JP6528553B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施例の流体制御装置2の構成を模式的に示している。流体制御装置2は、複数のビーム4と、ビーム間隔調整機構6を備えている。本実施例の流体制御装置2は、MEMS製造技術を利用して製造される。
図12に示すように、本実施例の流体制御装置22は、実施例1の流体制御装置2とほぼ同様の構成を備えている。本実施例の流体制御装置22では、隣接する導電剛性部8の間に、絶縁弾性部10の代わりに、圧電素子部24が配置されている。圧電素子部24は、圧電素子から構成されている。
図20に示すように、本実施例の流体制御装置32は、複数のビーム4と、ビーム間隔調整機構34を備えている。
上記の各実施例において、複数のビーム4に、図21に示すようなリブ42を形成することができる。このような構成とすることによって、それぞれのビーム4の剛性を高めて、流体から受ける力によってビーム4が撓んで、ビーム4の間隔が変化してしまうことを防ぐことができる。
2a :流体制御装置
2b :流体制御装置
2c :流体制御装置
2d :流体制御装置
4 :ビーム
4a :ビーム
4b :ビーム
4c :ビーム
4d :ビーム
4’ :ビームの一部
4’’ :ビームの残部
6 :ビーム間隔調整機構
8 :導電剛性部
10 :絶縁弾性部
12 :電圧生成部
22 :流体制御装置
24 :圧電素子部
32 :流体制御装置
34 :ビーム間隔調整機構
36 :電極部
38 :支持部
40 :基部
42 :リブ
44 :ビーム間隔調整機構44
46 :電極部
48 :圧電素子部
50 :基部
52 :電圧生成部
100 :シリコンウェハ
102 :レジスト
104 :金属膜
106 :レジスト
110 :圧電膜
Claims (3)
- 流体の挙動を制御する流体制御装置であって、
複数のビームと、
前記複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整機構を備えており、
前記複数のビームの間隔を変化させることで、前記流体が前記複数のビームの間を通り抜けることができる状態と、前記流体が前記複数のビームの間を通り抜けることができない状態の間で切り替え可能である、流体制御装置。 - 前記複数のビームが、基準面に沿って配置されており、
前記ビーム間隔調整機構が、前記複数のビームを前記基準面に沿う方向に相対変位させ
ることで、前記複数のビームの間隔を調整する、請求項1の流体制御装置。 - 前記複数のビームが、基準面に沿って配置されており、
前記ビーム間隔調整機構が、前記複数のビームを前記基準面に垂直な方向に相対変位さ
せることで、前記複数のビームの間隔を調整する、請求項1または2の流体制御装置。
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