JP2014195382A - Vibration actuator, barrel, and camera - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator capable of preventing generation of abnormal noise or occurrence of trouble caused by unstable drive even in the case where a high-order vibration mode is included within a drive range, a barrel, and a camera.SOLUTION: A vibration actuator 30 comprises: a vibrator 110 which is vibrated by vibration of an electromechanical energy conversion element 112 to which two driving signals of phases different from each other are inputted; a mover 120 which is pressurized by the vibrator 110 and moved relatively to the vibrator 110 by vibration of the vibrator 110; and drive voltage regulation means 205 capable of regulating voltages of the driving signals. In the case where frequencies of the driving signals are settled within a resonant frequency band including a resonant frequency of the vibration actuator 30, the drive voltage regulation means 205 lowers the voltages of the driving signals so as to fall below a voltage in the case where the frequency of the driving signal is settled within any other band than the resonant frequency band.

Description

本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラに関するものである。   The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, and a camera.

従来、振動アクチュエータを駆動するために、圧電素子に対して、互いの位相が異なる2つの駆動信号を印加している。この駆動信号の周波数は、振動アクチュエータが低速回転となる高周波数側から開始され、高速回転となる低速周波数側に下げられる。
この駆動信号の周波数が、高次振動モードの共振周波数を含む場合、共振周波数を越える際に異音が発生したり、駆動が不安定になるといった不具合が生ずる可能性がある。
このため、振動アクチュエータを駆動するために用いられる駆動周波数と、その駆動周波数を含む振動モード(駆動モード)の次の高次振動モードの共振周波数との間の周波数(起動周波数)から開始して、徐々に駆動周波数に下げている(例えば、特許文献1参照)。
Conventionally, in order to drive the vibration actuator, two drive signals having different phases are applied to the piezoelectric element. The frequency of the drive signal starts from the high frequency side where the vibration actuator rotates at a low speed, and decreases to the low frequency side where the vibration actuator rotates at a high speed.
When the frequency of the drive signal includes the resonance frequency of the higher-order vibration mode, there is a possibility that abnormal noise may be generated when the resonance frequency is exceeded or the drive may become unstable.
Therefore, start from the frequency (startup frequency) between the drive frequency used to drive the vibration actuator and the resonance frequency of the next higher-order vibration mode of the vibration mode (drive mode) including that drive frequency. The driving frequency is gradually lowered (for example, see Patent Document 1).

特開平3−22873号公報JP-A-3-22873

しかし、上記起動周波数は、駆動周波数と、その駆動モードの次の高次振動モードの共振周波数との間の周波数と限定されるため、限定された範囲となる。このため駆動対象およびその駆動制御の要求等から、高次振動モードの共振周波数を避けることが出来ず、駆動範囲中に高次振動モードの周波数域を含む設定となる場合もある。   However, the start-up frequency is limited to a frequency between the drive frequency and the resonance frequency of the next higher-order vibration mode of the drive mode, and thus has a limited range. For this reason, the resonance frequency of the higher-order vibration mode cannot be avoided due to the drive target and the drive control request, and the drive range may include the frequency range of the higher-order vibration mode.

本発明の課題は、異音の発生を抑制できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供することである。   An object of the present invention is to provide a vibration actuator, a lens barrel, and a camera that can suppress the occurrence of abnormal noise.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項1に記載の発明は、互いに位相が異なる2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子の振動によって振動する振動子と、前記振動子に加圧され、該振動子の振動によって当該振動子に対して相対移動する移動子と、前記駆動信号の電圧を調整可能な駆動電圧調整手段と、を備える振動アクチュエータであって、前記駆動信号の周波数が該振動アクチュエータの共振周波数を含む共振周波数帯域にある場合、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の電圧を、前記共振周波数帯域以外の帯域にある場合の電圧よりも下げること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータであって、前記駆動電圧調整手段は、駆動時における該振動アクチュエータのインピーダンスの変化に対応して前記駆動信号の電圧を変化させること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の振動アクチュエータであって、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の周波数が、前記共振周波数となる場合に、前記駆動信号の電圧を最も下げること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれか1項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒である。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のレンズ鏡筒を備えるカメラである。
The present invention solves the above problems by the following means.
According to the first aspect of the present invention, a vibrator that vibrates due to vibration of an electromechanical energy conversion element to which two drive signals having different phases are input, and the vibrator is pressurized, and the vibration is caused by vibration of the vibrator. A vibration actuator comprising: a moving element that moves relative to a vibrator; and a drive voltage adjusting unit that can adjust a voltage of the drive signal, wherein the frequency of the drive signal includes a resonance frequency of the vibration actuator. When in the frequency band, the drive voltage adjusting means lowers the voltage of the drive signal from a voltage in a band other than the resonance frequency band.
A second aspect of the present invention is the vibration actuator according to the first aspect, wherein the drive voltage adjusting means changes the voltage of the drive signal in response to a change in impedance of the vibration actuator during driving. This is a vibration actuator characterized by the above.
A third aspect of the present invention is the vibration actuator according to the first or second aspect, wherein the drive voltage adjusting means is configured to reduce the voltage of the drive signal when the frequency of the drive signal is the resonance frequency. The vibration actuator is characterized by lowering the most.
A fourth aspect of the present invention is a lens barrel including the vibration actuator according to any one of the first to third aspects.
A fifth aspect of the present invention is a camera including the lens barrel according to the fourth aspect.

なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。   In addition, the said structure may be improved suitably, and at least one part may substitute for another structure.

本発明によれば、駆動範囲中に高次振動モードを含む場合でも、異音の発生や不安定な駆動による不具合の発生を抑制できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a vibration actuator, a lens barrel, and a camera that can suppress the generation of abnormal noise and the occurrence of problems due to unstable driving even when the driving range includes a higher-order vibration mode.

本実施形態におけるカメラの概念構成図である。It is a conceptual block diagram of the camera in this embodiment. 本発明に係る振動アクチュエータの一実施形態である超音波モータの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the ultrasonic motor which is one Embodiment of the vibration actuator which concerns on this invention. 超音波モータにおける駆動回路のブロック構成図である。It is a block block diagram of the drive circuit in an ultrasonic motor. 超音波モータの駆動領域と振動モードと駆動信号の電圧を示す図である。It is a figure which shows the drive area | region of an ultrasonic motor, the vibration mode, and the voltage of a drive signal. 電圧調整部による電圧調整制御のフローチャートである。It is a flowchart of the voltage adjustment control by a voltage adjustment part. 超音波モータの駆動領域が異なる、図4と対応する図である。FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 4 in which the driving area of the ultrasonic motor is different.

以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態におけるカメラ1の概念構成図である。
カメラ1は、カメラボディ10と、レンズ鏡筒20とを備えている。レンズ鏡筒20は、カメラボディ10に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒20が交換可能な例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディとレンズ鏡筒が一体型のカメラであってもよい。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a conceptual configuration diagram of a camera 1 in the present embodiment.
The camera 1 includes a camera body 10 and a lens barrel 20. The lens barrel 20 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 10. In the present embodiment, an example in which the lens barrel 20 is replaceable is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, the camera body and the lens barrel may be an integrated camera.

カメラボディ10は、撮像素子11と、制御装置12と、AFセンサ13等を備えている。
撮像素子11は、レンズ鏡筒20によってその撮像面に結像された画像を電気信号に変換して出力する、たとえば、CCDやCMOS等の光電変換素子である。
制御装置12は、レンズ鏡筒20におけるフォーカス群の移動量演算や、当該カメラ1全体の制御を行う。
AFセンサ13は、焦点検出を行うためのたとえばCCDラインセンサ等である。
The camera body 10 includes an image sensor 11, a control device 12, an AF sensor 13, and the like.
The imaging element 11 is a photoelectric conversion element such as a CCD or CMOS, for example, which converts an image formed on the imaging surface by the lens barrel 20 into an electrical signal and outputs the electrical signal.
The control device 12 calculates the movement amount of the focus group in the lens barrel 20 and controls the entire camera 1.
The AF sensor 13 is, for example, a CCD line sensor or the like for performing focus detection.

レンズ鏡筒20は、合焦レンズ21を含む図示しないレンズ群からなる結像光学系と、内設された合焦レンズ21を移動操作するカム筒22と、カム筒22を回転駆動する超音波モータ30と、合焦レンズ21の位置や速度を検出する検出部23と、を備えている。
超音波モータ30は、合焦レンズ21を駆動する駆動源である。超音波モータ30の回転力はアイドルギア24を介してカム筒22に伝えられ、カム筒22は回転によって内設された合焦レンズ21を移動駆動するようになっている。この超音波モータ30は、カメラ1の制御装置12から入力される合焦指令に基づいて駆動する。この超音波モータ30については、後に詳述する。
検出部23は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、合焦レンズ21の位置や速度を検出する。本実施例では、カム筒22の位置や速度を検出することにより、合焦レンズ21の位置や速度を検出している。
The lens barrel 20 includes an imaging optical system including a lens group (not shown) including a focusing lens 21, a cam barrel 22 that moves the focusing lens 21 provided therein, and an ultrasonic wave that rotationally drives the cam barrel 22. A motor 30 and a detection unit 23 that detects the position and speed of the focusing lens 21 are provided.
The ultrasonic motor 30 is a drive source that drives the focusing lens 21. The rotational force of the ultrasonic motor 30 is transmitted to the cam cylinder 22 via the idle gear 24, and the cam cylinder 22 moves and drives the focusing lens 21 provided therein by rotation. The ultrasonic motor 30 is driven based on a focusing command input from the control device 12 of the camera 1. The ultrasonic motor 30 will be described in detail later.
The detection unit 23 includes an optical encoder, a magnetic encoder, and the like, and detects the position and speed of the focusing lens 21. In this embodiment, the position and speed of the focusing lens 21 are detected by detecting the position and speed of the cam cylinder 22.

そして、上記のように構成されたカメラ1は、レンズ鏡筒20における合焦レンズ21を含む結像光学系によって、カメラボディ10における撮像素子11の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子11によって、結像された被写体像は、電気信号に変換され、その信号をA/D変換および画像処理して画像データを得る(撮影する)。これらカメラ1における撮影に係る一連の動作は、カメラボディ10が備える制御装置12によって制御される。また、制御装置12は、撮影時においては、AFセンサ13の検知情報に基づいてレンズ鏡筒20の超音波モータ30を駆動させ、焦点調節を行う。   In the camera 1 configured as described above, a subject image is formed on the imaging surface of the imaging element 11 in the camera body 10 by the imaging optical system including the focusing lens 21 in the lens barrel 20. The image of the subject image formed by the image sensor 11 is converted into an electrical signal, and the signal is A / D converted and image processed to obtain (photograph) image data. A series of operations related to photographing in the camera 1 is controlled by a control device 12 included in the camera body 10. Further, at the time of shooting, the control device 12 drives the ultrasonic motor 30 of the lens barrel 20 based on the detection information of the AF sensor 13 to perform focus adjustment.

つぎに、図2および図3を参照して、超音波モータ30について詳細に説明する。
図2は、本発明に係る振動アクチュエータの一実施形態である超音波モータ30の縦断面図である。図3は、超音波モータ30の駆動回路200のブロック構成図である。
超音波モータ30は、モータ本体100と、駆動回路200と、により構成されている。
モータ本体100は、振動子110、移動子120、出力軸130、加圧部材140、出力ギア150等を備え、振動子110側を固定とし、移動子120を回転駆動する形態となっている。
Next, the ultrasonic motor 30 will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic motor 30 which is an embodiment of the vibration actuator according to the present invention. FIG. 3 is a block configuration diagram of the drive circuit 200 of the ultrasonic motor 30.
The ultrasonic motor 30 includes a motor main body 100 and a drive circuit 200.
The motor main body 100 includes a vibrator 110, a mover 120, an output shaft 130, a pressure member 140, an output gear 150, and the like. The vibrator 110 side is fixed and the mover 120 is rotated.

振動子110は、弾性体111と、弾性体111に接合された圧電体112とを有する略円環形状の部材である。
弾性体111は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体111は、櫛歯部111a、ベース部111b、フランジ部111cを有する。
櫛歯部111aは、圧電体112が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部111aの先端面は、移動子120に加圧接触され、移動子120を駆動する駆動面となる。この駆動面には、Ni−P(ニッケル−リン)メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。
The vibrator 110 is a substantially annular member having an elastic body 111 and a piezoelectric body 112 bonded to the elastic body 111.
The elastic body 111 is formed of a metal material having a high resonance sharpness, and has a substantially annular shape. The elastic body 111 includes a comb tooth portion 111a, a base portion 111b, and a flange portion 111c.
The comb tooth portion 111a is formed by cutting a plurality of grooves on the surface opposite to the surface to which the piezoelectric body 112 is bonded, and the tip surface of the comb tooth portion 111a is in pressure contact with the moving element 120. It becomes a driving surface for driving the moving element 120. This drive surface is subjected to a lubricious surface treatment such as Ni-P (nickel-phosphorus) plating.

ベース部111bは、弾性体111の周方向に連続した部分であり、ベース部111bの櫛歯部111aとは反対側の面に、圧電体112が接合されている。
フランジ部111cは、弾性体111の内径方向に突出した鍔状の部分であり、ベース部111bの厚さ方向の中央に配置されている。このフランジ部111cにより、振動子110は、固定部材101に固定されている。
The base portion 111b is a portion that is continuous in the circumferential direction of the elastic body 111, and the piezoelectric body 112 is bonded to the surface of the base portion 111b opposite to the comb tooth portion 111a.
The flange portion 111c is a hook-like portion protruding in the inner diameter direction of the elastic body 111, and is disposed at the center of the base portion 111b in the thickness direction. The vibrator 110 is fixed to the fixing member 101 by the flange portion 111c.

圧電体112は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子であり、例えば、圧電素子や電歪素子等が用いられる。圧電体112は、弾性体111の周方向に沿って2つの相(A相、B相)の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、1/2波長毎に分極が交互となった要素が並べられており、A相とB相との間には1/4波長分間隔があくようにしてある。   The piezoelectric body 112 is an electromechanical conversion element that converts electrical energy into mechanical energy. For example, a piezoelectric element or an electrostrictive element is used. The piezoelectric body 112 is divided into ranges in which electric signals of two phases (A phase and B phase) are input along the circumferential direction of the elastic body 111. In each phase, elements in which polarization is alternated every ½ wavelength are arranged, and an interval of ¼ wavelength is provided between the A phase and the B phase.

圧電体112には、その各相の電極に接続されたフレキシブルプリント基板102を介して後述する駆動回路200から所定の電圧および周波数の駆動信号が供給されるようになっている。この駆動信号によって圧電体112が伸縮し、弾性体111の駆動面に進行波を生ずる。本実施例では、4波の進行波が発生する。
移動子120は、アルミニウム等の軽金属によって形成され、弾性体111の駆動面に生じる進行波によって回転駆動される部材である。移動子120は、振動子110(弾性体111の駆動面)と接触する面の表面に、耐磨耗性向上のためのアルマイト等の表面処理が施されている。
A drive signal having a predetermined voltage and frequency is supplied to the piezoelectric body 112 from a drive circuit 200 described later via the flexible printed circuit board 102 connected to the electrodes of the respective phases. The piezoelectric body 112 expands and contracts by this drive signal, and a traveling wave is generated on the drive surface of the elastic body 111. In this embodiment, four traveling waves are generated.
The moving element 120 is a member that is formed of a light metal such as aluminum and is rotationally driven by a traveling wave generated on the driving surface of the elastic body 111. In the moving element 120, a surface treatment such as alumite for improving wear resistance is applied to the surface of the moving element 120 that contacts the vibrator 110 (the driving surface of the elastic body 111).

出力軸130は、略円柱形状の部材である。出力軸130は、一方の端部がゴム部材103を介して移動子120に接しており、移動子120と一体に回転する様に設けられている。
ゴム部材103は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材103は、ゴムによる粘弾性で移動子120と出力軸130とを一体に回転可能とする機能と、移動子120からの振動を出力軸130へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。
The output shaft 130 is a substantially cylindrical member. The output shaft 130 is provided so that one end thereof is in contact with the moving element 120 via the rubber member 103 and rotates integrally with the moving element 120.
The rubber member 103 is a substantially ring-shaped member made of rubber. The rubber member 103 has a function of allowing the moving element 120 and the output shaft 130 to rotate integrally with rubber viscoelasticity, and a function of absorbing vibration so as not to transmit vibration from the moving element 120 to the output shaft 130. And butyl rubber, silicon rubber, propylene rubber and the like are used.

加圧部材140は、振動子110と移動子120とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、出力ギア150とベアリング受け104との間に設けられている。本実施例では、加圧部材140は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。
出力ギア150は、出力軸130のDカットに嵌まるように挿入され、Eリング等のストッパ106で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸130と一体となるように設けられている。出力ギア150は、出力軸130の回転に伴って回転し、アイドルギア24(図1参照)に駆動力を伝達する。
また、ベアリング受け104は、ベアリング105の内径側に配置され、ベアリング105は、固定部材101の内径側に配置された構造となっている。
The pressurizing member 140 is a member that generates a pressing force that pressurizes the vibrator 110 and the moving member 120, and is provided between the output gear 150 and the bearing receiver 104. In this embodiment, the pressure member 140 uses a compression coil spring, but is not limited thereto.
The output gear 150 is inserted so as to fit in the D cut of the output shaft 130, is fixed by a stopper 106 such as an E ring, and is provided so as to be integrated with the output shaft 130 in the rotation direction and the axial direction. The output gear 150 rotates with the rotation of the output shaft 130 and transmits driving force to the idle gear 24 (see FIG. 1).
The bearing receiver 104 is disposed on the inner diameter side of the bearing 105, and the bearing 105 is disposed on the inner diameter side of the fixed member 101.

加圧部材140は、振動子110を移動子120側へ、出力軸130の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子120は、振動子110の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材140とベアリング受け104との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ30の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。   The pressing member 140 pressurizes the vibrator 110 toward the moving element 120 in the axial direction of the output shaft 130, and the moving element 120 pressurizes and contacts the driving surface of the vibrator 110 due to the applied pressure. Driven by rotation. A pressure adjusting washer may be provided between the pressure member 140 and the bearing receiver 104 so that an appropriate pressure can be obtained for driving the ultrasonic motor 30.

上記のように構成されたモータ本体100は、後述する駆動回路200から供給される駆動信号によって振動子110に進行波を生じ、これによって移動子120が回転駆動され、出力ギア150から回転力を出力する。移動子120の速度(すなわち出力ギア150の回転数)は、駆動信号の周波数に応じて変化する。   The motor body 100 configured as described above generates a traveling wave in the vibrator 110 by a drive signal supplied from a drive circuit 200 described later, whereby the moving element 120 is rotationally driven, and rotational force is generated from the output gear 150. Output. The speed of the moving element 120 (that is, the number of rotations of the output gear 150) changes according to the frequency of the drive signal.

つぎに、超音波モータ30における駆動回路200について説明する。
図3に示すように、駆動回路200は、制御部201と、発振部202と、移相部203と、増幅部204A,204Bと、電圧調整部205と、振動検出部206と、を備えている。
制御部201は、レンズ鏡筒20内又はカメラ1本体の制御装置12からの駆動指令と、検出部23による合焦レンズ21の位置や速度情報と、に基づいて、モータ本体100の駆動を制御する。すなわち、制御部201は、検出部23からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、制御装置12から指令された目標位置に合焦レンズ21が位置するように発振部202が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。
Next, the drive circuit 200 in the ultrasonic motor 30 will be described.
As shown in FIG. 3, the drive circuit 200 includes a control unit 201, an oscillation unit 202, a phase shift unit 203, amplification units 204A and 204B, a voltage adjustment unit 205, and a vibration detection unit 206. Yes.
The control unit 201 controls the driving of the motor main body 100 based on the driving command from the control device 12 in the lens barrel 20 or the camera 1 main body and the position and speed information of the focusing lens 21 by the detecting unit 23. To do. That is, the control unit 201 receives the detection signal from the detection unit 23, obtains position information and speed information based on the values, and causes the focusing lens 21 to be positioned at the target position commanded from the control device 12. The drive frequency of the drive signal generated by the oscillator 202 is controlled.

発振部202は、制御部201の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。駆動信号は、電位ゼロを基準とした時、+方向一方向で非対称形状となっている。
移相部203は、該発振部202で発生した駆動信号を90度位相の異なる2つの駆動信号に分ける。
増幅部204A,204Bは、移相部203によって分けられた2つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。増幅部204A,204Bからの駆動信号は、モータ本体100の圧電体112に印可され、これによって振動子110に進行波が発生し、移動子120を駆動する。
The oscillating unit 202 generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 201. The drive signal is asymmetric in one direction in the + direction when the potential is zero.
The phase shifter 203 divides the drive signal generated by the oscillator 202 into two drive signals having a phase difference of 90 degrees.
The amplification units 204A and 204B boost the two drive signals divided by the phase shift unit 203 to desired voltages, respectively. The drive signals from the amplifiers 204A and 204B are applied to the piezoelectric body 112 of the motor body 100, whereby a traveling wave is generated in the vibrator 110 and drives the moving element 120.

電圧調整部205は、振動検出部206の検出結果に基づいてモータ本体100における振動子110の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードにおける共振周波数帯域では、増幅部204A,204Bからモータ本体100(圧電体112)に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低く変化させる。
この電圧調整部205、高次振動モード及び共振周波数帯域については後述する。
電圧調整部205は、たとえば、可変抵抗を備えて構成されている。この電圧調整部205については、後に詳述する。
振動検出部206は、モータ本体100における圧電体112の、圧電効果によって発生した電圧を検出する。
The voltage adjustment unit 205 identifies the resonance frequency band of the higher-order vibration mode of the vibrator 110 in the motor main body 100 based on the detection result of the vibration detection unit 206. In the resonance frequency band in the higher-order vibration mode, the amplification unit 204A, The voltage of the drive signal supplied from 204B to the motor main body 100 (piezoelectric body 112) is changed to be lower than the rated voltage.
The voltage adjustment unit 205, higher-order vibration mode, and resonance frequency band will be described later.
The voltage adjustment unit 205 includes a variable resistor, for example. The voltage adjustment unit 205 will be described in detail later.
The vibration detection unit 206 detects a voltage generated by the piezoelectric effect of the piezoelectric body 112 in the motor main body 100.

上記構成の駆動回路200によって、モータ本体100は以下のように動作する。
カメラボディ10における制御装置12から制御部201に合焦レンズ21の移動目標位置が入力されると、制御部201は、入力された目標位置と検出部23から入力された合焦レンズ21の位置情報とに基づいて、モータ本体100の駆動量を演算し、発振部202から駆動信号を発生させる。この発振部202が発生させた駆動信号から、移相部203が90°位相の異なる2つの駆動信号を生成し、増幅部204A,204Bにより所望の電圧に増幅する。
The motor main body 100 operates as follows by the drive circuit 200 having the above configuration.
When the movement target position of the focusing lens 21 is input from the control device 12 in the camera body 10 to the control unit 201, the control unit 201 detects the input target position and the position of the focusing lens 21 input from the detection unit 23. Based on the information, the driving amount of the motor main body 100 is calculated and a driving signal is generated from the oscillation unit 202. From the drive signal generated by the oscillating unit 202, the phase shift unit 203 generates two drive signals having a 90 ° phase difference, and amplifies them to a desired voltage by the amplifiers 204A and 204B.

駆動信号は、モータ本体100の圧電体112のそれぞれA相とB相とに印加される。これにより、圧電体112が励振され、弾性体111にはA相とB相とで位置的な位相が1/4波長ずれた4次の曲げ振動が発生する。A相駆動信号とB相駆動信号とは、90°位相がずれており、2つの曲げ振動は合成されて4波の進行波となる。
進行波の波頭には楕円運動が生じ、弾性体111の駆動面に加圧接触された移動子120は、この楕円運動によって摩擦駆動される。すなわち、移動子120が回転し、その回転力は出力軸130を介して出力ギア150から出力される。
The drive signal is applied to the A phase and the B phase of the piezoelectric body 112 of the motor main body 100, respectively. As a result, the piezoelectric body 112 is excited, and the elastic body 111 generates a fourth-order bending vibration in which the positional phases of the A phase and the B phase are shifted by ¼ wavelength. The A phase drive signal and the B phase drive signal are 90 ° out of phase, and the two bending vibrations are combined into four traveling waves.
An elliptical motion is generated at the wavefront of the traveling wave, and the moving element 120 that is in pressure contact with the driving surface of the elastic body 111 is frictionally driven by the elliptical motion. That is, the mover 120 rotates, and the rotational force is output from the output gear 150 via the output shaft 130.

モータ本体100の出力回転数は、前述したように、駆動信号の周波数によって変化する。すなわち、高周波数から低周波数に変化すると、低回転数から高回転数に変化する。制御部201は、発振部202が発生させる駆動信号の周波数を変化させることで、出力回転数を制御する。
モータ本体100の出力回転数の範囲は、駆動対象である合焦レンズ21が、移動開始(速度0)から最大移動速度(最高速度)で移動が可能となるように設定される。
As described above, the output rotation speed of the motor main body 100 varies depending on the frequency of the drive signal. That is, when the frequency changes from a high frequency to a low frequency, the rotation speed changes from a low rotation speed to a high rotation speed. The control unit 201 controls the output rotation speed by changing the frequency of the drive signal generated by the oscillation unit 202.
The range of the output rotation speed of the motor main body 100 is set so that the focusing lens 21 to be driven can move from the movement start (speed 0) to the maximum movement speed (maximum speed).

つぎに、図4から図6を参照して、駆動回路200における電圧調整部205による電圧制御について説明する。
図4は、超音波モータ30の駆動領域と振動モードと駆動信号の電圧とを示す図であって、(a)は、振動子110の振動モードを示し、縦軸はインピーダンス、横軸は周波数である。(b)は、(a)と対応する駆動信号の電圧を示し、縦軸は電圧、横軸は周波数である。(c)は、(b)とは異なる駆動信号の電圧変化の例を示す図である。
図5は、電圧調整部205による電圧調整制御のフローチャートである。
図6は、超音波モータ30の駆動領域が異なる図4と対応する図である。
Next, voltage control by the voltage adjusting unit 205 in the drive circuit 200 will be described with reference to FIGS.
4A and 4B are diagrams showing the drive region, vibration mode, and drive signal voltage of the ultrasonic motor 30, wherein FIG. 4A shows the vibration mode of the vibrator 110, the vertical axis represents impedance, and the horizontal axis represents frequency. It is. (B) shows the voltage of the drive signal corresponding to (a), the vertical axis is voltage, and the horizontal axis is frequency. (C) is a figure which shows the example of the voltage change of the drive signal different from (b).
FIG. 5 is a flowchart of voltage adjustment control by the voltage adjustment unit 205.
FIG. 6 is a diagram corresponding to FIG. 4 in which the drive region of the ultrasonic motor 30 is different.

ここで、図4(a)に示すように、超音波モータ30の駆動において主に用いられる振動モードを駆動振動モードという。また、駆動振動モードの次の振動モードを高次振動モードという。高次振動モードの共振点及び反共振点を含み、インピーダンスが大きく変化する一定の範囲を高次振動モードの共振周波数帯域という。   Here, as shown in FIG. 4A, a vibration mode mainly used in driving the ultrasonic motor 30 is referred to as a drive vibration mode. The vibration mode next to the drive vibration mode is referred to as a high-order vibration mode. A certain range including the resonance point and the antiresonance point of the higher order vibration mode and in which the impedance changes greatly is called a resonance frequency band of the higher order vibration mode.

駆動回路200における電圧調整部205は、前述したように、振動検出部206の検出結果に基づいてモータ本体100における振動子110の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードにおける共振周波数帯域では、増幅部204A,204Bからモータ本体100(圧電体112)に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低く変化させる。
すなわち、図4(a)に示すようにモータ本体100(振動子110)に加えられる駆動信号の周波数が、高次振動モードの共振周波数帯域にある場合、図4(b)に示すように駆動信号の電圧を定格電圧より低い所定の調整電圧(0V以上)に設定する。
As described above, the voltage adjustment unit 205 in the drive circuit 200 identifies the resonance frequency band of the higher-order vibration mode of the vibrator 110 in the motor main body 100 based on the detection result of the vibration detection unit 206, and in the higher-order vibration mode. In the resonance frequency band, the voltage of the drive signal supplied from the amplifiers 204A and 204B to the motor body 100 (piezoelectric body 112) is changed to be lower than the rated voltage.
That is, as shown in FIG. 4A, when the frequency of the drive signal applied to the motor main body 100 (vibrator 110) is in the resonance frequency band of the higher-order vibration mode, the drive is performed as shown in FIG. The voltage of the signal is set to a predetermined adjustment voltage (0 V or higher) lower than the rated voltage.

このように、高次振動モードの周波数帯域では、駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧とすることにより、圧電体112に電力は供給されるものの駆動力が低下する。その結果、振動が抑えられ、振動子110の弾性体111が移動子120に衝突することによる異音の発生を抑制できる。また、回転が不安定となっても駆動力が低下しているために駆動による不具合の発生を抑制できる。   As described above, in the frequency band of the high-order vibration mode, by setting the voltage of the drive signal to an adjustment voltage lower than the rated voltage, power is supplied to the piezoelectric body 112 but the driving force is reduced. As a result, vibration is suppressed, and generation of abnormal noise due to the elastic body 111 of the vibrator 110 colliding with the moving element 120 can be suppressed. Moreover, since the driving force is reduced even when the rotation becomes unstable, the occurrence of problems due to driving can be suppressed.

ここで、電圧調整部205によって調整電圧とする高次振動モードの周波数帯域の識別は、たとえば、圧電体112の変形により発生する電圧値(変形電圧値)の閾値を設定し、この閾値と、振動検出部206によって検出された圧電体112の変形電圧値と、を逐次比較して変形電圧値が閾値を越えると高次振動モードと判定する。   Here, the voltage adjustment unit 205 identifies the frequency band of the higher-order vibration mode as the adjustment voltage, for example, by setting a threshold value of a voltage value (deformed voltage value) generated by the deformation of the piezoelectric body 112, and this threshold value, The deformation voltage value of the piezoelectric body 112 detected by the vibration detection unit 206 is sequentially compared, and if the deformation voltage value exceeds the threshold value, it is determined that the higher-order vibration mode.

図5に、このような共振周波数帯域の識別および電圧調整制御のフローチャートを示す。なお、以下の説明および図5において、ステップを「S」とも略記する。   FIG. 5 shows a flowchart of such resonance frequency band identification and voltage adjustment control. In the following description and FIG. 5, step is also abbreviated as “S”.

まず、定格電圧の駆動信号を、高次振動モードの周波数(共振周波数帯域以上)f1で圧電体112に印加し、周波数のスイープを開始し周波数を徐々に下げていく(S501)。
これと同時に、圧電体112の変形電圧:Vxを読み込んで(S502)、これを閾値:Vs1と比較する(S503)。
圧電体112に定格電圧の駆動信号を加えている場合に、駆動信号の周波数が共振周波数帯域に入ると(f2)、圧電体112の変形により発生する電圧量が増加する。閾値Vs1は、この変形が発生したかどうかを判断する閾値である。
First, a drive signal having a rated voltage is applied to the piezoelectric body 112 at a frequency (higher than or equal to the resonance frequency band) f1 of the higher-order vibration mode, a frequency sweep is started, and the frequency is gradually lowered (S501).
At the same time, the deformation voltage Vx of the piezoelectric body 112 is read (S502) and compared with the threshold value Vs1 (S503).
When a drive signal having a rated voltage is applied to the piezoelectric body 112, when the frequency of the drive signal enters the resonance frequency band (f2), the amount of voltage generated by the deformation of the piezoelectric body 112 increases. The threshold value Vs1 is a threshold value for determining whether or not this deformation has occurred.

ステップ503において、変形電圧:Vxが閾値:Vs1より小さいと判断された場合(Yes)には、ステップ502の電圧:Vxの読み込みを繰り返す。
一方、ステップ503において、電圧:Vxが閾値:Vs1以上になったと判断された場合(No)には、共振が発生しつつあると判断し、圧電体112に供給する駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧とする(S504)。
If it is determined in step 503 that the deformation voltage: Vx is smaller than the threshold value: Vs1 (Yes), the reading of the voltage: Vx in step 502 is repeated.
On the other hand, if it is determined in step 503 that the voltage: Vx has become equal to or greater than the threshold value: Vs1 (No), it is determined that resonance is occurring, and the voltage of the drive signal supplied to the piezoelectric body 112 is set to the rated voltage. A lower adjustment voltage is set (S504).

さらに駆動信号の周波数を下げ、圧電体112の変形電圧:Vxと閾値:Vs2と比較する(S505)。
圧電体112に調整電圧の駆動信号を加えている場合に、駆動信号の周波数が共振周波数帯域より大きくなると(f3)、圧電体112の変形により発生していた電圧量が減少する。閾値Vs2は、この変形が発生しているかどうかを判断する閾値である。閾値Vs2より小さくなると、共振周波数帯域を越えたことを示す。
Further, the frequency of the drive signal is lowered and compared with the deformation voltage: Vx of the piezoelectric body 112 and the threshold value: Vs2 (S505).
When a drive signal of an adjustment voltage is applied to the piezoelectric body 112, if the frequency of the drive signal becomes higher than the resonance frequency band (f3), the amount of voltage generated due to the deformation of the piezoelectric body 112 decreases. The threshold value Vs2 is a threshold value for determining whether or not this deformation has occurred. When smaller than the threshold value Vs2, it indicates that the resonance frequency band has been exceeded.

ステップ505において、変形電圧:Vxが閾値:Vs2以下になっていないと判断された場合(No)には、ステップ505の電圧:Vxの読み込みを繰り返す。
変形電圧:Vxが閾値:Vs以下になったと判断された場合(Yes)には、共振が終了したと判断し、圧電体112に供給する駆動信号の電圧を定格電圧に戻す(S506)。
If it is determined in step 505 that the deformation voltage: Vx is not less than or equal to the threshold value: Vs2 (No), the reading of the voltage: Vx in step 505 is repeated.
If it is determined that the deformation voltage: Vx is equal to or lower than the threshold value: Vs (Yes), it is determined that the resonance has ended, and the voltage of the drive signal supplied to the piezoelectric body 112 is returned to the rated voltage (S506).

なお、電圧調整部205による電圧調整制御は、上記の他、たとえば、高次振動モードの周波数帯域を予め駆動回路200が備える図示しないメモリ等に記憶しておき、駆動時にはこの記憶情報を参照して該当する周波数帯域では調整電圧とする構成としても良い。すなわち、高次振動モードの周波数帯域の識別は、レンズ鏡筒20の組立完了後、モータ本体100をその駆動領域(周波数帯域)の全域において探査駆動し、振動検出部206によって検出された圧電体112の電圧値に基づいて高次振動モードの周波数帯域を設定し、その高次振動モードの周波数帯域をメモリ等に記憶させておくものである。   In addition to the above, the voltage adjustment control by the voltage adjustment unit 205 is stored in advance in, for example, a memory (not shown) provided in the drive circuit 200, and the stored information is referred to during driving. Therefore, the adjustment voltage may be used in the corresponding frequency band. In other words, the identification of the frequency band of the higher-order vibration mode is performed by driving the motor body 100 in the entire drive region (frequency band) after assembly of the lens barrel 20 and detecting the piezoelectric body detected by the vibration detection unit 206. The frequency band of the higher order vibration mode is set based on the voltage value of 112, and the frequency band of the higher order vibration mode is stored in a memory or the like.

また、図4(b)では、電圧調整部205は、振動子110が高次振動モードとなる周波数帯域では、定格電圧から直ちに調整電圧に変化させている。しかし、調整電圧は、高次振動モードの状態(たとえばインピーダンスの値の変化)に対応させて漸次変化させても良い。すなわち、たとえば、図4(c)に示すように、図4(a)に示すインピーダンスの変化から読み取れる高次振動モードの共振点の周波数において電圧を最も低く、反共振点においては共振点についで低く設定し、その近傍は定格電圧に連続するように漸次変化させるものである。これにより、駆動信号の電圧を低下させることによる影響を極力小さくすることができる。   In FIG. 4B, the voltage adjustment unit 205 immediately changes the rated voltage to the adjustment voltage in the frequency band in which the vibrator 110 is in the high-order vibration mode. However, the adjustment voltage may be gradually changed in accordance with the state of the higher-order vibration mode (for example, change in impedance value). That is, for example, as shown in FIG. 4C, the voltage is lowest at the frequency of the resonance point of the higher-order vibration mode that can be read from the change in impedance shown in FIG. It is set low, and its vicinity is gradually changed so as to be continuous with the rated voltage. Thereby, the influence by lowering the voltage of the drive signal can be minimized.

図6は、図4と同様に超音波モータ30の駆動領域と振動モードとを示す図であるが、この例では、超音波モータ30の駆動領域が異なり、その駆動領域に2つの高次振動モード(A,B)が有る。
このような場合も、(b)に示すように、高次振動モード(A,B)と対応する周波数領域(共振周波数帯域A,B)において駆動信号の電圧を調整電圧に低下させるものである。
FIG. 6 is a diagram showing the drive region and vibration mode of the ultrasonic motor 30 as in FIG. 4. In this example, the drive region of the ultrasonic motor 30 is different, and two higher-order vibrations are present in the drive region. There are modes (A, B).
In such a case as well, as shown in (b), the voltage of the drive signal is reduced to the adjustment voltage in the frequency region (resonance frequency bands A and B) corresponding to the higher order vibration modes (A and B). .

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
(1)本実施形態による超音波モータ30は、駆動回路200における電圧調整部205が、振動検出部206の検出結果に基づいてモータ本体100における振動子110の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードの共振周波数帯域では、増幅部204A,204Bからモータ本体100(圧電体112)に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧に変化させる。
これにより、圧電体112に電力は供給されるものの駆動力が低下する。その結果、振動が抑えられ、振動子110の弾性体111が移動子120に衝突することによる異音の発生を抑制できる。とくに、回転開始周波数の近傍において高次振動モードとなる場合においても、回転開始時における耳障りな異音の発生を抑えることができる。また、回転が不安定となっても駆動力が低下しているために不具合の発生を抑制できる。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) In the ultrasonic motor 30 according to the present embodiment, the voltage adjustment unit 205 in the drive circuit 200 sets the resonance frequency band of the higher-order vibration mode of the vibrator 110 in the motor main body 100 based on the detection result of the vibration detection unit 206. In the resonance frequency band of the higher-order vibration mode, the voltage of the drive signal supplied from the amplifiers 204A and 204B to the motor body 100 (piezoelectric body 112) is changed to an adjustment voltage lower than the rated voltage.
Thereby, although electric power is supplied to the piezoelectric body 112, the driving force is reduced. As a result, vibration is suppressed, and generation of abnormal noise due to the elastic body 111 of the vibrator 110 colliding with the moving element 120 can be suppressed. In particular, even in the case where the high-order vibration mode is set in the vicinity of the rotation start frequency, it is possible to suppress generation of annoying abnormal noise at the start of rotation. Further, even if the rotation becomes unstable, the driving force is reduced, so that the occurrence of problems can be suppressed.

(変形形態)
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
(1)本実施形態では、振動アクチュエータとして超音波領域の振動を用いる超音波モータ30を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。
(Deformation)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes as described below are possible, and these are also within the scope of the present invention.
(1) In the present embodiment, the ultrasonic motor 30 that uses vibration in the ultrasonic region is described as an example of the vibration actuator. However, the present invention is not limited to this, and the vibration actuator that uses vibration outside the ultrasonic region is used. You may apply.

(2)本実施形態において、超音波モータ30は、レンズ鏡筒20に設けられ、フォーカス動作を行う駆動部に用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、ズーム動作を行う駆動部に用いてもよい。
(3)本実施形態では、カメラ1は、撮像素子11を備えて画像を電子情報として記録(撮影)する例を示したが、本発明はこれに限らず、例えば、フィルムを用いるカメラに適用してもて良い。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
(2) In the present embodiment, the ultrasonic motor 30 is provided in the lens barrel 20 and used as a drive unit that performs a focus operation. However, the present invention is not limited thereto, and for example, a drive unit that performs a zoom operation. You may use for.
(3) In this embodiment, the camera 1 includes the image sensor 11 and records (shoots) an image as electronic information. However, the present invention is not limited to this, and is applied to, for example, a camera using a film. You can do it.
In addition, although embodiment and a deformation | transformation form can also be used in combination as appropriate, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the embodiment described above.

1:カメラ、20:レンズ鏡筒、23:検出部、30:超音波モータ、100:モータ本体、110:振動子、120:移動子、200:駆動回路、201:制御部、205:電圧調整部、206:振動検出部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Camera, 20: Lens barrel, 23: Detection part, 30: Ultrasonic motor, 100: Motor main body, 110: Vibrator, 120: Mover, 200: Drive circuit, 201: Control part, 205: Voltage adjustment Unit 206: Vibration detection unit

Claims (5)

互いに位相が異なる2つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子の振動によって振動する振動子と、
前記振動子に加圧され、該振動子の振動によって当該振動子に対して相対移動する移動子と、
前記駆動信号の電圧を調整可能な駆動電圧調整手段と、
を備える振動アクチュエータであって、
前記駆動信号の周波数が該振動アクチュエータの共振周波数を含む共振周波数帯域にある場合、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の電圧を、前記共振周波数帯域以外の帯域にある場合の電圧よりも下げること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
A vibrator that vibrates due to vibration of an electromechanical energy conversion element to which two drive signals having different phases are input;
A mover that is pressurized by the vibrator and moves relative to the vibrator by the vibration of the vibrator;
Drive voltage adjusting means capable of adjusting the voltage of the drive signal;
A vibration actuator comprising:
When the frequency of the drive signal is in a resonance frequency band that includes the resonance frequency of the vibration actuator, the drive voltage adjusting means lowers the voltage of the drive signal to a voltage that is in a band other than the resonance frequency band. about,
Vibration actuator characterized by
請求項1に記載の振動アクチュエータであって、
前記駆動電圧調整手段は、駆動時における該振動アクチュエータのインピーダンスの変化に対応して前記駆動信号の電圧を変化させること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 1,
The drive voltage adjusting means changes the voltage of the drive signal in response to a change in impedance of the vibration actuator during driving;
Vibration actuator characterized by
請求項1または2に記載の振動アクチュエータであって、
前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の周波数が、前記共振周波数となる場合に、前記駆動信号の電圧を最も下げること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 1 or 2,
The drive voltage adjusting means reduces the voltage of the drive signal most when the frequency of the drive signal becomes the resonance frequency;
Vibration actuator characterized by
請求項1から3のいずれか1項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。   A lens barrel comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 3. 請求項4に記載のレンズ鏡筒を備えるカメラ。   A camera comprising the lens barrel according to claim 4.
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