JP6509834B2 - 増幅型パッシブ可逆式変形マイクロセンサ - Google Patents
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Description
・穴19,20,22に圧力嵌めされ、支持体29から突出し、止め具または回転軸として機能する軸と、
・歯付きホイール541,542または543と、
・戻り止め手段551,552または553と、
・駆動手段561,562または563と、を備える。
支持体は、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの第1のものに装着されるように構成された固定エリアを有する第1部分と、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの第2のものに装着されるように構成された固定エリアを有する第2部分と、
・第1部分と第2部分との間に長手方向に配置され、第1長手方向端によって第1部分に装着された第3部分と、
・第1部分と第2部分との間に長手方向に配置され、第1長手方向端によって第2部分に装着された第4部分とを備え、
構造の前記2つのポイント間またはエリア間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段は、
・前記第1、第2、第3および第4部分の1つに配置された少なくとも第1計数歯付きホイールと、
・支持体に装着された少なくとも第3ビームであって、その自由端に歯を備え、この歯は、前記歯付きホイールと噛合するように構成された、第3ビームとを備え、
このマイクロセンサは、支持体が、支持体の前記第1部分と第2部分との間の相対移動の値を増幅するための手段を備えることを特徴とし、これらの手段は、
・その端の一方において第3部分に装着され、その他端において第1プレートに装着された第1ビームと、
・その端の一方において第4部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第2ビームとを備え、
第3ビームは、一方の側で前記第1プレートまたはこれに固定された部材に装着され、
前記第1プレートおよび第1、第2および第3ビームは、支持体の前記第1および第2部分の間のいずれかの距離変動Δxが、異なる方向に沿って歯の対応する移動Δyを生成し、Δy>Δx、好ましくはΔy>4Δxであるように配置される。
支持体は、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの一方に装着されるように構成された固定エリアを有する第1部分と、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの他方に装着されるように構成された固定エリアを有する第2部分と、
・第1長手方向端が、弾性部材、例えば、厚いコードによって第1部分と接続された第3部分と、
・第1長手方向端が、弾性部材、例えば、厚いコードによって第2部分に接続された第4部分であって、この第4部分の第2長手方向端は、第1の少なくとも部分的に薄いコードによって、好ましくは第3部分の第1長手方向端に接続され、第3部分の第2長手方向端は、第2の少なくとも部分的に薄いコードによって、好ましくは第4部分の第2長手方向端に接続された、第4部分とを備え、
・構造の2つのポイント間またはエリア間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段は、
・第3または第4部分の1つに配置された少なくとも第1計数歯付きホイールと、
・支持体に装着された少なくとも第3ビームであって、その自由端に歯を備え、この歯は、前記歯付きホイールと噛合するように構成された、第3ビームとを備え、
このマイクロセンサは、支持体が、支持体の前記第1部分と第2部分との間の相対移動の値を増幅するための手段を備えることを特徴とし、これらの手段は、
・その端の一方において第3部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第1ビームと、
・その端の一方において第4部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第2ビームとを備え、
第3ビームは、一方の側で前記第1プレートまたはこれに固定された部材に装着され、
前記第1プレートおよび第1、第2および第3ビームは、支持体の前記第1および第2部分の間のいずれかの距離変動Δxが、異なる方向に沿って歯の対応する移動Δyを生成し、Δy>Δx、好ましくはΔy>4Δxであるように配置される。
厚いまたは薄いコードとは、薄いコードは、厚いコードより少なくとも2倍広くない、好ましくは少なくとも5倍広くないことを意味する。
・支持体の第3部分に配置された第1計数歯付きホイールであって、第3ビームは、この第1計数歯付きホイールと噛合するように構成された歯を備える、第1計数歯付きホイールと、
・支持体の第4部分に配置された第2計数歯付きホイールであって、第4ビームは、横方向に配置され、前記プレートあるいはこれに固定された部材に片側で装着され、その自由端において、前記第2計数歯付きホイールと噛合するように構成された歯を備える、第2計数歯付きホイールとを備える。
他の特徴によれば、第1および第2長手方向ビームは、支持体の第3および第4部分の半分に少なくとも等しい長さを有し、測定は、支持体の長手方向に沿って行われる。
マイクロセンサの目的は、機械的または熱的応力に起因した、2つの装着部の間の相対移動を増幅することであり、先行技術に係るマイクロセンサのものより最高で5倍小さい全体寸法を持つ。動作の際、装着部の一方が静止した状態であり、他方の装着部が右側への水平移動を受けたと仮定すると、第1ビームは静止した状態であり、一方、第2のものは対応する装着部と同じ移動を受けるようになる。2つのビームは、(堅い)装着プレートを経由して接続されているため、後者は、垂直移動を受けることになる(回転および変位の組合せ)。この変位は、計数ホイールを経由して検出され測定される。プレートの変形の例を図3に示しており、けん引力が装着部の端部に作用している。このビームシステムは、初期の移動を5倍のオーダーで増幅することを可能にする。
主に平坦な支持体101を備え、
支持体101は、
・それぞれ2つの固定エリア104,105を有する第1および第2部分102,103であって、これらの固定エリアは、構造の前記2つのポイントまたはエリアの一方および他方に装着されるようにそれぞれ構成され、貫通円形穴によって構成された、第1および第2部分102,103と、
・第1および第2部分の間に長手方向に配置された第3部分106であって、第1長手方向端107によって、厚いコード108によって第1部分102と接続され、大きなノッチ138,139によって第1部分から分離した第3部分106と、
・第1および第2部分102,103の間に長手方向に配置された第4部分109であって、第1長手方向端110によって、厚いコード111によって第2部分103に接続されており、第4部分109の第2長手方向端112は、第1薄いコード113によって第3部分106の第1長手方向端107に接続され、第3部分106の第2長手方向端114は、第2薄いコード115によって第4部分の第1長手方向端110に接続され、大きなノッチ140,141によって第2部分から分離した第4部分109と、
・支持体構造によって受ける変形を増幅するための手段とを備え、
該手段は、
・長手方向に配置され、第1長手方向端117において第3部分106に装着された第1ビーム116であって、その他方の長手方向端118において第1プレート119に装着された第1ビーム116と、
・長手方向に第1のものと平行に配置され、第1長手方向端121において第4部分109に装着された第2ビーム120であって、その他方の長手方向端122において前記第1プレート119に装着され、第1および第2ビームは、長手方向貫通溝123によって分離している、第2ビーム120とを備え、
第3および第4部分は、主として貫通溝130,131,123,132によって分離され、第1プレート119は、貫通溝133,134,135,136,137によって第3および第4部分から分離され、これらの溝は、プレート119を区切っている。
・第1プレート119に装着された支持体アセンブリ151と、
・横方向に配置された第3ビーム124であって、第1端がアセンブリ151に装着され、第2端が自由であり、歯を備える第3ビーム124と、
・第3部分106に配置され、旋回接続152によって接続された第1計数歯付きホイール128であって、第3ビーム124の歯127は、この歯付きホイール128と噛合しており、
・支持体の第3部分106に装着され、この歯付きホイール128の戻り止め装置153とを備える。
・プレート119に装着された支持体アセンブリ154。第4横方向配置ビーム162が、前記支持体アセンブリ154に一方の側に装着された第1端156を備え、その第2端157が自由であり、歯を備える。
・第4部分109に配置され、旋回接続160によって接続された第2計数歯付きホイール159であって、第4ビーム162の歯は、この歯付きホイール159と噛合しておいる。
・支持体の第4部分109に装着され、この歯付きホイール159の戻り止め装置161。
・それぞれ2つの固定エリア204,205を有する第1および第2部分202,203であって、これらの固定エリアは、構造の前記2つのポイントまたはエリアの一方および他方に装着されるようにそれぞれ構成され、楕円形のノッチによって構成された、第1および第2部分202,203と、
・第1および第2部分の間に長手方向に配置された第3部分206であって、第1長手方向端207によって、弾性部材、即ち、厚いコード208によって第1部分202と接続され、大きなノッチ238,239によって第1部分から分離した第3部分206と、
・第1および第2部分202,203の間に長手方向に配置された第4部分209であって、第1長手方向端210によって、厚いコード211によって第2部分203に接続されており、第4部分209の第2長手方向端212は、第1薄いコード213によって第3部分206の第1長手方向端207に接続され、第3部分206の第2長手方向端214は、第2薄いコード215によって第4部分の第1長手方向端210に接続され、大きなノッチ240,241によって第2部分から分離した第4部分209と、
・支持体構造によって受ける変形を増幅するための手段とを備え、
該手段は、
・長手方向に配置され、第1長手方向端217において第3部分206に装着された第1ビーム216であって、その他方の長手方向端218において第1プレート219の第1側面242に装着された第1ビーム216と、
・長手方向に第1のものと平行に配置され、第1長手方向端221において第4部分209に装着された第2ビーム220であって、その他方の長手方向端222において、第1側面242とは反対にある、前記第1プレート219の第2側面243に装着され、第1および第2ビームは、平行であり、支持体の長手方向中間面の両側に配置されている、第2ビーム220とを備える。
・それぞれ2つの固定エリア304,305を有する第1および第2部分302,303であって、これらの固定エリアは、構造の前記2つのポイントまたはエリアの一方および他方に装着されるようにそれぞれ構成され、支持体の裏面に設置されるために点線で示すスタッドによって構成された、第1および第2部分202,203と、
・第1および第2部分の間に長手方向に配置された第3部分306であって、第1長手方向端307によって、弾性部材、即ち、厚いコード308によって第1部分302と接続され、大きなノッチ338,339によって第1部分から分離した第3部分306と、
・第1および第2部分302,303の間に長手方向に配置された第4部分309であって、第1長手方向端310によって、厚いコード311によって第2部分303に接続されており、第4部分309の第2長手方向端312は、第1薄いコード313によって第3部分306の第1長手方向端307に接続され、第3部分306の第2長手方向端314は、第2薄いコード315によって第4部分の第1長手方向端310に接続され、大きなノッチ340,341によって第2部分から分離した第4部分309と、
・横方向に配置され、第1長手方向端317において第3部分306に装着された第1ビーム316であって、その他方の長手方向端318において第1プレート319の第1側面342に装着された第1ビーム316と、
・横方向に第1のものと平行に配置され、第1長手方向端321において第4部分309に装着された第2ビーム320であって、その他方の長手方向端322において、第1側面342とは反対にある、前記第1プレート319の第2側面343に装着され、第1および第2ビームは、平行であり、支持体の横方向中間面の両側に配置されている、第2ビーム320とを備える。
第1ビーム316は、2つの溝344,345によって長手方向に区切られており、一方、第2ビーム320は、2つの溝346,347によって長手方向に区切られている。
a)構造497の第1および第2エリア495,496間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段。この図には示していないが、図4と図5のものと適合している。
b)主として平坦であり、長手方向中間面YY’に関して対称である支持体501であって、構造の長手方向OXに沿って配置されることを意図しており、頭尾結合で配置され、2つのU字状アセンブリ498,499を有する支持体501。
c)構造497によって受ける変形を増幅するための手段。
支持体501の第1アセンブリ498は、ハッチングで示すように、第1長手方向端504において前記第1エリア495に固定されることを意図した、反転したL字状の第1部分502を備え、その第2長手方向端506は、厚いコードとしての形状を有し、横方向には幅広ではないバンド507であって、U字のベースを構成し、その反対の長手方向端508は第3部分509と接続されてU字の第2アームを構成し、構造497の第1および第2エリア495,496間に長手方向に配置されたバンド507を備える。
・長手方向に配置された第1ビーム516であって、第1端514が、第3部分509の自由長手方向端517において、第2アセンブリに面する側面で装着されており、その他方の長手方向端518は、頭尾結合で、特に、横方向に前記バンド507,511によって配置された2つのU字状アセンブリによって区切られた開口内に配置された第1プレート519に装着される、第1ビーム116と、
・長手方向に、第1のものと平行に配置された第2ビーム520であって、第1端521は、第2部分503の自由長手方向端515に、第2アセンブリに面する側面で装着され、その他方の長手方向端522は、前記第1プレート519に装着され、第1および第2ビームは、長手方向貫通溝523によって分離している、第2ビーム520とを備える。
Claims (12)
- 構造の長手方向OXに沿った変形のパッシブ可逆式マイクロセンサであり、特に、該構造によって経験される温度または機械的応力サイクルの場合であり、このマイクロセンサは、構造の2つのポイント間またはエリア間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段、そして支持体を備え、
・支持体は、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの第1のものに装着されるように構成された固定エリアを有する第1部分と、
・構造の前記2つのポイントまたはエリアの第2のものに装着されるように構成された固定エリアを有する第2部分と、
・第1部分と第2部分との間に長手方向に配置され、第1長手方向端によって第1部分に装着された第3部分と、
・第1部分と第2部分との間に長手方向に配置され、第1長手方向端によって第2部分に装着された第4部分とを備え、
・構造の前記2つのポイント間またはエリア間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段は、
・前記第1、第2、第3および第4部分の1つに配置された少なくとも第1計数歯付きホイールと、
・支持体に装着された少なくとも第3ビームであって、その自由端に歯を備え、この歯は、前記歯付きホイールと噛合するように構成された、第3ビームとを備え、
このマイクロセンサは、支持体が、支持体の前記第1部分と第2部分との間の相対移動の値を増幅するための手段を備えることを特徴とし、これらの手段は、
・その端の一方において第3部分に装着され、その他端において第1プレートに装着された第1ビームと、
・その端の一方において第4部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第2ビームとを備え、
第3ビームは、一方の側で前記第1プレートまたはこれに固定された部材に装着され、
前記第1プレートおよび第1、第2および第3ビームは、支持体の前記第1および第2部分の間のいずれかの距離変動Δxが、異なる方向に沿って歯の対応する移動Δyを生成し、Δy>Δxであるように配置される、パッシブ可逆式マイクロセンサ。 - ・第3部分の第1長手方向端は、厚いコードによって第1部分と接続され、
・第4部分の第1長手方向端は、厚いコードによって第2部分に接続され、
・構造の2つのポイント間またはエリア間の距離変動のサイクルを検出し計数するための手段は、
・第3または第4部分の1つに配置された少なくとも第1計数歯付きホイールと、
・支持体に装着された少なくとも第3ビームであって、その自由端に歯を備え、この歯は、前記歯付きホイールと噛合するように構成された、第3ビームとを備え、
このマイクロセンサは、支持体が、支持体の前記第1部分と第2部分との間の相対移動の値を増幅するための手段を備えることを特徴とし、これらの手段は、
・その端の一方において第3部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第1ビームと、
・その端の一方において第4部分に装着され、その他端において前記第1プレートに装着された第2ビームとを備え、
第3ビームは、一方の側で前記第1プレートまたはこれに固定された部材に装着され、
前記第1プレートおよび第1、第2および第3ビームは、支持体の前記第1および第2部分の間のいずれかの距離変動Δxが、異なる方向に沿って歯の対応する移動Δyを生成し、Δy>Δxであるように配置される、請求項1記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。 - 第1および第2ビームは、互いに平行である、請求項1〜2のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 支持体は、長手方向の中間面を備え、第1および第2ビームは、中間面と0〜45度の角度を形成する、請求項1〜3のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 第1および第2ビームは、前記第1プレートの同じ側に配置される、請求項1〜4のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 前記第1プレートならびに支持体の第1、第2、第3および第4部分は、同じ面に配置される、請求項1〜5のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 第1および第2長手方向ビームは、支持体の第3および第4部分の半分に少なくとも等しい長さを有し、測定は、支持体の長手方向に沿って行われる、請求項1〜6のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 検出し計数するための手段は、
・支持体の第3部分に配置された第1計数歯付きホイールであって、第3ビームは、この第1計数歯付きホイールと噛合するように構成された歯を備える、第1計数歯付きホイールと、
・支持体の第4部分に配置された第2計数歯付きホイールであって、第4ビームは、横方向に配置され、前記第1プレートに片側で装着され、その自由端において、前記第2計数歯付きホイールと噛合するように構成された歯を有する、第2計数歯付きホイールとを備える、請求項1〜7のいずれかに記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。 - 前記距離変動Δxおよび前記移動Δyは、Δy>4Δxを満たす、請求項1または2記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 第4部分の第2長手方向端は、第1の少なくとも部分的に薄いコードによって、第3部分の第1長手方向端に接続され、第3部分の第2長手方向端は、第2の少なくとも部分的に薄いコードによって、第4部分の第1長手方向端に接続される、請求項2記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 第3ビームは、第1ビームおよび第2ビームに対して垂直に配置される、請求項3記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
- 前記第1プレートは、支持体の第3および第4部分の間に配置され、第1および第2ビームとの接続部以外は貫通溝によって区切られる、請求項6記載のパッシブ可逆式マイクロセンサ。
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