JP6531326B2 - 光学式検知装置 - Google Patents

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Description

本発明は、対象物から反射された光の位相差を検知して、対象物との距離を計測することができる光学式検知装置に関する。
特許文献1には、コヒーレント光源からの検知光をランダムスペックルパターンに変換して対象物へ照射する照明ユニットと、対象物から反射された光を受光する画像化装置とを有するシステムが記載されている。このシステムでは、照明ユニットと画像化装置とで三次元測量が行われる。被測定物体が測定領域へ移動したときに画像化装置で検出される被測定物体からの反射パターンと、被測定物体が存在していないときに得られる参照画像とで、ランダムスペックルパターンのずれを検出して、被測定物体の三次元マップを構築するというものである。
特許文献2には、発光源からの光を強度変調して物体に照射する検出方法が記載されている。この方法は、物体からの反射光が光電変換部で受光され、発光源から発せられた光と光電変換部で受光された光との位相差を求めることで、空間に存在する物体までの距離が求められる。
特許第5001286号公報 特表平10−508736号公報
特許文献1に記載されたシステムは、対象物の形状を数値化するのには適しているかもしれないが、ランダムスペックルパターンのずれの検出値から、対象物の三次元情報を求めるには、膨大な計算量が必要となって、処理速度の高速化を期待することができない。
特許文献2に記載された方法は、発光源から発せられた光と光電変換部で取得された光との位相差を測定することで、距離情報を直接得ることができる。しかしながら、特許文献2に記載された方法では、外乱光の影響を低減させるためにレーザ光源が使用されているため、スペックルノイズの影響を受けやすく、対象物のエッジ部付近においてノイズが発生し測定誤差が生じやすくなる。また、光電変換部では、光の照射視野の全域からの反射光について位相差を求めることになるため、個々の画素において前記位相差を正確に検出するためには、かなり大きな発光エネルギーが必要となる。
さらに、特許文献2に記載された方法で対象物の平面形状を求めようとすると、全ての画素からの輝度情報を用いて画像処理による分析を行うことが必要となるため、演算部の負担が大きくなる。
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、光源からの光エネルギーを効果的に使用して、対象物の距離情報を高精度に検知することができ、さらに対象物の平面形状に関する情報も取得することができる光学式検知装置を提供することを目的としている。
本発明は、光源と、前記光源から強度変調された測定光を発光させる光源ドライバと、前記測定光を所定の投影パターンに変換して対象物に投影する光学変換素子と、前記対象物から反射された前記測定光を受光する受光素子と、制御部とを有し、前記投影パターンは、前記光源から発せられた光を複数箇所に集約して前記対象物に投影し形成された光照射領域と、前記光照射領域の間を埋める光非照射領域とを有し、前記光照射領域は、光の輝度が高い高輝度部と前記高輝度部よりも光の輝度が低い低輝度部とを有しており、前記制御部は、前記光照射領域の光を前記受光素子で受光した受光出力から前記高輝度部の光の位相差を求めて、前記受光素子から前記光照射領域までのZ方向の距離情報を演算することを特徴とするものである。
本発明は、前記制御部において、前記投影パターンからの反射光の光強度変化の連続性を監視することで前記対象物の輪郭を検出することが可能である。
この場合に、前記制御部は、前記低輝度部からの反射光の光強度変化の連続性を監視することで前記対象物の輪郭を検出することが可能である。
本発明の光学式検知装置は、Z方向の距離情報と前記輪郭とから、前記対象物の立体形状を演算することが可能である。
本発明は、例えば、前記投影パターンはドットパターンである。ただし、光照射領域のパターン形状はどのようなものであってもよい。
本発明は、光学変換素子を使用して、光源から発せられる測定光を、複数箇所に集約して複数の光照射領域を形成している。そのため、対象物へ照射される光の投影パターンは、複数の光照射領域と、それぞれの光照射領域の間を埋める光非照射領域とを有するものとなる。
本発明は、光が集約されて形成された光照射領域からの受光出力から光の位相差を検出して、対象物のZ方向の距離情報(奥行情報)を得ているが、光照射領域に光エネルギーを集中させ、この光照射領域からの反射光から光の位相差を算出することで、Z方向の情報を得るときのS/N比を高くでき、Z方向の情報を算出するときの計測精度を向上させることができる。また、光照射領域に光を集中させることができるため、太陽光などの外光に対しても強い耐性を得ることができる。
また、手などの測定対象物と、対象物の背景に存在する物とでは、光の反射強度が相違するため、所定の投影パターンで投影された光の反射光の強度の連続性を監視することで、測定物の境界部を把握することが可能である。特に、対象物が移動しているときには、対象物の境界部を検出しやすい。
本発明の好ましい例では、光照射領域を高輝度部と低輝度部に区分し、高輝度部と低輝度部とで投影パターンを形成している。この場合に、高輝度部の受光出力から光の位相差を検出してZ方向の距離情報を得て、低輝度部の受光出力から光強度の連続性を監視して対象物の境界部を検出することが好ましい。
光照射領域を高輝度部と低輝度部とに区分することにより、受光出力にしきい値を設けることで、位相差検出によりZ方向の距離を算出するための受光出力であるか、強度変化の連続性を監視して対象物の境界部を検出するための受光出力であるかを区分しやすくなり、奥行き検出とX−Y情報検出を区分して演算しやすくなる。
また、Z方向の情報を得るための光エネルギーを大きくすることで、Z方向の距離情報を、外光の影響を受けにくい状態で高精度に検知できるようになる。
本発明では、特に投影パターンをドットパターンとすることで、高輝度部に光エネルギーを集中しやすくなって、Z方向の距離情報の検出精度を向上させることができ、低輝度部を一定のピッチのドットパターンとすることで、対象物の境界部の形状を精度よく検知できるようになる。
本発明の第1の実施の形態の光学式検知装置の構成を示す側面図、 第1の実施の形態の測定光の投影パターンの一例を示す写真、 受光素子の一例を示す平面図、 受光出力の処理動作を示すタイムチャート、 (A)(B)は、本発明の実施の形態の効果を示す線図、 光学式検知装置のブロック図、 第2の実施の形態の測定光の投影パターンの一例を示す説明図、
図1には、本発明の第1の実施の形態の光学式検知装置1の構造が示され、図6に光学式検知装置1の回路ブロック図が示されている。
図1に示すように、光学式検知装置1は、投影装置10と受光装置20を有している。
投影装置10は、光源11と、光源11から発せられる測定光をコリメート光または発散光に変換する1つ以上の投影レンズ12と、前記測定光を所定の投影パターンに変換する光学変換素子13を有している。光源11は非可視光を発するレーザダイオード(LD)素子であり、実施の形態では近赤外光または赤外光を発光するLD素子が使用されている。
光学変換素子13はホログラム素子であり、光源11から発せられた測定光を、所定の投影パターンに変換して対象物に向けて照射する。図2に示すように、光照射パターンは、高輝度部d1と、前記高輝度部d1よりも輝度が低い低輝度部d2とを有している。ホログラム素子は、通過する光を回折させ、所定の空間領域に光エネルギーを集中させることができる。光をより高い密度で集約させた箇所が高輝度部d1となり、それよりも光の集約率が低い箇所が低輝度部d2となる。
図2には、第1の実施の形態において、光学変換素子13で変換された投影パターンによって、測定光が対象物(手H)に照射されている状態が示されている。
共に光照射領域として定義される高輝度部d1と低輝度部d2はスポット状(ドット状)である。高輝度部d1と低輝度部d2との間を埋める領域であって図2において暗く現れている領域が光非照射領域となっている。
光非照射領域は、光が全く当たらない領域を意味しているのではなく、光が集約されている高輝度部d1や低輝度部d2に比べて光の集約率がきわめて低く、高輝度部d1や低輝度部d2に比べるとほとんど光が当たっていないとみなされる領域である。
高輝度部d1と低輝度部d2の配置パターンはどのようなものであってもよいが、図2に示す例では、高輝度部d1と低輝度部d2が共に定型パターンによって規則的に配置されている。図2に示す定型パターンは、光照射領域であるスポット(ドット)が8×8を1ユニットとし、ユニットの4か所の角部に高輝度部d1が位置し、それ以外の60のスポット(ドット)が低輝度部d2となっている。このユニットは、高輝度部d1が存在している列と行を隣接するユニットが共有する規則性をもって、X−Y方向に並べられている。
ただし、高輝度部d1と低輝度部d2はランダムに配置されているものであってもよいし、高輝度部d1がX−Y方向へ交差して延びるように線状に形成されており、高輝度部d1の間に低輝度部d2が線状に形成され、あるいはスポット状(ドット状)に形成されているものであってもよい。
図6に示すように、光源11には光源ドライバ14が接続されている。光源ドライバ14は、光源11から発せられる測定光に強度変調を与えるものである。この実施の形態では、光源ドライバ14にパルス発振回路15が接続されており、光源ドライバ14によって光源11から間欠的に測定光が発せられる。
図1に示すように、受光装置20は、受光素子21と、その前方に位置する少なくとも1つの受光レンズ22と、その前方に配置されたフィルター23とを有している。フィルター23は、光源の波長に対応した発光波長(本実施例においては赤外光)を透過し、例えば可視光などのそれ以外の波長を遮ることができるように構成されている。
受光素子21は、投影基準面(背景)2の表面付近に位置する対象物(図2の例では手H)の全体に照射された高輝度部d1と低輝度部d2からの反射光を取得できる画角で光を受光可能である。
受光素子21はX方向とY方向に規則的に並ぶ複数の画素を有している。それぞれの画素は、図3に概略を示す横電界制御型電荷変調画素構造(LEFM)を有している。
図4は、前記LEFMの動作タイミングを示している。LEFMは、画素(PC)で受光された光が、ゲートG1(TX1)、ゲートG2(TX2)、ゲートG3(TXD)のそれぞれで所定のタイミングで取得されて、これが所定の蓄積期間で繰り返される。蓄積期間に蓄積された電荷が、読出し期間において取り出される。
図4に示すように、光源11から発せられる測定光の発光期間をT0とし、画素で検知された反射光(パルス光)の遅れ時間Tdとする。仮に、対象物までの距離Lがゼロであれば、発光期間T0と受光期間Tdとの間に位相差が生じないため、反射光を受光したときの電荷は、全てゲートG3から転送される。逆に、前記距離Lが長くなるほど、受光期間TdがゲートG2の転送時間にかかるようになり、反射光を受光したときの電荷の一部が、ゲートG2から転送されるようになる。
よって、ゲートG1のノードにおける出力をS1,ゲートG2のノードにおける出力をS2,ゲートG3のノードにおける出力をS3とすると、LEFMから光の照射点までの距離Lは、
L=(cT0/2)×{(S2−S1)/(S2+S3−2S1)}(数1)
で表される。(S2+S3−2S1)は、発光期間T0以外の光、すなわち外光を相殺するための計算値である。同様に、(S2−S1)も外光の効果を取り除いている計算値である。
S2−S1がゼロのときは、距離Lはゼロである。受光期間Tdが全てゲートG2の転送期間に入り込むと、距離Lは最大値の(cT0/2)となる。
このように、光源11から発せられる光に強度変調を与え、画素をLEFMで構成することで、受光出力に基づいて、受光素子21から対象物までの距離Lを知ることができるようになる。
なお、受光素子21には、図2に示す高輝度部d1からの反射光と低輝度部d2からの反射光の双方が受光されるため、受光素子21の画素によって受光強度が相違する。高輝度部d1からの反射光を受光する画素のLEFMからの受光出力は高く、低輝度部d2からの反射光を受光する画素のLEFMからの受光出力は低くなり、光非照射領域からの反射を受光する画素のLEFMからの受光出力はさらに低くなる。
図6に示す画素処理回路24には所定のしきい値が設定されており、LEFMからの受光出力のうちの前記しきい値よりも大きい受光出力が位相差検出回路31に与えられて、前記数1の演算が行われる。すなわち、高輝度部d1からの反射光にのみ基づいて、前記距離Lの計算が行われる。
図2に示すように、光源11から発せられる測定光は、ホログラム素子で構成された光学変換素子13によって、スポット状(ドット状)の高輝度部d1に多くの光エネルギーが集中する。この高輝度部d1に集約された光エネルギーが前記しきい値の設定で抽出されて位相差が検出されるため、光源11からの光エネルギーを距離測定のために効率良く使用することが可能になる。したがって、光源11の出力が限られていても、測定光の照射範囲を広くでき、広い照射範囲において距離測定が可能になる。また、スポット状(ドット状)の高輝度部d1からの反射光は強度が高く、この強度の高い検知出力を使用して位相差を測定するため、S/N比も向上させることができる。また、太陽光などの外光に対する耐性も高くすることが可能である。
図5(A)は、図2に示すドットパターンである投影パターンで測定光を投影したときと、光学変換素子13を使用せずに、対象物に対し測定光として単なる拡散光を与えたときとでの距離の測定結果を示している。図5(B)は、図2に示すドットパターンである投影パターンで測定光を投影したときと、光学変換素子13を使用せずに、対象物に対し測定光として単なる拡散光を与えたときとでの距離の測定値のばらつきを示している。
図5(A)(B)において、横軸には光源11を発光させる光源ドライバ14に与えられた電圧の逆数を示しており、右へ進むにつれて電圧が低下し、よって光源11からの発光強度は低下する。縦軸は前記数式により測定された距離Lである。測定に使用した画素数は、1つのドット状の高輝度部d1が照射される領域を含む3×3ピクセルである。なお、光源のパルス幅に基づく計測可能な距離範囲である実効距離を500mmとした。図5の各測定ポイントの下部に、有効な距離の計測値が得られたフレーム数が記載されている。
図5(A)(B)に示すように、ドットパターンである投影パターンを使用することにより、光源11からの発光強度を低下させても、有効な計測値を得ることができるフレーム数が多くなり、また、距離の検出値のばらつきが小さいことが解る。
このとき、光源から出力される光強度をPとし、高輝度部のドットを形成するための回折格子のエネルギー効率をλとする。発散光源の場合の、光照射領域における単位面積当たりの平均光強度をPdiffとし、ドットパターン光の場合の、1つのスポット(ドット)における単位面積当たりの平均光強度をPdotとする。光源からの光強度Pが共通の場合に、K=Pdot/Pdiffが1よりも十分大きければ、ドットパターンを使用した照射方式の方が、発散光の照射方式に比べて背景光に対する信号光の割合が大きいことになり、より外乱光に対して強い耐性を持つようになる。
拡散光の照射面積をS、ドットパターン照射方式での1つのスポット(ドット)の面積の平均をa、スポット(ドット)の総数をNとすると、Pdiff=P/Sで、Pdot=(λ・P)/(N・a)であるから、K=(λ・S)/(N・a)となり、ドットパターン照射方式が発散光の照射方式よりも精度を高くできる条件は、(λ・S)/(N・a)≫1、である。
図1と図2に示す例では、測定される対象物は手Hであり、手Hが投影基準面2を移動している状態を示している。
図6に示すように、受光素子21の各画素のLEFMで受光された受光出力は、前記画素処理回路24に与えられ、受光出力がしきい値よりも大きい出力が制御部30の位相差検出回路31に与えられ、しきい値よりも小さい出力がドットパターン検出回路33に与えられる。
好ましくは、画素処理回路24から位相差検出回路31とドットパターン検出回路33に時分割で交互に出力が与えられる。
制御部30は、CPUとメモリなどで構成されており、図6に示すブロック図に相当する処理動作が、予め組み込まれたソフトウエアによって実行される。
制御部30で実行される位相差検出回路31には、各画素のLEFMで受光された受光出力のうち前記しきい値よりも大きい検知出力が与えられ、その検知出力からS1、S2,S3のそれぞれの出力の蓄積値が求められ、Z距離演算部32において、前記数1で示した演算が行われて、外乱光成分を除いた状態で測定光の照射点から受光素子21までの距離Lが測定される。この距離は、ドット状に分布するそれぞれの高輝度部d1の距離情報として取得される。
制御部30のドットパターン検出回路33では、画素処理回路24で得られた検知出力のうちの前記しきい値よりも小さい出力であって主に低輝度部d2からの検知出力が抽出される。
ドットパターン検出回路33では、低輝度部d2からの反射光の受光強度(受光光量)の連続性を監視する。対象物である手Hの表面と、投影基準面(背景)2とでは光の反射率が相違しているため、手Hが動くと、手Hの境界部に位置する低輝度部d2からの反射光の強度が変化する。よって、低輝度部d2からの反射光の強度の連続性を監視することにより、手の境界部の位置を測定できる。制御部30では、ドットパターン検出回路33で、それぞれの低輝度部d2からの反射光の強度の連続性が監視され、その結果がX−Y位置演算部34に与えられ、X−Y位置演算部34において、手Hの外形が割り出される。
高輝度部d1の反射光から得られたZ距離情報と、低輝度部d2の反射光から得られたX−Y座標情報は、主演算回路35に与えられる。主演算回路35では、それぞれの高輝度部d1の距離情報から、対象物である手Hの表面の立体形状を把握でき、それぞれの低輝度部d2から得られたX−Y座標情報から手Hの形状(輪郭情報)を把握でき、これらを統合することにより、対象物である手Hの立体形状を把握することができる。また、投影装置10や受光装置20から手Hまでの距離を把握できるので、手Hが投影基準面2からどの位浮き上がっているのかも測定することができる。
さらに、手Hの表面においてX−Y座標上に分布している低輝度部d2からの反射光の消滅およびそれぞれの高輝度部d1からの反射光の消滅を把握することで、手HがX−Y方向へ移動したときのその移動速度、加速度情報を得ることができる。
なお、高輝度部d1の反射光から得られたZ距離情報の連続性を監視することによっても、手Hの外形を割り出すことが可能である。
図1に示す光学検知装置1では、投影装置10の光軸O1と受光装置20の光軸O2とが離れた位置にあり幾何学上の同軸に位置していない。しかし、光軸O1と光軸O2との距離は、対象物である手Hまでの距離Lに比較して十分に短く設定されている。そのため、手Hが動くなどして、手Hに照射されている高輝度部d1のドット部がZ方向へ移動したとしても、受光素子21で受光したときの高輝度部d1からの反射光のX−Y方向への移動量はわずかであり、演算上無視することが可能である。このような状態は、光軸O1と光軸O2とが実質的に同軸上に位置するということができ、X−Y方向へのドットの移動が最短となるため、Z軸方向の距離測定の精度を向上させることができる。
ただし、本発明では、前記光軸O1と光軸O2とが実質的な同軸上に位置しておらず、手Hが動くなどして、手Hに照射されている高輝度部d1(および低輝度部d2)のドット部がZ方向へ移動したときに、受光素子21において受光された反射光のドットが、三次元測定におけるいわゆるエピポーラ線上を移動するものとして検知されてもよい。つまり、Z方向の移動情報については高輝度部d1の位相の変化を用いて検知を行い、輪郭情報については高輝度部d1、低輝度部d2の移動情報に基づいて検知を行うことができる。この場合、輪郭情報についてはドットパターンの移動情報を読み取るだけで検知が可能であることから、処理が容易であると共に、Z方向の移動情報については高輝度部d1の位相変化を対象としていることから、検知を行いやすい。
なお、前記実施の形態では、光照射領域が高輝度部d1でZ方向の移動情報を得て低輝度部d2でX−Y方向の座標情報を得ているが、高輝度部d1と低輝度部d2の双方を使用してX−Y方向の座標情報の検出し、すなわち手Hの境界部の検出や手の移動検出を行ってもよい。
図7には、第2の実施の形態において、光学変換素子13で変換された投影パターンによって、測定光が対象物(手H)に照射されている状態が示されている。
第2の実施の形態では、光源11から発せられた測定光が光学変換素子13で変換されて、ドット状(スポット状)の光照射領域dを形成する投影パターンが形成されている。個々の光照射領域dの形状は円形であり、それぞれの光照射領域dは、直交する2方向へ同一のピッチで配置されている。あるいは、直交する2方向へ異なるピッチで配置されている。また、全ての光照射領域dは輝度が均一である。光照射領域dが形成されていない領域、すなわち、光照射領域dの間を埋めている領域が光非照射領域である。
この投影パターンでは、全ての光照射領域dからの反射光がLEFMで受光され、その受光出力が位相差検出回路31に与えられて、前記数2の演算が行われ、それぞれの光照射領域dごとに前記距離Lの計算が行われる。ただし、図7に示す複数の光照射領域dのうちのいずれかを選択し、選択された光照射領域dからの受光出力から位相差が求められ、前記距離Lが演算されてもよい。例えば、直交する2方向において数個ごとに配列している光照射領域dが選択されて、距離Lの演算が行われる。
また、それぞれの光照射領域dからの反射光の光強度の連続性を監視することによって、対象物である手Hの境界部を検出することも可能である。
第2の実施の形態においても、光源11からの測定光が、光学変換素子13によって集約させられて光照射領域dが形成されているため、この光照射領域dからの反射光の位相差を求めることにより、距離Lを高いS/N比で求めることができる。したがって、この距離Lの連続性を監視することで、手Hの外形を割り出すことも可能である。
なお、第1の実施の形態の高輝度部d1や低輝度部d2または第2の実施の形態の光照射領域dは、線状パターンや丸以外の図形パターンであってもよい。あるいは、高輝度部d1を大きく低輝度部d2を小さく形成してもよい。また、高輝度部d1や低輝度部d2または光照射領域dを、ランダムに配列するものであってもよい。
さらに、同じ光源11からの光を変換する光学変換素子13の回折構造を時分割で変化させて、高輝度部d1のみの投影パターンと低輝度部d2のみの投影パターンを交互に対象物に与えることも可能である。
1 光学式検知装置
10 投影装置
11 光源
13 光学変換素子
14 光源ドライバ
20 受光装置
21 受光素子
22 受光レンズ
24 画素処理回路
30 制御部
d1 高輝度部
d2 低輝度部
d 光照射領域

Claims (5)

  1. 光源と、前記光源から強度変調された測定光を発光させる光源ドライバと、前記測定光を所定の投影パターンに変換して対象物に投影する光学変換素子と、前記対象物から反射された前記測定光を受光する受光素子と、制御部とを有し、
    前記投影パターンは、前記光源から発せられた光を複数箇所に集約し前記対象物に投影して形成された光照射領域と、前記光照射領域の間を埋める光非照射領域とを有し、前記光照射領域は、光の輝度が高い高輝度部と前記高輝度部よりも光の輝度が低い低輝度部とを有しており、
    前記制御部は、前記光照射領域の光を前記受光素子で受光した受光出力から前記高輝度部の光の位相差を求めて、前記受光素子から前記光照射領域までのZ方向の距離情報を演算することを特徴とする光学式検知装置。
  2. 前記制御部は、前記投影パターンからの反射光の光強度変化の連続性を監視することで前記対象物の輪郭を検出する請求項1記載の光学式検知装置。
  3. 前記制御部は、前記低輝度部からの反射光の光強度変化の連続性を監視することで前記対象物の輪郭を検出する請求項2記載の光学式検知装置。
  4. Z方向の距離情報と前記輪郭とから、前記対象物の立体形状が演算される請求項2または3に記載の光学式検知装置。
  5. 前記投影パターンはドットパターンである請求項1ないし4のいずれかに記載の光学式検知装置。
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