JP6514198B2 - 光シート顕微鏡検査用の装置 - Google Patents
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Description
図4には、2つの球面レンズ13および14からなる補正レンズ系が示されている。試料とレンズ14の頂点間の基準面に対して垂直な距離は5.58mmである。試料容器1のガラス底部用の材料として、そこでは厚さ170μmのクラウンガラスN−K5を使用した。波長がλe=546.07nmであるとき、屈折指数はne=1.5246、アッベ数はve=59.22である。試料に近い方の球面レンズ13が、屈折指数ne=1.4399およびアッベ数ve=94.49のガラスS−FPL63から製造され、かつ対物レンズと対向している球面レンズ14が、ショット(Schott)社が販売している、波長がλd=578.58nmであるときに屈折率nd=1.48749および逆分散率vd=70.41、ならびに屈折指数ne=1.4891およびアッベ数ve=70.23を有する材料N−FK5から製造される場合は、極めて良好な補正がもたらされる。
2 媒質
3 試料
4 基準面
5 照射用対物レンズ
6 光軸
7、7’ 検出用対物レンズ
8 光軸
9 底面
10 補正レンズ
11 補正レンズ
12 補正レンズ
13、14 球面レンズ
15、16 非球面レンズ
β 照射角
δ 検出角
Claims (6)
- 光シート顕微鏡検査用の装置であって、
試料キャリア上の媒質(2)の中にある試料(3)に照射ビームパスを介して光シートを照射するための1つの照射用対物レンズ(5)を有する1つの照射光学系と、ここで該試料キャリアの位置合わせが、前記試料キャリアの底部によって形成された1つの平坦な基準面(4)に関して行われ、ここで該照射用対物レンズ(5)の光軸(6)と該光シートとが、該基準面(4)の法線とゼロ以外の照射角(β)をなして交わる1つの平面内に位置しており、
検出ビームパス内に1つの検出用対物レンズ(7)を有する1つの検出光学系があり、該検出用対物レンズ(7)の光軸(8)は、該基準面(4)の法線とゼロ以外の検出角(δ)をなして交差しており、
該媒質(2)を該照射用対物レンズ(5)および該検出用対物レンズ(7)から隔離する、所定厚さの所定材料からなる少なくとも1つの層を有する1つの隔離層系と、該隔離層系は、該基準面(4)に対して平行に位置合わせされ、かつ少なくとも該照射用対物レンズ(5)および該検出用対物レンズ(7)が照射または検出のために接近可能な領域内においては該媒質(2)と接触している1つの底面(9)を含み、
照射光および検出対象である光のうちの少なくとも一つが、該隔離層系の界面を斜めに横切ることにより発生するような収差を低減するための少なくとも1つの補正レンズ(10、11、12)を有する1つの補正レンズ系と
が含まれる装置において、
該補正レンズ系が、照射用対物レンズ(5)と隔離層系の間、および検出用対物レンズ(7)と隔離層系の間のうちの少なくとも一方に配置されていることを特徴とする、装置。 - 前記補正レンズ系の前記少なくとも1つの補正レンズ(12)が、前記照射ビームパス内にも、また前記検出ビームパス内にも配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- さらにもう1つの検出用対物レンズ(7’)を有するさらにもう1つの検出ビームパスを含み、前記補正レンズ系の前記少なくとも1つの補正レンズ(12)が、該さらなる検出ビームパス内にも配置されている、請求項1または2に記載の装置。
- 前記補正レンズ系が、前記試料(3)を拡大して結像するように構成されていることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記補正レンズ系が、1つの第1の球面レンズおよび1つの第2の球面レンズ(13,14)から組み合わせて構成されていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記補正レンズ系に、少なくとも1つの非球面を有する1つのレンズが含まれることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
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