JP6466110B2 - Printed wiring board substrate, printed wiring board, and printed wiring board manufacturing method - Google Patents

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本発明は、プリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board substrate, a printed wiring board, and a method for manufacturing a printed wiring board substrate.

近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、プリント配線板の高密度化が要求されている。このような高密度化の要求を満たすプリント配線板用基板として、導電層の厚さを低減したプリント配線板用基板が求められている。   In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, there is a demand for higher density of printed wiring boards. As a printed wiring board substrate that satisfies such a demand for higher density, a printed wiring board substrate having a reduced conductive layer is required.

このような要求に対し、耐熱性絶縁ベースフィルムに接着剤層を介することなく銅薄層を積層したプリント配線板用基板が提案されている(特許第3570802号公報参照)。この従来のプリント配線板用基板は、耐熱性絶縁ベースフィルムの両面にスパッタリング法を用いて厚み0.25〜0.30μmの銅薄膜層(第1導電層)を形成し、その上に電気メッキ法を用いて銅厚膜層(第2導電層)を形成している。   In response to such a demand, a printed wiring board substrate in which a copper thin layer is laminated on a heat-resistant insulating base film without an adhesive layer has been proposed (see Japanese Patent No. 3570802). In this conventional printed wiring board substrate, a copper thin film layer (first conductive layer) having a thickness of 0.25 to 0.30 μm is formed on both surfaces of a heat-resistant insulating base film by sputtering, and electroplating is performed thereon. The copper thick film layer (second conductive layer) is formed using the method.

特許第3570802号公報Japanese Patent No. 3570802

上記従来のプリント配線板用基板は、導電層を薄くできる点において高密度プリント配線の要求に沿う基板であるといえる。しかし、上記従来のプリント配線板用基板は、導電層をベースフィルムに密着させるためスパッタリング法を用いて第1導電層を形成しているので、真空設備を必要とし、設備の建設、維持、運転等におけるコストが高くなる。また、使用するベースフィルムの供給、導電層の形成、ベースフィルムの収納等の全てを真空中で取り扱わなければならない。また設備面において、基板のサイズを大きくすることに限界がある。   The conventional printed wiring board substrate can be said to be a substrate that meets the demand for high-density printed wiring in that the conductive layer can be made thin. However, since the above-mentioned conventional printed wiring board substrate forms the first conductive layer using the sputtering method in order to bring the conductive layer into close contact with the base film, it requires a vacuum facility, and the construction, maintenance and operation of the facility. Etc., the cost becomes high. In addition, all of supply of the base film to be used, formation of the conductive layer, storage of the base film, etc. must be handled in a vacuum. Further, in terms of equipment, there is a limit to increasing the size of the substrate.

本発明は以上のような事情に基づいてなされたものであり、低コストで導電層を十分に薄くできるプリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed based on the above situations, and provides the manufacturing method of the printed wiring board board | substrate which can fully thin a conductive layer at low cost, a printed wiring board, and a printed wiring board board | substrate. Objective.

発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、プリント配線板用基板のベースフィルムに導電性インクの塗布により形成した導電層の表面に無電解メッキを施した際、無電解メッキに由来する金属(ニッケル、パラジウム等)がベースフィルム及び導電層内に存在し、ベースフィルムと導電層との間の界面近傍の上記無電解メッキに由来する金属の量が多くなるとベースフィルムと導電層との間の密着力が大きくなる傾向があることを知見した。このことより、発明者らは、真空設備を使用しなくても導電層をベースフィルムに密着させられることを見出した。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors conducted electroless plating when the surface of the conductive layer formed by applying conductive ink on the base film of the printed wiring board substrate was subjected to electroless plating. When the derived metal (nickel, palladium, etc.) exists in the base film and the conductive layer, and the amount of the metal derived from the electroless plating near the interface between the base film and the conductive layer increases, the base film and the conductive layer It has been found that there is a tendency for the adhesion between the two to increase. From this, the inventors have found that the conductive layer can be brought into close contact with the base film without using vacuum equipment.

この知見に基づいて考案した本発明の一態様に係るプリント配線板用基板は、絶縁性を有するベースフィルムと、金属粒子を含む導電性インクの塗布により上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層される第1導電層と、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に積層される第2導電層とを備え、上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにニッケルが存在し、上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX(エネルギー分散型X線分光法)分析による定量で1質量%以上であるプリント配線板用基板である。   A printed wiring board substrate according to one embodiment of the present invention devised based on this knowledge is laminated on at least one surface of the base film by applying an insulating base film and a conductive ink containing metal particles. A first conductive layer and a second conductive layer laminated on a surface opposite to the base film of the first conductive layer by electroless plating, and the first conductive layer, the second conductive layer, and the base film A printed wiring board in which nickel is present and the amount of nickel in the near-interface layer 500 nm or less from the interface between the first conductive layer and the base film is 1% by mass or more as determined by EDX (energy dispersive X-ray spectroscopy) analysis Substrate.

上記課題を解決するためになされた別の本発明の一態様に係るプリント配線板は、導電パターンを有するプリント配線板であって、上記導電パターンが、上記プリント配線板用基板の第1導電層及び第2導電層にサブトラクティブ法又はセミアディティブ法を用いることで形成されているプリント配線板である。   A printed wiring board according to another aspect of the present invention made to solve the above problems is a printed wiring board having a conductive pattern, and the conductive pattern is a first conductive layer of the printed wiring board substrate. And a printed wiring board formed on the second conductive layer by using a subtractive method or a semi-additive method.

上記課題を解決するためになされたさらに別の本発明の一態様に係るプリント配線板用基板の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルムの少なくとも一方の面への金属粒子を含む導電性インクの塗布及び加熱により第1導電層を形成する工程と、ニッケルを含むメッキ液を用い、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に第2導電層を形成する工程とを備え、上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにニッケルが存在し、上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX分析による定量で1質量%以上であるプリント配線板用基板の製造方法である。   In another aspect of the present invention, a method for manufacturing a printed wiring board substrate according to an aspect of the present invention is provided to solve the above-described problems by using a conductive ink containing metal particles on at least one surface of an insulating base film. Forming a first conductive layer by coating and heating; and forming a second conductive layer on a surface of the first conductive layer opposite to the base film by electroless plating using a plating solution containing nickel. And nickel is present in the first conductive layer, the second conductive layer, and the base film, and the amount of nickel in the near-interface layer 500 nm or less from the interface between the first conductive layer and the base film is 1 mass as determined by EDX analysis. % Of the printed wiring board substrate manufacturing method.

本発明のプリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法は、低コストで導電層を十分に薄くできる。   The printed wiring board substrate, printed wiring board, and printed wiring board manufacturing method of the present invention can sufficiently reduce the conductive layer at low cost.

本発明の一実施形態に係るプリント配線板用基板の模式的斜視図である。It is a typical perspective view of the board | substrate for printed wiring boards which concerns on one Embodiment of this invention. 図1のプリント配線板用基板の模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view of the board | substrate for printed wiring boards of FIG. 図1のプリント配線板用基板の製造方法を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards of FIG. 図1のプリント配線板用基板の製造方法の図3Aの次の工程を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the process following FIG. 3A of the manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards of FIG. 図1のプリント配線板用基板を用いるプリント配線板の製造方法を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the manufacturing method of the printed wiring board using the board | substrate for printed wiring boards of FIG. 図1のプリント配線板用基板を用いるプリント配線板の製造方法の図4Aの次の工程を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the next process of Drawing 4A of a manufacturing method of a printed wiring board using a substrate for printed wiring boards of Drawing 1. 図1のプリント配線板用基板を用いるプリント配線板の製造方法の図4Bの次の工程を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the next process of Drawing 4B of a manufacturing method of a printed wiring board using a substrate for printed wiring boards of Drawing 1. 図1のプリント配線板用基板を用いるプリント配線板の製造方法の図4Cの次の工程を説明する模式的部分断面図である。It is a typical fragmentary sectional view explaining the process following FIG. 4C of the manufacturing method of the printed wiring board using the board | substrate for printed wiring boards of FIG.

[本発明の実施形態の説明]
本発明の一態様に係るプリント配線板用基板は、絶縁性を有するベースフィルムと、金属粒子を含む導電性インクの塗布により上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層される第1導電層と、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に積層される第2導電層とを備え、上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにニッケルが存在し、上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX(エネルギー分散型X線分光法)分析による定量で1質量%以上であるプリント配線板用基板である。
[Description of Embodiment of the Present Invention]
A printed wiring board substrate according to an aspect of the present invention includes an insulating base film, a first conductive layer laminated on at least one surface of the base film by applying a conductive ink containing metal particles, A second conductive layer laminated on the surface opposite to the base film of the first conductive layer by electroless plating, nickel is present in the first conductive layer, the second conductive layer, and the base film, 1 is a printed wiring board substrate in which the amount of nickel in an interface vicinity layer of 500 nm or less from the interface between one conductive layer and a base film is 1% by mass or more as determined by EDX (energy dispersive X-ray spectroscopy) analysis.

当該プリント配線板用基板は、ベースフィルムの少なくとも一方の面に金属粒子を含む導電性インクの塗布により第1導電層が積層され、上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に無電解メッキにより第2導電層が積層されているので、スパッタリング等の物理的蒸着に必要な高価な真空設備を必要としない。そのため、当該プリント配線板用基板の大きさが真空設備により制限されることがない。また、当該プリント配線板用基板は、上記ベースフィルム及び第1導電層の界面近傍層に所定量以上のニッケルが存在することにより、接着剤層を設けることなくベースフィルムと第1導電層との間に大きな密着力が得られる。この理由は定かではないが、ニッケルの存在によりベースフィルム及び第1導電層の残留応力が低下し、その結果、ベースフィルムと第1導電層との間の密着力が向上していると考えられる。また、当該プリント配線板用基板は、接着剤層を介さずにベースフィルムが第1導電層に積層されているので、導電層を十分に薄く形成できる。さらに、当該プリント配線板用基板は、金属粒子を含む導電性インクの塗布により上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に第1導電層が積層されることにより、ベースフィルムの材質に制限されることなく種々のベースフィルムを用いたプリント配線板用基板を提供することができる。なお、上記第2導電層は、無電解メッキにより積層された一方の面に、さらに電気メッキが施されてもよい。また、第1導電層の平均厚みが500nmに満たない場合、上記界面近傍層に第2導電層は含まれないものとする。   In the printed wiring board substrate, a first conductive layer is laminated on at least one surface of a base film by applying a conductive ink containing metal particles, and an electroless surface of the first conductive layer is opposite to the base film. Since the second conductive layer is laminated by plating, expensive vacuum equipment necessary for physical vapor deposition such as sputtering is not required. Therefore, the size of the printed wiring board substrate is not limited by the vacuum equipment. In addition, the printed wiring board substrate includes a base film and a first conductive layer without providing an adhesive layer due to the presence of a predetermined amount or more of nickel in the layer near the interface between the base film and the first conductive layer. A large adhesion can be obtained between them. Although this reason is not certain, it is thought that the residual stress of the base film and the first conductive layer is reduced due to the presence of nickel, and as a result, the adhesion between the base film and the first conductive layer is improved. . Moreover, since the base film is laminated | stacked on the 1st conductive layer without using the adhesive bond layer for the said board | substrate for printed wiring boards, a conductive layer can be formed thinly enough. Further, the printed wiring board substrate is not limited by the material of the base film by laminating the first conductive layer on at least one surface of the base film by applying conductive ink containing metal particles. A printed wiring board substrate using various base films can be provided. The second conductive layer may be further electroplated on one surface laminated by electroless plating. When the average thickness of the first conductive layer is less than 500 nm, the second conductive layer is not included in the interface vicinity layer.

上記界面近傍層のニッケルの質量割合が、上記第2導電層の第1導電層との界面から500nm以下のA層のニッケルの質量割合よりも大きいことが好ましい。このように、界面近傍層のニッケルの質量割合を第2導電層のA層のニッケルの質量割合よりも大きくすることにより、第1導電層及びベースフィルム間の剥離に大きく影響を与える第1導電層及びベースフィルムの残留応力がより低減されるので、ベースフィルムと第1導電層との間の密着力がより向上すると考えられる。なお、第2導電層の平均厚みが500nm以下の場合、上記A層は第2導電層全体を表すものとする。   It is preferable that the mass ratio of nickel in the interface vicinity layer is larger than the mass ratio of nickel in the A layer of 500 nm or less from the interface between the second conductive layer and the first conductive layer. As described above, by making the mass ratio of nickel in the interface vicinity layer larger than the mass ratio of nickel in the A layer of the second conductive layer, the first conductivity that greatly affects the separation between the first conductive layer and the base film. Since the residual stress of a layer and a base film is reduced more, it is thought that the adhesive force between a base film and a 1st conductive layer improves more. In addition, when the average thickness of a 2nd conductive layer is 500 nm or less, the said A layer shall represent the 2nd conductive layer whole.

上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにパラジウムが存在する場合、上記ベースフィルムの第1導電層との界面から1μm以下のB層のパラジウムの質量割合が、上記第2導電層の第1導電層との界面から500nm以下のA層のパラジウムの質量割合よりも大きいことが好ましい。このように、ベースフィルムのB層のパラジウムの質量割合を第2導電層のA層のパラジウムの質量割合よりも大きくすることにより、ベースフィルム及び第1導電層の界面でのメッキ析出がより緻密となり、ベースフィルムと第1導電層との間の密着力がより向上する。なお、ベースフィルムの平均厚みが1μm以下の場合、上記B層はベースフィルム全体を表すものとする。   When palladium is present in the first conductive layer, the second conductive layer, and the base film, the mass ratio of palladium in the B layer of 1 μm or less from the interface with the first conductive layer of the base film is that of the second conductive layer. It is preferable that it is larger than the mass ratio of palladium of A layer of 500 nm or less from the interface with the first conductive layer. In this way, by making the mass ratio of palladium in the B layer of the base film larger than the mass ratio of palladium in the A layer of the second conductive layer, plating deposition at the interface between the base film and the first conductive layer is more dense. Thus, the adhesion between the base film and the first conductive layer is further improved. In addition, when the average thickness of a base film is 1 micrometer or less, the said B layer shall represent the whole base film.

上記無電解メッキが銅メッキであるとよい。このように、銅メッキによる無電解メッキを用いることで、銅メッキ液に含有させるニッケルの作用により、より低応力の第2導電層が形成できる。   The electroless plating may be copper plating. Thus, by using electroless plating by copper plating, the second conductive layer with lower stress can be formed by the action of nickel contained in the copper plating solution.

上記金属粒子の平均粒子径としては、1nm以上500nm以下が好ましい。このように、上記範囲内の平均粒子径を有する金属粒子を含む導電性インクの塗布により第1導電層がベースフィルムの表面に積層されることで、絶縁性を有するベースフィルムの表面上に、緻密で均一な第1導電層が安定して形成される。これにより、無電解メッキによる第2導電層を均一に形成することができる。なお、ここで「平均粒子径」とは、分散液中の粒度分布の中心径D50で表されるものを意味する。平均粒子径は、粒子径分布測定装置(例えば、日機装株式会社のマイクロトラック粒度分布計「UPA−150EX」)で測定することができる。   The average particle diameter of the metal particles is preferably 1 nm to 500 nm. As described above, the first conductive layer is laminated on the surface of the base film by applying the conductive ink containing metal particles having an average particle diameter within the above range. A dense and uniform first conductive layer is stably formed. Thereby, the 2nd conductive layer by electroless plating can be formed uniformly. Here, the “average particle diameter” means that represented by the center diameter D50 of the particle size distribution in the dispersion. The average particle size can be measured with a particle size distribution measuring device (for example, Microtrack particle size distribution meter “UPA-150EX” manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).

上記ベースフィルムの第1導電層の積層面に親水化処理が施されているとよい。このように、上記ベースフィルムの第1導電層の積層面に親水化処理が施されていることにより、上記導電性インクのベースフィルムに対する表面張力が小さくなり、上記ベースフィルムの表面に導電性インクが均一に塗り易くなる。これにより、第1導電層をベースフィルムの表面に均一の厚さで形成し易くなる。   The laminated surface of the first conductive layer of the base film may be subjected to a hydrophilic treatment. As described above, the surface tension of the conductive ink with respect to the base film is reduced by applying the hydrophilic treatment to the laminated surface of the first conductive layer of the base film, and the conductive ink is formed on the surface of the base film. Becomes easier to apply uniformly. Thereby, it becomes easy to form the first conductive layer with a uniform thickness on the surface of the base film.

上記金属が銅であるとよい。このように、上記金属が銅であることにより、第1導電層の導電性が高くなり、導電性の優れたプリント配線板が作成できる。   The metal may be copper. Thus, when the said metal is copper, the electroconductivity of a 1st conductive layer becomes high and the printed wiring board excellent in electroconductivity can be created.

本発明の他の一態様に係るプリント配線板は、導電パターンを有するプリント配線板であって、上記導電パターンが、上記プリント配線板用基板の第1導電層及び第2導電層にサブトラクティブ法又はセミアディティブ法を用いることで形成されているプリント配線板である。   A printed wiring board according to another aspect of the present invention is a printed wiring board having a conductive pattern, wherein the conductive pattern is applied to the first conductive layer and the second conductive layer of the printed wiring board substrate. Or it is a printed wiring board formed by using a semi-additive method.

当該プリント配線板は、上記プリント配線板用基板を用いて製造したものであるので、薄く形成することができると共に、ベースフィルムと導電層との密着力が大きく、ベースフィルムから導電層が剥離し難い。   Since the printed wiring board is manufactured using the printed wiring board substrate, the printed wiring board can be formed thin, and the adhesion between the base film and the conductive layer is large, and the conductive layer peels off from the base film. hard.

本発明のさらに他の一態様に係るプリント配線板用基板の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルムの少なくとも一方の面への金属粒子を含む導電性インクの塗布及び加熱により第1導電層を形成する工程と、ニッケルを含むメッキ液を用い、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に第2導電層を形成する工程とを備え、上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにニッケルが存在し、上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX分析による定量で1質量%以上であるプリント配線板用基板の製造方法である。   According to still another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a printed wiring board substrate, wherein the first conductive layer is formed by applying and heating a conductive ink containing metal particles on at least one surface of an insulating base film. Forming a second conductive layer on the surface of the first conductive layer opposite to the base film by electroless plating using a plating solution containing nickel, and forming the first conductive layer, The substrate for printed wiring boards, wherein nickel is present in the two conductive layers and the base film, and the amount of nickel in the interface vicinity layer of 500 nm or less from the interface between the first conductive layer and the base film is 1% by mass or more as determined by EDX analysis It is a manufacturing method.

当該プリント配線板用基板の製造方法は、ベースフィルムの少なくとも一方の面への金属粒子を含む導電性インクの塗布及び加熱により第1導電層を形成し、無電解メッキにより第1導電層のベースフィルムと反対側の面に第2導電層を形成するので、スパッタリング等の物理的蒸着に必要な高価な真空設備を必要としない。そのため、当該プリント配線板用基板の製造方法により製造するプリント配線板用基板の大きさが真空設備によって制限されることがない。また、当該プリント配線板用基板の製造方法は、ニッケルを含むメッキ液を用いて無電解メッキを行うので、上記第1導電層及びベースフィルムの界面近傍層に所定量以上のニッケルが存在し、その結果、上記ベースフィルムと第1導電層との間の密着力が向上する。なお、無電解メッキを施した上に電気メッキを施して第2導電層を形成してもよい。   In the printed wiring board substrate manufacturing method, a first conductive layer is formed by applying and heating a conductive ink containing metal particles on at least one surface of a base film, and the base of the first conductive layer is formed by electroless plating. Since the second conductive layer is formed on the surface opposite to the film, expensive vacuum equipment necessary for physical vapor deposition such as sputtering is not required. Therefore, the size of the printed wiring board substrate manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board substrate is not limited by the vacuum equipment. In addition, since the method for manufacturing a printed wiring board substrate performs electroless plating using a plating solution containing nickel, there is a predetermined amount or more of nickel in the interface vicinity layer of the first conductive layer and the base film, As a result, the adhesion between the base film and the first conductive layer is improved. Note that the second conductive layer may be formed by electroplating after electroless plating.

[本発明の実施形態の詳細]
以下、本発明の実施形態に係るプリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法を図面を参照しつつ説明する。
[Details of the embodiment of the present invention]
Hereinafter, a printed wiring board substrate, a printed wiring board, and a method for manufacturing a printed wiring board substrate according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

〔プリント配線板用基板〕
図1及び図2の当該プリント配線板用基板は、絶縁性を有するベースフィルム1と、金属粒子を含む導電性インクの塗布によりベースフィルム1の一方の面に積層される第1導電層2と、無電解メッキにより第1導電層2のベースフィルム1と反対側の面に積層される第2導電層3とを備える。また、上記第1導電層2、第2導電層3及びベースフィルム1にはニッケルが存在する。
[PCB board]
The printed wiring board substrate shown in FIGS. 1 and 2 includes an insulating base film 1 and a first conductive layer 2 laminated on one surface of the base film 1 by application of conductive ink containing metal particles. The second conductive layer 3 is laminated on the surface of the first conductive layer 2 opposite to the base film 1 by electroless plating. Further, nickel is present in the first conductive layer 2, the second conductive layer 3 and the base film 1.

<ベースフィルム>
当該プリント配線板用基板を構成するベースフィルム1は絶縁性を有する。このベースフィルム1の材料としては、例えばポリイミド、液晶ポリマー、フッ素樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の可撓性を有する樹脂、紙フェノール、紙エポキシ、ガラスコンポジット、ガラスエポキシ、テフロン(登録商標)、ガラス基材等のリジッド材、硬質材料と軟質材料とを複合したリジッドフレキシブル材を用いることが可能である。これらの中でも、金属酸化物等との結合力が大きいことから、ポリイミドが特に好ましい。
<Base film>
The base film 1 constituting the printed wiring board substrate has an insulating property. Examples of the material of the base film 1 include flexible resins such as polyimide, liquid crystal polymer, fluororesin, polyethylene terephthalate, and polyethylene naphthalate, paper phenol, paper epoxy, glass composite, glass epoxy, and Teflon (registered trademark). It is possible to use a rigid material such as a glass substrate, or a rigid flexible material in which a hard material and a soft material are combined. Among these, polyimide is particularly preferable because of its high bonding strength with metal oxides.

上記ベースフィルム1の厚みは、当該プリント配線板用基板を利用するプリント配線板によって設定されるものであり特に限定されないが、例えば上記ベースフィルム1の平均厚みの下限としては、5μmが好ましく、12μmがより好ましい。一方、上記ベースフィルム1の平均厚みの上限としては、2mmが好ましく、1.6mmがより好ましい。上記ベースフィルム1の平均厚みが上記下限未満の場合、ベースフィルム1の強度が不十分となるおそれがある。逆に、ベースフィルム1の平均厚みが上記上限を超える場合、プリント配線板の薄板化が困難となるおそれがある。   Although the thickness of the said base film 1 is set by the printed wiring board using the said board | substrate for printed wiring boards, it is not specifically limited, For example, as a minimum of the average thickness of the said base film 1, 5 micrometers is preferable, 12 micrometers Is more preferable. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the base film 1 is preferably 2 mm, more preferably 1.6 mm. When the average thickness of the base film 1 is less than the lower limit, the strength of the base film 1 may be insufficient. Conversely, when the average thickness of the base film 1 exceeds the above upper limit, it may be difficult to make the printed wiring board thinner.

上記ベースフィルム1には、導電性インクを塗布する側の表面に親水化処理を施すことが好ましい。上記親水化処理として、例えばプラズマを照射して表面を親水化するプラズマ処理や、アルカリ溶液で表面を親水化するアルカリ処理等を採用することができる。ベースフィルム1に親水化処理を施すことにより、導電性インクのベースフィルム1に対する表面張力が小さくなるので、導電性インクをベースフィルム1に均一に塗り易くなる。   The base film 1 is preferably subjected to a hydrophilic treatment on the surface on which the conductive ink is applied. As the hydrophilic treatment, for example, plasma treatment for irradiating plasma to make the surface hydrophilic, alkali treatment for making the surface hydrophilic with an alkaline solution, or the like can be employed. By subjecting the base film 1 to the hydrophilic treatment, the surface tension of the conductive ink with respect to the base film 1 is reduced, so that it becomes easy to uniformly apply the conductive ink to the base film 1.

<第1導電層>
上記第1導電層2は、金属粒子を含む導電性インクの塗布により、ベースフィルム1の一方の面に積層されている。当該プリント配線板用基板では、導電性インクの塗布により第1導電層2を形成するので、ベースフィルム1の一方の面を容易に導電性の皮膜で覆うことができる。なお、導電性インク中の不要な有機物等を除去して金属粒子を確実にベースフィルム1の一方の面に固着させるため、第1導電層2は導電性インクの塗布後に熱処理が施されることが好ましい。
<First conductive layer>
The first conductive layer 2 is laminated on one surface of the base film 1 by applying a conductive ink containing metal particles. In the printed wiring board substrate, since the first conductive layer 2 is formed by application of conductive ink, one surface of the base film 1 can be easily covered with a conductive film. Note that the first conductive layer 2 is subjected to a heat treatment after the application of the conductive ink in order to remove unnecessary organic substances and the like in the conductive ink and securely fix the metal particles to one surface of the base film 1. Is preferred.

(導電性インク)
上記第1導電層2を形成する導電性インクは、導電性をもたらす導電性物質として金属粒子を含んでいる。本実施形態では、導電性インクとして、金属粒子と、その金属粒子を分散させる分散剤と、分散媒とを含むものを用いる。このような導電性インクを用いて塗布することで、微細な金属粒子による第1導電層2がベースフィルム1の一方の面に積層される。
(Conductive ink)
The conductive ink for forming the first conductive layer 2 contains metal particles as a conductive substance that provides conductivity. In this embodiment, the conductive ink includes metal particles, a dispersant that disperses the metal particles, and a dispersion medium. By applying using such conductive ink, the first conductive layer 2 made of fine metal particles is laminated on one surface of the base film 1.

上記導電性インクに含まれる金属粒子を構成する金属は、特に限定されるものではないが、第1導電層2とベースフィルム1との間の密着力向上の観点より、その金属に基づく金属酸化物又はその金属酸化物に由来する基並びにその金属に基づく金属水酸化物又はその金属水酸化物に由来する基が生成されるものであるものが好ましく、例えば銅、ニッケル、アルミニウム、金又は銀を用いることができる。この中でも、導電性がよく、ベースフィルム1との密着性に優れる金属として、銅が好ましく用いられる。   Although the metal which comprises the metal particle contained in the said conductive ink is not specifically limited, From a viewpoint of the adhesive force improvement between the 1st conductive layer 2 and the base film 1, the metal oxidation based on the metal is carried out. Preferred is one in which a group derived from a product or a metal oxide thereof and a metal hydroxide based on the metal or a group derived from the metal hydroxide are generated, for example, copper, nickel, aluminum, gold or silver Can be used. Among these, copper is preferably used as a metal having good conductivity and excellent adhesion to the base film 1.

上記導電性インクに含まれる金属粒子の平均粒子径の下限は、1nmが好ましく、30nmがより好ましい。また、上記金属粒子の平均粒子径の上限は、500nmが好ましく、100nmがより好ましい。上記金属粒子の平均粒子径が上記下限未満の場合、導電性インク中での金属粒子の分散性及び安定性が低下するおそれがある。また、上記金属粒子の平均粒子径が上記上限を超える場合、金属粒子が沈殿し易くなるおそれがあると共に、導電性インクを塗布した際に金属粒子の密度が均一になり難くなる。   1 nm is preferable and, as for the minimum of the average particle diameter of the metal particle contained in the said conductive ink, 30 nm is more preferable. Moreover, 500 nm is preferable and, as for the upper limit of the average particle diameter of the said metal particle, 100 nm is more preferable. When the average particle diameter of the metal particles is less than the lower limit, the dispersibility and stability of the metal particles in the conductive ink may be reduced. Moreover, when the average particle diameter of the metal particles exceeds the upper limit, the metal particles may be easily precipitated, and the density of the metal particles is difficult to be uniform when the conductive ink is applied.

上記第1導電層2の平均厚みの下限としては、0.05μmが好ましく、0.1μmがより好ましい。一方、上記第1導電層2の平均厚みの上限としては、2μmが好ましく、1.5μmがより好ましい。上記第1導電層2の平均厚みが上記下限未満の場合、厚み方向に金属粒子が存在しない部分が多くなり導電性が低下するおそれがある。逆に、上記第1導電層2の平均厚みが上記上限を超える場合、導電層の薄膜化が困難となるおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the first conductive layer 2 is preferably 0.05 μm, and more preferably 0.1 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the first conductive layer 2 is preferably 2 μm, and more preferably 1.5 μm. When the average thickness of the said 1st conductive layer 2 is less than the said minimum, there exists a possibility that the part in which a metal particle does not exist in the thickness direction may increase, and electroconductivity may fall. Conversely, if the average thickness of the first conductive layer 2 exceeds the upper limit, it may be difficult to reduce the thickness of the conductive layer.

<第2導電層>
上記第2導電層3は、無電解メッキにより第1導電層2のベースフィルム1と反対側の面に積層されている。このように上記第2導電層3が無電解メッキにより形成されているので、第1導電層2を形成する金属粒子間の空隙には第2導電層3の金属が充填されている。第1導電層2に空隙が残存していると、この空隙部分が破壊起点となって第1導電層2がベースフィルム1から剥離し易くなるが、この空隙部分に第2導電層3が充填されていることにより第1導電層2の剥離が防止される。
<Second conductive layer>
The second conductive layer 3 is laminated on the surface of the first conductive layer 2 opposite to the base film 1 by electroless plating. As described above, since the second conductive layer 3 is formed by electroless plating, the space between the metal particles forming the first conductive layer 2 is filled with the metal of the second conductive layer 3. If voids remain in the first conductive layer 2, the void portion becomes a starting point of breakage, and the first conductive layer 2 is easily peeled off from the base film 1, but this void portion is filled with the second conductive layer 3. As a result, peeling of the first conductive layer 2 is prevented.

上記無電解メッキに用いる金属として、導通性のよい銅、ニッケル、銀等を用いることができるが、第1導電層2を形成する金属粒子に銅を使用する場合には、第1導電層2との密着性を考慮して、銅又はニッケルを用いることが好ましい。なお、本実施形態では、無電解メッキに用いるメッキ液は、ニッケル以外の金属を無電解メッキに用いる場合、メッキ金属に加えてニッケル又はニッケル化合物を含有させたものを用いる。   As the metal used for the electroless plating, copper, nickel, silver or the like having good conductivity can be used. However, when copper is used for the metal particles forming the first conductive layer 2, the first conductive layer 2 is used. It is preferable to use copper or nickel in consideration of the adhesion to the substrate. In this embodiment, when a metal other than nickel is used for electroless plating, a plating solution containing nickel or a nickel compound in addition to the plating metal is used for the electroless plating.

無電解メッキにより形成する第2導電層3の平均厚みの下限としては、0.2μmが好ましく、0.3μmがより好ましい。一方、上記無電解メッキにより形成する第2導電層3の平均厚みの上限としては、1μmが好ましく、0.5μmがより好ましい。上記無電解メッキにより形成する第2導電層3の平均厚みが上記下限未満の場合、第2導電層3が第1導電層2の空隙部分に十分に充填されず導電性が低下するおそれがある。逆に、上記無電解メッキにより形成する第2導電層3の平均厚みが上記上限を超える場合、無電解メッキに要する時間が長くなり生産性が低下するおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the second conductive layer 3 formed by electroless plating is preferably 0.2 μm, and more preferably 0.3 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the second conductive layer 3 formed by electroless plating is preferably 1 μm, and more preferably 0.5 μm. When the average thickness of the second conductive layer 3 formed by the electroless plating is less than the lower limit, the second conductive layer 3 may not be sufficiently filled in the gap portion of the first conductive layer 2 and the conductivity may be lowered. . On the other hand, when the average thickness of the second conductive layer 3 formed by the electroless plating exceeds the upper limit, the time required for the electroless plating becomes longer and the productivity may be lowered.

また、上記無電解メッキによる薄層を形成した後に、さらに電気メッキを行い第2導電層3を厚く形成することも好ましい。無電解メッキ後に電気メッキを行うことにより、導電層の厚みの調整が容易かつ正確に行え、また比較的短時間でプリント配線を形成するのに必要な厚みの導電層を形成することができる。この電気メッキに用いる金属として、導通性のよい銅、ニッケル、銀等を用いることができる。   It is also preferable to form the second conductive layer 3 thickly by performing electroplating after forming the thin layer by electroless plating. By performing electroplating after electroless plating, the thickness of the conductive layer can be adjusted easily and accurately, and a conductive layer having a thickness necessary for forming a printed wiring in a relatively short time can be formed. As the metal used for the electroplating, copper, nickel, silver or the like having good conductivity can be used.

上記電気メッキ後の第2導電層3の厚みは、どのようなプリント回路を作成するかによって設定されるもので特に限定されないが、例えば上記電気メッキ後の第2導電層3の平均厚みの下限としては、1μmが好ましく、2μmがより好ましい。一方、上記電気メッキ後の第2導電層3の平均厚みの上限としては、100μmが好ましく、50μmがより好ましい。上記電気メッキ後の第2導電層3の平均厚みが上記下限未満の場合、導電層が損傷し易くなるおそれがある。逆に、上記電気メッキ後の第2導電層3の平均厚みが上記上限を超える場合、プリント配線板の薄板化が困難となるおそれがある。   The thickness of the second conductive layer 3 after the electroplating is not particularly limited and is set depending on what kind of printed circuit is created. For example, the lower limit of the average thickness of the second conductive layer 3 after the electroplating Is preferably 1 μm, and more preferably 2 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the second conductive layer 3 after the electroplating is preferably 100 μm, and more preferably 50 μm. When the average thickness of the second conductive layer 3 after the electroplating is less than the lower limit, the conductive layer may be easily damaged. Conversely, if the average thickness of the second conductive layer 3 after the electroplating exceeds the upper limit, it may be difficult to make the printed wiring board thinner.

(ニッケル量)
ベースフィルム1及び第1導電層2の界面4(第1界面)近傍には、ニッケルが凝集している。このニッケルは、上記無電解メッキで用いるメッキ液に含まれるニッケル又はニッケル化合物に由来するニッケルであり、無電解メッキ時に上記第1界面4近傍に析出したものである。
(Nickel content)
In the vicinity of the interface 4 (first interface) between the base film 1 and the first conductive layer 2, nickel is aggregated. This nickel is nickel derived from nickel or a nickel compound contained in the plating solution used in the electroless plating, and is deposited in the vicinity of the first interface 4 during the electroless plating.

上記第1界面4から500nm以下の第1導電層2及びベースフィルム1内の領域を界面近傍層6とした場合、界面近傍層6におけるニッケル量の下限としては、EDX分析による定量で1質量%であり、3質量%がより好ましい。一方、上記界面近傍層6におけるニッケル量の上限としては、EDX分析による定量で10質量%が好ましく、8質量%がより好ましい。上記界面近傍層6におけるニッケル量が上記下限未満の場合、ニッケルの存在による残留応力の低減効果が低下するため、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が十分に向上しないおそれがある。逆に、上記界面近傍層6におけるニッケル量が上記上限を超える場合、メッキ液に含まれるニッケル量の増加又はメッキ量の増大により、当該プリント配線板用基板の製造コストが高くなるおそれがある。   When the area within the first conductive layer 2 and the base film 1 that is 500 nm or less from the first interface 4 is the interface vicinity layer 6, the lower limit of the nickel amount in the interface vicinity layer 6 is 1% by mass as determined by EDX analysis. And 3% by mass is more preferred. On the other hand, the upper limit of the amount of nickel in the interface vicinity layer 6 is preferably 10% by mass and more preferably 8% by mass as determined by EDX analysis. When the amount of nickel in the interface vicinity layer 6 is less than the lower limit, the effect of reducing the residual stress due to the presence of nickel is lowered, so that the adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2 may not be sufficiently improved. There is. On the contrary, when the nickel amount in the interface vicinity layer 6 exceeds the upper limit, the production cost of the printed wiring board substrate may increase due to an increase in the nickel amount contained in the plating solution or an increase in the plating amount.

このように、当該プリント配線板用基板は、上記第1界面4近傍にニッケルが凝集しているので、第2導電層3よりも第1界面4近傍に、より多くのニッケルが存在する。具体的には、図2に示すように、上記第2導電層3の第2界面5から500nm以下をA層7とした場合、界面近傍層6のニッケルの質量割合が、A層7のニッケルの質量割合よりも大きい。このように多量のニッケルが第1界面4近傍に存在することにより、ベースフィルム1と第1導電層2との間の優れた密着力が得られる。   As described above, in the printed wiring board substrate, since nickel is aggregated in the vicinity of the first interface 4, more nickel is present in the vicinity of the first interface 4 than in the second conductive layer 3. Specifically, as shown in FIG. 2, when the A layer 7 is 500 nm or less from the second interface 5 of the second conductive layer 3, the nickel mass ratio of the interface vicinity layer 6 is the nickel of the A layer 7. It is larger than the mass ratio. Thus, the presence of a large amount of nickel in the vicinity of the first interface 4 provides an excellent adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2.

また、上記無電解メッキで用いるメッキ液に含まれるニッケル又はニッケル化合物に由来するニッケルは、無電解メッキ時に第2導電層3、第1導電層2及びベースフィルム1にも析出し、第2導電層3、第1導電層2及びベースフィルム1にも存在する。   In addition, nickel derived from nickel or a nickel compound contained in the plating solution used in the electroless plating is also deposited on the second conductive layer 3, the first conductive layer 2 and the base film 1 during the electroless plating, and the second conductive Also present in layer 3, first conductive layer 2 and base film 1.

当該プリント配線板用基板は、上記第1界面4近傍へのニッケルの凝集により、第2導電層3よりもベースフィルム1に、より多くのニッケルが存在する。具体的には、図2に示すように、上記ベースフィルム1の第1界面4から1μm以下をB層8とした場合、B層8のニッケルの質量割合が、A層7のニッケルの質量割合よりも大きい。このように多量のニッケルがベースフィルム1に存在することにより、第1導電層及びベースフィルム間の剥離に大きく影響を与えるベースフィルム1の残留応力を効果的に低減でき、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が向上する。   In the printed wiring board substrate, more nickel is present in the base film 1 than in the second conductive layer 3 due to the aggregation of nickel in the vicinity of the first interface 4. Specifically, as shown in FIG. 2, when the B layer 8 is 1 μm or less from the first interface 4 of the base film 1, the nickel mass ratio of the B layer 8 is the mass ratio of nickel of the A layer 7. Bigger than. Thus, the presence of a large amount of nickel in the base film 1 can effectively reduce the residual stress of the base film 1 that greatly affects the peeling between the first conductive layer and the base film. The adhesion between the conductive layer 2 is improved.

B層8におけるニッケル量の下限としては、EDX分析による定量で1質量%が好ましく、2質量%がより好ましい。一方、上記B層8におけるニッケル量の上限としては、EDX分析による定量で5質量%が好ましく、4質量%がより好ましい。上記B層8におけるニッケル量が上記下限未満の場合、ベースフィルム1の残留応力が十分に低減されず、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が十分に向上しないおそれがある。逆に、上記B層8におけるニッケル量が上記上限を超える場合、相対的に界面近傍層6のニッケル量が減るため、界面近傍層6の残留応力が十分に低減されず、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が十分に向上しないおそれがある。   The lower limit of the amount of nickel in the B layer 8 is preferably 1% by mass and more preferably 2% by mass as determined by EDX analysis. On the other hand, the upper limit of the amount of nickel in the B layer 8 is preferably 5% by mass as determined by EDX analysis, and more preferably 4% by mass. When the amount of nickel in the B layer 8 is less than the lower limit, the residual stress of the base film 1 is not sufficiently reduced, and the adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2 may not be sufficiently improved. . On the contrary, when the amount of nickel in the B layer 8 exceeds the upper limit, the amount of nickel in the near-interface layer 6 is relatively reduced, so that the residual stress in the near-interface layer 6 is not sufficiently reduced. There is a possibility that the adhesion between the conductive layer 2 and the conductive layer 2 is not sufficiently improved.

A層7におけるニッケル量の下限としては、EDX分析による定量で0.5質量%が好ましく、1質量%がより好ましい。一方、上記A層7におけるニッケル量の上限としては、EDX分析による定量で3質量%が好ましく、2質量%がより好ましい。上記A層7におけるニッケル量が上記下限未満の場合、第2導電層3の残留応力が低減されず、第1導電層2と第2導電層3との間の密着力が低下するおそれがある。逆に、上記A層7におけるニッケル量が上記上限を超える場合、メッキ液に含まれるニッケル量の増加又はメッキ量の増大により、当該プリント配線板用基板の製造コストが高くなるおそれがある。   The lower limit of the amount of nickel in the A layer 7 is preferably 0.5% by mass as determined by EDX analysis, and more preferably 1% by mass. On the other hand, the upper limit of the amount of nickel in the A layer 7 is preferably 3% by mass and more preferably 2% by mass as determined by EDX analysis. When the amount of nickel in the A layer 7 is less than the lower limit, the residual stress of the second conductive layer 3 is not reduced, and the adhesion between the first conductive layer 2 and the second conductive layer 3 may be reduced. . Conversely, when the amount of nickel in the A layer 7 exceeds the upper limit, the production cost of the printed wiring board substrate may increase due to an increase in the amount of nickel contained in the plating solution or an increase in the amount of plating.

また、図2に示すように上記第1導電層2の界面近傍層6以外の領域をC層9とした場合、C層9におけるニッケル量の下限としては、EDX分析による定量で1質量%が好ましく、2質量%がより好ましい。一方、上記C層9におけるニッケル量の上限としては、EDX分析による定量で6質量%が好ましく、5質量%がより好ましい。上記C層9におけるニッケル量が上記下限未満の場合、第1導電層2の残留応力が低減されず、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が十分に向上しないおそれがある。逆に、上記C層9におけるニッケル量が上記上限を超える場合、メッキ液に含まれるニッケル量の増加又はメッキ量の増大により、当該プリント配線板用基板の製造コストが高くなるおそれがある。   When the region other than the interface vicinity layer 6 of the first conductive layer 2 is the C layer 9 as shown in FIG. 2, the lower limit of the nickel amount in the C layer 9 is 1% by mass as determined by EDX analysis. Preferably, 2 mass% is more preferable. On the other hand, the upper limit of the amount of nickel in the C layer 9 is preferably 6% by mass and more preferably 5% by mass as determined by EDX analysis. When the amount of nickel in the C layer 9 is less than the lower limit, the residual stress of the first conductive layer 2 is not reduced, and the adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2 may not be sufficiently improved. . On the other hand, when the amount of nickel in the C layer 9 exceeds the upper limit, the production cost of the printed wiring board substrate may increase due to an increase in the amount of nickel contained in the plating solution or an increase in the amount of plating.

なお、上記無電解メッキの触媒としてパラジウムを使用した場合には、ニッケルと同様に、パラジウムも第1導電層2、第2導電層3及びベースフィルム1に含まれる。このようにパラジウムが含まれる場合、上記B層8のパラジウムの質量割合が、上記A層7のパラジウムの質量割合よりも大きく、また上記C層9のパラジウムの質量割合よりも大きいことが好ましい。このようにベースフィルム1における質量割合が第1導電層2及び第2導電層3の質量割合よりも大きくなるようパラジウムを分布させることにより、ベースフィルム1及び第1導電層2の界面でのメッキ析出がより緻密となり、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力が向上する。なお、パラジウムを上記無電解メッキの触媒として必ずしも使用しなくてもよく、触媒としてパラジウムを使用しない場合には、当該プリント配線板用基板の第1導電層2、第2導電層3及びベースフィルム1にパラジウムは含まれない。   When palladium is used as the electroless plating catalyst, palladium is also included in the first conductive layer 2, the second conductive layer 3, and the base film 1 in the same manner as nickel. Thus, when palladium is contained, it is preferable that the mass ratio of palladium of the B layer 8 is larger than the mass ratio of palladium of the A layer 7 and larger than the mass ratio of palladium of the C layer 9. Thus, by distributing palladium so that the mass ratio in the base film 1 is larger than the mass ratio of the first conductive layer 2 and the second conductive layer 3, plating at the interface between the base film 1 and the first conductive layer 2 is performed. Precipitation becomes denser and adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2 is improved. In addition, it is not always necessary to use palladium as a catalyst for the electroless plating. When palladium is not used as the catalyst, the first conductive layer 2, the second conductive layer 3 and the base film of the printed wiring board substrate are used. 1 does not contain palladium.

〔プリント配線板用基板の製造方法〕
当該プリント配線板用基板の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルムの一方の面への金属粒子を含む導電性インクの塗布及び加熱により第1導電層を形成する工程(第1導電層形成工程)と、ニッケルを含むメッキ液を用いて、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に第2導電層を形成する工程(第2導電層形成工程)とを備える。当該プリント配線板用基板の製造方法により製造されたプリント配線板用基板は、第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにニッケルが存在し、上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX分析による定量で1質量%以上である。
[Method of manufacturing printed circuit board]
The method for manufacturing a printed wiring board substrate includes a step of forming a first conductive layer by applying and heating conductive ink containing metal particles on one surface of an insulating base film (first conductive layer forming step). And a step of forming a second conductive layer on the surface of the first conductive layer opposite to the base film by electroless plating using a plating solution containing nickel (second conductive layer forming step). The printed wiring board substrate manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board substrate includes nickel in the first conductive layer, the second conductive layer, and the base film, and is 500 nm from the interface between the first conductive layer and the base film. The amount of nickel in the interface near layer below is 1% by mass or more as determined by EDX analysis.

<第1導電層形成工程>
上記第1導電層形成工程では、図3Aに示すように、ベースフィルム1の表面に金属粒子を含む導電性インクを塗布し、乾燥した後、熱処理を施す。
<First conductive layer forming step>
In the first conductive layer forming step, as shown in FIG. 3A, a conductive ink containing metal particles is applied to the surface of the base film 1, dried, and then subjected to heat treatment.

(金属粒子の製造方法)
ここで、導電性インクに分散させる金属粒子の製造方法について説明する。上記金属粒子は、高温処理法、液相還元法、気相法等で製造することができる。
(Method for producing metal particles)
Here, a method for producing metal particles dispersed in the conductive ink will be described. The metal particles can be produced by a high temperature treatment method, a liquid phase reduction method, a gas phase method, or the like.

液相還元法によって上記金属粒子を製造するためには、例えば水に金属粒子を形成する金属のイオンのもとになる水溶性の金属化合物と分散剤とを溶解すると共に、還元剤を加えて一定時間金属イオンを還元反応させればよい。液相還元法の場合、製造される金属粒子は形状が球状又は粒状で揃っており、しかも微細な粒子とすることができる。上記金属イオンのもとになる水溶性の金属化合物として、例えば銅の場合は、硝酸銅(II)(Cu(NO)、硫酸銅(II)五水和物(CuSO・5HO)等を挙げることができる。また銀の場合は硝酸銀(I)(AgNO)、メタンスルホン酸銀(CHSOAg)等、金の場合はテトラクロロ金(III)酸四水和物(HAuCl・4HO)、ニッケルの場合は塩化ニッケル(II)六水和物(NiCl・6HO)、硝酸ニッケル(II)六水和物(Ni(NO・6HO)等を挙げることができる。他の金属粒子についても、塩化物、硝酸化合物、硫酸化合物等の水溶性の化合物を用いることができる。 In order to produce the above metal particles by the liquid phase reduction method, for example, a water-soluble metal compound that is a source of metal ions that form metal particles in water and a dispersant are dissolved, and a reducing agent is added. What is necessary is just to make a metal ion reduce-react for a fixed time. In the case of the liquid phase reduction method, the metal particles to be produced have a spherical or granular shape and can be made into fine particles. For example, in the case of copper, copper (II) nitrate (Cu (NO 3 ) 2 ), copper (II) sulfate pentahydrate (CuSO 4 .5H 2 ) as the water-soluble metal compound that is the basis of the metal ions. O) and the like. In the case of silver, silver nitrate (I) (AgNO 3 ), silver methanesulfonate (CH 3 SO 3 Ag), etc. In the case of gold, tetrachloroauric (III) acid tetrahydrate (HAuCl 4 .4H 2 O) In the case of nickel, nickel chloride (II) hexahydrate (NiCl 2 · 6H 2 O), nickel nitrate (II) hexahydrate (Ni (NO 3 ) 2 · 6H 2 O) and the like can be mentioned. . For other metal particles, water-soluble compounds such as chlorides, nitric acid compounds and sulfuric acid compounds can be used.

液相還元法によって金属粒子を製造する場合の還元剤としては、液相(水溶液)の反応系において、金属イオンを還元及び析出させることができる種々の還元剤を用いることができる。この還元剤として、例えば水素化ホウ素ナトリウム、次亜リン酸ナトリウム、ヒドラジン、3価のチタンイオンや2価のコバルトイオン等の遷移金属のイオン、アスコルビン酸、グルコースやフルクトース等の還元性糖類、エチレングリコールやグリセリン等の多価アルコールなどを挙げることができる。このうち、3価のチタンイオンが4価に酸化する際の酸化還元作用によって金属イオンを還元し、金属粒子を析出させる方法がチタンレドックス法である。チタンレドックス法で得られる金属粒子は、粒子径が小さくかつ揃っており、さらにチタンレドックス法は金属粒子の形状を球形又は粒状にすることができる。そのため、チタンレドックス法を用いることで、金属粒子がより高密度に充填され、上記第1導電層2をより緻密な層に形成することができる。   As a reducing agent when producing metal particles by a liquid phase reduction method, various reducing agents capable of reducing and precipitating metal ions in a liquid phase (aqueous solution) reaction system can be used. Examples of the reducing agent include sodium borohydride, sodium hypophosphite, hydrazine, transition metal ions such as trivalent titanium ions and divalent cobalt ions, reducing sugars such as ascorbic acid, glucose and fructose, ethylene Examples thereof include polyhydric alcohols such as glycol and glycerin. Among these, the titanium redox method is a method in which metal ions are reduced by a redox action when trivalent titanium ions are oxidized to tetravalent and metal particles are precipitated. The metal particles obtained by the titanium redox method have small and uniform particle diameters, and the titanium redox method can make the shape of the metal particles spherical or granular. Therefore, by using the titanium redox method, the metal particles are filled with higher density, and the first conductive layer 2 can be formed in a denser layer.

金属粒子の粒子径を調整するには、金属化合物、分散剤、還元剤の種類及び配合割合を調整すると共に、金属化合物を還元反応させる際に、攪拌速度、温度、時間、pH等を調整すればよい。例えば反応系のpHは、本実施形態のように微小な粒子径の金属粒子を得るには、7以上13以下とすることが好ましい。このときpH調整剤を用いることで、反応系のpHを上記範囲に調整することができる。このpH調整剤としては、塩酸、硫酸、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等の一般的な酸又はアルカリが使用されるが、特に周辺部材の劣化を防止するために、アルカリ金属やアルカリ土類金属、塩素等のハロゲン元素、硫黄、リン、ホウ素等の不純物元素を含まない硝酸やアンモニアが好ましい。   To adjust the particle size of the metal particles, adjust the type and blending ratio of the metal compound, dispersant, and reducing agent, and adjust the stirring speed, temperature, time, pH, etc. when reducing the metal compound. That's fine. For example, the pH of the reaction system is preferably 7 or more and 13 or less in order to obtain metal particles having a minute particle size as in this embodiment. At this time, the pH of the reaction system can be adjusted to the above range by using a pH adjuster. As this pH adjuster, a general acid or alkali such as hydrochloric acid, sulfuric acid, sodium hydroxide, sodium carbonate or the like is used. In particular, in order to prevent deterioration of peripheral members, alkali metal or alkaline earth metal, Nitric acid and ammonia which do not contain halogen elements such as chlorine and impurity elements such as sulfur, phosphorus and boron are preferable.

(導電性インクの調整)
次に、上記導電性インクの調整方法について説明する。上記導電性インクに含まれる分散剤としては、分子量が2,000以上300,000以下で、分散媒中で析出した金属粒子を良好に分散させることができる種々の分散剤を用いることができる。分子量が上記範囲の分散剤を用いることで、金属粒子を分散媒中に良好に分散させることができ、得られる第1導電層2の膜質を緻密でかつ欠陥のないものにすることができる。上記分散剤の分子量が上記下限未満の場合、金属粒子の凝集を防止して分散を維持する効果が十分に得られないおそれがあり、その結果、ベースフィルム1に積層される第1導電層2を緻密で欠陥の少ないものにできないおそれがある。一方、上記分散剤の分子量が上記上限を超える場合、分散剤の嵩が大きすぎ、導電性インクの塗布後に行う熱処理において、金属粒子同士の焼結を阻害してボイドを生じさせるおそれがある。また、分散剤の嵩が大きすぎると、第1導電層2の膜質の緻密さが低下したり、分散剤の分解残渣が導電性を低下させるおそれがある。
(Adjustment of conductive ink)
Next, a method for adjusting the conductive ink will be described. As the dispersant contained in the conductive ink, various dispersants having a molecular weight of 2,000 to 300,000 and capable of favorably dispersing metal particles precipitated in the dispersion medium can be used. By using a dispersant having a molecular weight in the above range, the metal particles can be favorably dispersed in the dispersion medium, and the film quality of the obtained first conductive layer 2 can be made dense and defect-free. When the molecular weight of the dispersant is less than the lower limit, the effect of preventing the aggregation of the metal particles and maintaining the dispersion may not be sufficiently obtained. As a result, the first conductive layer 2 laminated on the base film 1 may be obtained. May not be able to be made dense with few defects. On the other hand, when the molecular weight of the dispersant exceeds the above upper limit, the bulk of the dispersant is too large, and in the heat treatment performed after the application of the conductive ink, there is a risk of inhibiting the sintering of the metal particles and generating voids. Moreover, when the volume of a dispersing agent is too large, there exists a possibility that the denseness of the film quality of the 1st conductive layer 2 may fall, or the decomposition residue of a dispersing agent may reduce electroconductivity.

上記分散剤は、部品の劣化防止の観点より、硫黄、リン、ホウ素、ハロゲン及びアルカリを含まないものが好ましい。好ましい分散剤としては、分子量が上記範囲にあるもので、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子分散剤、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等の分子中にカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子分散剤、ポバール(ポリビニルアルコール)、スチレン−マレイン酸共重合体、オレフィン−マレイン酸共重合体、あるいは1分子中にポリエチレンイミン部分とポリエチレンオキサイド部分とを有する共重合体等の極性基を有する高分子分散剤等を挙げることができる。   The dispersant preferably does not contain sulfur, phosphorus, boron, halogen, and alkali from the viewpoint of preventing deterioration of parts. Preferred dispersants are those having a molecular weight in the above range, amine-based polymer dispersants such as polyethyleneimine and polyvinylpyrrolidone, and hydrocarbon-based hydrocarbons having a carboxylic acid group in the molecule such as polyacrylic acid and carboxymethylcellulose. Polar groups such as polymer dispersants, poval (polyvinyl alcohol), styrene-maleic acid copolymers, olefin-maleic acid copolymers, or copolymers having a polyethyleneimine moiety and a polyethylene oxide moiety in one molecule The polymer dispersing agent which has can be mentioned.

上記分散剤は、水又は水溶性有機溶媒に溶解した溶液の状態で反応系に添加することもできる。分散剤の含有割合としては、金属粒子100質量部当たり1質量部以上60質量部以下が好ましい。分散剤が金属粒子を取り囲むことで凝集を防止して金属粒子を良好に分散させるが、上記分散剤の含有割合が上記下限未満の場合、この凝集防止効果が不十分となるおそれがある。一方、上記分散剤の含有割合が上記上限を超える場合、導電性インクの塗装後の熱処理時に、過剰の分散剤が金属粒子の焼結を含む焼成を阻害してボイドが発生するおそれがあり、また、高分子分散剤の分解残渣が不純物として第1導電層2中に残存して導電性を低下させるおそれがある。   The dispersant can also be added to the reaction system in the form of a solution dissolved in water or a water-soluble organic solvent. As a content rate of a dispersing agent, 1 to 60 mass parts is preferable per 100 mass parts of metal particles. The dispersing agent surrounds the metal particles to prevent aggregation and disperse the metal particles satisfactorily. However, when the content of the dispersing agent is less than the lower limit, this aggregation preventing effect may be insufficient. On the other hand, when the content ratio of the dispersant exceeds the upper limit, during the heat treatment after the coating of the conductive ink, there is a risk that an excessive dispersant inhibits firing including sintering of the metal particles, and voids are generated. In addition, the decomposition residue of the polymer dispersant may remain as an impurity in the first conductive layer 2 to reduce the conductivity.

導電性インクにおける分散媒となる水の含有割合としては、金属粒子100質量部当たり20質量部以上1900質量部以下が好ましい。分散媒の水は、分散剤を十分に膨潤させて分散剤で囲まれた金属粒子を良好に分散させるが、上記水の含有割合が上記下限未満の場合、水によるこの分散剤の膨潤効果が不十分となるおそれがある。一方、上記水の含有割合が上記上限を超える場合、導電性インク中の金属粒子割合が少なくなり、ベースフィルム1の表面に必要な厚みと密度とを有する良好な第1導電層2を形成できないおそれがある。   The content ratio of water serving as a dispersion medium in the conductive ink is preferably 20 parts by mass or more and 1900 parts by mass or less per 100 parts by mass of the metal particles. The water of the dispersion medium sufficiently swells the dispersing agent to favorably disperse the metal particles surrounded by the dispersing agent. However, when the content ratio of the water is less than the lower limit, the swelling effect of the dispersing agent by water can be reduced. May be insufficient. On the other hand, when the content ratio of the water exceeds the upper limit, the ratio of the metal particles in the conductive ink is reduced, and the favorable first conductive layer 2 having the necessary thickness and density cannot be formed on the surface of the base film 1. There is a fear.

上記導電性インクに必要に応じて配合する有機溶媒として、水溶性である種々の有機溶媒が使用可能である。その具体例としては、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、エチレングリコール、グリセリン等の多価アルコールやその他のエステル類、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。   Various organic solvents that are water-soluble can be used as the organic solvent blended into the conductive ink as necessary. Specific examples thereof include alcohols such as methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butyl alcohol, isobutyl alcohol, sec-butyl alcohol and tert-butyl alcohol, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, Examples thereof include polyhydric alcohols such as ethylene glycol and glycerin and other esters, and glycol ethers such as ethylene glycol monoethyl ether and diethylene glycol monobutyl ether.

水溶性の有機溶媒の含有割合としては、金属粒子100質量部当たり30質量部以上900質量部以下が好ましい。上記水溶性の有機溶媒の含有割合が上記下限未満の場合、上記有機溶媒による分散液の粘度調整及び蒸気圧調整の効果が十分に得られないおそれがある。一方、上記水溶性の有機溶媒の含有割合が上記上限を超える場合、水による分散剤の膨潤効果が不十分となり、導電性インク中で金属粒子の凝集が生じるおそれがある。   The content ratio of the water-soluble organic solvent is preferably 30 parts by mass or more and 900 parts by mass or less per 100 parts by mass of the metal particles. When the content rate of the said water-soluble organic solvent is less than the said minimum, there exists a possibility that the effect of the viscosity adjustment and vapor pressure adjustment of the dispersion liquid by the said organic solvent may not fully be acquired. On the other hand, when the content ratio of the water-soluble organic solvent exceeds the above upper limit, the swelling effect of the dispersant due to water becomes insufficient, and the metal particles may aggregate in the conductive ink.

なお、液相還元法で金属粒子を製造する場合、液相(水溶液)の反応系で析出させた金属粒子は、ろ別、洗浄、乾燥、解砕等の工程を経て、一旦粉末状としたものを用いて導電性インクを調整することができる。この場合は、粉末状の金属粒子と、分散媒である水と、分散剤と、必要に応じて水溶性の有機溶媒とを所定の割合で配合し、金属粒子を含む導電性インクとすることができる。このとき、金属粒子を析出させた液相(水溶液)を出発原料として導電性インクを調整することが好ましい。具体的には、析出した金属粒子を含む液相(水溶液)を限外ろ過、遠心分離、水洗、電気透析等の処理に供して不純物を除去し、必要に応じて濃縮して水を除去する。又は、逆に水を加えて金属粒子の濃度を調整した後、さらに必要に応じて水溶性の有機溶媒を所定の割合で配合することによって金属粒子を含む導電性インクを調整する。この方法では、金属粒子の乾燥時の凝集による粗大で不定形な粒子の発生を防止することができ、緻密で均一な第1導電層2を形成し易い。   In addition, when producing metal particles by the liquid phase reduction method, the metal particles deposited in the liquid phase (aqueous solution) reaction system are once powdered through steps such as filtration, washing, drying, and crushing. The conductive ink can be adjusted by using one. In this case, a powdered metal particle, water as a dispersion medium, a dispersant, and, if necessary, a water-soluble organic solvent are blended in a predetermined ratio to obtain a conductive ink containing metal particles. Can do. At this time, it is preferable to adjust the conductive ink using a liquid phase (aqueous solution) in which metal particles are deposited as a starting material. Specifically, the liquid phase (aqueous solution) containing the precipitated metal particles is subjected to treatment such as ultrafiltration, centrifugation, washing with water, and electrodialysis to remove impurities, and if necessary, concentrated to remove water. . Or conversely, after adding water and adjusting the density | concentration of a metal particle, the electroconductive ink containing a metal particle is adjusted by mix | blending a water-soluble organic solvent in a predetermined | prescribed ratio further as needed. In this method, generation of coarse and irregular particles due to agglomeration of metal particles during drying can be prevented, and the dense and uniform first conductive layer 2 can be easily formed.

(導電性インクの塗布)
金属粒子を分散させた導電性インクをベースフィルム1の一方の面に塗布する方法としては、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ダイコート法、スリットコート法、ロールコート法、ディップコート法等の従来公知の塗布法を用いることができる。またスクリーン印刷、ディスペンサ等によりベースフィルム1の一方の面の一部のみに導電性インクを塗布するようにしてもよい。
(Applying conductive ink)
As a method of applying the conductive ink in which metal particles are dispersed on one surface of the base film 1, a spin coating method, a spray coating method, a bar coating method, a die coating method, a slit coating method, a roll coating method, a dip coating method. A conventionally known coating method such as the above can be used. Alternatively, the conductive ink may be applied to only a part of one surface of the base film 1 by screen printing, a dispenser, or the like.

(熱処理)
導電性インクをベースフィルム1の一方の面に塗布し、乾燥した後、熱処理を行う。ベースフィルム1の一方の面に導電性インクを塗布した後、熱処理をすることで、焼成された塗布層としてベースフィルム1の一方の面に固着された第1導電層2が得られる。熱処理により、塗布された導電性インクに含まれる分散剤やその他の有機物を揮発及び分解させて塗布層から除去することにより、残る金属粒子が焼結状態又は焼結に至る前段階にあって相互に密着して固体接合したような状態となる。
(Heat treatment)
A conductive ink is applied to one surface of the base film 1 and dried, followed by heat treatment. The first conductive layer 2 fixed to one surface of the base film 1 is obtained as a baked coating layer by applying heat treatment after applying conductive ink to one surface of the base film 1. By heat treatment, the dispersing agent and other organic substances contained in the applied conductive ink are volatilized and decomposed and removed from the coating layer, so that the remaining metal particles are in the sintered state or in the previous stage before sintering. It will be in the state which closely_contact | adhered to and solid-bonded.

また、第1導電層2のベースフィルム1との界面4近傍では、熱処理によって金属粒子が酸化して、この金属粒子の金属に基づく金属水酸化物又はその金属水酸化物に由来する基の生成を抑えつつ、上記金属に基づく金属酸化物又はその金属酸化物に由来する基が生成される。具体的には、例えば金属粒子として銅を用いた場合、第1導電層2のベースフィルム1との界面近傍に酸化銅及び水酸化銅が生成するが、酸化銅の方が多く生成する。この第1界面4近傍に生成した酸化銅は、ベースフィルム1を構成するポリイミドと強く結合するため、第1導電層2とベースフィルム1との間の密着力が大きくなる。   Further, in the vicinity of the interface 4 between the first conductive layer 2 and the base film 1, the metal particles are oxidized by the heat treatment, and a metal hydroxide based on the metal of the metal particles or a group derived from the metal hydroxide is generated. In this way, a metal oxide based on the above metal or a group derived from the metal oxide is generated. Specifically, for example, when copper is used as the metal particles, copper oxide and copper hydroxide are generated in the vicinity of the interface between the first conductive layer 2 and the base film 1, but more copper oxide is generated. Since the copper oxide produced in the vicinity of the first interface 4 is strongly bonded to the polyimide constituting the base film 1, the adhesion between the first conductive layer 2 and the base film 1 is increased.

上記熱処理は、一定量の酸素が含まれる雰囲気下で行う。熱処理時の雰囲気の酸素濃度の下限は、1ppmであり、10ppmがより好ましい。また、上記酸素濃度の上限としては、10,000ppmであり、1,000ppmがより好ましい。上記酸素濃度が上記下限未満の場合、第1導電層2の界面近傍における酸化銅の生成量が少なくなり、酸化銅による第1導電層2とベースフィルム1との密着力の向上効果が十分に得られないおそれがある。一方、上記酸素濃度が上記上限を超える場合、金属粒子が過剰に酸化してしまい第1導電層2の導電性が低下するおそれがある。   The heat treatment is performed in an atmosphere containing a certain amount of oxygen. The lower limit of the oxygen concentration in the atmosphere during the heat treatment is 1 ppm, and 10 ppm is more preferable. Moreover, as an upper limit of the said oxygen concentration, it is 10,000 ppm and 1,000 ppm is more preferable. When the oxygen concentration is less than the lower limit, the amount of copper oxide generated in the vicinity of the interface of the first conductive layer 2 is reduced, and the effect of improving the adhesion between the first conductive layer 2 and the base film 1 due to the copper oxide is sufficient. May not be obtained. On the other hand, when the oxygen concentration exceeds the upper limit, the metal particles are excessively oxidized and the conductivity of the first conductive layer 2 may be lowered.

上記熱処理の温度の下限としては、150℃が好ましく、200℃がより好ましい。また、上記熱処理の温度の上限としては、500℃が好ましく、400℃がより好ましい。上記熱処理の温度が上記下限未満の場合、第1導電層2の界面4近傍における金属酸化物の生成量が少なくなり、金属酸化物による第1導電層2とベースフィルム1との密着力の向上効果が十分に得られないおそれがある。一方、上記熱処理の温度が上記上限を超える場合、ベースフィルム1がポリイミド等の有機樹脂の場合にベースフィルム1が変形するおそれがある。   As a minimum of the temperature of the above-mentioned heat treatment, 150 ° C is preferred and 200 ° C is more preferred. Moreover, as an upper limit of the temperature of the said heat processing, 500 degreeC is preferable and 400 degreeC is more preferable. When the temperature of the heat treatment is lower than the lower limit, the amount of metal oxide generated in the vicinity of the interface 4 of the first conductive layer 2 is reduced, and the adhesion between the first conductive layer 2 and the base film 1 is improved by the metal oxide. The effect may not be obtained sufficiently. On the other hand, when the temperature of the heat treatment exceeds the upper limit, the base film 1 may be deformed when the base film 1 is an organic resin such as polyimide.

<第2導電層形成工程>
上記第2導電層形成工程では、図3Bに示すように、上記第1導電層形成工程でベースフィルム1に積層した第1導電層2のベースフィルム1と反対側の面に、無電解メッキにより第2導電層3を形成する。
<Second conductive layer forming step>
In the second conductive layer forming step, as shown in FIG. 3B, the surface of the first conductive layer 2 laminated on the base film 1 in the first conductive layer forming step is electrolessly plated on the surface opposite to the base film 1. The second conductive layer 3 is formed.

なお上記無電解メッキは、例えばクリーナー工程、水洗工程、酸処理工程、水洗工程、プレディップ工程、アクチベーター工程、水洗工程、還元工程、水洗工程、金属層形成工程(化学銅工程、化学ニッケル工程等)、水洗工程、乾燥工程等の処理と共に、無電解メッキを行う。なお、これらの工程のうち、アクチベーター工程は必須の工程ではなく、無電解メッキの際に実施しなくてもよい。   In addition, the electroless plating is, for example, a cleaner process, a water washing process, an acid treatment process, a water washing process, a pre-dip process, an activator process, a water washing process, a reduction process, a water washing process, a metal layer forming process (chemical copper process, chemical nickel process). Etc.), electroless plating is performed together with the water washing process, the drying process and the like. Of these processes, the activator process is not an essential process and may not be performed during electroless plating.

上述したように、無電解メッキに用いる金属として、銅、ニッケル、銀等を用いることができる。例えば銅メッキを行う場合、無電解メッキで用いる銅メッキ液として、微量のニッケルを含有する銅メッキ液を用いる。ニッケル又はニッケル化合物を含有させた銅メッキ液を用いることにより、低応力の第2導電層3を形成することができる。上記銅メッキ液として、例えば100モルの銅に対し0.1モル以上60モル以下のニッケルを含有するものを用いる。また、上記銅メッキ液に、錯化剤、還元剤、pH調整剤等の他の成分を適宜配合させてもよい。   As described above, copper, nickel, silver, or the like can be used as a metal used for electroless plating. For example, when copper plating is performed, a copper plating solution containing a small amount of nickel is used as a copper plating solution used in electroless plating. By using a copper plating solution containing nickel or a nickel compound, the low-stress second conductive layer 3 can be formed. As said copper plating liquid, what contains 0.1 mol or more and 60 mol or less nickel with respect to 100 mol copper, for example is used. Moreover, you may mix | blend other components, such as a complexing agent, a reducing agent, and a pH adjuster, with the said copper plating solution suitably.

当該プリント配線板用基板の製造方法では、ニッケル又はニッケル化合物を含有するメッキ液を用いて無電解メッキを行うことにより、メッキ液に含まれるニッケル又はニッケル化合物に由来するニッケルが、無電解メッキ時に第1導電層2、第2導電層3及びベースフィルム1に析出する。このニッケルは、界面近傍層6に凝集するように分布するので、当該プリント配線板用基板は、ベースフィルム1及び第1導電層2の残留応力が低減する。特に界面近傍層6の残留応力が大きく低減するので、第1導電層2とベースフィルム1との間の密着力が顕著に向上する。   In the method for manufacturing a substrate for a printed wiring board, by performing electroless plating using a plating solution containing nickel or a nickel compound, nickel derived from the nickel or nickel compound contained in the plating solution is not electrolyzed. It is deposited on the first conductive layer 2, the second conductive layer 3 and the base film 1. Since this nickel is distributed so as to aggregate in the interface vicinity layer 6, the residual stress of the base film 1 and the first conductive layer 2 is reduced in the printed wiring board substrate. In particular, since the residual stress in the interface vicinity layer 6 is greatly reduced, the adhesion between the first conductive layer 2 and the base film 1 is significantly improved.

また、上記無電解メッキで、メッキ金属の析出触媒としてパラジウムを用いてもよい。パラジウムを析出触媒として用いる場合、例えば上記アクチベーター工程において、第1導電層2の表面を塩化パラジウム溶液に接触させることにより第1導電層2表面にパラジウムイオンを吸着させ、上記還元工程において第1導電層2に吸着したパラジウムイオンを金属パラジウムに還元する。そして、例えば無電解銅メッキを行う場合には、上記化学銅工程において、例えば硫酸銅とホルマリンとを含む水溶液に浸積することにより、パラジウムを触媒として第1導電層2表面に銅の皮膜が形成される。また、例えば無電解ニッケルメッキを行う場合には、上記化学ニッケル工程において、例えば硫酸ニッケルと次亜リン酸ナトリウムとを含む水溶液に浸漬することにより、パラジウムを触媒として第1導電層2表面にニッケルの皮膜が形成される。   In the electroless plating, palladium may be used as a plating metal deposition catalyst. When palladium is used as the deposition catalyst, for example, in the activator step, palladium ion is adsorbed on the surface of the first conductive layer 2 by bringing the surface of the first conductive layer 2 into contact with the palladium chloride solution, and the first step in the reduction step. The palladium ions adsorbed on the conductive layer 2 are reduced to metallic palladium. For example, in the case of performing electroless copper plating, in the chemical copper process, a copper film is formed on the surface of the first conductive layer 2 using palladium as a catalyst, for example, by dipping in an aqueous solution containing copper sulfate and formalin. It is formed. Further, for example, when performing electroless nickel plating, in the chemical nickel step, nickel is applied to the surface of the first conductive layer 2 using palladium as a catalyst by immersing in an aqueous solution containing, for example, nickel sulfate and sodium hypophosphite. A film is formed.

当該プリント配線板用基板の製造方法では、パラジウムを析出触媒として用いて無電解メッキを行うことにより、第1導電層2に吸着したパラジウムイオンの還元されたパラジウムは、無電解メッキ時に第1導電層2の表面からベースフィルム1へ向かって移動する。このように移動したパラジウムは、その質量割合が、第1導電層2及び第2導電層3よりもベースフィルム1の方が大きくなるよう分布する。パラジウムがベースフィルム1内に多く含まれることになり、ベースフィルム1及び第1導電層2の界面でのメッキ析出がより緻密となるので、ベースフィルム1と第1導電層2との間の密着力がより向上する。   In the method for manufacturing a printed wiring board substrate, by performing electroless plating using palladium as a deposition catalyst, the reduced palladium of palladium ions adsorbed on the first conductive layer 2 becomes the first conductive during electroless plating. It moves from the surface of the layer 2 toward the base film 1. The palladium thus moved is distributed such that the mass ratio of the base film 1 is larger than that of the first conductive layer 2 and the second conductive layer 3. Since a large amount of palladium is contained in the base film 1 and plating deposition at the interface between the base film 1 and the first conductive layer 2 becomes denser, the adhesion between the base film 1 and the first conductive layer 2 is increased. Power improves more.

なお、導電層として例えば1μm以上の平均厚みが要求される場合には、無電解メッキをした後、要求される導電層の厚みになるまでさらに電気メッキを行う。この電気メッキは、例えば銅、ニッケル、銀等のメッキする金属に応じた従来公知の電気メッキ浴を用いて、かつ適切な条件を選んで、所定厚の導電層が欠陥なく速やかに形成されるように行うことができる。   When an average thickness of 1 μm or more is required as the conductive layer, for example, after electroless plating, electroplating is further performed until the required thickness of the conductive layer is reached. In this electroplating, for example, a known electroplating bath according to a metal to be plated such as copper, nickel, silver, etc. is used, and an appropriate condition is selected, so that a conductive layer having a predetermined thickness is quickly formed without defects. Can be done as follows.

〔プリント配線板〕
当該プリント配線板は、図1に示す上記プリント配線板用基板に導電パターンを形成することにより製造される。上記導電パターンは、上記プリント配線板用基板の第1導電層2及び第2導電層3にサブトラクティブ法又はセミアディティブ法を用いて形成される。
[Printed wiring board]
The printed wiring board is manufactured by forming a conductive pattern on the printed wiring board substrate shown in FIG. The conductive pattern is formed on the first conductive layer 2 and the second conductive layer 3 of the printed wiring board substrate using a subtractive method or a semi-additive method.

〔プリント配線板の製造方法〕
次に、上記プリント配線板用基板を用いる当該プリント配線板の製造方法の実施形態について説明する。ここでは、サブトラクティブ法により導電パターンを形成する場合について説明する。
[Method of manufacturing printed wiring board]
Next, an embodiment of a method for manufacturing the printed wiring board using the printed wiring board substrate will be described. Here, a case where a conductive pattern is formed by a subtractive method will be described.

まず、図4Aに示すように、所定の大きさに調整された上記プリント配線板用基板の一方の面に、感光性のレジスト10を被覆形成する。次に、図4Bに示すように、露光、現像等により、レジスト10に対して導電パターンに対応するパターニングを行う。次に、図4Cに示すように、レジスト10をマスクとしてエッチングにより導電パターン以外の部分の第2導電層3及び第1導電層2を除去する。そして最後に、図4Dに示すように、残ったレジスト10を除去することにより、導電パターン11がベースフィルム1上に形成されたプリント配線板が得られる。   First, as shown in FIG. 4A, a photosensitive resist 10 is formed on one surface of the printed wiring board substrate adjusted to a predetermined size. Next, as shown in FIG. 4B, patterning corresponding to the conductive pattern is performed on the resist 10 by exposure, development, or the like. Next, as shown in FIG. 4C, the second conductive layer 3 and the first conductive layer 2 other than the conductive pattern are removed by etching using the resist 10 as a mask. Finally, as shown in FIG. 4D, the remaining resist 10 is removed to obtain a printed wiring board in which the conductive pattern 11 is formed on the base film 1.

ここでは、サブトラクティブ法により回路を形成するプリント配線板の製造方法について説明したが、セミアディティブ法等、他の公知の製造方法を用いて回路を形成しても当該プリント配線板を製造できる。当該プリント配線板は、上記プリント配線板用基板を用いて製造したものなので、高密度のプリント配線の要求を満たすべく十分に薄く形成されると共に、ベースフィルム1と第1導電層2との密着力が大きく、ベースフィルム1から導電層が剥離し難い。   Although the printed wiring board manufacturing method for forming a circuit by the subtractive method has been described here, the printed wiring board can be manufactured even if the circuit is formed by using another known manufacturing method such as a semi-additive method. Since the printed wiring board is manufactured using the printed wiring board substrate, the printed wiring board is sufficiently thin to meet the demand for high-density printed wiring, and the base film 1 and the first conductive layer 2 are in close contact with each other. The force is large and the conductive layer is difficult to peel from the base film 1.

〔利点〕
当該プリント配線板用基板は、ベースフィルム及び第1導電層の界面近傍において、ニッケルが所定量存在し、第1導電層とベースフィルムとの密着力が大きく、導電層がベースフィルムから剥がれ難い。
〔advantage〕
In the printed wiring board substrate, a predetermined amount of nickel is present in the vicinity of the interface between the base film and the first conductive layer, the adhesion between the first conductive layer and the base film is large, and the conductive layer is difficult to peel off from the base film.

また、当該プリント配線板用基板は、接着剤を使用しなくても第1導電層とベースフィルムとの間に大きな密着力が得られるので、導電層とベースフィルムとの密着力が大きく高密度のプリント配線板が低コストで製造できる。   In addition, since the printed wiring board substrate can obtain a large adhesion force between the first conductive layer and the base film without using an adhesive, the adhesion force between the conductive layer and the base film is large and high density. Can be manufactured at low cost.

[その他の実施形態]
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
[Other Embodiments]
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the configuration of the embodiment described above, but is defined by the scope of the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims. The

上記実施形態では、ベースフィルム1の一方の面に第1導電層2及び第2導電層3を積層する構成としたが、同様の形成方法によりベースフィルムの両面に第1導電層及び第2導電層を積層する構成の両面プリント配線板用基板としてもよい。また、上記実施形態で得たプリント配線板用基板の他方の面に、他の方法で導電層を形成してもよい。例えば、上記プリント配線板用基板の他方の面に、電気メッキにより導電層を形成させてもよい。   In the said embodiment, although it was set as the structure which laminates | stacks the 1st conductive layer 2 and the 2nd conductive layer 3 on the one surface of the base film 1, a 1st conductive layer and a 2nd conductive on both surfaces of a base film with the same formation method. It is good also as a board | substrate for double-sided printed wiring boards of the structure which laminates | stacks a layer. Moreover, you may form a conductive layer with another method in the other surface of the board | substrate for printed wiring boards obtained by the said embodiment. For example, a conductive layer may be formed on the other surface of the printed wiring board substrate by electroplating.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

[実施例]
第2導電層を形成するための無電解メッキ液に含ませるニッケル量の条件を変えて、実施例として表1の試験No.1〜No.6の6種類のプリント配線板用基板を製造した。
[Example]
By changing the condition of the amount of nickel included in the electroless plating solution for forming the second conductive layer, the test No. in Table 1 was used as an example. 1-No. 6 types of printed wiring board substrates were manufactured.

表1の試験No.1に示すプリント配線板用基板の製造は、以下のようにして行った。まず、平均粒子径が60nmの銅粒子を溶媒の水に分散させ、銅濃度が26質量%の導電性インクを作成した。次に、絶縁性を有するベースフィルムとして平均厚み25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社の「カプトンEN−S」)を用い、この導電性インクをポリイミドフィルムの一方の面に塗布し、大気中で乾燥して平均厚み0.15μmの第1導電層を形成した。そして、酸素濃度が100ppmの窒素雰囲気中で30分間、350℃で熱処理を実施した。次に、第1導電層の一方の面に、銅の無電解メッキを行い、無電解メッキによる平均厚み0.4μmの第2導電層を形成した。ここで、無電解メッキに用いる無電解銅メッキ液として、銅100モルに対してニッケル0.1モルを含有するものを用いた。さらに銅の電気メッキを行い、銅で形成される導電層の合計平均厚みが18μmのプリント配線板用基板を得た。   Test No. in Table 1 The printed wiring board substrate shown in FIG. 1 was produced as follows. First, copper particles having an average particle diameter of 60 nm were dispersed in solvent water to prepare a conductive ink having a copper concentration of 26% by mass. Next, a polyimide film having an average thickness of 25 μm (“Kapton EN-S” manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) was used as an insulating base film, and this conductive ink was applied to one surface of the polyimide film, and in the atmosphere. Was dried to form a first conductive layer having an average thickness of 0.15 μm. Then, heat treatment was performed at 350 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm. Next, copper electroless plating was performed on one surface of the first conductive layer to form a second conductive layer having an average thickness of 0.4 μm by electroless plating. Here, as an electroless copper plating solution used for electroless plating, a solution containing 0.1 mol of nickel with respect to 100 mol of copper was used. Further, electroplating of copper was performed to obtain a printed wiring board substrate having a total average thickness of conductive layers made of copper of 18 μm.

また、無電解メッキに用いる無電解銅メッキ液として、銅100モルに対してニッケル1モルを含有するものを用いた以外は、上述の試験No.1に示すプリント配線板用基板と同様の方法により試験No.2のプリント配線板用基板を得た。また、無電解メッキに用いる無電解銅メッキ液として、銅100モルに対してニッケル20モルを含有するものを用いた以外は、上述の試験No.1に示すプリント配線板用基板と同様の方法により試験No.3のプリント配線板用基板を得た。また、無電解メッキに用いる無電解銅メッキ液として、銅100モルに対してニッケル60モルを含有するものを用いた以外は、上述の試験No.1に示すプリント配線板用基板と同様の方法により試験No.4のプリント配線板用基板を得た。   Further, as the electroless copper plating solution used for electroless plating, the above test No. 1 was used except that one containing 1 mol of nickel per 100 mol of copper was used. In the same manner as the printed wiring board substrate shown in FIG. 2 printed wiring board substrates were obtained. Further, as the electroless copper plating solution used for electroless plating, the above test No. 1 was used except that one containing 20 mol of nickel with respect to 100 mol of copper was used. In the same manner as the printed wiring board substrate shown in FIG. 3 printed wiring board substrates were obtained. Further, as the electroless copper plating solution used for electroless plating, the above test No. 1 was used except that one containing 60 mol of nickel with respect to 100 mol of copper was used. In the same manner as the printed wiring board substrate shown in FIG. 4 printed wiring board substrates were obtained.

また、無電解メッキを行う前にアクチベーター工程を実施し、第1導電層を形成したポリイミドフィルムを0.3g/Lの塩化パラジウムに45℃、30秒間浸漬して第1導電層の表面に金属パラジウムを析出させ、その後に無電解メッキを行った以外は、上述の試験No.3に示すプリント配線板用基板と同様の方法により試験No.5のプリント配線板用基板を得た。なお、試験No.5以外のプリント配線板用基板の作成時には、アクチベーター工程を実施していない。   In addition, an activator step is carried out before electroless plating, and the polyimide film on which the first conductive layer is formed is immersed in 0.3 g / L of palladium chloride at 45 ° C. for 30 seconds on the surface of the first conductive layer. Except that metal palladium was deposited and then electroless plating was performed, the above test Nos. In the same manner as the printed wiring board substrate shown in FIG. 5 printed wiring board substrates were obtained. In addition, Test No. When the printed wiring board substrate other than 5 is prepared, the activator process is not performed.

[比較例]
無電解メッキに用いる無電解銅メッキ液にニッケルを含有させなかった以外は、上述の試験No.1に示すプリント配線板用基板と同様の方法により、比較例として試験No.6のプリント配線板用基板を得た。
[Comparative example]
Except that nickel was not included in the electroless copper plating solution used for electroless plating, the above test Nos. In the same manner as the printed wiring board substrate shown in FIG. A printed wiring board substrate No. 6 was obtained.

<密着力評価>
試験No.1〜No.6のプリント配線板用基板について、ポリイミドフィルム及び導電層間のピール強度(g/cm)を測定し、ポリイミドフィルムと導電層との密着力を評価した。ピール強度の測定は、JIS−C6471(1995)に準拠して実施し、導体層をポリイミドフィルムに対して180°方向に引き剥がす方法で測定した。ピール強度の測定結果を表1に示す。
<Adhesion evaluation>
Test No. 1-No. For the printed wiring board substrate of 6, the peel strength (g / cm) between the polyimide film and the conductive layer was measured, and the adhesion between the polyimide film and the conductive layer was evaluated. The peel strength was measured according to JIS-C6471 (1995), and was measured by a method in which the conductor layer was peeled away from the polyimide film in the 180 ° direction. Table 1 shows the measurement results of peel strength.

<ニッケル量及びパラジウム量の測定>
試験No.1〜No.6のプリント配線板用基板の断面について、エネルギー分散型X線分析装置(株式会社日立ハイテクノロジーズの走査電子顕微鏡「SU8020」)を用いて、加速電圧3kVのEDXマッピングを観察し、界面近傍層、A層及びB層のニッケル量及びパラジウム量を測定した。各プリント配線板用基板のニッケル量及びパラジウム量の測定結果を表1に示す。
<Measurement of nickel content and palladium content>
Test No. 1-No. For the cross section of the printed wiring board substrate of No. 6, using an energy dispersive X-ray analyzer (Hitachi High-Technologies Corporation scanning electron microscope “SU8020”), the EDX mapping at an acceleration voltage of 3 kV was observed, The amount of nickel and the amount of palladium in the A layer and the B layer were measured. Table 1 shows the measurement results of the nickel amount and the palladium amount of each printed wiring board substrate.

Figure 0006466110
Figure 0006466110

[評価結果]
表1の結果より、試験No.1〜No.5のプリント配線板用基板のピール強度は700g/cm以上と大きく、ポリイミドフィルムと導電層との密着力が大きいことがわかる。これに対し、試験No.6のプリント配線板用基板のピール強度は小さく、ポリイミドフィルムから導電層が剥がれ易いといえる。
[Evaluation results]
From the results in Table 1, the test No. 1-No. The peel strength of the printed wiring board substrate No. 5 is as large as 700 g / cm or more, and it can be seen that the adhesion between the polyimide film and the conductive layer is large. In contrast, test no. The peel strength of the printed wiring board substrate No. 6 is small, and it can be said that the conductive layer is easily peeled off from the polyimide film.

試験No.1〜No.5のプリント配線板用基板は、ポリイミドフィルムと導電層との界面近傍に多くのニッケルが存在していることにより、この界面近傍にニッケルが存在しないNo.6のプリント配線板用基板に比べてポリイミドフィルムと導電層との密着力が顕著に大きくなったと考えられる。また、試験No.1〜No.4のプリント配線板用基板のピール強度より、ポリイミドフィルムと導電層との界面近傍のニッケル量が多いほど、ポリイミドフィルムと導電層との密着力が向上するといえる。   Test No. 1-No. In the printed wiring board substrate of No. 5, since a large amount of nickel is present in the vicinity of the interface between the polyimide film and the conductive layer, no. It can be considered that the adhesion between the polyimide film and the conductive layer was significantly increased as compared with the printed wiring board substrate of No. 6. In addition, Test No. 1-No. From the peel strength of the printed wiring board substrate of No. 4, it can be said that as the amount of nickel in the vicinity of the interface between the polyimide film and the conductive layer increases, the adhesion between the polyimide film and the conductive layer improves.

アクチベーター工程を実施したことにより、試験No.5のプリント配線板用基板ではA層及びB層にパラジウムが存在している。試験No.3及び試験No.5の結果より、ポリイミドフィルムにパラジウムが存在しても、ニッケルの存在によるポリイミドフィルムと導電層との密着力の向上効果が得られることがわかる。   By performing the activator process, the test No. In the printed wiring board substrate of No. 5, palladium exists in the A layer and the B layer. Test No. 3 and test no. From the result of 5, it can be seen that even if palladium is present in the polyimide film, the effect of improving the adhesion between the polyimide film and the conductive layer due to the presence of nickel can be obtained.

本発明のプリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法は、低コストで導電層を十分に薄くできるので、高密度のプリント配線が要求されるプリント配線板等に好適に用いられる。   The printed wiring board substrate, the printed wiring board and the printed wiring board substrate manufacturing method of the present invention are suitable for printed wiring boards and the like that require high-density printed wiring because the conductive layer can be sufficiently thin at low cost. Used for.

1 ベースフィルム
2 第1導電層
3 第2導電層
4 第1界面(ベースフィルム及び第1導電層の界面)
5 第2界面(第1導電層及び第2導電層の界面)
6 界面近傍層
7 A層
8 B層
9 C層
10 レジスト
11 導電パターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 2 1st conductive layer 3 2nd conductive layer 4 1st interface (interface of a base film and a 1st conductive layer)
5 Second interface (interface between the first conductive layer and the second conductive layer)
6 layer near interface 7 A layer 8 B layer 9 C layer 10 resist 11 conductive pattern

Claims (6)

絶縁性を有するベースフィルムと、
銅粒子を含む導電性インクの塗布により上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層される第1導電層と、
無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に積層される第2導電層と
を備え、
上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムに上記無電解メッキに由来するニッケルが存在し、
上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX分析による定量で1質量%以上10質量%以下であり、
上記界面近傍層のニッケルの質量割合が、上記第2導電層の第1導電層との界面から500nm以下のA層のニッケルの質量割合よりも大きく、
上記無電解メッキがニッケルを含む銅メッキであるプリント配線板用基板。
An insulating base film;
A first conductive layer laminated on at least one surface of the base film by applying a conductive ink containing copper particles;
A second conductive layer laminated on the surface opposite to the base film of the first conductive layer by electroless plating,
There is nickel derived from the electroless plating on the first conductive layer, the second conductive layer and the base film,
The amount of nickel in the interface vicinity layer of 500 nm or less from the interface between the first conductive layer and the base film is 1% by mass or more and 10% by mass or less as determined by EDX analysis,
The mass ratio of nickel in the interface vicinity layer is larger than the mass ratio of nickel in the A layer of 500 nm or less from the interface between the second conductive layer and the first conductive layer,
A printed wiring board substrate, wherein the electroless plating is copper plating containing nickel.
上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムにパラジウムが存在し、
上記ベースフィルムの第1導電層との界面から1μm以下のB層のパラジウムの質量割合が、上記第2導電層の第1導電層との界面から500nm以下のA層のパラジウムの質量割合よりも大きい請求項1に記載のプリント配線板用基板。
Palladium is present in the first conductive layer, the second conductive layer and the base film,
The mass proportion of palladium in the B layer of 1 μm or less from the interface with the first conductive layer of the base film is more than the mass proportion of palladium in the A layer of 500 nm or less from the interface with the first conductive layer of the second conductive layer. The printed wiring board substrate according to claim 1, which is large.
上記金属粒子の平均粒子径が1nm以上500nm以下である請求項1又は請求項2に記載のプリント配線板用基板。 The printed wiring board substrate according to claim 1 or 2, wherein an average particle diameter of the metal particles is 1 nm or more and 500 nm or less. 上記ベースフィルムの第1導電層の積層面に親水化処理が施されている請求項1、請求項2又は請求項3に記載のプリント配線板用基板。 The printed wiring board substrate according to claim 1 , wherein the laminated surface of the first conductive layer of the base film is subjected to a hydrophilic treatment. 導電パターンを有するプリント配線板であって、
上記導電パターンが、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線板用基板の第1導電層及び第2導電層にサブトラクティブ法又はセミアディティブ法を用いることで形成されているプリント配線板。
A printed wiring board having a conductive pattern,
The conductive pattern is formed by using a subtractive method or a semi-additive method on the first conductive layer and the second conductive layer of the printed wiring board substrate according to any one of claims 1 to 4. Printed wiring board.
絶縁性を有するベースフィルムの少なくとも一方の面への銅粒子を含む導電性インクの塗布及び加熱により第1導電層を形成する工程と、
ニッケルを含む銅メッキ液を用い、無電解メッキにより上記第1導電層のベースフィルムと反対側の面に第2導電層を形成する工程と
を備え、
上記第1導電層、第2導電層及びベースフィルムに上記無電解メッキに由来するニッケルが存在し、
上記第1導電層及びベースフィルムの界面から500nm以下の界面近傍層におけるニッケル量が、EDX分析による定量で1質量%以上10質量%以下であり、
上記界面近傍層のニッケルの質量割合が、上記第2導電層の第1導電層との界面から500nm以下のA層のニッケルの質量割合よりも大きいプリント配線板用基板の製造方法。
Forming a first conductive layer by applying and heating conductive ink containing copper particles on at least one surface of an insulating base film; and
Forming a second conductive layer on the surface of the first conductive layer opposite to the base film by electroless plating using a copper plating solution containing nickel,
There is nickel derived from the electroless plating on the first conductive layer, the second conductive layer and the base film,
Weight nickel near the interface layer from the interface following 500nm of the first conductive layer and the base film state, and are less than 10 mass% to 1 mass% in the quantification by EDX analysis,
A method for producing a printed wiring board substrate, wherein a mass ratio of nickel in the interface vicinity layer is larger than a mass ratio of nickel in the A layer of 500 nm or less from the interface between the second conductive layer and the first conductive layer .
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