JP6526948B2 - 静圧軸受付サーボ弁 - Google Patents
静圧軸受付サーボ弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6526948B2 JP6526948B2 JP2014109645A JP2014109645A JP6526948B2 JP 6526948 B2 JP6526948 B2 JP 6526948B2 JP 2014109645 A JP2014109645 A JP 2014109645A JP 2014109645 A JP2014109645 A JP 2014109645A JP 6526948 B2 JP6526948 B2 JP 6526948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spool
- sleeve
- gas
- land
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims description 42
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 6
- 241000287463 Phalacrocorax Species 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 150
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Description
Claims (2)
- 3つのランドと隣接するランドの間に設けられる2つのステムを有するスプールと、
スプールを摺動支持するスリーブと、
スリーブに対しスプールを移動駆動するアクチュエータと、
を備え、
スリーブは、
スプールの中立位置において3つのランドのうちの中央ランドに向かい合う負荷ポート、中央ランドの両側の2つのステムにそれぞれ対応する2つの気体圧室の一方側の気体圧室に向かい合う制御用気体供給ポート、他方側気体圧室に向かい合う排気ポート、及び一方側の気体圧室を挟んで中央ランドよりも一方側に配置される一方側ランドに向かい合う軸受用気体供給ポートを有し、
スプールは、
スリーブの一方側ランドに開口する一方側開口部からスプールの内部を通って軸方向に延び、他方側気体圧室を挟んで中央ランドよりも他方側に配置される他方側ランドに開口する他方側開口部に至る導通路を有し、
スプールの一方側ランドの外周面には一方側開口部に接続される導入凹部が設けられ、
スリーブの内壁面には軸受用気体ポートに接続されスプールの導入凹部に向かい合って開口する所定の内径を有する供給路が設けられ、
スプールの軸方向に沿った導入凹部の溝幅は、スリーブの供給路の開口部に対しスプールの移動範囲をカバーする長さに設定されており、
スリーブの軸受用気体供給ポートに接続された供給路の開口部から噴出する所定の軸受用気体圧を有する気体によって一方側ランドがスリーブ内壁面より浮上し、他方側ランドの他方側開口部から噴出する所定の軸受用気体圧を有する気体によって他方側ランドがスリーブ内壁面より浮上する静圧軸受を形成することを特徴とする静圧軸受付サーボ弁。 - 請求項1に記載の静圧軸受付サーボ弁において、
スリーブは、
軸受用気体供給ポートと制御用気体供給ポートとの間を接続状態または遮断状態に切替可能に設けられる切替流路を有することを特徴とする静圧軸受付サーボ弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014109645A JP6526948B2 (ja) | 2014-05-28 | 2014-05-28 | 静圧軸受付サーボ弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014109645A JP6526948B2 (ja) | 2014-05-28 | 2014-05-28 | 静圧軸受付サーボ弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015224708A JP2015224708A (ja) | 2015-12-14 |
JP6526948B2 true JP6526948B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=54847822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014109645A Active JP6526948B2 (ja) | 2014-05-28 | 2014-05-28 | 静圧軸受付サーボ弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6526948B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7439423B2 (ja) * | 2019-09-09 | 2024-02-28 | Smc株式会社 | サーボバルブ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5341823A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-15 | Hitachi Ltd | Equalising method of servo valve*s spool |
JPS6061517U (ja) * | 1983-10-04 | 1985-04-30 | エヌ・テー・エヌ東洋ベアリング株式会社 | 軸給気式静圧気体軸受装置 |
JP4421131B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-02-24 | 住友重機械工業株式会社 | スプール型流量制御弁及びその制御装置 |
JP4216099B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2009-01-28 | ピー・エス・シー株式会社 | 静圧軸受けを持った比例弁、サーボ弁、比例弁又はサーボ弁の製造方法 |
-
2014
- 2014-05-28 JP JP2014109645A patent/JP6526948B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015224708A (ja) | 2015-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3919796A1 (en) | Solenoid valve for gas | |
EP3190324A1 (en) | Solenoid valve | |
JP2010065780A (ja) | 電磁開閉弁 | |
KR20180070728A (ko) | 유체 유동 제어 장치 및 시스템과 이들을 통해 유체를 유동시키는 방법 | |
CA2881504A1 (en) | Multiway valve | |
CN101258352A (zh) | 具有双稳态电磁控制组件的液流阀 | |
JP2006207695A (ja) | ソレノイド | |
JP6526948B2 (ja) | 静圧軸受付サーボ弁 | |
US10107404B2 (en) | Linear hydraulic valve | |
JP2007187296A (ja) | 気体圧制御弁 | |
US10041598B2 (en) | Coaxially designed, pressure-compensated, directly controlled valve with low pressure losses | |
KR101833441B1 (ko) | 스풀밸브 | |
US10228072B1 (en) | Valve stem and assembly | |
JP2013194835A (ja) | 複合弁 | |
WO2016067304A2 (en) | Flow control valve | |
CN106286893B (zh) | 三通电磁阀 | |
CN106286894B (zh) | 三通电磁阀 | |
JP6134287B2 (ja) | 絞り弁 | |
CN106763854B (zh) | 流量控制阀 | |
US7921877B2 (en) | Spool valve and method | |
US9695949B2 (en) | Method and system of a valve | |
JP6560143B2 (ja) | 圧力流体制御装置 | |
US11428331B2 (en) | Servo valve | |
JP2009092188A (ja) | 流体制御弁 | |
EP3071868B1 (en) | Valve, in particular water discharge valve for toilets |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6526948 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |