JP6502551B1

JP6502551B1 - ノズル及びその製造方法

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Publication number: JP6502551B1
Application number: JP2018089486A
Authority: JP
Inventors: 孝司中村; 光彦寺下; 綾佑中村; 将史北條; 拓哉川脇; 昌彦平紙; 佳信川上
Original assignee: TEIKOKU ION CO., LTD.
Current assignee: TEIKOKU ION CO., LTD.
Priority date: 2018-05-07
Filing date: 2018-05-07
Publication date: 2019-04-17
Anticipated expiration: 2038-05-07
Also published as: JP2019195813A

Abstract

【課題】溶接等によって発生する飛散物がノズル内部に付着しにくく、ノズル内部の摩耗及び変形を防止しやすいノズルを提供する。
【解決手段】本発明のノズル１は、内部に流路１０が形成され、先端に噴射口１１を備える。前記流路１０の壁面１２がめっき層２で被覆されている。本発明のノズルの製造方法は、流路１０に電極３０を配置して電気めっきを行うことで前記流路１０の壁面をめっき層２で被覆させる工程を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、ノズル及びその製造方法に関する。

レーザー溶断機、プラズマ溶断機及びガス溶断機等の各種機器には、噴射口を有するノズルが先端部分に取り付けられる。ノズル内部に形成される流路を通じて、噴射口から高温のガス等が噴出され、対象物に到達する。

このようにノズルの噴射口からは高温のガスが噴出するので、例えば、対象物が溶接されるにあたり、対象物の溶融物等の飛散物がノズルに到達し、ノズルに付着あるいはノズルを腐食させることがある。これを防止すべく、例えば、ノズル部材に対して耐食めっきを施す技術（例えば、特許文献１等）、あるいは硬質炭素膜を施す技術（例えば、特許文献２等）が提案されており、ノズルの耐久性を向上させることが行われている。

特開平５−２０９５７５号公報特開平１０−６２２２号公報

しかしながら、前記飛散物は噴射口及び噴射口からノズル内部に到達することもあり、これにより、ノズルの噴射口を塞いだり、噴射口及び内部が腐食したりする等の問題があり、ノズルの耐久性の低下を引き起こす原因となっていた。また、特許文献２に開示される技術のように、ノズルの内面にまで硬質炭素膜を施す技術であっても、ノズルの耐久性をわずかに延ばせるに過ぎず、特に、噴射口の孔径が小さいノズル内面に対して硬質炭素膜の皮膜を形成することが困難であった。内面に耐食めっきを施すことは、実現不可能な技術であると認識されており、ノズル内面には、ノズルの素材そのものを露出せざるを得なかった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、溶接等によって発生する飛散物がノズル内部に付着しにくく、ノズル内部の摩耗及び変形を防止しやすいノズルを提供することを目的とする。

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、ノズル内の流路の壁面にめっき層を形成することにより、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、例えば、以下の項に記載の主題を包含する。
項１
内部に流路が形成され、先端に噴射口を備えたノズルにおいて、
前記流路の壁面がめっき層で被覆されている、ノズル。
項２
前記噴射口の孔径が３ｍｍ以下である、項１に記載のノズル。
項３
前記壁面に被覆されているめっき層は、噴射口に近い程厚くなる、項１又は２に記載のノズル。
項４
前記めっき層は、クロム、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、コバルト、ニッケル及びオスミウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属を含む、項１〜３のいずれか１項に記載のノズル。
項５
内部に流路が形成され、先端に噴射口を備えたノズルの製造方法において、
前記流路に電極を配置して電気めっきを行うことで前記流路の壁面をめっき層で被覆させる工程を備える、ノズルの製造方法。

本発明のノズルは、ノズル内の流路の壁面にめっき層が形成されているので、溶接等によって発生する飛散物がノズル内部に付着しにくく、ノズル内部の摩耗及び変形を防止しやすい。この結果、本発明のノズルは、長期間にわたって内部の腐食及び閉塞等が防止されやすく、耐久性に優れる。

本発明のノズルに係る実施形態の一例であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）は断面図である。本発明のノズルの製造方法に係る実施形態の一例であり、ノズル内部の流路壁面にめっき層を被覆させる工程を説明する断面の模式図である。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。

１．ノズル
図１は、本発明のノズルに係る実施形態の一例である。図１（ａ）はノズルの側面図、（ｂ）は断面図である。以下、本発明のノズルを、図１の実施形態のノズルにより説明する。

本実施形態のノズル１は、内部に流路１０が形成され、先端に噴射口１１を備え、前記流路１０の壁面１２がめっき層２で被覆されている。流路１０は、例えば、ガスあるいはレーザー等が通過するための空間である。ガスあるいはレーザー等は、流路１０を通過して、噴射口１１から噴出される。

本実施形態のノズル１は、流路１０の壁面１２がめっき層２で被覆されていることで、溶接等によって発生する飛散物がノズル１内部に付着しにくく、ノズル１内部の摩耗及び変形を防止しやすい。

本実施形態のノズル１は、例えば、レーザー溶接機及びプラズマ溶断機等の各種機器に適用され得る。図１では示していないが、ノズル１は、レーザー溶断機、プラズマ溶断機及びガス溶断機等が備える各種機械部品（例えば、保持部材）に連結される。例えば、ノズル１は、連結部５０で、各種機械部品と螺合して連結され得る。連結部５０は、通常、図１に示すように、ノズル１の噴射口１１とは逆側の端部に形成される。

なお、本明細書において、ノズル１の連結部５０側を「上流側」と表記する。

ノズル１を形成するための材料は特に限定されず、例えば、公知の材料を広く適用することができる。具体的には、ノズル１を形成するための材料として、銅、真鍮、ステンレス、りん青銅等を挙げることができる。ノズル１は、１種単独の材料で形成されていてもよいし、２種以上の材料で形成されていてもよい。

本実施形態のノズル１の形状は、流路１０及び噴射口１１が形成されている限りは特に限定されず、例えば、公知のノズルの形状を広く採用することができる。

噴射口１１は、ノズル１の先端部１７に形成されている。ここでいうノズル１の先端とは、ノズル１内からガス等が噴出する方向の先端をいう。噴射口１１は、ノズル１の先端部１７の一部が打ち抜かれて孔として形成される。

図１（ｂ）に示すように、噴射口１１は、流路１０と連通するように設けられている。噴射口１１は、例えば、平面視で円形又は楕円形に形成される。

噴射口１１の孔径は、特に限定されず、公知のノズルと同様の大きさとすることができる。

特に本発明では、噴射口１１の孔径Ｌは、例えば、５ｍｍ以下、好ましくは３ｍｍ以下とすることができる。従来、噴射口１１の孔径Ｌが小さくなると、ノズル１の内面である流路の壁面にめっき層を形成することはなかったが、本発明のノズル１では、噴射口１１の孔径Ｌが、例えば、３ｍｍ以下であっても、流路１０の壁面１２にめっき層２が形成され得る。

噴射口１１の孔径Ｌは、５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることがより好ましく、２．５ｍｍ以下であることが特に好ましい。噴射口１１の孔径Ｌの下限値は、流路１０の壁面１２にめっき層２を形成しやすくするという観点から、例えば、１ｍｍとすることができる。

本実施形態のノズル１は、内部に流路１０が形成されている。流路１０は、ノズル１の内部を貫通するように形成されており、上流側から噴射口１１の方向に延伸するように形成されている。流路１０は管状に形成され、例えば、断面が円形に形成され得る。

流路１０の一端は、噴射口１１に到達し、ノズル１の外側と連通するように形成されている。流路１０の他端は、連結部５０の上流側の端部まで到達し、連結部５０を貫通するように形成される。流路１０は、連結部５０で連結している前述の各種機械部品に到達し、該部品の空間部と連通する。

流路１０の形状は特に限定されず、例えば、公知のノズルに形成されている流路と同様の形状とすることができる。流路１０は、例えば、図１の実施形態に示すように、上流側から噴射口１１に向かって、先細り（例えば、テーパー状）になるように形成される。

流路１０の噴射口１１側の直径は、噴射口１１の孔径Ｌと一致する。

流路１０が、例えば前述のように上流側から噴射口１１に向かって先細りになるように形成されている場合、流路１０の最大直径は、例えば、５〜１５ｍｍとすることができる。

流路１０の壁面１２は、めっき層２で被覆されている。なお、壁面１２は、ノズル１の内面ということもできる。

めっき層２は、例えば、電気めっきによって形成することができる各種の材料で形成される層である。

めっき層２は、例えば、公知のめっき層を広く適用することができる。

めっき層２は、クロム、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、コバルト、ニッケル及びオスミウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属を含むことが好ましい。この場合、めっき層２は、耐摩耗性が特に良好であり、また、対象物の溶接等に伴う飛散物等の付着も抑制されるので、ノズル１の耐久性がより向上しやすい。めっき層２に含まれる金属は１種のみとすることができ、あるいは、２種以上とすることもできる。

めっき層２は、ノズル１を形成する材料よりも融点が高く、かつ、硬い金属を含むことが好ましい。この観点から、例えば、ノズル１が銅又は真鍮等で形成されている場合は、めっき層２はクロム（特に硬質クロム）を含むことが好ましい。めっき層２に含まれる金属はクロムのみであってもよい。

めっき層２は、単層で形成することができ、あるいは、複数の層が積層した積層構造として形成することもできる。めっき層２が積層構造である場合は、各層は同一のめっき層とすることができ、あるいは、各層の一部又は全てを異なる種類のめっき層で形成することもできる。

めっき層２は、ノズル１において、流路１０の壁面１２全面を被覆するように形成されていることが好ましい。この場合、ノズル内部の摩耗及び変形が特に起こりにくく、ノズル１の耐久性が特に向上する。めっき層２が流路１０の壁面１２全面に形成されていないにしても、例えば、流路１０において噴射口１１に近づくほど、めっき層２の被覆率が大きくなることが好ましい。また、少なくとも、壁面１２の噴射口１１付近はすべてめっき層２で被覆されていることが好ましい。

流路１０の壁面１２を被覆するめっき層２の膜厚は特に限定されず、例えば、０．１〜５００μｍとすることができ、好ましくは、１〜１００μｍとすることができ、より好ましくは、５〜３０μｍとすることができる。めっき層２の膜厚は、例えば、めっき層２の断面を顕微鏡で観察して得た画像から計測することができる。めっき層２の膜厚の調節は、例えば、電気めっきの条件、例えば、電流密度を一定としてめっき時間を調整することで行える。

流路１０の壁面１２に被覆されているめっき層２は、噴射口１１に近い程厚くなることが好ましい。噴射口１１に近い程、溶接又は溶断時において、対象物の飛散物等が到達しやすいことから、噴射口１１付近のめっき層２が厚く形成されている場合は、飛散物等によるノズル１内部の腐食、閉塞及び変形等が防止されやすく、結果として、ノズル１の耐久性が向上する。

流路１０の壁面１２に被覆されているめっき層２は、噴射口１１に最も近い部分が１０〜３０μｍの厚み、噴射口１１に最も遠い部分を２〜１０μｍの厚みとすることができる。

流路１０の壁面１２に被覆されているめっき層２の表面粗さＲｚは特に限定されず、例えば、５μｍ以下とすることができる。この場合、溶接又は溶断時において、対象物の飛散物等がより付着しにくくなるので、ノズル１の耐久性が向上しやすい。なお、本明細書でいう表面粗さＲｚ（μｍ）は、ＪＩＳＢ０６０１：２００１で定義される。

ノズル１は、流路１０の壁面１２にめっき層２が形成されている限り、その他の部分にもめっき層２が形成されていてもよい。

図１（ｂ）に示すように、例えば、ノズル１の先端部１７にもめっき層２が形成され得る。あるいは、ノズル１の外周部１８にもめっき層２が形成され得る。ノズル１の先端部１７及び外周部１８の両方にめっき層２が形成されていてもよい。ここでいう外周部１８とは、例えば、連結部５０を除くノズル１の外面のことをいう。

ノズル１の先端部１７にめっき層２が形成されている場合、このめっき層２は、例えば、１〜１００μｍ、好ましくは２０〜６０μｍの膜厚とすることができる。この場合、溶接又は溶断時において、対象物の飛散物等が付着しにくく、また、飛散物等による摩耗も抑制されやすい。先端部１７にめっき層２が形成されていることで、溶接又は溶断時において、対象物の飛散物等が先端部１７に付着しにくくなり、ノズル１の耐久性が向上しやすい。

ノズル１の外周部１８にめっき層２が形成されている場合、このめっき層２は、例えば、１〜１００μｍ、好ましくは１０〜３０μｍの膜厚とすることができる。外周部１８にめっき層２が形成されていることで、溶接又は溶断時において、対象物の飛散物等が外周部１８に付着しにくくなり、ノズル１の耐久性が向上しやすい。

ノズル１は、壁面１２、先端部１７及び外周部１８以外の他の部分にもめっき層２が形成されていてもよい。当該他の部分のめっき層２の厚みは、例えば、５〜２０μｍとすることができる。

ノズル１の先端部１７に形成されるめっき層２は、流路１０の壁面１２に被覆されているめっき層２の種類と同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、ノズル１の外周部１８に形成されるめっき層２は、流路１０の壁面１２に被覆されているめっき層２の種類と同一であってもよいし、異なっていてもよい。

ノズル１の先端部１７及び外周部１８に形成されるめっき層２の表面粗さＲｚは特に限定されず、例えば、５μｍ以下とすることができる。

本実施形態のノズル１は、内面にめっき層２が形成されていることで、変形が抑制され、この結果、例えば、ノズル１を使用したレーザー加工において、ノズル１中央のレーザー集光回路に干渉しにくいため、高精度な加工を継続して行うことが可能となる。

また、本実施形態のノズル１は、熱変形も抑制され、かつ、連結部５０で連結される機械部品等への熱伝導も抑制されるので、長時間連続的に使用しても安定な加工を行うことができる。

本実施形態のノズル１は、各種機器に取り付けることが可能であり、例えば、レーザー溶断機、プラズマ溶断機、ガス溶断機等に好適に使用することができる。

２．ノズルの製造方法
本発明のノズル１の製造方法は特に限定されない。本発明のノズル１の製造方法の一例として、前記実施形態のノズル１を例に説明する。

本実施形態のノズル１の製造方法は、前記流路１０に電極３０を配置して電気めっきを行うことで前記流路１０の壁面１２をめっき層２で被覆させる工程を備えることができる。以下、この工程を「内部めっき工程」と表記する。

図２は、内部めっき工程の様子を説明する模式図である。

内部めっき工程は、ノズル１の壁面１２にめっき層２を形成させるための工程である。この工程では、ノズル１を準備する。ノズル１は、内部に流路１０が形成され、先端に噴射口１１を備える限り、その種類は特に限定されず、公知のノズル広く採用することができる。内部めっき工程で使用するノズル１は、壁面１２に何らの層が形成されていないものであってもよいし、めっき層２以外の層が形成されていてもよい。通常は、壁面１２に何らの層が形成されていないノズル１を準備する。なお、図２に示されるノズル１は、めっき層２が形成されていないことを除いては、図１のノズル１と同じである。

内部めっき工程において、めっき層２は、電気めっきによって形成される。この電気めっきを行うにあたり、電極３０が用いられる。

電極３０の種類は特に限定されず、例えば、電気めっきに使用することができる公知の電極を広く採用することができる。

電極３０の具体例としては、白金電極、鉛合金電極、白金コートチタン電極、酸化イリジウムコートチタン電極、鉄電極等が挙げられる。めっき層２の形成が容易である観点から、電極３０は不溶性電極であることが好ましい。

内部めっき工程において、電極３０はノズル１の流路１０に配置するので、電極３０は、棒状又は針状の形状を取り得る。

電極３０は、例えば、ノズル１の流路１０の全長よりも少なくとも長く形成されていることが好ましい。言い換えれば、電極３０は、ノズル１の流路１０に電極３０が配置された状態において電極３０の一端が、噴射口１１からノズル１の外部へ突き抜け、かつ、電極３０の他端が、連結部５０からノズル１の外部へ突き抜ける長さを有することが好ましい（図２参照）。

また、電極３０の外径は、電極３０の一端が噴射口１１を貫通できる大きさであることが好ましい。この場合、電極３０はノズル１に接触せずに、噴射口１１を貫通することが好ましい。この観点から、電極３０の外径は、０．７ｍｍ以下であることが好ましく、０．６ｍｍ以下であることがより好ましく、０．５ｍｍ以下であることが特に好ましい。なお、電極３０の外径とは、電極３０の断面が円形以外の形状である場合は、電極３０の円相当径を意味することができる。

より詳しくは、電極３０の外径は、噴射口１１の孔径に対して１／５〜２／３の範囲であることが好ましい。この場合、電極３０をノズル１に接触させずに流路１０に配置させやすく、また、めっき層２をより均一、かつ、所望の表面粗さＲｚ（例えば、５μｍ以下）で形成しやすい。

内部めっき工程において電気めっきをするにあたっては、めっき浴を使用する。なお、図２では、めっき浴は省略した状態で示している。

めっき浴の種類は特に限定されず、所望のめっき層２の成分に応じて、適宜のめっき浴を選択することができ、例えば、公知のめっき浴を広く使用することができる。

めっき浴の具体例としては、サージェント浴、ケイフッ化浴、ヒーフ浴、シュウ酸浴等を挙げることができる。これらのめっき浴も、公知のめっき浴と同じ組成を有するものを使用することができる。ここで、サージェント浴とは、例えば、無水クロム酸と硫酸を含むめっき浴であることを示す。ケイフッ化浴とは、フッ化物を含有するめっき浴であることを示す。ヒーフ浴とは、無水クロム酸と、１種又は複数の有機酸を含むめっき浴であることを示す。シュウ酸浴とは、シュウ酸を含むめっき浴であることを示す。

内部めっき工程において、電極３０をノズル１の流路１０に配置して固定する方法は特に限定されない。例えば、所定のめっき浴中にノズル１を固定し、この固定されたノズル１の噴射口１１側又は連結部５０側から電極３０を挿入して、電極３０の両端それぞれが、噴射口１１及び連結部５０を突き抜けるように配置させることができる。電極３０の両端は、例えば、適宜の方法で固定して、電極３０がノズル１に接触しないように、電極３０を保持することができる。

めっき浴中にノズル１及び電極３０を固定する方法は特に限定されず、使用する電気めっきの装置に応じて、適宜の方法を採用することができる。例えば、ノズル１は、めっき浴が収容されている容器に取り付けた適宜の固定部材により、固定され得る。また、電極３０は、容器に取り付けた適宜の固定部材により、両端を固定させることで、電極３０がノズル１に接触しないように、電極３０を保持することができる。

電気めっきの条件は特に限定されず、例えば、公知の電気めっきと同様の条件を採用することができる。例えば、めっき層２が所望の厚みになるように、電流密度、めっき時間等を適宜設定することができる。例えば、電流密度は２０〜４０Ａ／ｄｍ^２、めっき時間は３０〜６０分とすることができる。

内部めっき工程では、電極３０を正極として、ノズル１を負極として電気めっきを行うことができる。

上記内部めっき工程を経て、壁面１２がめっき処理されてめっき層１２が形成される。これにより、例えば、図１の形態に示すノズル１を得ることができる。

電極３０が流路１０に配置された状態では、図２からも判断できるように、噴射口１１に近い程、電極３０と壁面１２との距離は短い。この場合、壁面１２に形成されるめっき層２は、噴射口１１に近い程、厚く形成され得る。

前記内部めっき工程においては、めっき層２を形成させることを望まない部分には、例えば、その部分に適宜の方法で遮蔽させたノズル１を使用することができる。この場合、所望の部分のみにめっき層２を形成することができる。

図１の実施形態のノズル１のように、壁面１２以外の部分、例えば、先端部１７及び外周部１８にもめっき層２を形成する場合、その方法は特に限定されず、例えば、公知のめっき処理の方法を広く採用することができる。先端部１７及び外周部１８にもめっき処理をする場合、このめっき処理は、前記内部めっき工程によって壁面１２にめっき層２を形成した後に施すことができ、あるいは、前記内部めっき工程によって壁面１２にめっき層２を形成する前に施すこともでき、その順序に制限はない。また、壁面１２と、先端部１７及び外周部１８とのめっき処理を同時に行うこともできる。

また、壁面１２、先端部１７及び外周部１８以外の他の部分にめっき層２を形成させる場合でも、当該他の部分へのめっき処理の順序は特に限定されない。

以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例の態様に限定されるものではない。

（実施例１）
図２に示す流路と噴射口とを有する銅製の加工用ノズルを準備した。この加工用ノズルは、レーザー溶断機用であって、どの部分にもめっき層が形成されていないものであった。また、加工用ノズルの噴射口（円形）の孔径は２ｍｍであった。

まず、この加工用ノズルの先端部及び外周部にそれぞれ、４０μｍ及び２０μｍの厚みで、硬質クロムめっき層を形成させた。また、壁面以外の部分にも同様に１５μｍの厚みで、硬質クロムめっき層を形成させた。これらのめっき層は、公知の電気めっき条件により形成した。

次いで、上記のように電気めっき処理を行った加工用ノズルを、ケイフッ化浴中に適宜の方法で固定し、この加工用ノズル内部の流路を貫通させるように、外径が０．５ｍｍである白金製不溶性電極を配置した。この際、電極がノズルに接触しないように、電極を保持させた。電極の一端は噴射口を突き抜け、他端は連結部を突き抜けるようにした。電極の両端は、適宜の方法で固定することで保持させた。この状態にて、電極を正極として、加工用ノズルを負極として電気めっきを行った。電気めっきは、電流密度を２０〜４０Ａ／ｄｍ^２の範囲、めっき時間を３０〜６０分の範囲で調節して行った。これにより、加工用ノズル内部の流路の壁面に、めっき層を形成させ、試験用ノズルを得た。流路の壁面に形成されためっき層は、噴射口に近い程厚く形成されており、最大厚みが２０μｍ、最小厚みが５μｍであった。

（比較例１）
実施例１で準備した加工用ノズルと同様の加工用ノズルを準備し、この加工用ノズルの外周部のみに２０μｍの厚みで、硬質クロムめっき層を形成させた。この硬質クロムめっき層の形成も実施例１と同様の方法で行った。これにより、試験用ノズルを得た。

（評価方法）
［耐久性試験］
実施例及び比較例で得た試験用ノズルを用いて、厚みが１〜１０ｍｍである炭素鋼、低合金鋼及びステンレス鋼のそれぞれの板を、５００〜２０００ｍｍ／ｍｉｎの速度で切断加工した。切断にはＣＯ_２ガスレーザー溶断機を使用し、試験用ノズルを接続した。切断加工にあたっては、入熱エネルギーを５００〜２０００Ｊ／ｃｍとした。また、アシストガスは、炭素鋼及び低合金鋼を切断する場合は酸素、ステンレス鋼を切断する場合は窒素とした。

（評価結果）
耐久性試験の結果、比較例１で得た試験用ノズルは、１．５ヶ月程度の使用で摩耗による劣化、先端部分の変形、及び、噴射口の閉塞等が生じたことで使用不可となり、中には、５日程度で使用不可になる場合もあった。

一方、実施例１で得られた試験用ノズルは、４ヶ月以上の使用を継続しても、先端部、外周部、及び流路の壁面いずれにも摩耗による劣化及び変形は見られず、噴射口の閉塞等も見られなかった。従って、実施例１で得られた試験用ノズルは、耐久性に優れることを確認した。

また、比較例１で得た試験用ノズルを用いて溶接を連続的に行う場合は、飛散した付着物を除去すべく、使用開始から３時間でノズル冷却しなければならなかったのに対し、実施例１で得られた試験用ノズルは、使用開始から５時間以上の連続加工を行っても、冷却せずに使用を継続することができた。

１：ノズル
１０：流路
１１：噴射口
１２：壁面
１７：先端部
１８：外周部
３０：電極
５０：連結部

Claims

内部に流路が形成され、先端に噴射口を備えたノズルにおいて、
前記流路の壁面がめっき層で被覆されており、
前記壁面に被覆されているめっき層は、噴射口に近い程厚くなる、ノズル。
前記噴射口の孔径が３ｍｍ以下である、請求項１に記載のノズル。
前記めっき層は、クロム、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、コバルト、ニッケル及びオスミウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属を含む、請求項１又は２に記載のノズル。
内部に流路が形成され、先端に噴射口を備えた請求項１〜３のいずれか１項にノズルの製造方法において、
前記流路に電極を配置して電気めっきを行うことで前記流路の壁面をめっき層で被覆させる工程を備える、ノズルの製造方法。