JP6528829B2 - Rolling break device for brittle material substrate - Google Patents

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Description

本発明は、ローリングブレーク装置に関するものであって、特にスクライブラインが形成された脆性材料基板を容易に分断することができる脆性材料基板のローリングブレーク装置に関するものである。 The present invention relates to a rolling break apparatus, and more particularly to a rolling break apparatus for a brittle material substrate capable of easily dividing a brittle material substrate on which a scribe line is formed.

一般的に、脆性材料基板は大型で製造され、使用者は当該基板を所望の大きさに分断して用いる。このような大型の脆性材料基板を分断する従来の分断装置について、図１及び図２を参照して説明する。 Generally, a brittle material substrate is manufactured in a large size, and a user divides the substrate into a desired size and uses it. A conventional dividing device for dividing such a large brittle material substrate will be described with reference to FIG. 1 and FIG.

図１を参照すると、大型の脆性材料基板３を分断するためには、まず大型の脆性材料基板３の表面にカッターホイール４を使用してスクライブラインＳを形成する。その後、脆性材料基板３の上下面が入れ変わるように吸着反転装置（不図示）を利用して１８０度反転させる。図２に示すように、スクライブラインＳが形成された脆性材料基板３の面が底面を向くように反転させたら、スクライブラインＳの裏側をスクライブラインＳの形成方向に沿ってブレークバー８で加圧する。これにより、脆性材料基板３はスクライブラインＳに沿って左右へ離れながら分断される。この時、脆性材料基板Ｓの下部側には、ブレークバー８で加圧するときに脆性材料基板３が下部側に押されながら緩衝されるようにクッションシート７が敷かれている。 Referring to FIG. 1, in order to divide the large-sized brittle material substrate 3, first, a scribing line S is formed on the surface of the large-sized brittle material substrate 3 using a cutter wheel 4. Thereafter, the upper surface and the lower surface of the brittle material substrate 3 are inverted 180 degrees using an adsorption and inversion device (not shown) so that the upper and lower surfaces of the brittle material substrate 3 are exchanged. As shown in FIG. 2, when the surface of the brittle material substrate 3 on which the scribe line S is formed is inverted so as to face the bottom, the back side of the scribe line S is added by the break bar 8 along the formation direction of the scribe line S. Press down. Thereby, the brittle material substrate 3 is divided along the scribe line S while being separated to the left and right. At this time, the cushion sheet 7 is laid on the lower side of the brittle material substrate S so that the brittle material substrate 3 is buffered while being pressed downward by the break bar 8.

前記のようにスクライブラインＳに沿って脆性材料基板３の上面をブレークバー８で加圧しながら押すと、脆性材料基板３は、クッションシート７に押し付けられながらスクライブラインＳに沿って分断される。しかしながら、脆性材料基板３のスクライブラインＳは敷かれているクッションシート７の面と接触しているため、スクライブラインＳが形成された面と反対側の面をブレークバー８で加圧すると、スクライブラインＳの形成された面がクッションシート７の面と接触し摩擦力が発生する。このことにより、分断後の脆性材料基板が左右に離れにくく、分離が容易にならないという問題がある。 When the upper surface of the brittle material substrate 3 is pressed by the break bar 8 along the scribe line S as described above, the brittle material substrate 3 is divided along the scribe line S while being pressed against the cushion sheet 7. However, since the scribe line S of the brittle material substrate 3 is in contact with the surface of the cushion sheet 7 laid, when the surface opposite to the surface on which the scribe line S is formed is pressed by the break bar 8, scribing The surface on which the line S is formed is in contact with the surface of the cushion sheet 7 to generate a frictional force. Due to this, there is a problem that the brittle material substrate after division does not easily separate from side to side, and separation is not easy.

また、スクライブラインＳの形成された面がクッションシート７の面と接触した状態でクッションシート７の方に押し付けられながら摩擦を起こしつつ分断されるため、分断面でチッピングが発生するという問題もある。
また、前記のような従来の分断装置では、脆性材料基板を分断するために吸着反転装置等を利用して基板を反転させなければならないため、吸着による基板面の汚染が起きやすいという問題点もある。
さらには、ブレークバー８でスクライブラインＳの真裏を加圧しないとスクライブラインＳに沿って正確に分断されないのであるが、脆性材料基板３の位置が若干ずれた状態でブレークバー８で加圧すると、スクライブラインＳに沿って正確に分断されず、左右いずれかにずれた状態で分断されるという問題が発生する。 In addition, there is a problem that chipping occurs in a divided section because friction is generated while being pressed against the cushion sheet 7 while the surface on which the scribe line S is formed is in contact with the surface of the cushion sheet 7 .
Further, in the conventional dividing apparatus as described above, since it is necessary to invert the substrate using an adsorption / inversion apparatus etc. in order to divide the brittle material substrate, there is a problem that contamination of the substrate surface by adsorption is likely to occur. is there.
Furthermore, unless the pressure is applied directly behind the scribe line S by the break bar 8, it is not accurately divided along the scribe line S. However, when the break material 8 is pressed with the position of the brittle material substrate 3 slightly shifted The problem of not being accurately divided along the scribe line S occurs but being separated in the state of being shifted to the left or right.

特開２００９−００１４８４号公報JP, 2009-001484, A

本発明は、上述のような問題点を勘案して案出されたものであって、その目的は、スクライブラインが形成された脆性材料基板を容易に分断させ得る脆性材料基板のローリングブレーク装置を提供することにある。 The present invention has been made in consideration of the problems as described above, and its object is to provide a rolling break apparatus for a brittle material substrate capable of easily dividing a brittle material substrate on which a scribe line is formed. It is to provide.

前記の目的を達成するために、本発明のローリングブレーク装置は、上面にスクライブラインが形成された脆性材料基板が載置される柔軟性安着パッドと、該柔軟性安着パッドの一側端に設けられて、前記柔軟性安着パッドを常時水平状態が維持されるように前記脆性材料基板の重さよりも大きい力で引っ張ることで張力を付与する引っ張り部と、前記柔軟性安着パッドを挟んで前記脆性材料基板と反対側に位置する押し付け移動ローリング部と、該押し付け移動ローリング部を上下移動させる昇降部とを具備する。

In order to achieve the above object, the rolling break apparatus of the present invention comprises a flexible seating pad on which a brittle material substrate having a scribe line formed on the top surface is placed, and one side end of the flexible seating pad. A tensioning portion provided on the flexible seating pad to apply tension by pulling with a force larger than the weight of the brittle material substrate such that the horizontal position is always maintained, and the flexible seating pad A pressing and moving rolling portion positioned on the opposite side to the brittle material substrate interposed therebetween, and an elevating and lowering portion for moving the pressing and moving rolling portion up and down are provided.

前記押し付け移動ローリング部は、前記柔軟性安着パッドの下面に沿って移動する構成とすることができる。 The pressing and moving rolling portion may be configured to move along the lower surface of the flexible seating pad.

前記押し付け移動ローリング部と前記昇降部との間に前記脆性材料基板の下面と平行に設置された水平棚をさらに含み、前記押し付け移動ローリング部は、前記水平棚上で前記柔軟性安着パッドの下面に沿って移動する構成とすることができる。 The flat panel further includes a horizontal shelf installed parallel to the lower surface of the brittle material substrate between the pressing and moving rolling portion and the elevating portion, the pressing and moving rolling portion may be formed of the flexible seating pad on the horizontal shelf. It can be configured to move along the lower surface.

前記押し付け移動ローリング部を前記脆性材料基板の面と平行な面内で回転させる回転部を有する構成とすることができる。 The rotary unit may rotate the pressing moving rolling unit in a plane parallel to the surface of the brittle material substrate.

前記柔軟性安着パッドは、メッシュ状の網の上にゴムパッドが重なって形成されるか、粘着性ゴムで形成することができる。 The flexible seating pad may be formed by overlapping a rubber pad on a mesh net, or may be formed of an adhesive rubber.

前記押し付け移動ローリング部は、その長手方向の寸法が前記脆性材料基板の幅よりも大きな構成することができる。 The pressing movement rolling portion may be configured such that its longitudinal dimension is larger than the width of the brittle material substrate.

本発明の一実施例によると、脆性材料基板にスクライブラインを形成した後、当該脆性材料基板を裏返さずに済むため、基板面の汚染を防止することができる。
また、水平方向に移動する押し付け移動ローリング部を利用することにより、スクライブラインが形成された脆性材料基板を素早く容易に分断できると共に、スクライブラインの方向と押し付け移動ローリング部の位置が正確に一致していないときでも分断が可能になる。
また、押し付け移動ローリング部を上方に押し上げながら脆性材料基板の下面に沿って水平方向に移動させるため、脆性材料基板のスクライブラインを一ラインずつ順にブレークすることができる。
また、柔軟性安着パッドを粘着性ゴムで構成した場合は、脆性材料基板が粘着性ゴムパッドに貼り付くので、押し付け移動ローリング部による押し上げ時に脆性材料基板が柔軟性安着パッドから浮き上がることを防止することができ、分断力を高めることができる。 According to an embodiment of the present invention, after the scribing line is formed on the brittle material substrate, it is not necessary to turn over the brittle material substrate, so that the contamination of the substrate surface can be prevented.
In addition, by utilizing the pressing moving rolling portion moving in the horizontal direction, the brittle material substrate on which the scribe line is formed can be separated quickly and easily, and the direction of the scribing line and the position of the pressing moving rolling portion coincide exactly. It is possible to divide even when not working.
Further, since the pressing movement rolling portion is moved upward along the lower surface of the brittle material substrate while moving upward, the scribing lines of the brittle material substrate can be broken one by one in order.
In addition, when the flexible seating pad is made of adhesive rubber, the brittle material substrate sticks to the adhesive rubber pad, thereby preventing the brittle material substrate from coming up from the flexible seating pad when pushed up by the pressing movement rolling portion And can increase the dividing force.

図１は、脆性材料基板を分断するためのスクライブラインを形成する装置を概略的に示す図面である。FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for forming a scribe line for dividing a brittle material substrate. 図２は、図１の装置によってスクライブラインを形成した後、ブレークバーを利用して基板を分断する従来の分断装置を示す図面である。FIG. 2 is a view showing a conventional dividing apparatus for dividing a substrate using a break bar after forming a scribe line by the apparatus of FIG. 図３は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を示す図面である。FIG. 3 is a view showing a rolling break apparatus for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention. 図４は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を利用して脆性材料基板を分断する状態を示す図面である。FIG. 4 is a view showing a state in which a brittle material substrate is divided using the rolling break apparatus for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention. 図５は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を利用して脆性材料基板を分断する状態をより具体的に示した図面である。FIG. 5 is a view more specifically showing a state in which a brittle material substrate is divided using the rolling break apparatus for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して本発明の望ましい実施例をより詳しく説明する。なお、本発明の実施例において、従来技術の構成要素と同一または類似の構成要素については、同一の図面符号を使用することで、説明を省略する。 The present invention will now be described more fully with reference to the accompanying drawings, in which exemplary embodiments of the invention are shown. In the embodiment of the present invention, the same or similar components as or to those of the prior art are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置は、図３に示すように、シリンダ等によって昇降が可能な昇降部２６を具備しており、当該昇降部２６の上部には回転部２８が装着されている。
回転部２８の上部には水平状態で平らに形成された水平棚２２が取り付けられており、水平棚２２上には水平方向に移動自在な押し付け移動ローリング部２０が装着されている。押し付け移動ローリング部２０は、水平棚２２上で駆動装置（不図示）によって転動可能なように設けられている。 The rolling break apparatus for brittle material substrate according to one embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, comprises an elevation unit 26 which can be raised and lowered by a cylinder or the like, and a rotating unit 28 is provided above the elevation unit 26. Is attached.
A horizontal shelf 22 which is formed flat in a horizontal state is attached to the upper portion of the rotating portion 28, and a pressing and moving rolling portion 20 which is horizontally movable is mounted on the horizontal shelf 22. The pressing movement rolling unit 20 is provided on the horizontal shelf 22 so as to be rollable by a driving device (not shown).

押し付け移動ローリング部２０の上方には柔軟性安着パッド２５が水平方向に延設されており、当該柔軟性安着パッド２５の一側端には、柔軟性安着パッド２５が常に水平状態を維持するように張力を与える引っ張り部３０が装着されている。
引っ張り部３０は、柔軟性安着パッド２５の一側端に装着されて柔軟性安着パッド２５を常に引いた状態で維持する錘や弾性体で構成することができる。むろん、柔軟性安着パッド２５を常に引いた状態で維持することができれば他の手段であってもよい。
引っ張り部３０は、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５上に載置された状態でも、柔軟性安着パッド２５が脆性材料基板３の重さでたわむことなく水平状態を維持できるように、柔軟性安着パッド２５に張力を付与する。 A flexible seating pad 25 is horizontally extended above the pressing and moving rolling portion 20, and the flexible seating pad 25 is always in a horizontal state at one side end of the flexible seating pad 25. A tensioning section 30 is mounted to provide tension to maintain.
The pulling portion 30 can be composed of a weight or an elastic body attached to one side end of the flexible seating pad 25 and always keeping the flexible seating pad 25 pulled. Of course, other means may be used as long as the flexible seating pad 25 can be maintained in a constantly pulled state.
The pulling portion 30 allows the flexible seating pad 25 to maintain the horizontal state without bending by the weight of the brittle material substrate 3 even when the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25. Apply tension to the flexible seating pad 25.

引っ張り部３０が柔軟性安着パッド２５の全幅を一定の力で引いたときに柔軟性安着パッド２５の水平状態を維持するためには、柔軟性安着パッド２５を、メッシュ状のゴム網で構成するか、メッシュ状の網の上にゴムパッドが一体となるように構成するのが望ましい。
また、柔軟性安着パッド２５は、脆性材料基板３が載置された時に固定力を発生させるため、付着性の良い粘着ゴム等を利用することもできる。 In order to maintain the horizontal position of the flexible seating pad 25 when the pulling section 30 pulls the full width of the flexible seating pad 25 by a constant force, the flexible seating pad 25 is meshed with a rubber network Preferably, the rubber pad is integrated on the mesh net.
In addition, since the flexible seating pad 25 generates a fixing force when the brittle material substrate 3 is placed, it is possible to use adhesive rubber or the like with good adhesion.

上述のように構成された本実施例によるローリングブレーク装置で基板が分断される過程を具体的に説明する。 A process of dividing the substrate in the rolling break apparatus according to the present embodiment configured as described above will be specifically described.

まず、図３に示すように、スクライブ工程によりスクライブラインＳが上面に形成された脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５上に載置される。
柔軟性安着パッド２５上に脆性材料基板３が載置される時に、柔軟性安着パッド２５はたわむことなく水平状態が維持される。すなわち、柔軟性安着パッド２５は、その一側端が引っ張り部３０によって常に脆性材料基板３の重さより大きい力で引かれているため、脆性材料基板３の重さによって柔軟性安着パッド２５の中央部位が下方にたわむことが防止される。 First, as shown in FIG. 3, the brittle material substrate 3 having the scribe line S formed on the upper surface is placed on the flexible seating pad 25 by the scribing step.
When the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25, the flexible seating pad 25 is maintained in the horizontal state without bending. That is, since the one side end of the flexible seating pad 25 is always pulled by the pulling portion 30 with a force greater than the weight of the brittle material substrate 3, the weight of the brittle material substrate 3 causes the flexible seating pad 25 to The central part of the is prevented from bending downwards.

柔軟性安着パッド２５上に脆性材料基板３が載置されると、昇降部２６が駆動装置（不図示）によって上昇する。
昇降部２６が上昇すると押し付け移動ローリング部２０も上昇することになり、これにより、脆性材料基板３が載置された状態で水平状態を維持している柔軟性安着パッド２５の下面の一部分も、押し付け移動ローリング部２０によって一定の高さだけ上昇する。 When the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25, the elevating part 26 is elevated by a driving device (not shown).
When the elevating part 26 ascends, the pressing and moving rolling part 20 also ascends, whereby part of the lower surface of the flexible seating pad 25 maintaining the horizontal state in the state where the brittle material substrate 3 is placed is also , The pressing movement rolling unit 20 ascends by a fixed height.

押し付け移動ローリング部２０が柔軟性安着パッド２５の下面に当接しながら柔軟性安着パッド２５を上方（図３でのＹ方向）に押し上げると、柔軟性安着パッド２５上に載置されている脆性材料基板３も同時に上方へ変位する。
すなわち、図４に示すように、柔軟性安着パッド２５が押し付け移動ローリング部２０によってＹ軸上の一定の高さまで押し上げられると、柔軟性安着パッド２５上に載置されている脆性材料基板３も上方へ持ち上げられるようになる。
この時に、押し付け移動ローリング部２０の上昇高さだけ脆性材料基板３の上面に形成されているスクライブラインＳの高さが変位すると、スクライブラインＳを開く方向に引張応力が発生し、これによりスクライブラインＳに形成されたクラックが徐々に下側に伸びて脆性材料基板３が分断される。 When the flexible seating pad 25 is pushed upward (Y direction in FIG. 3) while the pressing movement rolling portion 20 abuts on the lower surface of the flexible seating pad 25, the flexible seating pad 25 is placed on the flexible seating pad 25 The brittle material substrate 3 is also displaced upward at the same time.
That is, as shown in FIG. 4, when the flexible seating pad 25 is pushed up to a certain height on the Y axis by the pressing and moving rolling portion 20, the brittle material substrate placed on the flexible seating pad 25 3 will also be lifted upwards.
At this time, when the height of the scribe line S formed on the upper surface of the brittle material substrate 3 is displaced by the rising height of the pressing and moving rolling portion 20, a tensile stress is generated in the direction to open the scribe line S. The cracks formed in the line S gradually extend downward, and the brittle material substrate 3 is divided.

また、図５に示すように、脆性材料基板３のスクライブラインＳが押し付け移動ローリング部２０の押し付け力によって左右に離れる時に、脆性材料基板３の自重によってスクライブラインＳ上に印加される引張応力が加重されるため、クラックの進行速度がさらに加速され、脆性材料基板３をさらに容易に分断することができる。 Further, as shown in FIG. 5, when the scribe line S of the brittle material substrate 3 is separated left and right by the pressing force of the pressing and moving rolling portion 20, the tensile stress applied on the scribe line S by the self weight of the brittle material substrate 3 is Because of the load, the progressing speed of the crack is further accelerated, and the brittle material substrate 3 can be separated more easily.

また、図４に示すように、押し付け移動ローリング部２０が水平方向（図４でのＸ方向）に移動しながら脆性材料基板３のスクライブラインＳが形成されている位置を経由する度に、押し付け移動ローリング部２０は、脆性材料基板３のスクライブラインＳを上方に持ち上げる形態になるため、スクライブラインＳが形成された部位ごとにクラックが進行しながら順に分断される。 Further, as shown in FIG. 4, the pressing movement rolling portion 20 is pressed every time it passes through the position where the scribe line S of the brittle material substrate 3 is formed while moving in the horizontal direction (X direction in FIG. 4). Since the moving rolling portion 20 is configured to lift the scribe line S of the brittle material substrate 3 upward, the moving rolling portion 20 is divided in order while the crack progresses in each portion where the scribe line S is formed.

脆性材料基板３が載置されている柔軟性安着パッド２５の表面は、一般的なゴムで形成することもでき、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５の表面に付着して引張応力による分断力がさらに増加されるように、吸着性ゴムまたは粘着性ゴム等で形成することもできる。 The surface of the flexible seating pad 25 on which the brittle material substrate 3 is placed may be formed of general rubber, and the brittle material substrate 3 adheres to the surface of the flexible seating pad 25 and tensile stress is generated. In order to further increase the parting force due to the above, it can also be formed of an adsorptive rubber, an adhesive rubber or the like.

これに関してさらに具体的に説明すると、柔軟性安着パッド２５が粘着性ゴムで形成された場合、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５に貼り付くので、図５に示す円内の拡大図における脆性材料基板３の折れ曲がりの角度が急峻になり、脆性材料基板３のスクライブラインＳに加えられる力がさらに付加され、その分さらにクラックの進行を助けるようになる。 More specifically in this regard, since the brittle material substrate 3 sticks to the flexible seating pad 25 when the flexible seating pad 25 is formed of the adhesive rubber, the enlarged view in the circle shown in FIG. The angle of bending of the brittle material substrate 3 at this point becomes steep, and a force to be applied to the scribe line S of the brittle material substrate 3 is further applied, which further promotes the progress of the crack.

一方、前述のように、押し付け移動ローリング部２０は、脆性材料基板３の下面に沿ってＸ方向に移動しながら、Ｘ軸及びＹ軸に垂直の方向（以下、Ｚ方向という）に形成された脆性材料基板３のスクライブラインＳをブレークした後、昇降部２６の下降動作により下降して元の位置に復帰する。
そして、Ｚ方向に形成されたスクライブラインＳに沿った分断作業が完了された後、Ｘ方向に形成されたスクライブラインに沿った分断作業を連続して実施するために、回転部２８を利用して押し付け移動ローリング部２０の向きが９０度回転される。
その後、押し付け移動ローリング部２０は、昇降部２６によって再びＹ方向に上昇されて、今度はＺ方向に移動しながら脆性材料基板３のＸ方向に形成されたスクライブラインＳを順にブレークする。 On the other hand, as described above, the pressing and moving rolling portion 20 is formed in the direction perpendicular to the X axis and the Y axis (hereinafter referred to as the Z direction) while moving in the X direction along the lower surface of the brittle material substrate 3 After the scribe line S of the brittle material substrate 3 is broken, it is lowered by the lowering operation of the elevation unit 26 and returns to the original position.
Then, after the dividing operation along the scribe line S formed in the Z direction is completed, the rotating unit 28 is used to continuously perform the dividing operation along the scribe line formed in the X direction. The direction of the pressing movement rolling portion 20 is rotated by 90 degrees.
Thereafter, the pressing and moving rolling portion 20 is raised again in the Y direction by the raising and lowering portion 26, and this time it moves in the Z direction to break the scribe lines S formed in the X direction of the brittle material substrate 3 in order.

本実施例では、押し付け移動ローリング部２０が水平棚２２上で移動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、押し付け移動ローリング部２０が回転部２８上で水平方向に移動するように構成することもできる。また、押し付け移動ローリング部２０は、図示は省略するが、両端にレール等を敷いて移動させるか、その他の駆動装置等を装着して移動させることもできる。 In the present embodiment, the pressing and moving rolling unit 20 is configured to move on the horizontal shelf 22, but the present invention is not limited to this, and the pressing and moving rolling unit 20 is horizontal on the rotating unit 28. It can also be configured to move in a direction. Further, although not shown, the pressing and moving rolling unit 20 can be moved by laying rails or the like at both ends, or by mounting other driving devices or the like.

また、本実施例による押し付け移動ローリング部２０によると、脆性材料基板３のスクライブラインＳが形成された面とは反対側の面、すなわち脆性材料基板３の裏面の側で長尺のローラが転動しながら当該裏面を上方に押し上げるため、押し付け移動ローリング部２０とスクライブラインＳと間で若干のずれ等が発生しても、スクライブラインＳに沿って正確に分断することができる。 Further, according to the pressing and moving rolling portion 20 according to the present embodiment, the long roller is rolled on the surface of the brittle material substrate 3 opposite to the surface on which the scribe line S is formed, ie, the back surface of the brittle material substrate 3. Since the back surface is pushed upward while moving, even if a slight deviation or the like occurs between the pressing and moving rolling portion 20 and the scribe line S, it is possible to accurately divide along the scribe line S.

Ｓ スクライブライン
３ 脆性材料基板
２０ 押し付け移動ローリング部
２５ 柔軟性安着パッド
２６ 昇降部
２８ 回転部
３０ 引っ張り部 S scribe line 3 brittle material substrate 20 pressing moving rolling portion 25 flexible seating pad 26 raising and lowering portion 28 rotating portion 30 pulling portion

Claims (1)

上面にスクライブラインが形成された脆性材料基板が載置される柔軟性安着パッドと、
該柔軟性安着パッドの一側端に設けられて、前記柔軟性安着パッドを常時水平状態が維持されるように前記脆性材料基板の重さよりも大きい力で引っ張ることで張力を付与する引っ張り部と、
前記柔軟性安着パッドを挟んで前記脆性材料基板と反対側に位置する押し付け移動ローリング部と、
該押し付け移動ローリング部を上下移動させる昇降部と、
を具備することを特徴とするローリングブレーク装置。
A flexible seating pad on which a brittle material substrate having a scribe line formed on the upper surface is placed;
A tension is provided on one side end of the flexible seating pad to apply tension by pulling with a force larger than the weight of the brittle material substrate so that the flexible seating pad is always kept horizontal. Department,
A pressing movement rolling portion located opposite to the brittle material substrate with the flexible seating pad interposed therebetween;
An elevation unit for moving the pressing movement rolling unit up and down;
A rolling break apparatus comprising:
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