JP6506968B2 - Voltage detector - Google Patents

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Description

本発明は電圧検出器に関する。   The present invention relates to a voltage detector.

従来、電源端子を入力電圧とし、ゲート端子を所定の固定電圧とした電源端子入力型CMOSインバータを用いることにより低消費電力な電圧検出器が提案されている(例えば、非特許文献1参照)。
非特許文献1 KAWORI TAKAKUBO、HAJIME TAKAKUBO、"Wide Range CMOS Voltage Detector with Low Current Consumption and Low Temperature Variation"、IEICE TRANSACTIONS on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences、2009/02/01、Vol.E92−A No.2 pp.443−450
Conventionally, a low power consumption voltage detector has been proposed by using a power supply terminal input type CMOS inverter with the power supply terminal as an input voltage and the gate terminal as a predetermined fixed voltage (see, for example, Non-Patent Document 1).
Non-Patent Document 1 KAWARI TAKAKUBO, HAJIME TAKAKUBO, "Wide Range CMOS Voltage Detector with Low Current Consumption and Low Temperature Variation", IEICE TRANSACTIONS on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences, 2009/02/01, Vol. E92-A No. 2 pp. 443-450

従来の電圧検出器は、固定電圧Vrefを増大させて検出電圧Vdetを高くすると、検出時の消費電流が増加する。また、従来の電圧検出器は、固定電圧Vrefを減少させて検出電圧Vdetを低くすると、検出時の応答速度が遅くなる。   In the conventional voltage detector, when the fixed voltage Vref is increased to raise the detection voltage Vdet, the current consumption at the time of detection increases. In the conventional voltage detector, when the fixed voltage Vref is decreased to lower the detection voltage Vdet, the response speed at the time of detection becomes slower.

本発明の第1の態様においては、ソース端子に入力電圧が入力され、ゲート端子に基準電圧が入力される第1導電型のトランジスタと、第1導電型のトランジスタのドレイン端子に接続される定電流回路とを備え、第1導電型のトランジスタと定電流回路の接続ノードから、入力電圧及び基準電圧に基づいた出力電圧を出力する電圧検出器を提供する。   In the first aspect of the present invention, a transistor of the first conductivity type to which an input voltage is input to the source terminal and a reference voltage to the gate terminal, and a constant connected to the drain terminal of the transistor of the first conductivity type A voltage detector comprising: a current circuit; and an output voltage based on an input voltage and a reference voltage from a connection node of a transistor of a first conductivity type and a constant current circuit.

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all of the features of the present invention. In addition, a subcombination of these feature groups can also be an invention.

本実施形態に係る電圧検出器100の概要を示す。1 shows an outline of a voltage detector 100 according to the present embodiment. 電圧検出器100の動作の一例を示す。An example of operation of voltage detector 100 is shown. コンパレータ50の構成の一例を示す。An example of a structure of the comparator 50 is shown. コンパレータ50の回路構成の一例を示す。7 shows an example of a circuit configuration of a comparator 50. 比較例に係るコンパレータ500の構成の一例を示す。An example of composition of comparator 500 concerning a comparative example is shown. コンパレータ500の動作を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for describing an operation of the comparator 500. コンパレータ500の基準電圧Vrefと消費電流との関係を示す。The relationship between the reference voltage Vref of the comparator 500 and the current consumption is shown. コンパレータ50の基準電圧Vrefbと消費電流との関係を示す。The relationship between the reference voltage Vrefb of the comparator 50 and the current consumption is shown. コンパレータ500の構成の一例を示す。One example of the configuration of the comparator 500 is shown. コンパレータ500の応答速度を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the response speed of the comparator 500. コンパレータ50の応答速度を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the response speed of the comparator 50. 検出電圧Vdetの範囲を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the range of detection voltage Vdet. コンパレータ50の構成の一例を示す。An example of a structure of the comparator 50 is shown. 電圧検出器100の構成の一例を示す。An example of a structure of the voltage detector 100 is shown. 電圧検出器100の入出力波形の一例を示す。An example of an input-output waveform of voltage detector 100 is shown. 電圧検出器100の入力出力波形の一例を示す。An example of an input output waveform of voltage detector 100 is shown. コンパレータ50の構成の一例を示す。An example of a structure of the comparator 50 is shown. REFB回路23を用いた電圧検出器100の構成の一例を示す。An example of a structure of the voltage detector 100 using the REFB circuit 23 is shown. REFB回路23の具体的な構成の一例を示す。An example of a concrete structure of REFB circuit 23 is shown. コンパレータ50の構成の一例を示す。An example of a structure of the comparator 50 is shown. 本実施形態に係る電圧検出器100の概要を示す。1 shows an outline of a voltage detector 100 according to the present embodiment. 基準電圧(VrefH、VrefL)の検出方法の概要を示す。An outline of a method of detecting a reference voltage (VrefH, VrefL) is shown. 本実施形態に係る基準電圧生成部20の基本回路を示す。2 shows a basic circuit of a reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. トンネル酸化膜を備える不揮発性記憶素子70を示す。A non-volatile storage element 70 comprising a tunnel oxide is shown. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 本実施形態に係る基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。1 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. 基準電圧Vrefの設定方法を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the setting method of the reference voltage Vref. 基準電圧Vrefの設定方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the setting method of the reference voltage Vref. 本実施形態に係る不揮発性記憶素子70の設定方法を示す。6 shows a method of setting the nonvolatile memory element 70 according to the present embodiment. 基準電圧設定モードにおける電圧検出器100の動作の一例を示す。An example of operation of voltage detector 100 in reference voltage setting mode is shown. エンハンスメント型MOSトランジスタM2への書き込み動作を示す。The write operation to the enhancement type MOS transistor M2 is shown. 基準電圧設定モードにおける電圧検出器100の動作の一例を示す。An example of operation of voltage detector 100 in reference voltage setting mode is shown. ディプレッション型MOSトランジスタM1wへの書き込み動作を示す。The write operation to the depletion type MOS transistor M1w is shown. 本実施形態に係る基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。1 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 書き込み時間に対する閾値電圧Vthの変化量を示す。The change amount of the threshold voltage Vth with respect to the write time is shown. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 書き込み時間に対する閾値電圧Vthの変化を示す。The change of the threshold voltage Vth with respect to writing time is shown. 調整時間に対する基準電圧Vrefの遷移状態を示す。The transition state of the reference voltage Vref with respect to adjustment time is shown. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。5 shows an example of a circuit configuration of a reference voltage generation unit 20. 調整時間に対する基準電圧Vrefの遷移状態を示す。The transition state of the reference voltage Vref with respect to adjustment time is shown. 電圧検出器100の構成の一例を示す。An example of a structure of the voltage detector 100 is shown. 実動作モードにおける電圧検出器100の構成の一例を示す。An example of a structure of the voltage detector 100 in a real operation mode is shown. 基準電圧生成部20における第1MOSトランジスタM1および第2MOSトランジスタM2の他の接続例を示す。10 shows another connection example of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 in the reference voltage generation unit 20.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through the embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. Moreover, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the solution of the invention.

図1は、本実施形態に係る電圧検出器100の概要を示す。電圧検出器100は、基準電圧生成部20、電圧選択部40及びコンパレータ50を備える。電圧検出器100は、入力電圧Vinが予め定められた検出電圧Vdet以上か否かを検出する。   FIG. 1 shows an outline of a voltage detector 100 according to the present embodiment. The voltage detector 100 includes a reference voltage generation unit 20, a voltage selection unit 40, and a comparator 50. The voltage detector 100 detects whether the input voltage Vin is equal to or higher than a predetermined detection voltage Vdet.

基準電圧生成部20は、検出電圧Vdetに対応する基準電圧Vrefを生成する。本例の基準電圧生成部20は、不揮発性記憶素子を有する第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22を備える。基準電圧生成部20は、不揮発性記憶素子を調整することで、第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22が生成する基準電圧Vrefを調整する。第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22は、それぞれ異なるレベルの基準電圧Vrefを生成する。   The reference voltage generation unit 20 generates a reference voltage Vref corresponding to the detection voltage Vdet. The reference voltage generation unit 20 of the present example includes a first reference voltage generation unit 21 and a second reference voltage generation unit 22 having non-volatile storage elements. The reference voltage generation unit 20 adjusts the non-volatile storage element to adjust the reference voltage Vref generated by the first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22. The first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22 generate reference voltages Vref of different levels.

第1基準電圧生成部21は、上昇検出用の基準電圧VrefHを生成する。第1基準電圧生成部21は、生成した基準電圧VrefHを電圧選択部40に出力する。   The first reference voltage generation unit 21 generates a reference voltage VrefH for detecting a rise. The first reference voltage generation unit 21 outputs the generated reference voltage VrefH to the voltage selection unit 40.

第2基準電圧生成部22は、下降検出用の基準電圧VrefLを生成する。第2基準電圧生成部22は、生成した基準電圧VrefLを電圧選択部40に出力する。本例の基準電圧VrefLは、基準電圧VrefHよりも小さい。   The second reference voltage generation unit 22 generates a reference voltage VrefL for falling detection. The second reference voltage generation unit 22 outputs the generated reference voltage VrefL to the voltage selection unit 40. The reference voltage VrefL in this example is smaller than the reference voltage VrefH.

電圧選択部40は、基準電圧VrefH及び基準電圧VrefLのいずれかを選択する。電圧選択部40は、選択した基準電圧Vrefをコンパレータ50に出力する。   The voltage selection unit 40 selects one of the reference voltage VrefH and the reference voltage VrefL. The voltage selection unit 40 outputs the selected reference voltage Vref to the comparator 50.

コンパレータ50は、入力電圧Vinと検出電圧Vdetとの比較に応じた信号を出力する。コンパレータ50の出力する信号は、入力電圧Vinが検出電圧Vdet以上か否かにより変化する。本例では、入力電圧Vinが検出電圧Vdetより小さい場合、コンパレータ50の出力は基準電位Vssとなる。一方、入力電圧Vinが検出電圧Vdet以上の場合、コンパレータ50の出力は、入力電圧Vinと略等しくなる。本明細書では、コンパレータ50の出力が、基準電位Vssから入力電圧Vinに変化すること、及び、入力電圧Vinから基準電位Vssに変化することを、コンパレータ50の出力が「反転する」と称する。   The comparator 50 outputs a signal corresponding to the comparison between the input voltage Vin and the detection voltage Vdet. The signal output from the comparator 50 changes depending on whether the input voltage Vin is equal to or higher than the detection voltage Vdet. In this example, when the input voltage Vin is smaller than the detection voltage Vdet, the output of the comparator 50 is the reference potential Vss. On the other hand, when the input voltage Vin is equal to or higher than the detection voltage Vdet, the output of the comparator 50 is substantially equal to the input voltage Vin. In the present specification, the change of the output of the comparator 50 from the reference potential Vss to the input voltage Vin and the change of the input voltage Vin from the input voltage Vin to the reference potential Vss are referred to as “inversion” of the output of the comparator 50.

本例の電圧検出器100はヒステリシスに動作する。ヒステリシス動作する場合、電圧選択部40は、コンパレータ50の出力に応じて、基準電圧VrefH及び基準電圧VrefLのいずれかを選択する。例えば、コンパレータ50が基準電位Vssを出力している場合に、電圧選択部40は、基準電圧VrefHを選択する。一方、コンパレータ50が入力電圧Vinと略等しい電圧を出力している場合に、電圧選択部40は、基準電圧VrefLを選択する。   The voltage detector 100 of this example operates in hysteresis. When the hysteresis operation is performed, the voltage selection unit 40 selects one of the reference voltage VrefH and the reference voltage VrefL according to the output of the comparator 50. For example, when the comparator 50 outputs the reference potential Vss, the voltage selection unit 40 selects the reference voltage VrefH. On the other hand, when the comparator 50 outputs a voltage substantially equal to the input voltage Vin, the voltage selection unit 40 selects the reference voltage VrefL.

図2は、電圧検出器100の動作の一例を示す。横軸は電圧検出器100に入力される入力電圧Vin[V]を、縦軸はコンパレータ50の出力電圧Vout[V]を示す。   FIG. 2 shows an example of the operation of the voltage detector 100. The horizontal axis represents the input voltage Vin [V] input to the voltage detector 100, and the vertical axis represents the output voltage Vout [V] of the comparator 50.

電圧検出器100は、複数の検出電圧Vdetを用いてヒステリシスに動作する。例えば、電圧検出器100は、コンパレータ50が基準電位Vssを出力している場合の上昇検出電圧がVdetHで、コンパレータ50が入力電圧Vinと略等しい電圧を出力している場合の下降検出電圧がVdetLに設定される。この場合、基準電圧VrefHは上昇検出電圧VdetHに対応し、基準電圧VrefLは下降検出電圧VdetLに対応する。   The voltage detector 100 operates in hysteresis using a plurality of detection voltages Vdet. For example, in the voltage detector 100, the rising detection voltage when the comparator 50 outputs the reference potential Vss is VdetH, and the falling detection voltage when the comparator 50 outputs a voltage substantially equal to the input voltage Vin is VdetL. Set to In this case, the reference voltage VrefH corresponds to the rising detection voltage VdetH, and the reference voltage VrefL corresponds to the falling detection voltage VdetL.

コンパレータ50の出力電圧Voutが基準電位Vssの状態で、入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetHまで増加すると、コンパレータ50の出力電圧Voutとして、入力電圧Vinと略等しい電圧が出力される。また、コンパレータ50の出力電圧Voutが入力電圧Vinと略等しい状態で、入力電圧Vinが下降検出電圧VdetLまで低下すると、コンパレータ50の出力電圧Voutは基準電位Vssとなる。   With the output voltage Vout of the comparator 50 at the reference potential Vss, when the input voltage Vin increases to the rise detection voltage VdetH, a voltage substantially equal to the input voltage Vin is output as the output voltage Vout of the comparator 50. When the output voltage Vout of the comparator 50 is substantially equal to the input voltage Vin and the input voltage Vin decreases to the falling detection voltage VdetL, the output voltage Vout of the comparator 50 becomes the reference potential Vss.

本実施形態に係る電圧検出器100は、エナジーハーベストの分野において特に有用である。電圧検出器100をエナジーハーベストの分野で用いる場合、小さなエネルギーをコンデンサに溜め、使える電圧まで溜まった後、そのエネルギーで仕事をさせる。上昇検出電圧VdetHまで溜まった後、上昇検出電圧VdetHから下降検出電圧がVdetLへの電圧差を用いて仕事ができる。上昇検出電圧と下降検出電圧との電圧差VdetH−VdetLは、要求されるシステムによって異なる。そこで、上昇検出電圧VdetHと下降検出電圧がVdetLの電位を任意に設定することにより、達成したいシステムのパフォーマンスを決めることができ、大きなメリットが得られる。   The voltage detector 100 according to the present embodiment is particularly useful in the field of energy harvesting. When the voltage detector 100 is used in the field of energy harvesting, a small amount of energy is stored in a capacitor, and after it has accumulated up to a usable voltage, work is done with that energy. After the rise detection voltage VdetH is accumulated, work can be performed using the voltage difference from the rise detection voltage VdetH to the fall detection voltage VdetL. The voltage difference VdetH-VdetL between the rising detection voltage and the falling detection voltage differs depending on the system required. Therefore, by arbitrarily setting the potentials of the rising detection voltage VdetH and the falling detection voltage VdetL, it is possible to determine the performance of the system to be achieved, and a great merit is obtained.

図3は、コンパレータ50の構成の一例を示す。コンパレータ50は、CMOSインバータ51及び出力回路52を備える。CMOSインバータ51は、第1トランジスタM1及び定電流回路53を有する。   FIG. 3 shows an example of the configuration of the comparator 50. The comparator 50 includes a CMOS inverter 51 and an output circuit 52. The CMOS inverter 51 has a first transistor M1 and a constant current circuit 53.

CMOSインバータ51は、入力電圧Vinと検出電圧Vdetとを比較する。CMOSインバータ51は、入力電圧Vinと検出電圧Vdetとを比較した結果に応じて、出力電圧Voutiを出力する。CMOSインバータ51は、電源端子入力型のCMOSインバータである。よって、CMOSインバータ51の正側電源端子に入力電圧Vinが入力され、負側電源端子に基準電位Vssが入力される。CMOSインバータ51の正側電源端子とは、第1トランジスタM1のソース端子に接続される端子であり、負側電源端子とは、定電流回路53の一端に接続される端子である。なお、本明細書において、端子が電気的に接続されることを単に「接続」と称する。   The CMOS inverter 51 compares the input voltage Vin with the detection voltage Vdet. The CMOS inverter 51 outputs an output voltage Vouti according to the result of comparing the input voltage Vin with the detection voltage Vdet. The CMOS inverter 51 is a power supply terminal input type CMOS inverter. Therefore, the input voltage Vin is input to the positive side power supply terminal of the CMOS inverter 51, and the reference potential Vss is input to the negative side power supply terminal. The positive power supply terminal of the CMOS inverter 51 is a terminal connected to the source terminal of the first transistor M1, and the negative power supply terminal is a terminal connected to one end of the constant current circuit 53. In the present specification, the electrical connection of the terminals is simply referred to as "connection".

第1トランジスタM1は、エンハンスメント型のPMOSトランジスタである。第1トランジスタM1のソース端子には、入力電圧Vinが入力される。また、第1トランジスタM1のゲート端子には、基準電圧Vrefbに応じた固定の基準電圧Vrefが入力される。第1トランジスタM1は、ゲート端子に基準電圧Vrefが入力された状態で、入力電圧Vinを上昇させ、上昇検出電圧VdetHを超えるとオンする。この場合、検出電圧Vdetは、Vref+Vgs_M1で表される。Vgs_M1は、第1トランジスタM1のゲート・ソース間電圧であり、第1トランジスタM1に固有の一定値である。よって、第1トランジスタM1に流れるドレイン電流の大きさは、基準電圧Vrefによって決まる。   The first transistor M1 is an enhancement type PMOS transistor. An input voltage Vin is input to the source terminal of the first transistor M1. Further, a fixed reference voltage Vref corresponding to the reference voltage Vrefb is input to the gate terminal of the first transistor M1. The first transistor M1 raises the input voltage Vin in a state where the reference voltage Vref is input to the gate terminal, and turns on when the rise detection voltage VdetH is exceeded. In this case, the detection voltage Vdet is represented by Vref + Vgs_M1. Vgs_M1 is a voltage between the gate and the source of the first transistor M1, and is a fixed value unique to the first transistor M1. Therefore, the magnitude of the drain current flowing to the first transistor M1 is determined by the reference voltage Vref.

定電流回路53は、第1トランジスタM1のドレイン端子に接続される。また、定電流回路53は、基準電位Vssに接地される。第1トランジスタM1と定電流回路53との接続点からは、出力電圧Voutiが出力される。なお、定電流回路53は単に抵抗素子で構成されてよい。   The constant current circuit 53 is connected to the drain terminal of the first transistor M1. The constant current circuit 53 is grounded to the reference potential Vss. An output voltage Vouti is output from a connection point between the first transistor M1 and the constant current circuit 53. The constant current circuit 53 may be simply formed of a resistive element.

出力回路52は、CMOSインバータ51が出力した出力電圧Voutiに応じた電圧Voutを出力する。例えば、出力回路52は、CMOSインバータ51と多段接続されたCMOSインバータを有する。出力回路52は、CMOSインバータ51の出力電圧Voutiを出力するか否かを切り替えるPMOSスイッチを有してもよい。また、出力回路52は、CMOSインバータ51の出力電圧Voutiに応じて動作するソースを接地電位に接続したNMOS回路を有してもよい。さらに、出力回路52は、複数種類の出力用回路、及び、それぞれの出力用回路に対応する出力端子を有してよい。   The output circuit 52 outputs a voltage Vout corresponding to the output voltage Vouti output from the CMOS inverter 51. For example, the output circuit 52 includes a CMOS inverter connected in multiple stages with the CMOS inverter 51. The output circuit 52 may have a PMOS switch that switches whether to output the output voltage Vouti of the CMOS inverter 51. Further, the output circuit 52 may have an NMOS circuit in which the source operating according to the output voltage Vouti of the CMOS inverter 51 is connected to the ground potential. Further, the output circuit 52 may have a plurality of types of output circuits and output terminals corresponding to the respective output circuits.

以上の構成により、コンパレータ50は、入力電圧Vinと基準電圧Vrefとの差分が、第1トランジスタM1のゲート・ソース間電圧Vgs_M1以上であるか否かに応じて、スイッチングする。例えば、コンパレータ50は、入力電圧Vinと基準電圧Vrefとの差分がVgs_M1以上である場合に、ハイ(入力電圧Vin)レベルの電圧を出力する。また、コンパレータ50は、入力電圧Vinと基準電圧Vrefとの差分が、Vgs_M1よりも小さい場合に、ロー(基準電位Vss)レベルの電圧を出力する。コンパレータ50の出力が反転する動作点(検出電圧Vdet)は、基準電圧Vrefにより調整する。本例のコンパレータ50は、出力回路52の出力に応じて、電圧選択部40が基準電圧VrefH及びVrefLのいずれかを選択することで、出力回路52の出力に応じて検出電圧Vdetを変更する。これにより、電圧検出器100は、ヒステリシスに動作する。   With the above configuration, the comparator 50 switches depending on whether the difference between the input voltage Vin and the reference voltage Vref is equal to or higher than the gate-source voltage Vgs_M1 of the first transistor M1. For example, the comparator 50 outputs a high (input voltage Vin) level voltage when the difference between the input voltage Vin and the reference voltage Vref is equal to or greater than Vgs_M1. The comparator 50 also outputs a low (reference potential Vss) level voltage when the difference between the input voltage Vin and the reference voltage Vref is smaller than Vgs_M1. The operating point (detection voltage Vdet) at which the output of the comparator 50 is inverted is adjusted by the reference voltage Vref. The comparator 50 of this example changes the detection voltage Vdet according to the output of the output circuit 52 by the voltage selection unit 40 selecting any one of the reference voltages VrefH and VrefL according to the output of the output circuit 52. Thus, the voltage detector 100 operates in hysteresis.

なお、電圧検出器100が動作すべき検出電圧Vdetに対して、どのような基準電圧Vrefをコンパレータ50に入力すべきであるかは、コンパレータ50に含まれるCMOSインバータ51の特性による。ただし、CMOSインバータ51の特性はばらつきを有するので、電圧検出器100が検出電圧Vdetで精度よく動作するためには、CMOSインバータ51の特性のばらつき等を考慮した基準電圧Vrefを用いることが好ましい。   The reference voltage Vref to be input to the comparator 50 with respect to the detection voltage Vdet at which the voltage detector 100 should operate depends on the characteristics of the CMOS inverter 51 included in the comparator 50. However, since the characteristics of the CMOS inverter 51 have variations, it is preferable to use the reference voltage Vref in consideration of variations in the characteristics of the CMOS inverter 51 in order to operate the voltage detector 100 with the detection voltage Vdet with high accuracy.

図4は、コンパレータ50の回路構成の一例を示す。本例の定電流回路53は、第2トランジスタM2、第3トランジスタM3及び定電流源54を備える。第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3は、カレントミラー回路を構成する。   FIG. 4 shows an example of the circuit configuration of the comparator 50. As shown in FIG. The constant current circuit 53 of this example includes a second transistor M2, a third transistor M3, and a constant current source 54. The second transistor M2 and the third transistor M3 constitute a current mirror circuit.

第2トランジスタM2は、エンハンスメント型のNMOSトランジスタである。第2トランジスタM2のドレイン端子は、第1トランジスタM1のドレイン端子に接続される。第2トランジスタM2のソース端子は、基準電位Vssに接地される。また、第2トランジスタM2のゲート端子は、第3トランジスタM3のゲート端子に接続される。なお、第2トランジスタM2は、ディプレッション型のNMOSトランジスタであってよい。   The second transistor M2 is an enhancement type NMOS transistor. The drain terminal of the second transistor M2 is connected to the drain terminal of the first transistor M1. The source terminal of the second transistor M2 is grounded to the reference potential Vss. The gate terminal of the second transistor M2 is connected to the gate terminal of the third transistor M3. The second transistor M2 may be a depression type NMOS transistor.

第3トランジスタM3は、エンハンスメント型のNMOSトランジスタである。第3トランジスタM3のドレイン端子は、定電流源54に接続される。第3トランジスタM3のソース端子は、基準電位Vssに接地される。また、第3トランジスタM3のゲート端子は、第3トランジスタM3のドレイン端子に接続される。なお、第3トランジスタM3は、ディプレッション型のNMOSトランジスタであってよい。   The third transistor M3 is an enhancement type NMOS transistor. The drain terminal of the third transistor M3 is connected to the constant current source 54. The source terminal of the third transistor M3 is grounded to the reference potential Vss. The gate terminal of the third transistor M3 is connected to the drain terminal of the third transistor M3. The third transistor M3 may be a depression type NMOS transistor.

定電流源54は、第3トランジスタM3に定電流Icを流す。また、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3は、カレントミラー回路を構成するので、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3には、定電流Icが流れる。これにより、コンパレータ50のスイッチングの状態によらず、第2トランジスタM2に流れる電流が一定に制御される。   The constant current source 54 supplies a constant current Ic to the third transistor M3. Further, since the second transistor M2 and the third transistor M3 constitute a current mirror circuit, a constant current Ic flows in the second transistor M2 and the third transistor M3. Thus, the current flowing through the second transistor M2 is controlled to be constant regardless of the switching state of the comparator 50.

なお、コンパレータ50の基準電圧Vref及び検出電圧Vdetは、要求される特性に応じて任意に設定される。例えば、コンパレータ50において、上昇検出用の基準電圧VrefHは、0.5V〜3.2Vである。この場合、上昇検出電圧VdetHは、1.8V〜4.4Vとなる。また、下降検出用の基準電圧VrefLは、0.4V〜3.0Vである。この場合、下降検出電圧VdetLは、1.7V〜4.0Vとなる。なお、第1トランジスタM1がオンで、且つ、動作温度が常温(25℃)の場合、第1トランジスタM1のドレイン電流及び第2トランジスタM2のドレイン電流は、およそ10nAとなる。但し、第1トランジスタM1及び第2トランジスタM2のドレイン電流は、温度によって増減するものの、検出電圧Vdet及び入力電圧Vinの大きさに寄らず一定である。一方、第1トランジスタM1がオフの場合、コンパレータ50の消費電流は0Aである。   The reference voltage Vref and the detection voltage Vdet of the comparator 50 are arbitrarily set according to the required characteristics. For example, in the comparator 50, the reference voltage VrefH for rising detection is 0.5V to 3.2V. In this case, the rising detection voltage VdetH is 1.8V to 4.4V. Further, the reference voltage VrefL for falling detection is 0.4V to 3.0V. In this case, the falling detection voltage VdetL is 1.7V to 4.0V. When the first transistor M1 is on and the operating temperature is normal temperature (25 ° C.), the drain current of the first transistor M1 and the drain current of the second transistor M2 are approximately 10 nA. However, although the drain currents of the first transistor M1 and the second transistor M2 increase and decrease depending on the temperature, they are constant regardless of the magnitudes of the detection voltage Vdet and the input voltage Vin. On the other hand, when the first transistor M1 is off, the consumption current of the comparator 50 is 0A.

図5は、比較例に係るコンパレータ500の構成の一例を示す。コンパレータ500は、PMOSトランジスタMp及びNMOSトランジスタMnを備える。コンパレータ500は、電源端子入力型のCMOSインバータ形式のコンパレータである。本例のPMOSトランジスタMp及びNMOSトランジスタMnは、いずれのゲート端子にも電圧Vrefaに応じた基準電圧Vrefが入力される点でコンパレータ50と異なる。   FIG. 5 shows an example of the configuration of the comparator 500 according to the comparative example. The comparator 500 includes a PMOS transistor Mp and an NMOS transistor Mn. The comparator 500 is a power supply terminal input type CMOS inverter type comparator. The PMOS transistor Mp and the NMOS transistor Mn of this example differ from the comparator 50 in that the reference voltage Vref according to the voltage Vrefa is input to any gate terminal.

PMOSトランジスタMpは、エンハンスメント型のPMOSトランジスタである。PMOSトランジスタMpのソース端子には、入力電圧Vinが入力される。PMOSトランジスタMpは、入力電圧Vinが検出電圧Vdetを超えるとオンして、出力が反転する。電圧検出器100の検出電圧Vdetは、Vref+Vgs_Mpで表される。Vgs_Mpは一定なので、検出電圧Vdetは、基準電圧Vrefに応じて変化する。また、PMOSトランジスタMpのゲート端子には基準電圧Vrefが入力されるので、PMOSトランジスタMpに流れる電流の大きさは、基準電圧Vrefによって決まる。   The PMOS transistor Mp is an enhancement type PMOS transistor. The input voltage Vin is input to the source terminal of the PMOS transistor Mp. The PMOS transistor Mp is turned on when the input voltage Vin exceeds the detection voltage Vdet, and the output is inverted. The detection voltage Vdet of the voltage detector 100 is represented by Vref + Vgs_Mp. Since Vgs_Mp is constant, the detection voltage Vdet changes according to the reference voltage Vref. Further, since the reference voltage Vref is input to the gate terminal of the PMOS transistor Mp, the magnitude of the current flowing through the PMOS transistor Mp is determined by the reference voltage Vref.

NMOSトランジスタMnは、エンハンスメント型のNMOSトランジスタである。NMOSトランジスタMnのドレイン端子は、PMOSトランジスタMpのドレイン端子に接続される。NMOSトランジスタMnのソース端子は、基準電位Vssに接地される。NMOSトランジスタMnのゲート端子には、基準電圧Vrefが入力される。つまり、NMOSトランジスタMnのゲート端子に入力される基準電圧Vrefが変化すると、基準電圧Vrefに応じてNMOSトランジスタMnに流れるMp―Mnドレイン電流IMpndが変化する。 The NMOS transistor Mn is an enhancement type NMOS transistor. The drain terminal of the NMOS transistor Mn is connected to the drain terminal of the PMOS transistor Mp. The source terminal of the NMOS transistor Mn is grounded to the reference potential Vss. The reference voltage Vref is input to the gate terminal of the NMOS transistor Mn. That is, when the reference voltage Vref input to the gate terminal of the NMOS transistor Mn changes, the Mp-Mn drain current I Mpnd flowing through the NMOS transistor Mn changes according to the reference voltage Vref.

なお、コンパレータ500において、上昇検出用の基準電圧VrefHは、2.0V〜4.2Vである。この場合、上昇検出電圧VdetHは、1.8V〜4.4Vとなる。また、下降検出用の基準電圧VrefLは、1.8V〜4.0Vである。この場合、下降検出電圧VdetLは、1.7V〜4.0Vとなる。なお、PMOSトランジスタMpがオンで、且つ、動作温度が常温(25℃)の場合、PMOSトランジスタMpのドレイン電流及びNMOSトランジスタMnのドレイン電流は、10nA〜50nAとなる。但し、PMOSトランジスタMp及びNMOSトランジスタMnのドレイン電流は、検出電圧Vdet、入力電圧Vin及び温度等によって増減する。一方、PMOSトランジスタMpがオフの場合、コンパレータ500の消費電流は0Aである。   In the comparator 500, the reference voltage VrefH for detecting rising is 2.0V to 4.2V. In this case, the rising detection voltage VdetH is 1.8V to 4.4V. Further, the reference voltage VrefL for falling detection is 1.8V to 4.0V. In this case, the falling detection voltage VdetL is 1.7V to 4.0V. When the PMOS transistor Mp is on and the operating temperature is normal temperature (25 ° C.), the drain current of the PMOS transistor Mp and the drain current of the NMOS transistor Mn are 10 nA to 50 nA. However, the drain currents of the PMOS transistor Mp and the NMOS transistor Mn increase or decrease depending on the detection voltage Vdet, the input voltage Vin, the temperature, and the like. On the other hand, when the PMOS transistor Mp is off, the consumption current of the comparator 500 is 0A.

図6は、コンパレータ500の動作を説明するための図である。本例では、基準電圧Vrefを一定の電圧Vrefaにした状態で入力電圧Vinを0Vから上昇させる。入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetHよりも小さい場合、PMOSトランジスタMpはオフ状態であり、NMOSトランジスタMnはオン状態である。入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetHを超えるとPMOSトランジスタMpがオンしてコンパレータ500の出力が反転する。   FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the comparator 500. In this example, the input voltage Vin is raised from 0 V while the reference voltage Vref is a constant voltage Vrefa. When the input voltage Vin is smaller than the rising detection voltage VdetH, the PMOS transistor Mp is in the off state, and the NMOS transistor Mn is in the on state. When the input voltage Vin exceeds the rising detection voltage VdetH, the PMOS transistor Mp is turned on and the output of the comparator 500 is inverted.

上昇検出電圧VdetHは、Vrefa+Vgs_Mpとなる。Vgs_Mpは、PMOSトランジスタMpのゲート・ソース間電圧であり、PMOSトランジスタMpに固有の一定値である。よって、Vrefa+Vgs_Mpは、基準電圧Vrefaの値に応じて変化する。また、PMOSトランジスタMp―Mnドレイン電流の大小は、基準電圧Vrefaで決まる。よって、コンパレータ500は、基準電圧Vrefを高くして検出電圧Vdetの設定レベルを高くすると、検出時の消費電流が増加する。   The rise detection voltage VdetH is Vrefa + Vgs_Mp. Vgs_Mp is a voltage between the gate and the source of the PMOS transistor Mp, which is a fixed value inherent to the PMOS transistor Mp. Therefore, Vrefa + Vgs_Mp changes according to the value of the reference voltage Vrefa. Further, the magnitude of the PMOS transistor Mp-Mn drain current is determined by the reference voltage Vrefa. Therefore, if the comparator 500 raises the reference voltage Vref and raises the setting level of the detection voltage Vdet, the consumption current at the time of detection increases.

図7は、コンパレータ500の基準電圧Vrefと消費電流との関係を示す。本例の基準電圧Vrefは、検出電圧Vdetの設定レベルに応じて、基準電圧Vrefa_0、基準電圧Vrefa_1、Vrefa_2の3段階で変化する。基準電圧Vrefa_0の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefa_0+Vgs_Mpとなり、基準電圧Vrefa_1の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefa_1+Vgs_Mpとなり、基準電圧Vrefa_2の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefa_2+Vgs_Mpとなる。   FIG. 7 shows the relationship between the reference voltage Vref of the comparator 500 and the current consumption. The reference voltage Vref of this example changes in three steps of the reference voltage Vrefa_0, the reference voltage Vrefa_1, and the Vrefa_2 according to the setting level of the detection voltage Vdet. In the case of the reference voltage Vrefa_0, the rise detection voltage VdetH = Vrefa_0 + Vgs_Mp. In the case of the reference voltage Vrefa_1, the rise detection voltage VdetH = Vrefa_1 + Vgs_Mp.

コンパレータ500は、基準電圧VrefがPMOSトランジスタMp及びNMOSトランジスタMnのゲート端子に入力されるので、基準電圧Vrefの大きさに応じて、Mp―Mnドレイン電流が変化する。Mp―Mnドレイン電流IMpnDは、ゲート端子に入力される基準電圧Vrefaが大きい程大きくなる。よって、Mp―Mnドレイン電流IMpnDは、上昇検出電圧VdetHが大きくなるに従い増加する。このように、コンパレータ500の検出時の消費電流は、基準電圧Vrefaの大きさによって変化する。 In the comparator 500, since the reference voltage Vref is input to the gate terminals of the PMOS transistor Mp and the NMOS transistor Mn, the Mp-Mn drain current changes in accordance with the magnitude of the reference voltage Vref. The Mp-Mn drain current IMpnD increases as the reference voltage Vrefa input to the gate terminal increases. Therefore, the Mp-Mn drain current IMpnD increases as the rising detection voltage VdetH increases. Thus, the consumption current at the time of detection of the comparator 500 changes with the magnitude of the reference voltage Vrefa.

図8は、コンパレータ50の基準電圧Vrefbと消費電流との関係を示す。本例の基準電圧Vrefは、検出電圧Vdetの設定レベルに応じて、基準電圧Vrefb_0、基準電圧Vrefb_1、Vrefb_2の3段階で変化する。基準電圧Vrefb_0の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefb_0+Vgs_M1となり、基準電圧Vrefb_1の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefb_1+Vgs_M1となり、基準電圧Vrefb_2の場合、上昇検出電圧VdetH=Vrefb_2+Vgs_M1となる。   FIG. 8 shows the relationship between the reference voltage Vrefb of the comparator 50 and the current consumption. The reference voltage Vref of this example changes in three steps of the reference voltage Vrefb_0 and the reference voltages Vrefb_1 and Vrefb_2 according to the setting level of the detection voltage Vdet. In the case of the reference voltage Vrefb_0, the rise detection voltage VdetH = Vrefb_0 + Vgs_M1. In the case of the reference voltage Vrefb_1, the rise detection voltage VdetH = Vrefb_1 + Vgs_M1.

コンパレータ50は、基準電圧Vrefが第2トランジスタM2のゲート端子に入力されないので、第2トランジスタM2のドレイン電流は、基準電圧Vrefの大きさに寄らず一定である。よって、M1−M2ドレイン電流IM12Dは、定電流回路53で設定された電流となる。言い換えると、第1トランジスタM1のドレイン電流IM1Dは、上昇検出電圧VdetHの大きさによらず一定である。即ち、電圧検出器100は、検出電圧Vdetの設定レベルが高い場合でも、消費電流が増加しない。以上の通り、第2トランジスタM2のドレイン電流を適切に設定することにより、電圧検出器100の消費電流は、コンパレータ500の消費電流よりも小さくなる。 Since the reference voltage Vref is not input to the gate terminal of the second transistor M2, the drain current of the second transistor M2 is constant regardless of the magnitude of the reference voltage Vref in the comparator 50. Therefore, the M1-M2 drain current IM12D is the current set by the constant current circuit 53. In other words, the drain current I M1D of the first transistor M1 is constant regardless of the magnitude of the rise detection voltage VDETH. That is, the voltage detector 100 does not increase the current consumption even when the set level of the detection voltage Vdet is high. As described above, by appropriately setting the drain current of the second transistor M2, the consumption current of the voltage detector 100 becomes smaller than the consumption current of the comparator 500.

図9は、コンパレータ500の構成の一例を示す。本例のコンパレータ500の回路構成では、出力端子に接続された出力端容量Coutが考慮されている。出力端容量Coutは、コンパレータ500の次段回路素子の寄生容量等によって大きさが決まる。よって、出力端容量Coutは、基準電圧Vrefの大きさによらず一定である。   FIG. 9 shows an example of the configuration of the comparator 500. In the circuit configuration of the comparator 500 of this example, the output end capacitance Cout connected to the output terminal is considered. The magnitude of the output end capacitance Cout is determined by the parasitic capacitance and the like of the next stage circuit element of the comparator 500. Therefore, the output end capacitance Cout is constant regardless of the magnitude of the reference voltage Vref.

出力端容量Coutは、コンパレータ500の応答速度に関連する。例えば、コンパレータ500の出力端子は、入力電圧Vinが下降して下降検出電圧VdetLであるVref+Vgs_Mpを下回るとPMOSトランジスタMpがオフして出力端子が基準電位Vssレベルになる。ここで、PMOSトランジスタMpがオフして出力端子が基準電位Vssレベルとなるには、出力端容量Coutの電荷をNMOSトランジスタMnのドレイン電流で引き抜く必要がある。しかしながら、検出電圧Vdetが低い(=基準電圧Vrefa電圧が低い)とNMOSトランジスタMnの電流供給能力が低下して、コンパレータ500の応答速度が遅くなる。   The output end capacitance Cout is related to the response speed of the comparator 500. For example, in the output terminal of the comparator 500, when the input voltage Vin falls and falls below Vref + Vgs_Mp which is the falling detection voltage VdetL, the PMOS transistor Mp is turned off and the output terminal becomes the reference potential Vss level. Here, in order for the PMOS transistor Mp to be turned off and the output terminal to have the reference potential Vss level, it is necessary to extract the charge of the output terminal capacitance Cout by the drain current of the NMOS transistor Mn. However, when the detection voltage Vdet is low (= the voltage of the reference voltage Vrefa is low), the current supply capability of the NMOS transistor Mn is reduced, and the response speed of the comparator 500 is reduced.

図10は、コンパレータ500の応答速度を説明するための図である。図10(a)は、入力電圧Vinの時間変化を示し、図10(b)は出力電圧Voutの時間変化を示す。   FIG. 10 is a diagram for explaining the response speed of the comparator 500. As shown in FIG. FIG. 10 (a) shows the time change of the input voltage Vin, and FIG. 10 (b) shows the time change of the output voltage Vout.

コンパレータ500の応答速度は、出力端容量Cout及びNMOSトランジスタMnのドレイン電流IMnDに基づいて決まる。より具体的には、応答速度=Cout×Vout/IMnDとなる。コンパレータ500では、出力端容量Coutは、一定である。一方、NMOSトランジスタMnのドレイン電流IMnD及びVは、基準電圧Vrefに応じて変化する。実線が設定レベルの高い検出電圧Vの場合であり、破線が設定レベルの低い検出電圧Vの場合である。 The response speed of the comparator 500 is determined based on the output end capacitance Cout and the drain current I MnD of the NMOS transistor Mn. More specifically, the response speed = Cout × Vout / I MnD . In the comparator 500, the output end capacitance Cout is constant. On the other hand, drain currents I MnD and V of the NMOS transistor Mn change in accordance with the reference voltage Vref. The solid line is for the high detection voltage V H of the setting level, and the broken line is for the low detection voltage V L of the setting level.

時刻t1は、入力電圧Vinが下降検出電圧VdetLよりも小さくなり、PMOSトランジスタMpがオフする時間である。検出電圧V及びVのいずれの場合も、PMOSトランジスタMpがオフすることにより、入力電圧Vinが低下する。 Time t1 is the time when the input voltage Vin becomes smaller than the falling detection voltage VdetL and the PMOS transistor Mp is turned off. In either case of the detection voltages V H and V L , the PMOS transistor Mp is turned off, thereby reducing the input voltage Vin.

時刻tHL_Vは、検出電圧Vの場合に出力端容量Coutに蓄積された電荷が全て引き抜かれる時間である。一方、時刻tHL_Vは、検出電圧Vの場合に出力端容量Coutに蓄積された電荷が全て引き抜かれる時間である。コンパレータ500では、検出電圧Vの方が、検出電圧VよりもNMOSトランジスタMnのドレイン電流IMnDが大きいので、時刻tHL_Vが時刻tHL_Vよりも速い。即ち、検出電圧Vの方が、検出電圧Vよりも応答速度が速い。以上の通り、コンパレータ500は、検出電圧Vdetの設定レベルが低い場合、NMOSトランジスタMnの電流供給能力が低下し、検出時の応答が遅くなる。 Time tHL_V H is a time in which all the charges accumulated in the output terminal capacitance Cout in the case of the detection voltage V H are extracted. On the other hand, time tHL_V L is a time in which all charges accumulated in the output end capacitance Cout in the case of the detection voltage V L are withdrawn. In the comparator 500, since the detected voltage V H is larger than the detected voltage V L , the drain current I MnD of the NMOS transistor Mn is larger, the time tHL_V H is faster than the time tHL_V L. That is, the detection voltage V H has a faster response speed than the detection voltage V L. As described above, in the comparator 500, when the setting level of the detection voltage Vdet is low, the current supply capability of the NMOS transistor Mn is reduced, and the response at the time of detection is delayed.

図11は、コンパレータ50の応答速度を説明するための図である。図11(a)は、入力電圧Vinの時間変化を示し、図11(b)は出力電圧Voutの時間変化を示す。   FIG. 11 is a diagram for explaining the response speed of the comparator 50. As shown in FIG. FIG. 11 (a) shows the time change of the input voltage Vin, and FIG. 11 (b) shows the time change of the output voltage Vout.

コンパレータ50の応答速度は、出力端容量Cout及び第2トランジスタM2のドレイン電流IM2Dに基づいて決まる。より具体的には、応答速度tHL=Cout×Vout/IM2Dとなる。本例では、出力端容量Cout及び第2トランジスタM2のドレイン電流IM2Dは、一定である。一方、出力電圧Voutは基準電圧Vrefに応じて変化する。よって、応答時間tは、出力電圧Voutが小さいほど小さくなる。実線が設定レベルの高い検出電圧Vの場合であり、破線が設定レベルの低い検出電圧Vの場合である。 The response speed of the comparator 50 is determined based on the output end capacitance Cout and the drain current IM2D of the second transistor M2. More specifically, the response speed tHL = Cout × Vout / IM2D . In this example, the output end capacitance Cout and the drain current IM2D of the second transistor M2 are constant. On the other hand, the output voltage Vout changes in accordance with the reference voltage Vref. Therefore, the response time t decreases as the output voltage Vout decreases. The solid line is for the high detection voltage V H of the setting level, and the broken line is for the low detection voltage V L of the setting level.

時刻t1は、入力電圧Vinが下降検出電圧VdetLよりも小さくなり、第1トランジスタM1がオフする時間である。検出電圧V及びVのいずれの場合も、第1トランジスタM1がオフすることにより、入力電圧Vinが低下する。 Time t1 is a time during which the input voltage Vin becomes smaller than the falling detection voltage VdetL and the first transistor M1 is turned off. In either case of the detection voltages V H and V L , the input voltage Vin is lowered by turning off the first transistor M1.

本例では、第2トランジスタM2のドレイン電流IM2Dが、検出電圧Vdetの大きさによらず一定である。よって、コンパレータ50は、コンパレータ500と比較して、低い検出電圧時の応答速度tHLを改善できる。また、コンパレータ50は、検出電圧Vdetに依らず一定の電流で出力端子の電荷を引き抜くので、コンパレータ50の応答速度tHLは、出力電圧Voutに依存する。よって、コンパレータ50では、低電圧検出時の応答速度tHLが高電圧検出時の応答速度tHLよりも速くなる。 In this example, the drain current IM2D of the second transistor M2 is constant regardless of the magnitude of the detection voltage Vdet. Therefore, the comparator 50 can improve the response speed tHL at a low detection voltage as compared with the comparator 500. Further, since the comparator 50 draws the charge of the output terminal with a constant current regardless of the detection voltage Vdet, the response speed tHL of the comparator 50 depends on the output voltage Vout. Therefore, in the comparator 50, the response speed tHL at the time of low voltage detection becomes faster than the response speed tHL at the time of high voltage detection.

図12は、検出電圧Vdetの範囲を説明するための図である。図12の(a)は、コンパレータ500の検出電圧Vdetの範囲を説明するための図であり、図12の(b)は、コンパレータ50の検出電圧Vdetの範囲を説明するための図である。   FIG. 12 is a diagram for explaining the range of the detection voltage Vdet. FIG. 12A is a diagram for explaining the range of the detection voltage Vdet of the comparator 500, and FIG. 12B is a diagram for explaining the range of the detection voltage Vdet of the comparator 50.

コンパレータ500の検出電圧Vdetの下限は、PMOSトランジスタMp及びNMOSトランジスタMnにドレイン電流を流すために必要な入力電圧Vinの最低電圧である。よって、コンパレータ500の検出電圧Vdetの下限は、PMOSトランジスタMpとNMOSトランジスタMnのゲート・ソース間電圧の和になる。つまり、コンパレータ500の検出電圧Vdetの下限は、Vgs_Mp+Vgs_Mnである。   The lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 500 is the lowest voltage of the input voltage Vin necessary to flow drain current to the PMOS transistor Mp and the NMOS transistor Mn. Therefore, the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 500 is the sum of the gate-source voltage of the PMOS transistor Mp and the NMOS transistor Mn. That is, the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 500 is Vgs_Mp + Vgs_Mn.

コンパレータ50の検出電圧Vdetの下限は、第1トランジスタM1及び第2トランジスタM2にドレイン電流を流すために必要な入力電圧Vinの最低電圧である。よって、コンパレータ50の検出電圧Vdetの下限は、第1トランジスタM1のゲート・ソース間電圧と、第2トランジスタM2の飽和電圧の和になる。つまり、コンパレータ50の検出電圧Vdetの下限は、Vgs_M1+Vsat_M2である。   The lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 50 is the lowest voltage of the input voltage Vin required to flow drain current to the first transistor M1 and the second transistor M2. Accordingly, the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 50 is the sum of the gate-source voltage of the first transistor M1 and the saturation voltage of the second transistor M2. That is, the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 50 is Vgs_M1 + Vsat_M2.

以上の通り、コンパレータ50の検出電圧Vdetの下限は、Vgs_M1+Vsat_M2であり、コンパレータ500の検出電圧Vdetの下限は、Vgs_Mp+Vgs_Mnである。ここで、トランジスタの飽和電圧Vsatはトランジスタの閾値電圧Vthよりも小さい場合が多い。よって、コンパレータ50は、コンパレータ500よりも、Vgs_Mp+Vgs_MnとVgs_M1+Vsat_M2との差分であるVgs_M2−Vsat_Mnだけ検出電圧範囲が広くなる。   As described above, the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 50 is Vgs_M1 + Vsat_M2, and the lower limit of the detection voltage Vdet of the comparator 500 is Vgs_Mp + Vgs_Mn. Here, the saturation voltage Vsat of the transistor is often smaller than the threshold voltage Vth of the transistor. Therefore, the comparator 50 has a detection voltage range wider than that of the comparator 500 by Vgs_M2-Vsat_Mn, which is a difference between Vgs_Mp + Vgs_Mn and Vgs_M1 + Vsat_M2.

図13は、コンパレータ50の構成の一例を示す。本例の定電流回路53は、定電流源54を備える。本例の定電流回路53は、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3を備えない点で図4に記載の定電流回路53と異なる。   FIG. 13 shows an example of the configuration of the comparator 50. The constant current circuit 53 of this example includes a constant current source 54. The constant current circuit 53 of this example differs from the constant current circuit 53 shown in FIG. 4 in that the second transistor M2 and the third transistor M3 are not provided.

定電流源54は、定電流Icを流す定電流回路53の一例である。定電流源54は、第1トランジスタM1のドレイン端子に接続される。例えば、定電流源54は、EEP(Electrically Erasable Programmable)メモリセルの様に、フローティングゲートに電荷を注入することにより定電流回路として機能する。これにより、本例のコンパレータ50は、図4で示したような、定電流源54がカレントミラー回路で形成される場合と同様に動作する。   The constant current source 54 is an example of a constant current circuit 53 that supplies a constant current Ic. The constant current source 54 is connected to the drain terminal of the first transistor M1. For example, the constant current source 54 functions as a constant current circuit by injecting charges into the floating gate like an EEP (Electrically Erasable Programmable) memory cell. Thereby, the comparator 50 of this example operates in the same manner as in the case where the constant current source 54 is formed of a current mirror circuit as shown in FIG.

なお、定電流回路53に流れる定電流Icは、第2トランジスタM2のゲート端子に基準電圧VrefLが入力されていると仮定した状態において、第1トランジスタM1がオフされた場合に第2トランジスタM2に流れるドレイン電流IrefLであってよい。また、定電流Icは、第2トランジスタM2のゲート端子に基準電圧VrefHが入力されていると仮定した状態において、第1トランジスタM1がオフされた場合に第2トランジスタM2に流れるドレイン電流IrefHであってよい。さらに、定電流Icは、IrefL以上IrefH以下に設定されてよい。基本的に定電流Icの大きさは、消費電流と、応答速度のトレードオフになるので、要求される特性に応じて適宜設定されてよい。   The constant current Ic flowing through the constant current circuit 53 is supplied to the second transistor M2 when the first transistor M1 is turned off under the condition that the reference voltage VrefL is input to the gate terminal of the second transistor M2. It may be the drain current IrefL that flows. The constant current Ic is a drain current IrefH that flows through the second transistor M2 when the first transistor M1 is turned off in a state where it is assumed that the reference voltage VrefH is input to the gate terminal of the second transistor M2. You may Furthermore, the constant current Ic may be set to greater than or equal to IrefL and less than or equal to IrefH. Basically, the magnitude of the constant current Ic is a trade-off between the current consumption and the response speed, and may be appropriately set according to the required characteristics.

図14は、電圧検出器100の構成の一例を示す。電圧検出器100は、電圧監視用のVIN端子から入力された入力電圧Vinに応じて、OUT端子から出力電圧Voを出力する。出力電圧Voは、入力電圧Vinに等しい電圧であってもよく、VDD端子に接続された出力用の電源電圧Vddであってもよい。   FIG. 14 shows an example of the configuration of the voltage detector 100. The voltage detector 100 outputs an output voltage Vo from the OUT terminal in accordance with the input voltage Vin input from the VIN terminal for voltage monitoring. The output voltage Vo may be a voltage equal to the input voltage Vin, or may be a power supply voltage Vdd for output connected to the VDD terminal.

電圧選択部40は、スイッチSWH及びスイッチSWLを備える。電圧選択部40は、スイッチSWH及びスイッチSWLのオンオフを切り替えることにより、基準電圧VrefH及び基準電圧VrefLのいずれかを選択する。電圧選択部40は、選択した基準電圧Vrefを、コンパレータ50の正側入力端子に出力する。   The voltage selection unit 40 includes a switch SWH and a switch SWL. The voltage selection unit 40 selects one of the reference voltage VrefH and the reference voltage VrefL by switching on and off of the switch SWH and the switch SWL. The voltage selection unit 40 outputs the selected reference voltage Vref to the positive input terminal of the comparator 50.

スイッチSWHには、第1基準電圧生成部21が出力した基準電圧VrefHが入力される。スイッチSWHは、入力された基準電圧VrefHをコンパレータ50の正側入力端子に出力する。一方、スイッチSWLには、第2基準電圧生成部22が出力した基準電圧VrefLが入力される。スイッチSWLは、入力された基準電圧VrefLをコンパレータ50の正側入力端子に出力する。   The reference voltage VrefH output from the first reference voltage generation unit 21 is input to the switch SWH. The switch SWH outputs the input reference voltage VrefH to the positive side input terminal of the comparator 50. On the other hand, the reference voltage VrefL output from the second reference voltage generation unit 22 is input to the switch SWL. The switch SWL outputs the input reference voltage VrefL to the positive input terminal of the comparator 50.

スイッチSWH及びスイッチSWLは、コンパレータ50の出力に応じてオンオフされる。また、スイッチSWH及びスイッチSWLは、それぞれオンオフが逆となるように制御される。より具体的には、本例のスイッチSWHには、コンパレータ50の出力した信号が入力される。一方、スイッチSWLには、コンパレータ50の出力をNOT回路により反転した信号が入力される。例えば、スイッチSWH及びスイッチSWLは、コンパレータ50からハイが入力された場合にオンして、ローが入力された場合にオフする。   The switch SWH and the switch SWL are turned on / off according to the output of the comparator 50. Further, the switch SWH and the switch SWL are controlled so that the on / off states are reversed. More specifically, the signal output from the comparator 50 is input to the switch SWH of this example. On the other hand, a signal obtained by inverting the output of the comparator 50 by a NOT circuit is input to the switch SWL. For example, the switches SWH and SWL turn on when a high is input from the comparator 50 and turn off when a low is input.

制御ロジック55は、入力されたコンパレータ50の出力を、任意のロジックで制御する。制御ロジック55は、制御したコンパレータ50の出力を後段のインバータ回路56に出力する。本例の制御ロジック55は、VDD端子に接続される。これにより、制御ロジック55は、コンパレータ50の出力に応じて、OUT端子にVDD端子に接続された出力用の電源電圧Vddを出力してもよい。なお、本例の制御ロジック55は、監視結果の極性切り替え用のPOL(Point of Load)端子、及び、ラッチ付のイネーブル(EN)端子に接続される。   The control logic 55 controls the input of the output of the comparator 50 with any logic. The control logic 55 outputs the controlled output of the comparator 50 to the inverter circuit 56 in the subsequent stage. The control logic 55 of this example is connected to the VDD terminal. Thereby, the control logic 55 may output the power supply voltage Vdd for output connected to the VDD terminal to the OUT terminal according to the output of the comparator 50. The control logic 55 in this example is connected to a POL (Point of Load) terminal for polarity switching of the monitoring result and an enable (EN) terminal with a latch.

インバータ回路56は、PMOSトランジスタ及びNMOSトランジスタを備えたCMOSインバータ回路である。インバータ回路56のPMOSトランジスタ及びNMOSトランジスタには還流ダイオードが並列に設けられる。PMOSトランジスタのソース端子は、VDD端子に接続され、ドレイン端子はPMOSD端子に接続される。また、NMOSトランジスタのソース端子は、基準電位Vssに接地され、ドレイン端子はNMOSD端子に接続される。   The inverter circuit 56 is a CMOS inverter circuit provided with a PMOS transistor and an NMOS transistor. A reflux diode is provided in parallel to the PMOS transistor and the NMOS transistor of the inverter circuit 56. The source terminal of the PMOS transistor is connected to the VDD terminal, and the drain terminal is connected to the PMOSD terminal. The source terminal of the NMOS transistor is grounded to the reference potential Vss, and the drain terminal is connected to the NMOS D terminal.

図15は、電圧検出器100の入出力波形の一例を示す。本例の入力出力波形は、入力電圧Vinと電源電圧Vddとが等しい電圧に設定される場合である。   FIG. 15 shows an example of input and output waveforms of the voltage detector 100. The input output waveform of this example is a case where the input voltage Vin and the power supply voltage Vdd are set to the same voltage.

時刻Aにおいて、入力電圧Vinは、基準電位Vssから上昇し始める。期間A−Bにおいては、入力電圧Vinが最低動作電圧VMIN未満である。最低動作電圧VMINとは、制御ロジック55の論理が正しく出力される最少の電源電圧Vddを指す。最低動作電圧VMIN未満では、OUT端子の出力は正確に出力されない。通常、期間A−Bは、ロー(基準電位Vss)レベルの出力が期待される期間であるにもかかわらず、ハイ及びローのいずれかが出力される不定な状態となる。本例では、期間A−Bにおいて、ハイが出力されている。 At time A, the input voltage Vin starts to rise from the reference potential Vss. In the period AB, the input voltage Vin is less than the minimum operating voltage V.sub.MIN . The minimum operating voltage V MIN refers to the minimum power supply voltage Vdd at which the logic of the control logic 55 is correctly output. Below the minimum operating voltage V MIN , the output of the OUT terminal is not accurately output. Normally, although the period AB is a period in which the output of the low (reference potential Vss) level is expected, either the high or the low is in an undefined state. In this example, high is output in period AB.

期間B−Cでは、入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetHより小さいので、OUT端子の出力はロー(基準電位Vss)となる。時刻Cは、入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetHを超える時刻である。本例の上昇検出電圧VdetHは、コンパレータ50の正側入力端子に基準電圧VrefHが入力されている場合の、コンパレータ50が反転する入力電圧Vinを指す。時刻Cを経過すると、コンパレータ50のオンオフが切り替わりハイ(電源電圧Vdd)が出力される。なお、コンパレータ50は、時刻Cと同時にハイが出力されるわけではなく、一定の遅延時間(tPLH)経過後ハイを出力する。   In the period B-C, since the input voltage Vin is smaller than the rising detection voltage VdetH, the output of the OUT terminal becomes low (reference potential Vss). Time C is the time when the input voltage Vin exceeds the rise detection voltage VdetH. The rising detection voltage VdetH in this example indicates the input voltage Vin that is inverted by the comparator 50 when the reference voltage VrefH is input to the positive side input terminal of the comparator 50. When time C elapses, the on / off of the comparator 50 is switched to output a high (power supply voltage Vdd). The comparator 50 does not output high at the same time as time C, but outputs high after a predetermined delay time (tPLH).

時刻Dは、入力電圧Vinが低下して、入力電圧Vinが下降検出電圧VdetLとなる時刻である。本例の下降検出電圧VdetLは、コンパレータ50の正側入力端子に基準電圧VrefLが入力されている場合の、コンパレータ50が反転する入力電圧Vinを指す。時刻Dを経過すると、コンパレータ50のオンオフが切り替わりロー(基準電位Vss)が出力される。なお、コンパレータ50は、時刻Dと同時にローが出力されるわけではなく、一定の遅延時間(tPHL)経過後ローを出力する。   Time D is a time when the input voltage Vin decreases and the input voltage Vin becomes the falling detection voltage VdetL. The falling detection voltage VdetL in this example indicates the input voltage Vin that is inverted by the comparator 50 when the reference voltage VrefL is input to the positive input terminal of the comparator 50. When the time D elapses, the on / off of the comparator 50 is switched to output a low (reference potential Vss). The comparator 50 does not output low at the same time as the time D, but outputs low after a predetermined delay time (tPHL).

期間E−Fでは、期間A−Bと同様に、VIN端子の電圧が最低動作電圧VMIN未満である。通常、期間A−Bは、ロー(基準電位Vss)レベルの出力が期待される期間であるにもかかわらず、ハイ及びローのいずれかが出力される不定な状態となる。本例では、期間E−Fにおいて、ハイが出力されている。 In the period EF, as in the period AB, the voltage at the VIN terminal is less than the minimum operating voltage V MIN . Normally, although the period AB is a period in which the output of the low (reference potential Vss) level is expected, either the high or the low is in an undefined state. In this example, high is output in the period EF.

図16は、電圧検出器100の入力出力波形の一例を示す。本例の入力出力波形は、入力電圧Vinと電源電圧Vddとが異なる電圧に設定される場合である。   FIG. 16 shows an example of the input output waveform of the voltage detector 100. The input output waveform of this example is a case where the input voltage Vin and the power supply voltage Vdd are set to different voltages.

時刻Gにおいて、入力電圧Vinの上昇が開始する。時刻Hは、入力電圧Vinが上昇検出電圧VdetH以上となる時刻である。時刻Hを経過すると、コンパレータ50のオンオフが切り替わりハイ(電源電圧Vdd)が出力される。本例の電圧検出器100は、ハイを出力する場合に、入力電圧Vinではなく電源電圧Vddを出力する点で、入力電圧Vinと電源電圧Vddとが等しい場合と異なる。   At time G, the increase of the input voltage Vin starts. The time H is the time when the input voltage Vin is equal to or higher than the rising detection voltage VdetH. When the time H passes, the on / off of the comparator 50 is switched to output a high (power supply voltage Vdd). The voltage detector 100 of this example is different from the case where the input voltage Vin and the power supply voltage Vdd are equal in that the power supply voltage Vdd is output instead of the input voltage Vin when the high is output.

時刻Iは、入力電圧Vinが低下して、入力電圧Vinが下降検出電圧VdetLとなる時刻である。時刻Iを経過すると、コンパレータ50のオンオフが切り替わりロー(基準電位Vss)が出力される。本例の電圧検出器100は、入力電圧Vinと電源電圧Vddが異なるので、矩形状の入力出力波形を示す。   The time I is a time when the input voltage Vin decreases and the input voltage Vin becomes the falling detection voltage VdetL. When time I passes, the on / off of the comparator 50 is switched to output a low (reference potential Vss). The voltage detector 100 of this example has a rectangular input / output waveform because the input voltage Vin and the power supply voltage Vdd are different.

図17は、コンパレータ50の構成の一例を示す。本例の定電流回路53は、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3を備える。   FIG. 17 shows an example of the configuration of the comparator 50. The constant current circuit 53 of this example includes a second transistor M2 and a third transistor M3.

第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3は、HV(High Voltage)−NMOSで構成される。第2トランジスタM2のゲート端子及び第3トランジスタM3のゲート端子はそれぞれ接続される。第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3は、それぞれEEPROMにより形成される。よって、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3のフローティングゲートの書き込みを制御することによって、第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3に予め定められたドレイン電流が流れるように制御できる。本例の第2トランジスタM2及び第3トランジスタM3は、ドレイン電流として10nAが流れるように設定される。   The second transistor M2 and the third transistor M3 are formed of HV (High Voltage) -NMOS. The gate terminal of the second transistor M2 and the gate terminal of the third transistor M3 are connected to each other. The second transistor M2 and the third transistor M3 are each formed of an EEPROM. Therefore, by controlling writing of the floating gates of the second transistor M2 and the third transistor M3, it is possible to control so that a predetermined drain current flows in the second transistor M2 and the third transistor M3. The second transistor M2 and the third transistor M3 of this example are set to flow 10 nA as a drain current.

コンパレータ50は、入力電圧Vinが上昇して第1トランジスタM1がオンすると、出力端子CMPOUTの出力が反転する。本例のコンパレータ50は、第1トランジスタM1と定電流回路53の接続ノードと出力端子CMPOUTとの間に所定の論理回路を備える。コンパレータ50は、検出電圧Vdetの設定レベルが低い場合、定電流回路53から予め定められた電流が流れるので、応答速度tHLを改善できる。また、コンパレータ50は、検出電圧Vdetの設定レベルが高い場合、定電流回路53に流れるドレイン電流が増加しないので、消費電流増加を抑制できる。   In the comparator 50, when the input voltage Vin rises and the first transistor M1 is turned on, the output of the output terminal CMPOUT is inverted. The comparator 50 in this example includes a predetermined logic circuit between the connection node of the first transistor M1 and the constant current circuit 53 and the output terminal CMPOUT. The comparator 50 can improve the response speed tHL because a predetermined current flows from the constant current circuit 53 when the set level of the detection voltage Vdet is low. In addition, when the setting level of the detection voltage Vdet is high, the comparator 50 does not increase the drain current flowing in the constant current circuit 53, so that the increase in current consumption can be suppressed.

図18は、REFB回路23を用いた電圧検出器100の構成の一例を示す。REFB回路23は、コンパレータ50のCMP端子に接続される。CMP端子は、コンパレータ50の第1トランジスタM1のドレイン端子に接続される。REFB回路23は、CMP端子に予め定められたREF電流を流すように設定される。REF電流は、EEPROMの書き込みを制御することにより調整される。   FIG. 18 shows an example of the configuration of a voltage detector 100 using the REFB circuit 23. The REFB circuit 23 is connected to the CMP terminal of the comparator 50. The CMP terminal is connected to the drain terminal of the first transistor M1 of the comparator 50. The REFB circuit 23 is set to flow a predetermined REF current to the CMP terminal. The REF current is adjusted by controlling the writing of the EEPROM.

図19は、REFB回路23の具体的な構成の一例を示す。REFB回路23は、第1書込MOSトランジスタMw−1、第1出力MOSトランジスタMr−1、第2書込MOSトランジスタMw−2及び第2出力MOSトランジスタMr−2を備える。   FIG. 19 shows an example of a specific configuration of the REFB circuit 23. The REFB circuit 23 includes a first write MOS transistor Mw-1, a first output MOS transistor Mr-1, a second write MOS transistor Mw-2, and a second output MOS transistor Mr-2.

第1書込MOSトランジスタMw−1、及び、第1出力MOSトランジスタMr−1は、フローティングゲート及びコントロールゲートをそれぞれ有する。第1書込MOSトランジスタMw−1のフローティングゲート及びコントロールゲートは、第1出力MOSトランジスタMr−1のフローティングゲート及びコントロールゲートとそれぞれ接続される。第1書込MOSトランジスタMw−1は、トンネル酸化膜を有する。一方、第1出力MOSトランジスタMr−1は、トンネル酸化膜を有さない。   The first write MOS transistor Mw-1 and the first output MOS transistor Mr-1 each have a floating gate and a control gate. The floating gate and the control gate of the first write MOS transistor Mw-1 are connected to the floating gate and the control gate of the first output MOS transistor Mr-1, respectively. The first write MOS transistor Mw-1 has a tunnel oxide film. On the other hand, the first output MOS transistor Mr-1 does not have a tunnel oxide film.

第1出力MOSトランジスタMr−1のドレイン端子は、所定の入力電圧Vinが印加される。第1出力MOSトランジスタMr−1のソース端子は、第2出力MOSトランジスタMr−2のドレイン端子に接続される。第2出力MOSトランジスタMr−2のドレイン端子は、一定の電圧Vrとなるように設定される。第2出力MOSトランジスタMr−2のソース端子には、基準電位Vssが印加される。   A predetermined input voltage Vin is applied to the drain terminal of the first output MOS transistor Mr-1. The source terminal of the first output MOS transistor Mr-1 is connected to the drain terminal of the second output MOS transistor Mr-2. The drain terminal of the second output MOS transistor Mr-2 is set to be a constant voltage Vr. The reference potential Vss is applied to the source terminal of the second output MOS transistor Mr-2.

第2書込MOSトランジスタMw−2は、フローティングゲート及びコントロールゲートを有する。第2出力MOSトランジスタMr−2は、フローティングゲートを有する。第2書込MOSトランジスタMw−2のフローティングゲートは、第2出力MOSトランジスタMr−2のフローティングゲートと接続される。第2書込MOSトランジスタMw−2は、トンネル酸化膜を有する。一方、第2出力MOSトランジスタMr−2は、トンネル酸化膜を有さない。   The second write MOS transistor Mw-2 has a floating gate and a control gate. The second output MOS transistor Mr-2 has a floating gate. The floating gate of the second write MOS transistor Mw-2 is connected to the floating gate of the second output MOS transistor Mr-2. The second write MOS transistor Mw-2 has a tunnel oxide film. On the other hand, the second output MOS transistor Mr-2 does not have a tunnel oxide film.

第1書込MOSトランジスタMw−1及び第2書込MOSトランジスタMw−2は、トンネル酸化膜を有している。このため、当該トンネル酸化膜を介して、第1書込MOSトランジスタMw−1及び第2書込MOSトランジスタMw−2のフローティングゲートの電荷の状態を制御して、それぞれの閾値電圧Vthを制御できる。そして、上述したように、2つの第1MOSトランジスタMw−1、rのフローティングゲート及びコントロールゲートが互いに接続されるので、第1出力MOSトランジスタMr−1は、第1書込MOSトランジスタMw−1と同一の閾値電圧Vthを有する。また、第2出力MOSトランジスタMr−2も同様に、第2書込MOSトランジスタMw−2と同一の閾値電圧Vthを有する。   The first write MOS transistor Mw-1 and the second write MOS transistor Mw-2 have a tunnel oxide film. Therefore, the threshold voltage Vth can be controlled by controlling the state of the charge of the floating gate of the first write MOS transistor Mw-1 and the second write MOS transistor Mw-2 through the tunnel oxide film. . Then, as described above, since the floating gates and the control gates of the two first MOS transistors Mw-1 and r are connected to each other, the first output MOS transistor Mr-1 is connected to the first write MOS transistor Mw-1. It has the same threshold voltage Vth. Similarly, the second output MOS transistor Mr-2 also has the same threshold voltage Vth as the second write MOS transistor Mw-2.

本例のREFB回路23は、EEPROMにデータを書きこむことにより、所定のREF電流をCMP端子に流すことができる。また、第1出力MOSトランジスタMr−1及び第2出力MOSトランジスタMr−2は、トンネル酸化膜を有していないので、ディスターブによる閾値電圧Vthの変動がない。このため、信頼性の高いREF電流を精度よく生成できる。   The REFB circuit 23 of this example can flow a predetermined REF current to the CMP terminal by writing data in the EEPROM. Further, since the first output MOS transistor Mr-1 and the second output MOS transistor Mr-2 do not have a tunnel oxide film, there is no fluctuation of the threshold voltage Vth due to disturbance. Therefore, highly reliable REF current can be generated with high accuracy.

なお、第2出力MOSトランジスタMr−2のドレイン端子の電圧Vrは、単にコンパレータ50の後段の論理回路内のPMOSトランジスタがOnする電圧未満の値であればよい。しかし、第2トランジスタM2のドレイン電流が0A、且つ、第1トランジスタM1がオフ状態の場合、OUT端子はフローティング状態となる。また、コンパレータ50の出力端子以降の論理回路内のPMOSトランジスタがOnする電圧は、第1トランジスタM1がオンする電圧よりも低いので、第2トランジスタM2のドレイン電流が0Aの状態で入力電圧Vinを上昇させると、コンパレータ50の出力端子以降の論理回路に貫通電流が流れる。そこで、本例の電圧Vrは、基準電圧VrefHの電圧設定範囲(0.5V〜3.2V)、及び、基準電圧VrefLの電圧設定範囲(0.4V〜3.0V)よりも低い値に設定している。これにより、第2トランジスタM2は、入力電圧Vinが低い場合であっても、ドレイン電流を供給できる。よって、REFB回路23は、コンパレータ50の出力端子以降の論理回路に貫通電流が流れるのを防止できる。   The voltage Vr of the drain terminal of the second output MOS transistor Mr-2 may simply have a value less than the voltage at which the PMOS transistor in the logic circuit subsequent to the comparator 50 is turned on. However, when the drain current of the second transistor M2 is 0 A and the first transistor M1 is in the off state, the OUT terminal is in the floating state. Further, since the voltage at which the PMOS transistor in the logic circuit after the output terminal of the comparator 50 is turned on is lower than the voltage at which the first transistor M1 is turned on, the drain voltage of the second transistor M2 is 0 A and the input voltage Vin is When raised, a through current flows in the logic circuit after the output terminal of the comparator 50. Therefore, the voltage Vr in this example is set to a value lower than the voltage setting range (0.5 V to 3.2 V) of the reference voltage VrefH and the voltage setting range (0.4 V to 3.0 V) of the reference voltage VrefL. doing. Thereby, the second transistor M2 can supply the drain current even when the input voltage Vin is low. Therefore, the REFB circuit 23 can prevent the through current from flowing in the logic circuit after the output terminal of the comparator 50.

図20は、コンパレータ50の構成の一例を示す。コンパレータ50は、第4トランジスタM4及び第5トランジスタM5をさらに備える。本例のコンパレータ50は、第1トランジスタM1のオンオフ状態に応じて、第1トランジスタM1のドレイン端子に流れる電流の大きさを切り替えることができる。   FIG. 20 shows an example of the configuration of the comparator 50. The comparator 50 further includes a fourth transistor M4 and a fifth transistor M5. The comparator 50 of this example can switch the magnitude of the current flowing to the drain terminal of the first transistor M1 according to the on / off state of the first transistor M1.

第4トランジスタM4は、エンハンスメント型のNMOSトランジスタである。第4トランジスタM4は、第2トランジスタM2と同様に、第3トランジスタM3とカレントミラー回路を構成する。第4トランジスタM4のゲート端子は、第2トランジスタM2のゲート端子及び第3トランジスタM3のゲート端子にそれぞれ接続される。これにより、第4トランジスタM4は、第1トランジスタM1のドレイン端子から、定電流源54に応じた定電流Icを流す。   The fourth transistor M4 is an enhancement type NMOS transistor. The fourth transistor M4 forms a current mirror circuit with the third transistor M3 as in the second transistor M2. The gate terminal of the fourth transistor M4 is connected to the gate terminal of the second transistor M2 and the gate terminal of the third transistor M3. As a result, the fourth transistor M4 causes a constant current Ic according to the constant current source 54 to flow from the drain terminal of the first transistor M1.

第5トランジスタM5は、エンハンスメント型のNMOSトランジスタである。第5トランジスタM5は、第1トランジスタM1のドレイン端子と第4トランジスタM4のドレイン端子とを接続するか否かを切り替える。第5トランジスタM5のドレイン端子は、第1トランジスタM1のドレイン端子に接続される。第5トランジスタM5のゲート端子には、第1トランジスタM1の出力がNOT回路を介して反転された信号が入力される。第5トランジスタM5のソース端子は、第4トランジスタM4のドレイン端子に接続される。   The fifth transistor M5 is an enhancement type NMOS transistor. The fifth transistor M5 switches whether to connect the drain terminal of the first transistor M1 and the drain terminal of the fourth transistor M4. The drain terminal of the fifth transistor M5 is connected to the drain terminal of the first transistor M1. A signal obtained by inverting the output of the first transistor M1 via the NOT circuit is input to the gate terminal of the fifth transistor M5. The source terminal of the fifth transistor M5 is connected to the drain terminal of the fourth transistor M4.

本例のコンパレータ50は、第1トランジスタM1のオンオフの状態に応じて、第1トランジスタM1のドレイン端子に流れる電流の大きさが変化する。例えば、第1トランジスタM1がオン状態の場合、第1トランジスタM1のドレイン電流は、第2トランジスタM2に流れる。一方、第1トランジスタM1がオフ状態の場合、第1トランジスタM1のドレイン電流は、第2トランジスタM2及び第4トランジスタM4に流れる。即ち、本例のコンパレータ50は、第1トランジスタM1がオンしている状態における消費電流を低減しつつ、第1トランジスタM1がオフした状態における応答速度tHLを向上することができる。   In the comparator 50 of this example, the magnitude of the current flowing to the drain terminal of the first transistor M1 changes in accordance with the on / off state of the first transistor M1. For example, when the first transistor M1 is in the on state, the drain current of the first transistor M1 flows to the second transistor M2. On the other hand, when the first transistor M1 is in the OFF state, the drain current of the first transistor M1 flows to the second transistor M2 and the fourth transistor M4. That is, the comparator 50 of this example can improve the response speed tHL in the state in which the first transistor M1 is off while reducing the consumption current in the state in which the first transistor M1 is on.

以上の通り、電圧検出器100は、電源端子入力型のCMOSインバータを用いた電圧検出器において、NMOSトランジスタ側を定電流源にする。これにより、電圧検出器100は、コンパレータ回路の特性の改善及び機能の拡張を実現できる。具体的には、電圧検出器100は、検出電圧Vdetの設定レベルが高い場合の消費電流増加を抑制し、検出電圧Vdetの設定レベルが低い場合の応答速度tHLを改善できる。また、電圧検出器100は、検出電圧範囲をVgs_M1+Vgs_M2からVgs_Mp+Vsat_Mnに拡張できる。   As described above, in the voltage detector using the power supply terminal input type CMOS inverter, the voltage detector 100 uses the NMOS transistor side as a constant current source. Thus, the voltage detector 100 can realize the improvement of the characteristic of the comparator circuit and the expansion of the function. Specifically, the voltage detector 100 can suppress an increase in current consumption when the setting level of the detection voltage Vdet is high, and can improve the response speed tHL when the setting level of the detection voltage Vdet is low. Also, the voltage detector 100 can extend the detection voltage range from Vgs_M1 + Vgs_M2 to Vgs_Mp + Vsat_Mn.

電圧検出器100は、近年の携帯化された電子機器へ応用することによる効果が高い。例えば、携帯用電子機器は、外部電源ではなくバッテリ駆動を用いる。バッテリ駆動では、バッテリの放電電圧が時間により低下し、電子機器の電源電圧が低下する。電源電圧が最低動作電圧以下になると、電子機器の内部回路が予期しない動作を起こし故障の原因となる。本例の電圧検出器100は、電圧検出器により電源電圧の監視を行い、電源電圧低下を検出して最低動作電圧になる前に電源電圧の供給を停止して内部回路をオフ状態にできる。   The voltage detector 100 is highly effective when applied to recent portable electronic devices. For example, portable electronic devices use battery power rather than external power. In battery driving, the discharge voltage of the battery decreases with time, and the power supply voltage of the electronic device decreases. When the power supply voltage falls below the minimum operating voltage, the internal circuit of the electronic device operates unexpectedly and causes a failure. The voltage detector 100 of this example monitors the power supply voltage with the voltage detector, detects the power supply voltage drop, and can stop the supply of the power supply voltage to turn off the internal circuit before the minimum operating voltage is reached.

図21は、本実施形態に係る電圧検出器100の詳細な構成例を示す。本例の電圧検出器100は、設定される検出電圧Vdetでコンパレータ50を動作させるための基準電圧Vrefを検出する基準電圧検出モード、検出した基準電圧Vrefを基準電圧生成部20に出力させるべく基準電圧生成部20を設定する基準電圧設定モード、及び、設定した基準電圧Vrefを用いて入力電圧Vinと検出電圧Vdetとを比較する実動作モードの3つの動作モードを有する。本例の電圧検出器100は、図1に示した構成に加え、モード選択部10及びテスト回路60を更に備える。また、電圧検出器100は、電圧検出器100の内部と外部とを接続する各端子VPP、DATA、SCLK、PULSE、GND、VIN、VREF、IREF、VMON、OUTを有する。なお、VREF端子及びIREF端子は同一端子であってよい。   FIG. 21 shows a detailed configuration example of the voltage detector 100 according to the present embodiment. The voltage detector 100 of this example is a reference voltage detection mode for detecting the reference voltage Vref for operating the comparator 50 with the set detection voltage Vdet, and a reference for causing the reference voltage generation unit 20 to output the detected reference voltage Vref. There are three operation modes of a reference voltage setting mode for setting the voltage generation unit 20 and an actual operation mode for comparing the input voltage Vin with the detected voltage Vdet using the set reference voltage Vref. The voltage detector 100 of this example further includes a mode selection unit 10 and a test circuit 60 in addition to the configuration shown in FIG. The voltage detector 100 also has terminals VPP, DATA, SCLK, PULSE, GND, VIN, VREF, IREF, VMON, and OUT which connect the inside and the outside of the voltage detector 100. The VREF terminal and the IREF terminal may be the same terminal.

モード選択部10は、電圧検出器100の動作モードを選択する。モード選択部10は、VPP端子から入力される電圧に基づいて、動作モードを選択してよい。モード選択部10は、選択した動作モードに応じて、電圧選択部40、第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22を制御する。   The mode selection unit 10 selects the operation mode of the voltage detector 100. The mode selection unit 10 may select the operation mode based on the voltage input from the VPP terminal. The mode selection unit 10 controls the voltage selection unit 40, the first reference voltage generation unit 21, and the second reference voltage generation unit 22 according to the selected operation mode.

実動作モードにおいて、モード選択部10は、コンパレータ50の出力状態を示す信号に基づいて電圧選択部40に基準電圧Vrefを選択させる。テスト回路60は、カレントミラー61及びアンプ回路62を有する。テスト回路60は、実動作モードでは動作せず、基準電圧設定モードにおいて動作する。また、本例の電圧選択部40は、第1基準電圧生成部21が出力する基準電圧VrefH、第2基準電圧生成部22が出力する基準電圧VrefL、及び、VREF端子に外部から入力される設定電圧のいずれかを、動作モードに応じて選択する。   In the actual operation mode, the mode selection unit 10 causes the voltage selection unit 40 to select the reference voltage Vref based on a signal indicating the output state of the comparator 50. The test circuit 60 has a current mirror 61 and an amplifier circuit 62. The test circuit 60 does not operate in the actual operation mode, but operates in the reference voltage setting mode. In addition, the voltage selection unit 40 of this example is set to be externally input to the reference voltage VrefH output from the first reference voltage generation unit 21, the reference voltage VrefL output from the second reference voltage generation unit 22, and the VREF terminal. One of the voltages is selected according to the operation mode.

まず、基準電圧検出モードにおける電圧検出器100の動作を説明する。主に基準電圧検出モードで信号が流れる線を太線で示している。モード選択部10は、基準電圧検出モードを選択した場合、電圧選択部40にVREF端子から出力される設定電圧Vrefcを選択させる。基準電圧検出モードにおいては、VREF端子には、徐々にレベルが変化する設定電圧Vrefcが入力される。電圧選択部40は、選択した設定電圧VrefcをCMOSインバータ51の入力端子に入力する。   First, the operation of the voltage detector 100 in the reference voltage detection mode will be described. A line through which a signal flows mainly in the reference voltage detection mode is indicated by a thick line. When the mode selection unit 10 selects the reference voltage detection mode, the mode selection unit 10 causes the voltage selection unit 40 to select the set voltage Vrefc output from the VREF terminal. In the reference voltage detection mode, the set voltage Vrefc whose level changes gradually is input to the VREF terminal. The voltage selection unit 40 inputs the selected set voltage Vrefc to the input terminal of the CMOS inverter 51.

また、基準電圧検出モードにおいては、VIN端子からコンパレータ50に、電圧検出器100が動作する検出電圧Vdetと同一の電圧が入力される。本例では、ヒステリシス動作すべく、電圧検出器100は上昇検出電圧VdetH及び下降検出電圧VdetLの2つの検出電圧Vdetで動作する。この場合、VIN端子には、上昇検出電圧VdetH及び下降検出電圧VdetLが順に入力される。VIN端子は、コンパレータ50の電源端子に接続される。   In the reference voltage detection mode, the same voltage as the detection voltage Vdet at which the voltage detector 100 operates is input to the comparator 50 from the VIN terminal. In this example, the voltage detector 100 operates with two detection voltages Vdet of the rising detection voltage VdetH and the falling detection voltage VdetL in order to perform the hysteresis operation. In this case, the rising detection voltage VdetH and the falling detection voltage VdetL are sequentially input to the VIN terminal. The VIN terminal is connected to the power supply terminal of the comparator 50.

コンパレータ50は、入力された設定電圧Vrefc及び検出電圧Vdetに応じて動作する。設定電圧Vrefcが徐々に変化するので、設定電圧Vrefc及び検出電圧Vdetの差分が所定値以上となった場合に、コンパレータ50の出力状態が反転する。コンパレータ50の出力端子は、OUT端子に接続される。コンパレータ50の出力状態が反転したときの設定電圧Vrefcのレベルが、当該検出電圧Vdetに対応する基準電圧Vrefのレベルとなる。コンパレータ50の出力状態は、OUT端子に接続される外部機器が監視してよく、電圧検出器100の内部回路が監視してもよい。   The comparator 50 operates in accordance with the input set voltage Vrefc and the detection voltage Vdet. Since the set voltage Vrefc gradually changes, the output state of the comparator 50 is inverted when the difference between the set voltage Vrefc and the detection voltage Vdet becomes equal to or greater than a predetermined value. The output terminal of the comparator 50 is connected to the OUT terminal. The level of the setting voltage Vrefc when the output state of the comparator 50 is inverted becomes the level of the reference voltage Vref corresponding to the detection voltage Vdet. The output state of the comparator 50 may be monitored by an external device connected to the OUT terminal, or may be monitored by the internal circuit of the voltage detector 100.

図22は、基準電圧検出モードにおける基準電圧(VrefH、VrefL)の検出方法の概要を示す。縦軸は、VIN端子から入力される入力電圧Vin、CMOSインバータ51の入力端子に入力される設定電圧Vrefc及び基準電圧(VrefH、VrefL)の電圧レベル[V]を示しており、横軸は時刻tを示す。   FIG. 22 shows an outline of a method of detecting the reference voltage (VrefH, VrefL) in the reference voltage detection mode. The vertical axis represents the input voltage Vin input from the VIN terminal, the setting voltage Vrefc input to the input terminal of the CMOS inverter 51, and the voltage levels [V] of the reference voltages (VrefH and VrefL), and the horizontal axis represents time indicates t.

VIN端子に入力される検出電圧Vdetは、時刻の経過に伴い徐々に増加して、予め定められた検出電圧Vdetに到達すると一定に保持される。設定電圧Vrefcは、予測される基準電圧VrefHよりも予め定められた値だけ大きい初期値まで、検出電圧と共に増加する。設定電圧Vrefcが初期値になった後、設定電圧Vrefcを徐々に変化(本例では減少)させて、CMOSインバータ51の出力が反転するときの設定電圧Vrefcを検出する。検出された設定電圧Vrefcは、入力されている検出電圧Vdetに対する基準電圧Vrefとなる。このような処理を、上昇検出電圧VdetH及び下降検出電圧VdetLの双方に対して行い、それぞれに対応する基準電圧VrefH及びVrefLを検出する。モード選択部10は、検出した設定電圧Vrefcに基づいて、基準電圧生成部20を設定する。なお、入力電圧Vinが検出電圧Vdetに達した後で、コンパレータ50の出力状態が遷移するように設定電圧Vrefcを変化させればよく、本例に限定されない。   The detection voltage Vdet input to the VIN terminal gradually increases with the passage of time, and is held constant when reaching a predetermined detection voltage Vdet. The set voltage Vrefc increases with the detected voltage to an initial value that is larger by a predetermined value than the predicted reference voltage VrefH. After the set voltage Vrefc becomes an initial value, the set voltage Vrefc is gradually changed (decreased in this example) to detect the set voltage Vrefc when the output of the CMOS inverter 51 is inverted. The detected set voltage Vrefc is the reference voltage Vref for the input detected voltage Vdet. Such a process is performed on both the rising detection voltage VdetH and the falling detection voltage VdetL, and the reference voltages VrefH and VrefL corresponding to each are detected. The mode selection unit 10 sets the reference voltage generation unit 20 based on the detected set voltage Vrefc. The setting voltage Vrefc may be changed so that the output state of the comparator 50 transitions after the input voltage Vin reaches the detection voltage Vdet, and the present invention is not limited to this example.

図23は、本実施形態に係る基準電圧生成部20の基本回路を示す。第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22は、それぞれ基準電圧生成部20と同一の回路を有してよい。本実施形態に係る基準電圧生成部20は、図23(b)に示すように、エンハンスメント状態とディプレッション状態の2状態にすることができる素子を利用して、基準電圧Vrefを生成する。   FIG. 23 shows a basic circuit of the reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. The first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22 may each have the same circuit as the reference voltage generation unit 20. As shown in FIG. 23B, the reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment generates a reference voltage Vref using an element that can be brought into two states, an enhancement state and a depletion state.

図23(a)は、ディプレッション型MOSトランジスタM1とエンハンスメント型MOSトランジスタM2で構成される基準電圧生成部20を示す。図23(a)の各MOSトランジスタは、ドープ量等の製造時におけるパラメータの相違により、それぞれディプレッション型及びエンハンスメント型として機能する。   FIG. 23A shows the reference voltage generation unit 20 configured of the depletion type MOS transistor M1 and the enhancement type MOS transistor M2. Each of the MOS transistors in FIG. 23A functions as a depletion type and an enhancement type, respectively, due to differences in manufacturing parameters such as the doping amount.

図23(b)は、ディプレッション型として機能させる第1MOSトランジスタM1と、エンハンスメント型として機能させる第2MOSトランジスタM2とを有する基準電圧生成部20を示す。第1MOSトランジスタM1と第2MOSトランジスタM2は、フローティングゲート及びコントロールゲートをそれぞれ有する。本例の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2は、コントロールゲートに印加される電圧に応じて、フローティングゲートが保存する電荷の状態が制御され、保存された電荷量に応じた特性を示す不揮発性記憶素子として機能する。フローティングゲートが保存する電荷の状態とは、例えばフローティングゲートが保存する電荷の正負及び電荷量を指す。本例では、第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2の閾値電圧が、フローティングゲートが保存する電荷の状態に応じて変化する。これにより、それぞれのMOSトランジスタは、ディプレッション型またはエンハンスメント型として機能する。   FIG. 23B shows a reference voltage generation unit 20 having a first MOS transistor M1 functioning as a depletion type and a second MOS transistor M2 functioning as an enhancement type. The first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 each have a floating gate and a control gate. In the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 of this example, the state of the charge stored in the floating gate is controlled according to the voltage applied to the control gate, and the non-volatile property shows characteristics according to the stored charge amount. It functions as a memory element. The state of charge stored by the floating gate refers to, for example, the positive / negative and charge amount of charge stored by the floating gate. In this example, the threshold voltages of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 change according to the state of charge stored in the floating gate. Thus, each MOS transistor functions as a depletion type or an enhancement type.

第1MOSトランジスタM1は、ゲート端子とソース端子とが互いに接続され、ドレイン端子は電源に接続される。第1MOSトランジスタM1は、フローティングゲートにプラスチャージが注入されてディプレッション型として機能する。ディプレッション型とは、ゲート端子に電圧0Vが入力された場合に、トランジスタがオフする素子のことであり、いわゆるノーマリーオフの素子を指す。   The gate terminal and the source terminal of the first MOS transistor M1 are connected to each other, and the drain terminal is connected to the power supply. The first MOS transistor M1 functions as a depletion type when positive charge is injected into the floating gate. The depletion type is an element in which the transistor is turned off when a voltage of 0 V is input to the gate terminal, and refers to a so-called normally-off element.

第2MOSトランジスタM2は、ゲート端子とドレイン端子とが互いに接続され、ソース端子は接地される。また、第2MOSトランジスタM2のドレイン端子は、第1MOSトランジスタM1のソース端子に接続される。第2MOSトランジスタM2は、フローティングゲートにマイナスチャージが注入されてエンハンスメント型として機能する。エンハンスメント型とは、ゲート端子に電圧0Vが入力された場合に、トランジスタがオンする素子のことであり、いわゆるノーマリーオンの素子を指す。基準電圧生成部20は、第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2の接続点から基準電圧Vrefを出力する。   The gate terminal and the drain terminal of the second MOS transistor M2 are connected to each other, and the source terminal is grounded. The drain terminal of the second MOS transistor M2 is connected to the source terminal of the first MOS transistor M1. The second MOS transistor M2 functions as an enhancement type when negative charge is injected into the floating gate. The enhancement type is an element in which a transistor is turned on when a voltage of 0 V is input to the gate terminal, and refers to a so-called normally on element. The reference voltage generation unit 20 outputs a reference voltage Vref from a connection point of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2.

図23(b)に示した基準電圧生成部20は、製造後に不揮発性記憶素子の状態を変更できるので、設計時と製造後の特性のバラツキを補償できる。そのため、基準電圧生成部20は、第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2の接続点から出力される基準電圧Vrefを調整できる。モード選択部10は、第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2のフローティングゲートが保存する電荷の状態を制御することで、基準電圧Vrefを調整する。   Since the reference voltage generation unit 20 shown in FIG. 23B can change the state of the nonvolatile memory element after manufacturing, it can compensate for variations in characteristics at design and after manufacturing. Therefore, the reference voltage generation unit 20 can adjust the reference voltage Vref output from the connection point of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2. The mode selection unit 10 adjusts the reference voltage Vref by controlling the state of charges stored by the floating gates of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2.

図24は、トンネル酸化膜を備える不揮発性記憶素子70を示す。不揮発性記憶素子70は、基板71、トンネル酸化膜74、フローティングゲート75、絶縁膜76及びコントロールゲート77を備える。   FIG. 24 shows a non-volatile storage element 70 provided with a tunnel oxide film. The nonvolatile memory element 70 includes a substrate 71, a tunnel oxide film 74, a floating gate 75, an insulating film 76, and a control gate 77.

不揮発性記憶素子70は、フローティングゲート75を有することにより、エンハンスメント状態とディプレッション状態にすることができるNMOSタイプの素子である。本例の基板71は、p型基板で構成される。基板71は、ソース領域72及びドレイン領域73を有する。ソース領域72及びドレイン領域73は、イオン注入等の一般的なCMOSプロセスを用いて形成される。基板71上には、トンネル酸化膜74、フローティングゲート75、絶縁膜76及びコントロールゲート77の順に積層して形成される。   The nonvolatile memory element 70 is an NMOS type element that can be brought into the enhancement state and the depletion state by having the floating gate 75. The substrate 71 in this example is a p-type substrate. The substrate 71 has a source region 72 and a drain region 73. Source region 72 and drain region 73 are formed using a general CMOS process such as ion implantation. The tunnel oxide film 74, the floating gate 75, the insulating film 76, and the control gate 77 are stacked in this order on the substrate 71.

コントロールゲート77は、不揮発性記憶素子70のゲート端子に印加された電圧により、ソース領域72とドレイン領域73との間に形成されたチャネル領域を制御する。これにより、不揮発性記憶素子70は、ソース領域72とドレイン領域73との間に流れる電流をオンオフする。   The control gate 77 controls a channel region formed between the source region 72 and the drain region 73 by a voltage applied to the gate terminal of the nonvolatile memory element 70. Thus, the nonvolatile memory element 70 turns on / off the current flowing between the source region 72 and the drain region 73.

絶縁膜76は、フローティングゲート75とコントロールゲート77との間を絶縁する。絶縁膜76は、CMOSプロセスで使用される一般的な絶縁膜で形成される。フローティングゲート75に蓄積された電荷の状態は、コントロールゲート77に印加された電圧に応じて変化する。例えば、コントロールゲート77に印加された電圧に応じて、フローティングゲート75に蓄積された電荷量が、正または負の方向に変動する。これにより、不揮発性記憶素子70の閾値電圧が変動し、ディプレッション状態またはエンハンスメント状態に制御される。   An insulating film 76 insulates between the floating gate 75 and the control gate 77. The insulating film 76 is formed of a general insulating film used in a CMOS process. The state of the charge stored in floating gate 75 changes in accordance with the voltage applied to control gate 77. For example, in response to the voltage applied to control gate 77, the amount of charge stored in floating gate 75 fluctuates in the positive or negative direction. As a result, the threshold voltage of the non-volatile storage element 70 is varied and controlled to the depletion state or the enhancement state.

トンネル酸化膜74は、通常、基板71とフローティングゲート75との間を絶縁する。しかし、トンネル酸化膜74は、コントロールゲート77に予め定められた値以上の電圧が印加されると、FNトンネリング(ファウラーノルドハイム トンネリング)により導通状態となる。FNトンネリングとは、絶縁体の中を電子がトンネルする場合の移動状態を指す。フローティングゲート75は、FNトンネリングによりソース領域72から電子が注入され、または、電子を放出する。これにより、フローティングゲート75が保存する電荷の状態が制御される。   The tunnel oxide film 74 generally insulates between the substrate 71 and the floating gate 75. However, when a voltage equal to or greater than a predetermined value is applied to control gate 77, tunnel oxide film 74 is rendered conductive by FN tunneling (Fowler-Nordheim tunneling). FN tunneling refers to a moving state when electrons tunnel in the insulator. The floating gate 75 injects electrons from the source region 72 by FN tunneling or emits electrons. Thereby, the state of the charge stored in floating gate 75 is controlled.

図25は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。基準電圧生成部20が、基準電圧Vrefを出力している状態において、スイッチ(SW)は以下のように制御される。
SWl:Vdd
SW2:Vss
SW3、SW4:OPEN
SW5、SW6、SW7、SW8:SHORT(接続)
SW9、SW10:任意
FIG. 25 illustrates an example of a circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. When the reference voltage generation unit 20 is outputting the reference voltage Vref, the switch (SW) is controlled as follows.
SWl: Vdd
SW2: Vss
SW3, SW4: OPEN
SW5, SW6, SW7, SW8: SHORT (connection)
SW9, SW10: Any

基準電圧生成部20は、スイッチが図25のように制御された状態において、第1MOSトランジスタMlがディプレッション状態、第2MOSトランジスタM2がエンハンスメント状態のとき、基準電圧Vrefを生成する。   The reference voltage generation unit 20 generates the reference voltage Vref when the first MOS transistor M1 is in the depletion state and the second MOS transistor M2 is in the enhancement state in a state where the switch is controlled as shown in FIG.

SW1〜10は、高電圧に動作するスイッチにする必要があり、通常のスイッチと比較してオン抵抗が大きい。特にSWl、SW6、SW8、SW2は、基準電圧生成部20の電流パスに入っているので、スイッチのオン抵抗が基準電圧Vrefに影響する。   The switches SW1 to SW10 need to be switches that operate at a high voltage, and have large on-resistance as compared to ordinary switches. In particular, since SWl, SW6, SW8, and SW2 enter the current path of the reference voltage generation unit 20, the on resistance of the switch affects the reference voltage Vref.

より具体的には、基準電圧生成部20は、コントロールゲート及びフローティングゲートを有して、ディプレッション型として機能する第1MOSトランジスタMlを備える。また、基準電圧生成部20は、コントロールゲート及びフローティングゲートを有して、エンハンスメント型として機能する第2書込MOSトランジスタM2を備える。第2書込MOSトランジスタM2は、第1MOSトランジスタMlと直列に接続される。第1MOSトランジスタMl及び第2書込MOSトランジスタM2は、フローティングゲートに注入される電荷がトンネルするトンネル酸化膜を有する不揮発性記憶素子である。これにより、基準電圧生成部20は、第1MOSトランジスタMl及び第2書込MOSトランジスタM2の接続点から基準電圧Vrefを出力する。   More specifically, the reference voltage generation unit 20 includes a control gate and a floating gate, and includes a first MOS transistor Ml that functions as a depletion type. Further, the reference voltage generation unit 20 includes a control gate and a floating gate, and includes a second write MOS transistor M2 that functions as an enhancement type. The second write MOS transistor M2 is connected in series to the first MOS transistor Ml. The first MOS transistor M1 and the second write MOS transistor M2 are non-volatile memory elements having a tunnel oxide film through which charges injected to the floating gate tunnel. Thereby, the reference voltage generation unit 20 outputs the reference voltage Vref from the connection point of the first MOS transistor M1 and the second write MOS transistor M2.

図26は、本実施形態に係る基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22は、それぞれ図26に示す基準電圧生成部20と同一の回路を有してよい。基準電圧生成部20は、トンネル酸化膜を有する第1書込MOSトランジスタM1w及びトンネル酸化膜を有さない第1出力MOSトランジスタM1r、並びに、トンネル酸化膜を有する第2書込MOSトランジスタM2w及びトンネル酸化膜を有さない第2出力MOSトランジスタM2rを含む。   FIG. 26 shows an example of a circuit configuration of the reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. The first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22 may each have the same circuit as the reference voltage generation unit 20 shown in FIG. The reference voltage generation unit 20 includes a first write MOS transistor M1w having a tunnel oxide film, a first output MOS transistor M1r having no tunnel oxide film, and a second write MOS transistor M2w having a tunnel oxide film and a tunnel. It includes a second output MOS transistor M2r having no oxide film.

第1書込MOSトランジスタM1w、及び、第1出力MOSトランジスタM1rは、フローティングゲート及びコントロールゲートをそれぞれ有する。第1書込MOSトランジスタM1wのフローティングゲート及びコントロールゲートは、第1出力MOSトランジスタM1rのフローティングゲート及びコントロールゲートとそれぞれ電気的に接続される。   The first write MOS transistor M1w and the first output MOS transistor M1r each have a floating gate and a control gate. The floating gate and the control gate of the first write MOS transistor M1w are electrically connected to the floating gate and the control gate of the first output MOS transistor M1r, respectively.

第1書込MOSトランジスタM1wのソース端子は、第2書込MOSトランジスタM2wのドレイン端子に接続される。図25に示した構成と同様に、第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wを接続するか否かを切り替えるスイッチが更に設けられてもよい。スイッチSW1は、第1書込MOSトランジスタM1wのドレイン端子に、電圧Vppを印加するか、接地電位等の基準電位Vssを印加するかを選択する。スイッチSW2は、第2書込MOSトランジスタM2wのソース端子に、電圧Vppを印加するか、接地電位等の基準電位Vssを印加するかを選択する。   The source terminal of the first write MOS transistor M1 w is connected to the drain terminal of the second write MOS transistor M2 w. Similar to the configuration shown in FIG. 25, a switch may be further provided to switch whether or not to connect the first write MOS transistor M1w and the second write MOS transistor M2w. The switch SW1 selects whether to apply the voltage Vpp or the reference potential Vss such as the ground potential to the drain terminal of the first write MOS transistor M1w. The switch SW2 selects whether to apply the voltage Vpp or the reference potential Vss such as the ground potential to the source terminal of the second write MOS transistor M2w.

第1出力MOSトランジスタM1rのドレイン端子には、所定の電源電圧Vddが印加される。第1出力MOSトランジスタM1rのソース端子は、第2出力MOSトランジスタM2rのドレイン端子に接続される。当該接続点における電圧が、基準電圧Vrefとして出力される。第2出力MOSトランジスタM2rのソース端子には、基準電位Vssが印加される。   A predetermined power supply voltage Vdd is applied to the drain terminal of the first output MOS transistor M1r. The source terminal of the first output MOS transistor M1r is connected to the drain terminal of the second output MOS transistor M2r. The voltage at the connection point is output as the reference voltage Vref. The reference potential Vss is applied to the source terminal of the second output MOS transistor M2r.

第2書込MOSトランジスタM2w及び第2出力MOSトランジスタM2rは、フローティングゲート及びコントロールゲートをそれぞれ有する。第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲート及びコントロールゲートは、第2出力MOSトランジスタM2rのフローティングゲート及びコントロールゲートとそれぞれ電気的に接続される。   The second write MOS transistor M2w and the second output MOS transistor M2r respectively have a floating gate and a control gate. The floating gate and the control gate of the second write MOS transistor M2w are electrically connected to the floating gate and the control gate of the second output MOS transistor M2r, respectively.

第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wは、トンネル酸化膜を有している。このため、当該トンネル酸化膜を介して、第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲートの電荷の状態を制御して、それぞれの閾値電圧Vthを制御することができる。そして、上述したように、2つの第1MOSトランジスタM1w、rのフローティングゲート及びコントロールゲートが互いに電気的に接続されるので、第1出力MOSトランジスタM1rは、第1書込MOSトランジスタM1wと同一の閾値電圧Vthを有する。また、第2出力MOSトランジスタM2rも同様に、第2書込MOSトランジスタM2wと同一の閾値電圧Vthを有する。   The first write MOS transistor M1 w and the second write MOS transistor M2 w have a tunnel oxide film. Therefore, it is possible to control the state of the charges of the floating gates of the first write MOS transistor M1 w and the second write MOS transistor M2 w via the tunnel oxide film, and control the respective threshold voltages Vth. Then, as described above, since the floating gate and the control gate of the two first MOS transistors M1 w and r are electrically connected to each other, the first output MOS transistor M1 r has the same threshold as the first write MOS transistor M1 w. It has a voltage Vth. Similarly, the second output MOS transistor M2r has the same threshold voltage Vth as the second write MOS transistor M2w.

なお、第1出力MOSトランジスタM1r及び第2出力MOSトランジスタM2rは、トンネル酸化膜を有していないので、ディスターブによる閾値電圧Vthの変動がない。このため、基準電圧Vrefを精度よく生成できる。また、第1出力MOSトランジスタM1r及び第2出力MOSトランジスタM2rは、基準電圧生成部20において電流パスを形成するが、電流パスにスイッチを有さない。そのため、スイッチのオン抵抗が基準電圧Vrefに影響せず、基準電圧Vrefを精度よく生成できる。   Since the first output MOS transistor M1r and the second output MOS transistor M2r do not have a tunnel oxide film, there is no fluctuation of the threshold voltage Vth due to disturbance. Therefore, the reference voltage Vref can be generated with high accuracy. The first output MOS transistor M1r and the second output MOS transistor M2r form a current path in the reference voltage generation unit 20, but do not have a switch in the current path. Therefore, the on-resistance of the switch does not affect the reference voltage Vref, and the reference voltage Vref can be generated with high accuracy.

図27は、基準電圧Vrefの設定方法の一例を示すフロー図である。ステップS100において、CMOSインバータ51の電源端子に入力される検出電圧を予め定められた値に設定する。   FIG. 27 is a flowchart showing an example of a method of setting the reference voltage Vref. In step S100, the detection voltage input to the power supply terminal of the CMOS inverter 51 is set to a predetermined value.

基準電圧検出モードでは、コンパレータ50が検出電圧Vdetに応じて動作するためにCMOSインバータ51の入力端子に入力されるべき電圧を検出する。ステップS200において、図22において説明したように、ステップS100で設定した検出電圧Vdetに対応する基準電圧(VrefH、VrefL)を検出する。検出された基準電圧(VrefH、VrefL)は、電圧検出器100の外部機器に記憶される。検出された基準電圧(VrefH、VrefL)は、電圧検出器100の内部に記憶されてもよい。   In the reference voltage detection mode, the comparator 50 detects a voltage to be input to the input terminal of the CMOS inverter 51 in order to operate in accordance with the detection voltage Vdet. In step S200, as described in FIG. 22, the reference voltages (VrefH, VrefL) corresponding to the detection voltage Vdet set in step S100 are detected. The detected reference voltages (VrefH, VrefL) are stored in an external device of the voltage detector 100. The detected reference voltages (VrefH, VrefL) may be stored inside the voltage detector 100.

基準電圧設定モードでは、ステップS200において検出した基準電圧(VrefH、VrefL)を基準電圧生成部20に設定する。基準電圧設定モードを実行するステップS300は、ステップS310〜ステップS330を有する。なお、それぞれの検出電圧Vdetに対してステップS300の処理を行う。設定された検出電圧Vdetは、CMOSインバータ51の電源端子に入力される。   In the reference voltage setting mode, the reference voltages (VrefH, VrefL) detected in step S200 are set in the reference voltage generation unit 20. Step S300 for executing the reference voltage setting mode includes steps S310 to S330. In addition, the process of step S300 is performed with respect to each detection voltage Vdet. The set detection voltage Vdet is input to the power supply terminal of the CMOS inverter 51.

ステップS310において、第1書込MOSトランジスタM1wのフローティングゲートに保存された電荷の状態を、予め定められた基準状態に設定する。ステップS310における基準状態は、第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧を十分高くして、第1MOSトランジスタM1w、rから第2MOSトランジスタM2w、rに電流が流れなくする状態を指してもよい。基準状態は、フローティングゲートに保存されていた電荷が消去された状態(すなわち、フローティングゲートにおける電荷量が略零の状態)を指してもよい。ステップS310では、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに制御パルスを印加することでフローティングゲートにおける電荷の状態を基準状態に調整し、第1MOSトランジスタM1w、rから第2MOSトランジスタM2w、rに電流が流れなくする。   In step S310, the state of the charge stored in the floating gate of the first write MOS transistor M1w is set to a predetermined reference state. The reference state in step S310 may indicate a state in which the current does not flow from the first MOS transistor M1w, r to the second MOS transistor M2w, r while the threshold voltage of the first MOS transistor M1w, r is sufficiently high. The reference state may indicate a state in which the charge stored in the floating gate is erased (that is, the state in which the amount of charge in the floating gate is substantially zero). In step S310, the control pulse is applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w to adjust the state of charge in the floating gate to the reference state, and the current from the first MOS transistors M1w, r to the second MOS transistors M2w, r Will not flow.

ステップS320において、第2出力MOSトランジスタM2rにカレントミラー61が生成した調整用電流を印加した状態で、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを印加する。制御パルスを印加することで、第2書込MOSトランジスタM2wの閾値電圧を正方向に変動させる。これにより、2つの第2MOSトランジスタM2を所定のエンハンスメント状態に設定する。調整用電流は、実動作時に第2出力MOSトランジスタM2rに流れるべき電流と略等しい電流が与えられてよい。ステップS320においては、基準電圧生成部20から出力される基準電圧Vrefが、検出電圧Vdetに対してステップS200で検出した基準電圧Vrefと略等しくなるまで、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを印加する。   In step S320, in a state where the adjustment current generated by the current mirror 61 is applied to the second output MOS transistor M2r, a control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w. By applying the control pulse, the threshold voltage of the second write MOS transistor M2w is changed in the positive direction. Thereby, the two second MOS transistors M2 are set to a predetermined enhancement state. The adjustment current may be provided with a current substantially equal to the current that should flow through the second output MOS transistor M2r in actual operation. In step S320, the control gate of second write MOS transistor M2w is maintained until reference voltage Vref output from reference voltage generation unit 20 becomes substantially equal to reference voltage Vref detected in step S200 with respect to detection voltage Vdet. Apply a control pulse.

次に、ステップS330において、第2出力MOSトランジスタM2rにカレントミラー61が生成した調整用電流を印加しない状態で、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに制御パルスを印加する。制御パルスを印加することで、第1書込MOSトランジスタM1wの閾値電圧を負方向に変動させる。これにより、2つの第1MOSトランジスタM1を所定のディプレッション状態に設定する。ステップS330においても、基準電圧生成部20から出力される基準電圧Vrefが、検出電圧Vdetに対してステップS200で検出した基準電圧Vrefと略等しくなるまで、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに制御パルスを印加する。このような処理を、第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22に対して行う。これにより、ステップS200で検出した基準電圧Vrefと等しい電圧を、第1基準電圧生成部21及び第2基準電圧生成部22に出力させることができる。ステップS300では、基準電圧VrefHを基準電圧VrefLよりも先に設定しても、基準電圧VrefLを先に設定してもどちらでも構わない。   Next, in step S330, a control pulse is applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w while the adjustment current generated by the current mirror 61 is not applied to the second output MOS transistor M2r. By applying the control pulse, the threshold voltage of the first write MOS transistor M1w is changed in the negative direction. Thus, the two first MOS transistors M1 are set to a predetermined depletion state. Also in step S330, until the reference voltage Vref output from the reference voltage generation unit 20 becomes substantially equal to the reference voltage Vref detected in step S200 with respect to the detection voltage Vdet, the control gate of the first write MOS transistor M1w Apply a control pulse. Such processing is performed on the first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22. Thus, a voltage equal to the reference voltage Vref detected in step S200 can be output to the first reference voltage generation unit 21 and the second reference voltage generation unit 22. In step S300, the reference voltage VrefH may be set earlier than the reference voltage VrefL, or the reference voltage VrefL may be set earlier.

図28は、基準電圧Vrefの設定方法を説明するための図である。図28(a)は、エンハンスメント型として機能させる第2MOSトランジスタM2w、rの設定方法を示す。初めに、第1書込MOSトランジスタMlwのフローティングゲートにチャージされた電荷を基準状態に設定する。例えば、第1書込MOSトランジスタMlwの閾値電圧を十分高くする制御パルスを、コントロールゲートに印加することで、電荷の状態を基準状態に設定する。コントロールゲートに印加される電圧の極性は、スイッチSW1及びSW9を切り替えることで制御できる。これにより、エンハンスメント型として機能させる第2MOSトランジスタM2w、rを設定するときに、第1MOSトランジスタMlw、rに電流が流れないようにする。   FIG. 28 is a diagram for describing a setting method of reference voltage Vref. FIG. 28A shows a method of setting the second MOS transistors M2w and r to function as the enhancement type. First, the charge stored in the floating gate of the first write MOS transistor Mlw is set to the reference state. For example, by applying a control pulse to the control gate to sufficiently increase the threshold voltage of the first write MOS transistor Mlw, the charge state is set to the reference state. The polarity of the voltage applied to the control gate can be controlled by switching the switches SW1 and SW9. As a result, when setting the second MOS transistors M2w and r to function as the enhancement type, current is prevented from flowing to the first MOS transistors Mlw and r.

次に、第2出力MOSトランジスタM2rに、調整用電流Irefを印加した状態で、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを印加して、フローティングゲートに電荷をチャージする。このとき、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefが所定の電圧となるように、第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲートに電荷をチャージする。   Next, in a state where the adjustment current Iref is applied to the second output MOS transistor M2r, a control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w to charge the floating gate. At this time, the floating gate of the second write MOS transistor M2w is charged so that the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20 becomes a predetermined voltage.

図28(b)は、ディプレッション型として機能させる第1MOSトランジスタM1w、rの設定方法を示す。第1MOSトランジスタM1w、rを設定する場合、調整用電流Irefを止める。そして、第2出力MOSトランジスタM2rに流れる電流が、調整用電流Irefと略同一となるように、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを印加して、フローティングゲートに電荷をチャージする。本例では、第2出力MOSトランジスタM2rに流れる電流を検出する代わりに、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefが、上述した所定の電圧となるように、第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲートに電荷をチャージする。   FIG. 28B shows a method of setting the first MOS transistors M1w and r to function as a depletion type. When setting the first MOS transistors M1 w and r, the adjustment current Iref is stopped. Then, a control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2 w to charge the floating gate so that the current flowing through the second output MOS transistor M2 r is substantially the same as the adjustment current Iref. . In this example, instead of detecting the current flowing through the second output MOS transistor M2r, the second write MOS transistor M2w is set such that the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20 becomes the above-described predetermined voltage. Charge the floating gate.

図29は、不揮発性記憶素子70の設定方法を示す。不揮発性記憶素子70は、上述した第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wに対応する。不揮発性記憶素子70は、コントロールゲート及びフローティングゲートを有するNMOSタイプの素子である。不揮発性記憶素子70は、FNトンネリングにより、フローティングゲートに電荷を蓄積させて閾値電圧が調整される。   FIG. 29 shows a method of setting the nonvolatile memory element 70. The nonvolatile memory element 70 corresponds to the first write MOS transistor M1 w and the second write MOS transistor M2 w described above. The non-volatile memory element 70 is an NMOS type element having a control gate and a floating gate. In the non-volatile storage element 70, charge is accumulated in the floating gate by FN tunneling to adjust the threshold voltage.

図29(a)は、不揮発性記憶素子70の閾値電圧を正方向に変動させる場合のバイアス条件を示す。図29(b)は、不揮発性記憶素子70の閾値電圧を負方向に変動させる場合のバイアス条件を示す。これらのバイアス条件において、コントロールゲートに制御パルスを印加することで、不揮発性記憶素子70の閾値電圧を制御する。   FIG. 29A shows bias conditions in the case where the threshold voltage of the nonvolatile memory element 70 is changed in the positive direction. FIG. 29B shows bias conditions in the case where the threshold voltage of the nonvolatile memory element 70 is changed in the negative direction. Under these bias conditions, the threshold voltage of the nonvolatile memory element 70 is controlled by applying a control pulse to the control gate.

閾値電圧を正方向に変動させる場合、図29(a)に示すように、コントロールゲート端子に電圧Vppを印加して、ソース端子を接地して、ドレイン端子をフローティング状態にする。これにより、不揮発性記憶素子70のフローティングゲートには、FNトンネリングにより電子が注入され、不揮発性記憶素子70の閾値電圧Vthが上がる。なお、電圧Vppは、不揮発性記憶素子70のトンネル酸化膜においてFNトンネリングするために必要な電圧である。   When changing the threshold voltage in the positive direction, as shown in FIG. 29A, the voltage Vpp is applied to the control gate terminal, the source terminal is grounded, and the drain terminal is in a floating state. Thereby, electrons are injected into the floating gate of the nonvolatile memory element 70 by FN tunneling, and the threshold voltage Vth of the nonvolatile memory element 70 is increased. The voltage Vpp is a voltage necessary for performing FN tunneling in the tunnel oxide film of the nonvolatile memory element 70.

閾値電圧を正方向に変動させる場合、図29(b)に示すように、コントロールゲート端子を接地して、ソース端子に電圧Vppを印加して、ドレイン端子をフローティング状態にする。これにより、不揮発性記憶素子70は、FNトンネリングによりフローティングゲートから電子が放出され、不揮発性記憶素子70の閾値電圧Vthが下がる。図29(a)及び(b)において説明した動作を組み合わせることで、不揮発性記憶素子70の閾値電圧を所定の電圧に調整することができる。上述したように、第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wの閾値電圧を調整すれば、第1出力MOSトランジスタM1r及び第2出力MOSトランジスタM2rの閾値電圧も同様に調整される。   When the threshold voltage is changed in the positive direction, as shown in FIG. 29B, the control gate terminal is grounded, the voltage Vpp is applied to the source terminal, and the drain terminal is in a floating state. Thus, in the nonvolatile memory element 70, electrons are emitted from the floating gate by FN tunneling, and the threshold voltage Vth of the nonvolatile memory element 70 decreases. By combining the operations described in FIGS. 29A and 29B, the threshold voltage of the nonvolatile memory element 70 can be adjusted to a predetermined voltage. As described above, if the threshold voltages of the first write MOS transistor M1w and the second write MOS transistor M2w are adjusted, the threshold voltages of the first output MOS transistor M1r and the second output MOS transistor M2r are similarly adjusted. .

図30は、基準電圧設定モードにおける電圧検出器100の動作の一例を示す。本例の電圧検出器100は、第1基準電圧生成部21の第2書込MOSトランジスタM2wへの書き込みを行う状態を示す。本例で用いられる構成は、主に太線で示される。   FIG. 30 shows an example of the operation of the voltage detector 100 in the reference voltage setting mode. The voltage detector 100 of this example shows a state in which the writing to the second write MOS transistor M2w of the first reference voltage generation unit 21 is performed. The configuration used in this example is mainly indicated by thick lines.

モード選択部10は、第1基準電圧生成部21の第2書込MOSトランジスタM2wに制御パルスを印加する。モード選択部10は、電圧選択部40に、VREF端子を選択させる。この場合、VREF端子には、外部から電圧が入力されない。カレントミラー61は、外部電流IREFに基づいて、外部電流IREFよりも小さな調整用電流Irefを生成して、第1基準電圧生成部21に出力する。例えばカレントミラー61は、外部電流IREFの1/n倍(ただしn>1)の大きさの調整用電流Irefを生成する。これにより、微小な調整用電流Irefを精度よく生成できる。なお、電圧検出器100がカレントミラー61を有さない場合、電圧検出器100の外部から微小な調整用電流Irefを入力してもよい。   The mode selection unit 10 applies a control pulse to the second write MOS transistor M2 w of the first reference voltage generation unit 21. The mode selection unit 10 causes the voltage selection unit 40 to select the VREF terminal. In this case, no voltage is externally input to the VREF terminal. The current mirror 61 generates an adjustment current Iref smaller than the external current IREF based on the external current IREF, and outputs the adjustment current Iref to the first reference voltage generation unit 21. For example, the current mirror 61 generates the adjustment current Iref that is 1 / n times (where n> 1) the external current IREF. Thereby, the minute adjustment current Iref can be generated with high accuracy. When the voltage detector 100 does not have the current mirror 61, a minute adjustment current Iref may be input from the outside of the voltage detector 100.

アンプ回路62は、電圧選択部40を介して第1基準電圧生成部21の出力を受け取り、当該出力を増幅した信号をVMON端子に出力する。電圧計80には、アンプ回路62が出力した増幅信号が入力される。これにより、VMON端子に接続される計測機器における信号対雑音比を向上させる。電圧計80は、アンプ回路62が出力した増幅信号の電圧を検出する。また、電圧検出器100の外部に電圧計80が設けられてもよい。モード選択部10は、アンプ回路62が出力する電圧が、設定すべき基準電圧に応じた電圧となるように、第1基準電圧生成部21の第2書込MOSトランジスタM2wに制御パルスを印加する。   The amplifier circuit 62 receives the output of the first reference voltage generation unit 21 via the voltage selection unit 40, and outputs a signal obtained by amplifying the output to the VMON terminal. The amplified signal output from the amplifier circuit 62 is input to the voltmeter 80. This improves the signal-to-noise ratio in the measuring device connected to the VMON terminal. The voltmeter 80 detects the voltage of the amplification signal output from the amplifier circuit 62. Also, a voltmeter 80 may be provided outside the voltage detector 100. The mode selection unit 10 applies a control pulse to the second write MOS transistor M2 w of the first reference voltage generation unit 21 such that the voltage output from the amplifier circuit 62 becomes a voltage corresponding to the reference voltage to be set. .

本例の第1基準電圧生成部21は、後述する調整シーケンス(1)から(5)を用いて、基準電圧VrefHが設定される。また、第2基準電圧生成部22に基準電圧VrefLが設定される場合も本例の第1基準電圧生成部21と同様の構成で設定される。   In the first reference voltage generation unit 21 of this example, the reference voltage VrefH is set using adjustment sequences (1) to (5) described later. Also, when the reference voltage VrefL is set in the second reference voltage generation unit 22, the same configuration as that of the first reference voltage generation unit 21 of this example is set.

図31は、第2書込MOSトランジスタM2wへの書き込み動作を示す。縦軸はモニター電圧[V]を示して、横軸は時刻tを示す。第2書込MOSトランジスタM2wには、モード選択部10から制御パルスが入力される。   FIG. 31 shows a write operation to the second write MOS transistor M2w. The vertical axis indicates the monitor voltage [V], and the horizontal axis indicates time t. A control pulse is input from the mode selection unit 10 to the second write MOS transistor M2w.

まず、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに第1制御パルスを印加して、第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲートに蓄積された電荷の状態を、予め定められた初期状態に設定する。これにより、基準電圧生成部20が出力する電圧をモニターしたモニター電圧Vmonは増加する。制御パルスは、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonが、設定すべき終了電圧よりも十分大きくなるまで第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに印加される。   First, a first control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w to set the state of the charge accumulated in the floating gate of the second write MOS transistor M2w to a predetermined initial state. . Thereby, the monitor voltage Vmon which monitored the voltage which the reference voltage generation part 20 outputs increases. The control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w until the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 becomes sufficiently larger than the end voltage to be set.

次に、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに第2制御パルスを印加して、第2書込MOSトランジスタM2wのフローティングゲートの電荷の状態を制御する。第2制御パルスは、第1制御パルスとは正負の極性が逆のパルスである。本例では、第2制御パルスを印加することで、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonは低下する。第2制御パルスは、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonが終了電圧に徐々に近づくように印加される。   Next, a second control pulse is applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w to control the state of charge of the floating gate of the second write MOS transistor M2w. The second control pulse is a pulse whose positive / negative polarity is opposite to that of the first control pulse. In this example, the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 is lowered by applying the second control pulse. The second control pulse is applied such that the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 gradually approaches the end voltage.

制御パルスは、パルスの強度に応じた電荷をフローティングゲートに保存する。例えば、パルス幅が広い場合、または、パルス電圧が大きい場合、パルス1回当たりのフローティングゲートが保存する電荷の変動量が大きくなる。電荷の変動量が大きいと、モニター電圧が終了電圧を大きく超えやすくなる。そのため、モード選択部10は、モニター電圧Vmonが終了電圧に近づくほど、第2制御パルスのパルス幅または電圧の少なくとも一方を調整して、第2制御パルスの強度を小さくする。なお、モード選択部10は、第2制御パルスが印加されて、モニター電圧Vmonが終了電圧よりも小さくなった場合、第1制御パルスをコントロールゲートに入力してもよい。これによりモニター電圧Vmonを終了電圧に近づけられる。このような処理を、モニター電圧Vmonと終了電圧との差が許容範囲となるまで続行する。   The control pulse stores charge corresponding to the intensity of the pulse in the floating gate. For example, when the pulse width is wide or when the pulse voltage is large, the amount of fluctuation of charge stored by the floating gate per pulse is large. If the amount of charge fluctuation is large, the monitor voltage is likely to greatly exceed the termination voltage. Therefore, as the monitor voltage Vmon approaches the end voltage, the mode selection unit 10 adjusts at least one of the pulse width or the voltage of the second control pulse to reduce the intensity of the second control pulse. The mode selection unit 10 may input the first control pulse to the control gate when the second control pulse is applied and the monitor voltage Vmon becomes smaller than the end voltage. Thus, the monitor voltage Vmon can be brought close to the end voltage. Such processing is continued until the difference between the monitor voltage Vmon and the end voltage is in the allowable range.

なお、モード選択部10は、VPP端子、DATA端子、SCLK端子及びPULSE端子に接続される。モード選択部10は、VPP端子から入力される電圧により、制御パルスの電圧を制御する。また、モード選択部10は、PULSE端子から入力される周期信号により、制御パルスのパルス幅を制御する。SCLK端子は、モード選択部10の動作クロックとなるクロック信号をモード選択部10に出力する。DATA端子は、テストモードに関するデータ信号をモード選択部10に出力する。   The mode selection unit 10 is connected to the VPP terminal, the DATA terminal, the SCLK terminal, and the PULSE terminal. The mode selection unit 10 controls the voltage of the control pulse according to the voltage input from the VPP terminal. In addition, the mode selection unit 10 controls the pulse width of the control pulse by the periodic signal input from the PULSE terminal. The SCLK terminal outputs a clock signal serving as an operation clock of the mode selection unit 10 to the mode selection unit 10. The DATA terminal outputs a data signal related to the test mode to the mode selection unit 10.

図32は、基準電圧設定モードにおける電圧検出器100の動作の一例を示す。本例の電圧検出器100は、第1基準電圧生成部21の第1書込MOSトランジスタM1wへの書き込みを行う状態を示す。本例で用いられる構成は、太線で示される。   FIG. 32 shows an example of the operation of the voltage detector 100 in the reference voltage setting mode. The voltage detector 100 in the present example shows a state in which the first reference voltage generation unit 21 writes data to the first write MOS transistor M1 w. The configuration used in this example is indicated by a bold line.

第1書込MOSトランジスタM1wへの書き込みは、図30で示した第2書込MOSトランジスタM2wへの書き込みを行う場合と、第1基準電圧生成部21にカレントミラー61の出力が入力されない点で異なる。その他の構成は、基本的に図30の場合と同一である。   Writing to the first write MOS transistor M1w is performed when writing to the second write MOS transistor M2w shown in FIG. 30 and in that the output of the current mirror 61 is not input to the first reference voltage generation unit 21. It is different. The other configuration is basically the same as that of FIG.

図33は、第1書込MOSトランジスタM1wへの書き込み動作を示す。縦軸はモニター電圧[V]を示して、横軸は時刻tを示す。第1書込MOSトランジスタM1wには、モード選択部10から制御パルスが入力される。   FIG. 33 shows a write operation to the first write MOS transistor M1w. The vertical axis indicates the monitor voltage [V], and the horizontal axis indicates time t. A control pulse is input from the mode selection unit 10 to the first write MOS transistor M1 w.

まず、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに第1制御パルスを印加して、第1書込MOSトランジスタM1wのフローティングゲートに蓄積された電荷の状態を、予め定められた初期状態に設定する。これにより、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonは低下する。第1制御パルスは、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonが終了電圧よりも十分小さくなるまで第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに印加される。   First, a first control pulse is applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w to set the state of the charge accumulated in the floating gate of the first write MOS transistor M1w to a predetermined initial state. . As a result, the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 decreases. The first control pulse is applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w until the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 becomes sufficiently smaller than the end voltage.

次に、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに第2制御パルスを印加して、第1書込MOSトランジスタM1wのフローティングゲートに蓄積された電荷の状態を制御する。第2制御パルスは、第1制御パルスとは正負の極性が逆のパルスである。本例では、第2制御パルスを印加することで、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonは増加する。第2制御パルスは、基準電圧生成部20のモニター電圧Vmonを終了電圧に徐々に近づくように調整される。   Next, a second control pulse is applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w to control the state of the charge accumulated in the floating gate of the first write MOS transistor M1w. The second control pulse is a pulse whose positive / negative polarity is opposite to that of the first control pulse. In this example, the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 is increased by applying the second control pulse. The second control pulse is adjusted so that the monitor voltage Vmon of the reference voltage generation unit 20 gradually approaches the end voltage.

第1書込MOSトランジスタM1wへの書き込み動作の場合も、モード選択部10は、モニター電圧Vmonが終了電圧に近づくほど、第2制御パルスのパルス幅または電圧の少なくとも一方を調整して、第2制御パルスの強度を小さくする。基準電圧設定モードは、モニター電圧Vmonが終了電圧と略一致した場合に終了する。モニター電圧Vmonが終了電圧と略一致するとは、必ずしも完全に一致する必要はなく、使用状況により実質的に一致するとみなされる程度であってよい。   Also in the case of the write operation to the first write MOS transistor M1w, the mode selection unit 10 adjusts at least one of the pulse width or the voltage of the second control pulse as the monitor voltage Vmon approaches the end voltage, Reduce the strength of the control pulse. The reference voltage setting mode ends when the monitor voltage Vmon substantially matches the end voltage. The fact that the monitor voltage Vmon substantially matches the end voltage does not necessarily have to completely match, but may be considered to substantially match depending on the use situation.

図34は、本実施形態に係る基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。各構成は、図26に示した基準電圧生成部20の回路構成と同一である。実動作モードにおいて基準電圧生成部20が基準電圧Vrefを出力している状態では、図34に示すようにスイッチは以下のように制御される。
SWl:Vss
SW2:Vss
SW3、SW4:OPEN
SW5、SW7:SHORT(接続)
SW9、SW10:任意
FIG. 34 shows an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20 according to the present embodiment. Each configuration is the same as the circuit configuration of reference voltage generation unit 20 shown in FIG. When the reference voltage generation unit 20 outputs the reference voltage Vref in the actual operation mode, the switches are controlled as follows as shown in FIG.
SWl: Vss
SW2: Vss
SW3, SW4: OPEN
SW5, SW7: SHORT (connection)
SW9, SW10: Any

基準電圧生成部20は、スイッチが本例の通り制御された状態で、ディプレッション状態に設定された第1MOSトランジスタM1w、r、及び、エンハンスメント状態に設定された第2MOSトランジスタM2w、rを用いて、基準電圧Vrefを生成する。   The reference voltage generation unit 20 uses the first MOS transistors M1 w and r set to the depletion state and the second MOS transistors M2 w and r set to the enhancement state in a state where the switches are controlled as in this example. A reference voltage Vref is generated.

基準電圧生成部20の出力する基準電圧Vrefは、調整シーケンス(1)から(5)を用いて調整される。
<調整シーケンス(1)>
図35は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。モード選択部10は、第1MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに制御パルスを印加することで、第1MOSトランジスタM1w、rのフローティングゲートが保存する電荷の状態を基準状態にする。本例では、第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧が、基準電圧生成部20に設定すべき基準電圧Vrefよりも十分高くなるように制御する。調整シーケンス(1)において、スイッチは以下のように制御される。これにより、第1MOSトランジスタM1から第2MOSトランジスタM2に電流が流れない状態にする。
SWl:Vss
SW2:Vss
SW3:SHORT
SW4:OPEN
SW5、SW7:OPEN
SW9:Vpp
SW10:任意
The reference voltage Vref output from the reference voltage generation unit 20 is adjusted using adjustment sequences (1) to (5).
<Adjustment sequence (1)>
FIG. 35 shows an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. The mode selection unit 10 applies a control pulse to the control gate of the first MOS transistor M1w to set the state of the charge stored by the floating gate of the first MOS transistor M1w, r to the reference state. In this example, the threshold voltage of the first MOS transistors M1 w and r is controlled to be sufficiently higher than the reference voltage Vref to be set in the reference voltage generation unit 20. In the adjustment sequence (1), the switches are controlled as follows. As a result, no current flows from the first MOS transistor M1 to the second MOS transistor M2.
SWl: Vss
SW2: Vss
SW3: SHORT
SW4: OPEN
SW5, SW7: OPEN
SW9: Vpp
SW10: Optional

<調整シーケンス(2)>
図36は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。モード選択部10は、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに第1制御パルスを印加することで、第2MOSトランジスタM2w、rを、図31において説明した初期状態に設定する。調整シーケンス(2)において、スイッチは以下のように制御される。
SWl:Vss
SW2:Vss
SW3:OPEN
SW4:SHORT
SW5、SW7:OPEN
SW9:任意
SW10:Vpp
<Adjustment sequence (2)>
FIG. 36 shows an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. The mode selection unit 10 sets the second MOS transistors M2 w and r to the initial state described in FIG. 31 by applying a first control pulse to the control gate of the second write MOS transistor M2 w. In the adjustment sequence (2), the switches are controlled as follows.
SWl: Vss
SW2: Vss
SW3: OPEN
SW4: SHORT
SW5, SW7: OPEN
SW9: Optional SW10: Vpp

<確認シーケンス>
なお、調整シーケンス(2)及び後述する調整シーケンス(3)における第2MOSトランジスタM2w、rの状態は、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefをモニターすることで判別できる。
図37は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。本例の電圧検出器100は、第2出力MOSトランジスタM2rに調整用電流Irefを流すことにより、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefを確認する。確認シーケンスにおいて、スイッチは以下のように制御される。
SWl、SW2:Vss
SW3、SW4、SW5:OPEN
SW7:SHORT
SW9、SW10:任意
<Confirmation sequence>
The state of the second MOS transistors M2w and r in the adjustment sequence (2) and the adjustment sequence (3) described later can be determined by monitoring the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20.
FIG. 37 shows an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. The voltage detector 100 of the present example checks the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20 by supplying the adjustment current Iref to the second output MOS transistor M2r. In the verification sequence, the switches are controlled as follows.
SWl, SW2: Vss
SW3, SW4, SW5: OPEN
SW7: SHORT
SW9, SW10: Any

図38は、調整シーケンス(2)における、第1制御パルスの書き込み時間に対する閾値電圧Vthの変化量を示す。縦軸は第2MOSトランジスタM2w、rの閾値電圧Vthを、横軸は第2MOSトランジスタM2w、rに対する第1制御パルスの書き込み時間を示す。   FIG. 38 shows the amount of change of the threshold voltage Vth with respect to the writing time of the first control pulse in the adjustment sequence (2). The vertical axis represents the threshold voltage Vth of the second MOS transistor M2w, r, and the horizontal axis represents the write time of the first control pulse for the second MOS transistor M2w, r.

第2MOSトランジスタM2w、rの閾値電圧Vthは、第1制御パルスの書き込み時間が増大するに伴い、図38に示すように経時的に変化する。モード選択部10は、図31において説明した初期状態になるまで、第1制御パルスを生成する。   The threshold voltage Vth of the second MOS transistor M2 w, r changes with time as shown in FIG. 38 as the write time of the first control pulse increases. The mode selection unit 10 generates the first control pulse until the initial state described in FIG. 31 is reached.

<調整シーケンス(3)>
図39は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。モード選択部10は、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに第2制御パルスを印加することで、図31において説明したように、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefを所定の終了電圧に近づける。調整シーケンス(3)においては、調整用電流Irefを第2出力MOSトランジスタM2rに流しながら、第2制御パルスを印加する。調整シーケンス(3)において、スイッチは以下のように制御される。基準電圧Vrefが予め定められた電圧より下がりすぎた場合は、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに第1制御パルスを印加して、基準電圧Vrefを増大させてよい。
SWl:Vss
SW2:Vpp
SW3:OPEN
SW4:SHORT
SW5、SW7:OPEN
SW9:任意
SW10:Vss
<Adjustment sequence (3)>
FIG. 39 illustrates an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. Mode selection unit 10 applies a second control pulse to the control gate of second write MOS transistor M2w, thereby terminating reference voltage Vref output from reference voltage generation unit 20 to a predetermined level, as described in FIG. Close to the voltage. In the adjustment sequence (3), the second control pulse is applied while supplying the adjustment current Iref to the second output MOS transistor M2r. In the adjustment sequence (3), the switches are controlled as follows. If the reference voltage Vref is lower than a predetermined voltage, the first control pulse may be applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w to increase the reference voltage Vref.
SWl: Vss
SW2: Vpp
SW3: OPEN
SW4: SHORT
SW5, SW7: OPEN
SW9: Optional SW10: Vss

図40は、調整シーケンス(2)及び(3)における閾値電圧Vthの変化を示す。縦軸は第2MOSトランジスタM2w、rの閾値電圧Vthを、横軸は時間を示す。   FIG. 40 shows changes in threshold voltage Vth in adjustment sequences (2) and (3). The vertical axis represents the threshold voltage Vth of the second MOS transistors M2w and r, and the horizontal axis represents time.

図39に係る構成では、第2MOSトランジスタM2w、rの閾値電圧Vthが、図40の調整シーケンス(3)に示すように、第2制御パルスの書き込み時間に応じて減少する。書き込み時間を調整することで第2MOSトランジスタM2w、rの閾値電圧Vthを基準電圧Vrefとなるように調整する。   In the configuration according to FIG. 39, the threshold voltage Vth of the second MOS transistors M2w and r decreases in accordance with the write time of the second control pulse as shown in the adjustment sequence (3) in FIG. By adjusting the write time, the threshold voltage Vth of the second MOS transistors M2w and r is adjusted to the reference voltage Vref.

図41は、調整シーケンス(3)と確認シーケンスを交互に行う場合の、閾値電圧Vthの変化を示す。確認シーケンスでは、第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを印加しないので、基準電圧Vrefは変化しない。モード選択部10は、調整シーケンス(3)において生成する第2制御パルスのパルス幅及び電圧を、直前の確認シーケンスで確認した基準電圧Vrefに応じて制御してよい。   FIG. 41 shows a change of the threshold voltage Vth when the adjustment sequence (3) and the confirmation sequence are alternately performed. In the confirmation sequence, the control voltage is not applied to the control gate of the second write MOS transistor M2w, so the reference voltage Vref does not change. The mode selection unit 10 may control the pulse width and voltage of the second control pulse generated in the adjustment sequence (3) according to the reference voltage Vref confirmed in the immediately preceding confirmation sequence.

調整シーケンス(3)は、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefが予め定められた値になると終了する。これにより、第2MOSトランジスタM2w、rの調整は終了する。次に、第1MOSトランジスタM1w、rを調整する。   The adjustment sequence (3) ends when the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20 reaches a predetermined value. Thus, the adjustment of the second MOS transistor M2w, r is completed. Next, the first MOS transistor M1w, r is adjusted.

<調整シーケンス(4)>
図42は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。モード選択部10は、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに第1制御パルスを印加することで、第1MOSトランジスタM1w、rを、図33において説明した初期状態に設定する。調整シーケンス(4)において、スイッチは以下のように制御される。
SWl:Vpp
SW2:Vss
SW3:SHORT
SW4、SW5、SW7:OPEN
SW9:Vss
SW10:任意
<Adjustment sequence (4)>
FIG. 42 shows an example of the circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. The mode selection unit 10 applies the first control pulse to the control gate of the first write MOS transistor M1 w to set the first MOS transistors M1 w and r in the initial state described in FIG. In the adjustment sequence (4), the switches are controlled as follows.
SWl: Vpp
SW2: Vss
SW3: SHORT
SW4, SW5, SW7: OPEN
SW9: Vss
SW10: Optional

<調整シーケンス(5)>
図43は、基準電圧生成部20の回路構成の一例を示す。モード選択部10は、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに第2制御パルスを印加することで、図33において説明したように、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefを所定の終了電圧に近づける。なお、調整シーケンス(4)及び(5)においては、外部から調整用電流Irefが印加されない。ただし、第1MOSトランジスタM1w、rが、調整用電流Irefに対応する電流を生成する。調整シーケンス(5)において、スイッチは以下のように制御される。
SWl:Vss
SW2:Vss
SW3:SHORT
SW4:OPEN
SW5、SW7:OPEN
SW9:Vpp
SW10:任意
<Adjustment sequence (5)>
FIG. 43 illustrates an example of a circuit configuration of the reference voltage generation unit 20. The mode selection unit 10 applies the second control pulse to the control gate of the first write MOS transistor M1w, thereby terminating the reference voltage Vref output from the reference voltage generation unit 20 to a predetermined level, as described in FIG. Close to the voltage. In the adjustment sequences (4) and (5), the adjustment current Iref is not applied from the outside. However, the first MOS transistors M1w and r generate a current corresponding to the adjustment current Iref. In the adjustment sequence (5), the switches are controlled as follows.
SWl: Vss
SW2: Vss
SW3: SHORT
SW4: OPEN
SW5, SW7: OPEN
SW9: Vpp
SW10: Optional

図44は、調整シーケンス(4)及び(5)における閾値電圧Vthの変化を示す。縦軸は第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧Vthを、横軸は時間を示す。調整シーケンス(4)において、第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧Vthは、第1制御パルスの書き込み時間が増大するに伴い、図44に示すように経時的に減少する。モード選択部10は、図33において説明した初期状態になるまで、第1制御パルスを生成する。   FIG. 44 shows changes in threshold voltage Vth in adjustment sequences (4) and (5). The vertical axis represents the threshold voltage Vth of the first MOS transistors M1 w and r, and the horizontal axis represents time. In the adjustment sequence (4), the threshold voltage Vth of the first MOS transistors M1 w and r decreases with time as shown in FIG. 44 as the write time of the first control pulse increases. The mode selection unit 10 generates the first control pulse until the initial state described in FIG. 33 is reached.

調整シーケンス(5)では、第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧Vthが、第2制御パルスの書き込み時間に応じて増大する。書き込み時間を調整することで第1MOSトランジスタM1w、rの閾値電圧Vthを基準電圧Vrefとなるように調整する。確認シーケンスでは、第1書込MOSトランジスタM1wのコントロールゲートに制御パルスを印加しないので、基準電圧Vrefは変化しない。モード選択部10は、調整シーケンス(5)において生成する第2制御パルスのパルス幅及び電圧を、直前の確認シーケンスで確認した基準電圧Vrefに応じて制御してよい。   In the adjustment sequence (5), the threshold voltage Vth of the first MOS transistors M1 w and r increases in accordance with the write time of the second control pulse. By adjusting the write time, the threshold voltage Vth of the first MOS transistors M1 w and r is adjusted to be the reference voltage Vref. In the confirmation sequence, the control voltage is not applied to the control gate of the first write MOS transistor M1w, so the reference voltage Vref does not change. The mode selection unit 10 may control the pulse width and voltage of the second control pulse generated in the adjustment sequence (5) in accordance with the reference voltage Vref confirmed in the immediately preceding confirmation sequence.

調整シーケンス(5)は、基準電圧生成部20が出力する基準電圧Vrefが予め定められた値になると終了する。これにより、第1MOSトランジスタM1w、rの調整は終了し、基準電圧生成部20の調整が終了する。なお、調整シーケンス(4)及び(5)における基準電圧Vrefを確認する場合、各スイッチは実動作時と同様に制御されてよい。例えば各スイッチは、図26に示した例と同様に制御される。   The adjustment sequence (5) ends when the reference voltage Vref output by the reference voltage generation unit 20 reaches a predetermined value. Thus, the adjustment of the first MOS transistors M1 w and r is completed, and the adjustment of the reference voltage generation unit 20 is completed. When the reference voltage Vref in the adjustment sequences (4) and (5) is confirmed, each switch may be controlled in the same manner as in actual operation. For example, each switch is controlled similarly to the example shown in FIG.

図45は、カレントミラー61の接続例を示す図である。本例のモード選択部10は、ゲート制御部として動作する書き込み回路15を備える。書き込み回路15は、図26から図44に関連して説明したスイッチSW1からSW10を制御することで、基準電圧生成部20の第1書込MOSトランジスタM1w及び第2書込MOSトランジスタM2wのコントロールゲートに制御パルスを入力する。   FIG. 45 shows an example of connection of the current mirror 61. As shown in FIG. The mode selection unit 10 of this example includes a write circuit 15 that operates as a gate control unit. The write circuit 15 controls the switches SW1 to SW10 described with reference to FIGS. 26 to 44 to control the control gates of the first write MOS transistor M1 w and the second write MOS transistor M2 w of the reference voltage generation unit 20. Input control pulse to.

カレントミラー61は、基準電圧設定モードにおいて、電圧検出器100の外部から入力された外部電流IREFに基づいて、外部電流IREFよりも小さい調整用電流Irefを生成する。例えば、カレントミラー61は、電圧検出器100の外部から入力された外部電流IREFに基づいて、n分の1の大きさの調整用電流Irefを生成する。本例のカレントミラー61は、第1出力MOSトランジスタM1rと共通の外部端子に接続される。カレントミラー61は、当該外部端子から入力される外部電流IREFに基づいて、外部電流IREFより小さい微小な調整用電流Irefを生成する。   The current mirror 61 generates the adjustment current Iref smaller than the external current IREF based on the external current IREF input from the outside of the voltage detector 100 in the reference voltage setting mode. For example, based on the external current IREF input from the outside of the voltage detector 100, the current mirror 61 generates an adjustment current Iref of 1 / n. The current mirror 61 of this example is connected to an external terminal common to the first output MOS transistor M1r. The current mirror 61 generates a minute adjustment current Iref smaller than the external current IREF based on the external current IREF input from the external terminal.

また、カレントミラー61と、基準電圧生成部20の出力端子との間には、スイッチSW0が設けられる。各調整シーケンスに応じて、モード選択部10は、スイッチSW0を制御する。例えば、調整シーケンス(3)においては、モード選択部10は、スイッチSW0をオンにする。また、調整シーケンス(4)、(5)においては、モード選択部10は、スイッチSW0をオフにして、第2出力MOSトランジスタM2rに流れる調整用電流Irefを遮断する。   Further, a switch SW0 is provided between the current mirror 61 and the output terminal of the reference voltage generation unit 20. The mode selection unit 10 controls the switch SW0 according to each adjustment sequence. For example, in the adjustment sequence (3), the mode selection unit 10 turns on the switch SW0. Further, in the adjustment sequences (4) and (5), the mode selection unit 10 turns off the switch SW0 to cut off the adjustment current Iref flowing to the second output MOS transistor M2r.

本例の基準電圧Vrefの設定方法は、調整シーケンス(1)において第1MOSトランジスタM1w、rのフローティングゲートに蓄積された電荷が基準状態に設定された状態で、調整シーケンス(3)において第2出力MOSトランジスタM2rに調整用電流Irefが入力される。そのため、第2出力MOSトランジスタM2rに調整用電流Irefが流れる場合に、第1出力MOSトランジスタM1rから第2出力MOSトランジスタM2rに電流が流れない。このため、第2MOSトランジスタM2w、rの設定精度が向上する。よって、第1出力MOSトランジスタM1rのドレイン端に、ディプレッション型MOSトランジスタM1rに蓄積された電荷の影響を遮断するためのスイッチを設ける必要がない。   In the setting method of the reference voltage Vref of this example, the second output in the adjustment sequence (3) with the charge accumulated in the floating gate of the first MOS transistor M1 w, r in the adjustment sequence (1) set to the reference state The adjustment current Iref is input to the MOS transistor M2r. Therefore, when the adjustment current Iref flows in the second output MOS transistor M2r, no current flows from the first output MOS transistor M1r to the second output MOS transistor M2r. Therefore, the setting accuracy of the second MOS transistors M2 w and r is improved. Therefore, it is not necessary to provide a switch for blocking the influence of the charge stored in the depletion type MOS transistor M1r at the drain end of the first output MOS transistor M1r.

図46は、実動作モードにおける電圧検出器100の構成の一例を示す。電圧検出器100は、モード選択部10が実動作モードを選択した場合、VIN端子、OUT端子、GND端子を使用する。電圧検出器100は、VIN端子から入力された電圧が予め定められた検出電圧以上か否かを検出して、OUT端子に出力する。   FIG. 46 shows an example of the configuration of the voltage detector 100 in the actual operation mode. The voltage detector 100 uses the VIN terminal, the OUT terminal, and the GND terminal when the mode selection unit 10 selects the actual operation mode. The voltage detector 100 detects whether the voltage input from the VIN terminal is equal to or higher than a predetermined detection voltage, and outputs the voltage to the OUT terminal.

第1基準電圧生成部21は、基準電圧VrefHを出力する。また、第2基準電圧生成部22は、基準電圧VrefLを出力する。コンパレータ50には、基準電圧(VrefH、VrefL)及び入力電圧Vinが入力される。コンパレータ50は、OUT端子に基準電圧(VrefH、VrefL)及び入力電圧Vinに応じた信号を出力する。   The first reference voltage generation unit 21 outputs a reference voltage VrefH. Further, the second reference voltage generation unit 22 outputs the reference voltage VrefL. The reference voltage (VrefH, VrefL) and the input voltage Vin are input to the comparator 50. The comparator 50 outputs a signal corresponding to the reference voltage (VrefH, VrefL) and the input voltage Vin to the OUT terminal.

電圧選択部40は、コンパレータ50の出力に応じて、基準電圧(VrefH、VrefL)を選択する。電圧選択部40は、選択した基準電圧(VrefH、VrefL)をコンパレータ50に入力する。これにより、CMOSインバータ51の検出電圧Vdetは、ヒステリシス動作すべくコンパレータ50の出力に応じて変更される。   The voltage selection unit 40 selects the reference voltage (VrefH, VrefL) according to the output of the comparator 50. The voltage selection unit 40 inputs the selected reference voltage (VrefH, VrefL) to the comparator 50. Thus, the detection voltage Vdet of the CMOS inverter 51 is changed in accordance with the output of the comparator 50 in order to perform hysteresis operation.

図47は、基準電圧生成部20における第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2の他の接続例を示す。なお、図47(a)の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2は、図23(a)の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2と同様の素子である。図47(b)の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2は、図23(b)の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2と同様の不揮発性記憶素子である。   FIG. 47 shows another connection example of the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 in the reference voltage generation unit 20. The first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 of FIG. 47 (a) are elements similar to the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 of FIG. 23 (a). The first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 in FIG. 47 (b) are non-volatile memory elements similar to the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 in FIG. 23 (b).

本例においては、第1MOSトランジスタM1のゲートが第2MOSトランジスタM2のソース端子に接続される。また、第1MOSトランジスタM1のソース、第2MOSトランジスタM2のドレイン、及び、第2MOSトランジスタM2のゲートは互いに接続される。基準電圧生成部20は、当該接続点から、基準電圧Vrefを出力する。   In this example, the gate of the first MOS transistor M1 is connected to the source terminal of the second MOS transistor M2. The source of the first MOS transistor M1, the drain of the second MOS transistor M2, and the gate of the second MOS transistor M2 are connected to each other. The reference voltage generation unit 20 outputs the reference voltage Vref from the connection point.

図26に示した構成において、書込側及び出力側の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2は、図47における第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2と同一の接続を有してよい。この場合であっても、本願明細書において説明した方法と同様の方法で、書込側及び出力側の第1MOSトランジスタM1及び第2MOSトランジスタM2を設定することができる。   In the configuration shown in FIG. 26, the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 on the write side and the output side may have the same connection as the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 in FIG. Even in this case, it is possible to set the first MOS transistor M1 and the second MOS transistor M2 on the write side and the output side in the same manner as the method described in the specification of this application.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It is apparent to those skilled in the art that various changes or modifications can be added to the above embodiment. It is also apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such alterations or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The execution order of each process such as operations, procedures, steps, and steps in the apparatuses, systems, programs, and methods shown in the claims, the specification, and the drawings is particularly “before”, “preceding” It is to be noted that “it is not explicitly stated as“ etc. ”and can be realized in any order as long as the output of the previous process is not used in the later process. With regard to the flow of operations in the claims, the specification and the drawings, even if it is described using “first,” “next,” etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

10・・・モード選択部、15・・・書き込み回路、20・・・基準電圧生成部、21・・・第1基準電圧生成部、22・・・第2基準電圧生成部、23・・・REFB回路、40・・・電圧選択部、50・・・コンパレータ、51・・・CMOSインバータ、52・・・出力回路、53・・・定電流回路、54・・・定電流源、55・・・制御ロジック、56・・・インバータ回路、60・・・テスト回路、61・・・カレントミラー、62・・・アンプ回路、70・・・不揮発性記憶素子、71・・・基板、72・・・ソース領域、73・・・ドレイン領域、74・・・トンネル酸化膜、75・・・フローティングゲート、76・・・絶縁膜、77・・・コントロールゲート、80・・・電圧計、100・・・電圧検出器、500・・・コンパレータ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Mode selection part, 15 ... Writing circuit, 20 ... Reference voltage generation part, 21 ... 1st reference voltage generation part, 22 ... 2nd reference voltage generation part, 23 ... REFB circuit 40: voltage selection unit 50: comparator 51: CMOS inverter 52: output circuit 53: constant current circuit 54: constant current source 55: Control logic 56 Inverter circuit 60 Test circuit 61 Current mirror 62 Amplifier circuit 70 Non-volatile memory element 71 Substrate 72 Source region 73: drain region 74: tunnel oxide film 75: floating gate 76: insulating film 77: control gate 80: voltmeter 100: 100・ Voltage detector, 500 ... Comparator

Claims (2)

ソース端子に入力電圧が入力され、ゲート端子に基準電圧が入力される第1導電型のトランジスタと、
前記第1導電型のトランジスタのドレイン端子に電気的に接続される定電流回路と
を備え、
前記第1導電型のトランジスタと前記定電流回路との接続ノードから、前記入力電圧及び前記基準電圧に基づいた出力電圧を出力し、
前記定電流回路は、第2導電型のトランジスタを有し、
前記第2導電型のトランジスタのドレイン端子が、前記第1導電型のトランジスタのドレイン端子に電気的に接続され、
前記第2導電型のトランジスタは、フローティングゲートを有し、
前記定電流回路は、
前記第2導電型のトランジスタのゲート端子に電気的に接続されたゲート端子、及び、前記第2導電型のトランジスタの前記フローティングゲートに電気的に接続されたフローティングゲートを有する第1出力MOSトランジスタと、
前記第1出力MOSトランジスタ及び前記第2導電型のトランジスタの前記フローティングゲートに電気的に接続されたフローティングゲートを有する第1書込MOSトランジスタと
をさらに備え、
前記第1出力MOSトランジスタのゲート端子は、前記第1出力MOSトランジスタのドレイン端子に電気的に接続され、
前記第1書込MOSトランジスタは、前記フローティングゲートに注入される電荷がトンネルするトンネル酸化膜を有する電圧検出器。
A transistor of a first conductivity type in which an input voltage is input to a source terminal and a reference voltage is input to a gate terminal;
A constant current circuit electrically connected to the drain terminal of the first conductivity type transistor;
An output voltage based on the input voltage and the reference voltage is output from a connection node between the transistor of the first conductivity type and the constant current circuit,
The constant current circuit includes a transistor of a second conductivity type,
The drain terminal of the transistor of the second conductivity type is electrically connected to the drain terminal of the transistor of the first conductivity type,
The transistor of the second conductivity type has a floating gate,
The constant current circuit is
A first output MOS transistor having a gate terminal electrically connected to the gate terminal of the transistor of the second conductivity type, and a floating gate electrically connected to the floating gate of the transistor of the second conductivity type; ,
And a first write MOS transistor having a floating gate electrically connected to the floating gate of the first output MOS transistor and the second conductivity type transistor.
The gate terminal of the first output MOS transistor is electrically connected to the drain terminal of the first output MOS transistor.
The first write MOS transistor is a voltage detector having a tunnel oxide film through which charges injected to the floating gate tunnel.
前記第1出力MOSトランジスタのドレイン端子の電圧は、前記基準電圧よりも低い請求項に記載の電圧検出器。 The voltage at the drain terminal of the first output MOS transistor, a voltage detector according to a low claim 1 than the reference voltage.
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