JP2008253077A

JP2008253077A - Vibration actuator, lens barrel and camera

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Publication number: JP2008253077A
Application number: JP2007092915A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Ishii; 信生石井; Fumiya Taguchi; 文也田口
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2008-10-16

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator where efficient driving can be performed, and to provide a lens barrel and a camera. <P>SOLUTION: The vibration actuator (10) includes a driving state detecting part (6) for detecting a driving state of electromechanical conversion elements (2a and 2b); electrostatic capacity increase/decrease parts (5a and 5b) having elements which are connected to the electromechanical conversion elements (2a and 2b) and which have electrostatic capacities and increasing/decreasing synthesized electrostatic capacity of the electromechanical conversion elements (2a and 2b) and the element; and an adjustment control part (7) for making the electrostatic capacity increase/decrease parts (5a and 5b) operate, according to the detection result of the driving state detecting part (6) and adjusting the combined electrostatic capacity. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動アクチュエータ，レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。 The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, and a camera.

特許文献１には、超音波モータの速度制御回路が開示されており、圧電素子の静電容量のばらつきに対応するため、外付けコンデンサを付加することが記載されている。
しかしながら、圧電素子の静電容量は、使用時の環境の変化によって変動するため、このような静電容量の変動により効率のよい駆動が行いにくくなる可能性があった。
特開２００４−１４７４６６号公報 Patent Document 1 discloses a speed control circuit for an ultrasonic motor, and describes that an external capacitor is added to cope with variations in the capacitance of piezoelectric elements.
However, since the capacitance of the piezoelectric element varies depending on a change in environment at the time of use, there is a possibility that efficient driving may be difficult due to the variation in capacitance.
JP 2004-147466 A

本発明の課題は、効率のよい駆動を行うことができる振動アクチュエータ，レンズ鏡筒及びカメラを提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration actuator, a lens barrel, and a camera that can perform efficient driving.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項１の発明は、電気機械変換素子（１２）の駆動状態を検出する駆動状態検出部（６）と、前記電気機械変換素子（１２）と接続された静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）を有し、前記電気機械変換素子（１２）と前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を増減させる静電容量増減部（５）と、前記駆動状態検出部（６）の検出結果に応じて前記静電容量増減部（５）を動作させ、前記合成静電容量を調整する調整制御部（７）と、を備える振動アクチュエータ（１０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０，１０−２）において、前記駆動状態検出部（６）は、前記電気機械変換素子（１２）に印加される電圧波形、又は、前記電気機械変換素子（１２）に印加される電圧波形に関連する波形により前記駆動状態を検出すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，１０−２）である。
請求項３の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記調整制御部（７）は、前記電圧波形の立ち上がりから立ち下がりまでの時間、又は、立ち下がりから立ち上がりまでの時間に関連する情報に基づいて前記合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項４の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０−３）において、前記調整制御部（７）は、前記電圧波形の振幅に関連する情報に基づいて前記合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０−３）である。
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記電気機械変換素子（１２）は、位相が異なる駆動信号が入力される第１の部分（２ａ）及び第２の部分（２ｂ）を備え、前記駆動状態検出部（６）は、前記第１の部分（２ａ）及び前記第２の部分（２ｂ）のそれぞれの駆動状態を検出し、前記静電容量増減部（５ａ）は、前記第１の部分（２ａ）に設けられ、前記調整制御部（７）は、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項６の発明は、請求項５に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記静電容量増減部（５ｂ）は、前記第２の部分（２ｂ）にも設けられ、前記調整制御部（７）は、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量、及び前記第２の部分（２ｂ）と前記第２の部分（２ｂ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項７の発明は、請求項５に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記調整制御部（７）は、前記第１の部分（２ａ）の駆動状態と前記第２の部分（２ｂ）の駆動状態とを一致させるように、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項８の発明は、請求項６に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記調整制御部（７）は、前記第１の部分（２ａ）の駆動状態と前記第２の部分（２ｂ）の駆動状態とを一致させるように、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量、及び前記第２の部分（２ｂ）と前記第２の部分（２ｂ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項９の発明は、請求項５又は請求項７に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記調整制御部（７）は、この振動アクチュエータ（１０）の現状の駆動状態を維持するように、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項１０の発明は、請求項６又は請求項８に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記調整制御部（７）は、この振動アクチュエータ（１０）の現状の駆動状態を維持するように、前記第１の部分（２ａ）と前記第１の部分（２ａ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量、及び前記第２の部分（２ｂ）と前記第２の部分（２ｂ）に接続された前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を調整すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項１１の発明は、温度を検出する温度検出部（９）と、電気機械変換素子（１２）と接続された静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）を有し、前記電気機械変換素子（１２）と前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）との合成静電容量を増減させる静電容量増減部（５）と、前記温度検出部（９）の検出結果に応じて前記静電容量増減部（５）を動作させ、前記合成静電容量を調整する調整制御部（７）と、を備える振動アクチュエータ（１０−４）である。
請求項１２の発明は、請求項１１に記載の振動アクチュエータ（１０−４）において、前記温度検出部（９）は、前記電気機械変換素子（１２）又はその付近の温度を検出すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０−４）である。
請求項１３の発明は、請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記静電容量増減部（５）の前記静電容量を持つ素子（Ｃ１〜Ｃ５）は、通電自在な複数のコンデンサ（Ｃ１〜Ｃ５）が前記電気機械変換素子（１２）に並列接続されたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項１４の発明は、請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）において、前記電気機械変換素子（１２）は、圧電素子であること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項１５の発明は、請求項１から請求項１４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を備えるレンズ鏡筒（３００）である。
請求項１６の発明は、請求項１から請求項１４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を備えるカメラ（１００）である。
なお、理解を容易にするために、本発明の一実施形態を示す図面に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
また、本発明をわかりやすく説明するために実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものでなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。 The present invention solves the above problems by the following means.
The invention of claim 1 includes a drive state detection unit (6) for detecting the drive state of the electromechanical transducer (12), and an element (C1 to C1) connected to the electromechanical transducer (12). C5), a capacitance increasing / decreasing unit (5) for increasing / decreasing a combined capacitance of the electromechanical conversion element (12) and the elements (C1 to C5) having the capacitance, and the driving state detection It is a vibration actuator (10) provided with the adjustment control part (7) which operates the said capacitance increase / decrease part (5) according to the detection result of a part (6), and adjusts the said synthetic capacitance.
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator (10, 10-2) according to the first aspect, the drive state detection unit (6) is a voltage waveform applied to the electromechanical transducer (12), or The vibration actuator (10, 10-2) is characterized in that the drive state is detected by a waveform related to a voltage waveform applied to the electromechanical transducer (12).
According to a third aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the second aspect, the adjustment control unit (7) is configured such that the time from the rise to the fall of the voltage waveform, or the time from the fall to the rise. The vibration actuator (10) is characterized in that the combined capacitance is adjusted based on information related to the.
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10-3) according to the second aspect, the adjustment control unit (7) adjusts the combined capacitance based on information related to an amplitude of the voltage waveform. This is a vibration actuator (10-3).
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to any one of the first to fourth aspects, the electromechanical transducer (12) receives a driving signal having a different phase. 1 part (2a) and 2nd part (2b), The said drive state detection part (6) shows each drive state of the said 1st part (2a) and the said 2nd part (2b). The capacitance increase / decrease part (5a) is provided in the first part (2a), and the adjustment control part (7) detects the first part (2a) and the first part ( The vibration actuator (10) is characterized in that a combined capacitance with the capacitance (C1 to C5) connected to 2a) is adjusted.
According to a sixth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the fifth aspect, the capacitance increasing / decreasing portion (5b) is also provided in the second portion (2b), and the adjustment control portion (7). ) Is a combined capacitance of the first part (2a) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the first part (2a), and the second part ( 2. The vibration actuator (10) is characterized in that a combined capacitance between the elements (C 1 to C 5) having the capacitance connected to the second portion (2 b) is adjusted.
According to a seventh aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the fifth aspect, the adjustment control unit (7) is configured such that the driving state of the first portion (2a) and the second portion (2b) The combined capacitance of the first portion (2a) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the first portion (2a) is adjusted so as to match the driving state. The vibration actuator (10) is characterized by that.
According to an eighth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the sixth aspect, the adjustment control unit (7) is configured such that the driving state of the first portion (2a) and the second portion (2b) A combined capacitance of the first portion (2a) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the first portion (2a) so as to match the driving state; and A vibration actuator characterized by adjusting a combined capacitance between the second portion (2b) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the second portion (2b). (10).
According to a ninth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the fifth or seventh aspect, the adjustment control unit (7) maintains the current driving state of the vibration actuator (10). A vibration actuator characterized by adjusting a combined capacitance of the first portion (2a) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the first portion (2a). (10).
According to a tenth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10) according to the sixth or eighth aspect, the adjustment control unit (7) maintains the current driving state of the vibration actuator (10). A combined capacitance of the first portion (2a) and the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the first portion (2a), and the second portion (2b) The vibration actuator (10) is characterized by adjusting a combined capacitance with the elements (C1 to C5) having the capacitance connected to the second portion (2b).
An eleventh aspect of the invention includes a temperature detection unit (9) for detecting temperature, and elements (C1 to C5) having capacitances connected to the electromechanical conversion element (12), and the electromechanical conversion element (12) and a capacitance increase / decrease unit (5) for increasing / decreasing the combined capacitance of the elements (C1 to C5) having the capacitance and the static detection unit according to the detection result of the temperature detection unit (9). It is a vibration actuator (10-4) provided with the adjustment control part (7) which operates an electric capacity increase / decrease part (5) and adjusts the said synthetic capacitance.
According to a twelfth aspect of the present invention, in the vibration actuator (10-4) according to the eleventh aspect, the temperature detector (9) detects the temperature of the electromechanical transducer (12) or the vicinity thereof. This is a characteristic vibration actuator (10-4).
A thirteenth aspect of the present invention is the vibration actuator (10) according to any one of the first to twelfth aspects, wherein the capacitance of the capacitance increasing / decreasing unit (5) (C1 to C1). C5) is a vibration actuator (10) characterized in that a plurality of energized capacitors (C1 to C5) are connected in parallel to the electromechanical transducer (12).
A fourteenth aspect of the present invention is the vibration actuator (10) according to any one of the first to thirteenth aspects, wherein the electromechanical transducer (12) is a piezoelectric element. Actuator (10).
A fifteenth aspect of the invention is a lens barrel (300) including the vibration actuator (10) according to any one of the first to fourteenth aspects.
The invention of claim 16 is a camera (100) comprising the vibration actuator (10) according to any one of claims 1 to 14.
In addition, in order to make an understanding easy, although it attaches | subjects and demonstrates the code | symbol corresponding to drawing which shows one Embodiment of this invention, it is not limited to this.
Further, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description has been made in association with the reference numerals of the drawings showing the embodiments. However, the present invention is not limited to this, and the configuration of the embodiments described later is appropriately improved. Alternatively, at least a part of the structure may be replaced with another component. Further, the configuration requirements that are not particularly limited with respect to the arrangement are not limited to the arrangement disclosed in the embodiment, and can be arranged at a position where the function can be achieved.

本発明によれば、効率のよい駆動を行うことができる振動アクチュエータ，レンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a vibration actuator, a lens barrel, and a camera that can perform efficient driving.

以下、図面等を参照して、本発明の実施形態をあげて、さらに詳しく説明する。なお、以下に示す各実施形態では、超音波の振動域を利用する超音波モータを例に挙げて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings and the like. In the following embodiments, an ultrasonic motor using an ultrasonic vibration region will be described as an example.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のカメラ１００を示す図である。
本実施形態のカメラ１００は、撮像素子６００を有するカメラボディ２００と、レンズ鏡筒３００とを備える。レンズ鏡筒３００は、カメラボディ２００に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１００では、レンズ鏡筒３００が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒を備えたカメラであってもよい。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating a camera 100 according to the first embodiment.
The camera 100 according to the present embodiment includes a camera body 200 having an image sensor 600 and a lens barrel 300. The lens barrel 300 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 200. In the camera 100 of this embodiment, an example in which the lens barrel 300 is an interchangeable lens is shown. However, the present invention is not limited to this, and for example, a camera having a lens barrel integrated with a camera body may be used. .

レンズ鏡筒３００は、レンズ４００と、カム筒５００と、超音波モータ１０とを備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、カメラ１００のフォーカス動作時にレンズ４００を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５００に伝えられる。レンズ４００は、カム筒５００とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５００が回転すると、レンズ４００は、カム筒５００とのカム係合によって光軸方向へ移動して、焦点調節が行われる。 The lens barrel 300 includes a lens 400, a cam barrel 500, and the ultrasonic motor 10. In the present embodiment, the ultrasonic motor 10 is used as a driving source for driving the lens 400 during the focusing operation of the camera 100, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 10 is transmitted to the cam cylinder 500. The lens 400 is cam-engaged with the cam cylinder 500. When the cam cylinder 500 is rotated by the driving force of the ultrasonic motor 10, the lens 400 is moved in the optical axis direction by the cam engagement with the cam cylinder 500. Focus adjustment is performed.

図２は、第１実施形態の超音波モータを示す断面図である。
第１実施形態の超音波モータ１０は、振動体（ステータ）１１に振動を発生させて振動エネルギーを生じさせ、この振動エネルギーを出力として取り出し、駆動力を得る装置である。
超音波モータ１０は、圧電素子１２と弾性体１３とを有する振動体１１と、弾性体１３の駆動面に加圧接触される移動体（ロータ）１５とを備え、本実施形態では、振動体１１側を固定とし、移動体１５を駆動するようになっている。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing the ultrasonic motor of the first embodiment.
The ultrasonic motor 10 according to the first embodiment is a device that obtains a driving force by generating vibration energy by generating vibration in a vibrating body (stator) 11 and taking out the vibration energy as an output.
The ultrasonic motor 10 includes a vibrating body 11 having a piezoelectric element 12 and an elastic body 13, and a moving body (rotor) 15 that is in pressure contact with the drive surface of the elastic body 13. 11 side is fixed and the mobile body 15 is driven.

振動体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気−機械変換素子である圧電素子１２と、圧電素子１２を接合した弾性体１３とを備え、振動体１１には、圧電素子１２の励振により進行性振動波（以下、「進行波」という）が発生する。なお、本実施形態では、電気−機械変換素子として、圧電素子を用いるが、電歪素子などを用いてもよい。 The vibrating body 11 includes a piezoelectric element 12 that is an electro-mechanical conversion element that converts electric energy into mechanical energy, and an elastic body 13 that is joined to the piezoelectric element 12. The vibrating body 11 is excited by the piezoelectric element 12. A progressive vibration wave (hereinafter referred to as “traveling wave”) is generated. In this embodiment, a piezoelectric element is used as the electro-mechanical conversion element, but an electrostrictive element or the like may be used.

弾性体１３は、圧電素子１２と接触して設けられ、圧電素子１２の駆動により振動する部材であって、共振先鋭度が大きな金属材料から構成された円環形状の部材である。圧電素子１２が接合される反対面には、溝が切ってある櫛歯部１３ｂがあり、櫛歯部１３ｂの先端面（溝がない箇所）が駆動面となり、移動体１５に加圧接触される。溝を切る理由は、進行波の中立面をできる限り、圧電素子１２側に近づけ、これにより、駆動面の進行波の振幅を増幅させるためである。溝の切っていないベース部１３ａには、溝側とは反対面に圧電素子１２が接合されている。この弾性体１３は、その駆動面にＮｉＰの表面処理がなされている。
この弾性体１３は、ベース部１３ａの内周側にフランジ部１３ｃが設けられ、その部分を用いて固定部材１６（１６ａ，１６ｂ）に固定されている。フランジ部１３ｃは、ベース部１３ａの厚さの中央に位置している。 The elastic body 13 is a member that is provided in contact with the piezoelectric element 12 and vibrates when the piezoelectric element 12 is driven, and is an annular member made of a metal material having a high resonance sharpness. On the opposite surface to which the piezoelectric element 12 is joined, there is a comb tooth portion 13b having a groove, and the tip surface (a portion without the groove) of the comb tooth portion 13b serves as a driving surface, and is brought into pressure contact with the moving body 15. The The reason for cutting the groove is to make the neutral surface of the traveling wave as close as possible to the piezoelectric element 12 side, thereby amplifying the amplitude of the traveling wave on the driving surface. The piezoelectric element 12 is joined to the base portion 13a that is not cut in the groove on the surface opposite to the groove side. The elastic body 13 has a NiP surface treatment on its drive surface.
The elastic body 13 is provided with a flange portion 13c on the inner peripheral side of the base portion 13a, and is fixed to the fixing member 16 (16a, 16b) using that portion. The flange portion 13c is located at the center of the thickness of the base portion 13a.

圧電素子１２は、円周方向に沿って２つの相（Ａ相，Ｂ相）に対応する部分（Ａ相側圧電素子，Ｂ相側圧電素子）に分かれており、各相に対応する部分においては、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられていて、Ａ相に対応する部分とＢ相に対応する部分との間には、１／４波長分間隔が空くようにしてある。圧電素子１２は、各相の電極にＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１４が接続されており、圧電素子１２を励振させるための駆動信号が入力される。 The piezoelectric element 12 is divided into portions (A phase side piezoelectric element, B phase side piezoelectric element) corresponding to two phases (A phase and B phase) along the circumferential direction. The elements in which the polarization is alternated every ½ wavelength are arranged, and an interval corresponding to ¼ wavelength is provided between the portion corresponding to the A phase and the portion corresponding to the B phase. It is. In the piezoelectric element 12, an FPC (flexible printed circuit board) 14 is connected to each phase electrode, and a drive signal for exciting the piezoelectric element 12 is input.

移動体１５は、振動体１１の圧電素子１２が設けられる部分とは異なる部分に接触して設けられ、弾性体１３の振動により振動体１１に対して相対移動をする部材であり、アルミニウムなどの軽金属から構成され、摺動面の表面には、耐摩耗性向上のためのアルマイトの表面処理が施されている。
出力軸１８は、ゴム部材１７を介して移動体１５に結合されており、移動体１５と一体に回転する。出力軸１８と移動体１５との間のゴム部材１７は、ゴムによる粘着性で移動体１５と出力軸１８を結合する機能と、移動体１５からの振動を出力軸１８へ伝えないための振動吸収の機能とが求められており、ブチルゴムなどが好適である。 The movable body 15 is provided in contact with a portion different from the portion where the piezoelectric element 12 of the vibrating body 11 is provided, and is a member that moves relative to the vibrating body 11 by the vibration of the elastic body 13, such as aluminum. It is made of light metal, and the surface of the sliding surface is alumite-treated to improve wear resistance.
The output shaft 18 is coupled to the moving body 15 via the rubber member 17 and rotates integrally with the moving body 15. The rubber member 17 between the output shaft 18 and the moving body 15 has a function of coupling the moving body 15 and the output shaft 18 with rubber adhesiveness, and vibration for not transmitting vibration from the moving body 15 to the output shaft 18. Absorption function is required, and butyl rubber and the like are preferable.

加圧部材１９は、コイルバネなどであり、出力軸１８に固定されたギア部材２０と、ベアリング受け部材２１との間に設けられている。ギア部材２０は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅクリップなどのストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体になっている。また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング２３の内径側に挿入され、ベアリング２３は、固定部材１６ａの内径側に挿入された構造となっている。このような構造により、移動体１５が振動体１１の駆動面に加圧接触するようになっている。 The pressure member 19 is a coil spring or the like, and is provided between the gear member 20 fixed to the output shaft 18 and the bearing receiving member 21. The gear member 20 is inserted so as to fit in the D cut of the output shaft 18, is fixed by a stopper 22 such as an E clip, and is integrated with the output shaft 18 in the rotation direction and the axial direction. The bearing receiving member 21 is inserted on the inner diameter side of the bearing 23, and the bearing 23 is inserted on the inner diameter side of the fixed member 16a. With such a structure, the moving body 15 comes into pressure contact with the drive surface of the vibrating body 11.

図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の駆動回路を示す図である。
図４は、超音波モータ１０の電圧波形などを示す図であって、図４（Ａ）は、マイコン７からＡ相側ＭＯＳＦＥＴ１ａへのパルス波形を示す図であり、図４（Ｂ）は、Ａ相側圧電素子２ａの電圧波形を示す図であり、図４（Ｃ）は、パルス生成回路６で生成されたＡ相側のパルス波形を示す図であり、図４（Ｄ）は、パルス生成回路６で生成されたＢ相側のパルス波形を示す図である。 FIG. 3 is a diagram illustrating a drive circuit of the ultrasonic motor 10 according to the first embodiment.
FIG. 4 is a diagram illustrating a voltage waveform of the ultrasonic motor 10 and the like. FIG. 4A is a diagram illustrating a pulse waveform from the microcomputer 7 to the A-phase side MOSFET 1a, and FIG. FIG. 4C is a diagram showing a voltage waveform of the A-phase side piezoelectric element 2a, FIG. 4C is a diagram showing a pulse waveform on the A-phase side generated by the pulse generation circuit 6, and FIG. FIG. 6 is a diagram illustrating a pulse waveform on the B phase side generated by a generation circuit 6;

図３に示すように、超音波モータ１０は、Ａ相側ＭＯＳＦＥＴ（ＭｅｔａｌｌｉｃＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＦｉｅｌｄＥｆｆｅｃｔＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ；酸化膜半導体電界効果トランジスタ）１ａと、Ｂ相側ＭＯＳＦＥＴ１ｂと、Ａ相側圧電素子２ａと、Ｂ相側圧電素子２ｂと、Ａ相側トランス３と、Ｂ相側トランス４と、Ａ相側静電容量増減部５ａと、Ｂ相側静電容量増減部５ｂと、パルス生成回路６と、マイコン７と、直流電源回路８とを備える。 As shown in FIG. 3, the ultrasonic motor 10 includes an A-phase side MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 1a, a B-phase side MOSFET 1b, an A-phase side piezoelectric element 2a, Phase side piezoelectric element 2b, A phase side transformer 3, B phase side transformer 4, A phase side capacitance increase / decrease unit 5a, B phase side capacitance increase / decrease unit 5b, pulse generation circuit 6, and microcomputer 7 and a DC power supply circuit 8.

Ａ相側ＭＯＳＦＥＴ１ａは、Ａ相側トランス３と接地部分（ＧＮＤ）との間に配置され、マイコン７からの指示により、直流電源回路８からＡ相側トランス３への直流電流の供給のＯＮ／ＯＦＦを切り替える装置である。
Ａ相側ＭＯＳＦＥＴ１ａがＯＮにされている間は、Ａ相側トランス３の１次巻線には直流電源回路８から電流Ｉが流れ、Ａ相側トランス３の１次巻線にはエネルギーが蓄えられる。そして、図４（Ａ）に示すようなパルス波形によってＡ相側ＭＯＳＦＥＴ１ａがＯＮ／ＯＦＦ制御されることによりＬＣ共振が発生し、そのＬＣ共振により、図４（Ｂ）に示すような電圧波形（モータ印加電圧波形）が発生し、Ａ相側圧電素子２ａが駆動される。
Ｂ相側ＭＯＳＦＥＴ１ｂは、Ｂ相側トランス４と接地部分（ＧＮＤ）との間に配置され、マイコン７からの指示により、直流電源回路８からＢ相側トランス４への直流電流の供給のＯＮ／ＯＦＦを切り替える装置である。Ｂ相側ＭＯＳＦＥＴ１ｂの動作は、Ａ相側ＭＯＳＦＥＴ１ａの動作と同様である。 The A-phase side MOSFET 1a is disposed between the A-phase side transformer 3 and the ground portion (GND), and is turned on / off for the supply of DC current from the DC power supply circuit 8 to the A-phase side transformer 3 according to an instruction from the microcomputer 7. It is a device that switches off.
While the A-phase side MOSFET 1a is ON, a current I flows from the DC power supply circuit 8 to the primary winding of the A-phase side transformer 3, and energy is stored in the primary winding of the A-phase side transformer 3. It is done. Then, when the A-phase side MOSFET 1a is ON / OFF controlled by a pulse waveform as shown in FIG. 4A, an LC resonance is generated, and a voltage waveform as shown in FIG. Motor applied voltage waveform) is generated, and the A-phase side piezoelectric element 2a is driven.
The B-phase side MOSFET 1b is disposed between the B-phase side transformer 4 and the ground portion (GND), and in response to an instruction from the microcomputer 7, the DC current supply from the DC power supply circuit 8 to the B-phase side transformer 4 is turned on / off. It is a device that switches off. The operation of the B-phase side MOSFET 1b is the same as the operation of the A-phase side MOSFET 1a.

Ａ相側圧電素子２ａは、Ａ相側トランス３に接続されたＡ相側の圧電素子である。
Ｂ相側圧電素子２ｂは、Ｂ相側トランス４に接続されたＢ相側の圧電素子である。
Ａ相側トランス３は、Ａ相側圧電素子２ａと直流電源回路８とに接続され、電磁誘導を利用して電圧を昇降させる装置である。
Ｂ相側トランス４は、Ｂ相側圧電素子２ｂと直流電源回路８とに接続され、電磁誘導を利用して電圧を昇降させる装置である。 The A-phase side piezoelectric element 2 a is an A-phase side piezoelectric element connected to the A-phase side transformer 3.
The B-phase side piezoelectric element 2 b is a B-phase side piezoelectric element connected to the B-phase side transformer 4.
The A-phase side transformer 3 is a device that is connected to the A-phase side piezoelectric element 2a and the DC power supply circuit 8 and raises or lowers the voltage using electromagnetic induction.
The B-phase side transformer 4 is a device that is connected to the B-phase side piezoelectric element 2b and the DC power supply circuit 8 and raises or lowers the voltage using electromagnetic induction.

Ａ相側静電容量増減部５ａは、Ａ相側圧電素子２ａに接続された装置である（詳細は後述）。
Ｂ相側静電容量増減部５ｂは、Ｂ相側圧電素子２ｂに接続された装置である。
また、Ａ相側静電容量増減部５ａ及びＢ相側静電容量増減部５ｂは、Ａ相側圧電素子２ａ及びＢ相側圧電素子２ｂにそれぞれ設けられている。 The A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a is a device connected to the A-phase side piezoelectric element 2a (details will be described later).
The B phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b is a device connected to the B phase side piezoelectric element 2b.
The A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a and the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b are provided in the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b, respectively.

パルス生成回路６は、Ａ相側圧電素子２ａとＡ相側トランス３、及び、Ｂ相側圧電素子２ｂとＢ相側トランス４に接続され、Ａ相側圧電素子２ａ及びＢ相側圧電素子２ｂのそれぞれの駆動状態を、Ａ相側圧電素子２ａ及びＢ相側圧電素子２ｂに印加される電圧波形により検出する回路である。
また、パルス生成回路６は、検出した電圧波形を矩形波に変換してマイコン７に送信する。
このようなパルス波形を生成するための回路は、コンパレータなどを用いて構成することができる。例えば、本件出願人が既に出願している特開２００６−３３３６７８号公報の図２で述べている回路などを採用することができる。 The pulse generation circuit 6 is connected to the A-phase side piezoelectric element 2a and the A-phase side transformer 3, and the B-phase side piezoelectric element 2b and the B-phase side transformer 4, and the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b. These drive states are detected by voltage waveforms applied to the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b.
The pulse generation circuit 6 converts the detected voltage waveform into a rectangular wave and transmits it to the microcomputer 7.
A circuit for generating such a pulse waveform can be configured using a comparator or the like. For example, the circuit described in FIG. 2 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-333678 already filed by the present applicant can be employed.

マイコン７は、各ＭＯＳＦＥＴ１ａ，１ｂ、各静電容量増減部５ａ，５ｂ及びパルス生成回路６に接続された制御素子であり、パルス生成回路６の検出結果に応じて各静電容量増減部５ａ，５ｂを動作させ、後述する合成静電容量を調整する部分である。なお、マイコン７から送信される制御信号は、１本の線で図示してある。 The microcomputer 7 is a control element connected to each MOSFET 1a, 1b, each capacitance increasing / decreasing unit 5a, 5b, and the pulse generating circuit 6, and each capacitance increasing / decreasing unit 5a, This is a part that operates 5b and adjusts a synthetic capacitance described later. The control signal transmitted from the microcomputer 7 is shown by a single line.

直流電源回路８は、Ａ相側トランス３とＢ相側トランス４とに接続され、Ａ相側トランス３とＢ相側トランス４とに直流電流を供給する回路である。 The DC power supply circuit 8 is a circuit that is connected to the A-phase side transformer 3 and the B-phase side transformer 4 and supplies a DC current to the A-phase side transformer 3 and the B-phase side transformer 4.

図５は、Ａ相側静電容量増減部５ａの詳細を示す図である。なお、Ａ相側静電容量増減部５ａとＢ相側静電容量増減部５ｂとの動作は、同じ原理に基づくものであるので、ここでは、Ａ相側静電容量増減部５ａの動作について説明する。
Ａ相側静電容量増減部５ａは、Ａ相側圧電素子２ａと並列接続された静電容量を持つ５つのコンデンサＣ１〜Ｃ５を有し、Ａ相側圧電素子２ａと５つのコンデンサＣ１〜Ｃ５との合成静電容量を増減させる部分である。
５つのコンデンサＣ１〜Ｃ５は、マイコン７からの制御信号によりＯＮ／ＯＦＦ制御が可能な５つのスイッチＳ１〜Ｓ５によって通電自在となっている。図中では、すべてのスイッチＳ１〜Ｓ５がＯＮにされている。 FIG. 5 is a diagram showing details of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a. Since the operations of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a and the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b are based on the same principle, the operation of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a is described here. explain.
The A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a includes five capacitors C1 to C5 having capacitances connected in parallel with the A-phase side piezoelectric element 2a, and the A-phase side piezoelectric element 2a and the five capacitors C1 to C5. This is the part that increases or decreases the combined capacitance.
The five capacitors C1 to C5 are energized by five switches S1 to S5 that can be controlled ON / OFF by a control signal from the microcomputer 7. In the figure, all the switches S1 to S5 are turned on.

静電容量の関係は、（１／Ｃ_ALL）＝（１／Ｃ₁）＋（１／Ｃ₂）＋（１／Ｃ₃）＋・・・の関係となる。ここで、Ｃ_ALLは、合成静電容量の値を示しており、Ｃ₁，Ｃ₂，Ｃ₃・・・は、並列接続された各コンデンサ及び圧電素子の静電容量を示している。
例えば、スイッチＳ１をＯＦＦにすれば、合成静電容量の値は増加し、これとは逆に、スイッチＳ１をＯＮにすれば、合成静電容量の値は減少する。従って、スイッチＳ１〜Ｓ５をＯＮ／ＯＦＦ制御することにより、Ａ相側の合成静電容量（Ａ相側圧電素子２ａを含む駆動回路全体の合成静電容量）を増減させることができる。 The relationship between the capacitances is (1 / C _ALL ) = (1 / C ₁ ) + (1 / C ₂ ) + (1 / C ₃ ) +. Here, C _ALL indicates the value of the combined capacitance, and C ₁ , C ₂ , C ₃ ... Indicate the capacitance of each capacitor and piezoelectric element connected in parallel.
For example, if the switch S1 is turned off, the value of the combined capacitance increases, and conversely, if the switch S1 is turned on, the value of the combined capacitance decreases. Therefore, by controlling ON / OFF of the switches S1 to S5, the combined capacitance on the A phase side (the combined capacitance of the entire drive circuit including the A phase side piezoelectric element 2a) can be increased or decreased.

そして、図３のように構成された超音波モータ１０において、マイコン７は、超音波モータ１０を所望の回転速度Ｎで回転させるべく、所望の回転速度Ｎに対応した駆動周波数ｆの位相が９０度ずれた２つのパルス波形Ａ１，Ａ２を出力する。マイコン７から出力されたパルス波形Ａ１，Ｂ２は、各ＭＯＳＦＥＴ１ａ，１ｂをＯＮ／ＯＦＦする。各ＭＯＳＦＥＴ１ａ，１ｂがＯＮ／ＯＦＦ制御されることにより、トランス３、４の２次巻線側に昇圧された波形Ｂ１，Ｂ２が発生する。 In the ultrasonic motor 10 configured as shown in FIG. 3, the microcomputer 7 causes the phase of the drive frequency f corresponding to the desired rotational speed N to be 90 so as to rotate the ultrasonic motor 10 at the desired rotational speed N. Two pulse waveforms A1 and A2 that are shifted in degree are output. The pulse waveforms A1 and B2 output from the microcomputer 7 turn on / off the MOSFETs 1a and 1b. When the MOSFETs 1a and 1b are ON / OFF controlled, the waveforms B1 and B2 boosted to the secondary winding side of the transformers 3 and 4 are generated.

２次巻線側に発生する昇圧された波形Ｂ１，Ｂ２は、Ａ相側圧電素子２ａ，Ｂ相側圧電素子２ｂに供給され、Ａ相側圧電素子２ａ，Ｂ相側圧電素子２ｂは、波形Ｂ１，Ｂ２と同じ周波数ｆで振動する。波形Ｂ１，Ｂ２は、位相が９０度ずれており、この波形Ｂ１，Ｂ２がＡ相側圧電素子２ａ，Ｂ相側圧電素子２ｂに供給されると、Ａ相側圧電素子２ａ，Ｂ相側圧電素子２ｂに接合された弾性体１３（図２参照）に進行波が発生する。弾性体１３に加圧接触された移動体１５は、弾性体１３に発生した進行波の振動を受け、駆動周波数ｆに対応した回転速度Ｎで回転駆動される。 The boosted waveforms B1 and B2 generated on the secondary winding side are supplied to the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b, and the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b Vibrates at the same frequency f as B1 and B2. The waveforms B1 and B2 are 90 degrees out of phase, and when the waveforms B1 and B2 are supplied to the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b, the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element are supplied. A traveling wave is generated in the elastic body 13 (see FIG. 2) joined to the element 2b. The moving body 15 brought into pressure contact with the elastic body 13 receives the vibration of the traveling wave generated in the elastic body 13 and is rotationally driven at a rotational speed N corresponding to the driving frequency f.

次に、超音波モータ１０の電圧波形などについて説明する。
マイコン７から、図４（Ａ）に示すようなパルス波形が発せられると、超音波モータ１０のＡ相側圧電素子２ａには、図４（Ｂ）に示すような波形の電圧が印加される。
この電圧波形において、ｔ１からｔ２までの時間は、回路定数により決まる値である。つまり、ｔ１からｔ２までの時間は、Ａ相側トランス３の２次巻線のインダクタンスＬと圧電素子２の静電容量Ｃの共振周波数に依存する値である。しかし、ｔ１からｔ２までの時間は、図４（Ａ）に示すようなパルス波形の駆動周波数には依存しない値である。
従って、理想的に言えば、パルス波形の９０度位相がずれていても、Ａ相側トランス３とＢ相側トランス４、Ａ相側圧電素子２ａとＢ相側圧電素子２ｂで同じ定数を用いているのならば、ｔ１からｔ２までの時間はＡ相とＢ相とで同じになるはずである。 Next, the voltage waveform of the ultrasonic motor 10 will be described.
When a pulse waveform as shown in FIG. 4A is emitted from the microcomputer 7, a voltage having a waveform as shown in FIG. 4B is applied to the A-phase side piezoelectric element 2 a of the ultrasonic motor 10. .
In this voltage waveform, the time from t1 to t2 is a value determined by a circuit constant. That is, the time from t1 to t2 is a value that depends on the resonance frequency of the inductance L of the secondary winding of the A-phase side transformer 3 and the capacitance C of the piezoelectric element 2. However, the time from t1 to t2 is a value that does not depend on the driving frequency of the pulse waveform as shown in FIG.
Therefore, ideally, the same constants are used for the A-phase side transformer 3 and the B-phase side transformer 4, and the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b even if the phase of the pulse waveform is 90 degrees out of phase. If so, the time from t1 to t2 should be the same for the A phase and the B phase.

ところが、実際には同じ定数のものを使用していても環境の変化があると、また、そもそも製造誤差があると、圧電素子の静電容量やトランスのインダクタンスにはバラツキが生じる。その結果、Ａ相側圧電素子２ａとＢ相側圧電素子２ｂに与える電圧波形も異ってしまい、効果的な駆動が行えなくなる可能性がある。
そこで、Ａ相側圧電素子２ａとＢ相側圧電素子２ｂに与える電圧波形を同じにする方法をここでは提案する。このような方法として、Ａ相側圧電素子２ａとＢ相側圧電素子２ｂとの電圧波形のｔ１からｔ２までの時間を同じにする方法があり、以下、この方法について説明する。 However, even if the same constants are actually used, if there is a change in the environment, or if there is a manufacturing error in the first place, the capacitance of the piezoelectric element and the inductance of the transformer will vary. As a result, the voltage waveforms applied to the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b are also different, and there is a possibility that effective driving cannot be performed.
Therefore, a method is proposed here in which the voltage waveforms applied to the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b are the same. As such a method, there is a method of making the time from t1 to t2 of the voltage waveforms of the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b the same, and this method will be described below.

まず、超音波モータ１０を駆動させる。そして、電圧波形をパルス生成回路６に送信し、パルス生成回路６で、図４（Ｃ）に示すようなパルス波形を生成する。この生成されるパルス波形は、ｔ１からｔ２まではＬｏｗになり、ｔ２からｔ３まではＨｉｇｈになるようになっている。
こうして生成されたパルス波形をマイコン７に出力する。マイコン７は、パルス波形のエッジ観測によって、ｔ１からｔ２までの時間Ｔ１（Ａ相側圧電素子２ａの電圧波形の立ち下がりから立ち上がりまでの時間）、ｔ４からｔ５までの時間Ｔ２（Ｂ相側圧電素子２ｂの電圧波形の立ち下がりから立ち上がりまでの時間）をそれぞれ観測し、時間の差を求める。そして、その時間差を無くすように、図５に示すような静電容量増減部５の合成静電容量を調整し、Ａ相側圧電素子２ａ，Ｂ相側圧電素子２ｂの電圧波形をできるかぎり同じ波形に近づけ、Ａ相側圧電素子２ａの駆動状態とＢ相側圧電素子２ｂの駆動状態とを一致させるようにする。 First, the ultrasonic motor 10 is driven. Then, the voltage waveform is transmitted to the pulse generation circuit 6, and the pulse generation circuit 6 generates a pulse waveform as shown in FIG. The generated pulse waveform is low from t1 to t2, and is high from t2 to t3.
The pulse waveform thus generated is output to the microcomputer 7. By observing the edge of the pulse waveform, the microcomputer 7 detects a time T1 from t1 to t2 (time from the fall of the voltage waveform of the A-phase side piezoelectric element 2a to the rise), and a time T2 from t4 to t5 (B-phase side piezoelectric). The time from the fall of the voltage waveform of the element 2b to the rise) is observed, and the time difference is obtained. Then, the combined capacitance of the capacitance increasing / decreasing unit 5 as shown in FIG. 5 is adjusted so as to eliminate the time difference, and the voltage waveforms of the A-phase side piezoelectric element 2a and the B-phase side piezoelectric element 2b are the same as much as possible. The driving state of the A-phase side piezoelectric element 2a and the driving state of the B-phase side piezoelectric element 2b are made to be close to the waveform.

なお、マイコン７でのパルス波形のエッジの観測は、超音波モータ１０が安定して回転する状態になってから（パルス波形の出力が安定するようになってから）、検出を開始することが好ましい。
また、時間検出には、ひとつの波形のみの検出だと誤差が出ることもあるので、数十のサンプルをとってそれを平均することが好ましい。 The observation of the edge of the pulse waveform by the microcomputer 7 may be started after the ultrasonic motor 10 is stably rotated (after the output of the pulse waveform becomes stable). preferable.
In addition, when detecting only one waveform, there may be an error in time detection. Therefore, it is preferable to average several tens of samples.

次に、具体的な制御方法の一例を説明する。
図６は、振動アクチュエータの制御状態を説明する図であって、図６（Ａ）は、調整前のＡ相及びＢ相から生成されたパルス波形を示す図であり、図６（Ｂ）は、調整前のスイッチの状態を示す図であり、図６（Ｃ）は、調整後のスイッチの状態を示す図であり、図６（Ｄ）は、調整後のＡ相及びＢ相から生成されたパルス波形を示す図である。
図６（Ａ）では、環境の変化などにより、ｔ６−１からｔ７−１までの時間Ｔ３と、ｔ８−１からｔ９−１までの時間Ｔ４とが異なっている。
図６（Ｂ）に示すように、Ｂ相側静電容量増減部５ｂのスイッチＳ１〜Ｓ５は、すべてＯＮにされている。なお、図示はしていないが、Ａ相側静電容量増減部５ａのスイッチＳ１〜Ｓ５も、すべてＯＮにされている。 Next, an example of a specific control method will be described.
FIG. 6 is a diagram for explaining the control state of the vibration actuator, and FIG. 6A is a diagram showing pulse waveforms generated from the A phase and the B phase before adjustment, and FIG. FIG. 6C is a diagram showing the state of the switch after adjustment, and FIG. 6D is generated from the A phase and the B phase after adjustment. FIG.
In FIG. 6A, time T3 from t6-1 to t7-1 is different from time T4 from t8-1 to t9-1 due to environmental changes and the like.
As shown in FIG. 6B, all the switches S1 to S5 of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b are turned on. Although not shown, all the switches S1 to S5 of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a are also turned on.

ここで、時間Ｔ３と時間Ｔ４とを比較すると、時間Ｔ４のほうが短い（Ｔ３＞Ｔ４）。そこで、短い時間Ｔ３を長い時間Ｔ４に合わせ込むようにする。長いほうを短いほうに合わせるよりも、短いほうを長いほうに合わせたほうが、超音波モータ１０の出力エネルギーを低下させずに、少なくとも現状の駆動状態を維持又は現状の駆動状態を向上させることができるからである。ただし、長いほうに合わせる場合には、波形が長くなりすぎると次の波と干渉してしまう恐れがあるので、ある程度の限界値を定めておくとよい。 Here, when time T3 is compared with time T4, time T4 is shorter (T3> T4). Therefore, the short time T3 is adjusted to the long time T4. It is possible to maintain at least the current driving state or improve the current driving state without lowering the output energy of the ultrasonic motor 10 by matching the shorter side with the longer side rather than matching the longer side with the shorter side. Because it can. However, when adjusting to the longer one, there is a possibility that if the waveform becomes too long, it may interfere with the next wave, so it is advisable to set a certain limit value.

また、合成静電容量と時間Ｔとの関係は、以下の通りである。
（１）合成静電容量が大きくなると、時間Ｔが長くなる。
（２）合成静電容量が小さくなると、時間Ｔが短くなる。
従って、短いほうを長いほうに合わせるのであれば、上記（１）のようにすればよい。図６（Ａ）では、Ａ相の時間Ｔ３よりも、Ｂ相の時間Ｔ４ほうが短いので、Ｂ相の時間Ｔ４を長くするために、Ｂ相側静電容量増減部５ｂの合成静電容量を大きくすればよい。
そこで、マイコン７は、Ｂ相側静電容量増減部５ｂのスイッチＳ１へ制御信号を送信し、図６（Ｃ）に示すように、制御信号を受信したスイッチＳ１がＯＦＦにされる。
このように、スイッチＳ１をＯＦＦにすることで、Ｂ相側の合成静電容量が増加し、Ｂ相の電圧波形が変化し、図６（Ｄ）に示すように、ｔ６−２からｔ７−２までの時間Ｔ３と、ｔ８−２からｔ９−２までの時間Ｔ４とが略同じになり、結果として、Ａ相の電圧波形とＢ相の電圧波形とを同じ波形にすることができる。 The relationship between the combined capacitance and time T is as follows.
(1) The time T increases as the combined capacitance increases.
(2) When the combined capacitance is reduced, the time T is shortened.
Therefore, if the shorter one is matched with the longer one, the above (1) is sufficient. In FIG. 6A, since the B-phase time T4 is shorter than the A-phase time T3, the combined capacitance of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b is set to increase the B-phase time T4. Just make it bigger.
Therefore, the microcomputer 7 transmits a control signal to the switch S1 of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b, and the switch S1 that has received the control signal is turned OFF as shown in FIG. 6C.
Thus, by turning off the switch S1, the combined capacitance on the B-phase side increases, and the voltage waveform on the B-phase changes. As shown in FIG. 6D, from t6-2 to t7- The time T3 up to 2 and the time T4 from t8-2 to t9-2 are substantially the same, and as a result, the A-phase voltage waveform and the B-phase voltage waveform can be made the same waveform.

静電容量の調整の仕方は、以下のような方法がある。
（１）１つのスイッチのＯＮ／ＯＦＦによる時間Ｔ（電圧波形のＯＦＦの時間）の変化量をあらかじめマイコン７に記憶させておき、時間差に基づいていくつのスイッチをＯＮ／ＯＦＦすればよいかを決定する方法である。この方法であれば、制御がより簡略化される。
（２）時間差があればとりあえず１つのスイッチのＯＮ／ＯＦＦし、それでもまだ時間差があれば、次のスイッチをＯＮ／ＯＦＦし、時間差がなくなるまで、同様の処理を繰り返す方法である。この方法であれば、環境の変化などが激しい場合に好適である。 There are the following methods for adjusting the capacitance.
(1) The amount of change in time T (voltage waveform OFF time) due to ON / OFF of one switch is stored in the microcomputer 7 in advance, and how many switches should be turned ON / OFF based on the time difference. It is a method of determination. With this method, the control is further simplified.
(2) If there is a time difference, one switch is turned ON / OFF for the time being. If there is still a time difference, the next switch is turned ON / OFF, and the same processing is repeated until the time difference disappears. This method is suitable when the environment changes drastically.

次に、図６とは別の具体的な制御方法の一例を説明する。
図７は、振動アクチュエータの制御状態を説明する図であって、図７（Ａ）は、調整前のＡ相及びＢ相から生成されたパルス波形を示す図であり、図７（Ｂ）は、調整前のスイッチの状態を示す図であり、図７（Ｃ）は、調整後のスイッチの状態を示す図であり、図７（Ｄ）は、調整後のＡ相及びＢ相から生成されたパルス波形を示す図である。
図７（Ａ）では、環境の変化などにより、ｔ６−３からｔ７−３までの時間Ｔ５と、ｔ８−３からｔ９−３までの時間Ｔ６が異なっている。
図７（Ｂ）に示すように、Ａ相側静電容量増減部５ａのスイッチＳ１〜Ｓ５は、すべてＯＮにされている。なお、図示はしていないが、Ｂ相側静電容量増減部５ｂのスイッチＳ１〜Ｓ５も、すべてＯＮにされている。 Next, an example of a specific control method different from FIG. 6 will be described.
FIG. 7 is a diagram for explaining the control state of the vibration actuator. FIG. 7A is a diagram showing pulse waveforms generated from the A phase and the B phase before adjustment, and FIG. FIG. 7 (C) is a diagram showing the state of the switch after adjustment, and FIG. 7 (D) is generated from the A phase and B phase after adjustment. FIG.
In FIG. 7A, the time T5 from t6-3 to t7-3 and the time T6 from t8-3 to t9-3 are different due to environmental changes or the like.
As shown in FIG. 7B, the switches S1 to S5 of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a are all turned on. Although not shown, all the switches S1 to S5 of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b are also turned on.

ここで、時間Ｔ５と時間Ｔ６とを比較すると、時間Ｔ５のほうが短い（Ｔ５＜Ｔ６）。そこで、短い時間Ｔ５を長い時間Ｔ６に合わせ込むようにする。これは、図６の場合とは逆のケースである。
マイコン７は、Ａ相側静電容量増減部５ａのスイッチＳ１へ制御信号を送信し、図７（Ｃ）に示すように、制御信号を受信したスイッチＳ１がＯＦＦにされる。
このように、スイッチＳ１をＯＦＦにすることで、Ａ相側の合成静電容量が変化し、Ａ相の電圧波形が変化し、図７（Ｄ）に示すように、ｔ６−２からｔ７−２までの時間Ｔ５と、ｔ８−２からｔ９−２までの時間Ｔ６とが略同じになり、結果として、Ａ相の電圧波形とＢ相の電圧波形とを同じ波形にすることができる。 Here, when the time T5 and the time T6 are compared, the time T5 is shorter (T5 <T6). Therefore, the short time T5 is adjusted to the long time T6. This is the opposite case to that of FIG.
The microcomputer 7 transmits a control signal to the switch S1 of the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a, and the switch S1 that has received the control signal is turned OFF as shown in FIG. 7C.
In this way, when the switch S1 is turned off, the combined capacitance on the A phase side changes, and the voltage waveform on the A phase changes. As shown in FIG. 7D, from t6-2 to t7− The time T5 up to 2 and the time T6 from t8-2 to t9-2 are substantially the same, and as a result, the A-phase voltage waveform and the B-phase voltage waveform can be made the same waveform.

このように、本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）圧電素子２の駆動状態を検出し、検出結果に応じて静電容量増減部５を動作させ、合成静電容量を調整するので、圧電素子２の駆動状態を変化させることができ、効率のよい駆動を行うことができる。また、駆動中の圧電素子２の駆動状態を検出しているので、常時、Ａ相とＢ相の電圧波形を同じにすることができる。
（２）パルス生成回路６は、圧電素子２に印加される電圧波形により駆動状態を検出するので、より直接的な駆動状態を検出することができる。また、駆動中の電圧波形をモニタしているので、リアルタイムでの調整が可能である。 Thus, according to this embodiment, there are the following effects.
(1) The driving state of the piezoelectric element 2 is detected, the capacitance increasing / decreasing unit 5 is operated according to the detection result, and the combined capacitance is adjusted, so that the driving state of the piezoelectric element 2 can be changed, Efficient driving can be performed. Further, since the driving state of the piezoelectric element 2 being driven is detected, the voltage waveforms of the A phase and the B phase can always be made the same.
(2) Since the pulse generation circuit 6 detects the drive state based on the voltage waveform applied to the piezoelectric element 2, it can detect a more direct drive state. Moreover, since the voltage waveform during driving is monitored, adjustment in real time is possible.

（３）マイコン７は、電圧波形の立ち下がりから立ち上がりまでの時間に基づいて合成静電容量を調整するので、電圧波形を簡単に検出しつつ、精度のよい調整を行うことができる。
（４）マイコン７は、Ａ相側の合成静電容量、及び、Ｂ相側の合成静電容量をそれぞれ調整するので、Ａ相側とＢ相側とで独立した制御を行うことができる。また、圧電素子２ａ，２ｂの製造バラツキや環境の変化があっても、Ａ相とＢ相との合成静電容量を等しくすることができ、モータ駆動時はＡ相とＢ相とを同じように駆動させることができる。 (3) Since the microcomputer 7 adjusts the composite capacitance based on the time from the falling edge to the rising edge of the voltage waveform, it is possible to make a precise adjustment while easily detecting the voltage waveform.
(4) Since the microcomputer 7 adjusts the combined capacitance on the A-phase side and the combined capacitance on the B-phase side, the microcomputer 7 can perform independent control on the A-phase side and the B-phase side. Moreover, even if there are manufacturing variations of piezoelectric elements 2a and 2b and environmental changes, the combined electrostatic capacity of the A phase and the B phase can be made equal, and the A phase and the B phase are the same when the motor is driven. Can be driven.

（５）マイコン７は、Ａ相側圧電素子２ａの駆動状態と、Ｂ相側圧電素子２ｂの駆動状態とを一致させるように制御するので、より効率のよい駆動を行うことができる。
（６）マイコン７は、短い時間Ｔ３（Ｔ５）を長い時間Ｔ４（Ｔ６）に合わせ込むように制御するので、超音波モータ１０の出力エネルギーを低下させずに制御を行うことができる。 (5) Since the microcomputer 7 controls the driving state of the A-phase side piezoelectric element 2a and the driving state of the B-phase side piezoelectric element 2b to coincide with each other, more efficient driving can be performed.
(6) Since the microcomputer 7 performs control so that the short time T3 (T5) is adjusted to the long time T4 (T6), the microcomputer 7 can perform control without reducing the output energy of the ultrasonic motor 10.

（７）静電容量増減部５は、スイッチＳ１〜Ｓ５により通電自在な複数のコンデンサＣ１〜Ｃ５が圧電素子２に並列接続されたものであるので、簡単な構成で上述した制御を実現することができる。また、５つのコンデンサＣ１〜Ｃ５が取り付けられているので、リアルタイムで合成静電容量を調整することができる。
（８）上述した超音波モータ１０を備えたレンズ鏡筒３００やカメラ１００としているので、所望の駆動特性が得られやすく、機能性に優れたレンズ鏡筒３００やカメラ１００を提供することができる。
なお、本実施形態では、Ａ相側圧電素子２ａにＡ相側静電容量増減部５ａを接続し、Ｂ相側圧電素子２ｂにＢ相側静電容量増減部５ｂを接続する構成としたが、静電容量増減部は、圧電素子１２のどちらか一方の相のみに接続する構成としてもよい。以下に、Ｂ相圧電素子２ｂのみにＢ相側静電容量増減部５ｂを接続した構成とした場合について説明するが、Ａ相側圧電素子２ａのみにＡ相側静電容量増減部５ａを接続する構成としてもよい。
図６（Ｂ）では、Ｂ相側静電容量増減部５ｂのスイッチＳ１〜Ｓ５は、すべてＯＮにした状態であるが、これを、Ｓ１、Ｓ２をＯＦＦにし、他をＯＮにした状態にする。つまり、ＯＮ状態のスイッチとＯＦＦ状態のスイッチが混在した状態にしておく。そして、図６（Ａ）のように、Ａ相の時間Ｔ３よりも、Ｂ相の時間Ｔ４のほうが短い場合は、Ｂ相側静電容量増減部５ｂの合成静電容量を大きくすればよい。この場合、マイコン７からの制御信号により、ＯＮ状態のスイッチのうちの１つがＯＦＦにされる。また、Ａ相の時間Ｔ３よりも、Ｂ相の時間Ｔ４の方が長い場合は、Ｂ相側静電容量増減部５ｂの合成静電容量を小さくすればよい。この場合、マイコン７からの制御信号により、ＯＦＦ状態のスイッチのうちの１つがＯＮにされる。この場合、長い方の時間Ｔ４を短い方の時間Ｔ３に合わせ込むことになるので、超音波モータ１０の出力エネルギーが低下することになる。このことが問題になる場合は、Ａ相側圧電素子２ａにも静電容量増減部を設けることが好ましい。
以上のような、静電容量増減部を圧電素子１２のどちらか一方の相のみに接続する構成は、以下に説明する第２実施形態、第３実施形態にも適用することができる。 (7) Since the capacitance increasing / decreasing unit 5 includes a plurality of capacitors C1 to C5 that can be energized by the switches S1 to S5 and connected in parallel to the piezoelectric element 2, the above-described control can be realized with a simple configuration. Can do. In addition, since the five capacitors C1 to C5 are attached, the combined capacitance can be adjusted in real time.
(8) Since the lens barrel 300 and the camera 100 including the ultrasonic motor 10 described above are used, it is possible to provide the lens barrel 300 and the camera 100 that are easy to obtain desired drive characteristics and excellent in functionality. .
In the present embodiment, the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a is connected to the A-phase side piezoelectric element 2a, and the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b is connected to the B-phase side piezoelectric element 2b. The capacitance increasing / decreasing unit may be connected to only one phase of the piezoelectric element 12. The following describes the case where the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b is connected only to the B-phase piezoelectric element 2b, but the A-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5a is connected only to the A-phase side piezoelectric element 2a. It is good also as composition to do.
In FIG. 6B, the switches S1 to S5 of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b are all turned on. However, in this state, S1 and S2 are turned off and the others are turned on. . That is, the switch in the ON state and the switch in the OFF state are mixed. As shown in FIG. 6A, when the B-phase time T4 is shorter than the A-phase time T3, the combined capacitance of the B-phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b may be increased. In this case, one of the ON switches is turned off by a control signal from the microcomputer 7. When the B phase time T4 is longer than the A phase time T3, the combined capacitance of the B phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b may be reduced. In this case, one of the OFF switches is turned on by a control signal from the microcomputer 7. In this case, since the longer time T4 is adjusted to the shorter time T3, the output energy of the ultrasonic motor 10 is reduced. When this becomes a problem, it is preferable to provide a capacitance increasing / decreasing portion on the A-phase side piezoelectric element 2a.
The configuration in which the capacitance increasing / decreasing unit is connected to only one of the phases of the piezoelectric element 12 as described above can also be applied to the second and third embodiments described below.

（第２実施形態）
図８は、第２実施形態の振動アクチュエータを示す図である。なお、前述した第１実施形態と同様な機能を果たす部分は、重複する説明や図面を適宜省略する。
第１実施形態の超音波モータ１０は、２次側の電圧波形をモニタするものであったが、第２実施形態の超音波モータ１０−２は、圧電素子２に印加される電圧波形に関連する波形の一例である１次側の電圧波形をモニタするものである。なお、この場合、図４（Ｂ）の電圧波形は、凹凸が逆になり、０Ｖ付近から立ち上がり、０Ｖ付近に立ち下がるようになる。 (Second Embodiment)
FIG. 8 is a diagram illustrating the vibration actuator according to the second embodiment. In addition, the description which overlaps the part which fulfill | performs the same function as 1st Embodiment mentioned above and drawing are suitably abbreviate | omitted.
The ultrasonic motor 10 of the first embodiment monitors the voltage waveform on the secondary side, but the ultrasonic motor 10-2 of the second embodiment relates to the voltage waveform applied to the piezoelectric element 2. The voltage waveform on the primary side which is an example of the waveform to be monitored is monitored. In this case, the voltage waveform shown in FIG. 4B has the concavities and convexities reversed, and rises from around 0V and falls around 0V.

このように、第２実施形態の超音波モータ１０−２によれば、１次側の電圧波形をモニタするので、モニタする部分の電圧が低く、モニタが行いやすくなり、しかも、回路を構成しやすい、という効果がある。 As described above, according to the ultrasonic motor 10-2 of the second embodiment, since the voltage waveform on the primary side is monitored, the voltage of the monitored portion is low, and monitoring is easy, and the circuit is configured. The effect is easy.

（第３実施形態）
図９は、第３実施形態の振動アクチュエータを示す図である。
第３実施形態の超音波モータ１０−３は、パルス生成回路６が、Ａ／Ｄ変換部６ａを備えるものである。
これにより、図４（Ｂ）の電圧波形の振幅をモニタできるようになり、マイコン７は、Ａ相の振幅と、Ｂ相の振幅とを合わせるように合成静電容量を調整することができる。
Ａ相の振幅と、Ｂ相の振幅とを合わせる場合には、振幅の小さいほうを振幅の大きいほうに合わせたほうがよい。このようにしたほうが、超音波モータ１０−３の出力エネルギーを低下させずに、現状の駆動状態を維持することができるからである。
なお、合成静電容量と振幅との関係は、以下の通りである。
（１）合成静電容量が大きくなると、振幅が小さくなる。
（２）合成静電容量が小さくなると、振幅が大きくなる。
従って、振幅の小さいほうを振幅の大きいほうに合わせるのであれば、上記（２）のようにすればよい。例えば、Ａ相の振幅よりも、Ｂ相の振幅が小さい場合は、Ｂ相の振幅を大きくするために、Ｂ相側静電容量増減部５ｂの合成静電容量を小さくするように制御すればよい。 (Third embodiment)
FIG. 9 is a diagram illustrating a vibration actuator according to the third embodiment.
In the ultrasonic motor 10-3 of the third embodiment, the pulse generation circuit 6 includes an A / D conversion unit 6a.
This makes it possible to monitor the amplitude of the voltage waveform in FIG. 4B, and the microcomputer 7 can adjust the combined capacitance so that the A-phase amplitude and the B-phase amplitude match.
When matching the amplitude of the A phase and the amplitude of the B phase, it is better to match the smaller amplitude to the larger amplitude. This is because the current driving state can be maintained without lowering the output energy of the ultrasonic motor 10-3.
The relationship between the combined capacitance and amplitude is as follows.
(1) As the combined capacitance increases, the amplitude decreases.
(2) As the combined capacitance decreases, the amplitude increases.
Therefore, if the smaller amplitude is matched with the larger amplitude, the above (2) may be used. For example, when the amplitude of the B phase is smaller than the amplitude of the A phase, in order to increase the amplitude of the B phase, the combined capacitance of the B phase side capacitance increasing / decreasing unit 5b is controlled to be small. Good.

このように、第３実施形態の超音波モータ１０−３によれば、電圧波形の振幅を用いても、駆動状態を制御することができる、という効果がある。 Thus, according to the ultrasonic motor 10-3 of the third embodiment, there is an effect that the drive state can be controlled even if the amplitude of the voltage waveform is used.

（第４実施形態）
図１０は、第４実施形態の振動アクチュエータを示す図である。
第４実施形態の超音波モータ１０−４は、温度を検出する温度検出部９が設けられ、その代わりに、第１実施形態〜第３実施形態で存在していたパルス生成回路６がなくなったものである。
温度検出部９は、圧電素子２又はその付近の温度を検出することが、より直接的な計測となるので好ましい。
マイコン７は、温度検出部９の検出結果に応じて静電容量増減部５（５ａ，５ｂ）を動作させ、合成静電容量を調整する。超音波モータは、一般的に、低温で駆動特性が低下し、高温で駆動特性が向上する傾向がある。その一因として、静電容量の変化が考えられる。静電容量は、低温では低く高温では高くなる傾向を示すため、例えば、低温では合成静電容量を増やすように制御し、高温では逆に減らすように制御することで、合成静電容量を常温の値に近づけることができる。 (Fourth embodiment)
FIG. 10 is a diagram illustrating the vibration actuator according to the fourth embodiment.
The ultrasonic motor 10-4 of the fourth embodiment is provided with a temperature detection unit 9 for detecting the temperature, and instead of the pulse generation circuit 6 existing in the first to third embodiments is eliminated. Is.
It is preferable for the temperature detection unit 9 to detect the temperature of the piezoelectric element 2 or the vicinity thereof because the measurement becomes more direct.
The microcomputer 7 operates the capacitance increasing / decreasing unit 5 (5a, 5b) according to the detection result of the temperature detecting unit 9, and adjusts the combined capacitance. In general, an ultrasonic motor has a tendency that drive characteristics deteriorate at low temperatures and drive characteristics improve at high temperatures. One possible cause is a change in capacitance. Capacitance tends to be low at low temperatures and high at high temperatures.For example, by controlling to increase the synthetic capacitance at low temperatures and to decrease it at high temperatures, the capacitance is reduced to room temperature. Can be close to the value of.

このように、第４実施形態の超音波モータ１０−４によれば、温度検出部９の検出結果に応じて静電容量増減部５を動作させ、合成静電容量を調整するので、周囲の温度変化に応じた駆動を行うことができる、という効果がある。 As described above, according to the ultrasonic motor 10-4 of the fourth embodiment, the capacitance increasing / decreasing unit 5 is operated according to the detection result of the temperature detecting unit 9 to adjust the combined capacitance. There is an effect that the drive according to the temperature change can be performed.

（変形形態）
上述した実施形態は、以下の変形も可能である。
（１）上述した実施形態では、回転型の超音波モータ１０に適用する例を示したが、これに限らず、相対運動部材が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動波モータなどにも適用することができる。
（２）上述した実施形態では、進行波によって移動体１５を駆動する超音波モータ１０を例として示したが、屈曲振動や面内振動を利用したロッド型アクチュエータ、ペンシル型アクチュエータ、円盤型アクチュエータなどの他の駆動モードを用いる振動波モータ、振動アクチュエータにも適用することができる。 (Deformation)
The embodiment described above can be modified as follows.
(1) In the above-described embodiment, the example applied to the rotary ultrasonic motor 10 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this, and may be applied to a linear drive type vibration wave motor in which a relative motion member is driven in a linear direction. Can be applied.
(2) In the above-described embodiment, the ultrasonic motor 10 that drives the moving body 15 by the traveling wave has been shown as an example. However, a rod-type actuator, a pencil-type actuator, a disk-type actuator, or the like that uses bending vibration or in-plane vibration. The present invention can also be applied to vibration wave motors and vibration actuators that use other drive modes.

（３）上述した実施形態では、超音波領域を用いる超音波モータ１０を例として示したが、超音波領域を用いない振動アクチュエータにも適用することができる。
（４）上述した実施形態では、超音波モータ１０は、レンズ鏡筒３００のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズ鏡筒３００のズーム動作を行う駆動源として用いてもよい。また、超音波モータ１０を、複写機などの駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部などに用いてもよい。 (3) In the above-described embodiment, the ultrasonic motor 10 using the ultrasonic region is shown as an example, but the present invention can also be applied to a vibration actuator that does not use the ultrasonic region.
(4) In the above-described embodiment, the example in which the ultrasonic motor 10 is used as a driving source for performing the focusing operation of the lens barrel 300 has been described. You may use as a drive source to perform. Further, the ultrasonic motor 10 may be used for a driving source such as a copying machine, a steering wheel tilt device of an automobile, a driving unit of a headrest, or the like.

（５）上述した実施形態では、スイッチングの制御は、電気的なスイッチとしてのＭＯＳＦＥＴを用いる例で説明したが、機械的なスイッチを用いて制御してもよい。
（６）上述した実施形態では、コンデンサは、５つの例で説明したが、この数に限定されるものではなく、また、連続的に静電容量の値を可変させることができる装置を用いてもよい。 (5) In the above-described embodiment, switching control has been described using an example of using a MOSFET as an electrical switch, but may be controlled using a mechanical switch.
(6) In the above-described embodiment, the capacitor has been described with five examples. However, the number of capacitors is not limited to this number, and a device capable of continuously changing the capacitance value is used. Also good.

（７）第１実施形態では、マイコン７は、電圧波形の立ち下がりから立ち上がりまでの時間に基づいて合成静電容量を調整する例で説明したが、これとは逆に、電圧波形の立ち上がりから立ち下がりまでの時間に基づいて合成静電容量を調整してもよい。
（８）第１実施形態で説明した時間での制御と、第３実施形態で説明した振幅での制御とを組み合わせて用いてもよい。
なお、上述した実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は、以上説明した実施形態によって限定されることはない。 (7) In the first embodiment, the microcomputer 7 is described as an example in which the combined capacitance is adjusted based on the time from the fall of the voltage waveform to the rise, but on the contrary, from the rise of the voltage waveform. The composite capacitance may be adjusted based on the time until the fall.
(8) The time control described in the first embodiment and the amplitude control described in the third embodiment may be used in combination.
In addition, although embodiment and the deformation | transformation which were mentioned above can also be used in combination as appropriate, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the embodiment described above.

第１実施形態のカメラ１００を示す図である。It is a figure which shows the camera 100 of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波モータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the ultrasonic motor of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波モータ１０の駆動回路を示す図である。It is a figure which shows the drive circuit of the ultrasonic motor 10 of 1st Embodiment. 超音波モータ１０の電圧波形などを示す図である。2 is a diagram illustrating a voltage waveform of the ultrasonic motor 10 and the like. FIG. Ａ相側静電容量増減部５ａの詳細を示す図である。It is a figure which shows the detail of the A phase side electrostatic capacitance increase / decrease part 5a. 振動アクチュエータの制御状態を説明する図である。It is a figure explaining the control state of a vibration actuator. 振動アクチュエータの制御状態を説明する図である。It is a figure explaining the control state of a vibration actuator. 第２実施形態の振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator of 2nd Embodiment. 第３実施形態の振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator of 3rd Embodiment. 第４実施形態の振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator of 4th Embodiment.

Explanation of symbols

２ａ：Ａ相側圧電素子、２ｂ：Ｂ相側圧電素子、５ａ：Ａ相側静電容量増減部、５ｂ：Ｂ相側静電容量増減部、６：パルス生成回路、７：マイコン、９：温度検出部、１０〜１０−４：超音波モータ、１２：圧電素子、１００：カメラ、３００：レンズ鏡筒、Ｃ１〜Ｃ５：コンデンサ 2a: A phase side piezoelectric element, 2b: B phase side piezoelectric element, 5a: A phase side capacitance increase / decrease unit, 5b: B phase side capacitance increase / decrease unit, 6: pulse generation circuit, 7: microcomputer, 9: Temperature detection unit, 10 to 10-4: ultrasonic motor, 12: piezoelectric element, 100: camera, 300: lens barrel, C1 to C5: capacitor

Claims

A drive state detector for detecting the drive state of the electromechanical transducer;
A capacitance increasing / decreasing unit that increases or decreases a combined capacitance of the electromechanical conversion element and the element having the capacitance, the element having a capacitance connected to the electromechanical conversion element;
An adjustment control unit that operates the capacitance increasing / decreasing unit according to a detection result of the driving state detection unit and adjusts the combined capacitance;
A vibration actuator comprising:

The vibration actuator according to claim 1,
The driving state detection unit detects the driving state based on a voltage waveform applied to the electromechanical transducer or a waveform related to a voltage waveform applied to the electromechanical transducer;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 2,
The adjustment control unit adjusts the combined capacitance based on information related to the time from the rise to the fall of the voltage waveform, or the time from the fall to the rise,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 2,
The adjustment control unit adjusts the combined capacitance based on information related to an amplitude of the voltage waveform;
Vibration actuator characterized by

In the vibration actuator according to any one of claims 1 to 4,
The electromechanical conversion element includes a first portion and a second portion to which drive signals having different phases are input,
The drive state detection unit detects the drive state of each of the first part and the second part,
The capacitance increasing / decreasing unit is provided in the first part,
The adjustment control unit adjusts a combined capacitance of the first portion and the element having the capacitance connected to the first portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 5, wherein
The capacitance increase / decrease part is also provided in the second part,
The adjustment control unit is connected to the combined capacitance of the first portion and the element having the capacitance connected to the first portion, and to the second portion and the second portion. Adjusting the combined capacitance with the device having the capacitance,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 5, wherein
The adjustment control unit adjusts the capacitance connected to the first part and the first part so that the driving state of the first part matches the driving state of the second part. Adjusting the combined capacitance with the elements
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 6, wherein
The adjustment control unit adjusts the capacitance connected to the first part and the first part so that the driving state of the first part matches the driving state of the second part. Adjusting the combined capacitance with the element having, and the combined capacitance between the second portion and the device having the capacitance connected to the second portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 5 or 7,
The adjustment control unit adjusts the combined capacitance of the first portion and the element having the capacitance connected to the first portion so as to maintain the current driving state of the vibration actuator. To do,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 6 or 8,
The adjustment control unit is configured such that a combined capacitance of the first portion and the element having the capacitance connected to the first portion so as to maintain the current driving state of the vibration actuator, and Adjusting the combined capacitance of the second portion and the element having the capacitance connected to the second portion;
Vibration actuator characterized by

A temperature detector for detecting the temperature;
A capacitance increasing / decreasing unit that increases or decreases a combined capacitance of the electromechanical conversion element and the element having the capacitance;
An adjustment control unit that operates the capacitance increase / decrease unit according to the detection result of the temperature detection unit and adjusts the combined capacitance;
A vibration actuator comprising:

The vibration actuator according to claim 11,
The temperature detection unit detects the temperature of the electromechanical transducer or the vicinity thereof;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 12,
The element having the capacitance of the capacitance increase / decrease unit is a plurality of capacitors that can be energized connected in parallel to the electromechanical conversion element,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 13,
The electromechanical transducer is a piezoelectric element;
Vibration actuator characterized by

A lens barrel comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 14.

A camera comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 14.