JP6435600B2 - Vibration actuator, lens barrel and camera - Google Patents

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本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。   The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, and a camera.

電気機械変換素子を用いて弾性体に進行波を発生させ、移動子を動かす振動アクチュエータがある。このような振動アクチュエータは、一般的に２相の駆動信号を入力することで進行波を発生させるが、３相以上の駆動信号で進行波を発生させるものもある（特許文献１参照）。   There is a vibration actuator that generates a traveling wave in an elastic body using an electromechanical transducer and moves a moving element. Such a vibration actuator generally generates a traveling wave by inputting a two-phase driving signal, but there is also one that generates a traveling wave by a driving signal of three or more phases (see Patent Document 1).

特開平４−２９９０８０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 4-299080

ここで、２相入力の場合消費電力は小さいが駆動力が小さく、３相入力の場合、駆動力は大きいが、消費電力が大きくなる。このため、目的によって適切な入力形態が異なる。
本発明の課題は、駆動電圧を２相入力と３相入力とで切替可能なレンズ鏡筒及びカメラを提供することである。 Here, in the case of the two-phase input, the power consumption is small but the driving force is small, and in the case of the three-phase input, the driving force is large but the power consumption is large. For this reason, a suitable input form changes with purposes.
An object of the present invention is to provide a lens barrel and a camera that can switch a driving voltage between a two-phase input and a three-phase input.

本発明の振動アクチュエータは、第１領域と第２領域と第３領域とに駆動電圧によって進行波を発生する円環形状の電気機械変換素子と、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに位相の異なる３相の駆動電圧を供給する第１制御と、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とのうちの２つの領域に位相の異なる２相の駆動電圧を供給する第２制御と、が制御可能な制御部と、を備えた構成とした。  The vibration actuator of the present invention includes an annular electromechanical transducer that generates a traveling wave by a driving voltage in the first region, the second region, and the third region, the first region, the second region, and the first region. First control for supplying three-phase drive voltages having different phases to three regions, and two-phase drive voltages having different phases in two of the first region, the second region, and the third region And a control unit capable of controlling the second control.

本発明によれば、駆動電圧を２相入力と３相入力とで切替可能なレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a lens barrel and a camera that can switch a driving voltage between a two-phase input and a three-phase input.

本発明の実施形態の電子カメラを説明する図である。It is a figure explaining the electronic camera of embodiment of this invention. レンズ鏡筒を説明する図である。It is a figure explaining a lens-barrel. 振動子と移動子との一部破断斜視図である。It is a partially broken perspective view of a vibrator and a mover. 振動アクチュエータおよび駆動装置を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining a vibration actuator and a drive device. 進行波が７の場合の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical conversion element in case a traveling wave is 7. FIG. 第２実施形態の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical conversion element of 2nd Embodiment. 第２実施形態の電気機械変換素子に対してコンデンサを加えた図である。It is the figure which added the capacitor | condenser with respect to the electromechanical conversion element of 2nd Embodiment. 第３実施形態の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical transducer of 3rd Embodiment. 第３実施形態の電気機械変換素子に対してコンデンサを加えた図である。It is the figure which added the capacitor | condenser with respect to the electromechanical transducer of 3rd Embodiment. 第４実施形態の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical transducer of 4th Embodiment. 第５実施形態の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical transducer of 5th Embodiment. 第６実施形態の電気機械変換素子を示した図である。It is the figure which showed the electromechanical transducer of 6th Embodiment.

図１は、本発明の実施形態の電子カメラ１を説明する図である。
本実施形態の電子カメラ１は、撮像光学系（レンズ鏡筒２０）と、撮像素子３０と、ＡＦＥ(Aｎalog froｎt eｎd)回路６０と、画像処理部７０と、バッファメモリ１１０と、記録インターフェイス１２０と、モニタ１４０と、操作部材９０と、メモリ１３０と、ＣＰＵ１００とから構成され、外部機器のＰＣ１５０との接続が可能となっている。 FIG. 1 is a diagram illustrating an electronic camera 1 according to an embodiment of the present invention.
The electronic camera 1 of the present embodiment includes an imaging optical system (lens barrel 20), an imaging device 30, an AFE (Analog front end) circuit 60, an image processing unit 70, a buffer memory 110, and a recording interface 120. The monitor 140, the operation member 90, the memory 130, and the CPU 100 can be connected to the PC 150 as an external device.

レンズ鏡筒２０は、複数の光学レンズにより構成され、被写体像を撮像素子３０の受光面に結像させる。図１では光学レンズ系を簡略化して、単レンズＬとして図示している。また、光学レンズ群の内、ＡＦ用の光学レンズＬは、振動アクチュエータ１０の駆動により駆動される。   The lens barrel 20 includes a plurality of optical lenses, and forms a subject image on the light receiving surface of the image sensor 30. In FIG. 1, the optical lens system is simplified and illustrated as a single lens L. In addition, the optical lens L for AF in the optical lens group is driven by driving the vibration actuator 10.

撮像素子３０は、受光面に受光素子が二次元的に配列されたＣＭＯＳイメージセンサなどによって構成される。撮像素子３０は、撮像光学系２０を通過した光束による被写体像を光電変換してアナログ画像信号を生成する。アナログ画像信号は、ＡＦＥ回路６０に入力される。 The image sensor 30 is configured by a CMOS image sensor or the like in which light receiving elements are two-dimensionally arranged on a light receiving surface. The image sensor 30 photoelectrically converts a subject image by a light beam that has passed through the imaging optical system 20 to generate an analog image signal. The analog image signal is input to the AFE circuit 60.

ＡＦＥ回路６０は、アナログ画像信号に対するゲイン調整（ＩＳＯ感度に応じて信号増幅）行う。具体的には、ＣＰＵ１００からの感度設定指示に応じて、撮像感度を所定範囲内で変更する。ＡＦＥ回路６０は、さらに、内蔵するＡ／Ｄ変換回路によってアナログ処理後の画像信号をデジタルデータに変換する。そのデジタルデータは、画像処理部７０に入力される。   The AFE circuit 60 performs gain adjustment (signal amplification according to ISO sensitivity) for the analog image signal. Specifically, the imaging sensitivity is changed within a predetermined range in accordance with a sensitivity setting instruction from the CPU 100. The AFE circuit 60 further converts the image signal after analog processing into digital data by a built-in A / D conversion circuit. The digital data is input to the image processing unit 70.

画像処理部７０は、デジタル画像データに対して、各種の画像処理を行う。
バッファメモリ１１０は、画像処理部７０による画像処理の前工程や後工程での画像データを一時的に記録する。 The image processing unit 70 performs various types of image processing on the digital image data.
The buffer memory 110 temporarily records image data in the pre-process and post-process of image processing by the image processing unit 70.

記録インターフェイス１２０は、不図示のコネクタを有し、該コネクタにメモリカード１２１が接続され、接続されたメモリカード１２１に対して、データの書き込みや、記録媒体からのデータの読み込みを行う。
モニタ１４０は、液晶パネルによって構成され、ＣＰＵ１００からの指示に応じて画像や操作メニューなどを表示する。
操作部材９０は、モードダイヤル、十字キー、決定ボタンやレリーズボタンを示し、各操作に応じた操作信号をＣＰＵ１００へ送出する。静止画撮影や動画撮影の設定は、該操作部材９０により設定される。 The recording interface 120 has a connector (not shown). A memory card 121 is connected to the connector, and data is written to the connected memory card 121 and data is read from a recording medium.
The monitor 140 is composed of a liquid crystal panel, and displays an image, an operation menu, and the like according to an instruction from the CPU 100.
The operation member 90 indicates a mode dial, a cross key, an enter button, and a release button, and sends an operation signal corresponding to each operation to the CPU 100. Settings for still image shooting and moving image shooting are set by the operation member 90.

ＣＰＵ１００は、不図示のＲＯＭに格納されたプログラムを実行することによって電子カメラ１が行う動作を統括的に制御する。例えば、ＡＦ（オートフォーカス）動作制御、ＡＥ（自動露出）動作制御、オートホワイトバランス制御などを行う。
メモリ１３０は、画像処理した一連の画像データを記録する。 The CPU 100 comprehensively controls operations performed by the electronic camera 1 by executing a program stored in a ROM (not shown). For example, AF (autofocus) operation control, AE (automatic exposure) operation control, auto white balance control, and the like are performed.
The memory 130 records a series of image data subjected to image processing.

図２は、レンズ鏡筒２０を説明する図であり、リング状の振動アクチュエータ１０をレンズ鏡筒２０に組み込んだ状態の図である。また、図３は、振動子１１と移動子１５との一部破断斜視図である。   FIG. 2 is a diagram for explaining the lens barrel 20 and is a diagram showing a state in which the ring-shaped vibration actuator 10 is incorporated in the lens barrel 20. FIG. 3 is a partially broken perspective view of the vibrator 11 and the moving element 15.

振動子１１は、電気エネルギ−を機械エネルギ−に変換する電気機械変換素子１３や電歪素子等を例とした電気機械変換素子１３と、電気機械変換素子１３を接合した弾性体１２とから構成されている。振動子１１には進行波が発生するようにされているが、本実施形態では一例として１０波の進行波として説明する。   The vibrator 11 includes an electromechanical conversion element 13 such as an electromechanical conversion element 13 that converts electric energy into mechanical energy, an electrostrictive element, or the like, and an elastic body 12 that is joined to the electromechanical conversion element 13. Has been. Although a traveling wave is generated in the vibrator 11, in the present embodiment, description will be made on the assumption that the traveling wave is 10 waves as an example.

弾性体１２は、共振先鋭度が大きな例えば主にSUS材から成り、円環形状を有する。弾性体１２における電気機械変換素子１３が接合される接合面１２ｄの反対側は溝１２ｃが切ってある。そして、突起部分１２ｂ（溝１２ｃがない箇所）の先端面が駆動面１２ａとなり移動子１５に加圧接触される。溝１２ｃを切る理由は、進行波の中立面をできる限り電気機械変換素子１３側に近づけ、これにより駆動面１２ａの進行波の振幅を増幅させるためである。   The elastic body 12 is mainly made of a SUS material having a high resonance sharpness, and has an annular shape. A groove 12c is cut on the opposite side of the joining surface 12d to which the electromechanical transducer 13 is joined in the elastic body 12. Then, the tip surface of the protruding portion 12b (a portion where the groove 12c is not provided) becomes the driving surface 12a and is brought into pressure contact with the moving element 15. The reason for cutting the groove 12c is to make the neutral surface of the traveling wave as close as possible to the electromechanical conversion element 13 side, thereby amplifying the amplitude of the traveling wave on the drive surface 12a.

電気機械変換素子１３は主にＰＺＴであり、詳細については後に説明する。
電気機械変換素子１３の下には、不織布１６、加圧板１７、加圧部材１８が配置されている。
不織布１６は、例えばフェルトの材質で製造されており、電気機械変換素子１３の下に配置されて、振動子１１の振動を加圧板１７や加圧部材１８に伝えないように機能する。
加圧板１７は、加圧部材１８の加圧を受ける。
加圧部材１８は、加圧板１７の下に配置され、加圧力を発生する。本実施形態では、加圧部材１８を皿バネとしたが、皿バネでなくともコイルバネやウェーブバネでも良い。加圧部材１８は、固定部材１４に固定される押さえ環１９に固定されることで、保持される。 The electromechanical transducer 13 is mainly PZT, and details will be described later.
Under the electromechanical transducer 13, a nonwoven fabric 16, a pressure plate 17, and a pressure member 18 are disposed.
The nonwoven fabric 16 is made of, for example, a felt material, and is disposed under the electromechanical transducer 13 so as not to transmit the vibration of the vibrator 11 to the pressure plate 17 or the pressure member 18.
The pressure plate 17 is pressurized by the pressure member 18.
The pressure member 18 is disposed under the pressure plate 17 and generates a pressurizing force. In this embodiment, the pressure member 18 is a disc spring, but it may be a coil spring or a wave spring instead of a disc spring. The pressure member 18 is held by being fixed to a pressing ring 19 fixed to the fixing member 14.

移動子１５は、主にアルミニウムといった金属からなり、摺動面１５ａの表面には耐摩耗性向上のための摺動材料が設けられている。
移動子１５の摺動面１５ａと反対側(図３のＺプラス方向、光軸方向被写体側)には、移動子１５の縦方向(図３のＺ方向)の振動を吸収するために、ゴムの様な振動吸収部材２３が配置され、さらにそのＺプラス方向には、出力伝達部材２４が配置されている。 The mover 15 is mainly made of a metal such as aluminum, and a sliding material for improving wear resistance is provided on the surface of the sliding surface 15a.
On the side opposite to the sliding surface 15a of the mover 15 (Z plus direction in FIG. 3, the optical axis direction subject side), rubber is absorbed in order to absorb vibration in the vertical direction (Z direction in FIG. 3) of the mover 15. Such a vibration absorbing member 23 is disposed, and an output transmission member 24 is disposed in the Z plus direction.

出力伝達部材２４は、固定部材１４に設けられたベアリング２５により、加圧方向（Ｚ方向）と径方向とを規制している。これにより移動子１５は、加圧方向と径方向とが規制される。
出力伝達部材２４は、突起部２４ａがあり、そこからカム環３６に接続されたフォーク３５がかん合しており、出力伝達部材２４の回転とともに、カム環３６が回転される。 The output transmission member 24 regulates the pressurizing direction (Z direction) and the radial direction by a bearing 25 provided on the fixed member 14. Thereby, the moving element 15 is regulated in the pressurizing direction and the radial direction.
The output transmission member 24 has a protrusion 24 a from which a fork 35 connected to the cam ring 36 is engaged, and the cam ring 36 is rotated as the output transmission member 24 rotates.

カム環３６には、キー溝３７が斜めに切られており、ＡＦ環３４に設けられた固定ピン３８が、キー溝３７にかん合していて、カム環３６が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向にＡＦ環３４が駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
出力伝達部材２４は、突起部２４ａがあり、そこからカム環３６に接続された固定部材１４は、押さえ環１９がネジにより取り付けられ、これを取り付けることで、出力伝達部材２４から移動子１５、振動子１１、加圧部材１８までを一つのモータユニットとして構成できるようになる。 A key groove 37 is obliquely cut in the cam ring 36, and a fixing pin 38 provided in the AF ring 34 is engaged with the key groove 37. The AF ring 34 is driven in the straight direction in the axial direction so that it can stop at a desired position.
The output transmission member 24 has a projecting portion 24a, and the fixing member 14 connected to the cam ring 36 is attached to the holding ring 19 with a screw. By attaching this, the output transmission member 24 is moved from the output transmission member 24 to the moving element 15, The vibrator 11 and the pressure member 18 can be configured as one motor unit.

図４は、振動アクチュエータ１０および振動アクチュエータ１０の駆動装置４０Ａを説明するブロック図である。
まず、振動アクチュエータ１０の制御部４１について説明する。 FIG. 4 is a block diagram illustrating the vibration actuator 10 and the drive device 40A for the vibration actuator 10. As illustrated in FIG.
First, the control unit 41 of the vibration actuator 10 will be described.

発振部４２は、制御部４１の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
移相部４３は、制御部４１の指令により、該発振部４２で発生した駆動信号を位相の異なる２つまたは３つの駆動信号に分ける。
増幅部４４は、移相部４３によって分けられた２つまたは３つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
増幅部４４からの駆動信号は、振動アクチュエータ１０に伝達され、この駆動信号の印加により、後述する振動アクチュエータ１０の振動子１１に進行波が発生し、移動子１５が駆動される。 The oscillating unit 42 generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 41.
The phase shift unit 43 divides the drive signal generated by the oscillating unit 42 into two or three drive signals having different phases according to a command from the control unit 41.
The amplifying unit 44 boosts the two or three drive signals divided by the phase shift unit 43 to desired voltages, respectively.
A drive signal from the amplifying unit 44 is transmitted to the vibration actuator 10, and by applying this drive signal, a traveling wave is generated in a vibrator 11 of the vibration actuator 10 described later, and the moving element 15 is driven.

回転検出部４６は、光学式エンコーダや磁気エンコ−ダ等により構成され、移動子１５の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部４１に伝達する。   The rotation detection unit 46 is configured by an optical encoder, a magnetic encoder, and the like, detects the position and speed of a driven object driven by driving the moving element 15, and transmits the detected value to the control unit 41 as an electric signal. .

制御部４１は、レンズ鏡筒２０内またはカメラ１本体のＣＰＵ１００からの駆動指令を基に振動アクチュエータ１０の駆動および振動アクチュエータ１０の動作を制御する。制御部４１は、回転検出部４６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部４２の周波数や位相差等を制御する。   The control unit 41 controls the drive of the vibration actuator 10 and the operation of the vibration actuator 10 based on a drive command from the CPU 100 of the lens barrel 20 or the camera 1 main body. The control unit 41 receives the detection signal from the rotation detection unit 46, obtains position information and speed information based on the value, and controls the frequency, phase difference, etc. of the oscillation unit 42 so as to be positioned at the target position. To do.

（第１実施形態）
図５は第１実施形態の電気機械変換素子１３を示した図である。
本実施形態の電気機械変換素子１３は、これに限定されるものではないが、進行波を７つ発生させる。
電気機械変換素子１３はそれぞれが１２０度のＡ領域、Ｂ領域、Ｃ領域の３つの領域に分かれている。
それぞれの領域は、生じさせる進行波の数の７で全周の３６０度を割った３６０／７度を、さらに２つの分割した半波長の、それぞれが角度にして１８０／７度の小領域が４個設けられている。
Ａ領域の小領域はＢ領域側からＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４である。
Ｂ領域の小領域はＡ領域側からＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４である。
Ｃ領域の小領域はＡ領域側からＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４である。 (First embodiment)
FIG. 5 is a diagram showing the electromechanical transducer 13 of the first embodiment.
The electromechanical transducer 13 of this embodiment generates seven traveling waves, although not limited to this.
The electromechanical transducer 13 is divided into three regions, each having an A region, a B region, and a C region of 120 degrees.
Each region is divided into 360/7 degrees obtained by dividing 360 degrees of the total number of traveling waves to be generated by seven, and two divided half wavelengths, each having an angle of 180/7 degrees. Four are provided.
The small areas of the A area are A1, A2, A3, and A4 from the B area side.
The small areas of the B area are B1, B2, B3, and B4 from the A area side.
The small areas of the C area are C1, C2, C3, and C4 from the A area side.

また、Ａ領域とＣ領域との間には、１７.１４度（３６０/７/３）、すなわち進行波の波長の１／３に相当する小領域Ｄ１が設けられている。
Ａ領域とＢ領域との間には、１７.１４度（３６０/７/３）、すなわち進行波の波長の１／３に相当する小領域Ｄ２が設けられている。
Ｂ領域とＣ領域との間には、１７.１４度（３６０/７/３）、すなわち進行波の波長の１／３に相当する小領域Ｄ３が設けられている。 A small region D1 corresponding to 17.14 degrees (360/7/3), that is, 1/3 of the wavelength of the traveling wave, is provided between the A region and the C region.
A small region D2 corresponding to 17.14 degrees (360/7/3), that is, 1/3 of the wavelength of the traveling wave, is provided between the A region and the B region.
A small region D3 corresponding to 17.14 degrees (360/7/3), that is, 1/3 of the wavelength of the traveling wave, is provided between the B region and the C region.

小領域Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれには、電極が設けられており、電気機械変換素子１３の厚さ方向に分極され、互いに隣接する小領域の分極方向は逆方向である。
すなわち、小領域Ａ１，Ａ３の分極方向をＡ＋とすると、小領域Ａ２，Ａ４の分極方向は逆方向のＡ−である。
小領域Ｂ１，Ｂ３の分極方向はＢ−で、小領域Ｂ２，Ｂ４の分極方向は逆方向のＢ＋である。
小領域Ｃ１，Ｃ３の分極方向はＣ−で、小領域Ｃ２，Ｃ４の分極方向は逆方向のＣ＋である。
＋の小領域と−の小領域の両方に、電極を介して同電圧を印加するとそれぞれが逆方向に変形し、＋と−との１組で１波長の波を生じる。
なお、小領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３は、分極されていなくても、いずれかの方向に分極されても良い。 Each of the small areas A, B, and C is provided with an electrode, which is polarized in the thickness direction of the electromechanical transducer 13 and the polarization directions of the small areas adjacent to each other are opposite.
That is, if the polarization directions of the small regions A1 and A3 are A +, the polarization directions of the small regions A2 and A4 are A- in the opposite direction.
The polarization directions of the small regions B1 and B3 are B−, and the polarization directions of the small regions B2 and B4 are B + in the opposite direction.
The polarization directions of the small regions C1 and C3 are C−, and the polarization directions of the small regions C2 and C4 are C + in the opposite direction.
When the same voltage is applied to both the + small region and the − small region via the electrodes, each of them is deformed in the opposite direction, and a wave of one wavelength is generated by one set of + and −.
Note that the small regions D1, D2, and D3 may be polarized in any direction even if they are not polarized.

第１実施形態の電気機械変換素子１３に生じる進行波の数は７であり、３ｎ＋１（ｎ＝２）（４，７，１０，１３波・・・）で表される。   The number of traveling waves generated in the electromechanical transducer 13 of the first embodiment is 7, which is represented by 3n + 1 (n = 2) (4, 7, 10, 13...).

このとき、
Ａ領域の小領域は４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、
Ｂ領域の小領域が４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、
Ｃ領域の小領域が４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、
Ａ領域とＣ領域との間の小領域Ｄ１、Ａ領域とＢ領域との間の小領域Ｄ２、Ｂ領域とＣ領域との間の小領域Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are four sub-regions in the A region, that is, two wavelengths, n-wave components,
There are four sub-regions in the B region, that is, two wavelengths, n-waves,
There are four subregions in the C region, that is, two wavelengths, n waves,
A small region D1 between the A region and the C region, a small region D2 between the A region and the B region, and a small region D3 between the B region and the C region are each 1/3 wavelength, and they are summed up. Then, it becomes for one wavelength.

上式を満たす場合、本実施形態において図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
例えば、フォーカスレンズが静止している状態から起動させる場合、駆動力が大きくなるように３相の駆動電圧を用い、移動を開始したら消費電力が小さくなるように２相に切り替える。 When the above equation is satisfied, the driving device 40A shown in FIG. 4 in this embodiment can switch between a case where a three-phase driving voltage is input to the electromechanical transducer 13 and a case where a two-phase driving voltage is input. It is.
For example, when starting from a state where the focus lens is stationary, a three-phase driving voltage is used so as to increase the driving force, and when the movement is started, switching to the two-phase is performed so that the power consumption is reduced.

３相入力の場合、駆動装置４０Ａは、領域Ａ，Ｂ，Ｃにおける小領域Ａ１〜Ａ４，小領域Ｂ１〜Ｂ４、小領域Ｃ１〜Ｃ４のそれぞれに、互いに位相が１２０度ずれた駆動電圧を入力する。すなわち、小領域Ａ１〜Ａ４に入力される駆動電圧と小領域Ｂ１〜Ｂ４とに入力される駆動電圧とは位相が１２０度異なる。また、小領域Ｂ１〜Ｂ４に入力される駆動電圧と小領域Ｃ１〜Ｃ４とに入力される駆動電圧とは位相が１２０度異なる。
これによると、電気機械変換素子１３に３相の駆動電圧が入力され、３つの波によって進行波が生成されるので、電気機械変換素子１３として大きな駆動力を得ることができる。 In the case of three-phase input, the driving device 40A inputs driving voltages whose phases are shifted by 120 degrees to each of the small regions A1 to A4, the small regions B1 to B4, and the small regions C1 to C4 in the regions A, B, and C. To do. That is, the drive voltage input to the small areas A1 to A4 and the drive voltage input to the small areas B1 to B4 have a phase difference of 120 degrees. Further, the drive voltage input to the small areas B1 to B4 and the drive voltage input to the small areas C1 to C4 have a phase difference of 120 degrees.
According to this, since a three-phase drive voltage is input to the electromechanical transducer 13 and a traveling wave is generated by the three waves, a large driving force can be obtained as the electromechanical transducer 13.

２相入力の場合、小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３のみならず、領域Ｃにおける小領域Ｃ１〜Ｃ４の小領域にも駆動電圧は入力されない。
そして、駆動装置４０Ａは、領域Ａ，Ｂにおける小領域Ａ１〜Ａ４，小領域Ｂ１〜Ｂ４のそれぞれに、互いに位相が１２０度ずれた駆動電圧を入力する。
すなわち、２相入力のときは領域Ａと領域Ｂを用い、領域Ｃの小領域に駆動電圧は入力しない。これにより、３相入力のときと比べて消費電力を低減することができる。 For 2-phase input, not only small area D1, D2, D3, driving voltage to a small region of the small region C1～C 4 in the region C is not input.
Then, the driving device 40A inputs driving voltages whose phases are shifted from each other by 120 degrees to the small regions A1 to A4 and the small regions B1 to B4 in the regions A and B, respectively.
That is, in the case of two-phase input, the region A and the region B are used, and no driving voltage is input to a small region of the region C. Thereby, power consumption can be reduced compared to the case of three-phase input.

以上、本実施形態によると、電気機械変換素子に生じる波数が３ｎ＋１（ｎ＝２）のとき、Ａ相に含まれる波数ｎ、Ｂ相に含まれる波数ｎ、Ｃ相に含まれる波数ｎ、とし、各相の間に波長の１／３の間隔を設けることで、２相及び３相の切替可能な電気機械変換素子１３を製造することができる。   As described above, according to this embodiment, when the wave number generated in the electromechanical transducer is 3n + 1 (n = 2), the wave number n included in the A phase, the wave number n included in the B phase, and the wave number n included in the C phase. By providing an interval of 1/3 of the wavelength between the phases, the electromechanical transducer 13 that can switch between two phases and three phases can be manufactured.

(第２実施形態)
図６は、本発明の第２実施形態の電気機械変換素子２１３を示した図である。図示する電気機械変換素子２１３に生じる進行波の波数は７であり、３ｎ＋１（ｎ＝２）（４，７，１０，１３波・・・）で表される。 (Second embodiment)
FIG. 6 is a diagram showing an electromechanical transducer 213 according to the second embodiment of the present invention. The traveling wave number generated in the illustrated electromechanical transducer 213 is 7, which is represented by 3n + 1 (n = 2) (4, 7, 10, 13...).

このとき、
Ａ領域の小領域は５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ＋０．５波分、
Ｂ領域の小領域は５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ＋０．５波分、
Ｃ領域の小領域は２つ、即ち１波長分であって、ｎ−１波分であり、
小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are five small areas in the A area, that is, 2.5 wavelengths, n + 0.5 waves,
The small area of the B area is five, that is, 2.5 wavelengths, n + 0.5 waves,
There are two sub-regions of the C region, that is, one wavelength, and n-1 waves,
The small regions D1, D2, and D3 each have a wavelength of 1/3, and when they are added, they are equivalent to one wavelength.

この場合も、図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
ただし、本実施形態において、２相の駆動電力を入力する場合、第１実施形態と比べて、Ａ領域及びＢ領域は大きいので、より大きな駆動力を得ることができる。一方、３相の駆動電圧を入力する場合、Ｃ領域は小さいので、Ｃ領域による進行波に対するアシスト(補助効果)は弱めとなる。 Also in this case, the drive device 40A shown in FIG. 4 can be switched between a case where a three-phase drive voltage is input to the electromechanical transducer 13 and a case where a two-phase drive voltage is input.
However, in the present embodiment, when two-phase driving power is input, the A region and the B region are larger than those in the first embodiment, so that a larger driving force can be obtained. On the other hand, when a three-phase driving voltage is input, since the C region is small, the assist (auxiliary effect) for the traveling wave by the C region is weak.

ここで、第２実施形態の電気機械変換素子２１３は、Ａ領域の静電容量とＢ領域の静電容量は等しいが、Ｃ領域の静電容量は小さい。
駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの領域の静電容量が等価であることが好ましく、それぞれの静電容量が異なると、回路構成が複雑化する。
このため、本実施形態では、図７に示すように、Ｃ領域と並列にコンデンサを加え、Ｃ領域の静電容量を大きくして、Ａ領域、Ｂ領域と揃えてもよい。
なお、静電容量を等しくするために、Ａ領域、Ｂ領域での小領域の内外径を狭め（このとき、内外径の平均半径は変えない）てもよい。 Here, in the electromechanical transducer 213 of the second embodiment, the capacitance of the A region and the capacitance of the B region are equal, but the capacitance of the C region is small.
When the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region at the time of three-phase driving, it is preferable that the capacitances of the respective regions are equivalent, and if the respective capacitances are different, The configuration becomes complicated.
For this reason, in this embodiment, as shown in FIG. 7, a capacitor may be added in parallel with the C region, and the capacitance of the C region may be increased to align with the A region and the B region.
In order to make the capacitances equal, the inner and outer diameters of the small regions in the A region and the B region may be narrowed (in this case, the average radius of the inner and outer diameters is not changed).

これによると、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が等しいので、回路構成が簡単になる。   According to this, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the respective electrostatic capacities are equal, so that the circuit configuration is simplified.

（第３実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態の電気機械変換素子３１３を示した図である。図示する電気機械変換素子３１３に生じる波数は９であり、３ｎ（ｎ＝３）(６,９,１２,１５波・・・・)で表される。 (Third embodiment)
FIG. 8 is a diagram showing an electromechanical transducer 313 according to a third embodiment of the present invention. The wave number generated in the illustrated electromechanical transducer 313 is 9, and is represented by 3n (n = 3) (6, 9, 12, 15 waves,...).

このとき、
Ａ領域の小領域は５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ−０．５波分、
Ｂ領域の小領域は５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ−０．５波分、
Ｃ領域の小領域は６つ、即ち３波長分であって、ｎ波分であり、
小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are five sub-regions in the A region, that is, 2.5 wavelengths, n-0.5 waves,
The small region of the B region is five, that is, 2.5 wavelengths, n-0.5 waves,
There are 6 sub-regions in the C region, that is, 3 wavelengths, n waves,
The small regions D1, D2, and D3 each have a wavelength of 1/3, and when they are added, they are equivalent to one wavelength.

この場合も、図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子３１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
ただし、本実施形態において、２相の駆動電力を入力する場合、第１実施形態と比べて、Ａ領域及びＢ領域は小さいので、駆動力は小さい。一方、３相の駆動電圧を入力する場合、Ｃ領域が大きいので、Ｃ領域による進行波に対するアシスト(補助効果)は強めとなる。 Also in this case, the driving device 40A shown in FIG. 4 can be switched between a case where a three-phase driving voltage is input to the electromechanical conversion element 313 and a case where a two-phase driving voltage is input.
However, in the present embodiment, when two-phase driving power is input, since the A region and the B region are smaller than those in the first embodiment, the driving force is small. On the other hand, when a three-phase driving voltage is input, since the C region is large, the assist (auxiliary effect) for the traveling wave by the C region becomes stronger.

ここで、第３実施形態の電気機械変換素子３１３は、Ａ領域の静電容量とＢ領域の静電容量は等しいが、Ｃ領域の静電容量は大きい。
この場合も、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が異なると、回路構成が複雑化する。
このため本実施形態では、図９に示すように、Ａ領域及びＢ領域に並列にコンデンサを加え、Ａ領域、Ｂ領域の静電容量をＣ領域と揃える。
なお、静電容量を等しくするために、Ｃ領域の小領域の内外径を狭め（このとき、内外径の平均半径は変えない）てもよい。 Here, in the electromechanical transducer 313 of the third embodiment, the capacitance of the A region and the capacitance of the B region are equal, but the capacitance of the C region is large.
Also in this case, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the circuit configuration becomes complicated if the respective electrostatic capacities are different.
For this reason, in this embodiment, as shown in FIG. 9, capacitors are added in parallel to the A region and the B region, and the capacitances of the A region and the B region are aligned with those of the C region.
In order to make the capacitances equal, the inner and outer diameters of the small region of the C region may be narrowed (in this case, the average radius of the inner and outer diameters is not changed).

これによると、第２実施形態と同様に、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が等しいので、回路構成が簡単になる。   According to this, similarly to the second embodiment, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the respective electrostatic capacitances are equal, so the circuit configuration is simple. become.

（第４実施形態）
図１０は、本発明の第４実施形態の電気機械変換素子４１３を示した図である。図示する電気機械変換素子４１３に生じる進行波の数は９であり、３ｎ（ｎ＝３）(６,９,１２,１５波・・・・)で表される。 (Fourth embodiment)
FIG. 10 is a diagram showing an electromechanical transducer 413 according to a fourth embodiment of the present invention. The number of traveling waves generated in the illustrated electromechanical transducer 413 is 9, and is represented by 3n (n = 3) (6, 9, 12, 15 waves,...).

このとき、
Ａ領域の小領域は６つ、即ち３波長分であって、ｎ波分、
Ｂ領域の小領域は６つ、即ち３波長分であって、ｎ波分、
Ｃ領域の小領域は４つ、即ち２波長分であって、ｎ−１波分、であり、
小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are 6 sub-regions in the A region, that is, 3 wavelengths, n-waves,
There are 6 sub-regions in the B region, that is, 3 wavelengths, n-waves,
There are four sub-regions in the C region, that is, two wavelengths and n-1 waves,
The small regions D1, D2, and D3 each have a wavelength of 1/3, and when they are added, they are equivalent to one wavelength.

この場合も、図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
ただし、本実施形態において、第２実施形態同様に、２相の駆動電力を入力する場合、第１実施形態と比べて、Ａ領域及びＢ領域は大きいので、より大きな駆動力を得ることができる。一方、３相の駆動電圧を入力する場合、Ｃ領域は小さいので、Ｃ領域による進行波に対するアシスト(補助効果)は弱めとなる。 Also in this case, the drive device 40A shown in FIG. 4 can be switched between a case where a three-phase drive voltage is input to the electromechanical transducer 13 and a case where a two-phase drive voltage is input.
However, in this embodiment, as in the second embodiment, when two-phase driving power is input, the A region and the B region are larger than in the first embodiment, so that a larger driving force can be obtained. . On the other hand, when a three-phase driving voltage is input, since the C region is small, the assist (auxiliary effect) for the traveling wave by the C region is weak.

本実施形態においても、電気機械変換素子４１３は、Ａ領域の静電容量とＢ領域の静電容量は等しいが、Ｃ領域の静電容量は小さい。
このため、本実施形態では、図７に示すように、Ｃ領域と並列にコンデンサを加え、Ｃ領域の静電容量を大きくして、Ａ領域、Ｂ領域と揃えてもよい。
なお、静電容量を等しくするために、Ａ領域、Ｂ領域での小領域の内外径を狭め（このとき、内外径の平均半径は変えない）てもよい。 Also in this embodiment, the electromechanical transducer 413 has the same capacitance in the A region and the capacitance in the B region, but the capacitance in the C region is small.
For this reason, in this embodiment, as shown in FIG. 7, a capacitor may be added in parallel with the C region, and the capacitance of the C region may be increased to align with the A region and the B region.
In order to make the capacitances equal, the inner and outer diameters of the small regions in the A region and the B region may be narrowed (in this case, the average radius of the inner and outer diameters is not changed).

これによると、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が等しいので、回路構成が簡単になる。   According to this, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the respective electrostatic capacities are equal, so that the circuit configuration is simplified.

（第５実施形態）
図１１は、本発明の第５実施形態の電気機械変換素子５１３を示した図である。図示する電気機械変換素子５１３に生じる進行波の波数は８であり、３ｎ＋２（ｎ＝２）（５，８，１１，１４波・・・・）で表される。 (Fifth embodiment)
FIG. 11 is a diagram showing an electromechanical transducer 513 according to the fifth embodiment of the present invention. The wave number of the traveling wave generated in the illustrated electromechanical transducer 513 is 8, and is represented by 3n + 2 (n = 2) (5, 8, 11, 14 waves,...).

このとき、
Ａ領域の小領域は５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ＋０．５波分、
Ｂ領域の小領域も５つ、即ち２．５波長分であって、ｎ＋０．５波分、
Ｃ領域の小領域は４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、であり、
小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are five small areas in the A area, that is, 2.5 wavelengths, n + 0.5 waves,
There are also 5 small regions in the B region, that is, 2.5 wavelengths, n + 0.5 waves,
There are four subregions in the C region, that is, two wavelengths and n waves,
The small regions D1, D2, and D3 each have a wavelength of 1/3, and when they are added, they are equivalent to one wavelength.

この場合も、図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
ただし、本実施形態において、第２実施形態同様に、２相の駆動電力を入力する場合、第１実施形態と比べて、Ａ領域及びＢ領域は大きいので、より大きな駆動力を得ることができる。一方、３相の駆動電圧を入力する場合、Ｃ領域は小さいので、Ｃ領域による進行波に対するアシスト(補助効果)は弱めとなる。 Also in this case, the drive device 40A shown in FIG. 4 can be switched between a case where a three-phase drive voltage is input to the electromechanical transducer 13 and a case where a two-phase drive voltage is input.
However, in this embodiment, as in the second embodiment, when two-phase driving power is input, the A region and the B region are larger than in the first embodiment, so that a larger driving force can be obtained. . On the other hand, when a three-phase driving voltage is input, since the C region is small, the assist (auxiliary effect) for the traveling wave by the C region is weak.

本実施形態においても、電気機械変換素子４１３は、Ａ領域の静電容量とＢ領域の静電容量は等しいが、Ｃ領域の静電容量は小さい。
このため、本実施形態では、図７に示すように、Ｃ領域と並列にコンデンサを加え、Ｃ領域の静電容量を大きくして、Ａ領域、Ｂ領域と揃えてもよい。
なお、静電容量を等しくするために、Ａ領域、Ｂ領域での小領域の内外径を狭め（このとき、内外径の平均半径は変えない）てもよい。 Also in this embodiment, the electromechanical transducer 413 has the same capacitance in the A region and the capacitance in the B region, but the capacitance in the C region is small.
For this reason, in this embodiment, as shown in FIG. 7, a capacitor may be added in parallel with the C region, and the capacitance of the C region may be increased to align with the A region and the B region.
In order to make the capacitances equal, the inner and outer diameters of the small regions in the A region and the B region may be narrowed (in this case, the average radius of the inner and outer diameters is not changed).

これによると、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が等しいので、回路構成が簡単になる。   According to this, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the respective electrostatic capacities are equal, so that the circuit configuration is simplified.

（第６実施形態）
図１２は、本発明の第６実施形態の電気機械変換素子６１３を示した図である。図示する電気機械変換素子６１３に生じる進行波の波数は８であり、３ｎ＋２（ｎ＝２）（５，８，１１，１４波・・・・）で表される。 (Sixth embodiment)
FIG. 12 is a diagram showing an electromechanical transducer 613 according to the sixth embodiment of the present invention. The wave number of the traveling wave generated in the illustrated electromechanical transducer 613 is 8, and is represented by 3n + 2 (n = 2) (5, 8, 11, 14 waves,...).

このとき、
Ａ領域の小領域は４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、
Ｂ領域の小領域も４つ、即ち２波長分であって、ｎ波分、
Ｃ領域の小領域は６つ、即ち３波長分であって、ｎ＋１波分であり、
小領域Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、それぞれ１／３波長で、それらを合計すると１波長分となる。 At this time,
There are four sub-regions in the A region, that is, two wavelengths, n-wave components,
There are also four small regions in the B region, that is, two wavelengths, n waves,
There are 6 sub-regions in the C region, that is, 3 wavelengths, n + 1 wave,
The small regions D1, D2, and D3 each have a wavelength of 1/3, and when they are added, they are equivalent to one wavelength.

この場合も、図４で示す駆動装置４０Ａは、電気機械変換素子３１３に３相の駆動電圧を入力する場合と、２相の駆動電圧を入力する場合との切替が可能である。
ただし、本実施形態において、２相の駆動電力を入力する場合、第１実施形態と比べて、Ａ領域及びＢ領域は小さいので、駆動力は小さい。一方、３相の駆動電圧を入力する場合、Ｃ領域が大きいので、Ｃ領域による進行波に対するアシスト(補助効果)は強めとなる。 Also in this case, the driving device 40A shown in FIG. 4 can be switched between a case where a three-phase driving voltage is input to the electromechanical conversion element 313 and a case where a two-phase driving voltage is input.
However, in the present embodiment, when two-phase driving power is input, since the A region and the B region are smaller than those in the first embodiment, the driving force is small. On the other hand, when a three-phase driving voltage is input, since the C region is large, the assist (auxiliary effect) for the traveling wave by the C region becomes stronger.

ここで、第３実施形態の電気機械変換素子３１３は、Ａ領域の静電容量とＢ領域の静電容量は等しいが、Ｃ領域の静電容量は大きい。
この場合も、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が異なると、回路構成が複雑化する。
このため本実施形態では、図９に示すように、Ａ領域及びＢ領域に並列にコンデンサを加え、Ａ領域、Ｂ領域の静電容量をＣ領域と揃える。
なお、静電容量を等しくするために、Ｃ領域の小領域の内外径を狭め（このとき、内外径の平均半径は変えない）てもよい。 Here, in the electromechanical transducer 313 of the third embodiment, the capacitance of the A region and the capacitance of the B region are equal, but the capacitance of the C region is large.
Also in this case, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the circuit configuration becomes complicated if the respective electrostatic capacities are different.
For this reason, in this embodiment, as shown in FIG. 9, a capacitor is added in parallel to the A region and the B region, and the capacitances of the A region and the B region are aligned with the C region.
In order to make the capacitances equal, the inner and outer diameters of the small region of the C region may be narrowed (in this case, the average radius of the inner and outer diameters is not changed).

これによると、第２実施形態と同様に、駆動装置４０Ａが３相駆動時においてＡ領域、Ｂ領域及びＣ領域に駆動電圧を入力する場合、それぞれの静電容量が等しいので、回路構成が簡単になる。   According to this, similarly to the second embodiment, when the driving device 40A inputs driving voltages to the A region, the B region, and the C region during the three-phase driving, the respective electrostatic capacitances are equal, so the circuit configuration is simple. become.

１：カメラ、１０：振動アクチュエータ、１１：振動子、１２：弾性体、１３，１３Ａ，２１３，３１３，４１３，２１３，３１３，４１３，５１３，６１３：電気機械変換素子、１５：移動子、２０：レンズ鏡筒、４０Ａ：駆動装置、４１：制御部、４２：発振部、４３：移相部、４４：増幅部   1: camera, 10: vibration actuator, 11: vibrator, 12: elastic body, 13, 13A, 213, 313, 413, 213, 313, 413, 513, 613: electromechanical transducer, 15: moving element, 20 : Lens barrel, 40A: driving device, 41: control unit, 42: oscillation unit, 43: phase shift unit, 44: amplification unit

Claims (15)

第１領域と第２領域と第３領域とに駆動電圧によって進行波を発生する円環形状の電気機械変換素子と、
前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに位相の異なる３相の駆動電圧を供給する第１制御と、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とのうちの２つの領域に位相の異なる２相の駆動電圧を供給する第２制御と、が制御可能な制御部と、
を備えた振動アクチュエータ。 A ring-shaped electromechanical transducer that generates a traveling wave by a drive voltage in the first region, the second region, and the third region;
A first control for supplying three-phase drive voltages having different phases to the first region, the second region, and the third region; and the first region, the second region, and the third region. A second control for supplying a two-phase drive voltage having different phases to the two regions;
Vibration actuator equipped with. 請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記振動アクチュエータの駆動により移動するレンズの移動速度が第１移動速度では第１制御を行い、前記レンズの移動速度が前記第１移動速度よりも速い第２移動速度では前記第２制御を行う振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
The control unit performs the first control when the moving speed of the lens that is moved by driving the vibration actuator is the first moving speed, and performs the first control when the moving speed of the lens is higher than the first moving speed. 2. Vibration actuator that performs control. 請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記振動アクチュエータの駆動により移動するレンズが停止状態から移動させる場合は第１制御を行い、前記レンズの移動速度が移動を開始した後に前記第２制御を行う振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
The control unit is a vibration actuator that performs the first control when the lens that is moved by driving the vibration actuator is moved from a stopped state, and performs the second control after the moving speed of the lens starts moving. 請求項１から３のいずれか一項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記第１領域、前記第２領域、及び前記第３領域のそれぞれの大きさが、前記進行波の波数を３で割ったときの商ｎと余りの数に基づいて決定されている振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 to 3,
A vibration actuator in which the sizes of the first region, the second region, and the third region are determined based on a quotient n obtained by dividing the wave number of the traveling wave by 3 and the number of remainders. 請求項４に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは１以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎ+１に分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域と、前記第３領域との３つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 4,
When the wave number of the traveling wave is classified into any one of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer of 1 or more), when classified into 3n + 1,
The size of each of the three regions of the first region, the second region, and the third region is the n-wave portion of the traveling wave,
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは２以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎ+１に分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域との２つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ＋０．５波分とし、
前記第３領域の大きさを、前記進行波のｎ−１波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
When the wave number of the traveling wave is classified into any of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer of 2 or more),
The size of each of the two regions, the first region and the second region, is n + 0.5 waves of the traveling wave,
The size of the third region is n-1 waves of the traveling wave,
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは２以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎに分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域との２つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ−０．５波分とし、
前記第３領域の大きさを、前記進行波のｎ波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
When the wave number of the traveling wave is classified into any of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer of 2 or more),
The size of each of the two regions of the first region and the second region is the n-0.5 wave portion of the traveling wave,
The size of the third region is an n-wave portion of the traveling wave;
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは２以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎに分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域との２つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ波分とし、
前記第３領域の大きさを、前記進行波のｎ−１波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
When the wave number of the traveling wave is classified into any of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer of 2 or more),
The size of each of the two regions, the first region and the second region, is an n-wave component of the traveling wave,
The size of the third region is n-1 waves of the traveling wave,
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは１以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎ＋２に分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域との２つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ＋０．５波分とし、
前記第３領域の大きさを、前記進行波のｎ波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
When the wave number of the traveling wave is classified into any of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer equal to or greater than 1), when classified into 3n + 2,
The size of each of the two regions, the first region and the second region, is n + 0.5 waves of the traveling wave,
The size of the third region is an n-wave portion of the traveling wave;
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記進行波の波数を３ｎ、３ｎ+１、３ｎ+２（ｎは１以上の整数）のいずれかに分類したとき、３ｎ＋２に分類されるとき、
前記第１領域と、前記第２領域との２つの領域それぞれの大きさを、前記進行波のｎ波分とし、
前記第３領域の大きさを、前記進行波のｎ＋１波分とすること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
When the wave number of the traveling wave is classified into any of 3n, 3n + 1, 3n + 2 (n is an integer equal to or greater than 1), when classified into 3n + 2,
The size of each of the two regions, the first region and the second region, is an n-wave component of the traveling wave,
The size of the third region is n + 1 of the traveling wave;
Vibration actuator characterized by 請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記第１領域の第１静電容量、
前記第２領域の第２静電容量、及び、
前記第３領域の第３静電容量が異なる場合に、
前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域うちの静電容量が少ない領域に、コンデンサを加えること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 to 10,
A first capacitance of the first region;
A second capacitance of the second region; and
When the third capacitance of the third region is different,
Adding a capacitor to a region of the first region, the second region, and the third region having a low capacitance;
Vibration actuator characterized by 請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記第１領域の第１静電容量、前記第２領域の第２静電容量、及び、前記第３領域の第３静電容量が等しくなるように、前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域に形成されている小領域の内外径を異ならせること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 to 10,
The first capacitance of said first region, a second capacitance of the second region, and such that said third capacitance of the third region is equal, the first region, the second region and Different inner and outer diameters of the small regions formed in the third region;
Vibration actuator characterized by 請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記電気機械変換素子は、単板であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 to 12,
The electromechanical transducer is a single plate;
Vibration actuator characterized by 請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。   A lens barrel comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 13. 請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラ。   A camera comprising the vibration actuator according to claim 1.
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