JP5320803B2 - Vibration actuator driving device and optical apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator driving device that performs suitable control. <P>SOLUTION: The vibration actuator driving device includes a driving circuit 41 for generating a driving signal for driving a vibration actuator 30, a sensor 46 provided in the vicinity of the driving circuit 41 to detect the temperature, and a control section 43 for correcting the driving signal according to the output of the sensor 46. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、振動アクチュエータ駆動装置及びそれを備えた光学機器に関する。   The present invention relates to a vibration actuator driving device and an optical apparatus including the same.

振動アクチュエータは、例えば、カメラの交換レンズ等に備えられ、オートフォーカスレンズを駆動する駆動モータとして実用化されている。このような振動アクチュエータの駆動装置において、振動子の機械的共振周波数が温度等により変動した場合に、駆動周波数を補正する技術が開示されている(特許文献1参照)。   The vibration actuator is provided in an interchangeable lens of a camera, for example, and is put into practical use as a drive motor that drives an autofocus lens. In such a vibration actuator drive device, a technique for correcting the drive frequency when the mechanical resonance frequency of the vibrator fluctuates due to temperature or the like is disclosed (see Patent Document 1).

特開平7−15984号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-15984

このような振動アクチュエータにおいては、駆動に際して、振動アクチュエータを構成する弾性体の摩擦等による発熱で、圧電素子の温度が上昇してしまい、圧電素子の共振周波数が変化してしまう。ここで、上述の技術では、振動アクチュエータを構成する弾性体に温度センサを接着し、弾性体の温度を測定することにより、振動アクチュエータの駆動周波数を補正し、振動アクチュエータの速度制御を行っている。しかしながら、上述の技術では、振動アクチュエータを構成する弾性体に直接温度センサを接着させるので、温度センサの電源および出力を振動アクチュエータ駆動装置の制御回路に接続するための配線が必要となる。さらには、振動アクチュエータ駆動装置の基板外に配線を引き回すので、温度センサの出力に対して、ノイズがのってしまう場合がある。本発明が解決しようとする課題は、好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置及びそれを備えた光学機器を提供することである。   In such a vibration actuator, during driving, the temperature of the piezoelectric element rises due to heat generated by friction of an elastic body constituting the vibration actuator, and the resonance frequency of the piezoelectric element changes. Here, in the above-described technique, the temperature sensor is bonded to the elastic body constituting the vibration actuator, and the temperature of the elastic body is measured to correct the drive frequency of the vibration actuator and to control the speed of the vibration actuator. . However, in the above-described technique, the temperature sensor is directly bonded to the elastic body constituting the vibration actuator, so that wiring for connecting the power supply and output of the temperature sensor to the control circuit of the vibration actuator driving device is required. Furthermore, since the wiring is routed outside the substrate of the vibration actuator driving device, noise may be added to the output of the temperature sensor. The problem to be solved by the present invention is to provide a vibration actuator driving apparatus capable of suitable control and an optical apparatus including the vibration actuator driving apparatus.

請求項1に係る発明は、振動アクチュエータ(30)を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路(41)と、前記駆動回路(41)の近傍に備えられ温度を検出するセンサ(46)と、前記センサ(46)の出力を、前記振動アクチュエータ(30)の温度に変換する制御部(43)とを含み、前記制御部(43)は、変換した前記振動アクチュエータ(30)の温度に応じて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 1 is a drive circuit (41) for generating a drive signal for driving the vibration actuator (30), and a sensor (46) provided in the vicinity of the drive circuit (41) for detecting temperature. And a control unit (43) that converts the output of the sensor (46) into a temperature of the vibration actuator (30), and the control unit (43) depends on the converted temperature of the vibration actuator (30). The vibration actuator driving apparatus is characterized by correcting the driving signal .

請求項2に係る発明は、振動アクチュエータ(30)を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路(41)と、前記駆動回路(41)の近傍に備えられ温度を検出するセンサ(46)と、前記駆動回路(41)を搭載する基板(48)と、前記基板(48)に搭載され、前記駆動回路(41)とは独立した独立回路と、前記独立回路の近傍に備えられた、前記独立回路の温度を検出する独立回路用センサ(46a)とを有し、前記センサ(46)の出力と、前記独立回路用センサ(46a)の出力との差を用いて前記駆動信号を補正する制御部(43)とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 2 is a drive circuit (41) for generating a drive signal for driving the vibration actuator (30), and a sensor (46) provided in the vicinity of the drive circuit (41) for detecting temperature. A substrate (48) on which the drive circuit (41) is mounted, an independent circuit mounted on the substrate (48) and independent of the drive circuit (41), and provided in the vicinity of the independent circuit, An independent circuit sensor (46a) for detecting the temperature of the independent circuit, and the drive signal is corrected using a difference between the output of the sensor (46) and the output of the independent circuit sensor (46a). It is a vibration actuator drive device characterized by including a control part (43) .

請求項3の発明は、請求項2に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記センサ(46)は、前記独立回路よりも前記駆動回路(41)に近い位置に備えられていることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 3, a vibration actuator driving device according to Motomeko 2, wherein the sensor (46) shall be provided in a position closer to the drive circuit (41) than the independent circuit A vibration actuator driving device characterized by the above.

請求項4に係る発明は、請求項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記制御部(43)により変換された前記振動アクチュエータ(30)の温度と前記振動アクチュエータ(30)の周波数特性との関係を記憶したメモリ(47)を有し、前記制御部(43)は、前記メモリ(47)に記憶された情報を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 4 is the vibration actuator driving apparatus according to claim 1 , wherein the temperature of the vibration actuator (30) converted by the control unit (43) and the frequency of the vibration actuator (30). A vibration actuator drive comprising a memory (47) storing a relationship with characteristics, wherein the control section (43) corrects the drive signal using information stored in the memory (47). Device.

請求項5に係る発明は、請求項1から請求項4までの何れか1項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路(41)は、前記振動アクチュエータ(30)を駆動させるための電圧を発生させるインダクタ(51,61)を有し、前記センサ(46)は、前記インダクタ(51,61)の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 5 is the vibration actuator drive device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the drive circuit (41) drives the vibration actuator (30). A vibration actuator driving device having an inductor (51, 61) for generating a voltage for detecting the temperature of the inductor (51, 61) directly or indirectly. It is.

請求項6に係る発明は、請求項5に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路(41)は、前記インダクタ(51,61)に流れる電流をスイッチングするスイッチング素子(52,53,62,63)を有し、前記センサ(46)は、前記スイッチング素子(52,53,62,63)の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 6 is the vibration actuator drive apparatus according to claim 5 , wherein the drive circuit (41) is a switching element (52, 53) for switching a current flowing through the inductor (51, 61). 62, 63), and the sensor (46) detects the temperature of the switching element (52, 53, 62, 63) directly or indirectly. .

請求項7に係る発明は、請求項5又は請求項6に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記インダクタ(51,61)は、前記振動アクチュエータ(30)のキャパシタ成分(31a,31b)と共振回路を構成していることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。 The invention according to claim 7 is the vibration actuator driving device according to claim 5 or 6 , wherein the inductor (51, 61) is a capacitor component (31a, 31b) of the vibration actuator (30). And a resonant actuator driving device.

請求項8に係る発明は、請求項1から請求項7までの何れか1項に記載された振動アクチュエータ駆動装置と、振動アクチュエータとを含むことを特徴とする光学機器である。   The invention according to claim 8 is an optical apparatus comprising the vibration actuator driving device according to any one of claims 1 to 7 and a vibration actuator.

本発明では、好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置を提供することができる。   In the present invention, it is possible to provide a vibration actuator driving device capable of suitable control.

《第1実施形態》
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は第1実施形態のカメラシステム1を示す要部構成図である。本実施形態のカメラシステム1は、撮像素子11を有するカメラボディ10と、レンズ21を有するレンズ鏡筒20とを備えている。なお、カメラシステム1としては、例えば、一眼レフデジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話用のカメラ、銀塩フィルムを用いた一眼レフカメラなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。
<< First Embodiment >>
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a main part configuration diagram showing a camera system 1 of the first embodiment. The camera system 1 of the present embodiment includes a camera body 10 having an image sensor 11 and a lens barrel 20 having a lens 21. Examples of the camera system 1 include, but are not limited to, a single-lens reflex digital camera, a video camera, a mobile phone camera, and a single-lens reflex camera using a silver salt film.

レンズ鏡筒20は、カメラボディ10に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒20は、交換レンズである例を示したがこれに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。レンズ鏡筒20は、レンズ21、カム筒22、ギア23,24、超音波モータ30、超音波モータ駆動装置40等を備えている。超音波モータ30は、カメラシステム1のフォーカス動作時にレンズ21を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ30から得られた駆動力は、ギア23,24を介してカム筒22に伝えられる。レンズ21は、カム筒22に保持されており、超音波モータ30の駆動力により、光軸方向へ移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。   The lens barrel 20 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 10. In the present embodiment, the lens barrel 20 is an interchangeable lens. However, the present invention is not limited to this. For example, the lens barrel 20 may be a lens barrel integrated with the camera body. The lens barrel 20 includes a lens 21, a cam barrel 22, gears 23 and 24, an ultrasonic motor 30, an ultrasonic motor driving device 40, and the like. The ultrasonic motor 30 is used as a driving source for driving the lens 21 during the focusing operation of the camera system 1, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 30 is transmitted to the cam cylinder 22 via the gears 23 and 24. It is done. The lens 21 is held by the cam barrel 22 and is a focus lens that moves in the optical axis direction by the driving force of the ultrasonic motor 30 to adjust the focus.

本実施形態の超音波モータ30は、回転型超音波モータであり、円環状の振動子と円環状の相対運動部材(回転子あるいは移動子とも言う)とからなる。円環状の振動子は、円環状の弾性体とこの弾性体に接合された円環状の圧電素子(電気機械エネルギー変換素子)とから構成され、円環状の圧電素子は周回方向に適宜電極が分極されている(例えば12極程度)。そして、このように分極された圧電素子には、超音波モータ駆動装置40から、位相が90度ずれた2つの交流信号が、それらの反転信号と組み合わせて、分極された電極ごとに適宜交互に供給される。これにより圧電素子が振動し、弾性体に進行波の振動が発生し、弾性体に加圧接触された相対運動部材が、弾性体に発生した進行波の振動を受けて回転駆動される。   The ultrasonic motor 30 of the present embodiment is a rotary ultrasonic motor, and includes an annular vibrator and an annular relative motion member (also referred to as a rotor or a mover). An annular vibrator is composed of an annular elastic body and an annular piezoelectric element (electromechanical energy conversion element) bonded to the elastic body. The annular piezoelectric element has electrodes appropriately polarized in the circumferential direction. (For example, about 12 poles). Then, in the piezoelectric element polarized in this way, two AC signals whose phases are shifted by 90 degrees from the ultrasonic motor driving device 40 are combined with their inverted signals, and alternately alternated for each polarized electrode. Supplied. As a result, the piezoelectric element vibrates, a traveling wave vibration is generated in the elastic body, and the relative motion member that is in pressure contact with the elastic body is rotationally driven in response to the traveling wave vibration generated in the elastic body.

図2は第1実施形態の超音波モータ駆動装置40の構成を示す図である。図2に示すように、超音波モータ駆動装置40は、ドライブ回路41と、直流電源回路42と、マイコン43と、MR処理センサ44と、温度センサ46と、メモリ47とを有しており、これらが超音波モータ駆動装置用基板48上に実装されている。   FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the ultrasonic motor driving device 40 according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the ultrasonic motor driving device 40 includes a drive circuit 41, a DC power supply circuit 42, a microcomputer 43, an MR processing sensor 44, a temperature sensor 46, and a memory 47. These are mounted on the substrate 48 for the ultrasonic motor driving device.

ドライブ回路41は、超音波モータ30を構成する圧電素子31a,31bと電気的に接続されており、これら圧電素子31a,31bに、それぞれ位相が90度ずれた2つの交流信号を供給できるようになっている。なお、圧電素子31a,31bは、超音波モータ30において、キャパシタ成分を構成することとなる。また、図2中においては、図を簡略化するため、ドライブ回路41から供給される、位相が90度ずれた2つの交流信号は、2つの圧電素子31a,31bに供給されるものとして記載しているが、圧電素子31aは、一方の交流信号およびその反転信号が供給される分極された圧電素子すべてを意味するものとする。また、同様に、圧電素子31bは、他方の交流信号およびその反転信号が供給される分極された圧電素子すべてを意味するものとする。   The drive circuit 41 is electrically connected to the piezoelectric elements 31a and 31b constituting the ultrasonic motor 30 so that two AC signals whose phases are shifted by 90 degrees can be supplied to the piezoelectric elements 31a and 31b, respectively. It has become. The piezoelectric elements 31 a and 31 b constitute a capacitor component in the ultrasonic motor 30. In FIG. 2, for the sake of simplicity, it is assumed that two AC signals supplied from the drive circuit 41 and whose phases are shifted by 90 degrees are supplied to the two piezoelectric elements 31 a and 31 b. However, the piezoelectric element 31a means all polarized piezoelectric elements to which one AC signal and its inverted signal are supplied. Similarly, the piezoelectric element 31b means all polarized piezoelectric elements to which the other AC signal and its inverted signal are supplied.

図3は第1実施形態のドライブ回路41の回路構成を示す図である。図3に示すように、ドライブ回路41は、第1交流信号供給回路50及び第2交流信号供給回路60からなり、第1交流信号供給回路50は、トランス51、MOSFET52,53、ダイオード54,55、及びインバータ56から構成される。また、同様に、第2交流信号供給回路60は、第1交流信号供給回路50と同様に、トランス61、MOSFET62,63、ダイオード64,65、及びインバータ66から構成される。そして、第1交流信号供給回路50のトランス51及び第2交流信号供給回路60のトランス61は、それぞれ、圧電素子31a及び圧電素子31bと共振回路を構成している。   FIG. 3 is a diagram showing a circuit configuration of the drive circuit 41 of the first embodiment. As illustrated in FIG. 3, the drive circuit 41 includes a first AC signal supply circuit 50 and a second AC signal supply circuit 60, and the first AC signal supply circuit 50 includes a transformer 51, MOSFETs 52 and 53, and diodes 54 and 55. , And an inverter 56. Similarly, the second AC signal supply circuit 60 includes a transformer 61, MOSFETs 62 and 63, diodes 64 and 65, and an inverter 66, similar to the first AC signal supply circuit 50. The transformer 51 of the first AC signal supply circuit 50 and the transformer 61 of the second AC signal supply circuit 60 form a resonance circuit with the piezoelectric elements 31a and 31b, respectively.

また、図3に示すように、ドライブ回路41を構成する第1交流信号供給回路50及び第2交流信号供給回路60には、直流電源回路42から直流電流I1,I2が、マイコン43から駆動周波数パルス信号P1,P2が、それぞれ供給されるようになっている。   Further, as shown in FIG. 3, the first AC signal supply circuit 50 and the second AC signal supply circuit 60 constituting the drive circuit 41 are supplied with DC currents I 1 and I 2 from the DC power supply circuit 42 and drive frequency from the microcomputer 43. Pulse signals P1 and P2 are supplied respectively.

直流電源回路42は、たとえば、DC/DCコンバータなどが挙げられ、直流電流I1,I2をドライブ回路41に供給する。   The DC power supply circuit 42 may be a DC / DC converter, for example, and supplies DC currents I1 and I2 to the drive circuit 41.

マイコン43は、超音波モータ駆動装置40を制御するためのメインCPUである。マイコン43は、パルス発生回路及びスイッチング制御回路を有しており、これによりドライブ回路41に駆動周波数パルス信号P1,P2を供給する。また、マイコン43は、MRセンサ処理回路44により送られた超音波モータ30の回転速度のデータや、温度センサ46により測定された温度データが送られるようになっている。そして、これら超音波モータ30の回転速度のデータや温度データに基づき、ドライブ回路41に供給する駆動周波数パルス信号を制御できるようになっている。なお、温度センサ46の温度データに基づく駆動周波数パルス信号の制御については後に詳述する。   The microcomputer 43 is a main CPU for controlling the ultrasonic motor driving device 40. The microcomputer 43 includes a pulse generation circuit and a switching control circuit, and thereby supplies drive frequency pulse signals P1 and P2 to the drive circuit 41. Further, the microcomputer 43 is configured to send the rotational speed data of the ultrasonic motor 30 sent by the MR sensor processing circuit 44 and the temperature data measured by the temperature sensor 46. The drive frequency pulse signal supplied to the drive circuit 41 can be controlled based on the rotational speed data and temperature data of the ultrasonic motor 30. The control of the drive frequency pulse signal based on the temperature data of the temperature sensor 46 will be described in detail later.

MRセンサ処理回路44は、MRセンサ45により測定された超音波モータ30の回転速度を検出して、マイコン43に出力する。図2に示すように、MRセンサ45は、超音波モータ30近傍に設けられ、超音波モータ駆動装置用基板48外に設けられた配線により、超音波モータ駆動装置用基板48上のMRセンサ処理回路44と電気的に接続されている。   The MR sensor processing circuit 44 detects the rotational speed of the ultrasonic motor 30 measured by the MR sensor 45 and outputs it to the microcomputer 43. As shown in FIG. 2, the MR sensor 45 is provided in the vicinity of the ultrasonic motor 30, and MR sensor processing on the ultrasonic motor drive device substrate 48 is performed by wiring provided outside the ultrasonic motor drive device substrate 48. The circuit 44 is electrically connected.

温度センサ46は、たとえばサーミスタであり、図2に示すように、超音波モータ駆動装置用基板48上のドライブ回路41近傍に備えられており、ドライブ回路41から発生される温度を検出するとともに、検出された温度がマイコン43に送られるようになっている。なお、温度センサ46の設置位置としては、ドライブ回路41の近傍であれば良く、特に限定されないが、たとえば、ドライブ回路41のうち、トランス51,61の近傍や、MOSFET52,53,62,63の近傍に設置することができる。温度センサ46を、これらトランス51,61やMOSFET52,53,62,63の近傍に設置することにより、ドライブ回路41が駆動した際における、トランス51,61やMOSFET52,53,62,63の発熱を直接的に検出することができる。なお、これらトランス51,61やMOSFET52,53,62,63の近傍に温度センサ46を設置する方法としては、これらが接続されている配線パターンに温度センサ46を実装する方法などが挙げられる。   The temperature sensor 46 is a thermistor, for example, and is provided in the vicinity of the drive circuit 41 on the ultrasonic motor drive device substrate 48 as shown in FIG. 2, and detects the temperature generated from the drive circuit 41. The detected temperature is sent to the microcomputer 43. The installation position of the temperature sensor 46 is not particularly limited as long as it is in the vicinity of the drive circuit 41. For example, in the drive circuit 41, in the vicinity of the transformers 51 and 61 or the MOSFETs 52, 53, 62, and 63. It can be installed in the vicinity. By installing the temperature sensor 46 in the vicinity of the transformers 51, 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, 63, the heat generation of the transformers 51, 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, 63 when the drive circuit 41 is driven. It can be detected directly. As a method of installing the temperature sensor 46 in the vicinity of the transformers 51 and 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, and 63, there is a method of mounting the temperature sensor 46 on a wiring pattern to which these are connected.

メモリ47は、温度センサ46により測定されるドライブ回路41近傍の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数(圧電素子に印加する交流電圧の周波数)との関係を記憶しており、これらの情報をマイコン43に送信できるようになっている。   The memory 47 stores the relationship between the temperature in the vicinity of the drive circuit 41 measured by the temperature sensor 46 and the resonance frequency and drive frequency (frequency of the alternating voltage applied to the piezoelectric element) of the piezoelectric element. Can be transmitted to the microcomputer 43.

そして、このような超音波モータ駆動装置40は、次のように動作する。すなわち、まず、マイコン43に設けられたパルス発生回路およびスイッチング制御回路により、超音波モータ30を所望の回転速度Nで回転させるべく、所望の回転速度Nに対応した駆動周波数fの位相が90度ずれた2つのパルス信号P1,P2が出力される。出力されたパルス信号P1,P2は、マイコン43から、ドライブ回路41を構成する第1交流信号供給回路50及び第2交流信号供給回路60に、それぞれ供給され、MOSFET52,62をオンオフする。MOSFET52,62がオンオフ制御されることにより、トランス51,61の2次巻線側にパルス信号P1,P2と同じ周波数fの昇圧された信号C1,C2が発生する。   Such an ultrasonic motor driving device 40 operates as follows. That is, first, the phase of the driving frequency f corresponding to the desired rotational speed N is 90 degrees so that the ultrasonic motor 30 is rotated at the desired rotational speed N by the pulse generation circuit and the switching control circuit provided in the microcomputer 43. Two shifted pulse signals P1 and P2 are output. The output pulse signals P1 and P2 are supplied from the microcomputer 43 to the first AC signal supply circuit 50 and the second AC signal supply circuit 60 constituting the drive circuit 41, respectively, and the MOSFETs 52 and 62 are turned on and off. By turning on and off the MOSFETs 52 and 62, boosted signals C1 and C2 having the same frequency f as the pulse signals P1 and P2 are generated on the secondary winding side of the transformers 51 and 61, respectively.

2次巻線側に発生する昇圧された信号C1,C2は、超音波モータ30の圧電素子31a,31bに供給され、圧電素子31a,31bはパルス信号と同じ周波数fで振動する。信号C1,C2は、位相が90度ずれている。圧電素子31aは、前述したように、分極された複数の圧電素子の集合であり、信号C1、信号−C1が供給される圧電素子の集合である。同様に、圧電素子31bも、分極された複数の圧電素子の集合であり、信号C2、信号−C2が供給される圧電素子の集合である。なお、信号−C1、信号−C2は、信号C1、信号C2に対して、グランドと各信号の配線を逆にして配線する信号である。そして、このようにして圧電素子31a,31bに信号C1,C2が供給されると、圧電素子31a,31bに接合された弾性体に進行波が発生し、弾性体に加圧接触された相対運動部材は、弾性体に発生した進行波の振動を受け、駆動周波数fに対応した回転速度Nで回転駆動される。   The boosted signals C1 and C2 generated on the secondary winding side are supplied to the piezoelectric elements 31a and 31b of the ultrasonic motor 30, and the piezoelectric elements 31a and 31b vibrate at the same frequency f as the pulse signal. The signals C1 and C2 are 90 degrees out of phase. As described above, the piezoelectric element 31a is a set of a plurality of polarized piezoelectric elements, and is a set of piezoelectric elements to which the signal C1 and the signal -C1 are supplied. Similarly, the piezoelectric element 31b is a set of a plurality of polarized piezoelectric elements, and is a set of piezoelectric elements to which the signal C2 and the signal -C2 are supplied. The signal -C1 and the signal -C2 are signals that are wired with the ground and each signal wiring reversed with respect to the signals C1 and C2. Then, when the signals C1 and C2 are supplied to the piezoelectric elements 31a and 31b in this way, traveling waves are generated in the elastic bodies joined to the piezoelectric elements 31a and 31b, and the relative motion is brought into pressure contact with the elastic bodies. The member receives the vibration of the traveling wave generated in the elastic body and is rotationally driven at a rotational speed N corresponding to the driving frequency f.

また、本実施形態においては、このようにして超音波モータ30が駆動されるとき、駆動周波数fの周期において、トランス51,61の2次側巻線と圧電素子31a,31bとの直列回路上に設けられたMOSFET53,63を一定期間オフすることにより、トランス51,61と圧電素子31a,31b間で発生する自由振動を抑制できるようになっている。   Further, in the present embodiment, when the ultrasonic motor 30 is driven in this way, on the series circuit of the secondary windings of the transformers 51 and 61 and the piezoelectric elements 31a and 31b in the cycle of the driving frequency f. By turning off the MOSFETs 53 and 63 provided for the predetermined period, free vibrations generated between the transformers 51 and 61 and the piezoelectric elements 31a and 31b can be suppressed.

図4に、超音波モータ30の駆動時及び停止時における、超音波モータ30、ドライブ回路41近傍及び超音波モータ駆動装置用基板48端部の温度推移を表すグラフを示す。なお、図4に示すグラフは、室温(25℃)下で各測定を行ったデータである。図4に示すように、超音波モータ30の駆動が開始すると、超音波モータ30の温度(すなわち、超音波モータ30の圧電素子の温度)は上昇し、一方、超音波モータ30の駆動を停止すると、超音波モータ30の温度は下降する。ここで、超音波モータ30の駆動により、超音波モータ30の温度が上昇する理由としては、たとえば、超音波モータ30を構成する弾性体の摩擦等による発熱で、超音波モータ30を構成する圧電素子の温度が上昇してしまうことが挙げられる。   FIG. 4 is a graph showing the temperature transition of the ultrasonic motor 30, the vicinity of the drive circuit 41, and the end of the ultrasonic motor driving device substrate 48 when the ultrasonic motor 30 is driven and stopped. In addition, the graph shown in FIG. 4 is the data which performed each measurement under room temperature (25 degreeC). As shown in FIG. 4, when the driving of the ultrasonic motor 30 is started, the temperature of the ultrasonic motor 30 (that is, the temperature of the piezoelectric element of the ultrasonic motor 30) rises, while the driving of the ultrasonic motor 30 is stopped. Then, the temperature of the ultrasonic motor 30 falls. Here, the reason why the temperature of the ultrasonic motor 30 rises due to the driving of the ultrasonic motor 30 is, for example, heat generation due to friction of an elastic body constituting the ultrasonic motor 30, and the piezoelectric constituting the ultrasonic motor 30. For example, the temperature of the element increases.

また、図5に、超音波モータ30を構成する圧電素子の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数(圧電素子に印加する交流電圧の周波数)との関係を表すグラフを示す。図5に示すように、超音波モータ30を構成する圧電素子の共振周波数及び駆動周波数は、圧電素子の温度が変化することに伴い変化することなる。そのため、超音波モータ駆動装置40から超音波モータ30に供給する信号C1,C2(駆動周波数)を一定としても、超音波モータ30の駆動により圧電素子の温度が変化してしまうため、結果として、超音波モータ30の回転速度が変化してしまうこととなる。したがって、超音波モータ駆動装置40において、超音波モータ30を駆動する際には、超音波モータ30を構成する圧電素子の温度変化を検出して、温度変化に応じて駆動周波数を補正することが望ましい。   FIG. 5 is a graph showing the relationship between the temperature of the piezoelectric element constituting the ultrasonic motor 30, the resonance frequency of the piezoelectric element and the driving frequency (frequency of the alternating voltage applied to the piezoelectric element). As shown in FIG. 5, the resonance frequency and the drive frequency of the piezoelectric element constituting the ultrasonic motor 30 change as the temperature of the piezoelectric element changes. Therefore, even if the signals C1 and C2 (driving frequency) supplied from the ultrasonic motor driving device 40 to the ultrasonic motor 30 are constant, the temperature of the piezoelectric element changes due to the driving of the ultrasonic motor 30. The rotational speed of the ultrasonic motor 30 will change. Therefore, when driving the ultrasonic motor 30 in the ultrasonic motor driving device 40, it is possible to detect a temperature change of the piezoelectric element constituting the ultrasonic motor 30 and correct the driving frequency according to the temperature change. desirable.

ここで、図4の超音波モータ30の温度変化(すなわち、超音波モータ30の圧電素子の温度変化)とドライブ回路41近傍の温度変化とを参照することにより、超音波モータ30の駆動が開始すると、超音波モータ30と同様に、ドライブ回路41も駆動することとなるため、ドライブ回路41も発熱し、ドライブ回路41近傍における温度も上昇することが確認できる。さらに、超音波モータ30の駆動を停止すると、超音波モータ30と同様に、ドライブ回路41も駆動を停止することとなるため、ドライブ回路41近傍における温度も下降することも確認できる。すなわち、超音波モータ30の圧電素子とドライブ回路41近傍とで温度の挙動は近似しているものといえる。   Here, the drive of the ultrasonic motor 30 is started by referring to the temperature change of the ultrasonic motor 30 in FIG. 4 (that is, the temperature change of the piezoelectric element of the ultrasonic motor 30) and the temperature change in the vicinity of the drive circuit 41. Then, since the drive circuit 41 is also driven as in the ultrasonic motor 30, it can be confirmed that the drive circuit 41 also generates heat and the temperature in the vicinity of the drive circuit 41 also rises. Further, when the driving of the ultrasonic motor 30 is stopped, the drive circuit 41 is also stopped driving similarly to the ultrasonic motor 30, so that it can be confirmed that the temperature in the vicinity of the drive circuit 41 also decreases. That is, it can be said that the temperature behavior is approximated between the piezoelectric element of the ultrasonic motor 30 and the vicinity of the drive circuit 41.

なお、ドライブ回路41を構成する各要素のうち、トランス51,61及びMOSFET52,53,62,63は、ドライブ回路41が駆動した際における、発熱量が大きいものである。そのため、ドライブ回路41の近傍に温度センサ46を設置することにより、その設置位置により、これらトランス51,61や、MOSFET52,53,62,63の温度を直接的又は間接的に検出することとなる。たとえば、トランス51近傍に温度センサ46を設置した場合には、トランス51の温度を直接的に検出するとともに、トランス61、及びMOSFET52,53,62,63の温度については間接的に検出することとなる。   Of the elements constituting the drive circuit 41, the transformers 51 and 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, and 63 generate a large amount of heat when the drive circuit 41 is driven. Therefore, by installing the temperature sensor 46 in the vicinity of the drive circuit 41, the temperatures of the transformers 51 and 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, and 63 are detected directly or indirectly depending on the installation position. . For example, when the temperature sensor 46 is installed in the vicinity of the transformer 51, the temperature of the transformer 51 is directly detected, and the temperatures of the transformer 61 and the MOSFETs 52, 53, 62, and 63 are detected indirectly. Become.

そして、本実施形態では、ドライブ回路41の近傍に温度センサ46を設置することにより、ドライブ回路41から発生される温度を検出し、この温度を用いて、超音波モータ30の圧電素子の温度を間接的に測定することができる。なお、図4に示すように、ドライブ回路41近傍の温度と、超音波モータ30の温度とは温度の変化の挙動は近似するものの、温度の変化の絶対量は異なるものとなる。そのため、温度センサ46により測定された温度値は、マイコン43に送られた際に、マイコン43により超音波モータ30の圧電素子の温度に変換されることとなる。そして、マイコン43は、メモリ47から、図5に示すような温度センサ46により測定されるドライブ回路41近傍の温度(すなわち、超音波モータ30を構成する圧電素子の温度)と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数との相関データを読み出し、これに基づき、ドライブ回路41から超音波モータ30に供給する信号C1,C2の周波数を逐次補正する。   In this embodiment, the temperature sensor 46 is installed in the vicinity of the drive circuit 41 to detect the temperature generated from the drive circuit 41, and the temperature of the piezoelectric element of the ultrasonic motor 30 is detected using this temperature. It can be measured indirectly. As shown in FIG. 4, the temperature near the drive circuit 41 and the temperature of the ultrasonic motor 30 are similar in temperature change behavior, but the absolute amount of temperature change is different. Therefore, when the temperature value measured by the temperature sensor 46 is sent to the microcomputer 43, the microcomputer 43 converts the temperature value into the temperature of the piezoelectric element of the ultrasonic motor 30. Then, the microcomputer 43 reads from the memory 47 the temperature in the vicinity of the drive circuit 41 measured by the temperature sensor 46 as shown in FIG. 5 (that is, the temperature of the piezoelectric element constituting the ultrasonic motor 30) and the resonance of the piezoelectric element. Correlation data between the frequency and the drive frequency is read, and based on this, the frequencies of the signals C1 and C2 supplied from the drive circuit 41 to the ultrasonic motor 30 are sequentially corrected.

このような本実施形態によれば、上記のような構成を採用することにより、超音波モータ駆動装置40上のドライブ回路41近傍に温度センサ46を設けるため、超音波モータ30に直接温度センサを接着させた場合に必要となる、超音波モータ駆動装置40と超音波モータ30との間の配線を不要とすることができ、外来ノイズを除去することができる。また、温度センサ46を音波モータ30に接着させる工程が不要となる。更に、基板外への配線を不要としながら、振動アクチュエータの温度変化による共振周波数、駆動周波数の変化を適切に検出でき、好適な制御が可能となる。   According to the present embodiment, the temperature sensor 46 is provided in the vicinity of the drive circuit 41 on the ultrasonic motor driving device 40 by adopting the configuration as described above. Wiring between the ultrasonic motor driving device 40 and the ultrasonic motor 30, which is required when the two are bonded, can be eliminated, and external noise can be removed. Further, the step of bonding the temperature sensor 46 to the sonic motor 30 is not necessary. Furthermore, it is possible to appropriately detect changes in the resonance frequency and the drive frequency due to temperature changes of the vibration actuator, while eliminating the need for wiring outside the substrate, thereby enabling suitable control.

しかも、図4からも確認できるように、超音波モータ30とドライブ回路41近傍とで温度の挙動は近似しているため、超音波モータ30の温度変化を適切に検出することができ、温度変化に応じて駆動周波数を適切に補正することができる。加えて、図4からも明らかなように、超音波モータの駆動及び停止による、ドライブ回路41近傍の温度変化は比較的に大きいものであるため、温度センサ46として高精度なセンサを用いる必要もない。   In addition, as can be confirmed from FIG. 4, the temperature behavior of the ultrasonic motor 30 and the vicinity of the drive circuit 41 is approximate, so that the temperature change of the ultrasonic motor 30 can be detected appropriately, and the temperature change Accordingly, the drive frequency can be corrected appropriately. In addition, as is apparent from FIG. 4, since the temperature change in the vicinity of the drive circuit 41 due to the driving and stopping of the ultrasonic motor is relatively large, it is necessary to use a highly accurate sensor as the temperature sensor 46. Absent.

《第2実施形態》
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本発明の第2実施形態は、以下に説明する以外は、上述の第1実施形態と同様の構成を有し、同様の作用効果を奏するものである。
<< Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Except as described below, the second embodiment of the present invention has the same configuration as that of the first embodiment described above, and exhibits the same effects.

図6は、第2実施形態の超音波モータ駆動装置40aの構成を示す図である。第2実施形態の超音波モータ駆動装置40aには、ドライブ回路41近傍に設けた温度センサ46に加えて、超音波モータ駆動装置用基板48の端部付近に温度センサ46aが設けられている点で第1実施形態と異なる。すなわち、温度センサ46aを温度センサ46及びドライブ回路41から離れた位置に配置した構成としている。温度センサ46aを用いてドライブ回路41による影響が少ない超音波モータ駆動装置用基板48の温度を検出するためである。   FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an ultrasonic motor driving device 40a according to the second embodiment. In the ultrasonic motor driving device 40a of the second embodiment, in addition to the temperature sensor 46 provided in the vicinity of the drive circuit 41, a temperature sensor 46a is provided in the vicinity of the end portion of the substrate 48 for the ultrasonic motor driving device. This is different from the first embodiment. That is, the temperature sensor 46 a is arranged at a position away from the temperature sensor 46 and the drive circuit 41. This is because the temperature sensor 46a is used to detect the temperature of the substrate 48 for the ultrasonic motor drive device that is less affected by the drive circuit 41.

そして、第2実施形態では、超音波モータ30の温度を間接的に測定しマイコン43により、ドライブ回路41から超音波モータ30に供給する信号C1,C2の周波数を逐次補正する際に、ドライブ回路41近傍に設けた温度センサ46の測定値だけでなく、超音波モータ駆動装置用基板48の端部付近に設けた温度センサ46aの測定値も用いる。すなわち、温度センサ46の測定値と温度センサ46aの測定値との差分をとり、この値に基づき、逐次補正する。   In the second embodiment, when the temperature of the ultrasonic motor 30 is indirectly measured and the microcomputer 43 sequentially corrects the frequencies of the signals C1 and C2 supplied from the drive circuit 41 to the ultrasonic motor 30, the drive circuit In addition to the measurement value of the temperature sensor 46 provided in the vicinity of 41, the measurement value of the temperature sensor 46a provided in the vicinity of the end of the ultrasonic motor driving device substrate 48 is also used. That is, the difference between the measured value of the temperature sensor 46 and the measured value of the temperature sensor 46a is taken, and the correction is sequentially performed based on this value.

超音波モータ駆動装置用基板48上に、ドライブ回路41以外に発熱する部品が搭載される場合の他、直流電源回路42により直流電源が供給される部品がドライブ回路41以外にあり、これらの負荷変動により直流電源回路42の発熱量が変動する場合がある。このような場合には、ドライブ回路41付近の温度変化と、超音波モータ30との間の温度変化の挙動が近似しなくなる場合がある。これに対して、第2実施形態によれば、ドライブ回路41近傍に設けた温度センサ46に加えて、超音波モータ駆動装置用基板48の端部付近に温度センサ46aが設け、これらの測定値の差分をとることにより、上記問題を有効に解決できるものである。また、温度センサ46aは、ドライブ回路41以外の発熱する部品や、直流電源回路42の近傍に設置することも好ましい。この場合、温度センサ46aを用いて、ドライブ回路41以外の発熱する部品、回路等の温度を検出し、温度センサ46と温度センサ46aとの検出値の差分をとることが好ましい。検出値の差分をとることにより、ドライブ回路41以外の発熱する部品の影響を除去できるからである。   In addition to the case where components that generate heat other than the drive circuit 41 are mounted on the substrate 48 for the ultrasonic motor drive device, there are components other than the drive circuit 41 that are supplied with direct-current power by the direct-current power circuit 42. The amount of heat generated by the DC power supply circuit 42 may vary due to the variation. In such a case, the behavior of the temperature change between the drive circuit 41 and the ultrasonic motor 30 may not approximate. On the other hand, according to the second embodiment, in addition to the temperature sensor 46 provided in the vicinity of the drive circuit 41, the temperature sensor 46a is provided in the vicinity of the end portion of the ultrasonic motor driving device substrate 48, and these measured values are measured. By taking these differences, the above problem can be effectively solved. The temperature sensor 46 a is also preferably installed in the vicinity of a component that generates heat other than the drive circuit 41 or the DC power supply circuit 42. In this case, it is preferable that the temperature sensor 46a is used to detect the temperatures of components, circuits, etc. that generate heat other than the drive circuit 41, and the difference between the detected values of the temperature sensor 46 and the temperature sensor 46a is taken. This is because by taking the difference between the detection values, it is possible to eliminate the influence of heat-generating components other than the drive circuit 41.

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。   The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

図1は第1実施形態のカメラシステム1を示す要部構成図である。FIG. 1 is a main part configuration diagram showing a camera system 1 of the first embodiment. 図2は第1実施形態の超音波モータ駆動装置の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the ultrasonic motor driving apparatus according to the first embodiment. 図3は第1実施形態のドライブ回路の回路構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a circuit configuration of the drive circuit according to the first embodiment. 図4は超音波モータの駆動時及び停止時における、超音波モータ、ドライブ回路近傍及び超音波モータ駆動装置用基板端部の温度推移を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the temperature transition of the ultrasonic motor, the vicinity of the drive circuit, and the substrate end portion of the ultrasonic motor driving device when the ultrasonic motor is driven and stopped. 図5は超音波モータを構成する圧電素子の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数との関係を表すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the temperature of the piezoelectric element constituting the ultrasonic motor, and the resonance frequency and driving frequency of the piezoelectric element. 図6は第2実施形態の超音波モータ駆動装置の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the configuration of the ultrasonic motor driving apparatus according to the second embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…カメラシステム
10…カメラボディ
20…レンズ鏡筒
30…超音波モータ
31a,31b…圧電素子
40,40a…超音波モータ駆動装置
41…ドライブ回路
42…直流電源回路
43…マイコン
46,46a…温度センサ
47…メモリ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Camera system 10 ... Camera body 20 ... Lens barrel 30 ... Ultrasonic motor 31a, 31b ... Piezoelectric element 40, 40a ... Ultrasonic motor drive device 41 ... Drive circuit 42 ... DC power supply circuit 43 ... Microcomputer 46, 46a ... Temperature Sensor 47 ... Memory

Claims (8)

振動アクチュエータを駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路と、
前記駆動回路の近傍に備えられ温度を検出するセンサと、
前記センサの出力を、前記振動アクチュエータの温度に変換する制御部とを含み、
前記制御部は、変換した前記振動アクチュエータの温度に応じて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
A drive circuit for generating a drive signal for driving the vibration actuator;
A sensor provided in the vicinity of the drive circuit for detecting temperature;
A controller that converts the output of the sensor into a temperature of the vibration actuator;
Wherein the control unit, the vibration actuator driving device, wherein the benzalkonium to correct the driving signal according to the temperature of converted the vibration actuator.
振動アクチュエータを駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路と、A drive circuit for generating a drive signal for driving the vibration actuator;
前記駆動回路の近傍に備えられ温度を検出するセンサと、A sensor provided in the vicinity of the drive circuit for detecting temperature;
前記駆動回路を搭載する基板と、A substrate on which the drive circuit is mounted;
前記基板に搭載され、前記駆動回路とは独立した独立回路と、An independent circuit mounted on the substrate and independent of the drive circuit;
前記独立回路の近傍に備えられた、前記独立回路の温度を検出する独立回路用センサとを有し、An independent circuit sensor for detecting the temperature of the independent circuit provided in the vicinity of the independent circuit;
前記センサの出力と、前記独立回路用センサの出力との差を用いて前記駆動信号を補正する制御部とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。A vibration actuator driving apparatus comprising: a control unit that corrects the driving signal using a difference between an output of the sensor and an output of the independent circuit sensor.
請求項2に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、A vibration actuator driving apparatus according to claim 2,
前記センサは、前記独立回路よりも前記駆動回路に近い位置に備えられていることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。The vibration actuator driving apparatus, wherein the sensor is provided at a position closer to the driving circuit than the independent circuit.
請求項1に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
前記制御部により変換された前記振動アクチュエータの温度と前記振動アクチュエータの周波数特性との関係を記憶したメモリを有し、
前記制御部は、前記メモリに記憶された情報を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
The vibration actuator driving device according to claim 1,
A memory storing the relationship between the temperature of the vibration actuator converted by the control unit and the frequency characteristic of the vibration actuator;
The control unit corrects the drive signal using information stored in the memory, and the vibration actuator drive device.
請求項1から請求項4までの何れか1項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
前記駆動回路は、前記振動アクチュエータを駆動させるための電圧を発生させるインダクタを有し、
前記センサは、前記インダクタの温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
The vibration actuator driving device according to any one of claims 1 to 4 , wherein:
The drive circuit includes an inductor that generates a voltage for driving the vibration actuator;
The vibration actuator driving apparatus characterized in that the sensor detects the temperature of the inductor directly or indirectly.
請求項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
前記駆動回路は、前記インダクタに流れる電流をスイッチングするスイッチング素子を有し、
前記センサは、前記スイッチング素子の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
The vibration actuator driving device according to claim 5 ,
The drive circuit has a switching element that switches a current flowing through the inductor,
The vibration actuator driving device characterized in that the sensor directly or indirectly detects the temperature of the switching element.
請求項又は請求項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
前記インダクタは、前記振動アクチュエータのキャパシタ成分と共振回路を構成していることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
The vibration actuator driving device according to claim 5 or 6 , wherein
The vibration actuator driving apparatus characterized in that the inductor constitutes a resonance circuit with a capacitor component of the vibration actuator.
請求項1から請求項7までの何れか1項に記載された振動アクチュエータ駆動装置と、振動アクチュエータとを含むことを特徴とする光学機器。   An optical apparatus comprising the vibration actuator drive device according to any one of claims 1 to 7 and a vibration actuator.
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