JP6442800B2 - 半導体装置及び半導体装置を製造する方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態における半導体装置を示す概略図である。図1では、半導体装置1は、半導体チップの形態を有する。図1の(a)部は半導体装置1の平面図を示す。図1の(b)部は、(a)部のA−A線に沿ってとられた半導体装置1の断面を示す図である。半導体装置1は、積層構造体10を備える。積層構造体10は、基板11と、基板11上に設けられたIII−V族化合物層12とを有する。また、積層構造体10は、基板11からIII−V族化合物層12に向かう第1方向D1に延在するビアホール13を有する。ビアホール13は、基板11及びIII−V族化合物層12を貫通する。ビアホール13は側面13Aを有し、ビアホール13の側面13A上に金属窒化物層14が設けられる。ビアホール13内には、裏面金属15が設けられる。裏面金属15は、ビアホール13内に加えて、基板11の裏面11B上にも設けられる。金属窒化物層14は、ビアホール13内において裏面金属15に接する。基板11は、例えば、SiC、GaN、Si、GaAs、又はInPを含む。III−V族化合物層12は、例えば、GaN又はGaAsを含む。金属窒化物層14は、導電性を有しており、例えば、TaN、WSiN及びTiWNの少なくともいずれか一つを含むことができる。裏面金属15は、例えば、Au及びCuの少なくともいずれかを含む。III−V族化合物層12の上面12Aには、パッド電極15aが設けられ、パッド電極15aは、金属窒化物層14を介して、裏面金属15に電気的に結合される。パッド電極15aは、例えば、Au及びCuの少なくともいずれかを含む。また、半導体装置1では、III−V族化合物層12の上面12Aを保護するための保護層17が設けられる。保護層17は、例えば、SiN、SiO及びAlOxを含むことができる。
図4は、加熱処理後の金属窒化物に対するAuger電子分光分析法による分析結果を示す図である。本実施形態では、加熱処理によってGaN層内に窒素が拡散する様子を調べるために、図4の(a)部に示されるような素子構造を有する第1デバイス20を作製した。第1デバイス20は、GaN層21と、このGaN層21上に設けられた第1のTaN層22とを含む。第1のTaN層22は、例えば、スパッタ法によってGaN層21上に形成される。スパッタ法による第1のTaN層22の形成では、ステージ温度は、例えば、25℃〜200℃である。GaN層21及び第1のTaN層22の厚みは、それぞれ1μm程度及び15nm程度である。第1デバイス20は、350℃の温度で10分間置かれた。この加熱処理後の第1デバイス20をAuger電子分光分析法に適用して、GaN層21及び第1のTaN層22に含まれる窒素の濃度を調べた。図4の(b)部は、Auger電子分光分析法による窒素濃度の分析結果を示す。図4の(b)部において、横軸は、第1デバイス20内で、第1のTaN層22からGaN層21に向かう第3方向D3に沿って計測した深さ(任意単位)を示す。縦軸は、第1のTaN層22及びGaN層21に含まれる窒素濃度(任意単位)を示す。第1デバイス20では、上記の加熱処理が施されると、第1のTaN層22とGaN層21との境界線Bの近傍において、窒素濃度が変化する。境界線Bは、第1デバイス20の作製時における第1のTaN層22とGaN層21との境界を示す。境界線Bの近傍のGaN層21内では、加熱処理後の窒素濃度が、加熱処理前の窒素濃度の2倍近くに増大している。また、窒素濃度は、境界線BからGaN層21内に向かう方向に次第に減少するものの、加熱処理後の第1デバイス20では、加熱処理前に比べて、GaN層21内での窒素濃度の減少の割合が少なくなっている。第1デバイス20における第1のTaN層22内の窒素が、加熱処理によって、GaN層21内の深くにまで分布している。図4の(b)部の窒素プロファイルは、加熱処理に基づいて、金属窒化物層14内の窒素が、金属窒化物層14に隣接するIII−V族化合物層12に拡散して、この結果、中間層16に利用可能な高い抵抗値を有する層がIII−V族化合物層12内で金属窒化物層14に沿って新たに形成されることを示している。
図5は、加熱処理に伴うコンタクト抵抗の変化とI−Vプロファイルとを測定する素子構造を示す図である。実験のために4つの第2デバイス30a〜30dが、以下のようにして準備された。第2デバイス30a〜30dは、n型GaN層33と、n型GaN層33の上に設けられた第2のTaN層34とを含む。第2のTaN層34上には、第1金属電極32aと第2金属電極32bとが形成されている。第2のTaN層34は、例えば、スパッタ法によってn型GaN層33上に形成される。第2のTaN層34の形成では、ステージ温度は、例えば250℃である。n型GaN層33及び第2のTaN層34の厚みは、それぞれ1μm程度及び15nm程度である。第2のTaN層34の組成は、Taが90%程度であり、窒素が10%程度である。この第2のTaN層34の組成は、ESCA法やSIMS法によって調べられる。第1金属電極32a及び第2金属電極32bは、例えばAlからなり、第1金属電極32a及び第2金属電極32bの厚みは、400nm程度である。第1金属電極32aと第2金属電極32bとの間の幅W1は、例えば、40μmである。
第2デバイス名称、 加熱温度。
第2デバイス30a、 加熱なし。
第2デバイス30b、 350℃。
第2デバイス30c、 500℃。
第2デバイス30d、 550℃。
第2デバイス30b〜30dにおいて、加熱処理時間は、いずれの温度においても10分間である。図6では、加熱処理が行われない第2デバイス30aでのコンタクト抵抗値(データP1)と、加熱処理された第2デバイス30b〜30dでのコンタクト抵抗値(データP2〜データP4)とがプロットされている。第2デバイス30a〜30dのn型GaNは、1×1018cm−3程度のキャリア濃度を有するので、コンタクト抵抗は、加熱処理に殆ど依存せずに、比較的低い1×10−3Ωcm2程度の値を示す。
Claims (8)
- 基板と、
該基板上に設けられたIII−V族化合物層と、
前記基板から前記III−V族化合物層に向かう第1方向に前記基板及び前記III−V族化合物層を貫通するビアホールと、
前記ビアホールの側面上に設けられた金属窒化物層と、
前記ビアホール内の前記金属窒化物層上に設けられた裏面金属と、
を備え、
前記III−V族化合物層は、トランジスタのための導電領域と、素子分離のための素子分離領域とを有し、
前記III−V族化合物層は、中間層を有し、
前記中間層は、前記ビアホールの前記側面上の前記金属窒化物層に沿って延在し、
前記中間層の抵抗値は、前記金属窒化物層の抵抗値よりも高く、
前記金属窒化物層、前記中間層、前記素子分離領域、及び前記導電領域は、前記第1方向に交差する第2方向に沿って並んでいる、半導体装置。 - 前記III−V族化合物層が、V族元素として窒素を含む窒化物半導体層である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記金属窒化物層が、TaN、WSiN及びTiWNのいずれか一つを含む、請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。
- 前記中間層の電気比抵抗は、1×10−1Ωcm〜1×104Ωcmである、請求項1に記載の半導体装置。
- 基板上にIII−V族化合物層を成長する工程と、
前記III−V族化合物層内に、トランジスタのための導電領域を形成する工程と、
前記基板から前記III−V族化合物層に向かう第1方向に前記基板及び前記III−V族化合物層を貫通するビアホールを形成して、該ビアホールと、前記III−V族化合物層と、前記基板とを作製する工程と、
前記ビアホールの側面上に金属窒化物層を形成する工程と、
前記金属窒化物層上に裏面金属を作製する工程と、
素子分離のための素子分離領域を前記III−V族化合物層内に形成する工程と、
前記基板、前記III−V族化合物層、前記ビアホール、前記金属窒化物層及び前記裏面金属を含む半導体チップを形成する工程と、
前記金属窒化物層の加熱処理を行って、前記金属窒化物層に沿って中間層を前記III−V族化合物層内に形成する工程と、
を含み、
前記中間層は、III−V族化合物を構成する元素と窒素とを含み、前記金属窒化物層の抵抗値よりも高い抵抗値を有し、
前記金属窒化物層、前記中間層、前記素子分離領域、及び前記導電領域は、前記第1方向に直交又は交差する第2方向に沿って並んでいる、半導体装置を製造する方法。 - 前記素子分離領域は、前記III−V族化合物層へのアルゴンイオンの注入によって形成される、請求項5に記載の半導体装置を製造する方法。
- 前記金属窒化物層はTaNであり、
前記III−V族化合物層は、n型GaNであり、
250℃〜400℃の温度下で前記加熱処理を行う、請求項5に記載の半導体装置を製造する方法。 - 前記加熱処理は、真空下又は窒素雰囲気下で施される、請求項7に記載の半導体装置を製造する方法。
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