JP6525837B2 - 製品の欠陥検出方法 - Google Patents
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Description
Th(x,y)=m(x,y)・[1+k・{d(x,y)/128−1}]…(1)
d(x,y)=√{m2(x,y)−m(x,y)・m(x,y)}…(2)
ステップ204では、ステップ203で抽出された非線形位置合せ画像中の各検査領域について基準画像との差分画像(非線形位置合せ差分画像)を算出し生成する。
Claims (2)
- 想定される輝度の背景の下での、輝度分布の異なる形状既知の複数の疑似欠陥をローカル二値化画像化した場合の寸法変化率を予め定めておき、無欠陥の正常製品を撮影した基準画像と、前記正常製品と同種の検査対象製品を撮影した検査画像とを得るとともに、前記検査画像と前記基準画像とを非線形位置合せによって比較してその差分画像を得、当該差分画像をローカル二値化する際に、前記差分画像中に得られた欠陥につき、同一ないし近似した条件下での前記寸法変化率に基づいてローカル二値化画像中の前記欠陥の寸法を校正し、校正された寸法が所定値以上の時に検査対象製品に欠陥があるものとする製品の欠陥検出方法。
- 前記非線形位置合せにおいて、前記検査画像を部分領域に分割し、各部分領域毎に前記差分画像を得るようにした請求項1に記載の製品の欠陥検出方法。
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