JP6522329B2 - 測定治具及び測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、誘電体共振器を用いて誘電特性を測定する測定試料の測定治具及び測定装置に関する。

現在、測定試料の誘電率及び誘電正接等の誘電特性を測定する技術として、対向面間に所定の間隙を有する一対の誘電体共振器を用いる技術が知られている。このような測定方法は、一対の誘電体共振器の間の間隙に測定試料を配置し、これら誘電体共振器によって誘電特性を測定する。このような誘電体共振器として、ＳＰＤＲ（Split-post Dielectric Resonator）共振器やＳｉＰＤＲ（Single Post Dielectric Resonators）共振器を用いる技術が知られている。

また、一対の共振器の中心位置を正確に合わせるために、共振器の側面にＶ字形の溝を備える測定治具を用いる技術も知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−５７４６２号公報

上述したような誘電体共振器を用いた測定においては、次のような問題があった。即ち、一対の誘電体共振器の間に測定試料を配置する場合において、剛体の測定試料を配置する場合においては、一対の誘電体共振器の間の間隙に配置する位置、即ち、測定試料の測定位置の再現性が比較的高い。

これに対し、測定試料がフィルム状やシート状等の可撓性を有する試料の場合においては、測定試料自身にたわみ等が発生し、また、一対の誘電体共振器の間における測定位置にばらつきが発生し、結果、測定結果にばらつきが生じる、という問題があった。このため、測定試料の測定位置、ひいては測定結果の再現性が高く、測定結果のばらつきが小さい誘電体共振器を用いた測定が求められている。また、剛体の測定試料の測定位置の再現性を向上させる技術の要求もある。

そこで、本発明は、フィルム状又はシート状の測定試料を用いた場合であっても、再現性が高い測定試料の測定が可能な、測定試料の測定治具及び測定装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の測定治具及び測定装置は、次のように構成されている。

本発明の一態様として、測定治具は、ベースと、前記ベースに設けられ、一方向に延設されたレールと、前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された、前記ベース上に設けられた第１基部と、前記第１基部上に設けられ、ＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する第１支持部と、前記第１支持部を垂直方向に移動可能に形成され、前記第１基部に対する前記第１支持部の高さ位置及び前記第１支持部の上面の水平度を調整可能な第１移動手段と、前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された、前記ベース上に、前記レールの延設方向で前記第１基部を挟んで設けられた一対の第２基部と、前記一対の第２基部上にそれぞれ設けられた第２支持部と、前記第２支持部を垂直方向に移動可能に形成され、前記第２基部に対する前記第２支持部の高さ位置及び前記第２支持部の上面の水平度を調整可能な第２移動手段と、測定試料を上面に載置する、前記第２支持部に支持された支持体、前記支持体とともに前記測定試料を挟持するクランプ、及び、前記支持体を前記第２支持部に対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記支持体の高さ位置を固定可能な第３移動手段を具備し、前記支持体及びクランプにより前記測定試料の両端側の２箇所を保持する、前記一対の第２支持部上に設けられる一対の保持ユニットと、を備える。
本発明の一態様として、測定治具は、ベースと、前記ベースに取り付けられる複数のスペーサ、及び、前記スペーサを介してＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する締結部材を含む第１基部と、前記ベースに固定される第２基部と、水平方向に延設され、二股に分かれた一方の端部及び他方の端部が前記第１基部に保持された前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器を中心に対象位置に配置される支持体、前記他方の端部に設けられ、前記支持体の上面と上面が面一に形成された、前記他方の端部の側面に対して移動可能な支持板、前記支持体の一方の端部及び前記支持板のそれぞれに設けられ、測定対象を前記一方の端部とともに挟持するクランプ、前記支持板を前記一方の端部から離間させる方向に外力を印加するとともに、前記支持板の位置を保持する外力印加手段を具備する保持ユニットと、前記第２基部に設けられるとともに、側面に前記支持体が固定され、前記支持体を前記第２基部に対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記支持体の高さ位置を固定可能な移動手段を具備する第２支持部と、を備える。
本発明の一態様として、測定治具は、ベースと、前記ベースに取り付けられる複数のスペーサ、及び、前記スペーサを介してＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する締結部材を含む第１基部と、水平方向に延設され、一方の端部及び他方の端部が前記第１基部に保持された前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器を中心に対象位置に配置され、垂直方向に突出するＵ字状に構成される支持体、前記支持体の他方の端部に設けられ、前記支持体の上面と上面が面一に形成された、前記他方の端部の側面に対して移動可能な支持板、前記支持体の一方の端部及び前記支持板のそれぞれに設けられ、測定対象を前記一方の端部とともに挟持するクランプ、前記支持板を前記一方の端部から離間させる方向に外力を印加するとともに、前記支持板の位置を保持する外力印加手段を具備する保持ユニットと、前記ベースに設けられるとともに、前記保持ユニットを前記ベースに対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記保持ユニットの高さ位置を固定可能な移動手段と、を備える。

本発明の一態様として、測定装置は、上述に記載された測定治具と、前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器と、を備える。

本発明によれば、フィルム状又はシート状の測定試料を用いた場合であっても、再現性が高い測定試料の測定が可能な、測定試料の測定治具及び測定装置を提供することが可能となる。

本発明の第１の実施形態に係る測定装置の構成を示す側面図。 同測定装置の構成を示す上面図。 同測定装置の要部構成を模式的に示す説明図。 同測定装置に用いられる第１保持部材の構成を示す側面図。 同測定装置に用いられる第１保持部材の構成を示す側面図。 同測定装置に用いられる第１保持部材の構成を示す上面図。 同測定装置に用いられる第２保持部材の構成を示す側面図。 同測定装置に用いられる第２保持部材の構成を示す上面図。 同測定装置及び比較例を用いて測定した測定試料の誘電率の結果を示す説明図。 同測定装置及び比較例を用いて測定した測定試料の誘電率の結果を示す説明図。 同測定装置及び比較例を用いて測定した測定試料の誘電正接の結果を示す説明図。 同測定装置及び比較例を用いて測定した測定試料の誘電正接の結果を示す説明図。 本発明の第２の実施形態に係る測定装置の構成を示す斜視図。 本発明の第３の実施形態に係る測定装置の構成を示す斜視図。 本発明の第４の実施形態に係る測定装置に用いられる測定器の構成を模式的に示す説明図。

（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る測定装置１の構成を、図１乃至図８を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施形態に係る測定装置１の構成を示す側面図、図２は測定装置１の構成を示す上面図、図３は測定装置１に用いられる測定器１１、検出器１３及び処理装置１４の構成を模式的に示す説明図、図４は測定装置１に用いられる第１保持部材４１の構成を示す側面図、図５は測定装置１に用いられる第１保持部材４１の構成を示す側面図、図６は測定装置１に用いられる第１保持部材４１の構成を示す上面図、図７は測定装置１に用いられる第２保持部材４２の構成を示す側面図、図８は測定装置１に用いられる第２保持部材４２の構成を示す上面図である。なお、図面中、矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３方向を示すとともに、Ｘ方向、Ｙ方向は水平方向を、Ｚ方向は垂直方向をそれぞれ示す。

図１乃至図３に示すように、測定装置１は、測定対象である測定試料１００の誘電特性を測定する測定器１１と、測定試料１００及び測定器１１を所定の位置に保持する測定治具１２と、測定器１１に接続された検出器１３と、検出器１３に接続された処理装置１４と、を備えている。

測定試料１００は、一般的に電気絶縁体である。具体例として、測定試料１００は、樹脂材料、ガラス、セラミックス、又は、これらの各種複合材料等が挙げられる。なお、測定試料１００は、金属材料を含んだものであってもよい。

本実施形態においては、測定試料１００は、樹脂材料により形成され、可撓性を有する。測定試料１００は、フィルム状又はシート状に形成されている。測定試料１００は、誘電特性の測定を行う試料である。測定試料１００は、例えば、フィルム状のＰＴＦＥ（polytetrafluoroethylene）シートである。測定試料１００は、例えば、一方向が他方向よりも長い長方形状に形成されている。

測定器１１は、ＳＰＤＲ（Split-post Dielectric Resonator）共振器である。測定器１１は、測定試料１００の誘電率及び誘電正接を測定可能に形成されている。図１乃至図３に示すように、具体的には、測定器１１は、外郭体２１と、外郭体２１内に所定の間隙を有して対向して配置される一対の誘電体共振器２２と、一対の誘電体共振器２２に電気的にそれぞれ接続された信号線２３と、を備えている。図３に示すように、測定器１１は、一対の誘電体共振器２２の間隙に、測定試料１００を挿入して配置可能に形成されている。

外郭体２１は、測定治具１２に固定可能に形成されている。誘電体共振器２２は、円板状に形成されている。一対の誘電体共振器２２は、その対向する対向面が平行となるように、外郭体２１に固定されている。一対の誘電体共振器２２の間隙は、測定試料１００の厚さよりも大きく形成されている。信号線２３は、例えば同軸ケーブルである。信号線２３は、一方の端部にループアンテナが設けられる。また、信号線２３は、他方の端部が検出器１３に接続される。

測定治具１２は、ベース３１と、測定器１１及び測定試料１００を固定する保持部材３２と、を備えている。測定治具１２は、測定器１１及び保持部材３２の基準位置を計測するためのインジケータ３３を備えている。ベース３１は、その主面がＸ方向及びＹ方向に延設された平坦の板状に形成されている。

ベース３１は、その上面に、一方向に移動可能に保持部材３２を支持する。ベース３１は、保持部材３２の移動を案内するレール３１ａと、レール３１ａに沿って延設された第１スケール３１ｂと、を備えている。

レール３１ａは、保持部材３２の移動を一方向、図１及び図２においてはＸ方向に沿って案内可能に、ベース３１上にＸ方向に沿って延設される。第１スケール３１ｂは、例えば、保持部材３２の可動範囲に渡ってレール３１ａの延設方向に沿ってベース３１上に設けられる。第１スケール３１ｂは、可動する保持部材３２と干渉を避けるために、レール３１ａと所定の距離だけ離間してベース３１上に配置される。

保持部材３２は、測定器１１を保持する第１保持部材４１と、測定試料１００を保持する一対の第２保持部材４２と、一対の第２保持部材４２が離間する方向に第２保持部材４２に外力を印加する外力印加手段４３と、を備えている。保持部材３２は、第１保持部材４１及び一対の第２保持部材４２が移動可能に、レール３１ａに沿ってベース３１上に配置される。

図４及び図５に示すように第１保持部材４１は、ベース３１に設けられる第１基部５１と、第１基部５１の上面に対してＺ方向に移動可能に設けられた第１支持部（支持部）５２と、を備えている。

図４に示すように、第１基部５１は、その下面にベース３１のレール３１ａと係合するレール溝５１ａが形成されている。第１基部５１は、レール溝５１ａがレール３１ａと係合することで、レール３１ａに沿って移動可能に、ベース３１に設けられる。第１基部５１は、例えば、軽量化のために中空状に形成される。

第１支持部５２は、例えば、上面視で方形状に形成される。第１支持部５２は、その上面に測定器１１の外郭体２１を固定し、保持可能に形成されている。第１支持部５２は、測定器１１の誘電体共振器２２の主面の面方向がベース３１の上面に沿うように、外郭体２１を固定する。例えば、第１支持部５２は、その上面に、外郭体２１の外部形状の凹凸や脚部等を挿入可能な開口や切欠部等の複数の逃げ部５２ａを有している。

図４及び図６に示すように、第１支持部５２は、ボルト等の固定部材５２ｂによって、第１基部５１にＺ方向に沿って移動可能に固定される。また、第１支持部５２は、第１基部５１に対してＺ方向に沿って移動可能な第１移動手段５３を備えている。

図４乃至図６に示すように、第１移動手段５３は、例えば、第１支持部５２の四隅にそれぞれ設けられた、第１支持部５２の上下の主面間に渡って形成された第１雌ねじ部５３ａと、第１支持部５２の側面から第１雌ねじ部５３ａ内に渡って形成された第２雌ねじ部５３ｂと、を備えている。また、第１移動手段５３は、第１雌ねじ部５３ａと螺合する第１締結部材５３ｃと、第２雌ねじ部５３ｂと螺合する第２締結部材５３ｄと、を備えている。

第１締結部材５３ｃは、第１支持部５２の下面から突出可能に形成されている。第１締結部材５３ｃは、例えば、所謂ホーローセットやイモネジと呼ばれる止めねじが用いられる。第２締結部材５３ｄは、例えば、第１締結部材５３ｃと同様に、止めねじが用いられる。第２締結部材５３ｄは、第１締結部材５３ｃを固定可能に形成されている。なお、第１締結部材５３ｃ及び第２締結部材５３ｄは、止めねじ以外であっても、所定の量だけ第１支持部５２の下面から突出可能な構成であれば、ボルト等の他のねじであってもよく、また、ピン等であってもよい。

このような第１移動手段５３は、第１雌ねじ部５３ａ及び第１締結部材５３ｃの螺合する長さによって、第１支持部５２の下面から突出する長さを調整する。これにより、第１移動手段５３は、第１支持部５２を垂直方向に沿って移動させることで、第１基部５１に対する第１支持部５２の高さ位置及び上面の水平度等を調整可能に形成されている。

図７及び図８に示すように、第２保持部材４２は、ベース３１に設けられる第２基部６１と、第２基部６１の上面に対してＺ方向に移動可能に設けられた第２支持部６２と、第２支持部６２の上面に対してＺ方向に移動可能に設けられ、測定試料１００を保持する保持ユニット６３と、を備えている。

図７に破線で示す様に、第２基部６１は、その下面にベース３１のレール３１ａと係合するレール溝６１ａが形成されている。第２基部６１は、レール溝６１ａがレール３１ａと係合することで、レール３１ａに沿って移動可能に、ベース３１に設けられる。第２基部６１は、例えば、軽量化のために中空状に形成される。

第２支持部６２は、例えば、上面視で方形状に形成され、その上面に保持ユニット６３が固定される。第２支持部６２は、ボルト等の固定部材６２ａによって、第２基部６１にＺ方向に沿って移動可能に固定される。また、第２支持部６２は、第２基部６１に対してＺ方向に沿って移動可能な第２移動手段６４を備えている。

第２移動手段６４は、例えば、第２支持部６２の四隅にそれぞれ設けられた、第２支持部６２の上下の主面間に渡って形成された第３雌ねじ部６４ａと、第２支持部６２の側面から第３雌ねじ部６４ａ内に渡って形成された第４雌ねじ部６４ｂと、を備えている。また、第２移動手段６４は、第３雌ねじ部６４ａと螺合する第３締結部材６４ｃと、第４雌ねじ部６４ｂと螺合する第４締結部材６４ｄと、を備えている。

第３締結部材６４ｃは、第２支持部６２の下面から突出可能に形成されている。第３締結部材６４ｃは、例えば、所謂ホーローセットやイモネジと呼ばれる止めねじが用いられる。第４締結部材６４ｄは、例えば、第３締結部材６４ｃと同様に、止めねじが用いられる。第４締結部材６４ｄは、第３締結部材６４ｃを固定可能に形成されている。なお、第１締結部材５３ｃ及び第２締結部材５３ｄは、止めねじ以外であっても、所定の量だけ第１支持部５２の下面から突出可能な構成であれば、ボルト等の他のねじであってもよく、また、ピン等であってもよい。

このような第２移動手段６４は、第３雌ねじ部６４ａ及び第３締結部材６４ｃの螺合する長さによって、第２支持部６２の下面から突出する長さを調整し、第２支持部６２を垂直方向に沿って移動させることで、第２基部６１に対する第２支持部６２及び保持ユニット６３の高さ位置及びそれら上面の水平度等を調整可能に形成されている。

保持ユニット６３は、その上面に測定試料１００を載置する支持体７１と、支持体７１とともに測定試料１００を挟持するクランプ７２と、支持体７１を高さ方向に調整する第３移動手段７３と、を備えている。また、保持ユニット６３は、支持体７１に設けられ、支持体７１に沿って配置された第２スケール７４と、レール３１ａに沿って支持体７１に設けられ、第２スケール７４と直交する方向に沿って配置された第３スケール７５と、を備えている。

支持体７１は、第３移動手段７３を介して第２支持部６２に支持される。支持体７１は、レール３１ａと直交する方向、換言するとＹ方向に沿って配置され、所定の長さを有する矩形板状に形成される。ここで、所定の長さとは、測定する測定試料を配置可能な長さである。

クランプ７２は、支持体７１と略同一の長さに形成された四角柱状の本体７２ａと、支持体７１に本体７２ａを固定する締結部材７２ｂと、支持体７１及び本体７２ａの間に介在された付勢部材７２ｃと、本体７２ａの移動をＺ方向に案内する案内部材７２ｄと、を備えている。本体７２ａは、付勢部材７２ｃによって、支持体７１から離間する方向に付勢される。また、本体７２ａは、締結部材７２ｂにより支持体７１に固定されることで、付勢部材７２ｃによる付勢に抗って支持体７１の対向面と当接可能に形成されている。

締結部材７２ｂは、例えばボルトである。締結部材７２ｂは、本体７２ａを介して支持体７１の両端側の二箇所に設けられる。付勢部材７２ｃは、例えば、コイルスプリングである。付勢部材７２ｃは、締結部材７２ｂに隣接して２つ設けられる。案内部材７２ｄは、一方向に沿って往復動可能なガイドピンであり、例えば、ピストン及びシリンダにより構成される。案内部材７２ｄは、締結部材７２ｂ及び付勢部材７２ｃに隣接して２つ設けられる。

第３移動手段７３は、支持体７１をＺ方向に昇降可能に形成されている。即ち、第３移動手段７３は、第２移動手段６４とともに、支持体７１を垂直方向に移動させることで、支持体７１の高さ位置を測定器１１に対して調整可能な調整手段である。

第３移動手段７３は、マイクロメータ７３ａを有する操作部７３ｂと、支持体７１の位置を固定する固定手段７３ｃと、を有している。第３移動手段７３は、当該操作部７３ｂを回転させることにより、支持体７１を垂直方向に昇降可能、且つ、固定手段７３ｃにより支持体７１の位置を固定可能に形成されている。

マイクロメータ７３ａは、例えば、１０μｍ単位でスケールが刻まれている。第３移動手段７３は、当該マイクロメータ７３ａを確認して操作部７３ｂを操作することにより、１０μｍ単位で支持体７１を上下に移動可能に形成されている。固定手段７３ｃは、操作することで、支持体７１の高さ位置を固定可能に形成されている。固定手段７３ｃは、例えば、ボルト等の締結部材によって構成され、その先端が支持体７１と当接することで、支持体７１の移動を規制する。

第２スケール７４は、支持体７１の外縁に沿って設けられる。第２スケール７４の上面は、支持体７１の上面と略面一に配置される。第３スケール７５は、支持体７１の外縁から外側に突出して設けられる。第３スケール７５の上面は、支持体７１の上面と略面一に配置される。

外力印加手段４３は、一対の第２保持部材４２を所定の位置に保持するとともに、一対の第２保持部材４２が互いに離間する方向に外力を印加可能に形成されている。外力印加手段４３は、例えば、ラチェットベルトである。外力印加手段４３は、ベルト４３ａ、ラチェット部４３ｂ及びベース３１に設けられベルト４３ａを支持する複数の支持柱４３ｃを備える。このような外力印加手段４３は、一対の第２保持部材４２にそれぞれ設けられる。また、外力印加手段４３の支持柱４３ｃは、一対の第２保持部材４２が互いに離間する方向であって、且つ、第２保持部材４２と離間して、例えば２箇所に設けられる。

外力印加手段４３は、ベルト４３ａをベース３１の支持柱４３ｃ及び第２保持部材４２の例えば第２基部６１を囲うように配置し、ラチェット部４３ｂを操作することで、ベルト４３ａにより形成される環状の周長を短くすることにより第２保持部材４２を所定の力で保持する。

検出器１３は、一対の誘電体共振器２２に信号線２３を介して電気的に接続される。検出器１３は、例えば、ネットワークアナライザである。

処理装置１４は、検出器１３に信号線１４ａを介して電気的に接続される。処理装置１４は、例えば、パーソナルコンピュータ等である。処理装置１４は、一対の誘電体共振器２２で検出された測定試料１００の誘電特性を表示可能な表示部及び当該誘電特性を記録する記録部等を備えている。

次に、このように構成された測定治具１２を備える測定装置１を用いた測定試料１００の誘電特性の測定方法について、以下説明する。
先ず、測定治具１２に測定器１１を固定する。具体的には、第１保持部材４１の第１支持部５２に測定器１１の外郭体２１を固定する。次に、インジケータ３３により、第１保持部材４１に固定された測定器１１の下方の誘電体共振器２２の上面、及び、一対の第２保持部材４２の支持体７１の上面の、ベース３１からの高さをそれぞれ測定する。また、併せて、インジケータ３３により、当該誘電体共振器２２の上面及び一対の支持体７１の上面の複数箇所でベース３１からの高さを測定することで、各上面の水平度、換言するとベース３１に対する各上面の平行度を測定する。

次に、当該誘電体共振器２２の上面、及び、一対の第２保持部材４２の支持体７１の上面の高さと同一であって、且つ、各上面がベース３１に対して平行となるように、第１移動手段５３及び第２移動手段６４を調整する。これらの測定及び調整を繰り返し行い、当該誘電体共振器２２の上面及び一対の第２保持部材４２の支持体７１の上面を面一とする。

次に、測定する測定試料１００の長さ方向に応じて、第１スケール３１ｂを確認しながら、第１保持部材４１に対して一対の第２保持部材４２の位置が略同一の距離だけ離間するように、一対の第２保持部材４２をそれぞれレール３１ａに沿って移動させる。

次に、図１及び図２に示すように、測定試料１００を誘電体共振器２２の上面及び一対の支持体７１の上面に配置する。このとき、第２スケール７４及び第３スケール７５により、誘電体共振器２２の中心に対して略対称位置となるように、測定試料１００を配置する。

次に、クランプ７２の締結部材７２ｂを締めることで、本体７２ａを支持体７１に密着するように固定する。これにより、測定試料１００は、支持体７１及び本体７２ａの間に挟持され、第２保持部材４２に固定される。次に、外力印加手段４３により第２保持部材４２に所定の外力を印加させることで、測定試料１００が平坦となり、且つ、所定の張力が得られるように、一対の第２保持部材４２をそれぞれ互いに離間する方向にレール３１ａに沿って移動させる。これにより、測定試料１００は、所定の張力で、その主面がベース３１と平行となるように測定治具１２に配置される。

次に、誘電体共振器２２によって測定試料１００の誘電特性を測定し、検出器１３によって誘電特性の値を求め、処理装置１４にて表示及び記憶等の所定の処理を行う。

測定試料１００の測定後、クランプ７２の締結部材７２ｂを緩めて、当該測定試料１００を支持体７１及び本体７２ａから取り外す。次に、測定する測定試料１００を誘電体共振器２２の上面及び一対の支持体７１の上面に配置する。以下同様の工程を繰り返すことで、複数の測定試料１００の誘電特性を測定する。

また、一対の誘電体共振器２２の間隙のうち、特定の位置、例えば、下方の誘電体共振器２２の上面から所定の距離だけ離間した位置において、複数の測定試料１００を測定する場合について説明する。この場合、保持ユニット６３に測定試料１００を固定後、一対の第３移動手段７３の操作部７３ｂを、マイクロメータ７３ａを確認しながらそれぞれ操作する。この操作により、一対の第２保持部材４２の支持体７１を同一量だけ垂直方向に移動させる。その後、同様に誘電体共振器２２により誘電特性を測定する。なお、測定試料１００を保持ユニット６３に保持させるまえに、一対の支持体７１を同一量移動させてもよい。

（評価試験）
次に、実施例である測定装置１を用いた測定試料１００の測定方法と、比較例として、従来の技術である測定器１１のみを用いた測定試料１００の測定方法との評価試験について、以下説明する。

本評価試験においては、測定試料１００として、膜厚１０６μｍのＰＴＦＥシートを用いた。なお、当該測定試料１００の誘電特性は、文献値として、「プラスチック材料の各動特性の試験法と評価結果」においては、空洞共振器を用いて２５℃の環境下で、１０ＧＨｚで測定した場合に誘電率Ｄｋ＝２．１、誘電正接Ｄｆ＝０．０００２と、「化学便覧」において２５℃の環境下で、１００〜１０ＧＨｚで測定した場合にＤｋ＝２．１と、「関東電子応用開発」において空洞共振器を用いて１ＧＨｚで測定した場合にＤｋ＝２．０７、Ｄｆ＝０．０００２となる材料である。

また、本実施例及び比較例の条件は以下の通りである。
（実施例）
一対の誘電体共振器２２のうち、下方の誘電体共振器２２の上面と第２保持部材４２の支持体７１の上面を面一とし、誘電体共振器２２の上面に測定試料１００が接触した状態で、誘電特性を測定する。また、測定試料１００を１回毎に測定治具１２に取り付け及び取り外しを行い、同一の測定試料１００について６回誘電特性を測定した。なお、このときの室内空間の温度は、２３℃、湿度５０％であった。

（比較例）
測定器１１を作業台の上にそのまま載置し、下方の誘電体共振器２２の上面に、測定試料１００を載置した状態で、誘電特性を測定する。また、測定試料１００を１回毎に誘電体共振器２２の上面に載置し及び取り外しを行い、同一の測定試料１００について６回誘電特性を測定した。なお、このときの室内空間の温度は、２３℃、湿度５０％であった。

（試験結果）
図９及び図１０に実施例及び比較例において測定した誘電率Ｄｋを、図１１及び図１２に実施例及び比較例において測定した誘電正接Ｄｆをそれぞれ示す。なお、図面中、治具使用とあるのが測定治具１２を使用した実施例で測定した測定値あり、治具未使用とあるのが測定器１１のみを使用した比較例で測定した測定値である。

図９乃至図１０に示すように、実施例として、測定治具１２を用いた測定結果は、測定試料１００の誘電率Ｄｋの最大値が２．０５２９７、最小値が２．０４５２２、６回測定した平均値が２．０４９１０であった。また、図１１及び図１２に示すように、測定試料１００の誘電正接Ｄｆの最大値が０．０００２６、最小値が０．０００２０、６回測定した平均値が０．０００２３であった。

図９乃至図１０に示すように、比較例として、測定治具１２を用いずに測定器１１のみで測定した測定値は、測定試料１００の誘電率Ｄｋの最大値が２．０５９４３、最小値が１．９５８９４、６回測定した平均値が２．００９１９であった。また、図１１及び図１２に示すように、測定試料１００の誘電正接Ｄｆの最大値が０．０００２８、最小値が０．０００１２、６回測定した平均値が０．０００２０であった。

このように、実施例として測定治具１２を用いた測定装置１により測定試料１００の誘電特性を測定した場合においては、比較例である測定器１１のみを用いて測定試料１００の誘電特性を測定するよりも、測定した測定試料の誘電特性の値のばらつきが少なかった。

これらの結果からも明らかなように、測定治具１２を備える測定装置１を用いることにより、測定試料１００の測定位置を略同一とし、且つ、測定時の測定試料１００の形状等の測定状態を略同一とすることが可能となる。結果、測定装置１を用いることで、高い再現性を有して測定試料１００を測定することが可能となる。

このように構成された測定治具１２を用いた測定装置１によれば、測定試料１００を第２保持部材４２で保持し、その後、外力印加手段４３によって、測定試料１００が所定の張力で保持できるように第２保持部材４２を保持することで、測定時の測定試料１００の状態を略同一状態とすることが可能となる。これにより、測定装置１は、フィルム状又はシート状の測定試料１００の主面が平坦状態にある測定試料１００の誘電特性を測定することが可能となる。

また、第２保持部材４２は、測定試料１００が配置される支持体７１の主面の高さ位置を、第２移動手段６４及び第３移動手段７３によって調整することが可能となる。また、同様に、一対の誘電体共振器２２の下方の主面の高さ位置を、第１移動手段５３によって調整することが可能となる。また、測定試料１００を第２保持部材４２に配置する位置は、第２スケール７４及び第３スケール７５により案内されることで、当該配置する測定試料１００の位置を調整することが可能となる。

換言すると、測定治具１２は、測定試料１００を測定するための基準位置を調整することが可能となる。このため、測定試料１００の測定位置を略同一位置で測定可能となる。これらのことにより、複数の測定試料１００を測定する場合、又は、同一の測定試料１００を繰り返し測定する場合においては、測定試料１００の平坦度や張力、及び、測定試料１００を測定する高さ位置等の測定条件を略同一の条件とすることが可能となる。

換言すると、測定治具１２を用いた測定装置１によれば、測定試料１００の測定条件を再現することが可能となる。このため、高い再現性を有して測定試料１００を測定することが可能となり、測定試料１００の測定値にばらつきが発生することを極力防止し、高い精度で誘電特性を測定することが可能となる。結果、測定試料１００の測定結果の信頼性を向上することが可能となる。

また、測定治具１２は、第３移動手段７３を操作することにより、測定試料１００を固定する支持体７１の高さ位置を微小な距離、本実施形態においては１０μｍ単位で調整可能である。このため、測定試料１００の測定位置は、支持体７１の上面と一対の誘電体共振器２２の下方の誘電体共振器２２の上面とが面一となる状態だけでなく、一対の誘電体共振器２２の間隙の任意の位置で、測定試料１００の誘電特性を測定することが可能となる。また、一対の支持体７１の高さを異ならせることで、測定試料１００を水平方向に対して傾斜させた状態で誘電特性を測定可能となり、また、当該測定条件を再現することが可能となる。

上述したように本実施形態に係る測定治具１２を用いた測定装置１によれば、フィルム状又はシート状の測定試料１００を用いた場合であっても、測定条件及び測定結果の再現性を高くすることが可能となる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る測定治具１２Ａを用いた測定装置１Ａについて、図１３を用いて説明する。
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る測定装置１Ａの構成を示す斜視図である。なお、第２の実施形態に係る測定装置１Ａ中、上述した第１の実施形態に係る測定装置１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

測定装置１Ａは、測定試料１００の誘電特性を測定する測定器１１と、測定治具１２Ａと、検出器１３と、処理装置１４と、を備えている。

測定治具１２Ａは、方形板状のベース３１Ａと、測定器１１及び測定試料１００を保持する保持部材３２Ａと、インジケータ３３と、を備えている。ベース３１Ａは、保持部材３２Ａを固定可能に形成されている。

保持部材３２Ａは、測定器を保持する第１保持部材４１Ａと、測定試料１００を保持する第２保持部材４２Ａと、を備えている。

第１保持部材４１Ａは、ベース３１Ａに設けられる第１基部５１Ａを備えている。

第１基部５１Ａは、ベース３１Ａに取りつけられる複数のスペーサ８１と、スペーサ８１を介して測定器１１をベース３１Ａに固定する複数の締結部材８２と、を備えている。例えば、第１基部５１Ａは、４つのスペーサ８１及び締結部材８２により構成される。

スペーサ８１は、例えば、円筒状に形成され、その内部に締結部材８２を挿入可能に形成されている。このようなスペーサ８１は、測定器１１を支持する第１支持部５２である。また、スペーサ８１は、長さを異なるスペーサ８１を適宜用いることで、測定器１１の高さ位置や平行度を調整可能な第１移動手段５３である。締結部材８２は、測定器１１の外郭部材２１及びスペーサ８１を挿通してベース３１Ａに形成された雌ねじ部と螺合することで、測定器１１を固定可能に形成されている。

このような第１保持部材４１Ａは、スペーサ８１の高さを変更することで、測定器１１の高さ及び測定器１１の下方の誘電体共振器２２の上面の平行度を調整可能に形成されている。

第２保持部材４２Ａは、ベース３１Ａに固定される第２基部６１Ａと、第２基部６１Ａに設けられた第２支持部６２Ａと、第２支持部６２Ａに設けられ、測定試料１００を保持する、Ｚ方向に移動可能な保持ユニット６３Ａと、を備えている。

第２支持部６２Ａは、その側面に保持ユニット６３Ａが固定される。第２支持部６２Ａは、保持ユニット６３ＡとともにＺ方向に沿って移動可能な、第２移動手段（第３移動手段）７３を備えている。この第２移動手段７３は、第１実施形態における第３移動手段７３と同様の構成である。

保持ユニット６３Ａは、その上面に測定試料１００を載置する上面視でＵ字状の支持体７１Ａと、支持体７１Ａとともに測定試料１００を挟持するクランプ７２と、を備えている。

支持体７１Ａは、第２支持部６２Ａに固定され、水平方向に延設される。支持体７１Ａは、その端部が二股に分かれるとともに、その両端が測定器１１を中心に略対称位置に配置される。

支持体７１Ａは、一方の端部にクランプ７２が設けられる。また、支持体７１Ａは、他方の端部に、支持体７１Ａの上面と面一に形成された、他方の端部の側面に対して移動可能な支持板８５と、支持板８５を一方の端部から離間させる方向に外力を印加する外力印加手段４３Ａと、を備えている。支持板８５には、クランプ７２が設けられる。

外力印加手段４３Ａは、一対の第２保持部材４２Ａを所定の位置に保持するとともに、一対の第２保持部材４２Ａが互いに離間する方向に押圧可能に形成されている。外力印加手段４３Ａは、例えば、スプリング及びボルト等の締結部材によって、支持板８５を支持体７１Ａから離間する方向に付勢又は引っ張ることで、支持板８５及び支持体７１Ａに保持された測定試料１００に所定の張力を印加する。

このように構成された測定治具１２Ａを備える測定装置１Ａによれば、上述した第１の実施形態の測定治具１２と同様に、支持体７１Ａ及び支持板８５にクランプ７２により測定試料１００を固定することで、測定試料１００を所定の張力であって、その主面がベース３１Ａと略平行となるように測定治具１２Ａに配置することが可能となる。これにより、測定装置１Ａは、フィルム状又はシート状の測定試料１００の主面が平坦状態の測定試料１００の誘電特性を測定することが可能となる。

第２保持部材４２Ａは、測定試料１００が配置される支持体７１Ａ及び支持板８５の高さ位置を、第２移動手段７３によって調整することが可能となる。また、支持体７１Ａの高さ位置を調整するために、第２移動手段７３のみを設ける構成でよく、測定治具１２Ａの構成を簡素化できる。さらに、一対の誘電体共振器２２の高さ位置を、第１移動手段５３Ａによって調整することが可能である。これらのことにより、測定試料１００の平坦度や張力等、並びに、支持体７１Ａ、支持板８５及び誘電体共振器２２の上面の高さ位置等の測定条件を略同一の条件で測定試料１００を測定することが可能となる。結果、測定治具１２Ａを用いた測定装置１Ａによれば、再現性の高い測定試料１００の測定を行うことが可能となる。

なお、第２保持部材４２Ａは、第２支持部６２Ａに保持ユニット６３Ａを固定する構成とすることで、誘電特性の測定時の基準調整が容易となる。即ち、当該基準調整を行う場合には、インジケータ３３により、測定器１１の一方の誘電体共振器２２、支持体７１Ａ及び支持板８５の高さ位置、並びに、ベース３１Ａに対する当該誘電体共振器２２の上面の平行度を測定し、第１移動手段５３Ａ及び第２移動手段７３により、各上面が面一となるように調整すればよい。

上述したように本実施形態に係る測定治具１２Ａを用いた測定装置１Ａによれば、フィルム状又はシート状の測定試料１００を用いた場合であっても、測定条件及び測定結果の再現性を高くすることが可能となる。

なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、図１４に示す第３の実施形態に係る測定装置１Ｂのように、第２の実施形態に係る測定装置１Ａの第２保持部材４２Ａに変えて、第１保持部材４１Ａの下方に第２保持部材４２Ａを設け、第２移動手段７３により、Ｚ方向に保持ユニット６３Ａを上下方向に移動させる構成であってもよい。この場合の保持ユニット６３Ａの支持体７１Ａは、垂直方向に突出するＵ字状に構成すればよい。また、図１４に示すように、第２保持部材４２Ａは、第２基部６１Ａ及び第２支持部６２Ａを有さず、第２移動手段７３がベース３１Ａに直接配置する構成であってもよい。

また、図１４に示す様に、第１基部５１Ａ及び測定器１１の間に、測定器１１を支持する第１支持部５２Ａを設ける構成であってもよい。さらに、図１３に示す締結部材８２を用いず、スペーサ８１の上面に、測定器１１の外郭体２１の外形状の一部と係合する凹凸部を設け、スペーサ８１及び外郭体２１を係合させることで、測定器１１を支持する構成であってもよい。

また、上述した例では、第１保持部材４１に測定器１１を固定する構成を説明したが、例えば、周波数の異なる複数種類の測定器１１を用いる場合には、第１保持部材４１の第１支持部５２を、各測定器１１を取付可能に、複数設けて使用する測定器１１に応じて第１支持部５２を適宜選択し、交換する構成であってもよい。

また、上述した例では、外力印加手段４３にラチェットベルトを用いる構成を、外力印加手段４３Ａにスプリング及び締結部材を用いる構成を説明したがこれに限定されず、第２保持部材４２、４２Ａに設けた測定試料１００に所定の張力を印加可能であれば、他の構成であってもよい。

また、上述した例では、測定治具１２に、第１スケール３１ｂ、第２スケール７４及び第３スケール７５を設ける構成を説明したがこれに限定されず、測定試料１００の測定位置に対して再現性が必要ない場合においては、これら各スケール３１ｂ、７４、７５を設けない構成であってもよい。また、同一形状の測定試料１００のみを測定する場合においては、第１スケール３１ｂ、第２スケール７４及び第３スケール７５に変えて、測定試料１００の設置位置及び第２保持部材４２、４２Ａの配置位置を案内する印を設ける構成であってもよい。即ち、各スケール３１ｂ、７４、７５は、測定試料１００の位置を調整するための案内手段であり、当該案内手段は測定試料１００の位置を案内可能であり、測定時の測定条件を再現可能であれば、適宜設定可能である。

また、上述した例では、測定試料１００は、可撓性を有するフィルム状又はシート状に形成されている構成を説明したが、剛体の測定試料１００に用いることが可能であることは勿論である。

また、上述した例では、測定試料１００の位置を調整する調整手段として、第３移動手段７３を用いる構成を説明したがこれに限定されない。例えば、測定器１１に対して測定試料１００の位置を調整可能であれば、第２移動手段６４により、測定試料１００の位置を調整する構成であってもよく、他の構成により調整してもよい。

さらに、上述した例では、測定器１１にＳＰＤＲ共振器を用いる構成を説明したがこれに限定されない。測定器１１の他の例として、図１５に第４の実施形態に係る測定装置１の測定器１１Ａとして、ＳｉＰＤＲ（Single Post Dielectric Resonators）共振器を用いる例を示す。

図１５に示すように、測定器１１Ａは、外郭体２１と、外郭体２１に配置される１つの誘電体共振器２２と、誘電体共振器２２と所定の間隙を有して対向する架台２１Ａと、誘電体共振器２２に電気的に接続された信号線２３と、を備えている。図３に示すように、測定器１１Ａは、誘電体共振器２２及び架台２１Ａの間隙に、測定試料１００を挿入して配置可能に形成されている。

架台２１Ａは、外郭体２１の一部を構成し、誘電体共振器２２と所定の間隙を形成する。架台２１Ａは、誘電体共振器２２と、互いに対向する対向面が平行となるように構成される。架台２１Ａ及び誘電体共振器２２の間隙は、測定試料１００の厚さよりも大きく形成されている。

このような測定器１１Ａは、上述した測定装置１、１Ａに用いられる測定器１１と同様に用いられる。また、測定器１１、１１Ａは同様の構成、即ち、測定試料１００が測定器により形成される所定の間隙の間に配置された状態で各特性を測定する測定器であれば、測定治具１２、１２Ａを用いることで、高い再現性を有する測定が可能となる。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明と同等の記載を付記する。
［１］ ＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する支持部と、
測定試料の少なくとも２箇所を保持する保持ユニットと、
前記保持ユニットに保持された前記測定試料の位置を調整する調整手段と、
を備えることを特徴とする測定治具。
［２］ 前記調整手段は、前記保持ユニットに保持された前記測定試料を、前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器に対して移動可能に形成されていることを特徴とする［１］に記載の測定治具。
［３］ 前記支持部を移動可能な移動手段を備えることを特徴とする［２］に記載の測定治具。
［４］ 前記保持ユニットは、前記測定試料を支持する支持体と、前記支持体とともに前記測定試料を挟持する挟持部材クランプと、を備えることを特徴とする［１］に記載の測定治具。
［５］ 前記測定試料は、可撓性を有し、
前記測定試料に張力を印加する外力印可手段を備えることを特徴とする［１］に記載の測定治具。
［６］ 前記支持部及び前記保持ユニットが設けられるベースと、
前記ベースに設けられ、一方向に延設されたレールと、
前記支持部及び前記移動手段を支持するとともに、前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された第１基部と、
前記保持ユニットを支持するとともに、前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された第２基部と、を備えることを特徴とする［３］に記載の測定治具。
［７］ 前記第２基部及び前記保持ユニットは、前記ベースに前記支持部を挟んで一対設けられ、
前記保持ユニットは、前記測定試料の両端側を２箇所で保持することを特徴とする［６］に記載の測定治具。
［８］ 前記測定試料の配置を案内する案内手段を備えることを特徴とする［１］に記載の測定治具。
［９］ ［１］乃至［８］のいずれかに記載された測定治具と、
前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器と、
を備えることを特徴とする測定装置。

１、１Ａ、１Ｂ…測定装置、１１…測定器、１２、１２Ａ…測定治具、１３…検出器、１４…処理装置、１４ａ…信号線、２１…外郭体、２２…誘電体共振器、２３…信号線、３１、３１Ａ…ベース、３１ａ…レール、３１ｂ…第１スケール、３２、３２Ａ…保持部材、３３…インジケータ、４１、４１Ａ…第１保持部材、４２、４２Ａ…第２保持部材、４３、４３Ａ…外力印加手段、４３ａ…ベルト、４３ｂ…ラチェット部、４３ｃ…支持柱、５１、５１Ａ…第１基部、５１ａ…レール溝、５２、５２Ａ…第１支持部（支持部）、５２ａ…逃げ部、５２ｂ…固定部材、５３…第１移動手段、５３ａ…第１雌ねじ部、５３Ａ…第１移動手段、５３ｂ…第２雌ねじ部、５３ｃ…第１締結部材、５３ｄ…第２締結部材、６１、６１Ａ…第２基部、６１ａ…レール溝、６２、６２Ａ…第２支持部、６２ａ…固定部材、６３、６３Ａ…保持ユニット、６４…第２移動手段、６４ａ…第３雌ねじ部、６４ｂ…第４雌ねじ部、６４ｃ…第３締結部材、６４ｄ…第４締結部材、７１…支持体、７１Ａ…支持体、７２…クランプ、７２ａ…本体、７２ｂ…締結部材、７２ｃ…付勢部材、７２ｄ…案内部材、７３…第３移動手段（調整手段、第２移動手段）、７３ａ…マイクロメータ、７３ｂ…操作部、７３ｃ…固定手段、７４…第２スケール、７５…第３スケール、８１…スペーサ、８２…締結部材、８５…支持板、１００…測定試料、Ｄｋ…誘電率、Ｄｆ…誘電正接。

Claims (7)

1. ベースと、
   前記ベースに設けられ、一方向に延設されたレールと、
   前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された、前記ベース上に設けられた第１基部と、
   前記第１基部上に設けられ、ＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する第１支持部と、
   前記第１支持部を垂直方向に移動可能に形成され、前記第１基部に対する前記第１支持部の高さ位置及び前記第１支持部の上面の水平度を調整可能な第１移動手段と、
   前記レールと係合するレール溝を有し、前記レールに沿って移動可能に形成された、前記ベース上に、前記レールの延設方向で前記第１基部を挟んで設けられた一対の第２基部と、
   前記一対の第２基部上にそれぞれ設けられた第２支持部と、
   前記第２支持部を垂直方向に移動可能に形成され、前記第２基部に対する前記第２支持部の高さ位置及び前記第２支持部の上面の水平度を調整可能な第２移動手段と、
   測定試料を上面に載置する、前記第２支持部に支持された支持体、前記支持体とともに前記測定試料を挟持するクランプ、及び、前記支持体を前記第２支持部に対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記支持体の高さ位置を固定可能な第３移動手段を具備し、前記支持体及びクランプにより前記測定試料の両端側の２箇所を保持する、前記一対の第２支持部上に設けられる一対の保持ユニットと、
   を備えることを特徴とする測定治具。
2. 前記保持ユニットは、前記支持体の移動距離を確認できるマイクロメータと、前記支持体に設けられ、前記支持体の上面に沿った方向で直交する方向に配置された二つのスケールを有する、請求項１に記載の測定治具。
3. 前記測定試料は、可撓性を有し、
   前記ベースは、前記一対の第２基部が互いに離間する方向であって、且つ、前記第２基部と離間する２箇所にそれぞれ複数の支持柱を具備し、
   前記複数の支持柱、及び、前記第２基部を囲んで配置されるベルト、及び、前記ベルトにより形成される環状の周長の長さを短くするラチェット部を具備し、前記一対の第２保持部材が互いに離間する方向に外力を印加することで、前記測定試料に張力を印加する一対の外力印可手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の測定治具。
4. 前記第１移動手段は、前記第１支持部の四隅にそれぞれ設けられ、前記第１支持部の上下の主面間に渡って形成された第１雌ねじ部、前記第１支持部の側面から前記第１雌ねじ部内に渡ってそれぞれ形成された第２雌ねじ部、前記第１支持部の下面から突出可能な前記第１雌ねじ部に螺合する第１締結部材、及び、前記第２雌ねじ部に螺合し、前記第１締結部材を固定する第２締結部材を具備し、
   前記第２移動手段は、前記第２支持部の四隅にそれぞれ設けられ、前記第２支持部の上下の主面間に渡って形成された第３雌ねじ部、前記第２支持部の側面から前記第３雌ねじ部内に渡ってそれぞれ形成された第４雌ねじ部、前記第２支持部の下面から突出可能な前記第３雌ねじ部に螺合する第３締結部材、及び、前記第４雌ねじ部に螺合し、前記第３締結部材を固定する第４締結部材を具備する、請求項１に記載の測定治具。
5. ベースと、
   前記ベースに取り付けられる複数のスペーサ、及び、前記スペーサを介してＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する締結部材を含む第１基部と、
   前記ベースに固定される第２基部と、
   水平方向に延設され、二股に分かれた一方の端部及び他方の端部が前記第１基部に保持された前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器を中心に対象位置に配置される支持体、前記他方の端部に設けられ、前記支持体の上面と上面が面一に形成された、前記他方の端部の側面に対して移動可能な支持板、前記支持体の一方の端部及び前記支持板のそれぞれに設けられ、測定対象を前記一方の端部とともに挟持するクランプ、前記支持板を前記一方の端部から離間させる方向に外力を印加するとともに、前記支持板の位置を保持する外力印加手段を具備する保持ユニットと、
   前記第２基部に設けられるとともに、側面に前記支持体が固定され、前記支持体を前記第２基部に対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記支持体の高さ位置を固定可能な移動手段を具備する第２支持部と、
   を備える測定治具。
6. ベースと、
   前記ベースに取り付けられる複数のスペーサ、及び、前記スペーサを介してＳＰＤＲ共振器又はＳｉＰＤＲ共振器を保持する締結部材を含む第１基部と、
   水平方向に延設され、一方の端部及び他方の端部が前記第１基部に保持された前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器を中心に対象位置に配置され、垂直方向に突出するＵ字状に構成される支持体、前記支持体の他方の端部に設けられ、前記支持体の上面と上面が面一に形成された、前記他方の端部の側面に対して移動可能な支持板、前記支持体の一方の端部及び前記支持板のそれぞれに設けられ、測定対象を前記一方の端部とともに挟持するクランプ、前記支持板を前記一方の端部から離間させる方向に外力を印加するとともに、前記支持板の位置を保持する外力印加手段を具備する保持ユニットと、
   前記ベースに設けられるとともに、前記保持ユニットを前記ベースに対して垂直方向に昇降可能、且つ、前記保持ユニットの高さ位置を固定可能な移動手段と、
   を備える測定治具。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載された測定治具と、
   前記ＳＰＤＲ共振器又は前記ＳｉＰＤＲ共振器と、
   を備えることを特徴とする測定装置。