される進入部２２とから少なくとも構成される。

図１に示すベース部２０は、図示の例では略円柱状に形成されており、例えば、床と接地する側の面である底面２０ｂに摩擦部材２０１が貼着されている。また、ベース部２０の上面２０ａの中央部には、ネジ穴（雌ネジ）２０２が形成されている。

ボルト部２１は、基部２１０と、基部２１０の下面中央から−Ｚ方向に突出して形成されている雄ネジ２１１とを備える。雄ネジ２１１は、ベース部２０のネジ穴２０２に螺合し、雄ネジ２１１とネジ穴２０２とは正ネジに形成されている。また、基部２１０には、基部２１０の側面から雄ネジ２１１の軸方向（Ｚ軸方向）と水平方向に直交する方向外向きに伸長するハンドル部２１２が形成されている。例えば、ハンドル部２１２は、それぞれの外形が図示の例では略直方体状であり、図１に示すように互いに９０度ずつ離間して４つ形成されている。基部２１０の上面には球面状に湾曲した図示しない凹部が形成され、この凹部の中心に図２（Ａ）に示すネジ穴２１３（図２（Ｂ）には不図示）が形成されている。図２（Ｂ）に示すように、雄ネジ２１１をネジ穴２０２（図２（Ｂ）には不図示）に螺合させ、ハンドル部２１２を例えば＋Ｚ方向から見て時計回り方向に回転させて雄ネジ２１１をネジ穴２０２に螺入させていくことで、ボルト部２１が−Ｚ方向へ下降していく。

図２（Ａ），（Ｂ）に示すボルト部２１の上方に配設される進入部２２は、例えば円柱状に形成された首部２２０と、首部２２０の上部に形成される円板状頭部２２１とを備える。首部２２０の下端部は、基部２１０のネジ穴２１）３に螺合する第２雄ねじ２２０ａ（以下、雄ねじ２２０ａとする（図２（Ｂ）には不図示）に形成されている。円板状頭部２２１は、例えば、首部２２０の上端面に接合されており、その直径２Ｒ２は、首部２２０の直径２Ｒ１よりも大径となっている。

基部２１０の上面には、上面２３ａが平坦で下面２３ｂが基部２１０の凹部の湾曲形状に対応した湾曲面に形成された環状の球面座金２３が配設される。球面座金２３の中央部には、厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成され首部２２０に対応する係合孔２３ｃ（図２（Ｂ）には不図示）が設けられている。基部２１０の上面に球面座金２３を載置した状態で、係合孔２３ｃに首部２２０を通して基部２１０のネジ穴２１３に雄ねじ２２０ａを螺入させることで、球面座金２３は進入部２２により基部２１０の上面上に定置される。また、球面座金２３の外周縁部は各ハンドル部２１２の上面２１２ａ上へと張り出された状態となる。そして、ハンドル部２１２の上面２１２ａは、球面座金２３を介して装置１の基台１０が載置される載置面となる。

図１に示す装置１の基台１０には、縦断面がＴ字形状に形成され進入部２２の進入を許容するガイド溝１００と、ガイド溝１００の終端１００ｂにおいて進入部２２の上昇を許容する開口部１０１とを備える。基台１０は、例えば内部に中空部１０ｄを備える中空構造となっており、図示の例では、縦断面１０ｅが例えば四角管状となる。

ガイド溝１００は、例えば、基台１０の下部に設けられており、ガイド溝１００の始端１００ａが基台１０の側面１０ｃ側に開口している。そして、ガイド溝１００は、基台１０の側面１０ｃから＋Ｙ方向に向かって、基台１０の底面１０ｂに対して平行に所定の長さＬ１で延びている。

ガイド溝１００は、上部側溝１００ｃと、上部側溝１００ｃよりも溝幅の狭い下部側溝１００ｄとをその中心で連通させ、縦断面をＴ字形状に形成されている。下部側溝１００ｄの下端は、基台１０の底面１０ｂにおいて開口している。例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示す円板状頭部２２１の直径２Ｒ２は、円板状頭部２２１が上部側溝１００ｃに対して進入可能な大きさに定められ、円板状頭部２２１が上部側溝１００ｃに摺動可能に嵌合できる大きさであると好ましい。また、首部２２０の直径２Ｒ１は、円板状頭部２２１が下部側溝１００ｄに対して進入可能な大きさに定められ、首部２２０が下部側溝１００ｄに摺動可能に嵌合できる大きさであると好ましい。さらに、球面座金２３の直径２Ｒ３は、少なくとも下部側溝１００ｄの横幅よりも大きく定められる。

図１に示すガイド溝１００の終端１００ｂの上方には、少なくとも一辺が円板状頭部２２１の直径２Ｒ２以上に形成され進入部２２の上昇を許容する開口部１０１が形成される。開口部１０１は、図示の例では矩形状に形成されているが、これに限定されるものではない。

支持機構４を構成する図１に示すストッパ５は、例えば一定の弾性を備える鋼板等からなり、アーム部５０とアーム部５１とを備える。アーム部５０とアーム部５１とは、例えばガイド溝１００の長さＬ１と同程度の長さに形成されている。長手方向（Ｙ軸方向）をそろえて平行に配設された状態のアーム部５０とアーム部５１との各一端は、連結部５３によって連結されており、アーム部５０とアーム部５１との間には間隙が形成される。ストッパ５の横幅Ｌ２は、連結部５３により、例えば、ガイド溝１００の上部側溝１００ｃにストッパ５が嵌合できる長さに定められる。

アーム部５０及びアーム部５１のもう一端は、アーム部５０とアーム部５１との間に首部２２０を挟みこむことで首部２２０に係合する係合部５５を形成する。図示の例のように、アーム部５０及びアーム部５１を首部２２０の形状に沿って適宜湾曲させることで、係合部５５は首部２２０に係合するような形に形成されると好ましい。

以下に、図３〜図６を用いて、装置１を支持機構４により支持した状態で設置する場合の、支持機構４の各構成の動作及び支持機構４の作用について説明する。

図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば、装置１は、図示しない装置移設用のリフターにより設置場所へと運ばれ、設置場所においてリフターにより持ち上げられて床面Ｍから浮いている状態となっている。この状態の装置１の基台１０に対して、ボルト部２１がベース部２０内に下がることで進入部２２の高さが低くなった脚体２を複数個（例えば、装置１の基台１０の外形が直方体状であれば、基台１０の各コーナーに１つずつ、計４個）取り付ける。すなわち、基台１０の側面１０ｃにおいて開口するガイド溝１００の始端１００ａと進入部２２との位置合わせを行い、次いで進入部２２をガイド溝１００に対して−Ｙ方向から進入させる。このように、脚体２を基台１０に取り付ける作業は、非常に簡便なものとなる。

図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、進入部２２をガイド溝１００の終端１００ｂまで進入させて円板状頭部２２１と開口部１０１との位置を合わせる。次いで、例えば、作業者がハンドル部２１２の１つを把持して脚体２を＋Ｚ方向へ持ち上げ、開口部１０１に円板状頭部２２１を上昇させる。

図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、開口部１０１にまで円板状頭部２２１を上昇させた状態で、ガイド溝１００の始端１００ａに対してストッパ５を位置付けて、ストッパ５を係合部５５側からガイド溝１００の上部側溝１００ｃへと進入させる。そして、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、首部２２０と接触するまでストッパ５を進入させて首部２２０にストッパ５を押し付けることで、図５（Ａ）に示すアーム部５０とアーム部５１とがしなって広がり係合部５５が首部２２０を挟み込み、係合部５５が首部２２０に係合した状態となる。

係合部５５を首部２２０に係合させた状態にすると、アーム部５０とアーム部５１との上に円板状頭部２２１が引っかかり、ストッパ５により円板状頭部２２１の降下が阻止される。

次いで、図６（Ａ）に示すように、装置１から図示しないリフターを離脱させ装置１を床面Ｍ上に降ろすことで、装置１は、支持機構４で支持された状態で床面Ｍ上に設置される。すなわち、基台１０が、球面座金２３を介してハンドル部２１２の上面２１２ａ上に載置されている状態となる。そして、例えば地震等が発生し大きな振動が装置１に伝わった場合においても、ストッパ５により脚体２の進入部２２はガイド溝１００内で固定された状態が維持され、ガイド溝１００から進入部２２が外れることがない。このように、支持機構４では、支持機構４による装置１の支持状態の確保を、ストッパ５をガイド溝１００へ進入させるという簡便な作業のみで行うことが可能となる。

装置１を床面上に降ろした後、図６（Ｂ）に示すように、作業者がボルト部２１のハンドル部２１２を例えば＋Ｚ方向から見て反時計回り方向に回転させて雄ネジ２１１をベース部２０から上昇させることで、ボルト部２１を＋Ｚ方向へ上昇させ装置１の基台１０をジャッキアップすることができる。装置１に取り付けられた複数個の脚体２について同様にボルト部２１を上昇（または下降）させ高さを調整することにより、装置１を水平に支持することができる。

装置１の水平出しを終えた後に、さらに装置１の設置位置を微調整する場合には、例えば図示しないリフターにより装置１を持ち上げて移動させる。この場合にリフターを移動させることで装置１に振動が伝わったとしても、ストッパ５の係合部５５側は円盤状頭部２２１から荷重がかかっているため、ストッパ５はガイド溝１００の上部側溝１００ｃ内で固定された状態となる。そのため、ストッパ５により脚体２の進入部２２は固定された状態が維持され、ガイド溝１００から進入部２２が外れることがない。よって、支持機構４による支持が確保された状態で、装置１の設置位置の微調整を行うことが可能となる。

４：支持機構
１：装置（切削装置）
１０：基台
１０ａ：基台の上面１０ｂ：基台の底面１０ｃ：基台の側面１０ｄ：中空部
２：脚体
２０：ベース部２０ｂ：ベース部の底面２０１：摩擦部材
２０２：ネジ穴（雌ネジ）
２１：ボルト部
２１０：基部２１１：雄ネジ２１２：ハンドル部２１３：基部のネジ穴
２２：進入部２２０：首部２２１：円板状頭部
２Ｒ１：首部の直径２Ｒ２：円板状頭部の直径
２３：球面座金
２３ａ：球面座金の上面２３ｂ：球面座金の下面２３ｃ：係合孔
２Ｒ３：球面座金の直径
１００：ガイド溝
１００ａ：ガイド溝の始端１００ｂ：ガイド溝の終端１００ｃ：上部側溝
１００ｄ：下部側溝
１０１：開口部
５：ストッパ５０：アーム部５１：アーム部５３：連結部５５：係合部
Ｍ：床面

Claims

装置の基台に装着され装置の設置状態を安定化させる脚体を含む支持機構であって、
該脚体は、床に接地し上面に雌ネジを有するベース部と、
上面で該装置の基台を支持する基部と、該基部から下方に突出して形成され該ベース部の該雌ネジに螺合する雄ネジと、からなり回転させることで該雄ネジが該雌ネジに対して進退して昇降可能なボルト部と、
該ボルト部の該基部の上に連結される首部と、該首部の上部に連結され該首部より大径の円板状頭部と、からなる進入部と、から少なくとも構成され、
該装置の基台には、縦断面がＴ字形状に形成され該進入部の進入を許容するガイド溝と、該ガイド溝の終端において該進入部の上昇を許容する開口部と、を備え、
該進入部を該ガイド溝に進入させ該終端で該開口部に該円板状頭部を上昇させた状態で該ガイド溝に進入し該首部に係合して該円板状頭部の降下を阻止するストッパとを含み構成される支持機構。
前記ボルト部は、前記基部の上面の中心に形成されるネジ穴を備え、
前記進入部は、該基部の該ネジ穴に螺合する第２雄ねじを該首部の下端部に備え、該ボルト部の該基部の上面に着脱自在である、請求項１記載の支持機構。