JP6495200B2 - Support leg structure for space environment test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、宇宙環境を模擬することができる大型の真空チェンバーを有する宇宙環境試験装置の支持脚構造に関する。   The present invention relates to a support leg structure for a space environment test apparatus having a large vacuum chamber that can simulate a space environment.

宇宙環境試験装置は、真空チェンバーの内部にシュラウドと呼ばれる熱吸収壁を設置し、シュラウドを液化窒素で冷却するとともに、真空チェンバーの内部を真空ポンプで排気することにより、真空チェンバーに宇宙の冷暗黒および高真空を模擬し、人工衛星などの供試体の試験を行う装置である。人工衛星等の大型化や高性能化に伴う高度な試験を実施できる大型の真空チェンバーには、外部から伝達される振動を最小限にする防振機構を備える必要がある。   Space environment test equipment installs a heat absorption wall called shroud inside the vacuum chamber, cools the shroud with liquefied nitrogen, and evacuates the inside of the vacuum chamber with a vacuum pump. It is a device that simulates high vacuum and tests specimens such as artificial satellites. A large vacuum chamber capable of performing advanced tests associated with an increase in size and performance of an artificial satellite or the like needs to have a vibration isolation mechanism that minimizes vibrations transmitted from the outside.

大型の真空チェンバーの防振構造に関しては、通常、軸方向に伸縮可能なべローズ機構を使用することが知られている。べローズ機構とは、伸縮性や曲折性といった機能が付与された配管や継手等を指し、宇宙環境試験装置に使用されるべローズ機構は、外部から伝達された振動を吸収することによる真空チェンバーの防振対策として適用される。
例えば、特許文献1には、真空チェンバーに設けられたべローズによって、真空チャンバへの振動伝達を吸収するベローズ機構が開示されている(特許文献1中の図1参照)。
As for the vibration-proof structure of a large vacuum chamber, it is generally known to use a bellows mechanism that can expand and contract in the axial direction. The bellows mechanism refers to pipes and joints that are provided with functions such as stretchability and bendability. The bellows mechanism used in space environment test equipment is a vacuum chamber that absorbs vibrations transmitted from the outside. It is applied as an anti-vibration measure.
For example, Patent Document 1 discloses a bellows mechanism that absorbs vibration transmission to a vacuum chamber by a bellows provided in a vacuum chamber (see FIG. 1 in Patent Document 1).

特開2012−149676号公報JP 2012-149676 A

特許文献1における図1に示されるベローズ機構10においては、真空チャンバとベローズ10とを接続するフランジ部102に配設された貫通部114及び薄肉部115が振動を吸収する。しかしながら、このような構造では、フランジ102自身の強度が十分でなく、振動や偏芯を十分に吸収できないという問題があった。さらに、貫通部114及び薄肉部115を有するフランジ部102では、構造が複雑となり、ベローズ10の取り外しが困難であって、その結果、メンテナンス性が悪くなるという問題があった。   In the bellows mechanism 10 shown in FIG. 1 of Patent Document 1, the through portion 114 and the thin portion 115 disposed in the flange portion 102 that connects the vacuum chamber and the bellows 10 absorb vibration. However, such a structure has a problem that the strength of the flange 102 itself is not sufficient, and vibration and eccentricity cannot be sufficiently absorbed. Furthermore, in the flange part 102 having the through part 114 and the thin part 115, the structure is complicated, and it is difficult to remove the bellows 10. As a result, there is a problem that the maintainability is deteriorated.

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、偏芯に対応しつつ振動の吸収を達成でき、さらには、構造が簡易であって、取り外し等のメンテナンスが容易な宇宙環境試験装置の支持脚構造を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problem, and can achieve vibration absorption while dealing with eccentricity. Furthermore, the space environment has a simple structure and easy maintenance such as removal. An object of the present invention is to provide a support leg structure for a test apparatus.

(1)本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造は、真空チェンバー内に設置され、供試体が載置される内部架台を支持するものであって、
設置面に立設され、前記真空チェンバーの周壁部に形成された貫通部を貫通して前記内部架台を支持する支持脚部と、
該支持脚部が挿通されると共に上端部が前記貫通部の周縁部に取り付けられ、前記支持脚部の軸方向に伸縮可能な筒状のベローズと、
環状部材からなり、前記ベローズの下端部に取り付けられて、前記ベローズの下端部に内向きフランジ部を形成するルーズフランジと、
下面部が前記ルーズフランジの上面部に当接するように前記支持脚部に取り付けられた固定プレートと、
前記固定プレートの下面側に着脱可能に取り付けられて、前記固定プレートと協働して前記ルーズフランジを挟持することで前記ベローズを支持するベローズ受けフランジとを備えたことを特徴とするものである。
(1) The support leg structure of the space environment test apparatus according to the present invention is installed in a vacuum chamber and supports an internal frame on which a specimen is placed.
A support leg that is erected on an installation surface and that supports the internal frame by penetrating a through part formed in a peripheral wall part of the vacuum chamber;
A cylindrical bellows through which the support leg is inserted and whose upper end is attached to the peripheral part of the penetrating part, and is extendable and contractible in the axial direction of the support leg;
A loose flange that is formed of an annular member, is attached to the lower end of the bellows, and forms an inward flange at the lower end of the bellows;
A fixing plate attached to the support leg so that a lower surface part abuts on an upper surface part of the loose flange;
A bellows receiving flange that is detachably attached to the lower surface side of the fixing plate and supports the bellows by sandwiching the loose flange in cooperation with the fixing plate. .

(2)また、上記(1)に記載のものにおいて、前記ベローズ受けフランジは、周方向で分割された複数の部材からなり、前記支持脚部は、前記固定プレートの下方に着脱可能な中間脚部を有し、該中間脚部を取り外すことで前記ベローズを前記支持脚部から抜き出せる空間を形成できるようにしたことを特徴とするものである。 (2) Further, in the above (1), the bellows receiving flange is composed of a plurality of members divided in the circumferential direction, and the support leg portion is an intermediate leg that is detachable below the fixed plate. And a space in which the bellows can be extracted from the support leg by removing the intermediate leg.

本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造においては、ベローズの下端部の固定をボルト等によるのではなく、固定プレートとベローズ受けフランジによって挟持して固定するようにしたことにより、例えば支持脚部とベローズとが偏芯しているような場合であっても、ベローズを無理に変形させることなく取り付けることができ、またベローズの取付時において厳密な芯合わせも不要となる。   In the support leg structure of the space environment test apparatus according to the present invention, the lower end of the bellows is not fixed by a bolt or the like, but is fixed by being clamped by a fixing plate and a bellows receiving flange. Even when the portion and the bellows are eccentric, the bellows can be attached without being deformed forcefully, and strict alignment is not required when the bellows is attached.

本発明の実施の形態に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the support leg structure of the space environment test apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明に係る宇宙環境試験装置の全体を示す図である。It is a figure showing the whole space environment test device concerning the present invention. 本実施の形態に係る支持脚構造において、支持脚部とベローズの偏芯を説明する図である。In the support leg structure which concerns on this Embodiment, it is a figure explaining the eccentricity of a support leg part and a bellows. 本実施の形態に係る支持脚構造に用いるベローズ受けフランジの説明図である。It is explanatory drawing of the bellows receiving flange used for the support leg structure which concerns on this Embodiment. 本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造において、ベローズの取外し手順を説明する図である(その1)。FIG. 6 is a diagram for explaining a bellows removal procedure in the support leg structure of the space environment test apparatus according to the present invention (part 1); 本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造において、ベローズの取外し手順を説明する図である(その2)。(2) explaining the bellows removal procedure in the support leg structure of the space environment test apparatus according to the present invention. 本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造において、ベローズの取外し手順を説明する図である(その3)。(3) for demonstrating the removal procedure of a bellows in the support leg structure of the space environment test apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造において、ベローズの取外し手順を説明する図である(その4)。FIG. 10 is a diagram for explaining a procedure for removing the bellows in the support leg structure of the space environment test apparatus according to the present invention (part 4);

本発明の実施の形態に係る宇宙環境試験装置の支持脚構造1(以下、単に「支持脚構造1」という)は、宇宙環境試験装置100の真空チェンバー30内に設置され、供試体110が載置される内部架台20を支持するものであって、図1及び図2に示すように、設置面201に立設された支持脚部10と、ベローズ41と、ルーズフランジ43と、固定プレート45と、ベローズ受けフランジ47とを有してなるものである。   A support leg structure 1 (hereinafter simply referred to as “support leg structure 1”) of a space environment test apparatus according to an embodiment of the present invention is installed in a vacuum chamber 30 of the space environment test apparatus 100, and a specimen 110 is mounted thereon. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the supporting leg 10, the bellows 41, the loose flange 43, and the fixing plate 45 that stand on the installation surface 201 are supported. And a bellows receiving flange 47.

以下、宇宙環境試験装置100及び本実施の形態に係る支持脚構造1の各構成要素を、図1〜3に基づいて詳細に説明する。   Hereafter, each component of the space environment test apparatus 100 and the support leg structure 1 which concerns on this Embodiment is demonstrated in detail based on FIGS.

<宇宙環境試験装置>
宇宙環境試験装置100は、図2に示すように、真空チェンバー30と、真空チェンバー30内に収容されて供試体110が載置される内部架台20とを備え、人工衛星等の大型化や高性能化に伴う高度な試験を行うものであり、宇宙の冷暗黒を模擬するため、真空チェンバー30の内部は、高真空に排気され、また、極低温に冷却された状態において、光学系試験等が行われる。
<Space environment test equipment>
As shown in FIG. 2, the space environment test apparatus 100 includes a vacuum chamber 30 and an internal gantry 20 that is accommodated in the vacuum chamber 30 and on which a specimen 110 is placed. In order to perform advanced tests accompanying performance enhancement, the inside of the vacuum chamber 30 is evacuated to a high vacuum and cooled to a very low temperature in order to simulate the darkness of the universe. Is done.

そして、宇宙環境試験装置100において光学系試験等が行われる際には、該真空ポンプの運転に伴って発生する振動や、冷却に用いる冷媒の流れによる振動が光学系試験等に影響に及ぼさないように、防振対策が施される。   When an optical system test or the like is performed in the space environment test apparatus 100, vibrations generated by the operation of the vacuum pump and vibrations caused by the flow of the refrigerant used for cooling do not affect the optical system test or the like. Thus, anti-vibration measures are taken.

<真空チェンバー>
真空チェンバー30は、内部架台20を収容するチェンバー部31と、チェンバー部31の周壁部に設けられたノズル部33を有してなるものである。
チェンバー部31には、図2に示すように、円筒断面形状のステンレス鋼製の真空容器を用いることができる。
<Vacuum chamber>
The vacuum chamber 30 includes a chamber portion 31 that houses the internal gantry 20 and a nozzle portion 33 that is provided on a peripheral wall portion of the chamber portion 31.
As shown in FIG. 2, a stainless steel vacuum vessel having a cylindrical cross section can be used for the chamber portion 31.

ノズル部33は、支持脚部10が挿入される貫通部を形成するためにチェンバー部31の周壁部に設けられたものである。ノズル部33は、該周壁部に設けられた開口から設置面201に向かって、支持脚部10の軸方向に延出している。   The nozzle part 33 is provided in the peripheral wall part of the chamber part 31 in order to form the penetration part in which the support leg part 10 is inserted. The nozzle portion 33 extends in the axial direction of the support leg portion 10 from the opening provided in the peripheral wall portion toward the installation surface 201.

<支持脚部>
支持脚部10は、設置面201に立設されたものであり、上部脚部11と、中間脚部13と、下部脚部15を有してなる分割構造である。
<Support leg>
The support leg 10 is erected on the installation surface 201 and has a divided structure including an upper leg 11, an intermediate leg 13, and a lower leg 15.

上部脚部11は、内部架台20をその下面から支持するものであり、固定プレート45が取り付けられている。
中間脚部13は、上部脚部11と下部脚部15との間に配置され、上端部が上部脚部11の下端部にボルトb1により接続され、下端部がボルトb2により下部脚部15の上端に接続されることで、着脱可能になっている。
The upper leg portion 11 supports the inner mount 20 from its lower surface, and a fixed plate 45 is attached to the upper leg portion 11.
The intermediate leg 13 is disposed between the upper leg 11 and the lower leg 15, the upper end is connected to the lower end of the upper leg 11 by a bolt b1, and the lower end of the lower leg 15 by the bolt b2. It is detachable by being connected to the upper end.

中間脚部13を取り外すことでベローズ41を支持脚部10から抜き出せる空間を形成できる。なお、後述するように、ベローズ41を支持脚部10から抜き出す際に、水平方向の移動によって抜き出すには、中間脚部13の高さがベローズ41の高さよりも高く設定されていることが好ましい。もっとも、ベローズ41の抜出し時において、その姿勢を例えば斜めに変えるような場合には、中間脚部13の高さは必ずしもベローズ41の高さよりも高くする必要はない。
下部脚部15は、下端部がボルトb3により設置面201に固定されている。
A space where the bellows 41 can be extracted from the support leg 10 can be formed by removing the intermediate leg 13. As will be described later, when the bellows 41 is extracted from the support leg 10, it is preferable that the height of the intermediate leg 13 is set higher than the height of the bellows 41 in order to extract the bellows 41 by moving in the horizontal direction. . However, when the bellows 41 is extracted, for example, when the posture is changed obliquely, the height of the intermediate leg 13 does not necessarily need to be higher than the height of the bellows 41.
The lower leg portion 15 has a lower end portion fixed to the installation surface 201 by a bolt b3.

支持脚部10は、図2に示すように、除振定盤200に設けられた設置面201に立設されており、内部架台20には地盤面202からの振動が伝播することが防止されている。
なお、支持脚部10は、真空チェンバー30を真空排気する装置等から発生する振動とは絶縁された独立基礎に設けられた設置面に立設されたものであっても良い。
As shown in FIG. 2, the support leg 10 is erected on an installation surface 201 provided on the vibration isolation surface plate 200, and vibration from the ground surface 202 is prevented from propagating to the internal frame 20. ing.
The support leg 10 may be erected on an installation surface provided on an independent foundation that is insulated from vibration generated from a device or the like that evacuates the vacuum chamber 30.

本実施の形態に係る支持脚部10は、内部架台20と真空チェンバー30を複数本数で支持するものであり、その本数は、宇宙環境試験装置100の寸法に合わせて適宜選択(例えば、直径9m×長さ12mの場合では4本×2列、直径6m×長さ8mでは3本×2列)することができるが、その本数には特に制限はない。   The support legs 10 according to the present embodiment support a plurality of the internal gantry 20 and the vacuum chamber 30, and the number is appropriately selected according to the dimensions of the space environment test apparatus 100 (for example, a diameter of 9 m X 4 x 2 rows for a length of 12 m, 3 x 2 rows for a diameter of 6 m x length of 8 m), but the number is not particularly limited.

<ベローズ>
ベローズ41は、支持脚部10の軸方向に伸縮可能な筒状体からなり、真空チェンバー30と支持脚部10の間に設けられて真空チェンバーの振動を吸収して上部脚部11に振動を与えないようにするものである。
ベローズ41は、図1に示すように、その上端側がノズル部33とボルトb3によりフランジ接続されている。なお、気密を保つためにベローズ41とノズル部33との間にはOリング41aが配設されている。
ベローズ41の材質としては、例えばSUS304などのステンレス製のものを用いることができる。
<Bellows>
The bellows 41 is formed of a cylindrical body that can expand and contract in the axial direction of the support leg 10, and is provided between the vacuum chamber 30 and the support leg 10 to absorb the vibration of the vacuum chamber and vibrate the upper leg 11. It is something that should not be given.
As shown in FIG. 1, the bellows 41 is flange-connected at its upper end side by a nozzle 33 and a bolt b3. Note that an O-ring 41 a is disposed between the bellows 41 and the nozzle portion 33 in order to maintain airtightness.
As a material of the bellows 41, for example, a stainless steel material such as SUS304 can be used.

<ルーズフランジ>
ルーズフランジ43は、中央に開口部を有する環状部材からなり、開口部に支持脚部11を挿通させた状態でベローズ41の下端部にボルトb4により着脱可能に取り付けられて、ベローズ41の下端部に内向きフランジ部を形成するものである。なお、気密を保つためにルーズフランジ43とベローズ41との間にはOリング41bが配設されている。
<Loose flange>
The loose flange 43 is made of an annular member having an opening at the center, and is detachably attached to the lower end of the bellows 41 with a bolt b4 with the support leg 11 inserted through the opening. An inward flange portion is formed on the surface. Note that an O-ring 41 b is disposed between the loose flange 43 and the bellows 41 in order to maintain airtightness.

ルーズフランジ43の開口部は、ベローズ41の内径よりも小径で、ベローズ受けフランジ47の後述する取付凸部47aの外径よりも大径に設定されている。
開口部の大きさがベローズ41の内径よりも小径であることにより、取付状態において、ルーズフランジ43の内周縁は、ベローズ41の内周面よりも支持脚部10側に延出している。
また、開口部の大きさがベローズ受けフランジ47の取付凸部47aの外径よりも大径であることにより、取付状態において、取付凸部47aとルーズフランジ43の内周縁との間には隙間Sが形成されている(図1参照)。
The opening of the loose flange 43 is set to have a diameter smaller than the inner diameter of the bellows 41 and larger than an outer diameter of a mounting projection 47a (described later) of the bellows receiving flange 47.
Since the size of the opening is smaller than the inner diameter of the bellows 41, the inner peripheral edge of the loose flange 43 extends toward the support leg 10 from the inner peripheral surface of the bellows 41 in the attached state.
Further, since the size of the opening is larger than the outer diameter of the mounting convex portion 47 a of the bellows receiving flange 47, there is a gap between the mounting convex portion 47 a and the inner peripheral edge of the loose flange 43 in the mounted state. S is formed (see FIG. 1).

<固定プレート>
固定プレート45は、円環板からなり支持脚部10が挿通された状態で支持脚10と気密を保った状態で固定されており、固定された状態ではその下面部がルーズフランジ43の上面部に当接している。
そして、固定プレート45とルーズフランジ43との間には、気密を保つためにOリング45aが配設されている。
<Fixed plate>
The fixed plate 45 is formed of an annular plate and is fixed in a state of being airtight with the support leg 10 in a state where the support leg portion 10 is inserted, and in the fixed state, the lower surface portion is the upper surface portion of the loose flange 43. Abut.
An O-ring 45a is disposed between the fixed plate 45 and the loose flange 43 in order to maintain airtightness.

<ベローズ受けフランジ>
ベローズ受けフランジ47は、ルーズフランジ43の下面部を支持すると共に、固定プレート45にボルトb6により着脱可能に取り付けられ、固定プレート45と協働してルーズフランジ43を挟持することでベローズ41を支持するものである。
<Bellows receiving flange>
The bellows receiving flange 47 supports the lower surface portion of the loose flange 43 and is detachably attached to the fixing plate 45 with bolts b6, and supports the bellows 41 by sandwiching the loose flange 43 in cooperation with the fixing plate 45. To do.

ベローズ受けフランジ47は、図4に示すように、支持脚部10の周方向で例えば3分割された3つの扇形の部材を周方向に並べて配置され、全体として円環状になっている。各扇形部材は、内周縁部にルーズフランジ43の厚み程度の高さの取付凸部47aが形成されている。取付凸部47aにはボルト孔が形成され、このボルト孔にボルトb6を挿入してベローズ受けフランジ47は固定プレート45に取り付けられている。つまり、ベローズ受けフランジ47と固定プレート45が、ベローズ41に取り付けられたルーズフランジ43を挟持することでベローズ41の下部が固定される。   As shown in FIG. 4, the bellows receiving flange 47 is formed by arranging, for example, three fan-shaped members divided into three in the circumferential direction of the support leg portion 10 in the circumferential direction, and has an annular shape as a whole. Each fan-shaped member has an attachment convex portion 47a having a height about the thickness of the loose flange 43 at the inner peripheral edge. A bolt hole is formed in the mounting convex portion 47a, and the bellows receiving flange 47 is attached to the fixed plate 45 by inserting a bolt b6 into the bolt hole. That is, the bellows receiving flange 47 and the fixing plate 45 sandwich the loose flange 43 attached to the bellows 41 so that the lower portion of the bellows 41 is fixed.

ベローズ受けフランジ47と固定プレート45によって、ルーズフランジ43を挟持した状態では、前述したように、取付凸部47aとルーズフランジ43の内周縁との間には隙間Sが形成されている。この隙間Sが形成されることで、例えば支持脚部10とベローズ41とが偏芯しているような場合であっても、偏芯によるずれを吸収してベローズ41を容易に取り付けることができる。換言すれば、ベローズ41の取付時において、厳密な芯合わせが不要となる。
この点について、図3を参照しながらより詳細に説明する。
When the loose flange 43 is sandwiched between the bellows receiving flange 47 and the fixing plate 45, a gap S is formed between the mounting convex portion 47a and the inner peripheral edge of the loose flange 43 as described above. By forming the gap S, for example, even when the support leg 10 and the bellows 41 are eccentric, the deviation due to the eccentricity can be absorbed and the bellows 41 can be easily attached. . In other words, exact alignment is not necessary when the bellows 41 is attached.
This point will be described in more detail with reference to FIG.

図3に示すように、支持脚構造1において、ルーズフランジ43の開口部とベローズ受けフランジ47の取付凸部47aとの間に隙間Sが形成された状態で、真空チェンバー30のノズル部33と支持脚部10との間が気密を保って接続されている。   As shown in FIG. 3, in the support leg structure 1, the gap 33 is formed between the opening of the loose flange 43 and the mounting projection 47 a of the bellows receiving flange 47. The support leg 10 is connected in an airtight manner.

図3(a)は、支持脚部10の中心軸A1とノズル部33の中心軸A2とが一致して偏芯していない状態を示しており、このときルーズフランジ43とベローズ受けフランジ47の取付凸部47aとの間の左右の隙間Sは均等である。   FIG. 3A shows a state in which the center axis A1 of the support leg 10 and the center axis A2 of the nozzle portion 33 coincide with each other and are not eccentric. At this time, the loose flange 43 and the bellows receiving flange 47 The left and right clearances S between the mounting protrusions 47a are equal.

図3(b)は、支持脚部10の中心軸A1とノズル部33の中心軸A2とが一致せずに偏芯している状態を示しており、このときルーズフランジ43とベローズ受けフランジ47の取付凸部47aとの間の左右の隙間Sには差異が生じる。具体的には、支持脚部10の中心軸A1に対してノズル部33の中心軸A2が図中左側にずれており、このため図中左側の隙間Sが大きく、図中右側の隙間Sが小さくなっている。これは、支持脚部10の中心軸A1に対するノズル部33の中心軸A2のずれを、許容した状態でノズル部33と支持脚部10とを接続できることを意味しており、換言すれば支持脚部10の中心軸A1に対するノズル部33の中心軸A2のずれを、ルーズフランジ43を固定プレート45とベローズ受けフランジ47で挟持して固定するという方式を採用することで吸収可能にしている。   FIG. 3B shows a state where the center axis A1 of the support leg 10 and the center axis A2 of the nozzle portion 33 do not coincide with each other and are eccentric, and at this time, the loose flange 43 and the bellows receiving flange 47 are shown. There is a difference in the left and right clearance S between the mounting projection 47a. Specifically, the center axis A2 of the nozzle portion 33 is shifted to the left side in the figure with respect to the center axis A1 of the support leg part 10, so that the gap S on the left side in the figure is large and the gap S on the right side in the figure is It is getting smaller. This means that the nozzle part 33 and the support leg part 10 can be connected in a state where the deviation of the center axis A2 of the nozzle part 33 with respect to the center axis A1 of the support leg part 10 is allowed, in other words, the support leg. The displacement of the central axis A2 of the nozzle portion 33 with respect to the central axis A1 of the portion 10 can be absorbed by adopting a method in which the loose flange 43 is fixed by being sandwiched between the fixing plate 45 and the bellows receiving flange 47.

これにより、ベローズ41を取り付ける際において、支持脚部10の中心軸A1とベローズ41の中心軸とが偏芯していても、ベローズ41の径方向における無理な変形を加えることなく取付が可能になる。
ベローズ41に無理な変形が生じないので、ベローズ41は支持脚部10の軸方向に伸縮することができ、真空チェンバー30に生じた振動はベローズ41において吸収され、振動が上部脚部11を介して内部架台20に伝播することを防ぐことができる。
Thereby, when attaching the bellows 41, even if the center axis A1 of the support leg 10 and the center axis of the bellows 41 are eccentric, the attachment can be performed without applying excessive deformation in the radial direction of the bellows 41. Become.
Since the bellows 41 is not deformed excessively, the bellows 41 can expand and contract in the axial direction of the support leg 10, and the vibration generated in the vacuum chamber 30 is absorbed by the bellows 41, and the vibration passes through the upper leg 11. Thus, it is possible to prevent propagation to the internal mount 20.

なお、上記の説明において、ベローズ受けフランジ47は、支持脚部10の周方向で3分割された複数の部材からなるものであるが、分割された各部材は、互いに連結して一体化するものでなくてよく、分割された各部材の個数にも特に制限はない。
また、ベローズ受けフランジ47は、固定プレート45と協働してルーズフランジ43を挟持するものであるが、ルーズフランジ43と固定プレート45との間を気密にできる所定の押し付け力をルーズフランジ43に付与できればよく、支持脚部10の全周(360°)に亘って存在しなくても良い。
In the above description, the bellows receiving flange 47 is composed of a plurality of members divided into three parts in the circumferential direction of the support leg 10, but the divided members are connected and integrated with each other. The number of each divided member is not particularly limited.
In addition, the bellows receiving flange 47 sandwiches the loose flange 43 in cooperation with the fixed plate 45, but a predetermined pressing force capable of airtight between the loose flange 43 and the fixed plate 45 is applied to the loose flange 43. It may be provided, and may not exist over the entire circumference (360 °) of the support leg 10.

また、上記の説明において、各部材はボルトb1〜b5によりフランジ接続されたものであるが、本発明に係る支持脚構造はこれに限定するものではなく、各部材が気密を保って接続されるものであれば良い。   In the above description, each member is flanged by bolts b1 to b5. However, the support leg structure according to the present invention is not limited to this, and each member is connected in an airtight manner. Anything is fine.

次に、本実施の形態に係る支持脚構造1において、ベローズ41の取外し・交換手順について、図5〜8を参照して以下に説明する。   Next, in the support leg structure 1 according to the present embodiment, a procedure for removing and replacing the bellows 41 will be described below with reference to FIGS.

まず、図5に示すように、ベローズ受けフランジ47と固定プレート45とを接続しているボルトb6を外し、ベローズ受けフランジ47を取り外す。この時、ベローズ受けフランジ47は、環状の部材ではなく、分割構造になっているので、支持脚部10があっても取り外すことができる。   First, as shown in FIG. 5, the bolt b6 connecting the bellows receiving flange 47 and the fixing plate 45 is removed, and the bellows receiving flange 47 is removed. At this time, the bellows receiving flange 47 is not an annular member but has a divided structure, so that it can be removed even if the support leg 10 is present.

次に、図6に示すように、支持脚部10において上部脚部11と中間脚部13とを接続しているボルト、b1及び、中間脚部13と下部脚部15とを接続しているボルトb2を外し、中間脚部13を横にスライドさせて取り外す。
なお、前述のとおり、真空チェンバー30は複数の支持脚構造1により支持されているため、一つの支持脚部10において中間脚部13を取り外したとしても、真空チェンバー30は、他の支持脚構造1によって支持されており、図7に示すように、上部脚部11が空中に浮いた状態になり、環状の部材であるルーズフランジ43及び筒状の部材であるベローズ41を支持役部10から抜き出す空間が形成される。
Next, as shown in FIG. 6, bolts b <b> 1 connecting the upper leg 11 and the intermediate leg 13 in the support leg 10, and the intermediate leg 13 and the lower leg 15 are connected. Remove the bolt b2 and slide the intermediate leg 13 sideways to remove it.
As described above, since the vacuum chamber 30 is supported by the plurality of support leg structures 1, even if the intermediate leg 13 is removed from one support leg 10, the vacuum chamber 30 has another support leg structure. As shown in FIG. 7, the upper leg portion 11 floats in the air, and the loose flange 43 that is an annular member and the bellows 41 that is a tubular member are removed from the support portion 10. A space to be extracted is formed.

次に、図7に示すように、ルーズフランジ43とベローズ41とを接続しているボルトb5を外し、ルーズフランジ43をベローズ41から取り外す。
最後に、図8に示すように、ベローズ41とノズル部33を接続しているボルトb4を外し、ベローズ41を中間脚部13が取り付けられていた位置まで下げてから横移動させて、ベローズ41を支持脚部10から取り外す。
Next, as shown in FIG. 7, the bolt b <b> 5 connecting the loose flange 43 and the bellows 41 is removed, and the loose flange 43 is removed from the bellows 41.
Finally, as shown in FIG. 8, the bolt b4 connecting the bellows 41 and the nozzle portion 33 is removed, and the bellows 41 is lowered to the position where the intermediate leg portion 13 is attached and then laterally moved, so that the bellows 41 Is removed from the support leg 10.

なお、取り外したベローズ41を新たに交換して再度、支持脚部10に取り付ける際には、上記の手順を逆に行えば良い。   When the removed bellows 41 is newly replaced and attached to the support leg 10 again, the above procedure may be reversed.

以上、本実施の形態に係る支持脚構造1は、ベローズ41の下部に取り付けられたルーズフランジ43を支持脚部10に取り付けられた固定プレート45とベローズ受けフランジ47で挟持してベローズ41を支持脚部10に取り付けるようにしたので、支持脚部10とベローズ41とが偏芯していても、ベローズ41を無理に変形させずに支持脚部10に取り付けることができる。   As described above, the support leg structure 1 according to the present embodiment supports the bellows 41 by sandwiching the loose flange 43 attached to the lower part of the bellows 41 between the fixing plate 45 attached to the support leg 10 and the bellows receiving flange 47. Since it was attached to the leg part 10, even if the support leg part 10 and the bellows 41 are eccentric, it can be attached to the support leg part 10 without forcibly deforming the bellows 41.

さらに、本実施の形態に係る支持脚構造1は、支持脚部10の中間脚部13と、分割構造のベローズ受けフランジ47とを備えた簡易な構造とすることにより、ベローズ41の取外し・交換が可能となり、メンテナンスが容易となることに加え、ベローズ41の大口径化にも対応できる。   Furthermore, the support leg structure 1 according to the present embodiment has a simple structure including the intermediate leg portion 13 of the support leg portion 10 and the bellows receiving flange 47 having a split structure, so that the bellows 41 can be removed and replaced. In addition to facilitating maintenance, the bellows 41 can be increased in diameter.

1 支持脚構造
10 支持脚部
11 上部脚部
13 中間脚部
15 下部脚部
20 内部架台
30 真空チェンバー
31 チェンバー部
33 ノズル部
41 ベローズ
43 ルーズフランジ
45 固定プレート
47 ベローズ受けフランジ
47a 取付凸部
100 宇宙環境試験装置
110 供試体
200 除振定盤
201 設置面
202 地盤面
b1〜b6 ボルト
A1、A2 中心軸
S 隙間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support leg structure 10 Support leg part 11 Upper leg part 13 Intermediate leg part 15 Lower leg part 20 Inner mount 30 Vacuum chamber 31 Chamber part 33 Nozzle part 41 Bellows 43 Loose flange 45 Fixed plate 47 Bellows receiving flange 47a Mounting convex part 100 Space Environmental test apparatus 110 Specimen 200 Anti-vibration surface plate 201 Installation surface 202 Ground surface b1 to b6 Bolts A1 and A2 Central axis S Gap

Claims (2)

真空チェンバー内に設置され、供試体が載置される内部架台を支持する宇宙環境試験装置の支持脚構造であって、
設置面に立設され、前記真空チェンバーの周壁部に形成された貫通部を貫通して前記内部架台を支持する支持脚部と、
該支持脚部が挿通されると共に上端部が前記貫通部の周縁部に取り付けられ、前記支持脚部の軸方向に伸縮可能な筒状のベローズと、
環状部材からなり、前記ベローズの下端部に取り付けられて、前記ベローズの下端部に内向きフランジ部を形成するルーズフランジと、
下面部が前記ルーズフランジの上面部に当接するように前記支持脚部に取り付けられた固定プレートと、
前記固定プレートの下面側に着脱可能に取り付けられて、前記固定プレートと協働して前記ルーズフランジを挟持することで前記ベローズを支持するベローズ受けフランジとを備えたことを特徴とする宇宙環境試験装置の支持脚構造。
A support leg structure of a space environment test apparatus that is installed in a vacuum chamber and supports an internal frame on which a specimen is placed,
A support leg that is erected on an installation surface and that supports the internal frame by penetrating a through part formed in a peripheral wall part of the vacuum chamber;
A cylindrical bellows through which the support leg is inserted and whose upper end is attached to the peripheral part of the penetrating part, and is extendable and contractible in the axial direction of the support leg;
A loose flange that is formed of an annular member, is attached to the lower end of the bellows, and forms an inward flange at the lower end of the bellows;
A fixing plate attached to the support leg so that a lower surface part abuts on an upper surface part of the loose flange;
A space environment test comprising: a bellows receiving flange that is detachably attached to the lower surface side of the fixed plate and supports the bellows by sandwiching the loose flange in cooperation with the fixed plate. Support leg structure of the device.
前記ベローズ受けフランジは、周方向で分割された複数の部材からなり、
前記支持脚部は、前記固定プレートの下方に着脱可能な中間脚部を有し、該中間脚部を取り外すことで前記ベローズを前記支持脚部から抜き出せる空間を形成できるようにしたことを特徴とする請求項1記載の宇宙環境試験装置の支持脚構造。
The bellows receiving flange is composed of a plurality of members divided in the circumferential direction,
The support leg has a removable intermediate leg under the fixed plate, and a space in which the bellows can be extracted from the support leg can be formed by removing the intermediate leg. The support leg structure of the space environment test apparatus according to claim 1.
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