JP6469785B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記第1の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線と、前記第2の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線とがなす角度は、実質的に180度であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線と、前記第2の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線とがなす角度は、実質的に120度であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の通孔および前記第2の通孔には透明窓がそれぞれ設けられていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第二の光学ヘッドは、前記研磨テーブルの半径方向に関して、前記第一の光学ヘッドよりも外側に配置されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第二の光学ヘッドは、前記研磨テーブルの半径方向に関して、前記第一の光学ヘッドよりも内側に配置されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第一の光学ヘッドと前記研磨テーブルの中心とを結ぶ線と、前記第二の光学ヘッドと前記研磨テーブルの中心とを結ぶ線とがなす角度は実質的に180度であることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記少なくとも1つの光源は、前記第一の光学ヘッドおよび前記第二の光学ヘッドに接続された1つの共通の光源であることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記1つの共通の光源は、前記第一の光学ヘッドおよび前記第二の光学ヘッドに光スイッチを介して接続されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記1つの共通の分光器は、前記第一の光学ヘッドおよび前記第二の光学ヘッドに光スイッチを介して接続されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第二の光学ヘッドは、前記研磨テーブルの半径方向に関して、前記第一の光学ヘッドよりも内側に配置されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第一の光学ヘッドと前記第二の光学ヘッドは、前記研磨テーブルの周方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第二の光学ヘッドは、前記研磨テーブルの外側に配置されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記トップリングは、前記基板の中心部および周縁部を前記研磨パッドに対して独立に押し付ける機構を有しており、前記ポリッシング装置は、前記基板の前記中心部における膜厚と、前記基板の前記周縁部における膜厚に基づいて、前記基板の前記中心部および前記周縁部に対する前記トップリングの荷重を決定する制御部をさらに備えたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第一の光学ヘッドおよび前記第二の光学ヘッドは、略一定の時間間隔で交互に前記基板の表面に光を照射し、かつ前記基板からの反射光を受光することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板の周縁部は、該基板の最も外側にある環状の部位であり、その幅は10mm〜20mmであること特徴とする。
12,12a,12b 受光部
13A,13B,13C 光学ヘッド
14,14a,14b 分光器
15 処理部
16,16a,16b 光源
20 研磨テーブル
22 研磨パッド
24 トップリング
25 研磨液供給機構
28 トップリングシャフト
30A,30B 孔
31A,31B 通孔
32 ロータリージョイント
33 液体供給路
34 液体排出路
35 液体供給源
40A,40B 光スイッチ
45A,45B 透明窓
Claims (5)
- トップリングに保持された基板が押圧される研磨パッドであって、
前記研磨パッドは、光を通すための第1の通孔および第2の通孔を有しており、
前記第2の通孔は、前記研磨パッドの半径方向に関して、前記第1の通孔よりも内側に配置されており、
前記第1の通孔が前記トップリングに保持された基板の下にあるときに、前記第2の通孔は前記トップリングに保持された基板の下に存在しない位置に配置され、
前記第1の通孔は前記基板の中心部に対向する位置に形成されており、前記第2の通孔は前記基板の周縁部に対向する位置に形成されており、
前記基板の周縁部は、該基板の最も外側にある環状の部位であり、その幅は10mm〜20mmであることを特徴とする研磨パッド。 - 前記第1の通孔と前記第2の通孔は前記研磨パッドの中心に関して互いに反対側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線と、前記第2の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線とがなす角度は、実質的に180度であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線と、前記第2の通孔と前記研磨パッドの中心とを結ぶ線とがなす角度は、実質的に120度であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1の通孔および前記第2の通孔には透明窓がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
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