JP6530688B2 - 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 - Google Patents
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- 238000010276 construction Methods 0.000 title claims description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 239000013598 vector Substances 0.000 claims 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 367
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 26
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 25
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000012706 support-vector machine Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012531 culture fluid Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
33 分類器構築ユニット
55 ディスプレイ
56 入力部
71,71a,71b 欠陥画像
321 対象画像記憶部
323 分類器
324 サブ分類器
331 欠陥画像記憶部
332 特定画像情報取得部
333 表示制御部
334 繰返制御部
335 クラス決定部
336 分類器構築部
Ra,Rb 特定数値範囲
S11〜S24,S31〜S33 ステップ
Claims (12)
- 画像を分類する分類器を構築する分類器構築方法であって、
a)複数の画像を準備する工程と、
b)複数の特徴量軸から選択された一の特徴量軸を注目特徴量軸として、前記注目特徴量軸に対して前記複数の画像からそれぞれ取得される複数の値の順序に従って、前記複数の画像を表示部に配列して表示する工程と、
c)前記表示部に配列された前記複数の画像において、各クラスに属すべき所定数以上の画像が連続して並ぶ場合に、前記所定数以上の画像を前記各クラスの特定画像群として特定する工程と、
d)前記特定画像群のそれぞれに前記各クラスを示すラベルを付与する工程と、
e)前記各クラスの前記特定画像群に対応する前記注目特徴量軸上の数値範囲を、前記各クラスの特定数値範囲として取得する工程と、
f)前記注目特徴量軸を他の一の特徴量軸に変更しつつ、前記b)ないしe)工程を繰り返す工程と、
g)前記複数の画像のうち、付与された全てのラベルが示すクラスが同一である画像を、前記クラスの決定済み画像として決定する工程と、
h)前記決定済み画像に対して付与された全てのラベルに対応する全ての特徴量軸において、前記クラスの前記特定数値範囲に含まれる画像を前記クラスに分類するルールベースの分類器を構築する工程と、
を備えることを特徴とする分類器構築方法。 - 請求項1に記載の分類器構築方法であって、
i)前記複数の画像のうち、付与された全てのラベルの一部が第1クラスを示し、残りが第2クラスを示す画像を、前記第1および第2クラスの混合クラスの仮決定済み画像として決定する工程をさらに備えることを特徴とする分類器構築方法。 - 請求項2に記載の分類器構築方法であって、
j)前記仮決定済み画像に対して付与された全てのラベルに対応する全ての特徴量軸において、前記仮決定済み画像のラベルが示すクラスの前記特定数値範囲に含まれる画像を前記混合クラスに分類するルールベースの他の分類器を構築する工程をさらに備えることを特徴とする分類器構築方法。 - 請求項3に記載の分類器構築方法であって、
k)前記仮決定済み画像を前記第1クラスまたは前記第2クラスのいずれかに教示する工程と、
l)前記他の分類器により前記混合クラスに分類される画像を前記第1クラスまたは前記第2クラスのいずれかに分類するサブ分類器を、前記k)工程にて教示された前記仮決定済み画像を用いて学習により構築する工程と、
を備えることを特徴とする分類器構築方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の分類器構築方法であって、
m)前記分類器によりいずれのクラスにも分類されない画像をいずれかのクラスに分類する分類器を、少なくとも前記決定済み画像を用いて学習により構築する工程をさらに備えることを特徴とする分類器構築方法。 - 画像を分類する画像分類方法であって、
対象画像を準備する工程と、
請求項1ないし5のいずれかに記載の分類器構築方法により構築された分類器により前記対象画像を分類する工程と、
を備えることを特徴とする画像分類方法。 - 画像を分類する分類器を構築する分類器構築装置であって、
複数の画像を記憶する画像記憶部と、
複数の特徴量軸から選択された一の特徴量軸を注目特徴量軸として、前記注目特徴量軸に対して前記複数の画像からそれぞれ取得される複数の値の順序に従って、前記複数の画像を表示部に配列して表示する表示制御部と、
前記表示部に配列された前記複数の画像において、各クラスに属すべき所定数以上の画像が連続して並ぶ場合に、前記所定数以上の画像を前記各クラスの特定画像群として指示する入力を受け付ける入力部と、
前記特定画像群のそれぞれに前記各クラスを示すラベルを付与するとともに、前記各クラスの前記特定画像群に対応する前記注目特徴量軸上の数値範囲を、前記各クラスの特定数値範囲として取得する特定画像情報取得部と、
前記注目特徴量軸を他の一の特徴量軸に変更しつつ、前記表示制御部、前記入力部および前記特定画像情報取得部の動作を繰り返させる繰返制御部と、
前記複数の画像のうち、付与された全てのラベルが示すクラスが同一である画像を、前記クラスの決定済み画像として決定するクラス決定部と、
前記決定済み画像に対して付与された全てのラベルに対応する全ての特徴量軸において、前記クラスの前記特定数値範囲に含まれる画像を前記クラスに分類するルールベースの分類器を構築する分類器構築部と、
を備えることを特徴とする分類器構築装置。 - 請求項7に記載の分類器構築装置であって、
前記クラス決定部が、前記複数の画像のうち、付与された全てのラベルの一部が第1クラスを示し、残りが第2クラスを示す画像を、前記第1および第2クラスの混合クラスの仮決定済み画像として決定することを特徴とする分類器構築装置。 - 請求項8に記載の分類器構築装置であって、
前記分類器構築部が、前記仮決定済み画像に対して付与された全てのラベルに対応する全ての特徴量軸において、前記仮決定済み画像のラベルが示すクラスの前記特定数値範囲に含まれる画像を前記混合クラスに分類するルールベースの他の分類器を構築することを特徴とする分類器構築装置。 - 請求項9に記載の分類器構築装置であって、
前記入力部が、前記仮決定済み画像を前記第1クラスまたは前記第2クラスのいずれかに教示する入力を受け付け、
前記分類器構築部が、前記他の分類器により前記混合クラスに分類される画像を前記第1クラスまたは前記第2クラスのいずれかに分類するサブ分類器を、前記第1クラスまたは前記第2クラスに教示された前記仮決定済み画像を用いて学習により構築することを特徴とする分類器構築装置。 - 請求項7ないし10のいずれかに記載の分類器構築装置であって、
前記分類器構築部が、前記分類器によりいずれのクラスにも分類されない画像をいずれかのクラスに分類する分類器を、少なくとも前記決定済み画像を用いて学習により構築することを特徴とする分類器構築装置。 - 画像を分類する画像分類装置であって、
対象画像を記憶する対象画像記憶部と、
請求項7ないし11のいずれかに記載の分類器構築装置により構築された分類器と、
を備えることを特徴とする画像分類装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015187979A JP6530688B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015187979A JP6530688B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017062677A JP2017062677A (ja) | 2017-03-30 |
JP6530688B2 true JP6530688B2 (ja) | 2019-06-12 |
Family
ID=58430164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015187979A Active JP6530688B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6530688B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7087397B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2022-06-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の欠陥検査装置、基板の欠陥検査方法及び記憶媒体 |
JPWO2019151393A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2020-12-03 | 株式会社ニチレイフーズ | 食品検査システム、食品検査プログラム、食品検査方法および食品生産方法 |
JP6960356B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-11-05 | 株式会社Screenホールディングス | 教師データ作成支援方法および教師データ作成支援装置 |
JP7161948B2 (ja) * | 2018-09-07 | 2022-10-27 | 株式会社フジクラ | 機械学習装置、機械学習方法、機械学習プログラム、及び検査装置 |
JP7293907B2 (ja) * | 2019-06-25 | 2023-06-20 | オムロン株式会社 | 外観検査管理システム、外観検査管理装置、外観検査管理方法及びプログラム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4253522B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2009-04-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥分類方法及び装置 |
JP4992646B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2012-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 識別方法及びプログラム |
JP2009266839A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体検査装置及び半導体検査方法 |
JP5537282B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2014-07-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
-
2015
- 2015-09-25 JP JP2015187979A patent/JP6530688B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017062677A (ja) | 2017-03-30 |
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