JP6007788B2 - Vibration actuator driving apparatus, driving method, and optical apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、振動アクチュエータの駆動装置、駆動方法及び光学機器に関するものである。   The present invention relates to a vibration actuator driving apparatus, a driving method, and an optical apparatus.

従来、振動アクチュエータを駆動するために、圧電素子に対して、互いの位相が異なる2つの振動信号を印加している。入力される振動信号の周波数は、振動アクチュエータを駆動するために用いられる駆動周波数と、その駆動周波数を含む振動モード(駆動モード)の次の高次の振動モードの共振周波数との間の周波数(起動周波数)から開始して、徐々に駆動周波数に下げている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in order to drive a vibration actuator, two vibration signals having different phases are applied to the piezoelectric element. The frequency of the input vibration signal is a frequency between the drive frequency used to drive the vibration actuator and the resonance frequency of the next higher vibration mode of the vibration mode (drive mode) including the drive frequency ( Starting from the starting frequency, the driving frequency is gradually lowered (for example, see Patent Document 1).

特開平3−22873号公報JP-A-3-22873

しかし、上記起動周波数は、駆動周波数と、その駆動モードの次の高次の振動モードの共振周波数との間の周波数と限定されるため、あまり高い周波数とすることができない。したがって、起動時において、十分に高い周波数から開始されないため、振動子20が急に振動を開始して突発音が発生する場合がある。
近年、動画撮影用のカメラに振動アクチュエータが用いられる場合が多く、この場合、動画撮影時等にこの突発音が録音されてしまう。特に、動画撮影時は、ウォブリング動作が行われ、電源が頻繁にON−OFFされるために、この異音の発生がさらに顕在化する。
However, the startup frequency is limited to a frequency between the drive frequency and the resonance frequency of the next higher vibration mode of the drive mode, and thus cannot be set to a very high frequency. Therefore, at the time of activation, since it does not start from a sufficiently high frequency, the vibrator 20 suddenly starts to vibrate and sudden sound may occur.
In recent years, a vibration actuator is often used in a moving image shooting camera. In this case, this sudden sound is recorded at the time of moving image shooting or the like. In particular, during moving image shooting, a wobbling operation is performed and the power supply is frequently turned on and off, so that the generation of this abnormal noise becomes more obvious.

本発明の課題は、静音化された振動アクチュエータの駆動装置、駆動方法及び光学機器を提供することである。   An object of the present invention is to provide a vibration actuator driving device, a driving method, and an optical apparatus that are made silent.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。   The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this.

請求項1に記載の発明は、位相差を変更可能な2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、前記相対移動部が停止状態となる位相差に保持した状態で、駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記2つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記2つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になったときに、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にする制御部とを備えたこと、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータの駆動装置であって、前記起動周波数は、前記駆動周波数を含む振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数以上の周波数であること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置である。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータの駆動装置であって、前記相対移動部が停止状態を保持する位相差は、0度又は180度の±15度であること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置である。
請求項4に記載の発明は、位相差を変更可能な2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、を備える振動アクチュエータの駆動方法であって、前記振動アクチュエータの起動時に、互いの位相差を前記相対移動部が停止状態を保つ位相差に保持した状態、かつ、前記振動アクチュエータの駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記2つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記2つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になった際に、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にすること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動方法である。
請求項5に記載の発明は、請求項1から3の駆動装置を備える光学機器である。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a vibration part having an electromechanical energy conversion element to which two drive signals capable of changing a phase difference are input, and a drive generated in the vibration part due to vibration of the electromechanical energy conversion element The two drives with a starting frequency higher than the driving frequency used for driving in a state where the relative moving unit is moved relative to the vibrating unit by force and the phase difference is set so that the relative moving unit is stopped. When the signal is input to the electromechanical energy conversion element and the frequency of the two drive signals is gradually decreased from the activation frequency to reach the drive frequency, the phase difference is determined by the relative movement unit and the vibration unit. And a control unit for making a phase difference that can be moved relative to the vibration actuator.
Invention of Claim 2 is a drive device of the vibration actuator of Claim 1, Comprising: The said starting frequency is a frequency more than the resonance frequency of the higher vibration mode following the vibration mode containing the said drive frequency. It is the drive device of the vibration actuator characterized by being.
A third aspect of the present invention is the vibration actuator driving apparatus according to the first aspect, wherein the phase difference at which the relative movement unit maintains the stop state is ± 15 degrees of 0 degrees or 180 degrees. The drive device of the vibration actuator characterized by these.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a vibration part having an electromechanical energy conversion element to which two drive signals capable of changing a phase difference are inputted, and a drive generated in the vibration part due to vibration of the electromechanical energy conversion element A vibration actuator driving method comprising: a relative movement section that moves relative to the vibration section by force, wherein the relative movement section maintains a stopped state based on a mutual phase difference when the vibration actuator is activated. The two drive signals are input to the electromechanical energy conversion element at a starting frequency higher than the drive frequency used for driving the vibration actuator while maintaining the phase difference, and the frequencies of the two drive signals are When the driving frequency is gradually decreased from the starting frequency, the phase difference is determined so that the relative moving unit can move relative to the vibrating unit. That the difference is a method of driving a vibration actuator according to claim.
A fifth aspect of the present invention is an optical apparatus including the driving device according to the first to third aspects.

本発明によれば、静音化された振動アクチュエータの駆動装置、駆動方法及び光学機器を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a drive device, a drive method, and an optical apparatus for a vibration actuator that has been silenced.

実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒を含むカメラを説明する図である。It is a figure explaining the camera containing the lens-barrel provided with the vibration actuator driven with the drive device of embodiment. 実施形態の振動アクチュエータおよび振動波アクチュエータの駆動装置を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the drive device of the vibration actuator and vibration wave actuator of embodiment. 実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒を説明する図である。It is a figure explaining a lens barrel provided with the vibration actuator driven with the drive device of an embodiment. A相とB相との間の位相差と、移動子の回転速度との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the phase difference between A phase and B phase, and the rotational speed of a slider. 駆動信号の周波数と、振動アクチュエータのインピーダンスの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the frequency of a drive signal, and the impedance of a vibration actuator. 本実施形態による振動アクチュエータによるレンズ駆動の例を示した図である。It is the figure which showed the example of the lens drive by the vibration actuator by this embodiment.

図1は、本発明の実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータ100を備えるレンズ鏡筒1を含むカメラ2を説明する図である。
本実施形態においてレンズ鏡筒1はカメラ2の本体に対して着脱可能であるが、これに限定されず、着脱不能なものであっても良い。
FIG. 1 is a diagram illustrating a camera 2 including a lens barrel 1 including a vibration actuator 100 driven by a driving device according to an embodiment of the present invention.
In the present embodiment, the lens barrel 1 can be attached to and detached from the main body of the camera 2, but the present invention is not limited to this and may be non-detachable.

本実施形態のカメラ2は、レンズ鏡筒1内に撮像光学系(レンズ)3を備える。
またカメラ2の本体内に、撮像素子4と、AFE(Analog front end)回路5と、画像処理部6と、音声検出部7と、バッファメモリ8と、記録インターフェイス9と、モニタ10と、操作部材11と、メモリ12と、CPU13とから構成され、外部機器のPC14との接続が可能となっている。
The camera 2 of this embodiment includes an imaging optical system (lens) 3 in a lens barrel 1.
In the main body of the camera 2, an image pickup device 4, an AFE (Analog front end) circuit 5, an image processing unit 6, a sound detection unit 7, a buffer memory 8, a recording interface 9, a monitor 10, and an operation Consists of a member 11, a memory 12, and a CPU 13, and can be connected to a PC 14 as an external device.

撮像光学系3は、複数の光学レンズにより構成され、被写体像を撮像素子4の受光面に結像させる。図1では光学レンズ系を簡略化して、単レンズとして符号3で示している。
また、光学レンズ群の内、AF用の光学レンズは、振動アクチュエータ100の駆動により駆動される。
The imaging optical system 3 includes a plurality of optical lenses, and forms a subject image on the light receiving surface of the imaging element 4. In FIG. 1, the optical lens system is simplified and denoted by reference numeral 3 as a single lens.
In the optical lens group, the optical lens for AF is driven by driving the vibration actuator 100.

操作部材11または画像の状況により撮像素子4への露光時間(シャッタースピード)が決定される。
撮像素子4は、受光面に受光素子が二次元的に配列されたCMOSイメージセンサなどによって構成される。撮像素子4は、撮像光学系3を通過した光束による被写体像を光電変換してアナログ画像信号を生成する。アナログ画像信号は、AFE回路5に入力される。
The exposure time (shutter speed) for the image sensor 4 is determined according to the state of the operation member 11 or the image.
The imaging element 4 is configured by a CMOS image sensor or the like in which light receiving elements are two-dimensionally arranged on a light receiving surface. The image sensor 4 photoelectrically converts a subject image by a light beam that has passed through the imaging optical system 3 to generate an analog image signal. The analog image signal is input to the AFE circuit 5.

AFE回路5は、アナログ画像信号に対するゲイン調整(ISO感度に応じて信号増幅)行う。具体的には、CPU13からの感度設定指示に応じて、撮像感度を所定範囲内で変更する。AFE回路5は、さらに、内蔵するA/D変換回路によってアナログ処理後の画像信号をデジタルデータに変換する。そのデジタルデータは、画像処理部6に入力される。   The AFE circuit 5 performs gain adjustment (signal amplification according to ISO sensitivity) on the analog image signal. Specifically, the imaging sensitivity is changed within a predetermined range in accordance with a sensitivity setting instruction from the CPU 13. The AFE circuit 5 further converts the analog-processed image signal into digital data by a built-in A / D conversion circuit. The digital data is input to the image processing unit 6.

画像処理部6は、デジタル画像データに対して、各種の画像処理を行う。
メモリ12は、画像処理部6による画像処理の前工程や後工程での画像データを一時的に記録する。
音声検出部7は、マイクと信号増幅部105から構成され、主に動画撮影時に被写体方向からの音声を検出して取り込み、そのデータをCPU13へ伝達する。
The image processing unit 6 performs various types of image processing on the digital image data.
The memory 12 temporarily records image data in a pre-process and post-process of image processing by the image processing unit 6.
The sound detection unit 7 includes a microphone and a signal amplification unit 105, and detects and captures sound from the subject direction mainly during moving image shooting, and transmits the data to the CPU 13.

記録インターフェイス9は、不図示のコネクタを有し、該コネクタに記録媒体15が接続され、接続された記録媒体15に対して、データの書き込みや、記録媒体からのデータの読み込みを行う。
モニタ10は、液晶パネルによって構成され、CPU13からの指示に応じて画像や操作メニューなどを表示する。
操作部材11は、モードダイヤル、十字キー、決定ボタンやレリーズボタンを示し、各操作に応じた操作信号をCPU13へ送出する。静止画撮影や動画撮影の設定は、該操作部材11により設定される。
The recording interface 9 has a connector (not shown), and a recording medium 15 is connected to the connector, and data is written to and read from the recording medium 15 connected thereto.
The monitor 10 is composed of a liquid crystal panel, and displays an image, an operation menu, and the like according to an instruction from the CPU 13.
The operation member 11 indicates a mode dial, a cross key, a determination button, and a release button, and sends an operation signal corresponding to each operation to the CPU 13. Settings for still image shooting and moving image shooting are set by the operation member 11.

CPU13は、不図示のROMに格納されたプログラムを実行することによってカメラ2が行う動作を統括的に制御する。例えば、AF(オートフォーカス)動作制御、AE(自動露出)動作制御、オートホワイトバランス制御などを行う。
メモリ12は、画像処理した一連の画像データを記録する。
この様な構成のカメラ2において、本発明は、動画に対応した画像を取り込む。
The CPU 13 comprehensively controls operations performed by the camera 2 by executing a program stored in a ROM (not shown). For example, AF (autofocus) operation control, AE (automatic exposure) operation control, auto white balance control, and the like are performed.
The memory 12 records a series of image data subjected to image processing.
In the camera 2 having such a configuration, the present invention captures an image corresponding to a moving image.

図2は、実施形態の振動アクチュエータ100および振動波アクチュエータの駆動装置101を説明するブロック図である。駆動装置101は、発振部102、移相部104、増幅部105、検出部106及びそれらを制御する制御部103を備える。   FIG. 2 is a block diagram illustrating the vibration actuator 100 and the driving device 101 of the vibration wave actuator according to the embodiment. The drive device 101 includes an oscillation unit 102, a phase shift unit 104, an amplification unit 105, a detection unit 106, and a control unit 103 that controls them.

発振部102は、制御部103の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
移相部104は、制御部103の指令により、該発振部102で発生した駆動信号を所望の位相の異なる2つの駆動信号に分ける。
増幅部105は、移相部104によって分けられた2つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
増幅部105からの駆動信号は、振動アクチュエータ100に伝達され、この駆動信号の印加により、振動アクチュエータ100の、後述する振動子20に進行波が発生し、移動子28が駆動される。
The oscillation unit 102 generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 103.
The phase shift unit 104 divides the drive signal generated by the oscillation unit 102 into two drive signals having different desired phases in response to a command from the control unit 103.
The amplification unit 105 boosts the two drive signals divided by the phase shift unit 104 to desired voltages, respectively.
The drive signal from the amplifying unit 105 is transmitted to the vibration actuator 100, and by applying this drive signal, a traveling wave is generated in the vibrator 20 described later of the vibration actuator 100, and the moving element 28 is driven.

回転検出部106は、光学式エンコーダや磁気エンコ−ダ等により構成され、移動子28の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部103に伝達する。
制御部103は、レンズ鏡筒1内またはカメラ本体のCPU13からの駆動指令を基に振動アクチュエータ100の駆動および振動波アクチュエータの動作を制御する。制御部103は、回転検出部106からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように振動アクチュエータ100発振部102の周波数や位相差等を制御する。
The rotation detection unit 106 includes an optical encoder, a magnetic encoder, and the like, detects the position and speed of a driven object driven by driving the moving element 28, and transmits the detected value to the control unit 103 as an electric signal. .
The control unit 103 controls the drive of the vibration actuator 100 and the operation of the vibration wave actuator based on a drive command from the CPU 13 in the lens barrel 1 or the camera body. The control unit 103 receives the detection signal from the rotation detection unit 106, obtains position information and speed information based on the values, and determines the frequency and phase difference of the oscillation actuator 100 oscillation unit 102 so as to be positioned at the target position. Control etc.

図3は、本発明の実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータ100を備えるレンズ鏡筒1を説明する図であり、リング状の振動アクチュエータ100をレンズ鏡筒1に組み込んだ状態の図である。   FIG. 3 is a diagram for explaining the lens barrel 1 including the vibration actuator 100 driven by the drive device according to the embodiment of the present invention, and is a view showing a state in which the ring-shaped vibration actuator 100 is incorporated in the lens barrel 1. is there.

振動子20は、電気エネルギを機械エネルギに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械エネルギ変換素子(以下、圧電体と称する)21と、圧電素子21を接合した弾性体22とから構成されている。振動子20には、本実施形態において一例として9波の進行波が発生する。   The vibrator 20 includes an electromechanical energy conversion element (hereinafter referred to as a piezoelectric body) 21 such as a piezoelectric element or an electrostrictive element that converts electrical energy into mechanical energy, and an elastic body 22 joined with the piezoelectric element 21. It is composed of In the vibrator 20, nine traveling waves are generated as an example in the present embodiment.

弾性体22は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環形状である。弾性体22の、圧電素子21が接合される反対面には溝が切ってあり、突起部分(溝がない箇所)の先端面が駆動面22aとなり移動子28に加圧接触される。溝を切る理由は、進行波の中立面をできる限り圧電素子21側に近づけ、これにより駆動面22aの進行波の振幅を増幅させるためである。   The elastic body 22 is made of a metal material having a high resonance sharpness, and has a ring shape. A groove is cut in the opposite surface of the elastic body 22 to which the piezoelectric element 21 is bonded, and the tip surface of the protruding portion (a portion where there is no groove) becomes the driving surface 22a and is brought into pressure contact with the moving element 28. The reason for cutting the groove is to make the neutral surface of the traveling wave as close to the piezoelectric element 21 as possible, thereby amplifying the amplitude of the traveling wave on the drive surface 22a.

圧電素子21は、円周方向に沿って2つの相(A相、B相)に分かれており、各相においては、1/2波長毎に分極が交互となった要素が並べられていて、A相とB相との間には1/4波長分間隔が空くようにしてある。   The piezoelectric element 21 is divided into two phases (A phase and B phase) along the circumferential direction, and in each phase, elements in which polarization is alternated every 1/2 wavelength are arranged, An interval of 1/4 wavelength is provided between the A phase and the B phase.

圧電素子21の下には、不織布23、加圧板24、加圧部材25が配置されている。
不織布23は、例えばフェルトで、圧電素子21の下に配置されていて、振動子20の振動を加圧板24や加圧部材25に伝えないようにしてある。
Under the piezoelectric element 21, a non-woven fabric 23, a pressure plate 24, and a pressure member 25 are disposed.
The nonwoven fabric 23 is, for example, felt and is disposed under the piezoelectric element 21 so that the vibration of the vibrator 20 is not transmitted to the pressure plate 24 and the pressure member 25.

加圧板24は、加圧部材25の加圧を受けるようにされている。
加圧部材25は、加圧板24の下に配置され、加圧力を発生させるものである。本実施形態では、加圧部材25を皿バネとしたが、皿バネでなくともコイルバネやウェーブバネでも良い。
加圧部材25は、押さえ環26に保持され、押さえ環26は固定部材27に固定されている。
The pressure plate 24 is configured to receive pressure from the pressure member 25.
The pressure member 25 is disposed under the pressure plate 24 and generates pressure. In this embodiment, the pressure member 25 is a disc spring, but it may be a coil spring or a wave spring instead of a disc spring.
The pressing member 25 is held by a pressing ring 26, and the pressing ring 26 is fixed to a fixing member 27.

移動子28は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための摺動材料が設けられている。
移動子28の上には、移動子28の縦方向の振動を吸収するために、ゴムの様な振動吸収部材29が配置され、その上には出力伝達部材30が配置されている。
The mover 28 is made of a light metal such as aluminum, and a sliding material for improving wear resistance is provided on the surface of the sliding surface.
A vibration absorbing member 29 such as rubber is disposed on the moving element 28 in order to absorb the vertical vibration of the moving element 28, and an output transmission member 30 is disposed thereon.

出力伝達部材30は、固定部材27に設けられたベアリング31により、加圧方向と径方向とが規制され、これにより移動子28の加圧方向と径方向とが規制されている。
出力伝達部材30は、突起部32があり、そこからカム環33に接続されたフォークがかん合しており、出力伝達部材30の回転とともに、カム環33が回転される。
The output transmission member 30 is regulated in the pressurizing direction and the radial direction by a bearing 31 provided on the fixed member 27, and thereby the pressurizing direction and the radial direction of the moving element 28 are regulated.
The output transmission member 30 has a protrusion 32, from which a fork connected to the cam ring 33 is engaged, and the cam ring 33 is rotated as the output transmission member 30 rotates.

カム環33には、キー溝34がカム環33に斜めに切られており、AF環35に設けられた固定ピン36が、キー溝34にかん合している。
そして、カム環33が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向にAF環35が駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
固定部材27は、押さえ環26がネジにより取り付けられ、これを取り付けることで、出力伝達部材30から移動子28、振動子20、加圧部材25までが一つのモータユニットとして構成可能となる。
In the cam ring 33, a key groove 34 is obliquely cut in the cam ring 33, and a fixing pin 36 provided in the AF ring 35 is engaged with the key groove 34.
Then, the cam ring 33 is rotationally driven, so that the AF ring 35 is driven in the straight direction in the optical axis direction and can be stopped at a desired position.
In the fixing member 27, the pressing ring 26 is attached with a screw, and by attaching this, the output transmission member 30, the moving element 28, the vibrator 20, and the pressing member 25 can be configured as one motor unit.

図2の移相部104は、発振部102より発生された駆動信号を、互いに位相が異なるA相とB相の駆動信号に分離する。このA相とB相の駆動信号は、圧電素子21のそれぞれの電極に印加されるものである。
A相とB相の駆動信号の間に位相差が存在する場合、圧電素子21で励起された振動により弾性体22の駆動面22aで発生する波は、進行波となり、移動子28を回転させる。
The phase shifter 104 in FIG. 2 separates the drive signal generated from the oscillator 102 into A-phase and B-phase drive signals having different phases. The A phase and B phase drive signals are applied to the respective electrodes of the piezoelectric element 21.
When there is a phase difference between the A-phase and B-phase drive signals, the wave generated on the drive surface 22a of the elastic body 22 by the vibration excited by the piezoelectric element 21 becomes a traveling wave and rotates the moving element 28. .

図4は、A相とB相との間の位相差と、移動子28の回転速度との関係を示す図である。
図示するように、A相とB相との位相差が±90度のときは、移動子28の回転速度は最も速くなる。そして位相差が0(又は180度)の近くになると、駆動面22aで発生する波が、進行波でなく定在波となり、移動子28の回転は停止する。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the phase difference between the A phase and the B phase and the rotational speed of the moving element 28.
As shown in the figure, when the phase difference between the A phase and the B phase is ± 90 degrees, the rotational speed of the moving element 28 is the fastest. When the phase difference is close to 0 (or 180 degrees), the wave generated on the drive surface 22a becomes a standing wave, not a traveling wave, and the rotation of the moving element 28 stops.

図5は、駆動信号の周波数と、振動アクチュエータ100のインピーダンスの関係を示す図である。図中fsで示す部分は、レンズを駆動する際に用いる駆動周波数である。
振動アクチュエータ100の駆動時においては、振動アクチュエータ100を低速から開始するのが好ましいため、圧電素子21に印加する駆動信号の周波数は、駆動周波数より高い周波数(以下、起動周波数という)から開始して、徐々に駆動周波数へ下げていくのが一般的である。
FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the frequency of the drive signal and the impedance of the vibration actuator 100. The portion indicated by fs in the figure is the drive frequency used when driving the lens.
When driving the vibration actuator 100, it is preferable to start the vibration actuator 100 from a low speed. Therefore, the frequency of the drive signal applied to the piezoelectric element 21 starts from a frequency higher than the drive frequency (hereinafter referred to as a start-up frequency). Generally, the driving frequency is gradually lowered.

この起動周波数について説明容易のため、まず、本実施形態に対する比較形態について説明する。比較形態では、振動アクチュエータ100を駆動する際に、圧電素子21に印加するA相とB相との駆動信号の位相差を、例えば90度に固定されている。
この場合、起動周波数は、駆動周波数fsと、その駆動周波数fsが含まれる振動モード(駆動モード)の次の高次の振動モードの共振周波数f3との間の周波数f1から開始して、徐々に駆動周波数fsまで下げていく。
In order to facilitate explanation of this activation frequency, first, a comparison with this embodiment will be described. In the comparative embodiment, when the vibration actuator 100 is driven, the phase difference of the drive signals applied to the piezoelectric element 21 between the A phase and the B phase is fixed at 90 degrees, for example.
In this case, the start-up frequency starts from a frequency f1 between the drive frequency fs and the resonance frequency f3 of the next higher vibration mode of the vibration mode (drive mode) including the drive frequency fs, and gradually The drive frequency is lowered to fs.

このように、f1を、振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数f3よりも高い周波数は用いない理由は、駆動信号の周波数が共振周波数f3を越える際に、振動アクチュエータ100のインピーダンスが増加して動作の制御が困難となるからである。   Thus, the reason why f1 is not used is higher than the resonance frequency f3 of the vibration mode next to the vibration mode because the impedance of the vibration actuator 100 is higher when the frequency of the drive signal exceeds the resonance frequency f3. This is because it becomes difficult to control the operation.

しかし、この比較形態の場合、電源がONになると同時に、位相差が90度で起動周波数f1のA相とB相とが圧電素子21に印加される。起動周波数f1は、f3をより小さいので、十分に高い周波数とすることができず、振動アクチュエータ100の振動子20が急に大きな振動を開始して、突発音が発生する可能性がある。   However, in the case of this comparative form, at the same time as the power is turned on, the phase difference is 90 degrees and the A phase and the B phase of the starting frequency f1 are applied to the piezoelectric element 21. Since the activation frequency f1 is smaller than f3, the activation frequency f1 cannot be set to a sufficiently high frequency, and there is a possibility that the vibrator 20 of the vibration actuator 100 suddenly starts a large vibration and sudden sound is generated.

そこで、本実施形態では、駆動振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数f3を超えた周波数f2から、圧電素子21への電力印加を開始する。
本実施形態においても、駆動周波数fsまで周波数を下げる際に共振周波数f3を超えなくてはならない。
共振周波数f3を越える際に、移動子28が駆動していると、上述したように振動アクチュエータ100の動作が不安定になる可能性がある。
Therefore, in the present embodiment, the application of power to the piezoelectric element 21 is started from the frequency f2 that exceeds the resonance frequency f3 of the next higher vibration mode after the drive vibration mode.
Also in the present embodiment, the resonance frequency f3 must be exceeded when the frequency is lowered to the drive frequency fs.
If the moving element 28 is driven when the resonance frequency f3 is exceeded, the operation of the vibration actuator 100 may become unstable as described above.

そこで、本実施形態では、駆動周波数fsに到達するまではA相とB相との間の位相差を0または180度にする。ただし、0度、180度は厳密な値ではなく、移動子28が回転しない範囲であれば、例えば±5度程度までは許容範囲である。
そして、振動周波数が駆動周波数fsに到達したら、A相とB相との位相差を約90度にする。位相差が90度になると、移動子28は回転を始め、振動アクチュエータ100によるレンズ駆動が可能となる。
Therefore, in the present embodiment, the phase difference between the A phase and the B phase is set to 0 or 180 degrees until the drive frequency fs is reached. However, 0 degrees and 180 degrees are not strict values, and as long as the movable element 28 does not rotate, for example, up to about ± 5 degrees is an allowable range.
When the vibration frequency reaches the drive frequency fs, the phase difference between the A phase and the B phase is set to about 90 degrees. When the phase difference reaches 90 degrees, the moving element 28 starts rotating, and the lens can be driven by the vibration actuator 100.

本実施形態によると、振動周波数が駆動周波数fsに到達するまでは、振動子20の駆動面22aには、進行波ではなく定在波が生じるので、移動子28に回転力は伝達されない。したがって、振動アクチュエータ100は停止しているので、動作に不具合を生じることがない。一方、振動子20の振動は、小さい振動から開始されるので、突発音の可能性が低い。   According to this embodiment, until the vibration frequency reaches the drive frequency fs, a standing wave is generated on the drive surface 22a of the vibrator 20 instead of a traveling wave, so that no rotational force is transmitted to the moving element 28. Accordingly, since the vibration actuator 100 is stopped, there is no problem in operation. On the other hand, since the vibration of the vibrator 20 starts from a small vibration, the possibility of sudden sound is low.

図6は、本実施形態による振動アクチュエータ100によるレンズ駆動の例を示した図である。
はまず、振動アクチュエータ100への電圧供給が開始された時点t1において、位相差は0であるため、レンズは停止したままである。したがって、レンズがいきなり駆動し始めて突発音が発生することがない。
そして、駆動信号の周波数を減少させていき、共振周波数f3を越えて駆動周波数fsに入ったt2で、A相とB相との間に位相差を生じさせる。本実施形態では約90度である。なお、90度が効率が良いが、これに限定されるものではない。
そして、レンズ3が所望の位置に到達した時点t3で位相差を約0度とする。これによりレンズ3は停止する。
再度レンズ3の駆動の必要が生じた時点t4で、またA相とB相との間に位相差を生じさせる。この際、時刻t2からt3の間の移動と逆向きにレンズ3を駆動させる場合は位相差をマイナス90度にする。
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of lens driving by the vibration actuator 100 according to the present embodiment.
First, at the time t1 when the voltage supply to the vibration actuator 100 is started, the phase difference is 0, so the lens remains stopped. Therefore, the lens does not suddenly start driving and sudden sound does not occur.
Then, the frequency of the drive signal is decreased, and a phase difference is generated between the A phase and the B phase at t2 that exceeds the resonance frequency f3 and enters the drive frequency fs. In this embodiment, it is about 90 degrees. In addition, although 90 degree | times is efficient, it is not limited to this.
Then, the phase difference is set to about 0 degree at time t3 when the lens 3 reaches a desired position. As a result, the lens 3 stops.
A phase difference is generated between the A phase and the B phase at the time t4 when the lens 3 needs to be driven again. At this time, when the lens 3 is driven in the direction opposite to the movement from the time t2 to the time t3, the phase difference is set to minus 90 degrees.

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
(1)従来、振動アクチュエータ100の起動時には、電源電圧をゆっくり投入したり、駆動周波数よりも少し高い周波数で起動していた。しかし、それでも電源ON時の突発音はなくならなかった。動画撮影中などは、アクチュエータONするたびに突発音が発生していた。また、異音発生を抑えたくとも、従来は、起動時の周波数を次のモードの共振点前までしか広げていなかった。
しかし、本発明では、起動時の周波数を次の駆動モードまで広げ、十分振動が小さい状態から起動させることにより、起動時の突発音の発生が低減される。
(2)電源ON時の駆動信号の位相差を0又は180度とすることで、振動子20が振動を開始しても、移動子28が動きだす事がなく、駆動信号の振動周波数が共振周波数を超える際の不具合も生じない。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) Conventionally, when the vibration actuator 100 is activated, the power supply voltage is slowly applied or activated at a frequency slightly higher than the drive frequency. However, the sudden sound at power-on did not disappear. During movie shooting, sudden sound occurred every time the actuator was turned on. Also, in order to suppress the generation of abnormal noise, conventionally, the frequency at the time of startup has been expanded only before the resonance point of the next mode.
However, in the present invention, the frequency at the time of activation is extended to the next drive mode, and the activation is started from a state where vibration is sufficiently small, thereby reducing the occurrence of sudden sound at the time of activation.
(2) By setting the phase difference of the drive signal when the power is turned on to 0 or 180 degrees, even if the vibrator 20 starts to vibrate, the moving element 28 does not start, and the vibration frequency of the drive signal is the resonance frequency. There is no problem when exceeding.

(変形形態)
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
(1)本実施形態では、レンズ鏡筒1はカメラ2の本体に対して着脱可能であるが、これに限定されず、着脱不能であっても良い。
(2)また、本実施形態で振動アクチュエータ100はレンズを内部に搭載する円環型を例に説明したが、これに限定されず、レンズ保持筒の外部において、保持筒の軸線と別の軸線周りに回転する小型なものであってもよい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
(Deformation)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes as described below are possible, and these are also within the scope of the present invention.
(1) In the present embodiment, the lens barrel 1 can be attached to and detached from the main body of the camera 2, but the present invention is not limited to this and may be detachable.
(2) Further, in the present embodiment, the vibration actuator 100 is described as an annular type in which a lens is mounted inside. However, the present invention is not limited to this, and the axis of the holding cylinder is different from the axis of the holding cylinder outside the lens holding cylinder. It may be a small one that rotates around.
In addition, although embodiment and a deformation | transformation form can also be used in combination as appropriate, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the embodiment described above.

1:レンズ鏡筒、2:カメラ、20:振動子、21:圧電素子、22:弾性体、22a:駆動面、28:移動子、100:振動アクチュエータ、101:駆動装置、f1:起動周波数、f3:共振周波数、fs:駆動周波数   1: lens barrel, 2: camera, 20: vibrator, 21: piezoelectric element, 22: elastic body, 22a: driving surface, 28: moving element, 100: vibration actuator, 101: driving device, f1: starting frequency, f3: resonance frequency, fs: drive frequency

Claims (5)

位相差を変更可能な2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、
前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、
前記相対移動部が停止状態となる位相差に保持した状態で、駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記2つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記2つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になったときに、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にする制御部とを備えたこと、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
A vibrating section having an electromechanical energy conversion element to which two drive signals capable of changing the phase difference are input;
A relative movement part that moves relative to the vibration part by a driving force generated in the vibration part by vibration of the electromechanical energy conversion element;
The two drive signals are input to the electromechanical energy conversion element at a start frequency higher than the drive frequency used for driving in a state where the relative movement unit is held at a phase difference that is stopped. And a controller that gradually reduces the frequency of the starting frequency to the driving frequency so that the phase difference is a phase difference that allows the relative movement unit to move relative to the vibration unit. about,
A drive device for a vibration actuator characterized by the above.
請求項1に記載の振動アクチュエータの駆動装置であって、
前記起動周波数は、前記駆動周波数を含む振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数以上の周波数であること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
A drive device for a vibration actuator according to claim 1,
The start-up frequency is a frequency equal to or higher than a resonance frequency of a vibration mode next to a vibration mode including the driving frequency;
A drive device for a vibration actuator characterized by the above.
請求項1に記載の振動アクチュエータの駆動装置であって、
前記相対移動部が停止状態を保持する位相差は、0度又は180度の±15度であること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
A drive device for a vibration actuator according to claim 1,
The phase difference at which the relative movement unit holds the stopped state is 0 ° or ± 15 ° of 180 °,
A drive device for a vibration actuator characterized by the above.
位相差を変更可能な2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、
前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、
を備える振動アクチュエータの駆動方法であって、
前記振動アクチュエータの起動時に、
互いの位相差を前記相対移動部が停止状態を保つ位相差に保持した状態、かつ、前記振動アクチュエータの駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記2つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、
前記2つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になった際に、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にすること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動方法。
A vibrating section having an electromechanical energy conversion element to which two drive signals capable of changing the phase difference are input;
A relative movement part that moves relative to the vibration part by a driving force generated in the vibration part by vibration of the electromechanical energy conversion element;
A driving method of a vibration actuator comprising:
When starting the vibration actuator,
The electromechanical energy conversion of the two drive signals in a state in which the relative phase difference is maintained at a phase difference in which the relative movement unit maintains a stopped state and at a start frequency higher than the drive frequency used for driving the vibration actuator Input to the element,
When the frequency of the two drive signals is gradually decreased from the starting frequency to reach the drive frequency, the phase difference is set to a phase difference that allows the relative movement unit to move relative to the vibration unit. ,
A driving method of a vibration actuator characterized by the above.
請求項1から3の駆動装置を備える光学機器。   An optical apparatus comprising the driving device according to claim 1.
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